JPH1124238A - ペリクルの収納構造及びその収納方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来、ペリクルをトレイとフタとよりなるケー
スに収納し、かつこれ等のトレイとフタとをペリクルに
接触させることによってペリクルを拘束し、この状態
で、ペリクルを輸送した場合には、輸送時の振動や衝撃
によってペリクルを擦って損傷したり、強い擦れによる
塵が発生してペリクルに付着したりする問題があった。 【解決手段】枠体１と、この枠体１の上縁面に接着され
たペリクル膜２と、該枠体１の下端面に塗着した粘着材
３と、該粘着材３を保護するために枠体１の下端面に粘
着された保護フィルム４とからなるペリクルを、トレイ
５とフタ６とよりなるケースに収納する構造に於いて、
保護フィルム４に所定の接着力を有する粘着材８を塗着
して、該保護フィルム４をトレイ５に仮着したペリクル
の収納構造である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ等を製造す
る際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクや
レティクルに異物が付着することを防止するために用い
られるペリクルの収納構造及びその収納方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体回路パターン等の製造に於
いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、
フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止するこ
とが行われている（例えば特公昭５４ー２８７１８号公
報）。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状
に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面
に、厚さ１０μｍ内外以下のニトロセルロース或いはセ
ルロース誘導体などの透明な高分子膜（以下、ペリクル
膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘
着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で
保護フィルムを粘着させたものである。

【０００３】前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或
いはレティクルに固着するためのものであり、また、保
護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の
接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護する
ものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬す
るに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防
ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリ
クルをトレイとフタとからなるケースに収納し、更に防
塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。

【０００４】従来、前述の構造を有するペリクルのケー
スの収納は、図３乃至図４に示すように行われていた。
即ち、図に於いて、ペリクル膜５２は展張（ピンと張っ
た）状態で枠体５１の一方の上縁面に接着され、枠体５
１の他の面（下縁面）には適当な厚さの粘着材５３が設
けられ、さらに粘着材５３の下面には保護フィルム５４
が貼り付けられてペリクルを構成している。このペリク
ルは、トレイ５５の平坦な面である設置面５５ａの上に
保護フィルム５４が接するように置かれる。

【０００５】トレイ５５の設置面５５ａ上に載置された
ペリクルは、トレイ５５に設けられた突起状のポスト５
５ｂによって、左右の動きが拘束され、そしてフタ５６
を上方からかぶせ、クリップ５７によってフタ５６とト
レイ５５との４隅を固定することによってケースに収納
されていた。この結果、前記ペリクルはフタ５６の斜面
５６ａと、ポスト５５ｂと、設置面５５ａとに囲まれて
拘束され、ケースに収納された状態となっていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】然るに、前述のように
ペリクルはケースのフタ５６の斜面５６ａ、ポスト５５
ｂ及び設置面５５ａで拘束された収納状態で輸送される
が、輸送時には何らかの振動、衝撃を受けることは避け
ることが出来なかった。従来のペルクルのケース内での
拘束状態において、ペリクルとケースのフタ５６の斜面
５６ａとの間に大きな隙間があると、輸送時の振動、衝
撃によってペリクルがケースのフタ５６にぶつかり、こ
の部分が強い擦れのために摩耗して発塵することがあっ
た。このような場合には、ペリクルを異物のない状態で
使用者に届けるという最も重要な機能を失うことになる
問題があった。

【０００７】一方で、ペリクルとケースとの間の隙間を
なくした場合には、すなわち前記斜面５６ａが前記枠体
５１（或いは前記ペリクル膜５２の端部）と予め接触し
ている場合にも、相互の接触圧力によって斜面５６ａの
内面或いは前記ペリクル膜５２の端部が摩耗し、異物を
発生することが経験上知られている。

【０００８】そこで、かかるペリクルの収納構造に於い
て最も好ましいとされているやり方は、前記ペリクルと
前記ケースのフタ５６の斜面５６ａとの間にごく僅かな
隙間をとるというものである。具体的には前記ペリクル
をトレイ５５の上に置き、フタ５６をかぶせ、クリップ
５７でフタ５６とトレイ５５を相互に固定したとき、斜
面５６ａと枠体１の上端との間に０．１乃至０．３ｍｍ
程度の隙間を設ける構造である。

