JPH11233998A - 基板位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板の大きさに関係なく確実に基板を一対の
ガイドレールに密着状態に位置決めできる基板位置決め
装置を提供する。 【解決手段】 一対のガイドレール１の下方に水平に配
設され前記一対のガイドレール１の内面側に上下動可能
な一対の押圧部材５の下端に当接して前記一対の押圧部
材５を上昇させる昇降プレート９と、昇降プレート９の
上面に垂直に立設され前記基板３の両側端以外の下面を
支持する複数の押付けピン１５と、昇降プレート９の下
部の複数箇所を支持し回転力により昇降プレート９を昇
降させる複数の昇降機構１７と、各昇降機構１７に回転
力を付与する駆動部４５と、駆動部４５からの回転力を
前記各々の昇降機構１７に同時に伝達する回転力伝達機
構２９とにより基板位置決め装置７が構成され、複数の
昇降機構１７が昇降プレート９を昇降する機能と昇降ガ
イドの機能を兼ね備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＩＣなどの
電子部品が装着される基板を一対のガイドレールの所定
位置に密着状態に位置決めする基板位置決め装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来において、水平で前後左右方向に移
動するＸーＹテーブル上に、所定の間隔を保って互いに
平行に一対のガイドレールが配置され、このガイドレー
ルの所定位置まで移動機構により基板が搬送される。そ
して、ＩＣなどの電子部品を基板に装着するために、搬
送されてきた基板を一対のガイドレールの所定位置に密
着状態で基板位置決め装置により位置決めが行なわれ、
基板位置決め装置は、例えば、特許第２５６５１８１号
などで公知である。

【０００３】このような基板位置決め装置６１は、図８
および図９に示すように、所定の大きさの矩形状に形成
されて基台６５の上方に水平に配設された昇降プレート
６３を備える。基台６５はＸーＹテーブル上に固設さ
れ、昇降プレート６３の中央部の下面には、基台６５に
固設されたエアシリンダ６７のロッド６７ａの先端部が
固着され、エアシリンダ６７のロッド６７ａの伸縮によ
り昇降プレート６３が水平な状態を保って上下動され
る。昇降プレート６３の上面には複数の押付けピン６９
が垂直に立設され、これらの押付けピン６９は同じ長さ
に形成され、これらの押付けピン６９により基板７１が
水平に支持される。昇降プレート６３の四隅の下面には
垂直な昇降ガイド７３が設置され、各々の昇降ガイド７
３は垂直に設けられたガイドピン７５を備え、このガイ
ドピン７５の先端が昇降プレート６３に固着され、ガイ
ドピン７５が基台６５に固定されたガイド筒７７に上下
移動可能に支持されている。

