JPH11235689A

JPH11235689A - 薄板の保持搬送装置

Info

Publication number: JPH11235689A
Application number: JP3946998A
Authority: JP
Inventors: Katsutsune Tamiya; 勝恒田宮; Kunio Miyawaki; 国男宮脇; Azuma Hisayasu; 東久安; Kenji Kamikawa; 健司上川
Original assignee: Hitachi Zosen Corp; Hitachi Shipbuilding and Engineering Co Ltd
Current assignee: Kanadevia Corp
Priority date: 1998-02-23
Filing date: 1998-02-23
Publication date: 1999-08-31
Anticipated expiration: 2018-02-23
Also published as: JP3853059B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ガラス板は研磨加工した後に水洗浄が行わ
れ、水濡れ状態となって台上に載置されているが、水濡
れ状態となった大型のガラス板を台から持ち上げる作業
および搬送する作業は熟練者でも難しい。【解決手段】ガラス板１の両側の縁部を持ち上げる把
持部材１６を設け、これら各側の把持部材１６でガラス
板１の両側縁部を把持して上昇させ、形状保持部材１４
の湾曲面１５に別の両側縁部を当接させて湾曲させ、ガ
ラス板１の形状を保持した状態で所定の場所まで搬送す
ることにより、ガラス板１に損傷を与えることなく確実
に搬送し、あるいは一側の把持部材１６と他側の把持部
材１６を経時的にずらして上昇させることにより、ガラ
ス板１を載せ台から容易に剥離させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば大型に形成
されたガラス板などの薄板を保持して所定の場所まで搬
送するための薄板の保持搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ガラス板は肉薄に加工して、例え
ば液晶パネル基板やカラーフィルタ、あるいはＰＤＰ
（プラズマディスプレイパネル）など、多様な分野で用
いられている。

【０００３】上記のような用途に用いられるガラス板
は、例えば所定の大きさの矩形に加工された後、塵芥除
去のために予め水洗浄された下定盤に、作業者によって
載置される。その後、下定盤と上定盤の運動（回転、移
動）により表面が研磨加工される。この際、ガラス板は
清浄性を維持するために同時に水洗浄が行われる。

【０００４】そして、研磨加工されたガラス板は、最終
的に水洗浄された後、作業者によって持ち上げられて、
次の作業を行う所定の場所まで、人的あるいは搬送機に
より運ばれる。この際、ガラス板は自重により撓むた
め、持ち上げる際や搬送の際には、損傷しないよう慎重
に行う必要があるとともに機械振動や搬送時の加速度の
変化にも十分に配慮しなければならない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のようにガラス板
は、所定の大きさに形成された後は、作業者によって下
定盤に移し替えられる。あるいは、ガラス板は、研磨加
工後に下定盤から作業者によって取り外される。

【０００６】ところで近年、ガラス板はますます大型化
（例えば550×650×0.7mm）しているのに加え、研磨加
工後のガラス板は、水濡れ状態にあり、下定盤に密着し
ている。このような肉薄のガラス板を損傷させることな
く下定盤に搬送したり、あるいは下定盤から取り外す作
業は熟練者、あるいは搬送機を用いても難しくなってい
る。

【０００７】そこで、本発明は、上記課題を解決し得る
ガラス板の保持搬送装置の提供を目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明における課題解決
手段は、矩形状の薄板の上方で水平面内を移動自在に搬
送台が設けられ、この搬送台の下面側に、薄板にその上
面から当接するとともに下方に向けて凸に湾曲した湾曲
面を有する形状保持部材が設けられ、前記搬送台に対し
て昇降自在に構成されるとともに薄板の両側の縁部を保
持して薄板を形状保持部材の湾曲面に沿って湾曲させる
ための把持部材が設けられている。

【０００９】また、矩形状の薄板の上方で水平面内を移
動自在に搬送台が設けられ、この搬送台の下面側に、薄
板にその上面から当接するとともに下方に向けて凸に湾
曲した湾曲面を有する形状保持部材が設けられ、この形
状保持部材の湾曲面に対し、薄板の上面を吸着するため
の吸着手段が設けられている。