【０００９】発明者の実験によって、このような隙間の
確保で、ある程度の振動、衝撃に耐えることが確かめら
れている。しかし、この場合にも大きな衝撃を受けた時
には、発塵する問題があった。更に梱包の方法（例えば
衝撃効果の高い軟らかい発泡材等を大量に使用するな
ど）によってケースやペリクルに加わる衝撃を和らげる
手段が必要であり、或いは振動や衝撃の少ない輸送手段
を必要としたり、前述のフタ５６とペリクルとの適度の
隙間を確保するために、トレイ５５やフタ５６の成形を
高い精度で行う必要があるなど、コスト面で非常に好ま
しくない問題があった。しかし、これ等の多くの手段も
原理的に、全く発塵しないことを保証することは極めて
難しいという問題があった。

【００１０】本発明は前述の多くの問題点に鑑み開発さ
れた全く新しい技術であって、特にペリクルをケース内
に収納するに当たって、ペリクルをケースのトレイの設
置面上に所定の接着力で仮着することによって、ペリク
ルをケース内に拘束するようにし、これによって輸送時
の振動や衝撃に充分耐えることが出来るようにした全く
新しい技術を提供するものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明者は、前述の多く
の問題点に鑑み、長年の研究と種々の実験を行うことに
よって、ペリクルを、これを収納するケースのトレイに
固定することによって、前述の問題が解消されることを
発見した。しかし、ケース内に収納されたペリクルが使
用者側に届いた後では、使用者がペリクルをケース内か
ら容易に取り出すことが出来なくてはならないので、ペ
リクルをトレイに固定するに当たっては、この点を充分
考慮しなければならいことに思い至った。

【００１２】即ち、ペリクルをトレイに固定するに当た
っては、使用者がこのトレイからペリクルを容易に取り
出すことが出来る所定の接着力で接着或いは粘着して一
時的に仮着しておくことを発明した。

【００１３】前述のように、ペリクルをトレイと所定の
接着力で仮着するとは、例えば、輸送中の振動や衝撃が
加わった時に、ペリクルとトレイとが接着状態を保つぎ
りぎりの強さとするのが合理的である。発明者の実験
で、適度の緩衝材を詰めた梱包では、通常の陸上輸送時
にケースには、５Ｇ乃至１０Ｇ程度の加速度が加わると
いうデータがある。従ってペリクルの重さの１０倍程度
の接着力が現実的な効果を得る上では適当であると考え
られる。

【００１４】しかし、原理的にいえば、いかなる小さい
接着力であっても衝撃に対しては抵抗力となり、前記ペ
リクルと前記フタとの擦れの強さを緩和する効果があ
る。従って本発明における前記接着力の下限を設定する
必要はないが、本発明の効果をより明瞭ならしめるた
め、および本発明に実施を明らかに判別出来るようにす
るために接着力或いは粘着力の下限を次のように設定す
る。

【００１５】即ち、この接着力あるいは粘着力について
は定義しにくい面もあるが、本発明においては、接着部
に対して一定の荷重を加えて１秒以上完全剥離しないと
き、この接着力はこの一定荷重以上あると定義する。こ
の定義に基づく、前記接着力の下限は、前記ペリクルの
自重程度とすることが出来る。

【００１６】一方で、前記接着力の上限は、ペリクルを
ケースから取り出す方法によって、条件が様々に変化す
るので、これを決定することは困難である。すなわち、
例えば単にトレイを自重に任せた状態で平坦な面上に置
き、その上に載っているペリクルを取り出すとすれば、
ペリクルとトレイとの接着力はトレイの自重以下である
必要がある。さもないとペリクルを取り出すために持ち
上げた時、トレイも持ち上がってしまうからである。

【００１７】しかし、近年は使用者が自動貼付機を使用
してトレイからペリクルを取り出す方法が増えている。
この場合には、トレイを吸着パッドで固定するために、
更に強い接着力であっても、トレイからペリクルを脱離
させることが可能である。かかるごとく、ペリクルとト
レイとの接着力の上限は、ペリクルを取り出すときのト
レイの固定方法によって選択の余地があり、その状況に
よって適宜選ぶべきである。勿論、必要最小限の接着力
が実用上好ましいことは、言を待たない。

