JPH11235647A - 自動搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】最小限のスペースで各加工設備から最も近い位
置にストッカを配置して高効率の搬送を可能とした自動
搬送システムを提供する。 【解決手段】複数の加工設備１〜８を所定の順序で折り
返しライン状に配列し、前記折り返しライン状配列の中
央通路から前記加工設備１〜８に対して被加工物を搬入
すると共に、加工済の被加工物を次段の加工設備に搬送
する自動搬送システムにおいて、前記中央通路に前記複
数の加工設備１〜８の配列ラインに沿って前記被加工物
を一時的に退避させるためのストッカ９、１０と、前記
加工設備１〜８と前記ストッカ９、１０の間に前記加工
設備１〜８の配列方向に対して順方向および逆方向に移
動して、前記加工設備１〜８と前記ストッカ９、１０の
間で前記被加工物を受け渡すための搬送移載機１５、１
５、および前記ストッカ９、１０の間と各ストッカ内で
前記被加工物を移動させる収納移載機１１、１２を設置
した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、自動搬送システム
に係り、特に複数の工程にかかる加工設備を所定の順序
でライン状に配列し、前記ライン状配列の中央通路から
前記加工設備に対して被加工物を搬入すると共に加工済
の被加工物を他の加工設備に搬送する自動搬送システム
に関する。

【０００２】

【従来の技術】被加工物を複数の工程順に加工設備に通
すことで所要の製品を製造する製造装置では、各加工設
備の処理時間は同一でない場合が殆どである。このよう
な場合、加工設備と次の加工設備または他の加工設備の
間にストッカを設置し、ある加工設備から搬出された被
加工物をこのストッカに一時的に退避させ、次段または
他の加工設備による加工が可能となった時点で当該被加
工物をストッカから搬出して次段の加工設備または他の
加工設備に搬入するようにしている。

【０００３】上記の被加工物の加工設備への搬入、搬出
は人手によるか、あるいは複数の加工設備を折り返しラ
イン状に配列した中央通路に長円形の搬送路を周回移動
する自動運転台車（一般に、ＡＧＶと称する）で搬送
し、適宜の移載機を用いて行っている。また、上記のス
トッカも加工設備と同様に前記ラインに沿って１または
複数配置される。

【０００４】図４は従来の製造装置における自動搬送装
置の一構成例を説明する模式図であって、液晶パネルの
基板を加工するための製造装置である。図４において、
１〜８は折り返しライン状に配列された加工設備、９ａ
〜９ｆはストッカ、２０はＡＧＶ、２１は搬送路を示
す。

【０００５】例えば、加工設備１は基板洗浄装置、加工
設備２は成膜装置、加工設備３はレジスト塗布装置、加
工設備４はエッチング装置、加工設備５はレジスト剥離
装置、加工設備７，８，９はここでは検査装置である。
また、搬送路２１はレールである。

【０００６】被加工物である基板（初期投入基板）は矢
印Ａに示したように、この製造装置の最初のストッカ９
ａに搬入される。ストッカ９ａに貯蔵された基板はＡＧ
Ｖ２０に移載されて加工設備１に搬入され、洗浄が施さ
れる。なお、ＡＧＶ２０はレール２１上を矢印Ｃ方向に
巡回しながら基板を加工設備に搬入し、搬出すると共に
必要に応じてストッカ９ａ〜９ｆに退避させ、退避され
た基板を取り出して所定の加工設備に搬入する。加工設
備１〜８は、それぞれ同種の加工機を複数収容して複数
の基板を並列加工できるようにした所謂ジョブショップ
方式である場合が一般的である。

【０００７】加工設備１で加工が済んだ基板は次段の加
工設備２に搬入されて配線用の成膜がなされる。ここで
は、洗浄工程での処理時間が短いものとして次段の成膜
工程の間にストッカは設置されていない。

