JPH11239036A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPH11239036A JPH11239036A JP10056063A JP5606398A JPH11239036A JP H11239036 A JPH11239036 A JP H11239036A JP 10056063 A JP10056063 A JP 10056063A JP 5606398 A JP5606398 A JP 5606398A JP H11239036 A JPH11239036 A JP H11239036A
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- JP
- Japan
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- vibrating reed
- piezoelectric element
- piezoelectric
- piezoelectric vibrator
- temperature change
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- Pending
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- Gyroscopes (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 温度変化による撓みの発生を抑制できる、圧
電振動子を提供する。 【解決手段】 振動片１２の側面には、圧電素子１４が
配置される。圧電素子１４の厚み方向の両面には、この
振動片１２と同じ材料であるエリンバからなる板状の挟
持部材２２，２４がそれぞれ接着剤２６によって接着さ
れる。挟持部材２２，２４で挟持された圧電素子１４
は、振動片１２の側面に接着剤２６によって接着され
る。この圧電振動子１０は、振動片１２と挟持部材２
２，２４との熱膨張係数が同一であるので、圧電素子１
２と振動片１２との熱膨張係数の相違を原因とする温度
変化時の撓みの発生が抑制される。
電振動子を提供する。 【解決手段】 振動片１２の側面には、圧電素子１４が
配置される。圧電素子１４の厚み方向の両面には、この
振動片１２と同じ材料であるエリンバからなる板状の挟
持部材２２，２４がそれぞれ接着剤２６によって接着さ
れる。挟持部材２２，２４で挟持された圧電素子１４
は、振動片１２の側面に接着剤２６によって接着され
る。この圧電振動子１０は、振動片１２と挟持部材２
２，２４との熱膨張係数が同一であるので、圧電素子１
２と振動片１２との熱膨張係数の相違を原因とする温度
変化時の撓みの発生が抑制される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電振動子に関し、
特にたとえば、圧電振動ジャイロなどに用いられる圧電
振動子に関する。
特にたとえば、圧電振動ジャイロなどに用いられる圧電
振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の圧電振動子の一例を示す斜
視図であり、図４はその要部を誇張して示す断面図解図
である。この圧電振動子１は、たとえばエリンバなどの
恒弾性金属で形成された振動片２に駆動手段または検出
手段としての圧電素子３を接着剤４で接着して形成され
る。圧電素子３は、たとえばセラミックなどからなる圧
電体層３ａの両面に電極３ｂ，３ｃを形成したものであ
る。
視図であり、図４はその要部を誇張して示す断面図解図
である。この圧電振動子１は、たとえばエリンバなどの
恒弾性金属で形成された振動片２に駆動手段または検出
手段としての圧電素子３を接着剤４で接着して形成され
る。圧電素子３は、たとえばセラミックなどからなる圧
電体層３ａの両面に電極３ｂ，３ｃを形成したものであ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、振動片
２と圧電素子３の熱膨張係数の違いを原因として、接着
剤硬化後の温度湿度変化や熱硬化型接着剤を使用する場
合の硬化時の温度変化により、圧電振動子１に撓みが生
じる場合があった。特に、従来、圧電特性の劣化を防止
するため弾性定数の比較的大きいエポキシ系の接着剤が
一般的に用いられているため、撓みが生じやすかった。
２と圧電素子３の熱膨張係数の違いを原因として、接着
剤硬化後の温度湿度変化や熱硬化型接着剤を使用する場
合の硬化時の温度変化により、圧電振動子１に撓みが生
じる場合があった。特に、従来、圧電特性の劣化を防止
するため弾性定数の比較的大きいエポキシ系の接着剤が
一般的に用いられているため、撓みが生じやすかった。
【０００４】それゆえに、本発明の主たる目的は、温度
変化による撓みの発生を抑制できる、圧電振動子を提供
することである。
変化による撓みの発生を抑制できる、圧電振動子を提供
することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる圧電振動
子は、振動片と、振動片に取り付けられる圧電素子とを
含む圧電振動子であって、温度変化により生じる撓みを
抑制するため、振動片と熱膨張係数がほぼ同一の材料で