【００１０】また、矩形状の薄板の上方で水平面内を移
動自在に搬送台が設けられ、この搬送台の下面側に、薄
板にその上面から当接するとともに下方に向けて凸に湾
曲した湾曲面を有する形状保持部材が設けられ、前記搬
送台に対して昇降自在に構成されるとともに薄板の両側
の縁部を保持して薄板を形状保持部材の湾曲面に沿って
湾曲させるための把持部材が設けられ、前記形状保持部
材の湾曲面に対し、薄板の上面を吸着するための吸着手
段が設けられている。

【００１１】また、一方の縁部側の把持部材と他方の縁
部側の把持部材とは、薄板を把持して上昇する際に経時
的にずれて駆動するよう構成されている。また、吸着手
段は、湾曲面に複数個並べて形成した吸着用孔と、これ
ら吸着用孔に連通した吸着路と、この吸着路に接続した
吸着ポンプとを備えている。

【００１２】また、吸着手段は、湾曲面に複数個並べて
設けた吸盤と、これら吸盤に形成した吸着用孔に連通し
た吸着路と、この吸着路に接続した吸着ポンプとを備え
ている。

【００１３】また、一方の縁部側の把持部材と他方の縁
部側の把持部材とは、薄板を把持して上昇する際に経時
的にずれて駆動するよう構成され、吸着手段は、湾曲面
に複数個並べて形成した吸着用孔と、これら吸着用孔に
連通した吸着路と、この吸着路に接続した吸着ポンプと
を備えている。

【００１４】また、一方の縁部側の把持部材と他方の縁
部側の把持部材とは、薄板を把持して上昇する際に経時
的にずれて駆動するよう構成され、吸着手段は、湾曲面
に複数個並べて設けた吸盤と、これら吸盤に形成した吸
着用孔に連通した吸着路と、この吸着路に接続した吸着
ポンプとを備えている。

【００１５】上記構成によれば、両側の把持部材を上昇
させて、形状保持部材の湾曲面にガラス板を当接して沿
わせ、あるいは吸着手段を用いて形状保持部材の湾曲面
に沿った形状にガラス板を沿わせ、ガラス板の形状を保
持した状態で所定の場所まで搬送するので、ガラス板の
搬送の際、振動等によるガラス板の変形がなく、従って
ガラス板に損傷を与えることなく搬送することができ、
あるいは吸着手段によってガラス板を形状保持部材の湾
曲面に沿って確実に保持する。

【００１６】また、搬送台が薄板の上方で移動自在に設
けられ、この搬送台の下面側に、下方に向けて湾曲した
湾曲面を有する形状保持部材が設けられ、この形状保持
部材の湾曲面に沿って薄板を湾曲させて保持するための
吸着手段が設けられ、この吸着手段は、湾曲面から下方
に向けて等しい距離だけ突出するとともに下端に吸盤を
備えた保持具と、各保持具の吸盤に形成した吸着用孔に
連通した吸着路と、この吸着路に接続した吸着ポンプと
を備えている。

【００１７】また、搬送台が薄板の上方で移動自在に設
けられ、この搬送台に薄板の上面を吸着するための吸着
手段が設けられ、この吸着手段は、搬送台の下面に複数
個並べて設けたシリンダ装置と、各シリンダ装置に取付
けられた吸盤と、各吸盤に形成した吸着用孔に連通した
吸着路と、この吸着路に接続した吸着ポンプとを備え、
薄板を湾曲させるために各シリンダ装置のストロークが
所定の値に調節可能に構成されている。

【００１８】さらに、搬送台に対して昇降自在に構成さ
れるとともに薄板の両側の縁部を保持するための把持部
材が設けられている。上記構成によれば、両側の把持部
材を上昇させて、形状保持部材の湾曲面にガラス板を当
接して沿わせ、あるいは吸着手段を用いて形状保持部材
の湾曲面に沿った形状にガラス板を沿わせ、ガラス板の
形状を保持した状態で所定の場所まで搬送するので、ガ
ラス板の搬送の際、振動等によるガラス板の変形がな
く、従ってガラス板に損傷を与えることなく持ち上げ、
搬送することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。まず、本発明の実施の第一形態に
係るガラス板（薄板）の保持搬送装置を、図１〜図１３
に基づいて説明する。