【０００４】また、一対のガイドレール７９は、互いに
平行して対向する側面部７９Ａと、側面部７９Ａの上端
から互いに近づく方向に突出する上面部７９Ｂとで断面
がＬ字状に形成され、不図示の移動機構により一対のガ
イドレール７９を介して基板７１の両側端が側面部７９
Ａの内側で案内されつつ搬送され、基板７１の両側端
は、図１０に示すように、一対のガイドレール７９の側
面部７９Ａの内面に上下動可能に設けられた一対の押圧
部材８１の上端に支持されている。この状態で、エアシ
リンダ６７を駆動してロッド６７ａを伸長させると、昇
降プレート６３が上昇し、更に上昇すると、図１１およ
び図１２に示すように、一対の押圧部材８１および押付
けピン６９により基板７１の下面が支持されて、昇降プ
レート６３の上昇に伴って基板７１が上昇し、一対の押
圧部材８１により基板７１が一対のガイドレール７９の
上面部７９Ｂの下面に押圧されて密着状態に一対のガイ
ドレール７９に位置決めされる。この場合、昇降プレー
ト６３の上昇に伴って、昇降プレート６３の四隅の各々
の昇降ガイド７３のガイドピン７５がガイド筒７７に支
持された状態で上昇するため、昇降プレート６３が水平
に保持された状態が維持され、これにより、図１１およ
び図１２に示すように、両側端の押圧部材８１による基
板７１の押付けが確実となり、基板７１の全体を一対の
ガイドレール７９に密着状態で位置決めされる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述したよ
うな従来の基板位置決め装置において、昇降プレートに
対して幅および長さが小さな基板を位置決めする際に
は、以下のような不具合が生じてしまう問題があった。
すなわち、小さな基板に電子部品を装着するには、図１
３の矢印で示すように、一対のガイドレール７９を移動
して小さな基板７１の幅に合わせ、基板７１が一対のガ
イドレール７９により搬送され、一対のガイドレール７
９の内面側に上下動可能に設けられた一対の押圧部材８
１の上端に基板７１が支持されている。この状態で、エ
アシリンダ６７により昇降プレート６３を上昇させて一
対の押圧部材８１により基板７１を一対のガイドレール
７９に向けて押圧すると、基板７１が小さいことから、
密着させようとする基板７１の下方にエアシリンダ６７
が位置しなくなるため、図１４および図１５に示すよう
に、基板７１が存在しない昇降プレート６３の箇所が矢
印で示すように上昇して、昇降プレート６３が傾いてし
まい、基板７１の正確な位置決めができなくなり、部品
装着の精度が悪化するという問題が生ずる。これを防止
するためには、昇降プレート６３の四隅に設置された昇
降ガイド７３を剛性の高い構造に形成することもできる
が、コストが嵩むとともに、基板７１のサイズが大きく
なるに伴って昇降プレート６３も大型化し、昇降ガイド
７３を更に剛性の高いものにする必要がある。

【０００６】そこで、本発明は、昇降プレートを昇降す
る昇降機構に昇降プレートを水平に維持する機能と昇降
プレートを昇降させる機能の双方を付与することによ
り、基板の大きさに関係なく確実に基板を一対のガイド
レールに密着状態に位置決めできる基板位置決め装置を
提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の基板位置決め装
置は、互いに平行して対向する側面部と、側面部の上端
から互いに近づく方向に突出する上面部とからなるガイ
ドレールが前記上面部を水平にして一対設けられ、この
一対のガイドレールにより、両側面部の間で上面部の下
方において当該ガイドレールの所定位置まで搬送されて
電子部品が装着される基板のガイドレール側に位置する
両側端を、前記一対のガイドレールの側面部の内面で上
下移動可能に設けられた押圧部材を介して前記一対のガ
イドレールの上面部に向けて上昇させることにより、前
記基板を一対のガイドレールの上面部の下面に押圧して
位置決めする基板位置決め装置において、前記一対のガ
イドレールの下方に水平に配設され前記一対の押圧部材
の下端に当接して前記一対の押圧部材を上昇させる昇降
プレートと、前記昇降プレートの上面に垂直に立設され
前記基板の両側端以外の下面を支持する複数の押付けピ
ンと、前記昇降プレートの下部の複数箇所を支持し回転
力により前記昇降プレートを昇降させる複数の昇降機構
と、前記昇降機構に回転力を付与する駆動部と、前記駆
動部からの回転力を前記各々の昇降機構に同時に伝達す
る回転力伝達機構とを備えたことを特徴とする。

【０００８】本発明では、一対のガイドレールにより搬
送されてきた基板の両側端は、一対のガイドレールの側
面部の内面に上下動可能に設けられた一対の押圧部材の
上端に支持されている。駆動部を駆動すると、回転力伝
達機構により回転力が昇降機構により伝達され、昇降プ
レートおよび押付けピンが上昇して各押付けピンの先端
が基板の下面に当接するとともに、基板の両側端を支持
している押圧部材の下端が昇降プレートに当接する。更
に昇降プレートが上昇すると、一対の押圧部材および複
数の押付けピンにより基板の下面が支持され基板が上昇
して、基板の両側端が一対の押圧部材により一対のガイ
ドレールの上面部の下面に押圧されて密着状態に一対の
ガイドレールに位置決めされ、この状態で、基板に電子
部品の装着が行なわれる。

