JPH11240129A

JPH11240129A - スクリーン印刷装置

Info

Publication number: JPH11240129A
Application number: JP4233798A
Authority: JP
Inventors: Eiichi Miyake; 栄一三宅
Original assignee: San Ei Giken Inc
Current assignee: San Ei Giken Inc
Priority date: 1998-02-24
Filing date: 1998-02-24
Publication date: 1999-09-07

Abstract

(57)【要約】【課題】スクリーンに設けられたパターンと基板との
位置決めを高精度に行なうことのできるスクリーン印刷
装置を提供する。【解決手段】スクリーン１の周縁部には、スクリーン
の外方向に向かって所定の引張り力を与えるための第２
位置決め装置としてのアクチュエータ４０が複数個設け
られている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、スクリーン印刷
装置に関し、より特定的には、スクリーンに形成された
パターンと基板との位置決めを高精度に行なうためのス
クリーン印刷装置の構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】プリ
ント基板上に導電パターンを形成したり、部分的にはん
だペーストを塗布したりする場合、また、フラットディ
スプレイ用ガラス基板上に電極等を形成したりする場合
に、スクリーン印刷装置が用いられている。

【０００３】ここで、スクリーン印刷装置を用いてプリ
ント基板、フラットディスプレイ等に上述したようなパ
ターンを印刷する場合、プリント基板およびフラットデ
ィスプレイの高精度化および高密度化に従って、その印
刷精度の向上が強く要望されている。

【０００４】しかしながら、現在スクリーン印刷装置に
使用されているスクリーンは、細い素線を網目状に織っ
たシートを枠に固定し、印刷時には、スキージがスクリ
ーンに接して移動する。そのため、印刷時にスキージに
よってスクリーンを伸ばす力が働き、何回も印刷が行な
われるとスクリーンが伸びてしまう。その結果、スクリ
ーンに描かれたパターンは変形し、パターンと基板との
位置合わせが不正確となり、不良パターンの印刷の原因
となる。

【０００５】一方、基板自体も、他の製造工程において
加熱などによって伸縮する。このため、スクリーン上に
描かれたパターンが正確な場合であっても、パターンと
基板との位置合わせを高精度に行なうことができない。

【０００６】したがって、この発明は上記課題を解決す
るためになされたものであり、スクリーン印刷装置にお
いて、スクリーンに描かれたパターンと基板との位置合
わせを高精度に行なうことのできるスクリーン印刷装置
を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願発明におけるスクリーン印刷装置においては、
スクリーン保持部材に保持されパターンを有するスクリ
ーンと、上記スクリーン上を移動するスキージとによっ
て、基板保持部材に支持され上記スクリーン下に接する
基板にインキを用いて上記パターンを印刷するスクリー
ン印刷装置を前提とする。

【０００８】このようなスクリーン印刷装置において、
さらに以下の構成を備えている。上記スクリーンと上記
基板との位置合わせを行なうため、上記スクリーンおよ
び上記基板にそれぞれ設けられる第１スクリーン位置合
わせマークおよび基板位置合わせマークと、上記スクリ
ーンと上記基板とを相対的にＸ，Ｙ，θ方向に移動させ
るための第１位置決め装置と、上記スクリーン保持部材
に設けられ、上記スクリーンの周縁の少なくとも一部に
引張り力を加えて上記スクリーンを弾性的に伸長させる
ことにより、上記基板に対する上記スクリーンの位置決
めを行なうための第２位置決め装置と、上記第１スクリ
ーン位置合わせマークと上記基板位置合わせマークとの
位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出装置と、上記位置
ずれ量検出装置から得られた情報に基づいて上記第２位
置決め装置を用いて引張り力を調節し、かつ、上記第１
位置決め装置を用いて上記基板と上記スクリーンとの相
対的な位置を調節して、上記基板と上記スクリーンとの
位置ずれ量を最小値にするための制御装置とを備えてい
る。

