JPH11245151A - ワークの外周研磨装置 - Google Patents

ワークの外周研磨装置

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JPH11245151A
JPH11245151A JP10064593A JP6459398A JPH11245151A JP H11245151 A JPH11245151 A JP H11245151A JP 10064593 A JP10064593 A JP 10064593A JP 6459398 A JP6459398 A JP 6459398A JP H11245151 A JPH11245151 A JP H11245151A
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Japan
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work
polishing
holding means
drums
work holding
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JP10064593A
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Shiyunji Hakomori
守 駿 二 箱
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SpeedFam Co Ltd
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    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B9/00—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
    • B24B9/02—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
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    • B24—GRINDING; POLISHING
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 面取り加工されたワークの外周部分を複数の
研磨ドラムに同時に且つ均等に接触させて効率良く短時
間で鏡面研磨することができる、加工効率の勝れた小形
の研磨手段を得る。 【解決手段】 ワーク保持手段３ａ，３ｂが保持するワ
ーク５の外周部を２つの研磨ドラム２，２に同時に接触
させて鏡面研磨する外周研磨装置において、上記ワーク
保持手段３ａ，３ｂを２つの研磨ドラム２，２の配列方
向にスライド機構で移動自在に支持することにより調心
手段を形成すると共に、該ワーク保持手段３ａ，３ｂ
に、回転するワーク５と研磨ドラム２，２との接触によ
り該ワーク保持手段にＸ方向に作用する力を吸収させる
ための付勢手段３０を取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや磁
気ディスク基板のような実質的に円板形をしたワーク
の、面取り加工された外周部分を鏡面研磨（ポリッシ
ュ）するための装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、シリコンウエハのような半導体
ウエハは、一般に、エッジのチッピング防止やエピタキ
シャル成長時のクラウン防止等のためにその周縁部に面
取り加工が施される。この面取り加工は、ダイヤモンド
砥石で研削することにより行われるが、研削後に加工歪
層が残り易く、このような加工歪層が残っていると、デ
ィバイスプロセスにおいて熱処理を繰り返した時に結晶
欠陥が発生することがある。このため通常は、上記加工
歪層をエッチングにより除去しているが、エッチング処
理した表面は波状やうろこ状の凹凸になって汚れが残り
