JPH11246110A - フィルム剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フィルム剥離装置の押圧ローラにより、基板
に張られたフィルムを確実に剥離する。 【解決手段】 フィルム剥離装置１０を、基板搬入側か
ら搬入された基板２２を吸着盤３６によって吸着した状
態で、フィルム２０の先端縁を押圧ローラ４８Ａにより
押圧しつつ、これを基板幅方向に往復動させる。押圧ロ
ーラ４８に対向して、吸着盤３６側には、ゴムシート１
６と金属薄板１８からなる受け台１４を設け、押圧ロー
ラ４８が傾いても金属薄板１８が追従して傾き、基板２
２及びフィル２０を確実にバックアップする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線盤
用基板、液晶表示パネル用基板、プラズマディスプレイ
用基板等に例示される基板に張り付けられた保護フィル
ムを剥離する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記のようなプリント配線基板は、次の
ような工程により製造されている。

【０００３】まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上
に感光性樹脂（ホトレジスト）層と、これを保護する透
光性樹脂フィルム（保護フィルム）とからなる積層体を
ラミネーティングロールにより熱圧着する。次に配線パ
ターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び
前記透光性樹脂フィルムを通して前記感光性樹脂層を所
定時間露光する。

【０００４】次いで、透光性樹脂フィルムを剥離した
後、露光されたホトレジスト層を現像してエッチングマ
スクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要部
分をエッチングにより除去し、所定の配線パターンを有
するプリント配線基板が形成される。

【０００５】通常、導電層付絶縁性基板の厚さは０．０
６〜５ｍｍ、感光性樹脂層の厚さは５〜５０μｍ、透光
性樹脂フィルムの厚さは１５〜８０μｍである。

【０００６】前記プリント配線基板の製造工程におい
て、前記保護フィルムを基板から自動的に剥離するフィ
ルム剥離装置が種々提案されている。

【０００７】このような、フィルム剥離装置では、基板
からフィルムを自動的に剥離させる際に、まず、フィル
ム先端の、剥離を開始させる部分を上下斜めに押圧した
り、ニードル状部材で引掛けて起こしたりしている。

【０００８】例えば、特公平６−３５５０号公報に開示
されるように、基板に張り付けられている感光性樹脂層
と透光性樹脂フィルムとからなる積層体フィルムの端部
にバイブレータのロッドの振動を与えて叩くことによ
り、透光性樹脂フィルムの一部を感光性樹脂層から浮上
させるものがある。又、例えば特開昭６２−８３９７４
号公報に開示されるように、保護フィルム端部を基板と
共に押圧ローラ（圧力車）により挟み込んだ状態で該押
圧ローラをフィルム端縁に沿って走行させることによ
り、該フィルム端縁を浮き上がらせるようにしたものも
ある。

【０００９】いずれの場合も、フィルム先端を浮上させ
た後は、圧縮空気等の気体を吹き付けて浮上した端縁か
らフィルムをめくり上げ、更には、めくり上がったフィ
ルム端縁をローラやベルトによって挟み込んで基板を進
行させつつ、フィルムを完全に剥離してライン外に搬出
させるようにしている。

【００１０】前記特開昭６２−８３９７４号のフィルム
剥離方法及び装置は、押圧ローラがフィルム先端に沿っ
てその全幅範囲で横行するので、フィルム先端と基板と
の貼着を弛める処理速度が遅く、又押圧ローラの１回の
横行によりフィルムの貼着を弛めなければならないの
で、押圧ローラによるフィルム押圧力が大きくなり、こ
のため押圧ローラの駆動力を大きくし、更には装置を大
きくしなければならないと共に、基板が損傷し易いとい
う問題点がある。

【００１１】更に又、フィルム先端との貼着を弛めた後
に該フィルム先端の全幅範囲に亘ってエアジェットを吹
き付けなければならないので、装置が大型化し、製造コ
ストが増大すると共に、エア圧力を大きくしなければな
らず、更に狭いスペースには設置できないという問題点
がある。

【００１２】これに対して、例えば特開平７−１０１６
２３号公報に開示されるように、押圧ローラを外周に凹
凸のあるローレットローラとすると共に、このローレッ
トローラによりフィルム先端の同一箇所を複数回繰り返
し押圧することによって、押圧ローラの少ない移動量で
もフィルム先端を基板から剥離開始することができるよ
うにしたものがある。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】ここで、前記押圧ロー
ラの回転中心軸が、押圧ローラ駆動装置の製造誤差、使
用中の回転軸の変形等により、押圧ローラが基板表面と
平行に接触しない場合は、ローレットローラによっても
フィルム先端を基板から浮き上がらせることができなく
なるという問題点があった。