【０００９】上記構成を採用することによって、例えば
予め小さくスクリーンに描かれたパターンを第２位置決
め装置を用いてスクリーンを弾性的にＸ，Ｙ方向に伸長
し、上記パターンを所定の大きさに設定するとともに、
基板とスクリーンとの相対的な位置を第１位置決め装置
を用いて微調整することにより、スクリーンに設けられ
たパターンと基板との位置決めを極めて高精度に行なう
ことを可能としている。

【００１０】上記構成をより具体的に実現するため、以
下に示す構成を採用することが望まれる。

【００１１】上記基板位置合わせマークは、上記基板の
内側に複数個設けられ、上記スクリーンには、上記基板
位置合わせマークに対応する位置に第１スクリーン位置
合わせマークが設けられている。

【００１２】また、上記スクリーンに上記基板の外側に
対応する位置に第２スクリーン位置合わせマークを複数
個設け、上記基板保持部材に、上記第２スクリーン位置
合わせマークに対応する基板保持部材位置合わせマーク
を有している。

【００１３】また、上記第１位置決め装置は、上記基板
保持部に設けられている。また、上記第１位置決め装置
は、上記スクリーン保持部に設けられている。

【００１４】また、上記第１位置決め装置は、スクリー
ン保持部と基板保持部との両方に備えられている。

【００１５】また、上記第２位置決め装置は、上記スク
リーンの周縁に設けられる係合穴と、上記係合穴に係合
する係合部材が設けられ、上記係合穴を介して上記スク
リーンを外方向に向かって引張る複数のアクチュエータ
とを有している。

【００１６】また、上記スクリーン保持部材に取付けら
れ、上記スクリーンの周縁部を真空吸着してスクリーン
を固定する真空吸着装置をさらに有している。

【００１７】また、上記スクリーンは金属の薄板であ
り、この薄板に所定の抜穴によって上記パターンが形成
されている。

【００１８】また、上記スクリーンはプラスチックのフ
ィルムまたは薄板であり、この薄板に所定の抜穴によっ
て上記パターンが形成されている。

【００１９】また、上記位置ずれ量検出装置は、Ｘ，Ｙ
方向に移動可能なＣＣＤカメラを含み、このＣＣＤカメ
ラが、上記スクリーンの上方に設けられている。

【００２０】また、上記基板および上記スクリーンの交
換、脱着および搬送等が行なわれる作業ステーションと
上記基板に印刷が行なわれる印刷ステーションが設けら
れ、上記位置ずれ量検出装置は、Ｘ，Ｙ方向に移動可能
なＣＣＤカメラを複数台含み、このＣＣＤカメラが、少
なくとも上記作業ステーションおよび上記印刷ステーシ
ョンの上方に設けられている。

【００２１】また、好ましくは、上記作業ステーション
は、上記印刷ステーションの入口側に配置される入口ス
テーションと、上記印刷ステーションの出口側に配置さ
れる出口ステーションと、を含んでいる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、この発明に基づいたスクリ
ーン印刷装置の一実施の形態について、図を参照しなが
ら説明する。

【００２３】まず、図１（ａ）、（ｂ）を参照して、本
実施の形態におけるスクリーン印刷装置において用いら
れるスクリーンに設けられたパターンと基板との位置合
わせの原理について説明する。なお、図１（ａ）は通常
状態を示し、（ｂ）はスクリーンの外周縁に引張り力
（Ｆ）が加えられた場合を示している。

【００２４】図１（ａ）を参照して、スクリーン１の上
に、所定寸法および形状のパターン２が形成されてい
る。スクリーン１のパターン２の外周部分の所定位置に
は、第１スクリーン位置合わせマーク１Ａが複数設けら
れている。なお、パターン２は、実際に基板に印刷され
る寸法よりも小さく作画されている。基板３には、第１
スクリーン位置合わせマーク１Ａに対応する位置に基板
位置合わせマーク３Ａが設けられている。