【０００８】成膜工程が完了した基板はさらに次の加工
設備３（レジスト塗布装置）に渡されるが、このレジス
ト塗布装置での処理工程は時間がかかるために、加工設
備２から搬出された基板は一旦ストッカ９ｂに退避され
る。

【０００９】以下、同様にして、順に配置された加工設
備４、・・・およびストッカ９ｃ、・・を経て所要の加
工が完了した基板は搬出ストッカ９ｆに貯留される。搬
出ストッカ９ｆに貯留された基板は図示しない移載機や
搬出装置を用いて他の製造ライン等に搬送される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このように、液晶パネ
ルの製造等、一般に多工程を必要とする被加工物の製造
装置では、その製造工程、設備ごとに処理時間（加工時
間）が異なる。したがって、その時間差を吸収するため
に各工程間（各加工設備間）あるいは所定の工程ごとに
ストッカを必要とする。

【００１１】しかし、上記従来の製造装置においては、
工場建屋の限られたレイアウト内にストッカを複数配置
するために、広大なスペースを要する。また、ストッカ
の数を少なくするとＡＧＶの搬送距離が長くなると共
に、本来なら隣りの加工設備に搬送すべき被加工物が、
ストッカに退避したことでＡＧＶをレールに沿って一周
させることになり、搬送効率が著しく低下し、製造装置
として極めて低効率とならざるを得ないという問題があ
った。

【００１２】本発明の目的は、上記従来の問題点を解消
し、最小限のスペースで各加工設備から最も近い位置に
ストッカを配置して被加工物を高効率で搬送可能とした
自動搬送システムを提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、複数の加工設備を所定の順序で少なくと
も１本ライン、または２本以上の折り返しライン状に配
列した製造装置の前記ライン状に配列した側面または中
央通路にストッカを設置し、このストッカと各加工設備
間に移載機を設けて被加工物の移載を行うように構成し
た。

【００１４】すなわち、本発明は、下記（１）（２）お
よび（３）に記載の構成としたことを特徴とする。

【００１５】（１）複数の加工設備を所定の順序でライ
ン状に配列し、前記ライン状配列の側面通路から前記加
工設備に対して被加工物を搬入すると共に、加工済の被
加工物を次段の加工設備に搬送する自動搬送システムに
おいて、前記側面通路に前記複数の加工設備の配列ライ
ンに沿って前記被加工物を一時的に退避させるためのス
トッカと、前記加工設備と前記ストッカの間に前記加工
設備の配列方向に対して順方向および逆方向に移動し
て、前記加工設備と前記ストッカの間で前記被加工物を
受け渡すための搬送移載機を設置したことを特徴とす
る。

【００１６】（２）複数の加工設備を所定の順序で少な
くとも２本の折り返しライン状に配列し、前記折り返し
ライン状に配列の中央通路から前記加工設備に対して被
加工物を搬入すると共に、加工済の被加工物を次段の加
工設備に搬送する自動搬送システムにおいて、前記中央
通路に前記複数の加工設備の配列ラインに沿って前記被
加工物を一時的に退避させるためのストッカと、前記加
工設備と前記ストッカの間に前記加工設備の配列方向に
対して順方向および逆方向に移動して、前記加工設備と
前記ストッカの間で前記被加工物を受け渡すための搬送
移載機を設置したことを特徴とする。

【００１７】上記ストッカは各加工設備の搬入面に近接
して配置され、ストッカからの搬出時間が短縮されると
共に、各加工設備間の被加工物の搬送をストッカを介す
ることで自動搬送が実現される。

【００１８】従来のＡＧＶを用いた被加工物の搬送で
は、ＡＧＶの走行方向が一定方向に定義されているた
め、逆方向への搬送には搬送ライン（レール）上を一周
する必要があるのに対し、上記本発明の構成ではストッ
カに退避された被加工物は順／逆いずれの方向への搬送
可能であるため、搬送距離が短縮され、搬送効率が著し
く向上する。