【００１８】本発明に係るペリクルの収納構造は、前述
の如く従来の多くの問題を解決すべく発明されたもので
あって、その発明全体の構成をまとめると、先ず、第１
発明の要旨は、枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペ
リクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘
着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フ
ィルムからなるペリクルを、トレイのフタとよりなるケ
ースに収納する構造に於いて、前記ペリクルの保護フィ
ルムを所定の接着力で直接前記トレイに仮着して構成し
たことを特徴としたペリクルの収納構造である。

【００１９】本発明のペリクルの収納構造は、前述のよ
うに、ペリクルをトレイとフタとよりなるケースに収納
するに当たって、ペリクルの保護フィルムを所定の接着
力で前記トレイに仮着したので、ペリクルをこの所定の
接着力を介してトレイに直接に拘束することが出来、こ
れによってペリクルを輸送する際に、振動や衝撃によっ
てペリクルがケースに強くぶつかることを防ぎ、塵が発
生することを防止することが出来る。

【００２０】本発明に係るペリクルの収納構造の第２発
明の要旨は、前記ペリクルの保護フィルムを前記トレイ
に仮着するに当たっては、該保護フィルムと枠体との接
着力よりも弱いペリクルの自重を支えることが出来る程
度の接着力で仮着して構成したことを特徴とした第１発
明のペリクルの収納構造である。

【００２１】第２発明に於いては、前述のように、ペリ
クルの最下面に位置する保護フィルムをトレイに仮着さ
せるに当たって、保護フィルムと枠体との接着力よりも
弱いペリクルの自重を支えることが出来る程度の接着力
でトレイに仮着したので、トレイに仮着されているペリ
クルを極めて弱い力でトレイから簡単に剥離して取り出
すことが出来る。

【００２２】本発明に係るペリクルの収納方法も前述の
ペリクルの収納構造と同様に、従来の多くの問題点を根
本的に改善した技術であって、その発明の要旨は、枠体
と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体
の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するため
に枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリ
クルを、トレイとフタとよりなるケースに収納する方法
に於いて、前記ペリクルの枠体の下縁面に粘着された保
護フィルムの下面或いはトレイの設置面に所定の接着力
を有する接着材あるいは粘着材を塗着した後、該保護フ
ィルムを前記トレイに所定の接着力で接着してペリクル
をトレイに仮着することを特徴とするペリクルの収納方
法である。

【００２３】前述の本発明の収納方法に於いては、ペリ
クルの枠体の下縁面に粘着された保護フィルムの下面
に、所定の接着力を有する接着材あるいは粘着材を塗着
して該保護フィルムをトレイに仮着するので、ペリクル
をケース内のトレイの所定位置に正確かつ極めて容易に
仮着させ、これによってペリクルをトレイを介して安定
した状態で拘束することが出来る。

【００２４】

【発明の実施の形態】図により本発明に係るペリクルの
収納構造及びその収納方法の一実施例について具体的に
説明すると、図１は本発明に係るペリクルの収納構造を
示す縦断面説明図、図２は図１の要部を拡大した状態の
縦断面拡大説明図である。

【００２５】図１及び図２に於いて、ペリクルは既に詳
述したように、枠体１と、該枠体１の上縁面に接着され
たペリクル膜２と、該枠体１の下縁面に塗着された粘着
材３と、該粘着材３を保護するために粘着材３に粘着さ
れた保護フィルム４から構成されている。前記実施例に
於いては、枠体１の下縁面に粘着材３を塗着して形成し
たが、予め層状に形成された粘着材３は単に枠体１の下
縁面に積層して貼着するのみで良い（しかし、本明細書
に於いては、このような場合も含めて単に「塗着する」
と総称する）。

【００２６】前述のように構成されたペリクルを、トレ
イ５とフタ６とよりなるケースに収納するに当たって、
どのようにすれば効果的であるか、また、ペリクルをト
レイ５に具体的にどこで接着すべきか等について全体的
に、検討すると次の通りである。

【００２７】即ち、先ずペリクルとトレイ５との接触す
る可能性がある部分は、前記枠体１とこの枠体１を周り
から支持している複数個のポスト５ｂとの間、あるいは
前記保護フィルム４と前記ポスト５ｂとの間、または前
記保護フィルム４と前記ペリクルの設置面５ａとの間が
考えられる。