【００２５】次に、図１（ｂ）を参照して、スクリーン
１に設けられた第１スクリーン位置合わせマーク１Ａの
中心と基板３に設けられた基板位置合わせマーク３Ａの
中心とが一致するように、スクリーン１の周縁部に引張
り力（Ｆ）を加える。

【００２６】スクリーン１の周縁に加えられる引張り力
（Ｆ）は、必ずしもすべて均一である必要はなく、むし
ろ図１（ｂ）内の矢印の長さで表されるように、位置に
応じて引張り力を異ならせることにより、スクリーン１
に設けられたパターン２と基板３との位置決めをより高
精度に行なうことができる。

【００２７】なお、図１（ｂ）中のＳ方向（スクリーン
１の対角線方向）に引張り力（Ｆ）を加えることによっ
てスクリーン１を伸縮させることにより、より高精度に
パターン２と基板３との位置決めを行なうことも可能で
ある。

【００２８】このようにして、スクリーン１と基板３と
の位置決めを行なうことにより、スクリーン１の伸長お
よび基板３の変形に対しても、高精度にパターン２と基
板３との位置決めを行なうことが可能になる。

【００２９】次に、上記スクリーン１のパターン２と基
板３との高精度な位置決めを実現させるためのスクリー
ン印刷装置１０００の構造について、図２および図３を
参照して説明する。なお図２は、スクリーン印刷装置１
０００の平面図であり、図３は、スクリーン印刷装置１
０００の正面図である。

【００３０】両図を参照して、このスクリーン印刷装置
１０００は、印刷ステーション１００と、基板３および
スクリーン１の交換、脱着および搬送等が行なわれる作
業ステーション２００とを有している。

【００３１】なお、図においては、印刷ステーション１
００の一方の側に作業ステーション２００を設ける場合
について示しているが、例えば、印刷ステーション１０
０の両側に作業ステーション２００を設け、一方を入口
ステーション他方を出口ステーションとすることも可能
である。

【００３２】印刷ステーション１００には、基板３を保
持するための基板ホルダ３０と、基板３をスクリーン１
に対してＸ，Ｙ，θ方向に移動させるため第１位置決め
装置としての第１位置決めユニット２０および基板３を
スクリーン１に対して接近または離反させるための昇降
ユニット１６が一体となって、印刷ステーション１００
と入口ステーション２００との間を往復移動可能なよう
にレール１２の上に支持されている。なお、レール１２
は、フレーム１０上に水平を維持するように載置されて
いる。

【００３３】作業ステーション２００には、スクリーン
１に設けられた第１スクリーン位置合わせマーク１Ａと
基板３に設けられた基板位置合わせマーク３Ａを検出す
るためのＣＣＤカメラ６０が備えられている。なお、Ｃ
ＣＤカメラ６０は、Ｘ−Ｙ方向に移動する機構を有して
いる（図示省略）。

【００３４】次に、図３中のＥで囲まれた領域の印刷部
の構造について、図４を参照して詳細に説明する。

【００３５】印刷部においては、基板３が基板ホルダ３
０によって所定位置に吸引固定されており、基板３は、
スクリーン１に対して下方から接する位置に保持されて
いる。スクリーン１は、その周縁部において、第２位置
決め装置としてのアクチュエータ４０により外側に向か
って引張り力が与えられている。このアクチュエータ４
０は、後述するようにスクリーンホルダ４２に固定され
ている。

【００３６】スクリーンホルダ４２には、スクリーン１
の周縁部を真空吸着するための真空吸着装置４４が複数
個設けられている。さらに、スクリーンホルダ４２に
は、スキージベース走行レール５６が設けられており、
スキージ５０を保持するスキージベース５２が図中矢印
Ａ方向に往復移動可能なように保持される。スキージ５
０が移動することによって、スクリーン１上のインキ４
が、基板３に印刷される。