【００１４】この問題点は、特に、薄い基板（例えば、
厚さ０．０６〜０．１ｍｍの導電層付絶縁性基板）上
に、厚さ５〜５０μｍの感光性樹脂層とこれを保護する
厚さ１５〜８０μｍの透光性樹脂フィルムとからなる積
層体が貼着されているものについて、基板から透光性樹
脂フィルムを剥離する場合に、顕著に現れ、不都合であ
った。

【００１５】又、ローレットローラをフィルム幅方向に
往復動させる場合、ローレットローラの山部によるフィ
ルム先端上の押跡がローレットローラの往路及び復路で
重なってしまうと、フィルム先端を確実に剥離できない
場合があるという問題点があった。

【００１６】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、押圧ローラの回転中心軸が基板表
面に対して傾いている場合でも、フィルム先端を確実に
剥離させることができるようにしたフィルム剥離装置を
提供することを目的とする。

【００１７】又、ローレットローラからなる押圧ローラ
をフィルム幅方向に往復動させる際に、往路と復路にお
けるローレットの山部によるフィルム押跡が一致しない
ようにすることができるフィルム剥離装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】この発明は、表面にフィ
ルムが張付けられている基板を拘束可能な基板拘束装置
と、前記基板拘束装置により拘束された基板表面の前記
フィルムの端縁を押圧可能な少なくとも１個の押圧ロー
ラと、この押圧ローラを、前記フィルム端縁に沿って、
このフィルム端縁を押圧しつつフィルム幅方向に駆動可
能な押圧ローラ駆動装置と、を有してなり、前記押圧ロ
ーラの駆動により、フィルム端縁を前記基板から浮かせ
て剥離開始部を形成するフィルム剥離装置において、前
記拘束装置は、前記基板における、少なくとも前記押圧
ローラにより押圧される部位を、その押圧力に対抗して
基板を裏面から支持する受け台を備え、この受け台は、
少なくとも基板裏面に接触する硬質支持平面と、この硬
質支持平面を、押圧ローラの反対側から前記押圧ローラ
の回転軸の傾きに対応して弾力的に傾斜可能に支持する
弾性支持部と、を含んで構成することにより、上記目的
を達成するものである。

【００１９】前記受け台における前記弾性支持部は、前
記基板拘束装置に取り付けられた弾性樹脂シートからな
り、前記硬質支持平面は、前記弾性樹脂シートの表面に
張付けられた金属薄板からなるようにしてもよい。

【００２０】又、前記受け台における前記弾性支持部
は、前記基板拘束装置に取り付けられた弾性樹脂シート
からなり、前記硬質支持平面は、前記弾性樹脂シートの
表面に設けられた硬質樹脂層により構成してもよい。

【００２１】更に又、前記基板拘束装置は、前記基板の
裏面を負圧により吸着、保持する吸着盤とされ、前記受
け台は、前記吸着盤の凹部に、前記硬質支持平面が、吸
着盤の一般面と略面一になるように配置してもよい。

【００２２】又、前記受け台の外周面とこれに対向する
前記凹部の内周面との間に、前記硬質支持平面の弾力的
な傾斜を許容する隙間を設けてもよい。

【００２３】前記押圧ローラは、斜歯状のローレット山
部を有するローレットローラとされ、且つ、その回転中
心軸及びこの回転中心軸を支持する軸受の少なくとも一
方に対して、一定範囲で軸方向移動自在としてもよい。

【００２４】又、前記押圧ローラは、ローレットローラ
とされ、前記押圧ローラ駆動装置は、前記フィルム端縁
の１回の剥離工程で、押圧ローラを、フィルム幅方向に
少なくとも１往復駆動させ、且つ、その往路と復路とで
は、ローレットの山部によるフィルムの押跡がずれるよ
うに、往路の終端及び復路の始端の少なくとも一方で、
押圧ローラがフィルムから離間するようにしてもよい。

【００２５】更に又、前記フィルム端縁の剥離開始点に
向けて圧縮気体を吹き付けて、フィルム端縁をめくり上
げる気体噴出ノズルを設けてもよい。

【００２６】本発明によれば、押圧ローラが傾いていて
も、受け台における弾性支持部が弾力的に傾斜できるの
で、この弾性支持部に支持された硬質支持平面によって
基板が押圧ローラの傾きに対応してバックアップされ、
確実にフィルム剥離を開始させることができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して詳細に説明する。

【００２８】図１に示されるように、本発明に係るフィ
ルム剥離装置１０は、同図において左側の基板搬入側か
ら送り込まれた、下面にフィルム２０が張り付けられた
基板２２（図２参照）から、前記フィルム２０を剥離し
て、フィルム剥離後の基板２２を、図において右側の基
板搬出側から搬出するようにしたものである。

