JPH11233368A

JPH11233368A - コンデンサおよびその製造方法

Info

Publication number: JPH11233368A
Application number: JP10026953A
Authority: JP
Inventors: Toshiharu Saito; 俊晴斎藤; Sachiko Maeda; 幸子前田; Motoi Kitano; 基北野
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1998-02-09
Filing date: 1998-02-09
Publication date: 1999-08-27

Abstract

(57)【要約】【課題】漏れ電流が小さい小型・大容量の新しいタイ
プの有機フィルムコンデンサおよびその製造方法を提供
することを目的とする。【解決手段】粗面化した導電体であるエッチドアルミ
ニウム箔電極１表面上に電着によりポリカルボン酸系樹
脂からなる薄膜を設け、さらに疎水性を高めて疎水層を
有したポリカルボン酸系樹脂薄膜２の誘電体層を形成
し、前記誘電体層の表面上に対極として更に導電体層で
ある第１のポリピロール層３、第２のポリピロール層
４、集電体層５を形成することにより、漏れ電流の小さ
い小型・大容量有機フィルムコンデンサを実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気機器・電子機
器・音響機器の電子回路などに用いるコンデンサに関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、機器の小型化・薄型化・軽量化、
および電気機器回路の高密度化・デジタル化に伴い、電
子部品に対する小型化、高性能化、高信頼性化の要望が
ますます高まってきている。そのような情勢の中で、コ
ンデンサも同様に小型で大容量を有し、かつ高周波領域
でのインピーダンスの低いものが強く要求されている。

【０００３】高周波領域でインピーダンスが低いコンデ
ンサには、種々のセラミックスや高分子フィルムを誘電
体としたセラミックコンデンサやフィルムコンデンサな
どがあるが、高い静電容量を得るには、形状が大きくな
り、価格も高くなる。

【０００４】一方、アルミニウムの酸化皮膜を誘電体と
したアルミ電解コンデンサは、小型で大容量を有する
が、高周波領域におけるインピーダンスや誘電特性が前
記のセラミックコンデンサやフィルムコンデンサに比べ
劣る。そこで、高周波特性を改善するために、アルミ電
解コンデンサの駆動用電解液部分をそれよりも導電性の
高い二酸化マンガンやポリピロールなどの固体材料に置
き換えたアルミ固体電解コンデンサが開発されている。
しかし、いずれにしてもアルミ電解コンデンサは誘電体
の酸化皮膜に極性があるために、交流回路で使用するこ
とは困難である。

【０００５】さらに、エッチドアルミニウム箔表面上に
アルミニウムの酸化皮膜ではなく、電着法によりポリイ
ミド皮膜を形成させ、さらにその表面上に導電性高分子
を形成させた新しいタイプの小型・大容量フィルムコン
デンサの製造方法も提供されている（例えば、特開平４
−８７３１２号公報参照）。この発明は、誘電体である
ポリイミドの無極性、低誘電正接という長所を維持しつ
つ、静電容量の拡大を図ったものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記発明
においては、ポリイミド皮膜を形成させる際のポリアミ
ック酸塩溶液の溶媒に、ジメチルホルムアミドやメタノ
ールなどの有機溶剤を用いている。このような有機溶剤
を多量に含む電着液に電圧を印加するのは、安全性に問
題があり、なおかつ有機溶剤の人体への有害性も考慮が
必要である。さらに、水に比べてコストが高いという工
業的大量生産には、不向きである点も多い。

【０００７】そこで、本発明者らは、工業的に使用容易
な水系の電着液を用いて、代表的なポリカルボン酸系樹
脂であるポリアクリル酸樹脂誘電体を粗面化した導電体
電極表面上に形成し、その誘電体層表面上に対極を設け
たコンデンサおよびその製造方法を提案した（特開平９
−１１５７６７号公報参照）。

【０００８】そして、前記発明の方法で、アスペクト比
の大きい孔（孔径：１〜３μｍ、孔の長さ：３０〜５０
μｍ）を多数有するエッチドアルミニウム箔（厚さ：約
１００μｍ）の表面上に、ポリカルボン酸系樹脂を形成
し、コンデンサとしての特性の評価をこれまで種々行っ
てきた。その結果、漏れ電流が大きいという欠点を改善
しなければならないという課題が残されていた。