【００３７】次に、アクチュエータ４０の配置につい
て、図４中Ｆ−Ｆ′線矢視に従った構造について、図５
を参照して説明する。

【００３８】スクリーンホルダ４２には、アクチュエー
タ４０がスクリーン１の外周縁に沿って複数個設けられ
ている。アクチュエータ４０には、フック４０ａが設け
られ、このフック４０ａが、スクリーン１の外周縁に設
けられた係合穴１ａに係合することにより、スクリーン
１に所定の引張り力を与えることができるようになって
いる。

【００３９】このアクチュエータ４０は、その動力とし
て、正圧を利用したエアシリンダ、負圧を用いたベロー
ズ、ダイヤフラムでもよく、また、電磁石を用いたもの
であってもよい。また、ばねを介して、ねじとモータで
引張る構成を採用することも可能である。

【００４０】次に、フック４０ａが、係合穴１ａに係合
する状態について、図６〜図９を参照して、より詳細に
説明する。図６に示す状態は、フック４０ａが係合穴１
ａに係合し、矢印に示す方向にアクチュエータ４０を用
いて引張り力が与えられている状態を示している。

【００４１】図７に示す状態は、スクリーン１に与えら
れる引張り力を解除した状態を示しており、フック４０
ａがアクチュエータ４０によって図中矢印に示す方向に
移動した状態を示している。

【００４２】図８に示す状態は、フック４０ａからスク
リーン１が離れた状態を示している。なお、図９は、図
７に示す状態を下方側から見上げた状態を示している。

【００４３】次に、図１０を参照して、基板ホルダ３０
をスクリーン１に対してＸ，Ｙ，θ方向に移動させるた
めの第１位置決めユニット２０の構成について説明す
る。なお、図１０は、第１位置決めユニット２０を上方
から見た平面図である。

【００４４】基準ベース２０Ａと基板ホルダ３０との間
には、Ｘ方向に基板ホルダ３０を移動させるためのボー
ルねじユニット７１ａと、Ｙ方向に基板ホルダ３０を移
動させるためのボールねじユニット７１ｂ，７１ｃが設
けられている。さらに、基準ベース２０Ａと基板ホルダ
３０との間には、ばねユニット７０ａ，７０ｂ，７０ｃ
が設けられている。

【００４５】ボールねじユニット７１ａ，７１ｂ，７１
ｃは、それぞれモータ７２とボールねじ７３とを有して
おり、モータ７２を駆動させてボールねじ７３を回転さ
せることにより、基板ホルダ３０のＸ，Ｙ，θ方向の位
置決めを高精度に行なうことが可能となっている。な
お、基準ベース２０Ａは、図３に示す昇降ユニット１６
に支持されている。

【００４６】次に、図１１〜図１３を参照して、上述し
たスクリーン印刷装置１０００を用いた印刷手順とスク
リーン１と基板３との位置合わせの原理について説明す
る。

【００４７】スクリーン１には、第１スクリーン位置合
わせマーク１Ａとして、円形の抜き穴を設け、基板３に
は、この第１スクリーン位置合わせマーク１Ａよりも小
さい円形の抜き穴からなる基板位置合わせマーク３Ａを
設けている。また、スクリーン１の中央部分には、所定
形状のパターン２が形成されている。

【００４８】ステップ１まず、図１１に示すように、作業ステーション２００に
おいて、基板ホルダ３０の位置決めピン３０ａに、基板
３を当接し、基板ホルダ３０の所定位置に基板３を吸着
保持する。

【００４９】ステップ２次に、図１２に示すように、基板３を保持した基板ホル
ダ３０を作業ステーション２００から印刷ステーション
１００へ移動する。印刷ステーション１００において
は、スクリーン位置決めマーク１Ａと基板位置決めマー
ク３Ａとが重なった状態となる。