圧電素子を挟持した、圧電振動子である。振動片と熱膨
張係数がほぼ同一の材料で圧電素子を挟持することによ
り、圧電素子と振動片との熱膨張係数の相違を原因とす
る温度変化時の撓みの発生が抑制される。
子は、振動片と、振動片に取り付けられる圧電素子とを
含む圧電振動子であって、温度変化により生じる撓みを
抑制するため、振動片と熱膨張係数がほぼ同一の材料で
圧電素子を挟持した、圧電振動子である。振動片と熱膨
張係数がほぼ同一の材料で圧電素子を挟持することによ
り、圧電素子と振動片との熱膨張係数の相違を原因とす
る温度変化時の撓みの発生が抑制される。
【０００６】また、本発明にかかる圧電振動子は、振動
片と、振動片に取り付けられる圧電素子とを含む圧電振
動子であって、温度変化により生じる撓みを抑制するた
め、振動片と同一材料で圧電素子を挟持した、圧電振動
子である。振動片と同一の材料で圧電素子が挟持されて
いるので、圧電素子と振動片との熱膨張係数の相違を原
因とする温度変化時の撓みの発生が抑制される。
片と、振動片に取り付けられる圧電素子とを含む圧電振
動子であって、温度変化により生じる撓みを抑制するた
め、振動片と同一材料で圧電素子を挟持した、圧電振動
子である。振動片と同一の材料で圧電素子が挟持されて
いるので、圧電素子と振動片との熱膨張係数の相違を原
因とする温度変化時の撓みの発生が抑制される。
【０００７】さらに、本発明にかかる圧電振動子は、振
動片と、振動片に取り付けられる圧電素子と、温度変化
により生じる撓みを抑制するため圧電素子を挟持する挟
持部材とを含む圧電振動子であって、圧電素子は、一方
の挟持部材を介しつつ振動片に接着され、挟持部材は、
振動片と熱膨張係数がほぼ同一の材料で形成される、圧
電振動子である。振動片と熱膨張係数がほぼ同一の材料
からなる挟持部材で圧電素子を挟持して、一方の挟持部
材を介して振動片に接着することにより、圧電素子と振
動片との熱膨張係数の相違を原因とする温度変化時の撓
みの発生が抑制される。また、この場合には、まず、圧
電素子を挟持部材で挟持したものを準備して、それを振
動片に接着して振動ジャイロを製造できるので、生産性
が向上する。
動片と、振動片に取り付けられる圧電素子と、温度変化
により生じる撓みを抑制するため圧電素子を挟持する挟
持部材とを含む圧電振動子であって、圧電素子は、一方
の挟持部材を介しつつ振動片に接着され、挟持部材は、
振動片と熱膨張係数がほぼ同一の材料で形成される、圧
電振動子である。振動片と熱膨張係数がほぼ同一の材料
からなる挟持部材で圧電素子を挟持して、一方の挟持部
材を介して振動片に接着することにより、圧電素子と振
動片との熱膨張係数の相違を原因とする温度変化時の撓
みの発生が抑制される。また、この場合には、まず、圧
電素子を挟持部材で挟持したものを準備して、それを振
動片に接着して振動ジャイロを製造できるので、生産性
が向上する。
【０００８】また、本発明にかかる圧電振動子は、振動
片と、振動片に取り付けられる圧電素子と、温度変化に
より生じる撓みを抑制するため圧電素子を挟持する挟持
部材とを含む圧電振動子であって、圧電素子は、一方の
挟持部材を介しつつ振動片に接着され、挟持部材は、振
動片と同一の材料で形成される、圧電振動子である。振
動片と同一の材料からなる挟持部材で圧電素子を挟持し
て、一方の挟持部材を介しつつ振動片に接着することに
より、圧電素子と振動片との熱膨張係数の相違を原因と
する温度変化時の撓みの発生が抑制される。また、この
場合には、まず、圧電素子を挟持部材で挟持したものを
準備して、それを振動片に接着して振動ジャイロを製造
できるので、生産性が向上する。
片と、振動片に取り付けられる圧電素子と、温度変化に
より生じる撓みを抑制するため圧電素子を挟持する挟持
部材とを含む圧電振動子であって、圧電素子は、一方の
挟持部材を介しつつ振動片に接着され、挟持部材は、振
動片と同一の材料で形成される、圧電振動子である。振
動片と同一の材料からなる挟持部材で圧電素子を挟持し
て、一方の挟持部材を介しつつ振動片に接着することに
より、圧電素子と振動片との熱膨張係数の相違を原因と
する温度変化時の撓みの発生が抑制される。また、この
場合には、まず、圧電素子を挟持部材で挟持したものを
準備して、それを振動片に接着して振動ジャイロを製造
できるので、生産性が向上する。
【０００９】本発明の上述の目的，その他の目的，特徴
および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細
な説明から一層明らかとなろう。
および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細
な説明から一層明らかとなろう。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る圧電振動子
の一例の要部を誇張して示す断面図解図である。この圧
電振動子１０は、図３に示したものと同様にエリンバな
どの恒弾性金属材料で形成された３角柱状の振動片１２
を含む。ただし、振動片１２としては特にこれに限定さ
れるものではなく、振動ジャイロや加速度センサなどに
用いられる圧電振動子の分野で従来公知の他の形状、た
とえば多角柱状、多角筒状、短冊板状などに形成された