【００２８】勿論このほかにも、前記トレイ５に、前記
ペリクルに接触する構造を積極的に設けることも可能で
あるし、例えば粘着テープ等によって前記トレイ５と前
記枠体１とを結び合うことなども可能であるが、通常ペ
リクルのトレイ５への収納、輸送、取り出しは、図１の
ように、前記トレイ５を下にしてその上に前記ペリクル
が置かれているという構造上、最も安定的にペリクルを
トレイ５上に固定できるのは、前記保護フィルム４と前
記設置面５ａとの間を粘着材（或いは接着剤）８により
接着する構造である。図中、７はトレイ５及びフタ６の
コーナー部を固定するクリップである。

【００２９】この場合、前記ペリクルを前記トレイ５か
ら取り出すとき、従来通り前記保護フィルム４が前記粘
着剤３に固着したまま取り出せるように、前記保護フィ
ルム４とトレイ５との間の接着力は、前記保護フィルム
４と前記粘着材３との間の接着力よりも弱くすべきであ
る。

【００３０】このように、保護フィルム４と設置面５ａ
との間に粘着材８を設ける方法による場合、粘着材３と
保護フィルム４との間の粘着力と、保護フィルム４と粘
着材８との間の粘着力と、粘着材８と設置面５ａとの間
の粘着力とのバランスを調整するために、粘着材３、保
護フィルム４、粘着材８及び設置面５ａの材料を選択す
るのが有効的である。この粘着材８を保護フィルム４と
トレイ５との間に介在させるに当たっては、粘着材８を
予め保護フィルム４或いはトレイ５のいずれに塗着する
ことも可能である。

【００３１】本発明に於いては、これ等の材料を特に限
定するものではないが、一般的に、粘着材３は、レティ
クルやマスク材料への接着性や剥離性の観点から、ゴム
系、アクリル系あるいはシリコン系などの粘着材を選択
する。また、設置面５ａすなわちトレイ５の材質は、成
形性や帯電防止性などの観点から、例えば制電性を付与
したアクリル樹脂や、ＡＢＳ樹脂などのプラスチックを
使用するのが一般的である。

【００３２】そこで上記粘着力のバランスを調整するた
めには、保護フィルム４の材質と粘着材８の材料の選択
によることが好ましい。保護フィルム４としてはポリエ
チレンやポリエステル等のフィルムが使用できる。これ
らの材料は単独で用いても良いが、フィルムの片面ある
いは両面にシリコーンなどの皮膜を形成して粘着力を制
御することもできる。

【００３３】特に、シリコーン処理ポリエステルフィル
ムは、シリコーンの種類により表裏で粘着力を変えるこ
とも可能であり、設計の自由度が得られる。また粘着材
８は粘着力や発塵性の観点から、ゴム系、アクリル系あ
るいはシリコン系などの粘着材を適宜選択する。

【００３４】前述の本願発明のペリクルの収納構造及び
その収納方法の具体的実施例を詳細に説明すると、次の
通りである。

【００３５】

【実施例１】図１および図２において、枠体１、ペリク
ル膜２、粘着材３、保護フィルム４からなるペリクル
を、設置面５ａの前記保護フィルム４に対応する箇所に
アクリルラテックス系の粘着材８を塗布し、前記保護フ
ィルム４を前記設置面５ａに仮着することによって、ペ
リクルをトレイ５に粘着固定し、ペリクルをトレイ５に
拘束してケースに収納した。

【００３６】この時前記ペリクルの上端と、フタ６の斜
面６ａとの間には、約０．３ｍｍの隙間が確保されてい
た。かかる収納状態のケースを１０セット段積みにし、
一般にエアキャップと呼ばれている緩衝材を周囲に配置
した上で、段ボール箱に収納するという梱包状態で、落
下テストを実施した。高さ１ｍからの落下テストを１０
回実施した結果、前記ペリクルと前記フタ６との擦れお
よび擦れに基づく発塵は全く認められなかった。

【００３７】この実施例に於いては、前記アクリルラテ
ックス系の粘着材８は、前記保護フィルム４の全周に亘
って接着（粘着）するような塗布ではなく、８ヶ所のス
ポット的な塗布を行った。この時の接着力は、先の定義
で表現すれば、前記ペリクルの重量の８倍以上で、１５
倍以下であった。そして前記トレイ５を下面からエアの
吸着パッドで吸着固定した状態で、前記ペリクルを手で
トレイ５から容易に取り外すことが出来た。