易く、この汚れがディバイスプロセスにおいてウエハ全
体に拡散し、特性を劣化させる大きな原因となる。
【０００３】そこで、近年では、ウエハの面取り加工し
たエッジを鏡面研磨により平滑化するための技術が、ウ
エハの表面の研磨とは全く別の技術として確立され、本
件出願人も、例えば特開平１−７１６５６号公報に開示
されているように、エッジを研磨するための技術を既に
提案している。この研磨技術は、面取りされたエッジを
外周に有するウエハを回転させながら、その外周エッジ
を回転する研磨ドラムの外周の作業面に押し付けて研磨
するもので、この方法によれば、ウエハのエッジを簡単
且つ確実に研磨することが可能で、上述したような面取
り加工に起因する問題点を全て解消することができる。
【０００４】ところが、この種の研磨装置は、ウエハを
研磨ドラムに点接触させて研磨加工するものであるた
め、加工効率が必ずしも良いとは言えず、加工にかなり
の時間がかかることになる。このため現在では、研磨ド
ラムの直径を大きくすることによってウエハとの接触長
をできるだけ長くし、それによって加工時間を短縮する
などの工夫がなされている。
【０００５】しかしながら、円筒形の作業面に円形のウ
エハを外接させる方法では、それらの接触長を長くする
にも限度があり、それほど加工時間を短縮することはで
きない。しかも、研磨ドラムの直径を大きくするとその
分設置スペースが広くなるため、装置の大形化が避けら
れなくなる。特に、直径が３０〜４０ｃｍという大形の
ウエハの需要が予想される今後は、ウエハによる占有ス
ペースも一段と広くなるため、研磨装置は益々大形化し
てしまう。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、面取
り加工されたワークの外周部分を複数の研磨ドラムに同
時に且つ均等に接触させて効率良く短時間で鏡面研磨す
ることができる、加工効率の勝れた小形の研磨手段を得
ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、面取りされたエッジを外周部に有
する円板状のワークを回転自在に保持するワーク保持手
段；該ワーク保持手段が保持するワークの外周部を同時
に研磨する２つで１組の回転自在の研磨ドラム；上記ワ
ーク保持手段と２つの研磨ドラムとを該２つの研磨ドラ
ムの配列方向に相対的に変移自在なるように支持する、
ワークを２つの研磨ドラムに均等に接触させるべく位置
調整するための調心手段；回転するワークと研磨ドラム
との接触により上記ワーク保持手段と研磨ドラムとの間
に作用する偏心方向の作用力を吸収させるための付勢手
段；を有することを特徴とするワークの外周研磨装置が
提供される。
【０００８】このような本発明の研磨装置によれば、ワ
ークの外周部分を複数の研磨ドラムで同時に研磨するよ
うにしているため、研磨効率が向上して研磨時間も短縮
される。しかも、従来よりも格段に小径の研磨ドラムを
使用することができるため、研磨装置の小形化も図られ
る。
【０００９】また、ワーク保持手段と研磨ドラムとの間
に２つの研磨ドラムの配列方向の自由度を持たせること
により、ワークが２つの研磨ドラムに片当り状態で接触
した場合でも調心作用によって片当りが自動的に解消さ
れるようにすると同時に、回転するワークと研磨ドラム
との接触により生ずる偏心方向の作用力を付勢手段で吸
収させるようにしたので、ワークを２つの研磨ドラムに
均等な接触圧で確実に接触させることができる。
【００１０】本発明の具体的な構成態様によれば、上記
調心手段が、ワーク保持手段を２つの研磨ドラムの配列
方向に移動自在に支持するスライド機構により構成され
ると共に、上記付勢手段がワーク保持手段に、該ワーク
保持手段を上記作用力の方向とは逆向きに付勢するよう
に連結されている。上記付勢手段はウエートにより構成
することができる。
【００１１】本発明の１つの具体的な構成態様によれ
ば、上記ワーク保持手段が傾動自在となっていて、保持
したワークの軸線を、２つの研磨ドラムの軸線を含む面
と直角な面内で傾斜させることにより、該ワークの面取