【０００９】樹脂外装する前の状態で試作コンデンサの
漏れ電流特性を多数測定した結果、漏れ電流は、乾燥不
十分であると大きくなり、乾燥を十分行うと小さくなる
ことがわかった。また、乾燥を十分行ったものでも、短
時間で水分が吸着し、漏れ電流が増大することがわかっ
た。

【００１０】上記のように微小な吸着水分によって漏れ
電流が大きくなるのは、誘電体表面に吸着した水分中の
水素イオン（Ｈ⁺）が電気伝導に関与しているものと考
えられる。また、高分子構造中の水素結合性の水素も、
電気伝導に関与し易いことが知られている。このような
水分の吸着能や水素イオン伝導には、電着膜の構造や性
質が大きく反映する。

【００１１】電着法では、溶液中の高分子をイオン化
（帯電）させ、電気泳動させることにより、導電体電極
表面上に膜を付着させる。そのためアニオン電着法で
は、溶液中でマイナスに帯電するカルボン酸基を少なく
とも一つは有するポリカルボン酸系樹脂を用いるのが一
般的である。電着法で形成したポリカルボン酸系樹脂誘
電体膜は、通常のフィルムコンデンサに用いられている
ポリプロピレンなどと比べると、水酸基やカルボン酸基
などの極性基を持つことから、イオン性が強く、なおか
つ水素結合性も強い。これらの極性基は、熱処理時の硬
化剤との架橋反応によりいくらかは減少させることは可
能であるが、それでも純粋なポリプロピレンと比べる
と、前記電着誘電体膜は水素結合性の水素を有し、なお
かつ水分も吸着させやすい。

【００１２】以上のようなことが、水素イオン伝導の寄
与を大きくし、これまで漏れ電流を大きくしていた主た
る原因であると考えられる。

【００１３】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、漏れ電流が小さく、無極性で小型で大容量を有する
新しいタイプのフィルムコンデンサおよびその製造方法
を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明のコンデンサは、粗面化または多孔化した導
電体電極表面上に電着法によって形成した高分子薄膜の
誘電体層を有し、前記誘電体層表面上に対極としての導
電体層を有するものであって、前記誘電体層は疎水性を
高めた疎水層を有することを特徴としている。

【００１５】また、粗面化した導電体電極は、エッチド
アルミニウム箔が好適である。誘電体層はポリカルボン
酸系樹脂であることも特徴としている。

【００１６】対極には、導電性高分子が好ましく、その
中でもポリピロールが好適である。さらに、カップリン
グ剤を用いて誘電体層の疎水性を高めることも特徴とし
ている。また、シリル化またはアルキル化反応で疎水性
を高めることも特徴としている。

【００１７】上記の目的を達成するために本発明のコン
デンサの製造方法は、高分子を含む溶液を電着液とし
て、粗面化または多孔化した導電体電極表面上に電着法
によって高分子薄膜の誘電体層を形成する工程と、前記
誘電体層を熱処理する工程と、その誘電体層の疎水性を
高める処理を施す工程と、さらに誘電体層の表面上に対
極として導電体層を形成する工程とを有することを特徴
としている。

【００１８】また、本発明のコンデンサの製造方法は、
疎水性を高める処理の際に生じる化学反応がシリル化ま
たはアルキル化反応であることを特徴としている。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、粗面化または多孔化した導電体電極表面上に電着法
によって形成した有機高分子薄膜の誘電体層を有し、前
記誘電体層表面上に対極としての導電体層を有すること
から、小型・大容量のコンデンサを実現する作用を有
し、さらに誘電体層に疎水性を高めた疎水層を有するこ
とから、水素イオン伝導に寄与する水素イオンの数が極
めて少なくなっている。

【００２０】請求項２に記載の発明は、粗面化した導電
体としてエッチドアルミニウム箔を用いることから、電
極の表面積が大きく容量拡大に適するという作用を有し
ている。

【００２１】請求項３に記載の発明は、誘電体としてポ
リカルボン酸系樹脂を用いることから、電気泳動電着法
によりエッチドアルミニウム箔などの複雑な表面形状を
有する導電体電極表面に追従した薄膜を効率的に形成で
きるという作用を有している。