【００２０】本発明の実施の第一形態に係るガラス板の
保持搬送装置は、矩形状のガラス板１の上方で水平面内
を移動自在な搬送台２を有し、この搬送台２を、基部３
に対しガラス板１の幅方向Ａに移動させるための第一移
動装置４が、ガラス板１の長さ方向Ｂ両側に離間して設
けられている。

【００２１】図１は、一方の第一移動装置４のみを表し
たもので、この第一移動装置４は、前記基部３にガラス
板１の幅方向Ａに沿った第一レール５を介して移動自在
に取付けられたＬ字形の案内台６と、この案内台６を第
一レール５に沿って移動させるための第一駆動手段７と
から構成され、この第一駆動手段７は、基部３に設置し
た移動用モータ８と、この移動用モータ８の出力軸に取
付けた駆動歯車９に噛合するラック１０とから構成され
ている。

【００２２】前記搬送台２は、案内台６に設けた昇降レ
ール１１に昇降自在に取付けられた昇降体１２を介して
昇降自在に設けられ、この昇降体１２を昇降レール１１
に沿って案内するための第一昇降用シリンダ装置１３が
設けられている。

【００２３】前記搬送台２に対して昇降自在に構成され
るとともにガラス板１の両側の縁部を保持してガラス板
１を形状保持部材（後述する）１４の湾曲面１５に沿っ
て湾曲させるための把持部材１６が三対設けられ、各側
の把持部材１６は、ガラス板１の長さ方向Ｂに所定間隔
置きに配置され、これら各把持部材１６の下端部には、
ガラス板１の下面から支持する爪部１７が形成され、こ
れら各把持部材１６は、搬送台２の上面に設けられた支
持部材１８の端部に昇降自在に取付けられた昇降片１９
を介してから下方に向けて垂下されている。

【００２４】前記各支持部材１８は、ガラス板１の長さ
方向Ｂに沿った連結板２０で連結され、この連結板２０
は、ガラス板１の幅方向Ａに沿った第二レール２１を介
して搬送台２上を水平方向に移動自在に取付けられ、連
結板２０を第二レール２１に沿って移動させるための水
平移動用シリンダ装置２２が、搬送台２と連結板２０と
の間に設けられ、前記昇降片１９を支持部材１８に対し
て昇降させるための第二昇降用シリンダ装置２３が、支
持部材１８と昇降片１９との間に取付けられている。

【００２５】また、前記形状保持部材１４は板状に形成
されるとともに搬送台２の別の両側に垂下され、前記湾
曲面１５は、下方に向けて凸に形成されるとともにガラ
ス板１が沿った際にこれが破壊しない程度の曲率に形成
され、それぞれの形状保持部材１４の湾曲面１５に対し
ガラス板１の別の両側の上面を吸着させるための吸着手
段２４が設けられている。

【００２６】この吸着手段２４は、湾曲面１５から上方
に向けて形成するとともに複数個（図では一方の形状保
持部材１４に５個づつ）並べて配置した吸着用孔２５
と、これら各吸着用孔２５に連通した吸着路２６と、こ
の吸着路２６に接続した吸着ポンプ２７とを備え、吸着
路２６は、各形状保持部材１４に形成した吸着用孔２５
を形状保持部材１４内部で連通する埋設部２８と、形状
保持部材１４の上面に突出する集合管体２９によって形
成される突出部３０とからなり、前記吸着ポンプ２７
は、この突出部３０に吸着管３１を介して接続され、各
形状保持部材１４の下面で吸着用孔２５の外周には、凹
部（エアポケット）３２が形成されている。

【００２７】また、図４および図５〜図７に示すよう
に、研磨加工後のガラス板１表面を水洗浄するための下
定盤３３に対し搬送するための搬送ローラ装置Ｒが設け
られ、図４および図８〜図１３に示すように、前記下定
盤３３は、台本体３４と、この台本体３４の上面に設け
られてガラス板１の大きさに応じた大きさの載せ板３５
とを備え、この載せ板３５の両側には、ガラス板１の長
さ方向Ｂに、把持部材１６同士の離間幅に一致する所定
間隔置きに溝３６が形成され、各溝３６は、把持部材１
６の爪部１７の厚みより深く、爪部１７の長さより大き
く、かつ２倍程度の幅に形成されている。