【００２９】前記フィルム剥離装置１０には、複数の搬
送ローラ２４を水平に並列配置してなる基板搬送装置２
６が設けられ、搬送ローラ２４の上端によって形成され
る基板搬送面２６Ａに沿って、図１において左端の基板
搬入端から装入された基板２２全体がフィルム剥離装置
１０内に入り込むまで、これを搬送できるようにされて
いる。

【００３０】前記基板搬送装置２６を構成する搬送ロー
ラのうち、基板搬送方向最先端の２個の搬送ローラ２５
は、シリンダ装置２８によって基板搬送面２６Ａを構成
する搬送位置（図４の２点鎖線位置）と、図１において
実線で示されるように、搬送位置から大きく下降した待
機位置との間で上下動自在とされている。

【００３１】又、前記基板搬送装置２６の下側位置に
は、各搬送ローラ２４間の隙間から上方に突出すること
によって、基板搬送面２６Ａ上の基板２２を押し上げる
複数の押し上げ部材３０を備えた押し上げ装置３２が配
置されている。

【００３２】この押し上げ装置３２は、通常は、図１に
示されるように、押し上げ部材３０の先端が基板搬送面
２６Ａよりも下側にある待機位置とされ、シリンダ装置
３４によって基板２２を押し上げる押し上げ位置に駆動
され得るようになっている。図１の符号３４Ａは押し上
げ部材３０を鉛直方向に案内するためのガイドシャフト
を示す。

【００３３】前記基板搬送装置２６の上方位置には、水
平に往復動自在とされた吸着盤３６が配置されている。

【００３４】この吸着盤３６は、図３に示されるよう
に、その下側面に、負圧が印加される多数の吸引孔３６
Ａが面方向に配置（図６参照）して設けられ、下方から
押し上げられた基板２２の上面（裏面）をその全面に渡
って吸着できるようにされている。

【００３５】前記吸引孔３６Ａ内には、図４に拡大して
示されるように、各々、吸着盤３６を貫通して吸着面と
反対側から負圧パイプ３６Ｂが突出配置され、この負圧
パイプ３６Ｂの先端には蛇腹状のゴム等からなる吸着ブ
ーツ３６Ｃが取り付けられている。

【００３６】この吸着ブーツ３６Ｃは、その外径が吸引
孔３６Ａの内径よりもわずかに小さく、且つ、先端（図
において下端）は、吸着盤３６の吸着面（図において下
面）からわずかに（１ｍｍ程度）突出され、基板２２の
上面に確実に接触して、これを吸着できるようにされて
いる。負圧パイプ３６Ｂには負圧源（図示省略）から負
圧が印加されるようになっている。

【００３７】又、吸着盤３６は、水平且つ搬送方向に、
前記基板搬送装置２６の上方領域から、その外側に渡っ
て基板搬送方向に配置されたガイドバー３８に沿って、
ガイドシュー３８Ａを介して摺動自在に案内され、且つ
送りねじ機構４０によりガイドバー３８に沿って往復動
され得るようになっている。

【００３８】この送りねじ機構４０はモータ４０Ａ、こ
のモータ４０Ａに駆動されるねじ送りねじ４０Ｂ、及び
送りねじ４０Ｂに螺合してその回転により進退するナッ
ト部４０Ｃと、を有してなり、ナット部４０Ｃが吸着盤
３６を支持している。送りねじ機構４０による吸着盤３
６の移動範囲は、図１に示されるように、フィルム剥離
装置１０内で前記基板搬送装置２６の真上となる位置、
及び、このフィルム剥離装置１０外に吸着盤３６を搬出
する位置との間とされている。

【００３９】又、吸着盤３６の高さ、即ち基板搬送面２
６Ａからの距離は、前記押し上げ部材３０によって基板
２２が押し上げられたとき、該基板２２の上面が吸着盤
３６の下側面とほぼ一致するように設定されている。

【００４０】前記基板搬送装置２６の先端近傍には、基
板２２が吸着盤３６に吸着された状態で、その搬送方向
先端におけるフィルム２０の先端を剥離し、且つめくり
下げる剥離開始装置４８が設けられている。

【００４１】なお、フィルム２０は、図２に示されるよ
うに、基板２２の下面において、該基板２２の搬送方向
先端よりもわずかに後方にずれた位置にその先端がある
ように張り付けられている。

【００４２】前記剥離開始装置４８は、図５に拡大して
示されるように、吸着盤３６に吸着されている基板２２
のフィルム２０先端部に対して、昇降して離接自在、且
つ基板（フィルム）幅方向（図１において紙面と垂直方
向）にわずかに（約３０ｍｍ）往復動自在の押圧ローラ
４８Ａを備え、この押圧ローラ４８Ａをフィルム２０の
先端に押し付けつつ基板幅方向にわずかに往復させるこ
とによって、該フィルム２０先端を基板２２下面から浮
き上がらせるようになっている。