【００１９】（３）（１）または（２）における前記ス
トッカに前記ストッカに退避された前記被加工物を当該
ストッカ内で移動させる収納移載機を設置したとを特徴
とする。

【００２０】この構成により、１加工設備への移載点が
複数化しても搬送が可能となり、高効率の搬送が可能と
なる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につ
き、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図１は本
発明の自動搬送システムの一実施例を説明する液晶パネ
ルの製造装置の構成を示す模式図であって、１〜８はジ
ョブショップ方式の加工設備で、１は基板洗浄装置、２
は成膜装置、３はレジスト塗布装置、４はエッチング装
置、５はレジスト剥離装置、６，７，８は検査装置であ
る。また、９は第１のストッカ、１０は第２のストッ
カ、１１，１２は搬送移載機、１３は搬送移載機の移動
用レール、１４，１５は第１の収納移載機、１６は第１
の収納移載機用の移動レール、１７，１８は第２の収納
移載機、１９は第２の収納移載機用の移動レールを示
す。そして、９０はストッカの入庫口、９１は同出庫
口、９２は素基板入庫口、９３は完成基板出庫口であ
る。

【００２２】本実施例では、複数の加工設備である基板
洗浄装置１、成膜装置２、レジスト塗布装置３、および
エッチング装置４をこの順序で一方向にライン配置し、
またレジスト剥離装置５、検査装置６，７，８とをこの
順序で上記ラインと逆方向にライン配置した２本の折り
返しライン状に配列して製造装置を構成してある。

【００２３】そして、この折り返しライン状に配列した
複数の加工設備の中央通路に、前記各ライン配置した各
加工設備に対して被加工物を搬入すると共に、加工済の
被加工物を次段の加工設備に搬送する第１のストッカ９
と第２のストッカ１０をそれぞれ配置する。

【００２４】第１のストッカ９には各加工設備に対して
基板を授受するための入庫口９０と出庫口９１を有する
と共に、その素基板搬入部に素基板入庫口９２を有す
る。また、第２のストッカ１０にも各加工設備に対して
基板を授受するための多数の入庫口９０と多数の出庫口
９１を有し、その素基板搬出部に素基板出庫口９３を有
する。

【００２５】そして、第１のストッカ９と加工設備１〜
４の間には、各加工設備１〜４間および各加工設備１〜
４との間で基板を移載する搬送移載機１４，１５がレー
ル１６上を順／逆方向に走行可能に配置される。そし
て、第２のストッカ１０と加工設備５〜８の間には、各
加工設備５〜８間および各加工設備５〜８との間で基板
を移載する搬送移載機１７，１８がレール１９上を順／
逆方向に走行可能に配置されている。これらの搬送移載
機１４，１５および１７，１８はそれぞれ少なくとも１
台宛配置される。この配置台数は製造装置の規模によ
る。上記の搬送移載機は、所謂トラバーサと称するロボ
ットである。

【００２６】また、第１のストッカ９と第２のストッカ
１０の間には、各ストッカ内に退避された基板を所要の
入庫口／出庫口から他の入庫口／出庫口に移動さるため
の収納移載機１１，１２が移動用レール１３上を順／逆
方向に走行可能に配置されている。これらの収納移載機
１１，１２は製造装置の規模によっては１台でよく、ま
た必要により複数台配置される。上記の収納移載機は、
所謂クレーンと称するロボットであり、ストッカの棚の
間を移動しつつ、基板を移動または第１と第２のストッ
カ間で移送する。

【００２７】第１のストッカ９および第２のストッカ１
０には、基板を保管する多数の棚が少なくとも１段有
し、収納移載機１１，１２、搬送移載機１４，１５、お
よび１７，１８はこの棚の間を上下に移動し、あるいは
順／逆方向に移動して基板の搬入と搬出を行う。

