JPH11244843A - 蒸気圧縮式純水製造装置 - Google Patents
蒸気圧縮式純水製造装置Info
- Publication number
- JPH11244843A JPH11244843A JP5301998A JP5301998A JPH11244843A JP H11244843 A JPH11244843 A JP H11244843A JP 5301998 A JP5301998 A JP 5301998A JP 5301998 A JP5301998 A JP 5301998A JP H11244843 A JPH11244843 A JP H11244843A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pure water
- water production
- steam
- vapor compression
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Physical Water Treatments (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Heat Treatment Of Water, Waste Water Or Sewage (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ボイラの加熱蒸気を使用せずに純水を製造す
ることが出来る蒸留法純水製造装置を提供する。 【解決手段】 単効用の蒸発器1 と、蒸発器1 の伝熱管
3 を加熱する熱媒蒸気を圧縮するための蒸気圧縮機12と
からなる蒸気圧縮式純水製造装置である。
ることが出来る蒸留法純水製造装置を提供する。 【解決手段】 単効用の蒸発器1 と、蒸発器1 の伝熱管
3 を加熱する熱媒蒸気を圧縮するための蒸気圧縮機12と
からなる蒸気圧縮式純水製造装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体工業等の
電子工業で使用される純水を製造するための蒸気圧縮式
純水製造装置に関する。
電子工業で使用される純水を製造するための蒸気圧縮式
純水製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術は、イオン交換樹脂と膜分離
技術を組み合わせた方法と、多重効用蒸留法による方法
がある（特願平９−７９２７７）。
技術を組み合わせた方法と、多重効用蒸留法による方法
がある（特願平９−７９２７７）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の蒸留法による純
水製造装置では、熱源として加熱蒸気を使用しており、
加熱蒸気として、ボイラ蒸気を使用するのが一般的であ
る。近年、省エネルギーが進み、工場には余剰蒸気が少
なく、蒸留法純水製造装置を新設する場合、ボイラも新
設している。ところが、ボイラを新設すると、工場全体
としての排ガス量が増加するという問題がある。近年、
地球温暖化問題に対する関心が高まり、特に工場からの
炭酸ガス排出量増加については規制が強まる傾向があ
る。また、ボイラを設置する新たな敷地も必要となる。
水製造装置では、熱源として加熱蒸気を使用しており、
加熱蒸気として、ボイラ蒸気を使用するのが一般的であ
る。近年、省エネルギーが進み、工場には余剰蒸気が少
なく、蒸留法純水製造装置を新設する場合、ボイラも新
設している。ところが、ボイラを新設すると、工場全体
としての排ガス量が増加するという問題がある。近年、
地球温暖化問題に対する関心が高まり、特に工場からの
炭酸ガス排出量増加については規制が強まる傾向があ
る。また、ボイラを設置する新たな敷地も必要となる。
【０００４】更に、純水製造装置の能力が大きくなる
と、ボイラの能力も大きくなり、ボイラ技士により運転
・管理を実施しなければならなくなり、ランニングコス
トが増加する。
と、ボイラの能力も大きくなり、ボイラ技士により運転
・管理を実施しなければならなくなり、ランニングコス
トが増加する。
【０００５】また、従来法の蒸溜法による純水製造装置
では、最終効用で発生した蒸気を凝縮するための冷却水
が必要であり、そのために冷却塔を新設する必要があ
る。
では、最終効用で発生した蒸気を凝縮するための冷却水
が必要であり、そのために冷却塔を新設する必要があ
る。
【０００６】本発明は、上記の実状に鑑み、ボイラの加
熱蒸気を使用せずに純水を製造することが出来る蒸留法
純水製造装置を提供することを目的とする。
熱蒸気を使用せずに純水を製造することが出来る蒸留法
純水製造装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による第１の蒸留
法純水製造装置は、単効用の蒸発器と、蒸発器の伝熱管
を加熱する熱媒蒸気を圧縮するための蒸気圧縮機とから
なる純水製造装置である。
法純水製造装置は、単効用の蒸発器と、蒸発器の伝熱管
を加熱する熱媒蒸気を圧縮するための蒸気圧縮機とから
なる純水製造装置である。
【０００８】本発明による第２の蒸留法純水製造装置
は、第１の蒸留法純水製造装置の下流に、従来法のサブ