【００４３】又、剥離開始装置４８は、前記押圧ローラ
４８Ａによって基板２２下面から浮き上がったフィルム
２０の先端と基板２２の下面との間に圧縮空気等の圧縮
気体を吹き付けて、該フィルム２０先端を剥離し、且つ
めくり下げるようにした気体噴出ノズル４８Ｂを備えて
いる。

【００４４】なお、前記押圧ローラ４８Ａは、リニアガ
イド４８Ｄにより、吸着盤３６に吸着されている状態の
基板２２先端部の下側面に圧接する剥離位置と、図１に
実線で示されるように、基板搬送面２６Ａから下方にあ
る待機位置との間で昇降され得るようになっている。図
１、３の符号４８Ｅは、押圧ローラ４８Ａを基板幅方向
にわずかに往復動するためのスライドテーブルを示す。
なお、押圧ローラ４８Ａを往復動させるためのエアシリ
ンダは図示省略する。又、前記搬送ローラ２５、スライ
ドテーブル４８Ｅ、及び、気体噴出ノズル４８Ｂは、エ
アシリンダ４８Ｃにより全体としてわずかに上下動され
得るようになっている。

【００４５】前記剥離開始装置４８における押圧ローラ
４８Ａが吸着盤３６に吸着されている状態の基板２２の
下側面に圧接する際に、この押圧ローラ４８Ａとの間
で、基板２２及びフィルム２０の先端を吸着盤３６側か
ら挟み込む位置に受け台１４が配置されている。

【００４６】この受け台１４は、図６に示されるよう
に、前記吸着盤３６の先端（図１、図５において右端）
の基板２２及びフィルム２０の幅方向中央位置に形成さ
れた矩形の凹部３７内に配置された厚板状部材から構成
されている。

【００４７】更に詳細には、受け台１４は、図３に拡大
して示されるように、凹部３７の上面に接着して取り付
けられているゴムシート１６と、このゴムシート１６の
下側面に張り付けられた金属薄板１８とから構成されて
いる。

【００４８】この場合、使用するゴムシートは、ＪＩＳ
によるゴム硬度が５０度のものである。なお、本発明の
実施においてゴムシートを使用する場合、通常、ＪＩＳ
によるゴム硬度が５０〜７０度のものを使用するとよ
い。

【００４９】この金属薄板１８は、例えばステンレスス
チール、銅等から構成され、その下側面が、吸着盤３６
における他の一般下側面と面一となるようにされてい
る。

【００５０】又、前記受け台１４と、凹部３７の図３に
おいて左側端面を構成する内周面１４Ａとの間には、隙
間１５が形成され、前記ゴムシート１６が、基板２２を
介して押圧ローラ４８Ａから押圧されて変形したときに
前記金属薄板１８と共に内周面１４Ａに干渉しないよう
にされている。

【００５１】図６に示されるように、前記吸引孔３６Ａ
は、前記吸着盤３６の先端に沿って、他の部分よりも密
に配置され、基板２２の先端を確実に吸着、保持できる
ようにされている。

【００５２】前記押圧ローラ４８Ａは、図３に示される
ように、斜歯状のローレット山部４９を備え、且つ、回
転中心軸５０により回転自在に支持されている。この回
転中心軸５０は、前記リニアガイド４８Ｄに支持された
一対の軸受部５０Ａの間に取り付けられている。

【００５３】又、前記押圧ローラ４８Ａの回転中心軸５
０方向の厚さは、前記一対の軸受部５０Ａの対向する内
側面間の距離よりも小さくされ、これによって、押圧ロ
ーラ４８Ａは回転中心軸５０に沿って一定範囲で移動で
きるようにされている。

【００５４】ここで、前記押圧ローラ４８Ａの基板搬送
方向の位置は、基板２２が基板搬送装置２６によって搬
送され、且つ吸着盤３６によって吸着されたとき、前記
フィルム２０の先端縁が、前記押圧ローラ４８Ａの軸方
向中心位置にほぼ一致するように予めセットされてい
る。

【００５５】図５に拡大して示されるように、前記押し
上げ装置３２における押し上げ部材３０と平行に、且つ
押し上げ部材としての機能を有するガイド板５２が押し
上げ部材３０と平行に、前記昇降自在の搬送ローラ２５
に隣接する位置に鉛直方向に配置されている。

【００５６】前記基板搬送装置２６及び押し上げ装置３
２の押し上げ部材３０下方には、前記ガイド板５２から
はみ出して垂下したフィルム２０の先端を捕捉して、こ
れを下方に引張ることによって、フィルム２０を基板２
２から剥離させるための引張剥離装置５４が設けられて
いる。