【００２８】なお、移動用モータ８、第一昇降用シリン
ダ装置１３、水平移動用シリンダ装置２２、第二昇降用
シリンダ装置２３および吸着ポンプ２７は、図示しない
制御装置の駆動によって駆動され、この制御装置は、把
持部材１６を上昇させる際、一側の把持部材１６用の第
二昇降用シリンダ装置２３と他側の把持部材１６用の第
二昇降用シリンダ装置２３を経時的にずらして駆動させ
る機能を有している。

【００２９】上記構成において、矩形に形成されたガラ
ス板１は、搬送ローラ装置Ｒによって搬送され、図５に
示すように所定の場所で停止する。ガラス板１が所定の
場所で停止すると、制御装置は、移動用モータ８に駆動
信号を出力し、これにより案内台６を介して搬送台２が
ガラス板１の幅方向Ａに沿って移動し、ガラス板１の真
上に搬送台２が到着した時点で、制御装置は、移動用モ
ータ８に停止信号を出力する。

【００３０】次に制御装置は、第一昇降用シリンダ装置
１３に駆動信号を出力し、これにより昇降体１２が下降
し、図６に示すように、搬送台２および両側の把持部材
１６が最下位置まで下降する。続いて制御装置は、水平
移動用シリンダ装置２２に駆動信号を出力して支持部材
１８をガラス板１の幅方向Ａに最大限に離間させた状態
で両側の各第二昇降用シリンダ装置２３に駆動信号を出
力する。これにより、図６の仮想線で示すように、各把
持部材１６は、その爪部１７がガラス板１を回避してさ
らに下降する。

【００３１】次に、制御装置は、水平移動用シリンダ装
置２２に再び駆動信号を出力し、これにより、今度は、
両側の把持部材１６同士がガラス板１の幅方向Ａに接近
し、図６の実線で示すように、各把持部材１６の爪部１
７が、ガラス板１の下面に位置することになる。

【００３２】両側の把持部材１６でガラス板１の両側縁
部をほぼ把持した状態になると、制御装置は、各第二昇
降用シリンダ装置２３に駆動信号を出力する。そうする
と、各爪部１７がガラス板１の各縁部に下面から当接
し、さらに両側の把持部材１６を上昇させると、図７に
示すように、ガラス板１の別の両側縁部が各形状保持部
材１４の湾曲面１５に沿って湾曲し、ガラス板１全体が
湾曲する。このとき、ガラス板１は把持部材１６によっ
て把持されるとともに爪部１７で落下が防止される。ま
た、把持部材１６によってガラス板１の中央と形状保持
部材１４の中央が位置合わせされることになる。

【００３３】そして、第一昇降用シリンダ装置１３を駆
動して搬送台２を上昇させると、搬送台２とともに、同
図に示すようにガラス板１が上昇して搬送ローラ装置Ｒ
から離間する。

【００３４】この際、制御装置は、吸着ポンプ２７に駆
動信号を出力するものであり、吸着ポンプ２７の駆動に
より、凹部３２が負圧になり、ガラス板１の別の両側縁
部が各形状保持部材１４の湾曲面１５に確実に密着し、
ガラス板１は湾曲した状態に保持される。

【００３５】また、ガラス板１の別の両側縁部が各形状
保持部材１４の湾曲面１５に沿って湾曲した時点で、制
御装置は、各第二昇降用シリンダ装置２３に停止信号を
出力し、再び移動用モータ８に駆動信号を出力し、これ
によってガラス板１をその幅方向Ａ（図７の左側）に搬
送する。このとき、把持部材１６によってガラス板１の
中央と形状保持部材１４の中央が位置合わせされている
ので、移動用モータ８の駆動によるガラス板１の移動量
を設定し易い。このことは、新たなガラス板１を保持搬
送する際に特に有効となる。

【００３６】そして、搬送台２（ガラス板１）が、予め
水洗浄されている研磨装置の下定盤３３の真上に到着し
た時点で、制御装置は、移動用モータ８に停止信号を出
力し、第一昇降用シリンダ装置１３に駆動信号を出力し
て搬送台２とともにガラス板１を下降させる。そして、
図８に示すように、ガラス板１の中央がほぼ載せ板３５
の中央に当接した時点で、制御装置は、吸着ポンプ２７
に停止信号を出力して吸着を解除するとともに第一昇降
用シリンダ装置１３に停止信号を出力し、また、第二昇
降用シリンダ装置２３に駆動信号を出力して各把持部材
１６を下降させる。