りされたエッジを２つの研磨ドラムに同時に接触させる
ように構成されている。
【００１２】本発明の他の具体的な構成態様によれば、
上記ワーク保持手段が傾動自在となっていて、保持した
ワークの軸線を、２つの研磨ドラムの軸線を含む面に対
して傾斜する面内で傾斜させることにより、該ワークの
面取りされたエッジを一方の研磨ドラムに接触させると
共に、面取りされていない周側面を他方の研磨ドラムに
接触させるように構成されている。
【００１３】本発明の更に他の具体的な構成態様によれ
ば、研磨装置が第１及び第２の２組のワーク保持手段を
有していて、これらのワーク保持手段が２つの研磨ドラ
ムを挟んで相対する位置に配設されると共に、第１ワー
ク保持手段のワークを表裏反転させて第２ワーク保持手
段に移送するワーク移送手段が配設されている。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１ないし図３は本発明に係る外
周研磨装置の第１実施例を示すもので、この研磨装置Ａ
は、機体１と、該機体１上に並んで設けられた２つの円
筒形研磨ドラム２，２と、これらの研磨ドラム２，２を
挟んで第１側と第２側とに相対するように配設された第
１及び第２の２つのワーク保持手段３ａ，３ｂと、ワー
クの搬入及び搬出と表裏反転とを行うためのワーク移送
手段４とを有している。
【００１５】上記研磨ドラム２，２は、基筒の外面に研
磨パッドを貼り付けることにより、その外周面を研磨の
ための作業面２ａとしたもので、同じ構成の２つの研磨
ドラム２，２が、相互間にワーク５の直径より小さい間
隔を保った状態で平行に配設され、それぞれが自身の軸
線Ｌ２の回りに回転自在となっている。これらの研磨ド
ラム２，２のドラム軸１０は、モータ等の駆動源に連結
され、例えば５００〜１０００ｒ．ｐ．ｍ．程度の速度
で互いに同方向又は逆方向に等速又は異速で駆動され
る。
【００１６】また、上記各ドラム軸１０は、機体１に自
身の軸線Ｌ２方向に往復動自在なるように支持されて、
ボール螺子とそれに螺合するナット部材などからなる図
示しない揺動手段に連結されており、これによって各研
磨ドラム２，２が、加工中ゆっくりとした速度で軸線方
向に同期的に揺動できるようになっている。このときの
揺動方向は、互いに同方向であっても、あるいは、一方
が前進するとき他方が後退するといった具合に、互いに
逆方向であっても良い。
【００１７】上記第１及び第２のワーク保持手段３ａ，
３ｂは、角度θに面取りされたエッジ５ａ，５ａと面取
りされていない周側面５ｂとを外周部に有する円板形ワ
ーク５（図４参照）を保持して軸線の回りに回転させる
と共に、該ワーク５のエッジ５ａを上記２つの研磨ドラ
ム２，２の作業面２ａ，２ａに同時に接触させるための
もので、互いに同一の構成を有している。
【００１８】即ち、上記ワーク保持手段３ａ，３ｂは、
ワーク５をバキュームチャックするためのチャックヘッ
ド１０と、該チャックヘッド１０を回転自在に支持する
第１ボディ１１と、該第１ボディ１１を支軸１３を中心
に傾動自在なるように支持する第２ボディ１２とを有し
ている。
【００１９】上記チャックヘッド１０は、その表面に複
数の吸着穴１０ａを有していて、これらの吸着穴１０ａ
が、第１ボディ１１及び第２ボディ１２に設けられたポ
ートや配管チューブ等を介して真空源に接続されている
が、それらの図示は省略されている。
【００２０】上記第１ボディの内部には、上記チャック
ヘッド１０を駆動するためのモータが内蔵されていて、
該モータによりチャックヘッド１０が、例えば４０〜６
０秒に１回転程度のゆっくりした速度で駆動されるよう
になっている。
【００２１】また、上記第１ボディは、上記支軸１３の
回りを、図２にワーク保持手段３ｂによって示すよう
に、チャックヘッド１０が水平を向いてワーク５を研磨
ドラム２，２から離間した位置に保持する非研磨位置
と、同図にワーク保持手段３ａによって示すように、チ
ャックヘッド１０が傾斜してワーク５の外周部分を２つ
の研磨ドラム２，２に接触させる研磨位置との間を傾動