【００５７】この引張剥離装置５４は、前記押し上げ装
置３２に、基端においてピン５６Ａにより揺動自在（揺
動駆動源は図示省略）に枢支され、図１に示されるよう
に、水平状態から、時計方向に約１００°の範囲で揺動
自在とされた揺動アーム５６と、この揺動アーム５６の
先端近傍に取り付けられ、前記ガイド板５２の下端から
はみ出して垂下するフィルム２０の先端を捕捉且つ解放
自在の捕捉装置５８とを備えて構成されている。

【００５８】前記捕捉装置５８は、前記ガイド板５２の
下端に連続して垂直に配置された受け板５８Ａと、自由
端が該受け板５８Ａ下側位置及び外側位置に臨んで配置
され、基端においてピン５８Ｂにより揺動自在に支持さ
れた捕捉レバー５８Ｃと、エアシリンダ５８Ｄとを備え
て構成され、該エアシリンダ５８Ｄは、突出時に前記捕
捉レバー５８Ｃを、その先端が、前記フィルム２０下端
を受け板５８Ａとの間に挟み込むように、図４において
反時計方向に揺動させ、且つ引き込み時には捕捉レバー
５８Ｃを図４において時計方向に揺動して、フィルム２
０の先端を解放させるようにされている。

【００５９】図６に示されるように、前記基板搬送装置
２６、シリンダ装置２８、押し上げ装置３２のシリンダ
装置３４、モータ４０Ａ、吸着盤３６への負圧のオン・
オフ、剥離開始装置４８及び引張剥離装置５４を制御す
る制御装置６０が設けられている。

【００６０】ここで、前記制御装置６０は、押圧ローラ
４８Ａがフィルム２０の端縁を下方から押圧しつつフィ
ルム２０及び基板２２の幅方向に、前記受け台１４の幅
方向範囲で往復動するようにされ、且つ、往路の移動が
終了したとき押圧ローラ４８Ａがフィルム２０から離間
し、更に僅かにフィルム幅方向に移動された後、再度フ
ィルム２０を押圧し、復路の移動をするように、前記エ
アシリンダ４８Ｃ、スライドテーブル４８Ｅを制御する
ようにされている。

【００６１】次に上記フィルム剥離装置１０により、基
板２２からフィルム２０を剥離する工程について説明す
る。

【００６２】まず、下面にフィルム２０が張られた基板
２２を、基板搬送装置２６の入側（図１の左側）から水
平に装入し、該基板搬送装置２６によって、基板２２が
フィルム剥離装置１０内に入り込むまで搬送して、フィ
ルム２０の先端が、前記剥離開始装置４８の押圧ローラ
４８Ａの位置に到達したとき、搬送を停止する。

【００６３】なお、このとき、前記昇降自在の搬送ロー
ラ２５は、シリンダ装置３４によって、図５において２
点鎖線で示されるように、基板搬送面２６Ａの位置まで
押し上げておき、基板２２の先端の垂れ下がりを防止す
る。

【００６４】次に、所定位置に停止した基板２２を、そ
の真上位置に予めセットされている吸着盤３６に接触す
るまで前記押し上げ装置３２及び搬送ローラ２５によっ
て上方に押し上げる。

【００６５】吸着盤３６には、予め負圧を印加しておけ
ば、基板２２が該吸着盤３６の下側面に接近したとき、
その負圧によって基板２２を吸い上げて、吸着保持する
ことにより、基板２０を吸着盤３６に過剰に押し付けて
損傷することがない。

【００６６】次に、前記押し上げ装置３２は、図１、図
５に示される位置まで下降させる。搬送ローラ２５は、
そのまま基板２２を押圧する状態としておく。次いで剥
離開始装置４８の押圧ローラ４８Ａを基板２２下側面に
張り付けられているフィルム２０に圧接する位置まで上
昇させてから基板幅方向にこれを往復動させる。このと
き、搬送ローラ２５によって押えられているので基板２
２のがたつきがない。

【００６７】従って、フィルム２０の先端は押圧ローラ
４８Ａによって基板２２からわずかに剥がされ、ここ
に、気体噴出ノズル４８Ｂから圧縮空気が吹き付けら
れ、該圧縮空気がフィルム２０と基板２２との隙間に入
り込むことによって、フィルム２０をめくり下げること
になる。

【００６８】このとき、前記押圧ローラ４８Ａの回転中
心軸５０と基板２２が平行でない場合でも、基板２２及
びフィルム２０を、押圧ローラ４８Ａの反対側から挟み
込む受け台１４を構成するゴムシート１６が、図８
（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、変形するので、基板
２２は必ず押圧ローラ４８Ａと平行になる。

【００６９】又、受け台１４の、基板２２の受け面であ
る金属薄板１８は、全体として押圧ローラ４８Ａの傾き
に対応して傾斜するが、ゴムシート１６と異なり、剛体
の支持平面を形成するので、基板２２及びフィルム２０
が押圧ローラ４８Ａに押圧されたとき、受け台１４方向
に逃げてしまうことがない。従って、フィルム２０の端
縁を、押圧ローラ４８Ａによって確実に押圧することが
できる。