【００３７】そうすると、図９に示すように、把持部材
１６の下降に伴って、ガラス板１がゆっくりと平面状に
復帰するとともに、各把持部材１６の爪部１７が溝３６
に上方から嵌合し、ガラス板１が載せ板３５に載置され
る。このとき、ガラス板１は、中央から外側に広がるよ
うに載せ板３５との接触面積を増すため、水濡れ状態に
ある載せ板３５とガラス板１との間に空気層ができず、
密着する。

【００３８】そして、制御装置は、水平移動用シリンダ
装置２２に駆動信号を出力し、両側の把持部材１６を離
間させる方向に移動させる。このとき、各溝３６の幅は
爪部１７の２倍程度に形成されているので、図４の仮想
線で示すように、ガラス板１の両側の縁部から離れる。
このため、次に把持部材１６が上昇する際に爪部１７が
ガラス板１の縁部に当たることはない。

【００３９】上記のようにして、ガラス板１を載せ板３
５に載置した状態で、上定盤（図示せず）をガラス板１
の上方まで移動させ、この上定盤と下定盤３３の運動で
研磨加工を行う。また、表面の清浄を維持するよう水洗
浄を行う。

【００４０】次に、研磨加工を終了した後にガラス板１
を持ち上げ、所定の場所まで搬送する動作を説明する。
まず、図１０に示すように、搬送ローラ装置Ｒから持ち
上げるのと同様にして両側の把持部材１６を下降させ、
図１１に示すように、爪部１７をガラス板１の縁部の下
方から当接させる。続いて制御装置は、一側の第二昇降
用シリンダ装置２３にのみ駆動信号を出力し、一側の把
持部材１６を上昇させる。そうすると、図１２に示すよ
うに、ガラス板１の一側が上昇して各形状保持部材１４
の湾曲面１５の左部に当接する。

【００４１】この時点で、制御装置は、今度は他側の第
二昇降用シリンダ装置２３に駆動信号を出力して、他側
の把持部材１６を上昇させる。この時点で、ガラス板１
が載せ板３５からほぼ剥離した状態となるとともに、ガ
ラス板１の別の両側縁部が各形状保持部材１４の湾曲面
１５に当接し、吸着ポンプ２７の駆動で密着し、ガラス
板１は湾曲した状態が確実に保持される。

【００４２】そして、制御装置は、第一昇降用シリンダ
装置１３に駆動信号を出力して、搬送台２を上昇させ、
これによりガラス板１が上昇し、移動用モータ８に駆動
信号を出力し、ガラス板１を形状保持部材１４の湾曲面
１５に当接した状態でガラス板１の幅方向Ａに移動し、
所定の場所まで搬送する。

【００４３】このように、本発明の実施の第一形態によ
れば、ガラス板１を搬送する際に、単に把持部材１６で
持ち上げるだけでなく、把持部材１６でガラス板１を形
状保持部材１４の湾曲面１５に当接させ、吸着ポンプ２
７を駆動してガラス板１を湾曲面１５に密着させた状態
で形状を保持して搬送するので、ガラス板１の断面性能
が向上して剛性が高まり、大型のガラス板１であって
も、搬送途中で撓み方向に揺れることがなく、従って、
ガラス板１に損傷を与えることなく、また、ガラス板１
の表面を傷付けることなく、確実に搬送することができ
る。

【００４４】また、ガラス板１を載せ板３５から剥離す
る際には、一側の把持部材１６を上昇させてガラス板１
の一側の縁部を持ち上げて、その後他側の縁部を持ち上
げるというように、両側の第二昇降用シリンダ装置２３
を経時的にずらして駆動させる構成としたので、水濡れ
状態の大型のガラス板１であっても、熟練を要すること
なく、容易にかつ損傷させることなく載せ板３５から剥
離することができる。