ものでもよい。また、振動片１２を形成するための材料
は、エリンバに限るものではなく、たとえば鉄−ニッケ
ル合金、石英、ガラス、水晶、セラミックスなど一般的
に機械的な振動を生じる材料を用いることができる。
の一例の要部を誇張して示す断面図解図である。この圧
電振動子１０は、図３に示したものと同様にエリンバな
どの恒弾性金属材料で形成された３角柱状の振動片１２
を含む。ただし、振動片１２としては特にこれに限定さ
れるものではなく、振動ジャイロや加速度センサなどに
用いられる圧電振動子の分野で従来公知の他の形状、た
とえば多角柱状、多角筒状、短冊板状などに形成された
ものでもよい。また、振動片１２を形成するための材料
は、エリンバに限るものではなく、たとえば鉄−ニッケ
ル合金、石英、ガラス、水晶、セラミックスなど一般的
に機械的な振動を生じる材料を用いることができる。
【００１１】振動片１２の側面には、圧電素子１４が配
置される。圧電素子１４は、たとえば圧電セラミックな
どからなる圧電体層１６の両面に電極１８，２０を形成
したものである。圧電体層１６は、たとえば厚み方向に
分極されている。
置される。圧電素子１４は、たとえば圧電セラミックな
どからなる圧電体層１６の両面に電極１８，２０を形成
したものである。圧電体層１６は、たとえば厚み方向に
分極されている。
【００１２】さらに、圧電素子１４の厚み方向の両面に
は、この実施形態の振動片１２と同じ材料であるエリン
バからなる板状の挟持部材２２，２４がそれぞれ接着剤
２６によって接着される。ただし、挟持部材２２、２４
は、振動片１２と同じ材料で形成されることに限らず、
振動片１２の材料の熱膨張係数とほぼ同一の熱膨張係数
を有する材料で形成することもできる。このようにあら
かじめ圧電素子１４を挟持部材２２，２４で挟持したも
のを準備しておくことにより、圧電振動子１０の製造作
業の作業性を向上させることができる。なお、この実施
形態では、挟持部材２２，２４の厚み、幅、長さは、圧
電素子１４と一致させているが、これに限るものではな
い。
は、この実施形態の振動片１２と同じ材料であるエリン
バからなる板状の挟持部材２２，２４がそれぞれ接着剤
２６によって接着される。ただし、挟持部材２２、２４
は、振動片１２と同じ材料で形成されることに限らず、
振動片１２の材料の熱膨張係数とほぼ同一の熱膨張係数
を有する材料で形成することもできる。このようにあら
かじめ圧電素子１４を挟持部材２２，２４で挟持したも
のを準備しておくことにより、圧電振動子１０の製造作
業の作業性を向上させることができる。なお、この実施
形態では、挟持部材２２，２４の厚み、幅、長さは、圧
電素子１４と一致させているが、これに限るものではな
い。
【００１３】そして、挟持部材２２，２４で挟持された
圧電素子１４は、振動片１２の側面に接着剤２６によっ
て接着される。この接着剤としては、圧電特性の劣化を
防止するため弾性定数の比較的大きいものが好ましく、
たとえばエポキシ系の接着剤を用いることができる。
圧電素子１４は、振動片１２の側面に接着剤２６によっ
て接着される。この接着剤としては、圧電特性の劣化を
防止するため弾性定数の比較的大きいものが好ましく、
たとえばエポキシ系の接着剤を用いることができる。
【００１４】この圧電振動子１０は、圧電素子１４が振
動片１２と同じエリンバからなる挟持部材２２，２４で
挟持されている。この場合、振動片１２と挟持部材２
２，２４との熱膨張係数は同一である。したがって、圧
電素子１２と振動片１２との熱膨張係数の相違を原因と
する温度変化時の撓みの発生を抑制することができる。
動片１２と同じエリンバからなる挟持部材２２，２４で
挟持されている。この場合、振動片１２と挟持部材２
２，２４との熱膨張係数は同一である。したがって、圧
電素子１２と振動片１２との熱膨張係数の相違を原因と
する温度変化時の撓みの発生を抑制することができる。
【００１５】図２は、本発明に係る圧電振動子の他の例
の要部を誇張して示す断面図解図である。この圧電振動
子１０は、図１に示したものと比べて、圧電素子１４の
一方面のみに挟持部材２２が設けられている点のみが相
違する。すなわち、この圧電振動子３０は、挟持部材２
２と振動片１２とによって圧電素子１４が挟持される。
挟持部材２２は、振動片１２と同じ材料で形成される
か、または熱膨張係数が同一の材料で形成される。この
場合にも、図１に示した圧電振動子１０と同様に圧電素
子１４と振動片１２との熱膨張係数の相違を原因とする
温度変化時の撓みの発生を抑制することができる。
の要部を誇張して示す断面図解図である。この圧電振動
子１０は、図１に示したものと比べて、圧電素子１４の
一方面のみに挟持部材２２が設けられている点のみが相
違する。すなわち、この圧電振動子３０は、挟持部材２
２と振動片１２とによって圧電素子１４が挟持される。
挟持部材２２は、振動片１２と同じ材料で形成される
か、または熱膨張係数が同一の材料で形成される。この
場合にも、図１に示した圧電振動子１０と同様に圧電素
子１４と振動片１２との熱膨張係数の相違を原因とする
温度変化時の撓みの発生を抑制することができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、温湿度変化による圧電
振動子の撓みの発生を抑制できるため、それを原因とす