【００５０】ステップ３次に、基板ホルダ３０を昇降ユニット１６を用いて上昇
させ、スクリーン１と基板３とを接触させる。その後、
スキージ５０を用いてインキ４をスクリーンの全面に塗
り、基板３にスクリーン１のパターン２および第１スク
リーン位置合わせマーク１Ａを印刷する。

【００５１】ステップ４次に、図１３に示すように、スクリーン印刷終了後、基
板ホルダ３０を下降させて、基板３を保持した基板ホル
ダ３０を印刷ステーション１００から作業ステーション
２００に移動させる。

【００５２】次に、スクリーン１と基板３との位置決め
について説明する。スクリーン１の第１スクリーン位置
合わせマーク１Ａが印刷された基板３の状態を図１３
（ａ）および（ｂ）に示す。基板３の基板位置合わせマ
ーク３Ａの周囲に、円形の第１スクリーン位置合わせマ
ーク１Ａが印刷される。

【００５３】図１３（ｂ）で示すように、スクリーン１
と基板３との位置決めが正確に行なわれた場合は、第１
スクリーン位置合わせマーク１Ａと基板位置合わせマー
ク３Ａの中心が一致する。一方、スクリーン１と基板３
との位置決めが正確に行なわれなった場合は、図１３
（ａ）のように、第１スクリーン位置合わせマーク１Ａ
と基板位置合わせマーク３Ａの中心とはずれる。

【００５４】この第１スクリーン位置合わせマーク１Ａ
と基板位置合わせマーク３Ａのずれ量をＣＣＤカメラ６
０を用いて読取り、専用のプロセッサで演算処理し、ア
クチュエータ４０および第１位置決めユニット２０に所
定の信号を出力して、図１３（ｂ）に示す状態になるよ
うに修正する。

【００５５】上述の図１１〜図１３に示す動作を１回ま
たは複数回繰返して行ない、第１スクリーン位置合わせ
マーク１Ａと基板位置合わせマーク３Ａの位置合わせを
行ない、両者のずれ量が許容する範囲内の値になれば、
連続して印刷する作業を行なう。

【００５６】この場合、印刷するごとにＣＣＤカメラ６
０により、第１スクリーン位置合わせマーク１Ａと基板
位置合わせマーク３Ａとのずれ量をチェックしてもよい
し、また、所定の回数ごとに位置ずれ量をチェックする
ようにしても構わない。

【００５７】なお、許容値を外れるずれ量となった場
合、上述のように、専用のプロセッサで演算処理を行な
い、上記と同様の修正を行なう。

【００５８】上述したように、本発明に基づいたスクリ
ーン印刷装置によれば、スクリーンに描かれたパターン
寸法、形状を修正することができるため、スクリーンの
伸び、基板の伸縮があっても、高精度に両者の位置合わ
せを行なうことが可能となる。

【００５９】また、スクリーン１に基板３の外周よりも
外側に第１スクリーン位置合わせマーク１Ａと同様の形
状の第２スクリーン位置合わせマークを設け、基板ホル
ダ３０にもこの第２スクリーン位置合わせマークに対応
する位置に基板ホルダ位置合わせマークを設け、さら
に、スクリーン保持部４２に、第１位置決め装置とＣＣ
Ｄカメラを備えることによって、スクリーン１に設けら
れた第２スクリーン位置合わせマークと、基板ホルダ３
０に設けられた基板ホルダ位置合わせマークとを予め位
置合わせし、基板ホルダ位置合わせマークに対して第２
スクリーン位置合わせマークが相対的に一定の位置にあ
るようにすれば、スクリーン１と基板３との位置合わせ
動作の回数を少なくすることが可能となる。この場合、
第２スクリーン位置合わせマークは、スキージ５０の走
行範囲外であることが望ましい。これは、第２スクリー
ン位置合わせマークがインキで汚れるのを防止するため
である。

【００６０】また、スクリーンの修正動作完了後、スク
リーン１の周縁をスクリーン保持材４２に設けられた真
空吸着装置４４を用いて固定することによって、スクリ
ーンの不要な変形を防止することが可能となる。