【００４５】次に、本発明の実施の第二形態を図１４〜
図１６に基づいて説明する。本発明の実施の第二形態に
係るガラス板の保持搬送装置は、吸着手段４０が、形状
保持部材１４の湾曲面１５に複数個（図では５個）並べ
て設けた同一長さの保持具４１ａ〜４１ｅと、これら各
保持具４１ａ〜４１ｅの杆部４２の先端に取付けられた
吸盤４３と、各吸盤４３の表面から各杆部４２の内部に
形成された吸着用孔４４に連通した共通の吸着路４５
と、この吸着路４５に接続した吸着ポンプ４６とから構
成されている。

【００４６】本発明の実施の第二形態において、同一長
さの各保持具４１ａ〜４１ｅが形状保持部材１４の湾曲
面１５に取付けられているので、吸盤４３を連ねると、
湾曲面１５と同一の曲率となる。搬送ローラ装置Ｒから
ガラス板１を持ち上げる場合、搬送台２および両側の把
持部材１６を下降させてガラス板１の両側を把持し、把
持部材１６を上昇させて吸着ポンプ４６を駆動し、吸盤
４３でガラス板１を吸着する。このとき、前述したよう
に、同一長さの各保持具４１ａ〜４１ｅが形状保持部材
１４の湾曲面１５に取付けられているので、ガラス板１
が、形状保持部材１４の湾曲面１５に沿うことになる。

【００４７】また、載せ板３５にガラス板１を載置する
際は、吸着ポンプ４６の駆動を停止し、その後、搬送台
２および両側の把持部材１６を下降させることにより行
う。また、研磨加工終了後の水濡れ状態にあるガラス板
１を持ち上げる際は、まず一側の把持部材１６を上昇さ
せ、続いて他側の把持部材１６を上昇させてガラス板１
を湾曲面１５に沿わせ、吸着ポンプ４６を駆動して吸盤
４３に吸着し、搬送台２を上昇させることにより行う。
他の構成および作用効果は、上記実施の第一形態と同様
である。

【００４８】図１７は、本発明の実施の第三形態を示す
もので、これは、形状保持部材１４を設けることなく、
フレーム状の搬送台２の下面に吸着用シリンダ装置４１
ａ〜４１ｅを取付けたもので、この実施の形態では、吸
着用シリンダ装置４１ａ〜４１ｅのストロークを所定の
値、すなわち、端部側の吸着用シリンダ装置４１のスト
ロークを中央側の吸着用シリンダ装置４１のストローク
よりも大きく設定しておくことにより、ガラス板１を湾
曲させた状態で搬送するものである。そして、本発明の
実施の第三形態では、形状保持部材１４を設けることな
く、フレーム状の搬送台２の下面に吸着用シリンダ装置
４１ａ〜４１ｅを取付けたこと以外の構成は、上記実施
の第二形態と同様であり、ガラス板１の保持搬送のため
の装置の駆動順序は、吸着用シリンダ装置４１ａ〜４１
ｅの伸縮動作が加わるだけで、他の作用も上記実施の第
二形態と同様である。

【００４９】なお、上記実施の第三形態では、ガラス板
１を両側で把持する把持部材１６を設けたが、これに限
定されるものでなく、吸着手段４０の吸着力によって
は、把持部材１６を設けることなく、吸着手段４０のみ
を用いてガラス板１を吸盤４３に吸着し、ガラス板１を
形状保持部材１４の湾曲面１５に沿って湾曲させ、これ
により形状を保持した状態で所定の場所まで搬送するよ
うにしてもよい。

【００５０】また、上記実施の第二形態においては５個
の保持具４１ａ〜４１ｅ、第三形態では５個の吸着用シ
リンダ装置４１ａ〜４１ｅを設けたがこれに限定される
ものではなく、場合によっては３個あるいは６個、ある
いはこれより多く設けるようにしてもよい。

【００５１】また、上記実施の第一形態および実施の第
二形態では、形状保持部材１４の湾曲面１５の曲率を変
え、実施の第三形態では吸着用シリンダ装置４１ａ〜４
１ｅのストロークを調節することにより搬送時のガラス
板１の撓み角を調節できる。

【００５２】さらに、上記各実施の形態では、薄板とし
てガラス板１の例を示したが、これに限定されるもので
はなく、肉薄で大型の合成樹脂性板材あるいは金属製板
材なども同様にして搬送することができる。