【０００９】したがって、複数の昇降機構が昇降プレー
トを昇降するとともに、昇降機構が従来の昇降ガイドの
機能を果すので、昇降プレートが水平に維持された状態
で昇降され、これにより、小さな基板を一対の押圧部材
によりガイドレールに押圧する際にも昇降プレートが傾
くことがなくなり、基板の全体を一対のガイドレールに
密着状態で位置決めすることが可能となる。また、複数
の昇降機構が昇降プレートを昇降させる機能と従来の昇
降ガイドの機能を果すため、特に大きな基板の場合でも
別に高剛性の昇降ガイドを設けることなく、大きな基板
の位置決めを確実に行うことが可能となる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。尚、図１は基板位置決め装置を
示す平面図、図２は基板位置決め装置を示す正面図、図
３は空圧回路図、図４および図５は基板位置決め装置の
動作を説明する概略正面図である。

【００１１】図１〜図５において、１は一対のガイドレ
ール、３は基板、５は一対の押圧部材、７は基板位置決
め装置を示す。前後左右方向に移動するＸーＹテーブル
上に基台２７が固着され、ガイドレール１は基台２７の
上方で、互いに平行し左右方向に水平に延在して一対配
置され、互いの間隔を任意にセットできるようになって
いる。ガイドレール１は互いに対向する側面部１Ａと、
側面部１Ａの上端から互いに近づく方向に突出する上面
部１Ｂとから断面がＬ字状に形成されている。また、押
圧部材５は、図５に示すように、一対のガイドレール１
の側面部１Ａの内面に上下動可能に設けられ、一対のガ
イドレール１により側面部１Ａの間で、かつ上面部１Ｂ
の下方で搬送されてきた基板３の両側端を各上端で支持
している。

【００１２】基板位置決め装置７は、図１〜図３に示す
ように、所定の幅および長さの長方形の外形に形成され
て水平に配設された昇降プレート９を備えている。この
昇降プレート９は、図１に示すように、正面から見て、
左右の両側および後方側の奥部を残すように、平面形状
で正面から内部に切欠かれた逆Ｕ字状に形成され、軽量
構造となっている。また、昇降プレート９の上面で上記
ガイドレール１の延在方向における両側部には、四角い
棒状の固定部材１１がガイドレール１の延在方向と直交
する方向に延在して固着され、これらの固定部材１１の
上面に上記一対の押圧部材５の下端が当接する。また、
上記両側の固定部材１１に挟まれるように昇降プレート
９の上面に取付けプレート１３が設置され、取付けプレ
ート１３の上面には基板３の両側端を除く下面を先端で
水平に支持する複数の押付けピン１５が上方に向け垂直
に突設されている。

【００１３】昇降プレート９は、手前の両隅と奥部の中
央部の３箇所が昇降機構１７を介して基台２７上に水平
に昇降可能に支持され、これらの昇降機構１７は昇降プ
レート９の周方向に互いにほぼ等間隔に配設されてい
る。各々の昇降機構１７はボールネジ１９により構成さ
れており、ボールネジ１９は、図２に示すように、右回
りにネジが設けられたボールネジ軸１９ａと、このボー
ルネジ軸１９ａに螺合するボールネジナット１９ｂとに
より構成されている。ボールネジ１９のボールネジナッ
ト１９ｂは、図２に示すように、筒状の取付けハウジン
グ２１を介して水平に昇降プレート９の下部に取付けら
れている。

