JPH11248451A - 屋内位置決め装置 - Google Patents
屋内位置決め装置Info
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- JPH11248451A JPH11248451A JP6211298A JP6211298A JPH11248451A JP H11248451 A JPH11248451 A JP H11248451A JP 6211298 A JP6211298 A JP 6211298A JP 6211298 A JP6211298 A JP 6211298A JP H11248451 A JPH11248451 A JP H11248451A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】クリーンルーム内などの屋内で超音波風速計な
どを容易かつ正確に位置決めできる屋内位置決め装置を
提供する。 【解決手段】本発明の屋内位置決め装置は、内壁面で囲
まれた建物の内部の平面図を保持する保持手段(4b)と、
上記内壁面のうち直交する二つのものとの距離を測定す
るレーザ距離計(1) と、この測定した二つの内壁面との
距離と保持中の内部の平面図とからこの建物内の位置決
めを行う処理手段(4a)とを備える。
どを容易かつ正確に位置決めできる屋内位置決め装置を
提供する。 【解決手段】本発明の屋内位置決め装置は、内壁面で囲
まれた建物の内部の平面図を保持する保持手段(4b)と、
上記内壁面のうち直交する二つのものとの距離を測定す
るレーザ距離計(1) と、この測定した二つの内壁面との
距離と保持中の内部の平面図とからこの建物内の位置決
めを行う処理手段(4a)とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣ製造用のクリ
ーンルーム内などで、風速計などを位置決めするための
屋内位置決め装置に関するものである。
ーンルーム内などで、風速計などを位置決めするための
屋内位置決め装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置製造用のクリーンルームで
は、清浄な空気を吹き流すことによって室内を常に清浄
な状態に保っている。このようなクリーンルーム内で
は、空気の流れが正常に行われているかどうかを確認す
るために、室内の数十乃至数百にわたる測定対象箇所に
わたって超音波風速計を移動させながら、各箇所におけ
る三次元の微弱な風向・風速を測定している。特に、汚
染の発生源となる空気の滞留箇所ないしは吹き溜まりが
クリーンルーム内の何処にも存在しないことの確認が行
われる。この空気の滞留箇所は、極く小さなものでも見
落とすことが出来ないため、測定箇所の位置決めの分解
能と精度は極めて高い値が要求される。
は、清浄な空気を吹き流すことによって室内を常に清浄
な状態に保っている。このようなクリーンルーム内で
は、空気の流れが正常に行われているかどうかを確認す
るために、室内の数十乃至数百にわたる測定対象箇所に
わたって超音波風速計を移動させながら、各箇所におけ
る三次元の微弱な風向・風速を測定している。特に、汚
染の発生源となる空気の滞留箇所ないしは吹き溜まりが
クリーンルーム内の何処にも存在しないことの確認が行
われる。この空気の滞留箇所は、極く小さなものでも見
落とすことが出来ないため、測定箇所の位置決めの分解
能と精度は極めて高い値が要求される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、上述のような風
速計をクリーンルーム内の数十乃至数百の測定対象箇所
のそれぞれに位置決めするために、巻尺などの計器を使
用して内壁面からの距離を測定していた。しかしなが
ら、この巻尺を使用する位置決め方法は、二人以上の作
業者が必要になるなど労力と時間がかかるという問題が
あった。
速計をクリーンルーム内の数十乃至数百の測定対象箇所
のそれぞれに位置決めするために、巻尺などの計器を使
用して内壁面からの距離を測定していた。しかしなが
ら、この巻尺を使用する位置決め方法は、二人以上の作
業者が必要になるなど労力と時間がかかるという問題が
あった。
【０００４】特に、クリーンルームの内壁面との距離は
この内壁面に下ろした垂線の長さとして計測されるが、
この内壁面に垂線を下ろす作業は、内壁面の一部を一辺
とする長方形を形成することにより行われる。しかしな