る圧電特性の変化を低減することができる。
振動子の撓みの発生を抑制できるため、それを原因とす
る圧電特性の変化を低減することができる。
【図１】本発明にかかる圧電振動子の一例の要部を誇張
して示す断面図解図である。
して示す断面図解図である。
【図２】本発明にかかる圧電振動子の別の例の要部を誇
張して示す断面図解図である。
張して示す断面図解図である。
【図３】従来の圧電振動子を使用した振動ジャイロを示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図４】図３に示す圧電振動子の要部を誇張して示す断
面図解図である。
面図解図である。
１０ 圧電振動子 １２ 振動片 １４ 圧電素子 １６ 圧電体層 １８，２０ 電極 ２２，２４ 挟持部材 ２６ 接着剤
Claims (4)
- 【請求項１】 振動片と、 前記振動片に取り付けられる圧電素子とを含む圧電振動
子であって、 温度変化により生じる撓みを抑制するため、前記振動片
と熱膨張係数がほぼ同一の材料で前記圧電素子を挟持し
た、圧電振動子。 - 【請求項２】 振動片と、 前記振動片に取り付けられる圧電素子とを含む圧電振動
子であって、 温度変化により生じる撓みを抑制するため、前記振動片
と同一材料で前記圧電素子を挟持した、圧電振動子。 - 【請求項３】 振動片と、 前記振動片に取り付けられる圧電素子と、 温度変化により生じる撓みを抑制するため前記圧電素子
を挟持する挟持部材とを含む圧電振動子であって、 前記圧電素子は、一方の前記挟持部材を介しつつ前記振
動片に接着され、 前記挟持部材は、前記振動片と熱膨張係数がほぼ同一の
材料で形成される、圧電振動子。 - 【請求項４】 振動片と、 前記振動片に取り付けられる圧電素子と、 温度変化により生じる撓みを抑制するため前記圧電素子
を挟持する挟持部材とを含む圧電振動子であって、 前記圧電素子は、一方の前記挟持部材を介しつつ前記振
動片に接着され、 前記挟持部材は、前記振動片と同一の材料で形成され
る、圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10056063A JPH11239036A (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10056063A JPH11239036A (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11239036A true JPH11239036A (ja) | 1999-08-31 |
Family
ID=13016635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10056063A Pending JPH11239036A (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11239036A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6294490B1 (en) | 1998-03-13 | 2001-09-25 | Hoya Corporation | Crystallized glass for information recording medium, crystallized glass substrate, and information recording medium using the crystallized glass substrate |
| JP2007183147A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動素子およびこの振動素子を用いた角速度センサ |
| CN115523123A (zh) * | 2022-10-28 | 2022-12-27 | 汉得利（常州）电子股份有限公司 | 一种隔膜、安装方法、压电振子驱动方法及压电泵 |
-
1998
- 1998-02-19 JP JP10056063A patent/JPH11239036A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6294490B1 (en) | 1998-03-13 | 2001-09-25 | Hoya Corporation | Crystallized glass for information recording medium, crystallized glass substrate, and information recording medium using the crystallized glass substrate |
| JP2007183147A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動素子およびこの振動素子を用いた角速度センサ |
| CN115523123A (zh) * | 2022-10-28 | 2022-12-27 | 汉得利（常州）电子股份有限公司 | 一种隔膜、安装方法、压电振子驱动方法及压电泵 |
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