【００１４】また、ボールネジ１９を取付ける３つの取
付けハウジング２１のうち、１つの取付けハウジング２
１はその先端面が昇降プレート９に設けられた孔２３ａ
を介してボルトにより固着され、他の２つの取付けハウ
ジング２１の先端面が昇降プレート９に設けられた長穴
２３ｂを介してボルトにより固着されており、上記２つ
の取付けハウジング２１が長穴２３ｂにより後述するタ
イミングベルト３３の張力を調整できるようになってい
る。上記ボールネジナット１９ｂにはボールネジ軸１９
ａが螺合されてボールネジ軸１９ａが垂直に配設され、
ボールネジ軸１９ａの下端部はボールベアリング２５を
介して基台２７に回転自在に支持されている。

【００１５】さらに、上記３つの昇降機構１７の各ボー
ルネジ軸１９ａに回転力を伝達する回転力伝達機構２９
が基台上に設けられており、この回転力伝達機構２９
は、図２に示すように、ボールネジ軸１９ａのボールネ
ジナット１９ｂとボールベアリング２５との間に軸着さ
れたプーリ３１と、輪状に形成されたタイミングベルト
３３と、テンションリール３５と、ブロック３７により
構成されている。すなわち、各々の昇降機構１７のボー
ルネジ軸１９ａの各プーリ３１にタイミングベルト３３
が掛け渡され、タイミングベルト３３の途中にテンショ
ンリール３５が介装され、これによりタイミングベルト
３３に張力を付与するようになっている。上記テンショ
ンリール３５は長穴３５ａを介してボルトにより基台２
７に固着され、長穴３５ａによりテンションリール３５
を僅かに移動することによりタイミングベルト３３の張
力の調節ができるようになっている。

【００１６】さらに、上記昇降プレート９の正面の両側
に設けられたボールネジ１９の間に位置するタイミング
ベルト３３の中央部分にボルトにより長方形に形成され
たブロック３７が取付けられている。このブロック３７
は、上記正面に位置するタイミングベルト３３に平行に
基台２７上に固着されたガイド板３９上に設置され、タ
イミングベルト３３に沿って移動することができる。ま
た、上記ガイド板３９の先端部および基端部には、上記
ブロック３７に当接して衝撃をやわらげるショックアブ
ソーバ４１、４３が設けられている。

【００１７】上記ブロック３７には、タイミングベルト
３３を回動する駆動部であるエアシリンダ４５のロッド
４５ａが連結されている。エアシリンダ４５はそのロッ
ド４５ａが上記正面のタイミングベルト３３に沿うよう
に基台２７上に固設されており、エアシリンダ４５のロ
ッド４５ａの伸縮によりブロック３７を介してタイミン
グベルト３３が移動して各昇降機構１７のボールネジ１
９の各プーリ３１を介してボールネジ軸１９ａを回動
し、これによりボールネジナット１９ｂおよび取付けハ
ウジング２１を介して昇降プレート９および取付けプレ
ート１３を昇降できるようになっている。

【００１８】また、上記エアシリンダ４５は図３に示す
ような空圧回路に接続されている。すなわち、エアシリ
ンダ４５の各ポートにはスピードコントローラ４７を介
してエアシリンダ４５のロッド４５ａの伸長と縮小とを
切換える電磁弁５１に連結され、電磁弁５１にはレギュ
レータ５３を介して空気ポンプ５５に連結されている。
そして、空気ポンプ５５の駆動によりレギュレータ５
３、電磁弁５１およびスピードコントローラ４７を介し
てエアシリンダ４５に圧縮空気が送給され、電磁弁５１
の切換えにより、エアシリンダ４５のロッド４５ａの伸
縮が行なわれる。

【００１９】次に、上記構成の基板位置決め装置７によ
り基板３を位置決めする場合について説明する。不図示
の移動機構により一対のガイドレール１に沿って搬送さ
れてきた基板３の両側端は、図４に示すように、一対の
ガイドレール１の側面部１Ａの内面に上下動可能に設け
られた一対の押圧部材５の上端に支持されている。