【００７０】又、押圧ローラ４８Ａは斜歯状のローレッ
ト山部４９を備えているので、フィルム２０の端縁は基
板２２から剥離され易い。更に、押圧ローラ４８Ａは、
前記斜歯状のローレット山部４９によって、フィルム２
０の端縁を押圧する際に、回転中心軸５０の軸方向に移
動する分力が発生する。この回転中心軸５０方向の分力
は、押圧ローラ４８Ａの往復動の際における往路と復路
では反対方向に作用する。又、このとき、押圧ローラ４
８Ａと軸受部５０Ａとの間には、図３に示されるよう
に、回転中心軸５０の軸方向の隙間が設けられているの
で、前記往復動の際に、押圧ローラ４８Ａは図９
（Ａ）、（Ｂ）に示されるように左右方向（軸方向）に
偏位した状態で往復動することになる。

【００７１】従って、フィルム２０の端縁の位置が、回
転中心軸５０の軸方向に若干のずれが生じても、押圧ロ
ーラ４８Ａの移動によって確実に剥離することができ
る。

【００７２】又、同時に、押圧ローラ４８Ａは、往路と
復路では、回転中心軸５０に沿う軸線方向の位置が異な
るので、ローレット山部４９の先端によるフィルム２０
上の押跡が往路と復路では、ローレット山部４９のピッ
チ方向にずれを生じる。

【００７３】このため、ローレット山部４９が、押圧ロ
ーラ４８Ａの往復動の際に同一箇所でフィルム２０を押
圧することがないので、より確実にフィルム２０の端縁
を剥離することができる。

【００７４】更に、前述のように、制御装置６０によっ
て、押圧ローラ４８Ａが往路の移動終了後にフィルム２
０から離間され、僅かにフィルム２０の幅方向に移動さ
れた後、再度フィルム２０に圧接して復路の移動をする
ようにされているので、押圧ローラ４８Ａが離間したと
きの移動量を、前記ローレット山部４９のピッチとずれ
るように設定すれば、ローレット山部４９の先端が、前
記往復動の際にフィルム２０の同一位置を押圧すること
がない。

【００７５】前記ローレット山部４９による押跡の、往
路と復路とのピッチのずれは、押圧ローラ４８Ａの軸方
向のずれ、及び、制御装置６０の制御による押圧ローラ
４８Ａのフィルム幅方向のずれの一方又は両方により形
成すればよい。

【００７６】フィルム２０先端の剥離動作を終了した後
は、前記押圧ローラ４８Ａ及び搬送ローラ２５は、基板
搬送面２６Ａの下方に退避する。

【００７７】気体噴出ノズル４８Ｂは、わずかに下降し
て、再度圧縮空気を噴出し、初回の噴出でめくり下げる
ことができなかった部分を完全にめくり下げる。

【００７８】基板２２から剥離されたフィルム２０の先
端（下端）は、前記ガイド板５２に沿って垂直に垂れ下
がる。このとき、ガイド板５２が金属製の場合、フィル
ム２０は、それ自体が有する静電気によって、ガイド板
５２に密着する。

【００７９】ガイド板５２の下端から垂れ下がったフィ
ルム２０の先端は、ガイド板５２の下方に垂直に連続す
る受け板５８Ａにまで至る。

【００８０】この状態で、予め図９に示されるように、
時計方向に揺動されていた捕捉レバー５８Ｃをエアシリ
ンダ５８Ｄによって反時計方向に揺動すると、該捕捉レ
バー５８Ｃと受け板５８Ａとの間で前記垂れ下がったフ
ィルム２０の先端が捕捉（挾持）される。

【００８１】次に、図１１に示されるように、前記フィ
ルム２０の先端を捕捉したまま、前記揺動アーム５６を
図１において時計方向に揺動させ、同時に、前記吸着盤
３６を送りねじ機構４０によって、外方向（図１、１１
において右方向）に水平に移動させる。

【００８２】従って、吸着盤３６の移動速度及び揺動ア
ーム５６によるフィルム２０の引張り速度を調整するこ
とによって、フィルム２０の剥離点がガイド板５２の上
方位置となる状態で、フィルム２０を基板２２から円滑
に剥離することができる。

【００８３】このとき、吸着盤３６の移動速度を、引張
剥離装置５４によるフィルム２０の下方への引張り速度
よりもわずかに速くすれば、フィルム２０の剥離点がガ
イド板５２よりも外側にずれた位置となり、剥離中のフ
ィルム２０がガイド板５２の上端にこすれたりすること
がない。

【００８４】このようにして、吸着盤３６を移動させつ
つフィルム２０を下方に引張って剥離し、剥離終了後
は、該引張剥離装置５４の下方に、前記捕捉レバー５８
Ｃを解放動作させることによって、フィルム２０を下方
に落下配置することができる。