がら、この長方形を形成する作業は、クリーンルーム内
に各種のＩＣ処理装置を設置した後は、内壁面の多くが
設置済みのＩＣ処理装置によって隠されてしまうため適
用できず、作業が一層煩雑になると共に精度も低下する
という問題があった。従って、本発明の目的は、クリー
ンルーム内などの屋内で風速計などを容易かつ正確に位
置決めできる屋内位置決め装置を提供することにある。
この内壁面に下ろした垂線の長さとして計測されるが、
この内壁面に垂線を下ろす作業は、内壁面の一部を一辺
とする長方形を形成することにより行われる。しかしな
がら、この長方形を形成する作業は、クリーンルーム内
に各種のＩＣ処理装置を設置した後は、内壁面の多くが
設置済みのＩＣ処理装置によって隠されてしまうため適
用できず、作業が一層煩雑になると共に精度も低下する
という問題があった。従って、本発明の目的は、クリー
ンルーム内などの屋内で風速計などを容易かつ正確に位
置決めできる屋内位置決め装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の屋内位置決め装
置は、内壁面で囲まれた建物の内部の平面図を保持する
保持手段と、この内壁面のうち隣接する二つのものとの
距離を測定するレーザ式距離計と、この測定した二つの
内壁面との距離と前記保持中の内部の平面図とからこの
建物内の位置決めを行う処理手段とを備えている。
置は、内壁面で囲まれた建物の内部の平面図を保持する
保持手段と、この内壁面のうち隣接する二つのものとの
距離を測定するレーザ式距離計と、この測定した二つの
内壁面との距離と前記保持中の内部の平面図とからこの
建物内の位置決めを行う処理手段とを備えている。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の好適な実施の形態によれ
ば、上記レーザ式距離計は、内壁面との距離の測定に際
し、この内壁面に対して水平面内の適宜な角度範囲にわ
たってレーザビームを走査し、得られた最短の距離をこ
の内壁面との距離として検出する手段を備える。
ば、上記レーザ式距離計は、内壁面との距離の測定に際
し、この内壁面に対して水平面内の適宜な角度範囲にわ
たってレーザビームを走査し、得られた最短の距離をこ
の内壁面との距離として検出する手段を備える。
【０００７】
【実施例】図１は本発明の一実施例の室内位置決め装置
の構成を示す機能ブロック図である。この室内位置決め
装置は、レーザ距離計１、距離表示パネル２、データ用
インターフェイス３、位置計算用パーソナルコンピュー
タ４、キーボード５及び表示パネル６を備え、超音波風
速計７と一体的に構成されている。位置計算用パーソナ
ルコンピュータ４は、位置計算手段４ａと室内平面図保
持メモリ４ｂとを備えている。
の構成を示す機能ブロック図である。この室内位置決め
装置は、レーザ距離計１、距離表示パネル２、データ用
インターフェイス３、位置計算用パーソナルコンピュー
タ４、キーボード５及び表示パネル６を備え、超音波風
速計７と一体的に構成されている。位置計算用パーソナ
ルコンピュータ４は、位置計算手段４ａと室内平面図保
持メモリ４ｂとを備えている。
【０００８】パーソナルコンピュータの室内平面図保持
メモリ４ｂには、図中点線で囲んだ枠内に例示するよう
に、壁面Ａ乃至Ｄで囲まれたＩＣ製造用クリーンルーム
の室内平面図が、各壁面の長さを示す数値Ｘ1 ，Ｘ2 ，
Ｘ3 ，Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 の形式によって保持されてい
る。なお、このクリーンルームの隣接する壁面は、互い
に直交している。
メモリ４ｂには、図中点線で囲んだ枠内に例示するよう
に、壁面Ａ乃至Ｄで囲まれたＩＣ製造用クリーンルーム
の室内平面図が、各壁面の長さを示す数値Ｘ1 ，Ｘ2 ，
Ｘ3 ，Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 の形式によって保持されてい
る。なお、このクリーンルームの隣接する壁面は、互い
に直交している。
【０００９】図２を参照すれば、この室内位置決め装置
は、壁面の随所にＩＣ処理装置が配置されたクリーンル
ーム内において、風速を測定しようとする室内の各箇所
を位置決めする。レーザ距離計１が、作業者の操作によ
ってＩＣ処理装置で遮蔽されていない壁面に向けられ
る。このレーザ距離計は、パルス状のレーザビームを一
定の周期で壁面に向けて放射し、壁面で反射されて戻っ