【００２０】そこで、電磁弁５１をエアシリンダ４５の
ロッド４５ａが伸長するように切換えておき、空気ポン
プ５５を駆動すると、エアシリンダ４５のロッド４５ａ
が伸長してブロック３７が図１中のａ方向に移動する。
これに伴って、タイミングベルト３３が図１中の時計方
向に移動し、各々の昇降機構１７のボールネジ軸１９ａ
に軸着された各プーリ３１を介して各々のボールネジ軸
１９ａが図５の矢印で示す時計方向に回転する。各ボー
ルネジ軸１９ａの回転により、ボールネジ軸１９ａにそ
れぞれ螺着されたボールネジナット１９ｂおよび取付け
ハウジング２１が上方に移動し、これと同時に昇降プレ
ート９および押付けピン１５が上昇して各押付けピン１
５の先端が基板３の下面に当接するとともに、基板３の
両側端を支持している押圧部材５の下端が昇降プレート
９に固着された固定部材１１に当接する。昇降プレート
９が更に上昇すると、一対の押圧部材５および複数の押
付けピン１５により基板３が支持されて、昇降プレート
９の上昇に伴って基板３が側面部１Ａの間で上昇し、図
５に示すように、両側端の一対の押圧部材５により基板
３が一対のガイドレール１の上面部１Ｂの下面に押圧さ
れて密着状態に一対のガイドレール１に位置決めされ
る。そして、ブロック３７が最先端まで移動した際に
は、ショックアブソーバ４１に衝突してそれ以上タイミ
ングベルト３３の移動が行なわれない。

【００２１】この場合、昇降プレート９を昇降する複数
の昇降機構１７のボールネジ軸１９ａおよびボールネジ
ナット１９ｂが従来の昇降ガイドの機能を果すため、昇
降プレート９が水平に維持された状態で昇降され、これ
により、面積の小さな基板３を一対の押圧部材５により
ガイドレール１に押圧する際に昇降プレート９が傾くこ
とがなくなり、基板３の全体を一対のガイドレール１に
密着状態で位置決めすることが可能となる。また、複数
の昇降機構１７が昇降プレート９を昇降させる機能と従
来の昇降ガイドの機能を果すため、特に大きな基板３の
場合でも別に高剛性の昇降ガイドを設けることなく、大
きな基板３の位置決めを確実に行うことが可能となる。

【００２２】基板３を位置決めして基板３に電子部品が
装着されると、空気ポンプ５５を停止して電磁弁５１を
切換え、その後、空気ポンプ５５を駆動することによ
り、エアシリンダ４５のロッド４５ａが伸縮してブロッ
ク３７が移動し、タイミングベルト３３が図１中の矢印
ｂ方向に移動する。これに伴って、各々のプーリ３１を
介してボールネジ軸１９ａが反時計方向に回転し、これ
によりボールネジナット１９ｂおよび取付けハウジング
２１が下方に移動し、同時に昇降プレート９および押付
けピン１５が下降する。上記ブロック３７が最基端まで
移動すると、ショックアブソーバ４３に衝突して、それ
ぞれ以上のロッド４５ａの縮小が行なわれない。

【００２３】このように本基板位置決め装置７において
は、昇降プレート９の下部の３箇所にほぼ等間隔で配設
された昇降機構１７により昇降プレート９を昇降すると
ともに、複数の昇降機構１７が従来の昇降ガイドの機能
を果すため、小さな基板３をガイドレール１に押圧する
際に昇降プレート９が傾くことがなくなり、小さな基板
３の位置決めを正確に行うことが可能となる。また、複
数の昇降機構１７が昇降プレート９を昇降させる機能と
従来の昇降ガイドの機能を果すため、特に大きな基板３
の場合でも別に高剛性の昇降ガイドを設けることなく、
大きな基板３の位置決めを確実に行うことが可能とな
る。