【００２２】請求項４に記載の発明は、対極が導電性高
分子であることから、化学重合あるいは化学重合と電解
重合の併用により、容易に誘電体層の表面上に導電性の
高い導電体層を形成できる作用を有している。

【００２３】請求項５に記載の発明は、導電性高分子の
なかでもポリピロールを用いることにより導電率および
熱的安定性に優れるという作用を有している。

【００２４】請求項６に記載の発明は、カップリング剤
を用いて誘電体層の疎水性を高めた疎水層を有すること
から、誘電体中で水素イオン伝導に関与する活性な水素
イオンの数を低減する作用を有する。

【００２５】請求項７に記載の発明は、シリル化または
アルキル化反応で疎水性を高めた疎水層を有することか
ら、反応後、顕著に誘電体の疎水性が向上する作用を有
する。

【００２６】請求項８に記載の発明は、有機高分子を含
む溶液を電着液として、粗面化または多孔化した導電体
電極表面上に電着法によって有機高分子薄膜の誘電体層
を形成する工程と、前記誘電体層を熱処理する工程と、
その誘電体層の疎水性を高める処理を施す工程と、さら
に誘電体層の表面上に対極として導電体層を形成する工
程とを有することから、小さい漏れ電流と高い耐圧を示
す誘電体を確実に形成できる。

【００２７】請求項９に記載の発明は、疎水性を高める
処理がシリル化またはアルキル化反応であることから、
水素イオン伝導性の小さな誘電体を有するコンデンサを
製造できる作用を有する。

【００２８】（実施の形態１）以下、本発明の実施の形
態について、図面を参照しながら説明する。

【００２９】図１は本実施の形態で説明するコンデンサ
の断面の模式図、図２は本実施の形態のコンデンサの製
造方法を示すフローチャートである。

【００３０】まず、目的とするコンデンサの構成を図１
を用いて詳細に説明する。図中の１はエッチングにより
生じた細孔の平均孔径が２μｍで、表面積が約３０倍に
粗面化されたエッチドアルミニウム箔電極である。この
電極１の表面形状に追従させて誘電体であるポリカルボ
ン酸系樹脂からなる薄膜が電着法により形成してある。

【００３１】さらに、このポリカルボン酸系樹脂からな
る薄膜を、カップリング剤（図示せず）で処理すること
により、疎水層（図示せず）を有するポリカルボン酸系
樹脂薄膜２が形成される。この疎水層は、ポリカルボン
酸系樹脂からなる薄膜に存在する水素結合性の活性な水
素が疎水基で置換されて生じたものであり、ポリカルボ
ン酸系樹脂薄膜２の表面のみならず、膜内部にも存在し
ている。

【００３２】また、エッチドアルミニウム箔電極１の対
極には、導電性高分子の第１のポリピロール層３と第２
のポリピロール層４と集電するために付着させた集電体
層５で構成されている。６は電極間を絶縁するために付
着させたエポキシ樹脂である。そして、この図で示した
２つの電極にリード線を設けて、エポキシ樹脂で外装す
れば、本実施の形態の目的のコンデンサの構成となる。

【００３３】なお、ここでいうポリカルボン酸系樹脂と
は、高分子の主鎖や側鎖にカルボン酸基を少なくとも一
つ以上有するものを示している。例えば、ポリアクリル
酸、ポリメタクリル酸などのことである。もちろんこれ
らのものの共重合体や一部がエステル化したものも使用
可能であることはいうまでもない。好ましくは、メラミ
ンなどのアミノ樹脂系硬化剤が混合されて熱処理の際に
三次元架橋反応により絶縁性が向上するものが本目的に
は適している。そして、これらの中でも水溶性で作業性
にも優れ、なおかつアルミとの接着性および柔軟性にも
優れるポリアクリル酸樹脂が本目的には好適である。