システム、すなわち、紫外線酸化装置、その下流のカー
トリッジ・ポリッシャーおよびその下流の限外ろ過装置
を組み合わせた超過純水製造装置である。
は、第１の蒸留法純水製造装置の下流に、従来法のサブ
システム、すなわち、紫外線酸化装置、その下流のカー
トリッジ・ポリッシャーおよびその下流の限外ろ過装置
を組み合わせた超過純水製造装置である。
【０００９】上記純水製造装置において、熱媒としては
水、アンモニア、代替フロン等が用いられる。
水、アンモニア、代替フロン等が用いられる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明による蒸気圧縮式純水製造
装置を実施例により具体的に説明する。
装置を実施例により具体的に説明する。
【００１１】実施例１ ［図１：蒸気圧縮式純水製造装置］ １）水（純水）系のフローはつぎのとおりである。
【００１２】逆浸透装置または脱炭酸／脱気装置で処理
された供給水、あるいは逆浸透装置および脱炭酸／脱気
装置で前処理された供給水が、蒸発器(1) の供給水側底
部の水溜部(2) に入る。水溜部(2) に入った供給水は、
伝熱管(3) 内で水蒸気を発生した残りの濃縮液と混合す
る。この混合液は、循環ポンプ(4) を介して上部水室
(5) に送られ、次いでここから伝熱管(3) 内を薄膜状に
流下し、同管(3) 外面から加熱蒸気の凝縮潜熱を受けて
５５℃程度の温度で蒸発し、水蒸気を発生する。水蒸気
を発生して残った濃縮液は水溜部(2) に流下し、前記の
ごとく供給水と混合し、その大半は循環ポンプ(4) を介
して上部水室(5) に送られる。
された供給水、あるいは逆浸透装置および脱炭酸／脱気
装置で前処理された供給水が、蒸発器(1) の供給水側底
部の水溜部(2) に入る。水溜部(2) に入った供給水は、
伝熱管(3) 内で水蒸気を発生した残りの濃縮液と混合す
る。この混合液は、循環ポンプ(4) を介して上部水室
(5) に送られ、次いでここから伝熱管(3) 内を薄膜状に
流下し、同管(3) 外面から加熱蒸気の凝縮潜熱を受けて
５５℃程度の温度で蒸発し、水蒸気を発生する。水蒸気
を発生して残った濃縮液は水溜部(2) に流下し、前記の
ごとく供給水と混合し、その大半は循環ポンプ(4) を介
して上部水室(5) に送られる。
【００１３】残りの混合液は、伝熱管(3) にスケールが
析出しないように、ある一定の割合で抜き出される。抜
き出される割合は、供給水に含まれるスケール成分の濃
度により決定される。
析出しないように、ある一定の割合で抜き出される。抜
き出される割合は、供給水に含まれるスケール成分の濃
度により決定される。
【００１４】供給水側の伝熱管(3) で発生した水蒸気
は、ミスト分離器(6) を経て熱媒側伝熱管(7) 外側に入
る。水蒸気に同伴するミストは、ミスト分離器(6) によ
りほとんど除去される。この水ミストが除去されたピュ
ア蒸気の大部分は伝熱管(7) 外面で凝縮する。
は、ミスト分離器(6) を経て熱媒側伝熱管(7) 外側に入
る。水蒸気に同伴するミストは、ミスト分離器(6) によ
りほとんど除去される。この水ミストが除去されたピュ
ア蒸気の大部分は伝熱管(7) 外面で凝縮する。
【００１５】ピュア蒸気の凝縮部には、供給水に含まれ
入ってくる微量の非凝縮性ガスを抜き出すためのベント
管(8) が設けてあり、真空ポンプ(9) で抽気されてい
る。凝縮液は、熱媒側凝縮部に近接した純水溜部(10)に
入る。純水溜部(10)に溜まった凝縮液は、純水ポンプ(1
1)で抜き出される。
入ってくる微量の非凝縮性ガスを抜き出すためのベント
管(8) が設けてあり、真空ポンプ(9) で抽気されてい
る。凝縮液は、熱媒側凝縮部に近接した純水溜部(10)に
入る。純水溜部(10)に溜まった凝縮液は、純水ポンプ(1
1)で抜き出される。
【００１６】純水ポンプ(11)で抜き出された凝縮液は、
抵抗率１５ＭΩ・ｃｍ（理論純水の抵抗率１８．２４Ｍ
Ω・ｃｍ。この明細書での抵抗率は、全て２５℃への換
算値とする）程度の純水である。
抵抗率１５ＭΩ・ｃｍ（理論純水の抵抗率１８．２４Ｍ
Ω・ｃｍ。この明細書での抵抗率は、全て２５℃への換
算値とする）程度の純水である。
【００１７】２）熱媒（加熱蒸気）系のフロー 圧縮機(12)で昇温・昇圧された加熱蒸気は、伝熱管(3)
外側に入る。伝熱管(3) 外側に入った蒸気は、伝熱管
(3) 内を薄膜状に流下している混合液に凝縮潜熱を与え
て６０℃程度の温度で凝縮する。加熱蒸気の凝縮部に
は、系のリーク空気を脱気するためのベント管(17)が設
けてあり、真空ポンプ(9) で抽気されている。加熱蒸気
の凝縮液は、凝縮液連絡管(13)を通って熱媒側底部の液
溜部(14)に入る。液溜部(14)に入った凝縮液は、伝熱管
(7) 内で水蒸気を発生した残りの濃縮液と混合する。混
合液は循環ポンプ(15)を介して熱媒側上部液室(16)に送
られる。上部液室(16)に送られた混合液は、伝熱管(7)
内を薄膜状に流下し、伝熱管(7) 外面からピュア蒸気の
凝縮潜熱を受けて５０℃程度の温度で蒸発し、水蒸気を
発生する。発生した水蒸気は、圧縮機(12)に入り昇温・
昇圧される。