【００５３】また、上記各実施の形態では、ガラス板１
を搬送ローラ装置Ｒから持ち上げたり、あるいは研磨装
置の下定盤３３に設置する場合を示したが、これに限定
されるものではなく、薄板を持ち上げたり、台上に設
置、あるいは移動させるものであれば、適用可能であ
る。

【００５４】さらに、上記各実施の形態では、対向する
把持部材１６同士は水平移動用シリンダ装置２２によっ
て幅方向Ａに接近離間自在としたが、幅方向Ａに接近離
間自在にな構成に加え、ガラス板１（薄板）の大きさ
（長さ）に応じて、同列の把持部材１６の間の距離を調
節可能に構成する場合も考えられる。

【００５５】

【発明の効果】以上の説明から明らかな通り、本発明
は、薄板の上方で水平面内を移動自在に搬送台を設け、
この搬送台の下面側に、薄板にその上面から当接すると
ともに下方に向けて凸に湾曲した湾曲面を有する形状保
持部材を設け、搬送台に対して昇降自在に構成するとと
もに薄板の両側の縁部を保持して薄板を形状保持部材の
湾曲面に沿って湾曲させるための把持部材を設け、薄板
を形状保持部材の湾曲面に沿わせた状態で形状を保持し
て搬送するようにしたので、搬送途中で薄板が変形する
のを防止して、薄板を損傷させることなく所定の場所ま
で搬送することができる。

【００５６】あるいは、吸着手段によって薄板を形状保
持部材の湾曲面に沿わせた状態で形状を確実に保持して
搬送するようにしたので、搬送途中で薄板が変形するの
を防止して、薄板を損傷させることなく所定の場所まで
搬送することができる。

【００５７】さらに、一方の縁部側の把持部材と他方の
縁部側の把持部材とは、薄板を把持して上昇する際に経
時的にずれて駆動するよう構成したので、水濡れ状態で
台に密着している薄板であっても、それを載置している
台から自動的にかつ容易に持ち上げることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の第一形態のガラス板の保持搬送
装置の全体構成を示す側面図である。

【図２】同じく正面図である。

【図３】同じく形状保持部材の底面図である。

【図４】同じく載せ板にガラス板を載置した状態の平面
図である。

【図５】同じく搬送ローラ装置でガラス板が搬送された
状態の正面図である。

【図６】同じく形状保持部材を下降させて湾曲面をガラ
ス板に当接させた状態の正面図である。

【図７】同じくガラス板を把持して湾曲面に沿わせた状
態の正面図である。

【図８】同じくガラス板を載せ板に当接させた状態の正
面図である。

【図９】同じくガラス板を載せ板に載置した状態の正面
図である。

【図１０】同じくガラス板を載せ板に載置して形状保持
部材をガラス板の上方に位置させた状態の正面図であ
る。

【図１１】同じくガラス板を載せ板に載置した状態の正
面図である。

【図１２】同じく一側縁部を持ち上げた状態の正面図で
ある。

【図１３】同じく両側の縁部を持ち上げた状態の正面図
である。

【図１４】本発明の実施の第二形態のガラス板の保持搬
送装置の全体構成を示す側面図である。

【図１５】同じく正面図である。

【図１６】同じく吸着手段の一部拡大正面図である。

【図１７】本発明の実施の第三形態のガラス板の保持搬
送装置の概略構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ガラス板２搬送台６案内台８移動用モータ１２昇降体１３第一昇降用シリンダ装置１４形状保持部材１５湾曲面１６把持部材１７爪部１８支持部材２２水平移動用シリンダ装置２３第二昇降用シリンダ装置２７吸着ポンプ３２凹部３３下定盤３５載せ板３６溝４１ａ吸着用シリンダ装置４３吸盤４６吸着ポンプＡガラス板の幅方向