【００２４】次に、本発明の他の実施の形態を図面に基
づいて説明する。尚、図６は基板位置決め装置を示す平
面図、図７は基板位置決め装置を示す正面図である。本
実施の形態の基板位置決め装置７では、図６および図７
に示すように、昇降プレート９の下部の四隅にボールネ
ジ１９からなる昇降機構１７を配設し、大型の基板３に
対応できるようにしたものである。本実施の形態の基板
位置決め装置７でも、上記実施の形態と同様に昇降プレ
ート９が逆Ｕ字状に形成されており、ボールネジ１９、
ブロック３７、エアシリンダ４５および空圧回路が上記
同様に構成されている。そして、上記同様に、複数の昇
降機構１７により昇降プレート９が昇降されるため、小
さな基板３をガイドレール１に押圧する際に昇降プレー
ト９が傾くことがなくなり、小さな基板３の位置決めを
正確に行うことが可能となるとともに、複数の昇降機構
１７が昇降プレート９を昇降させる機能と従来の昇降ガ
イドの機能を果すため、特に大きな基板３の場合でも別
に高剛性の昇降ガイドを設けることなく、大きな基板３
の位置決めを確実に行うことが可能となる。

【００２５】尚、昇降機構１７として、ボールネジナッ
ト１９ｂとボールネジナット１９ｂからなるボールネジ
１９により構成したが、これに限らず、回転力により昇
降プレート９を昇降させる機構であれば、適用すること
ができる。また、回転力伝達機構２９として、各々のボ
ールネジ軸１９ａに軸着されたプーリ３１と、こられの
プーリ３１に掛け渡されたタイミングベルト３３と、タ
イミングベルト３３および駆動部に連結されたブロック
３７とにより構成したが、これに限らず、各々のボール
ネジ軸１９ａに軸着されるスプロケットと、これらのス
プロケットに掛け渡されたチェーンと、チェーンおよび
駆動部に連結されたブロック３７とにより構成してもよ
い。さらに、駆動部として、ブロック３７にロッド４５
ａを連結したエアシリンダ４５により構成したが、これ
に限らず、駆動部をモータにより構成し、モータの回転
軸を歯車機構を介してブロック３７に伝達するようにし
てもよく、同様な効果を得ることができる。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
昇降プレートの下部の複数箇所にほぼ等間隔で配設され
た昇降機構により昇降プレートを昇降するとともに、複
数の昇降機構が従来の昇降ガイドの機能を果すため、小
さな基板をガイドレールに押圧する際に昇降プレートが
傾くことがなくなり、小さな基板の位置決めを正確に行
うことが可能となる。また、複数の昇降機構が昇降プレ
ートを昇降させる機能と従来の昇降ガイドの機能を果す
ため、特に大きな基板の場合でも別に高剛性の昇降ガイ
ドを設けることなく、大きな基板の位置決めを確実に行
うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の一例に係る基板位置決め
装置を示す平面図である。