する。この場合、上記支軸１３が、２つの研磨ドラム
２，２の軸線を含む面と平行且つ水平に設けられている
ため、この支軸１３を中心にして第１ボディ１１が前傾
すると、ワーク５の軸線は、２つの研磨ドラム２，２の
軸線を含む面と直角な面内において傾斜し、該ワーク５
の片面の面取りされたエッジ５ａが２つの研磨ドラム
２，２に同時に接触することになる。
【００２２】一方、上記第２ボディ１２は、第１及び第
２の２つのスライド機構１５，１６により、互いに直交
する２方向に移動自在なるように支持されている。第１
スライド機構１５は、ワーク保持手段３ａ，３ｂをワー
ク５が研磨ドラム２，２に接離する方向である第１方向
に移動させるためのもので、機体１と一体の基板１ａ上
に取り付けられて上記第１方向に延びる第１レール１８
と、該第１レール１８に沿って移動自在の第１スライド
部材１９とを有している。
【００２３】また第２スライド機構１６は、ワーク５を
２つの研磨ドラム２，２に均等に接触させるべく位置調
整するための調心手段を構成するもので、上記第１スラ
イド部材１９上に設けられて２つの研磨ドラム２，２の
配列方向である第２方向に延びる第２レール２０と、該
第２レール２０に沿って移動自在の第２スライド部材２
１とを有しており、該第２スライド部材２１上に上記第
２ボディ１２が、脚２２により取り付けられている。
【００２４】上記基板１ａの下面にはプーリ２４が取り
付けられ、該プーリ２４にワイヤ２５が巻き掛けられて
おり、該ワイヤ２５の一端は第１スライド部材１９から
下向きに延出するアーム１９ａに固定され、ワイヤ２５
の他端には第１付勢手段であるウエート２６が吊り下げ
られている。そして、このウエート２６の重力により第
１スライド部材１９従ってワーク保持手段３ａ，３ｂ
が、第１レール１８上を常時研磨ドラム２，２側に向け
て付勢されている。
【００２５】上記基板１ａの下面にはまた、エアシリン
ダ２８が取り付けられていて、該エアシリンダ２８のロ
ッド２８ａの先端が上記アーム１９ａに当接し、該ロッ
ド２８ａが伸長してアーム１９ａを押すことにより、第
１スライド部材１９従ってワーク保持手段３ａ，３ｂ
が、第１レール１８上を研磨ドラム２，２から離間する
方向に後退させられるようになっている。上記ロッド２
８ａとアーム１９ａとは単に当接しているだけで、相互
に連結されていないため、該ロッド２８ａの短縮時にワ
ーク保持手段３ａ，３ｂを研磨ドラム２，２側に向けて
前進させる力は、上記ウエート２６により得られる。即
ち、このウエート２６は、ワーク保持手段３ａ，３ｂを
研磨ドラム２，２に向けて前進させるための駆動手段
と、ワーク５の外周研磨時に該ワークを研磨ドラム２，
２に一定の接触圧で押し付けるための付勢手段とを兼ね
るものである。図中２９は上記アーム１９ａの後退位置
を規定するためのストッパである。
【００２６】また、上記第２スライド部材２１の一方の
側面には、ワーク保持手段３ａ，３ｂを第２方向一側に
向けて付勢するための第２付勢手段３０が設けられてい
る。この第２付勢手段３０はウエートからなるもので、
第２スライド部材２１に基端を固定されたワイヤ３１の
先端に吊り下げられており、該ワイヤ３１の中間は、第
１スライド部材１９に取り付けたプーリ３２に支持され
ている。
【００２７】上記第２付勢手段３０は、図１に示すよう
に、回転する研磨ドラム２，２にそれと逆向きに回転す
るワーク５を接触させた場合に、相互間の摩擦力によっ
てワーク５に接線方向の力が加わり、この作用力によっ
てワーク保持手段３ａ，３ｂが第２レール２０上をＸ方
向に変移してワーク５が２つの研磨ドラム２，２に片当
りし易いことから、上記作用力を吸収させてワーク５を
２つの研磨ドラム２，２に均等に接触させるために設け
られるものである。従って、この第２付勢手段３０でワ
ーク保持手段３ａ，３ｂを付勢する方向は、上記作用力
が加わるＸ方向とは逆の方向である。
【００２８】この第２付勢手段３０による付勢力の大き
さは、ワーク５に働く作用力の大きさによって適正値が
異なるが、一般的には第１付勢手段２６の付勢力よりは