外側に入る。伝熱管(3) 外側に入った蒸気は、伝熱管
(3) 内を薄膜状に流下している混合液に凝縮潜熱を与え
て６０℃程度の温度で凝縮する。加熱蒸気の凝縮部に
は、系のリーク空気を脱気するためのベント管(17)が設
けてあり、真空ポンプ(9) で抽気されている。加熱蒸気
の凝縮液は、凝縮液連絡管(13)を通って熱媒側底部の液
溜部(14)に入る。液溜部(14)に入った凝縮液は、伝熱管
(7) 内で水蒸気を発生した残りの濃縮液と混合する。混
合液は循環ポンプ(15)を介して熱媒側上部液室(16)に送
られる。上部液室(16)に送られた混合液は、伝熱管(7)
内を薄膜状に流下し、伝熱管(7) 外面からピュア蒸気の
凝縮潜熱を受けて５０℃程度の温度で蒸発し、水蒸気を
発生する。発生した水蒸気は、圧縮機(12)に入り昇温・
昇圧される。
【００１８】熱媒（加熱蒸気）系は、閉サイクルで運転
されている。熱媒（水）が抽気により減少した場合は、
熱媒（純水）が補給される。
されている。熱媒（水）が抽気により減少した場合は、
熱媒（純水）が補給される。
【００１９】実施例２ ［図２：超純水製造装置］図２は半導体製造工程でのウ
エハ洗浄に用いる超純水を製造するための装置を示すも
のである。これは、実施例１で製造した純水（抵抗率１
５ＭΩ・ｃｍ）を更に高純度とするために、実施例１の
蒸気圧縮式純水製造装置を従来法のサブシステムと組み
合わせたものである。
エハ洗浄に用いる超純水を製造するための装置を示すも
のである。これは、実施例１で製造した純水（抵抗率１
５ＭΩ・ｃｍ）を更に高純度とするために、実施例１の
蒸気圧縮式純水製造装置を従来法のサブシステムと組み
合わせたものである。
【００２０】サブシステムは、ＴＯＣ成分を１０ppb 程
度から１ppm 以下にする紫外線酸化装置(18)と、その下
流の微量金属イオンを除去するカートリッジ・ポリッシ
ャー(19)と、その下流の微粒子除去の限外ろ過膜(20)か
ら構成されている。イオン交換樹脂(19)は非再生のイオ
ン交換樹脂を内蔵したものである。
度から１ppm 以下にする紫外線酸化装置(18)と、その下
流の微量金属イオンを除去するカートリッジ・ポリッシ
ャー(19)と、その下流の微粒子除去の限外ろ過膜(20)か
ら構成されている。イオン交換樹脂(19)は非再生のイオ
ン交換樹脂を内蔵したものである。
【００２１】このように実施例１の蒸気圧縮式純水製造
装置をサブシステムと組み合わせることで、理論純水の
抵抗率に極めて近い抵抗率１８．２ＭΩ・ｃｍ以上の超
純水を製造することができる。
装置をサブシステムと組み合わせることで、理論純水の
抵抗率に極めて近い抵抗率１８．２ＭΩ・ｃｍ以上の超
純水を製造することができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明による蒸気圧縮式純水製造装置で
は、加熱蒸気としてのボイラ蒸気を使用しないので、次
の効果がある。
は、加熱蒸気としてのボイラ蒸気を使用しないので、次
の効果がある。
【００２３】１）工場からの排ガス量が増えない。
【００２４】２）ボイラを新設しなくても良い。
【００２５】３）従って、ボイラ技士による運転・管理
の必要がなく、その分ランニングコストがかからない。
の必要がなく、その分ランニングコストがかからない。
【００２６】４）また、冷却塔が必要なくなる。
【図１】 蒸気圧縮式純水製造装置を示す概略図であ
る。
る。
【図２】 超純水製造装置を示す概略図である。
［図１］ １：蒸発器 ２：水溜部 ３：伝熱管 ４：循環ポンプ ５：水室 ６：ミスト分離器 ７：伝熱管 ８：ベント管 ９：真空ポンプ １０：純水溜部 １１：純水ポンプ １２：圧縮機 １３：凝縮液連絡管 １４：液溜部 １５：循環ポンプ １６：液室 １７：ベント管 ［図２］ １８：紫外線酸化装置 １９：カートリッジ・ポリッシャー ２０：限外ろ過膜
Claims (2)
- 【請求項１】 単効用の蒸発器と、蒸発器の伝熱管を加
熱する熱媒蒸気を圧縮するための蒸気圧縮機とからなる
蒸気圧縮式純水製造装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の蒸気圧縮式純水製造装置
の下流に、紫外線酸化装置と、その下流のカートリッジ
・ポリッシャーと、その下流の限外ろ過装置とを組み合
わせてなる超純水製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5301998A JPH11244843A (ja) | 1998-03-05 | 1998-03-05 | 蒸気圧縮式純水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5301998A JPH11244843A (ja) | 1998-03-05 | 1998-03-05 | 蒸気圧縮式純水製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11244843A true JPH11244843A (ja) | 1999-09-14 |
Family