て来たレーザビームを受光し、レーザビームの放射から
反射ビームの受光までの所要時間の半分の値を検出し、
これにレーザビームの伝播時間、すなわち光速を乗算す
ることにより、このレーザ距離計、すなわち位置決め装
置と壁面との距離を算定する。
は、壁面の随所にＩＣ処理装置が配置されたクリーンル
ーム内において、風速を測定しようとする室内の各箇所
を位置決めする。レーザ距離計１が、作業者の操作によ
ってＩＣ処理装置で遮蔽されていない壁面に向けられ
る。このレーザ距離計は、パルス状のレーザビームを一
定の周期で壁面に向けて放射し、壁面で反射されて戻っ
て来たレーザビームを受光し、レーザビームの放射から
反射ビームの受光までの所要時間の半分の値を検出し、
これにレーザビームの伝播時間、すなわち光速を乗算す
ることにより、このレーザ距離計、すなわち位置決め装
置と壁面との距離を算定する。
【００１０】レーザ距離計の測定値は、距離表示パネル
２に表示されると共に、データ用インターフェイス３を
介してパーソナルコンピュータ４に転送される。この位
置決め装置の操作者は、ほぼ水平な面内においてレーザ
距離計の壁面に対する向きを予め定めた一定の角度θに
わたって変化させながら距離表示パネル２上に表示され
る最小の距離を検出する。この最小の距離が表示された
状態では、レーザビームの壁面との間の往復の伝播経路
が最短になり、その伝播経路が壁面に直角になってい
る。作業者は、キーボード５を操作することにより、こ
の最小の距離の取り込みをパーソナルコンピュータ４に
指令する。これと相い前後して、作業者は上記取り込み
データが壁面Ｂとの距離である旨の情報をキーボード５
からパーソナルコンピュータ４に入力する。
２に表示されると共に、データ用インターフェイス３を
介してパーソナルコンピュータ４に転送される。この位
置決め装置の操作者は、ほぼ水平な面内においてレーザ
距離計の壁面に対する向きを予め定めた一定の角度θに
わたって変化させながら距離表示パネル２上に表示され
る最小の距離を検出する。この最小の距離が表示された
状態では、レーザビームの壁面との間の往復の伝播経路
が最短になり、その伝播経路が壁面に直角になってい
る。作業者は、キーボード５を操作することにより、こ
の最小の距離の取り込みをパーソナルコンピュータ４に
指令する。これと相い前後して、作業者は上記取り込み
データが壁面Ｂとの距離である旨の情報をキーボード５
からパーソナルコンピュータ４に入力する。
【００１１】操作者は、上記壁面との距離の測定を室内
の直交する二つの壁面に関して実行する。図２の例で
は、壁面Ｂとの距離Ｒｂと、壁面Ｃとの距離Ｒｃの測定
が行われる。この例では、互いに直交する壁面Ｃと壁面
Ｄとの交点に座標の原点０が設定され、壁面Ｃに沿って
Ｘ軸が設定されると共に、壁面Ｄに沿ってＹ軸が設定さ
れている。図２では、レーザ距離計の室内位置、従って
この室内位置決め装置の室内位置（Ｘ，Ｙ）は（Ｘ3 −
Ｒb ，Ｒc ）と決定される。
の直交する二つの壁面に関して実行する。図２の例で
は、壁面Ｂとの距離Ｒｂと、壁面Ｃとの距離Ｒｃの測定
が行われる。この例では、互いに直交する壁面Ｃと壁面
Ｄとの交点に座標の原点０が設定され、壁面Ｃに沿って
Ｘ軸が設定されると共に、壁面Ｄに沿ってＹ軸が設定さ
れている。図２では、レーザ距離計の室内位置、従って
この室内位置決め装置の室内位置（Ｘ，Ｙ）は（Ｘ3 −
Ｒb ，Ｒc ）と決定される。
【００１２】本実施例の位置決め装置は三脚上に取付け
られており、この三脚の頂部には超音波風速計７も取り
付けられている。このため、クリーンルーム内の位置決
めが終了すると直ちに超音波風速計７による風速の測定
が開始される。
られており、この三脚の頂部には超音波風速計７も取り
付けられている。このため、クリーンルーム内の位置決
めが終了すると直ちに超音波風速計７による風速の測定
が開始される。
【００１３】以上、隣接する内壁面が直交する場合を例
にとって本発明を説明した。しかしながら、本発明の位
置決め装置は室内平面図を保持しているため、隣接する
内壁面が直交しない複雑な構造の建物についてもそれぞ
れとの距離を測定することにより建物内の位置が決定で
きる。
にとって本発明を説明した。しかしながら、本発明の位
置決め装置は室内平面図を保持しているため、隣接する
内壁面が直交しない複雑な構造の建物についてもそれぞ
れとの距離を測定することにより建物内の位置が決定で
きる。
【００１４】また、超音波風速計と一体に構成する場合