小さく、数分の１程度である。
【００２９】また、上記第２付勢手段３０を設ける場
合、研磨ドラム２，２及びワーク５の回転方向が常に一
定である場合には上記作用力の方向も常に同じであるた
め、該第２付勢手段３０を各ワーク保持手段３ａ，３ｂ
の左右何れか一方の側面だけに設ければ良いが、外周の
一部にオリエンテーションフラットを有するワークを研
磨する場合のように、研磨ドラム２，２及びワーク５の
回転方向を逆転させるような場合には、該第２付勢手段
３０をワーク保持手段段３ａ，３の左右両側面に設け、
必要な方を選択的に使用できるように構成することが望
ましい。
【００３０】上記ワーク移送手段４は、伸縮自在のチャ
ックアーム３４の先端に、ワークをバキュームチャック
するためのチャックヘッド３５を有し、このチャックヘ
ッド３５によって、ローディング部から未処理ワークを
第１ワーク保持手段３ａのチャックヘッド１０に供給す
る動作と、該第１ワーク保持手段３ａから表面側エッジ
５ａの研磨が終了したワーク５を表裏反転させて第２ワ
ーク保持手段３ｂに移送する動作と、該第２ワーク保持
手段３ｂから裏面側エッジ５ａの研磨が終了したワーク
をアンローデング部に搬出する動作とを行うものであ
る。図２中の符号３６は、研磨部分に研磨材スラリーを
供給するためのノズルである。
【００３１】上記構成を有する研磨装置において、ワー
ク移送手段４によって未処理ワークが、非研磨位置にあ
る第１ワーク保持手段３ａのチャックヘッド１０に供給
されると、図２に示すように、第１ボディ１１が支軸１
３を中心にエッジ５ａの面取り角θによって決まる角度
だけ前傾する。そして、エアシリンダ２８のロッド２８
ａの短縮により第１スライド部材１９が、第１レール１
８上を研磨ドラム２，２の方向に前進し、チャックヘッ
ド１０に保持されて回転するワーク５の表面側のエッジ
５ａを、回転する２つの研磨ドラム２，２の第１側にお
いて外周の作業面２ａ，２ａに接触させ、その研磨が行
われる。
【００３２】上記作業面２ａに対するワークの接触圧
は、第１付勢手段であるウエート２６によって得られ
る。即ち、上記エアシリンダ２８のロッド２８ａの短縮
と共にワーク保持手段３ａが第１レール１８上を前進
し、ワーク５が研磨ドラム２，２に当接すると、ワーク
保持手段３ａはその位置に停止するが、ロッド２８ａは
そのあとも短縮して第１スライド部材１９のアーム１９
ａから離れるため、ワーク保持手段３ａにはウエート２
６の全重力が作用することになり、このウエート２６の
重力によって２つの研磨ドラム２，２に押し付けられ
る。
【００３３】このとき、上記ワーク保持手段３ａは、第
２スライド機構１６によって２つの研磨ドラム２，２の
配列方向の自由度を持っているため、ワーク５が２つの
研磨ドラム２，２に片当り状態で当接しても、該ワーク
保持手段３ａが第２方向に変移することにより自動的に
調心が行われ、ワーク５は２つの研磨ドラム２，２に均
等に接触することになる。
【００３４】また、回転するワーク５と研磨ドラム２，
２との接触により上記ワーク保持手段３ａにＸ方向に作
用する力は、それとは逆向きに該ワーク保持手段３ａを
付勢する第２付勢手段３０の付勢力により相殺されるた
め、該ワーク保持手段３ａの変移によるワーク５の片当
りが防止され、該ワークを２つの研磨ドラム２，２に常
に均等な力で確実に接触させることができる。
【００３５】かくしてワーク５の表面側のエッジ５ａ
は、２つの研磨ドラム２，２の作業面２ａ，２ａに同時
に接触することによって異なる２点で鏡面研磨され、そ
の研磨中２つの研磨ドラム２，２は、自らの軸線Ｌ２方
向にゆっくりと往復揺動してワークとの接触位置を変え
る。
【００３６】ワークの表面側のエッジ５ａの研磨が終了
すると、上記第１ワーク保持手段３ａはエアシリンダ２
８により後退し、ワーク５が研磨ドラム２，２から離れ
ると共に、第１ボディ１１が非研磨位置に復帰して該ワ
ークを水平に向ける。
【００３７】次に、ワーク移送手段４が上記第１ワーク
保持手段３ａからワーク５を受け取り、それを表裏反転
させて第２ワーク保持手段３ｂに供給し、この第２ワー