【図２】本発明の実施の形態の一例に係る基板位置決め
装置を示す正面図である。

【図３】本発明の実施の形態の一例に係る油圧回路を示
す図である。

【図４】本発明の実施の形態の一例に係り、基板位置決
め装置の動作を説明する概略正面図である。

【図５】本発明の実施の形態の一例に係り、基板位置決
め装置の動作を説明する概略正面図である。

【図６】本発明の実施の形態の他の例に係る基板位置決
め装置を示す平面図である。

【図７】本発明の実施の形態の他の例に係る基板位置決
め装置を示す正面図である。

【図８】従来例に係り、基板位置決め装置を示す平面図
である。

【図９】従来例に係り、基板位置決め装置を示す正面図
である。

【図１０】従来例に係り、基板位置決め装置の動作を説
明する概略正面図である。

【図１１】従来例に係り、基板位置決め装置の動作を説
明する概略正面図である。

【図１２】従来例に係り、基板位置決め装置の動作を説
明する概略側面図である。

【図１３】従来例に係り、小さな基板を位置決めする基
板位置決め装置の動作を説明する概略正面図である。

【図１４】従来例に係り、小さな基板を位置決めする基
板位置決め装置の動作を説明する概略正面図である。

【図１５】従来例に係り、小さな基板を位置決めする基
板位置決め装置の動作を説明する概略側面図である。

【符号の説明】

１……ガイドレール、３……基板、５……押圧部材、７
……基板位置決め装置、９……昇降プレート、１５……
押付けピン、１７……昇降機構、１９……ボールネジ、
１９ａ……ボールネジ軸、１９ｂ……ボールネジナッ
ト、２７……基台、２９……回転力伝達機構、３１……
プーリ、３３……タイミングベルト、３７……ブロッ
ク、４５……駆動部（エアシリンダ）、４５ａ……ロッ
ド。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに平行して対向する側面部と、側面
   部の上端から互いに近づく方向に突出する上面部とから
   なるガイドレールが前記上面部を水平にして一対設けら
   れ、この一対のガイドレールにより、両側面部の間で上
   面部の下方において当該ガイドレールの所定位置まで搬
   送されて電子部品が装着される基板のガイドレール側に
   位置する両側端を、前記一対のガイドレールの側面部の
   内面で上下移動可能に設けられた押圧部材を介して前記
   一対のガイドレールの上面部に向けて上昇させることに
   より、前記基板を一対のガイドレールの上面部の下面に
   押圧して位置決めする基板位置決め装置において、 前記一対のガイドレールの下方に水平に配設され前記一
   対の押圧部材の下端に当接して前記一対の押圧部材を上
   昇させる昇降プレートと、 前記昇降プレートの上面に垂直に立設され前記基板の両
   側端以外の下面を支持する複数の押付けピンと、 前記昇降プレートの下部の複数箇所を支持し回転力によ
   り前記昇降プレートを昇降させる複数の昇降機構と、 前記昇降機構に回転力を付与する駆動部と、 前記駆動部からの回転力を前記各々の昇降機構に同時に
   伝達する回転力伝達機構と、 を備えたことを特徴とする基板位置決め装置。
2. 【請求項２】 前記昇降機構が、前記昇降プレートの下
   部に、互いにほぼ等間隔をあけた３箇所に設けられたこ
   とを特徴とする請求項１記載の基板位置決め装置。
3. 【請求項３】 前記昇降機構が、前記昇降プレートの下
   部の四隅に設けられたことを特徴とする請求項１記載の
   基板位置決め装置。
4. 【請求項４】 前記昇降機構が、前記昇降プレートの下
   部に水平に固定されたボールネジナットと、前記ボール
   ネジナットに螺合して下端部が基台に回転自在に支持さ
   れ回転により前記ボールネジナットおよび昇降プレート
   を昇降させるボールネジ軸とからなるボールネジにより
   構成されたことを特徴とする請求項１記載の基板位置決
   め装置。
5. 【請求項５】 前記回転力伝達機構が、前記各々のボー
   ルネジのボールネジ軸に軸着されたプーリと、これらの
   プーリに掛け渡されたタイミングベルトと、このタイミ
   ングベルトおよび前記駆動部に連結されたブロックとに
   より構成されたことを特徴とする請求項４記載の基板位
   置決め装置。
6. 【請求項６】 前記回転力伝達機構が、前記複数のボー
   ルネジのボールネジ軸に軸着されたスプロケットと、こ
   れらのスプロケットに掛け渡されたチェーンと、このチ
   ェーンおよび前記駆動部に連結されたブロックとにより
   構成されたことを特徴とする請求項４記載の基板位置決
   め装置。
7. 【請求項７】 前記駆動部が、前記ブロックにロッドを
   連結したエアシリンダにより構成されたことを特徴とす
   る請求項６記載の基板位置決め装置。
8. 【請求項８】 前記駆動部が、モータにより構成され、
   このモータの回転軸が歯車機構を介して前記ブロックに
   連結されたことを特徴とする請求項６記載の基板位置決
   め装置。