【００２８】このような構成において、矢印Ａから素基
板入庫口９２に搬入された素基板は搬送移載機１４によ
り加工設備１に搬入され、所定の加工が成される。加工
設備１での加工が終了した基板は搬送移載機１４または
１５により搬出され、加工設備２に搬入される。このと
き、加工設備２がその基板を受け入れるタイミングにな
いときは、搬送移載機１４または１５は当該基板を第１
のストッカ９の入庫口９０に搬入して退避させる。そし
て、加工設備２が基板の受入可能となった時点で搬送移
載機１４または１５は当該基板を第１のストッカ９の出
庫口９１から搬出し、加工設備２に搬入する。

【００２９】以下、同様の手順で加工設備４までの加工
処理が完了した基板は、搬送移載機１４または１５によ
り第１のストッカ９に移載され、収納移載機１１，１２
で第２のストッカ１０に保管される。第２のストッカ１
０に保管された基板は加工設備５の移載要求に応じてそ
の出庫口９１から搬送移載機１７または１８により搬出
されて当該加工設備５に搬入され、所要の加工がなされ
る。

【００３０】同様にして、各加工設備６，７，８での加
工が終了した基板は第２のストッカ１０を介して完成基
板出庫口９３から矢印Ｂに示したように他の工程ライン
に搬送される。

【００３１】図２は本発明の自動搬送システムの一実施
例を説明する図１に示した液晶パネルの製造装置の構成
を示す概略斜視図であって、図１と同一符号は同一部分
に対応する。なお、同図では図１における加工設備、搬
送移載機、収納移載機は最小限の数のみを示してある。
また、第２のストッカ側の加工設備は図示を省略してあ
る。

【００３２】図２に示したように、被加工物である基板
は加工設備１、２、３、・・・による加工処理を矢印Ｄ
に示したＵ字形の順に経て所定の加工がなされる。この
構成では、各加工設備の処理時間の差を第１のストッカ
９と第２のストッカ１０を介在させることで調整するこ
とにより製造装置全体としての稼働効率を向上させるこ
とができるが、特定の加工設備が特に基板に対する加工
順序にこだわらない場合には収納移載機１１あるいは搬
送移載機１４，１７で空きの加工設備に搬入するように
追い越し搬送、あるいは逆搬送して、加工設備の遊び時
間を無くすことが可能である。

【００３３】図３は図１、図２における収納移載機ある
いは搬送移載機の一例の説明図である。収納移載機１１
と搬送移載機１４，１７は基本的には同一の移載ロボッ
トでよく、図３に示したものは収納移載機１１を例とし
て示し、以下、その機能を説明する。

【００３４】この収納移載機１１は第１のストッカ９と
第２のストッカ１０の間に、当該各ストッカ９、１０に
沿って敷設されたレール１３上を順／逆方向に移動する
と共に、基板を取り扱う部分（ハンド）が昇降し、かつ
平面の２方向、面内で回転可能である。上記ハンドの構
成および機能は既知であるので説明は省略する。

【００３５】なお、この収納移載機１１は第１のストッ
カ９と第２のストッカ１０の基板収納用の多数の棚の間
を移動する必要があるため、特にその昇降量が大きいも
のであり、一般に“スタッカクレーン”と呼ばれている
移載機である。これに対し、搬送移載機１４，１７はラ
イン配列された複数の加工設備と第１のストッカ９およ
び第２のストッカ１０の間に敷設されたレール１６、１
９上を順／逆方向に移動して隣接あるいは所定の加工設
備の間、加工設備と第１のストッカ９と第２のストッカ
１０の間で基板を搬入し搬出するロボットであり、一般
にトラバーサと呼ばれている移載機である。

【００３６】このような構成および機能をもつ収納移載
機と搬送移載機を設置することにより、複数の加工設備
の間、加工設備と第１と第２のストッカの間、第１と第
２のストッカの間で基板の受け渡しを行うことにより、
加工時間の異なる加工設備を高効率で稼働させることが
可能となる。