【００３８】

【比較例１】前述の実施例１に対して、この比較例１で
は、前記アクリルラテックス系粘着材８を保護フィルム
４とトレイ５との間に介在させないで、従来の収納方法
と同じく、保護フィルム５をトレイ５に直接載置した状
態のままの構成にしておき、前述の実施例１と全く同一
の梱包状態で落下テストを実施した。その結果１０枚の
ペリクル全てに擦れが観察され、更にその内の半数では
発塵が認められた。なお、この落下テストに於ける衝撃
値は、外箱である前記段ボール箱では最大衝撃値５０Ｇ
が測定され、前記ペリクルを収納したケースでは最大１
０Ｇが測定された。（富士フィルム（株）製ショックセ
ンサー使用）。

【００３９】

【発明の効果】本発明に係るペリクル収納構造及びその
収納方法は、前述のような構成と作用とを有するので、
次のような多大な効果を有している。

【００４０】本発明では、ペリクルをトレイとフタより
なるケースに収納するに当たって、ペリクルの保護フィ
ルムと所定の接着力で該トレイに仮着して構成したの
で、ペリクルを輸送する際に振動や衝撃によってペリク
ルがケースに強く接触することを防止することが出来
る。

【００４１】従って、ペリクルがケースに強くぶつかっ
て擦れが発生してペリクル自体を損傷させたり、或いは
ペリクルとケースとの強い擦れによる小さな塵が発生
し、この塵がペリクルに付着したりすることを防止出来
る。

【００４２】本発明では、ペリクルの保護フィルムを所
定の接着力でトレイに接着させたので、該トレイよりペ
リクルを簡単に取り出すことが出来る。特にペリクルを
トレイに仮着させるに当たって、保護フィルムと枠体と
の接着力よりも弱いペリクルの自重を支えることが出来
る程度の接着力でトレイに仮着した場合には、ペリクル
をトレイから弱い力で容易に取り出すことが出来る。

【００４３】本発明は前述のように全体の構成が極めて
簡単であるので、何ら特別の手段を用いることなく、容
易に実施することが出来、従って安価に効率良く実施す
ることが出来、しかもペリクルをその本来の機能を損な
うことなく、使用者に安全かつ安価に提供することが出
来る等の多大な効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るペリクルの収納構造を示す縦断面
説明図である。

【図２】図１の要部を拡大した状態の縦断面拡大説明図
である。

【図３】従来例のペリクルの収納例を示す縦断面説明図
である。

【図４】図３の要部を拡大した状態の縦断面拡大説明図
である。

【図５】図３のペリクルの収納状態を示す要部の平面説
明図である。

【符号の説明】

１ 枠体 ２ ペリク
ル膜 ３ 粘着材 ４ 保護フ
ィルム ５ トレイ 5a 設置面 5b ポスト ６ フタ 6a 斜面 ７ クリッ
プ ８ 粘着材 51 枠体 52 ペリク
ル膜 53 粘着材 54 保護フ
ィルム 55 トレイ 56 フタ 57 クリップ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリ
   クル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着
   材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィ
   ルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケー
   スに収納する構造に於いて、前記ペリクルの保護フィル
   ムを所定の接着力で直接前記トレイに仮着して構成した
   ことを特徴としたペリクルの収納構造。
2. 【請求項２】前記ペリクルの保護フィルムを前記トレイ
   に仮着するに当たって、該保護フィルムと枠体との接着
   力よりも弱いペリクルの自重を支えることが出来る程度
   の接着力で仮着して構成したことを特徴とした請求項１
   のペリクルの収納構造。
3. 【請求項３】枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリ
   クル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着
   材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィ
   ルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケー
   スに収納する方法に於いて、前記ペリクルの枠体の下縁
   面に粘着された保護フィルムとトレイとの間に所定の接
   着力を有する接着材あるいは粘着材を介在させた後、該
   保護フィルムを前記トレイに所定の接着力で接着してペ
   リクルをトレイに仮着することを特徴とするペリクルの
   収納方法。