ク保持手段３ｂにより裏面側のエッジ５ａの研磨が、２
つの研磨ドラム２，２の第２側において上記表面側のエ
ッジを研磨する場合と同様に行われる。
【００３８】上記研磨ドラム２，２の作業面２ａ，２ａ
は、エッジ５ａの研磨時に周側面５ｂがその幅の少なく
とも半分程度内部に食い込み得るだけの柔軟性を持って
いることが望ましく、これにより、表裏面のエッジ５
ａ，５ａを研磨するのと同時に外周面５ｂも研磨するこ
とができる。
【００３９】裏面側エッジ５ａの研磨が終わると、上記
第２ワーク保持手段３ｂが非研磨位置に移動し、ワーク
移送手段４がこの第２ワーク保持手段３ｂからワークを
受け取ってアンローディング部に搬出する。
【００４０】上記実施例では、第１及び第２付勢手段２
６，３０をウエートで構成しているが、このようなウエ
ートに代えて、その一方又は両方をばねや圧力調節手段
付きのエアシリンダ等により構成することもできる。
【００４１】また、上記２つの研磨ドラム２，２は互い
に平行に設置されているが、先端側が相互に接近する方
向に傾斜していても良い。
【００４２】更に、図示した実施例では、２組のワーク
保持手段を設け、これらのワーク保持手段でワークの表
裏両面のエッジを別々に研磨するようにしているが、各
ワーク保持手段でそれぞれワークの表裏両面のエッジを
順次研磨するように構成することもできる。この場合に
は、１組のワーク保持手段だけを設けても良い。
【００４３】図５は本発明の外周研磨装置の第２実施例
を示すもので、この第２実施例の研磨装置Ｂが上記第１
実施例の研磨装置Ａと相違する点は、第１実施例の研磨
装置Ａでは、ワーク５の面取りされたエッジ５ａと、面
取りされていない周側面５ｂの約半分とを、２つの研磨
ドラム２，２に同時に接触させて研磨するように構成し
ているのに対し、この第２実施例の研磨装置Ｂは、ワー
ク５のエッジ５ａを一方の研磨ドラム２に接触させ、周
側面５ｂを他方の研磨ドラム２に接触させて研磨するよ
うに構成している点である。
【００４４】即ち、この第２実施例の研磨装置Ｂにおい
ては、各ワーク保持手段３ａ，３ｂの第１ボディ１１を
傾動自在に支持する支軸１３が、２つの研磨ドラム２，
２の軸線を含む面に対して傾斜する向きに配置され、第
１ボディ１１がこの支軸１３を中心に前傾すると、保持
されたワーク５の軸線が、２つの研磨ドラム２，２の軸
線を含む面に対して傾斜する面内で傾斜して、該ワーク
５のエッジ５ａが主として一方の研磨ドラム２に接触
し、周側面５ｂが主として他方の研磨ドラム２に接触し
て研磨されるように構成されている。この場合、２つの
ワーク保持手段３ａ，３ｂの支軸１３は互いに同じ方向
に傾斜しているため、これら２つのワーク保持手段３
ａ，３ｂ間において、保持したワーク５のエッジ５ａが
接触する研磨ドラム同士と、周側面５ｂが接触する研磨
ドラム同士は、それぞれ互いに異なる。
【００４５】上記支軸１３の傾斜角度は、ワーク５の大
きさ等によってその適正値が異なるが、一方の研磨ドラ
ムがワーク５の中央部でエッジ５ａの全幅に確実に接触
できるように、傾斜したワーク５の軸線とエッジ５ａが
当接する研磨ドラムの軸線とが同一面内にあるような角
度とすることが望ましい。
【００４６】なお、第２実施例の研磨装置Ｂの上記以外
の構成は実質的に第１実施例と同じであるため、主要な
同一構成部分に第１実施例と同じ符号を付してその説明
は省略する。
【００４７】なお上記各実施例では、調心手段をワーク
保持手段３ａ，３ｂ側に設け、このワーク保持手段３
ａ，３ｂを付勢手段３０で付勢するようにしているが、
２つの研磨ドラム２，２を一体として調心手段でそれら
の配列方向に変移自在に支持させ、この研磨ドラム２，
２側に付勢手段３０を設けるようにしても良い。
【００４８】
【発明の効果】このように本発明によれば、ワークの外
周部を複数の研磨ドラムに同時に接触させて複数点で同
時に鏡面研磨するようにしているため、研磨効率が向上
して研磨時間を著しく短縮することができ、しかも、従
来よりも格段に小径の研磨ドラムを使用することができ
るため、これらの研磨ドラム及びワークが占めるスペー