【００３７】そして、図１にも示したように、本実施例
のレイアウトは、加工設備やストッカの設置のために広
大なスペースを要しないため、工場建屋のスペースを有
効に活用できる。また、レイアウトも単純なライン配置
であるため、加工設備の増設、変更が容易である。

【００３８】なお、上記実施例ではＵ字形に沿って折り
返しライン状に設置した加工設備の中央通路に第１と第
２のストッカを上記加工設備のそれぞれに対面させて設
置したが、複数の加工設備をＩ字状ラインに設置して、
この加工設備の設置ラインに沿った側面通路に１つのス
トッカのみを配置することもできる。

【００３９】また、Ｕ字形ラインに設置した加工設備の
中央通路に１つのストッカのみを配置し、搬送移載機の
みで各加工設備間、加工設備とストッカ間、ストッカの
各棚間で基板の搬入、搬出を行うようにも構成できる。

【００４０】上記した自動搬送システムを備えた製造装
置の制御は従来と同様の図示しないホストコンピュータ
で集中して行うことができるが、本実施例のように構成
した場合は、各加工設備と搬送移載機と収納移載機の動
作データから全ての工程を把握することができるため、
小規模のコンピュータで工程管理が可能となり、ホスト
コンピュータの負荷を軽減できる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
最小限の設置スペースで各加工設備から最も近い位置に
ストッカを配置できるため、被加工物を高効率に搬送す
ることが可能であり、加工時間の異なる複数の加工設備
を効率よく稼働させ、全体の工程時間を短縮することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の自動搬送システムの一実施例を説明す
る液晶パネルの製造装置の構成を示す模式図である。

【図２】本発明の自動搬送システムの一実施例を説明す
る図１に示した液晶パネルの製造装置の構成を示す概略
斜視図である。

【図３】図１、図２における収納移載機あるいは搬送移
載機の一例の説明図である。

【図４】従来の製造装置における自動搬送装置の一構成
例を説明する模式図である。

【符号の説明】

１〜８ 加工設備 ９ 第１のストッカ １０ 第２のストッカ １１，１２ 搬送移載機 １３ 搬送移載機の移動用レール １４，１５ 第１の収納移載機 １６ 第１の収納移載機用の移動レール １７，１８ 第２の収納移載機 １９ 第２の収納移載機用の移動レール ９０ ストッカの入庫口 ９１ ストッカの出庫口 ９２ 素基板入庫口 ９３ 完成基板出庫口。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数の加工設備を所定の順序でライン状に
   配列し、前記ライン状配列の側面通路から前記加工設備
   に対して被加工物を搬入すると共に、加工済の被加工物
   を次段の加工設備に搬送する自動搬送システムにおい
   て、 前記側面通路に前記複数の加工設備の配列ラインに沿っ
   て前記被加工物を一時的に退避させるためのストッカ
   と、前記加工設備と前記ストッカの間に前記加工設備の
   配列方向に対して順方向および逆方向に移動して、前記
   加工設備と前記ストッカの間で前記被加工物を受け渡す
   ための搬送移載機を設置したことを特徴とする自動搬送
   システム。
2. 【請求項２】複数の加工設備を所定の順序で少なくとも
   ２本の折り返しライン状に配列し、前記折り返しライン
   状に配列の中央通路から前記加工設備に対して被加工物
   を搬入すると共に、加工済の被加工物を次段の加工設備
   に搬送する自動搬送システムにおいて、 前記中央通路に前記複数の加工設備の配列ラインに沿っ
   て前記被加工物を一時的に退避させるためのストッカ
   と、前記加工設備と前記ストッカの間に前記加工設備の
   配列方向に対して順方向および逆方向に移動して、前記
   加工設備と前記ストッカの間で前記被加工物を受け渡す
   ための搬送移載機を設置したことを特徴とする自動搬送
   システム。
3. 【請求項３】前記ストッカに退避された前記被加工物を
   当該ストッカ内で移動させる収納移載機を設置したとを
   特徴とする請求項１または２に記載の自動搬送システ
   ム。