【００６１】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。

【００６２】

【発明の効果】本願発明におけるスクリーン印刷装置に
よれば、予め小さくスクリーンに描かれたパターンを第
２位置決め装置を用いてスクリーンを弾性的にＸ，Ｙ方
向に伸長し、パターンを所定の大きさに設定するととも
に、基板とスクリーンとの相対的な位置を第１位置決め
装置を用いて微調整することにより、スクリーンに設け
られたパターンと基板との位置決めを極めて高精度に行
なうことを可能としている。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に基づいたスクリーン印刷装置の動作
原理を示す模式図である。

【図２】この発明に基づいたスクリーン印刷装置の平面
図である。

【図３】この発明に基づいたスクリーン印刷装置の正面
図である。

【図４】図３中Ｅで囲まれた領域の拡大図である。

【図５】図４中Ｆ−Ｆ′線矢視図である。

【図６】アクチュエータ４０の動作状態を説明するため
の第１の図である。

【図７】アクチュエータ４０の動作状態を説明するため
の第２の図である。

【図８】アクチュエータ４０の動作状態を説明するため
の第３の図である。

【図９】図７に示す状態のアクチュエータ４０の見上げ
図である。

【図１０】第１位置決めユニット２０の平面図である。

【図１１】この発明に基づいたスクリーン印刷装置の印
刷手順と位置合わせの原理を説明するための第１の図で
ある。

【図１２】この発明に基づいたスクリーン印刷装置の印
刷手順と位置合わせの原理を説明するための第２の図で
ある。

【図１３】この発明に基づいたスクリーン印刷装置の印
刷手順と位置合わせの原理を説明するための第３の図で
ある。

【符号の説明】

１スクリーン１ａ係合穴１Ａ第１スクリーン位置合わせマーク２パターン３基板３Ａ基板位置合わせマーク４インキ１０フレーム１２レール１４ベース１６昇降ユニット２０第１位置決めユニット３０基板ホルダ３０ａ位置決めピン４０アクチュエータ４０ａフック４２スクリーンホルダ４４真空吸着装置５０スキージ５２スキージベース５６スキージベース走行レール６０ＣＣＤカメラ７０ａ，７０ｂ，７０ｃばねユニット７１ａ，７１ｂ，７１ｃボールねじユニット７２モータ７３ボールねじ１００印刷ステーション２００作業ステーション１０００スクリーン印刷装置

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１０年３月３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１２