スは非常に小さくて済み、装置も小形化される。また、
ワーク保持手段と研磨ドラムとの間に２つの研磨ドラム
の配列方向の自由度を持たせることにより、ワークが２
つの研磨ドラムに片当り状態で接触した場合でも調心作
用によって片当りが自動的に解消されるようにすると共
に、回転するワークと研磨ドラムとの接触により生ずる
偏心方向の作用力を付勢手段で吸収させるようにしたの
で、ワークを２つの研磨ドラムに均等な接触圧で確実に
接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る外周研磨装置の第１実施例を示す
平面図である。
【図２】図１の縦断正面図である。
【図３】図１の縦断側面図である。
【図４】ワークの要部側面図である。
【図５】本発明に係る外周研磨装置の第２実施例を示す
平面図である。
【符号の説明】
２ 研磨ドラム ３ａ 第１ワーク保持
手段 ３ｂ 第２ワーク保持手段 ４ ワーク移送手段 ５ ワーク ５ａ エッジ ５ｂ 周側面 １６ スライド機構 ２０ レール ２１ スライド部材

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】面取りされたエッジを外周部に有する円板
    状のワークを回転自在に保持するワーク保持手段；上記
    ワーク保持手段が保持するワークの外周部を同時に研磨
    する２つで１組の回転自在の研磨ドラム；上記ワーク保
    持手段と２つの研磨ドラムとを該２つの研磨ドラムの配
    列方向に相対的に変移自在なるように支持する、ワーク
    を２つの研磨ドラムに均等に接触させるべく位置調整す
    るための調心手段；回転するワークと研磨ドラムとの接
    触により上記ワーク保持手段と研磨ドラムとの間に作用
    する偏心方向の作用力を吸収させるための付勢手段；を
    有することを特徴とするワークの外周研磨装置。
  2. 【請求項２】請求項１に記載の外周研磨装置において、
    上記調心手段が、ワーク保持手段を２つの研磨ドラムの
    配列方向に移動自在に支持する、レールと該レール上を
    移動自在のスライド部材とからなるスライド機構により
    構成されると共に、上記付勢手段がワーク保持手段に、
    該ワーク保持手段を上記作用力の方向とは逆向きに付勢
    するように連結されていることを特徴とするもの。
  3. 【請求項３】請求項２に記載の外周研磨装置において、
    上記付勢手段がウエートからなることを特徴とするも
    の。
  4. 【請求項４】請求項１ないし３の何れかに記載の外周研
    磨装置において、上記ワーク保持手段が傾動自在となっ
    ていて、保持したワークの軸線を、２つの研磨ドラムの
    軸線を含む面と直角な面内で傾斜させることにより、該
    ワークの面取りされたエッジを２つの研磨ドラムに同時
    に接触させるように構成されていることを特徴とするも
    の。
  5. 【請求項５】請求項１ないし３の何れかに記載の外周研
    磨装置において、上記ワーク保持手段が傾動自在となっ
    ていて、保持したワークの軸線を、２つの研磨ドラムの
    軸線を含む面に対して傾斜する面内で傾斜させることに
    より、該ワークの面取りされたエッジを一方の研磨ドラ
    ムに接触させると共に、面取りされていない周側面を他
    方の研磨ドラムに接触させるように構成されていること
    を特徴とするもの。
  6. 【請求項６】請求項４又は５に記載の外周研磨装置にお
    いて、該研磨装置が第１及び第２の２組のワーク保持手
    段を有していて、これらのワーク保持手段が２つの研磨
    ドラムを挟んで相対する位置に配設されると共に、第１
    ワーク保持手段で研磨が終わったワークを表裏反転させ
    て第２ワーク保持手段に移送するワーク移送手段が配設
    されていることを特徴とするもの。
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