【００３４】電気伝導には、荷電担体の違いにより、電
子伝導とイオン伝導があるが、漏れ電流が湿度に影響を
受けることから、本実施の形態のポリカルボン酸系樹脂
からなる薄膜中の電気伝導は、イオン伝導が主体的であ
ると考えられる。なお、この際のキャリアーイオンは、
水素イオン（Ｈ⁺）である。高分子の水素イオン伝導の
メカニズムは、古くから研究されており、水素結合性の
水素が多数存在すると、水素イオン伝導が起こり易くな
ることが知られている（例えば、Ｄ．Ａ．Ｓｅｎｏｒ，
ＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＰｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆ
Ｐｌｏｙｍｅｒｓ，ＡｃａｄｅｍｉｃＰｒｅｓｓ，Ｎ
ｅｗＹｏｒｋ，（１９８２）ｐｐ．４５−５５．）。

【００３５】よって、本発明では、このような電気伝導
に関与しやすい水素を、疎水基で置換することにより、
誘電体であるポリカルボン酸系樹脂薄膜２を形成し、水
素イオン伝導性を減少させることを目的とした。また、
誘電体表面への水分吸着を抑えることも目的とした。な
お、ここでいうカップリング反応によってポリカルボン
酸系樹脂からなる薄膜中の活性な水素と置換する疎水基
とは、アルキル基、シリル基、フッ化アルキル基などで
ある。

【００３６】なお、カップリング反応によってポリカル
ボン酸系樹脂からなる薄膜の活性な水素と置換する疎水
基は、上記のものに限定されるものではなく、置換する
疎水基に水素結合性の水素を含まないものならば、いず
れも効果を発揮する。

【００３７】例えば、疎水性を高める代表的な反応とし
てトリメチルシリル化反応が挙げられる。その反応は以
下の式で表せる。

【００３８】

【化１】

【００３９】上記の式のように、本発明を用いれば、電
気伝導に関与し易い水酸基やアミノ基の水素を選択的に
置換することができる。なお、上記のような樹脂中の活
性水素との反応に用いられるカップリング剤は、クロロ
トリメチルシランに限定されるものではなく、炭素数や
塩素数の異なる他のクロロアルキルシランやそれらのア
ルキル基の水素がフッ素で置換されたものでも良く、さ
らにそれらの珪素原子を炭素原子で置換したものであっ
ても良いことは言うまでもない。

【００４０】つぎに、上記構成のコンデンサの製造方法
の一例を図２を用いて以下に詳細に説明する。

【００４１】まず、ステップ１の電着液を合成する工程
を説明する。ポリカルボン酸を含む水溶液には、固形分
が１０重量％、イオン交換水８６重量％、ブチルセロソ
ルブ４重量％の割合で配合したエマルジョン溶液を使用
した。ここでいう固形分には、ポリアクリル酸とポリメ
タクリル酸の共重合体（分子量約２万）（主剤）とメラ
ミン樹脂（硬化剤）が７対３の重量比で混合されたもの
を用いた。また、前記固形分を液中に分散させる際に
は、アニオン電着法でよく行われるように、固形分中の
カルボン酸基の５０％をトリエチルアミンを適量加えて
中和し、分散性を高めた。

【００４２】次に、ステップ２で誘電体であるポリカル
ボン酸系樹脂からなる薄膜を電着する工程を説明する。

【００４３】まず、ステップ１で合成した電着液を直径
８０ｍｍの円筒型のステップ容器（陰極）に入れる。次
に、リード線を溶接で付けたエッチドアルミニウム箔電
極１を誘電体形成部（面積：１０ｍｍ×１０ｍｍ）とし
て、電着液に浸漬し陽極とした。

【００４４】次に、ステップ２で両電極間に、印加電圧
４０Ｖ（一定）で、１０分間通電することにより、エッ
チドアルミニウム箔電極１表面に第１の誘電体であるポ
リカルボン酸系樹脂からなる薄膜を形成させた。

【００４５】なお、ステップ２で印加電圧の大きさ、電
着時間の長さ、電着回数などを変えることにより、ポリ
カルボン酸系樹脂からなる薄膜の膜厚を調節できること
は言うまでもない。

【００４６】次に、ステップ３で、ステップ２において
誘電体層を形成した試料を水洗した後、８０℃で２０分
間乾燥し、１８０℃で３０分熱処理することにより、メ
ラミン樹脂とポリカルボン酸系樹脂とを硬化反応させ
た。