を例にとって本発明の屋内位置決め装置の構成と動作を
説明した。しかしながら、この屋内位置決め装置を超音
波風速計などの関連の機器とは別個に、あるいは一部を
入替え可能に構成することもできる。
を例にとって本発明の屋内位置決め装置の構成と動作を
説明した。しかしながら、この屋内位置決め装置を超音
波風速計などの関連の機器とは別個に、あるいは一部を
入替え可能に構成することもできる。
【００１５】さらに、クリーンルーム内における超音波
風速計の位置決めに利用する場合を例にとって本発明を
説明した。しかしながら、倉庫などの建物内を走行する
搬送装置や、コンクリート壁面で囲まれた屋根なしの集
積所や作業場内を自動走行する搬送装置の位置決めなど
に本発明を利用することができる。
風速計の位置決めに利用する場合を例にとって本発明を
説明した。しかしながら、倉庫などの建物内を走行する
搬送装置や、コンクリート壁面で囲まれた屋根なしの集
積所や作業場内を自動走行する搬送装置の位置決めなど
に本発明を利用することができる。
【００１６】また、人手で操作する場合を例にとって本
発明の位置決め装置を説明した。しかしながら、遠隔操
縦や完全自動式で動作する作業用ロボットや搬送用ロボ
ットの位置決めや走行制御などに本発明を利用する場合
などは、本発明の屋内位置決め装置の動作も、これらの
ロボットと同様に遠隔操縦や完全自動式で行わせること
もできる。
発明の位置決め装置を説明した。しかしながら、遠隔操
縦や完全自動式で動作する作業用ロボットや搬送用ロボ
ットの位置決めや走行制御などに本発明を利用する場合
などは、本発明の屋内位置決め装置の動作も、これらの
ロボットと同様に遠隔操縦や完全自動式で行わせること
もできる。
【００１７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の屋
内位置決め装置は、建物の内部の平面図を保持する保持
手段と、建物の直交する二つの内壁面との距離を測定す
るレーザ式距離計と、この測定した二つの内壁面との距
離と前記保持中の内部の平面図とからこの建物内の位置
決めを行う処理手段とを備える構成であるから、クリー
ンルーム内などの屋内で風速計などを容易かつ正確に位
置決めできるという利点がある。
内位置決め装置は、建物の内部の平面図を保持する保持
手段と、建物の直交する二つの内壁面との距離を測定す
るレーザ式距離計と、この測定した二つの内壁面との距
離と前記保持中の内部の平面図とからこの建物内の位置
決めを行う処理手段とを備える構成であるから、クリー
ンルーム内などの屋内で風速計などを容易かつ正確に位
置決めできるという利点がある。
【００１８】本発明の屋内位置決め装置は、超音波や電
波の代わりに波長の短いレーザビームを使用する構成で
あるから、極めて高精度の位置決めが可能になり、クリ
ーンルーム内の空気の滞留箇所の有無を探索するための
超音波風速計の位置決めにおいて必要な高い分解能と精
度を実現できる。
波の代わりに波長の短いレーザビームを使用する構成で
あるから、極めて高精度の位置決めが可能になり、クリ
ーンルーム内の空気の滞留箇所の有無を探索するための
超音波風速計の位置決めにおいて必要な高い分解能と精
度を実現できる。
【００１９】また、本発明の好適な実施の形態によれ
ば、上記レーザ式距離計は、内壁面との距離の測定に際
し、この内壁面に対して水平面内の適宜な角度範囲にわ
たってレーザビームを走査し、得られた最短の距離をこ
の内壁面との距離として検出する手段を備えるから、内
壁面に対して容易かつ正確に垂線を下ろすことが可能に
なり、測定精度が向上する。
ば、上記レーザ式距離計は、内壁面との距離の測定に際
し、この内壁面に対して水平面内の適宜な角度範囲にわ
たってレーザビームを走査し、得られた最短の距離をこ
の内壁面との距離として検出する手段を備えるから、内
壁面に対して容易かつ正確に垂線を下ろすことが可能に
なり、測定精度が向上する。
【図１】本発明の一実施例の超音波風速計と一体化され
た屋内位置決め装置の構成を示す機能ブロック図であ
る。
た屋内位置決め装置の構成を示す機能ブロック図であ
る。
【図２】上記実施例によれ位置決めの例を説明するため
の室内平面図である。
の室内平面図である。
１ レーザ距離計 ２ 距離表示パネル ４ 位置計算用パーソナルコンピュータ 4a 位置計算手段 4b 室内平面図保持メモリ ７ 超音波風速計
Claims (5)