【００８５】即ち、フィルム２０は、基板搬送装置２６
と後続の装置側の端部の隙間を通って下方に引張られつ
つ剥離され、且つ、排出されることになる。

【００８６】基板２２は、吸着盤３６によって更に移動
され、外部の搬送装置等（図示省略）の真上位置にきた
とき停止される。前記吸着盤３６は、搬送装置等が下方
から接近したとき負圧が解除され、基板２２は吸着盤３
６から搬送装置等に受け渡される。この受け渡し後に、
前記吸着盤３６は図１に示されるようにフィルム剥離領
域１２内に戻される。

【００８７】なお、上記フィルム剥離装置は、基板２２
の一方の面にのみフィルムが張付けられている場合のも
のであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、表
裏両面にフィルムが張付けられている基板からフィルム
を剥離するフィルム剥離装置にも適用されるものであ
る。

【００８８】この場合、上記のように、基板２２から下
側面に張付けられているフィルム２０を剥離した後、こ
れを反転して同様のフィルム剥離装置により、他の面の
フィルムを剥離してもよく、又、前記フィルム剥離装置
１０と同様の剥離機構を基板搬送面の上側に設け、基板
の下側面のフィルムを剥離した後、上側面のフィルムの
剥離をするようにしてもよい。

【００８９】又、上記実施の形態の例において、受け台
１４は、ゴムシート１６及び金属薄板１８とから構成さ
れているが、本発明はこれに限定されるものでなく、基
板２２を、押圧ローラ４８Ａと反対側から受け止める硬
質支持平面が押圧ローラ４８Ａの傾きに応じて傾斜変形
できるようにしたものであればよい。

【００９０】従って、例えば図１２に示されるように、
金属製ばね板を二重コ字状に折曲げた折曲げ板部材１７
からなる受け台を形成し、これを前記凹部３７内に取付
け、外側の一辺が前記金属薄板１８に代る硬質支持平面
１９を構成するようにしてもよい。

【００９１】又、ゴムシート１６はゴム以外の弾性樹脂
でもよく、受け台１４全体を、ゴム等の弾性樹脂により
形成し、硬質支持平面は、弾性樹脂の表面を硬化したも
の、あるいは他の硬質樹脂を貼り合わせたもの等で構成
してもよい。

【００９２】又、上記フィルム剥離装置１０において、
基板搬送装置２６上に搬入されてきた基板２２は、押し
上げ装置３２によって吸着盤３６の位置まで押し上げら
れるが、本発明はこれに限定されるものでなく、吸着盤
３６を、基板搬送装置２６及び基板２２を損傷すること
なく下降して吸着するようにしてもよい。

【００９３】又、上記剥離開始装置４８は、押圧ローラ
によって基板２２から浮かせたフィルムの先端を剥離、
且つめくり下げるものであるが、本発明はこれに限定さ
れるものでなく、例えば浮き上ったフィルム先端を粘着
テープ、ローラ等により捕捉して剥離させるようにした
ものであってもよい。

【００９４】又、上記基板搬送装置の先端側の搬送ロー
ラ２５は、シリンダ装置２８によって昇降自在とされて
いるが、これは、基板２２が薄くて垂れ下がり易い場合
に必要なものであり、基板２２が十分に厚くて先端が垂
れ下がらないような場合は、搬送ローラ２５は不要であ
る。

【００９５】又、フィルム２０は、図２に示されるよう
に基板２２の下面において、該基板２２の搬送方向先端
よりもわずかに後方にずれた位置にその先端があるよう
に張り付けられているがこれは基板２２の先端と一致さ
せてもよい。

【００９６】又、吸着盤３６は送りねじ機構４０によっ
て移動されるがこれは位置決め精度が高いので利用され
ている。従って、位置決め精度が確保できれば、ロッド
レスシリンダ等の他の移動手段であってもよい。特に、
厚さの薄い基板（例えば、厚さ０．０６〜０．１ｍｍの
基板）上に、厚さ５〜５０μｍの感光性樹脂層とこれを
保護する厚さ１５〜８０μｍの透光性樹脂フィルムとか
らなる積層体が貼着されているものについて、基板から
透光性樹脂フィルムを剥離する場合に、本発明を適用す
ると効果が特に顕著である。

【００９７】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、フ
ィルム剥離装置の装置面積を大幅に縮小させることがで
きると共に、短時間で効率良く、且つ、確実にフィルム
を剥離させることができるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム剥離装
置を示す断面図