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者久安東大阪府大阪市住之江区南港北１丁目７番89 号日立造船株式会社内 (72)発明者上川健司大阪府大阪市住之江区南港北１丁目７番89 号日立造船株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送台が薄板の上方で移動自在に設けら
れ、この搬送台の下面側に、薄板にその上面から当接す
るよう下方に向けて湾曲した湾曲面を有する形状保持部
材が設けられ、前記搬送台に対して昇降自在に構成され
るとともに薄板の縁部を保持して薄板を形状保持部材の
湾曲面に沿って湾曲させるための把持部材が設けられた
ことを特徴とする薄板の保持搬送装置。
【請求項２】搬送台が薄板の上方で移動自在に設けら
れ、この搬送台の下面側に、薄板にその上面から当接す
るよう下方に向けて湾曲した湾曲面を有する形状保持部
材が設けられ、この形状保持部材の湾曲面に対し、薄板
の上面を吸着するための吸着手段が設けられたことを特
徴とする薄板の保持搬送装置。
【請求項３】搬送台が薄板の上方で移動自在に設けら
れ、この搬送台の下面側に、薄板にその上面から当接す
るよう下方に向けて湾曲した湾曲面を有する形状保持部
材が設けられ、前記搬送台に対して昇降自在に構成され
るとともに薄板の両側の縁部を保持して薄板を形状保持
部材の湾曲面に沿って湾曲させるための把持部材が設け
られ、前記形状保持部材の湾曲面に対し、薄板の上面を
吸着するための吸着手段が設けられたことを特徴とする
薄板の保持搬送装置。
【請求項４】一方の縁部側の把持部材と他方の縁部側
の把持部材とは、薄板を把持して上昇する際に経時的に
ずれて駆動するよう構成されたことを特徴とする請求項
１または請求項３記載の薄板の保持搬送装置。
【請求項５】吸着手段は、湾曲面に複数個並べて形成
した吸着用孔に連通した吸着路と、この吸着路に接続し
た吸着ポンプとを備えたことを特徴とする請求項２記載
または請求項３記載の薄板の保持搬送装置。
【請求項６】吸着手段は、湾曲面に複数個並べて設け
た吸盤と、これら吸盤に形成した吸着用孔に連通した吸
着路と、この吸着路に接続した吸着ポンプとを備えたこ
とを特徴とする請求項２または請求項３記載の薄板の保
持搬送装置。
【請求項７】一方の縁部側の把持部材と他方の縁部側
の把持部材とは、薄板を把持して上昇する際に経時的に
ずれて駆動するよう構成され、吸着手段は、湾曲面に複
数個並べて形成した吸着用孔に連通した吸着路と、この
吸着路に接続した吸着ポンプとを備えたことを特徴とす
る請求項３記載の薄板の保持搬送装置。
【請求項８】一方の縁部側の把持部材と他方の縁部側
の把持部材とは、薄板を把持して上昇する際に経時的に
ずれて駆動するよう構成され、吸着手段は、湾曲面に複
数個並べて設けた吸盤と、これら吸盤に形成した吸着用
孔に連通した吸着路と、この吸着路に接続した吸着ポン
プとを備えたことを特徴とする請求項３記載の薄板の保
持搬送装置。
【請求項９】搬送台が薄板の上方で移動自在に設けら
れ、この搬送台の下面側に、下方に向けて湾曲した湾曲
面を有する形状保持部材が設けられ、この形状保持部材
の湾曲面に沿って薄板を湾曲させて保持するための吸着
手段が設けられ、この吸着手段は、湾曲面から下方に向
けて等しい距離だけ突出するとともに下端に吸盤を備え
た保持具と、各保持具の吸盤に形成した吸着用孔に連通
した吸着路と、この吸着路に接続した吸着ポンプとを備
えたことを特徴とする薄板の保持搬送装置。
【請求項１０】搬送台が薄板の上方で移動自在に設け
られ、この搬送台に薄板の上面を吸着するための吸着手
段が設けられ、この吸着手段は、搬送台の下面に複数個
並べて設けたシリンダ装置と、各シリンダ装置に取付け
られた吸盤と、各吸盤に形成した吸着用孔に連通した吸
着路と、この吸着路に接続した吸着ポンプとを備え、薄
板を湾曲させるために各シリンダ装置のストロークが所
定の値に調節可能に構成されたことを特徴とする薄板の
保持搬送装置。
【請求項１１】搬送台に対して昇降自在に構成される
とともに薄板の両側の縁部を保持するための把持部材が
設けられたことを特徴とする請求項９または請求項１０
記載の薄板の保持搬送装置。