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１９】また、上記基板に印刷が行なわれる印刷ス
テーションの片側または両側に、上記基板および上記ス
クリーンの交換、脱着および搬送等が行なわれる作業ス
テーションが設けられ、上記位置ずれ量検出装置は、
Ｘ，Ｙ方向に移動可能なＣＣＤカメラを少なくとも１台
含み、このＣＣＤカメラが、上記作業ステーションに設
けられている。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２０】また、上記基板および上記スクリーンの交
換、脱着および搬送等が行なわれる作業ステーションと
上記基板に印刷が行なわれる印刷ステーションが設けら
れ、上記位置ずれ量検出手段は、Ｘ，Ｙ方向に移動可能
なＣＣＤカメラを少なくとも１台含み、このＣＣＤカメ
ラが、少なくとも上記作業ステーションおよび上記印刷
ステーションに設けられている。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スクリーン保持部材に保持されパターン
を有するスクリーンと、前記スクリーン上を移動するス
キージとによって、基板保持部材に支持され前記スクリ
ーン下に接する基板にインキを用いて前記パターンを印
刷するスクリーン印刷装置であって、前記スクリーンと前記基板との位置合わせを行なうた
め、前記スクリーンおよび前記基板にそれぞれ設けられ
る第１スクリーン位置合わせマークおよび基板位置合わ
せマークと、前記スクリーンと前記基板とを相対的にＸ，Ｙ，θ方向
に移動させるための第１位置決め手段と、前記スクリーン保持部材に設けられ、前記スクリーンの
周縁の少なくとも一部に引張り力を加えて前記スクリー
ンを弾性的に伸長させることにより、前記基板に対する
前記スクリーンの位置決めを行なうための第２位置決め
手段と、前記第１スクリーン位置合わせマークと前記基板位置合
わせマークとの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手
段と、前記位置ずれ量検出手段から得られた情報に基づいて前
記第２位置決め手段を用いて引張り力を調整し、かつ、
前記第１位置決め手段を用いて前記基板と前記スクリー
ンとの相対的な位置を調整して、前記基板と前記スクリ
ーンとの位置ずれ量を最小値にするための制御手段と、
を有するスクリーン印刷装置。
【請求項２】前記基板位置合わせマークを前記基板の
内側に複数個設け、前記スクリーンの前記基板位置合わ
せマークに対応する位置に前記第１スクリーン位置合わ
せマークを設けた、請求項１に記載のスクリーン印刷装
置。
【請求項３】前記スクリーンの前記基板の外側に対応
する位置に第２スクリーン位置合わせマークを複数個設
け、前記基板保持部材の前記第２スクリーン位置合わせ
マークに対応する位置に基板保持部材位置合わせマーク
を複数設けた、請求項１または２に記載のスクリーン印
刷装置。
【請求項４】前記第１位置決め手段は、前記基板保持
部材に設けられる、請求項１〜３のいずれか１項に記載
のスクリーン印刷装置。
【請求項５】前記第１位置決め手段は、前記スクリー
ン保持部材に設けられる、請求項１〜３のいずれか１項
に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項６】前記第１位置決め手段は、前記基板保持
部材と前記スクリーン保持部材との両方に設けられる、
請求項１〜３のいずれか１項に記載のスクリーン印刷装
置。
【請求項７】前記第２位置決め手段は、前記スクリーンの周縁に設けられる係合穴と、前記係合穴に係合する係合部材が設けられ、前記係合穴
を介して前記スクリーンを外方向に向かって引張る複数
のアクチュエータと、を有する、請求項１〜６のいずれ
か１項に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項８】前記スクリーン保持部材に取付けられ、
前記スクリーンの周縁部を真空吸着して前記スクリーン
を固定するための真空吸着手段をさらに有する、請求項
１〜７のいずれか１項に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項９】前記スクリーンは、金属の薄板であり、
この薄板に所定の抜穴によって前記パターンが形成され
ている、請求項１〜８のいずれか１項に記載のスクリー
ン印刷装置。
【請求項１０】前記スクリーンは、プラスチックのフ
ィルムまたはプラスチックの薄板であり、このフィルム
または薄板に所定の抜穴によって前記パターンが形成さ
れている、請求項１〜８のいずれか１項に記載のスクリ
ーン印刷装置。
【請求項１１】前記位置ずれ量検出手段は、Ｘ，Ｙ方
向に移動可能なＣＣＤカメラを含み、前記ＣＣＤカメラ
は、前記スクリーンの上方に設けられる、請求項１〜１
０のいずれか１項に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１２】前記基板および前記スクリーンの交
換、脱着および搬送等が行なわれる作業ステーションと
前記基板に印刷が行なわれる印刷ステーションが設けら
れ、前記位置ずれ量検出手段は、Ｘ，Ｙ方向に移動可能なＣ
ＣＤカメラを複数台含み、このＣＣＤカメラが、少なく
とも前記作業ステーションおよび前記印刷ステーション
の上方に設けられる、請求項１〜１０のいずれか１項に
記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１３】前記作業ステーションは、前記印刷ステーションの入口側に配置される入口ステー
ションと、前記印刷ステーションの出口側に配置される出口ステー
ションと、を含む、請求項１２に記載のスクリーン印刷
装置。