【００４７】次に、ステップ４で、ステップ３で形成し
た素子を、１重量％クロロトリメチルシランのヘキサン
溶液に室温で５時間浸漬することにより、トリメチルシ
リル化反応させ、活性水素をトリメチルシリル基で置換
することにより疎水層を有するポリカルボン酸系樹脂薄
膜２を形成した。その後、数回ヘキサン、アセトンで繰
り返し洗浄し、乾燥させた。なお、このトリメチルシリ
ル化反応の際に（化１）の式からもわかるように、微量
の塩酸が生じるが、反応後即座に数回ヘキサン、アセト
ンで繰り返し洗浄することにより特性への悪影響が出な
いようにした。

【００４８】また、ステップ４ではクロロトリメチルシ
ランをカップリング剤として用いたが、炭素数の異なる

【００４９】

【化２】

【００５０】や、化２の式の珪素を炭素で置き換えた

【００５１】

【化３】

【００５２】のようなものでも本発明の目的に適合する
カップリング剤になることは言うまで

【００５３】もない。また、（化２）（化３）の水素原
子の少なくとも一つ以上をフッ素原子に置き換えたもの
でも効果を発揮することは言うまでもない。

【００５４】次に、ステップ５で、その素子を１．０ｍ
ｏｌ／ｌの円筒型ステンレス容器ピロールのエタノール
溶液と１．０ｍｏｌ／ｌの過硫酸アンモニウム水溶液に
交互に２分間づづ浸漬する操作を３回繰り返してポリピ
ロールの化学酸化重合膜である第１のポリピロール層３
を形成させた。

【００５５】つづいて、ステップ６で、第１のポリピロ
ール層３が形成された素子を、円筒型のステンレス容器
に入れたピロール１部、４０重量％ブチルナフタレンス
ルホン酸ナトリウム水溶液１部、蒸留水４０部を混合し
た溶液に浸漬して陽極とし、円筒型のステンレス容器を
陰極として、両者の電極間に電流密度２．５ｍＡ／ｃｍ
²の一定電流で３０分間電解重合して第２のポリピロー
ル層４を形成した。

【００５６】次に、ステップ７で、この素子をコロイダ
ルカーボンや銀塗料などの導電材料を塗布することによ
り集電体層５を形成する。これにより、集電体層５によ
り集電された第１のポリピロール層３、第２のポリピロ
ール層４からなる対極を形成させる。ここにリード線を
はんだで付けて対極を完成させた。

【００５７】さらに、ステップ８で、エポキシ樹脂（図
示せず）で外装することにより本実施の形態のコンデン
サを完成した。

【００５８】（実施の形態２）次に、本発明のコンデン
サの製造方法の第２例を説明する。

【００５９】実施の形態２では、実施の形態１のステッ
プ４以外は、実施の形態１と同様な方法でコンデンサを
作製した。

【００６０】以下に、実施の形態２におけるポリカルボ
ン酸系樹脂からなる薄膜の疎水性を高める工程（ステッ
プ４）を説明する。

【００６１】まず、ステップ３で作製した素子を１０Ｔ
ｏｒｒ程度に減圧にしたフラスコ内に入れる。そして、
２０重量％トリメチルシランのヘキサン溶液の蒸気を、
そのフラスコ内の圧力が３００Ｔｏｒｒになるまで導入
して、３０分放置する。このようにすると、気相反応に
より、ポリカルボン酸系樹脂からなる薄膜中の活性水素
がトリメチルシリル基と置換反応され疎水性が向上す
る。

【００６２】すなわち、疎水層を有するポリカルボン酸
系樹脂薄膜２を形成する。（性能検討１）本実施の形態で得られたコンデンサの電
気特性のデータを比較例のデータと併せて表１に示す。

【００６３】

【表１】

【００６４】比較例は、実施の形態１および２のステッ
プ４の誘電体の疎水性を高める処理を行わなかったこと
以外は同様な方法で作製したコンデンサのデータであ
る。表１から明らかなように、本実施の形態１および２
によるコンデンサは、水素イオン伝導に関与する活性な
水素を疎水基で置換したことにより、誘電正接、漏れ電
流が比較例よりも小さい。

【００６５】

【発明の効果】以上のように本発明によるコンデンサ
は、粗面化または多孔化した導電体電極表面上に電着法
によって形成した高分子薄膜の誘電体層を有し、前記誘
電体層表面上に対極としての導電体層を有し、さらに誘
電体層に疎水性を高めた疎水層を設けたことにより、小
型で大容量で、しかも漏れ電流値が低くなる効果があ
る。