【図２】剥離されるフィルムが張られている基板を示す
拡大断面図

【図３】同装置の要部を拡大して示す断面図

【図４】同装置の吸着盤における吸引孔近傍を拡大して
示す断面図

【図５】同フィルム剥離装置における引張剥離装置近傍
を拡大して示す側面図

【図６】同装置における吸着盤先端近傍を示す下面図

【図７】同フィルム剥離装置の制御系を示すブロック図

【図８】同装置における受け台の作用を示す断面図

【図９】同装置における押圧ローラ駆動時の状態を示す
断面図

【図１０】上記引張剥離装置によりフィルムを捕捉する
過程を拡大して示す側面図

【図１１】同引張剥離装置により下側フィルムを引張る
過程を拡大して示す側面図

【図１２】前記受け台の他の実施の形態を示す断面図

【符号の説明】

１０…フィルム剥離装置 １４…受け台 １５…隙間 １６…ゴムシート １７…折曲げ板部材 １８…金属薄板 １９…硬質支持平面 ２０…フィルム ２２…基板 ２４、２５…搬送ローラ ２６…基板搬送装置 ２６Ａ…基板搬送面 ３６…吸着盤 ３７…凹部 ４８…剥離開始装置 ４８Ａ…押圧ローラ ４８Ｂ…気体噴出ノズル ４９…ローレット山部 ５０…回転中心軸 ５０Ａ…軸受け部 ５２…ガイド板 ５４…引張剥離装置 ６０…制御装置

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【手続補正書】

【提出日】平成１０年３月１７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】表面にフィルムが張付けられている基板を
   拘束可能な基板拘束装置と、前記基板拘束装置により拘
   束された基板表面の前記フィルムの端縁を押圧可能な少
   なくとも１個の押圧ローラと、この押圧ローラを、前記
   フィルム端縁に沿って、このフィルム端縁を押圧しつつ
   フィルム幅方向に駆動可能な押圧ローラ駆動装置と、を
   有してなり、前記押圧ローラの駆動により、フィルム端
   縁を前記基板から浮かせて剥離開始部を形成するフィル
   ム剥離装置において、 前記拘束装置は、前記基板における、少なくとも前記押
   圧ローラにより押圧される部位を、その押圧力に対抗し
   て基板を裏面から支持する受け台を備え、この受け台
   は、少なくとも基板裏面に接触する硬質支持平面と、こ
   の硬質支持平面を、押圧ローラの反対側から前記押圧ロ
   ーラの回転軸の傾きに対応して弾力的に傾斜可能に支持
   する弾性支持部と、を含んで構成されたことを特徴とす
   るフィルム剥離装置。
2. 【請求項２】請求項１において、前記受け台における前
   記弾性支持部は、前記基板拘束装置に取り付けられた弾
   性樹脂シートからなり、前記硬質支持平面は、前記弾性
   樹脂シートの表面に張付けられた金属薄板からなること
   を特徴とするフィルム剥離装置。
3. 【請求項３】請求項１において、前記受け台における前
   記弾性支持部は、前記基板拘束装置に取り付けられた弾
   性樹脂シートからなり、前記硬質支持平面は、前記弾性
   樹脂シートの表面に設けられた硬質樹脂層により構成さ
   れたことを特徴とするフィルム剥離装置。
4. 【請求項４】請求項１、２又は３において、前記基板拘
   束装置は、前記基板の裏面を負圧により吸着、保持する
   吸着盤とされ、前記受け台は、前記吸着盤の凹部に、前
   記硬質支持平面が、吸着盤の一般面と略面一になるよう
   に配置されたことを特徴とするフィルム剥離装置。
5. 【請求項５】請求項４において、前記受け台の外周面と
   これに対向する前記凹部の内周面との間に、前記硬質支
   持平面の弾力的な傾斜を許容する隙間を設けたことを特
   徴とするフィルム剥離装置。
6. 【請求項６】請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記
   押圧ローラは、斜歯状のローレット山部を有するローレ
   ットローラとされ、且つ、その回転中心軸及びこの回転
   中心軸を支持する軸受の少なくとも一方に対して、一定
   範囲で軸方向移動自在とされたことを特徴とするフィル
   ム剥離装置。
7. 【請求項７】請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記
   押圧ローラは、ローレットローラとされ、前記押圧ロー
   ラ駆動装置は、前記フィルム端縁の１回の剥離工程で、
   前記押圧ローラをフィルム幅方向に少なくとも１往復駆
   動させ、且つ、その往路と復路とでは、ローレットの山
   部によるフィルムの押跡がずれるように、往路の終端及
   び復路の始端の少なくとも一方で、押圧ローラをフィル
   ムから離間するようにされたことを特徴とするフィルム
   剥離装置。
8. 【請求項８】請求項１乃至７のいずれかにおいて、前記
   フィルム端縁の剥離開始点に向けて圧縮気体を吹き付け
   て、フィルム端縁をめくり上げる気体噴出ノズルを設け
   たことを特徴とするフィルム剥離装置。