ID=12931201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5301998A Withdrawn JPH11244843A (ja) | 1998-03-05 | 1998-03-05 | 蒸気圧縮式純水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11244843A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100353137B1 (ko) * | 1999-11-22 | 2002-09-19 | 주식회사 아쿠아플랜츠 | 수 처리장치 |
| KR100505099B1 (ko) * | 2002-02-07 | 2005-08-04 | 문순식 | 수정제조장치 |
| KR100635461B1 (ko) | 2005-06-21 | 2006-10-18 | 박중열 | 정수 장치 및 그 방법 |
| JP2007513752A (ja) * | 2003-12-02 | 2007-05-31 | シルバン ソース、 インク． | 改良された自浄式水処理装置 |
| CN102989184A (zh) * | 2012-12-04 | 2013-03-27 | 湖北民族学院 | 一种节能环保的降膜式蒸发浓缩装置及方法 |
-
1998
- 1998-03-05 JP JP5301998A patent/JPH11244843A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100353137B1 (ko) * | 1999-11-22 | 2002-09-19 | 주식회사 아쿠아플랜츠 | 수 처리장치 |
| KR100505099B1 (ko) * | 2002-02-07 | 2005-08-04 | 문순식 | 수정제조장치 |
| JP2007513752A (ja) * | 2003-12-02 | 2007-05-31 | シルバン ソース、 インク． | 改良された自浄式水処理装置 |
| KR100635461B1 (ko) | 2005-06-21 | 2006-10-18 | 박중열 | 정수 장치 및 그 방법 |
| CN102989184A (zh) * | 2012-12-04 | 2013-03-27 | 湖北民族学院 | 一种节能环保的降膜式蒸发浓缩装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN112542260A (zh) | 放射性废液负压热泵蒸发处理系统 | |
| JP4531973B2 (ja) | 原水から純粋な水を得る設備 | |
| CN111540496B (zh) | 一种非接触式高效膜蒸馏处理放射性废水的系统及方法 | |
| CN106241961A (zh) | 一种利用电厂余热的水处理装置及方法 | |
| KR101915066B1 (ko) | 열수 처리와 함께 증기 터빈 플랜트를 동작시키기 위한 방법 및 어레인지먼트 | |
| US4537039A (en) | Vapor compression distilling and salt concentrating device | |
| JP2520317B2 (ja) | 超純水製造装置および方法 | |
| CN110002652A (zh) | 含酸废水浓缩回用系统及工艺流程 | |
| CN105130080A (zh) | 一种超临界水氧化处理高挥发性有机废水的系统与方法 | |
| CN101564649A (zh) | 一种压气膜蒸馏装置与方法 | |
| JP2018058025A (ja) | 低沸点物質の回収装置及び回収方法 | |
| CN109095535B (zh) | 污水蒸发浓缩装置及其操作方法 | |
| JP3975312B2 (ja) | 廃塩酸の処理方法 | |
| US4719016A (en) | Pervaporization method and apparatus | |
| JPH11244843A (ja) | 蒸気圧縮式純水製造装置 | |
| JPH11503959A (ja) | 蒸気の浄化方法及び装置 | |
| JP4096130B2 (ja) | 廃塩酸の処理方法 | |
| CN104724776A (zh) | 压力蒸发二次蒸汽掺入压力水中的装置及其方法 | |
| CN219567625U (zh) | 一种带有热能回收的废水低温蒸发器 | |
| JPH0510964B2 (ja) | ||
| CN110342599A (zh) | 一种膜蒸馏纯净水制备系统 | |
| RU2001112227A (ru) | Способ обработки воды для добычи нефти тепловыми методами | |
| CN106186201A (zh) | 一种水电联产的装置及方法 | |
| JP3975311B2 (ja) | 廃塩酸の処理方法 | |
| JPH10263301A (ja) | 液体濃縮方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050510 |