【００６６】また、粗面化した導電体としてエッチドア
ルミニウム箔を用いることにより、電極の表面積が大き
くなり、コンデンサの静電容量の拡大を容易にすること
ができる。

【００６７】また、誘電体としてポリカルボン酸系樹脂
を用いることから、電気泳動電着法によりエッチドアル
ミニウム箔などの複雑な表面形状を有する導電体電極表
面に追従した薄膜を形成でき、小型・大容量でなおかつ
耐熱性に優れたコンデンサを実現できる効果を有する。

【００６８】また、対極が導電性高分子であることか
ら、化学重合あるいは化学重合と電解重合の併用により
容易に誘電体層の表面上に導電性の高い導電体層を形成
でき、小さい等価直列抵抗のコンデンサを実現できる。

【００６９】また、導電性高分子のなかでもポリピロー
ルを用いることにより導電率、および熱的安定性に優
れ、耐熱性、周波数特性の優れたコンデンサを実現する
ことができる。

【００７０】また、カップリング剤を用いて誘電体層の
疎水性を高めた疎水層を有し、水素イオン伝導に関与す
る水素結合性の活性な水素の数を低減することにより、
コンデンサの漏れ電流を減少させる効果を有する。

【００７１】また、シリル化またはアルキル化反応で疎
水性を高めた疎水層を有することから、誘電体の水素イ
オン伝導を減少させ、著しく漏れ電流を減少させる効果
を発揮する。

【００７２】また、高分子を含む溶液を電着液として、
粗面化または多孔化した導電体電極表面上に電着法によ
って有機高分子薄膜の誘電体層を形成する工程と、前記
誘電体層を熱処理する工程と、その誘電体層の疎水性を
高める処理を施す工程と、さらに誘電体層の表面上に対
極として導電体層を形成する工程とを有することから、
小さい漏れ電流特性を有する誘電体を確実に形成でき、
優れた小型・大容量コンデンサの製造を実現できる。

【００７３】また、疎水性を高める処理がシリル化また
はアルキル化反応であることから、漏れ電流の小さなコ
ンデンサを製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態のコンデンサの断面の模式
図

【図２】同実施の形態のコンデンサの製造方法のフロー
図

【符号の説明】

１エッチドアルミニウム箔電極２ポリカルボン酸系樹脂薄膜（誘電体）３第１のポリピロール層４第２のポリピロール層５集電体層６エポキシ樹脂（絶縁用）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】粗面化または多孔化した導電体電極表面
上に電着法によって形成した高分子薄膜の誘電体層を有
し、前記誘電体層表面上に対極としての導電体層を有す
るものであって、前記誘電体層は疎水性を高めた疎水層
を有することを特徴としたコンデンサ。
【請求項２】粗面化した導電体電極がエッチドアルミ
ニウム箔であることを特徴とする請求項１記載のコンデ
ンサ。
【請求項３】誘電体層がポリカルボン酸系樹脂である
ことを特徴とする請求項１記載のコンデンサ。
【請求項４】対極が導電性高分子であることを特徴と
する請求項１記載のコンデンサ。
【請求項５】導電性高分子がポリピロールであること
を特徴とする請求項４記載のコンデンサ。
【請求項６】カップリング剤を用いて誘電体層の疎水
性を高めた疎水層を有することを特徴とする請求項１記
載のコンデンサ。
【請求項７】シリル化またはアルキル化反応で疎水性
を高めた疎水層を有することを特徴とする請求項１記載
のコンデンサ。
【請求項８】高分子を含む溶液を電着液として、粗面
化または多孔化した導電体電極表面上に電着法によって
高分子薄膜の誘電体層を形成する工程と、前記誘電体層
を熱処理する工程と、その誘電体層の疎水性を高める処
理を施す工程と、さらに誘電体層の表面上に対極として
導電体層を形成する工程とを有することを特徴とするコ
ンデンサの製造方法。
【請求項９】疎水性を高める処理がシリル化またはア
ルキル化反応であることを特徴とする請求項８記載のコ
ンデンサの製造方法。