- 【請求項１】内壁面で囲まれた建物の内部の平面図を保
持する保持手段と、 前記内壁面のうち隣接する二つのものとの距離を測定す
るレーザ距離計と、 この測定した二つの内壁面との距離と前記保持中の内部
の平面図とからこの建物内の位置決めを行う処理手段と
を備えたことを特徴とする屋内位置決め装置。 - 【請求項２】請求項１において、 前記レーザ距離計は、前記内壁面との距離の測定に際
し、この内壁面に対して水平面内の適宜な角度範囲にわ
たってレーザビームを走査し、得られた最短の距離をこ
の内壁面との距離として検出する手段を備えたことを特
徴とする屋内位置決め装置。 - 【請求項３】請求項１又は２において、 前記建物は半導体集積回路製造用のクリーンルームであ
り、前記各手段はこのクリーンルーム内の風速を測定す
る超音波風速計と一体に構成されたことを特徴とする屋
内位置決め装置。 - 【請求項４】請求項１乃至３のそれぞれにおいて、 前記各手段は遠隔制御により又は自動的に走行する車両
に搭載されると共に、前記レーザ距離計による距離の測
定と前記処理手段による位置決めは遠隔制御により又は
自動的に行われることを特徴とする屋内位置決め装置。 - 【請求項５】壁面で囲まれた空間の平面図を保持する保
持手段と、 前記壁面のうち隣接する二つのものとの距離を測定する
レーザ距離計と、 この測定した二つの壁面との距離と前記保持中の空間の
平面図とからこの空間内の位置決めを行う処理手段とを
備えたことを特徴とする空間内位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6211298A JPH11248451A (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 屋内位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6211298A JPH11248451A (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 屋内位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11248451A true JPH11248451A (ja) | 1999-09-17 |
Family
ID=13190659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6211298A Pending JPH11248451A (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 屋内位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11248451A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010032630A1 (ja) * | 2008-09-18 | 2010-03-25 | 三菱重工業株式会社 | 空間内部の位置を特定する方法及び装置 |
| CN106969733A (zh) * | 2016-05-20 | 2017-07-21 | 美国西北仪器公司 | 在目标空间中对目标物体进行定位的方法及测距装置 |
| JP2017181428A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社トプコン | 測量装置の位置取得方法及び測量装置 |
| CN111374776A (zh) * | 2018-12-29 | 2020-07-07 | 深圳市达科为智能医学有限公司 | 一种位置坐标可确定的手术机器人设备及手术机器人系统 |
-
1998
- 1998-02-26 JP JP6211298A patent/JPH11248451A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010032630A1 (ja) * | 2008-09-18 | 2010-03-25 | 三菱重工業株式会社 | 空間内部の位置を特定する方法及び装置 |
| JP2017181428A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社トプコン | 測量装置の位置取得方法及び測量装置 |
| CN106969733A (zh) * | 2016-05-20 | 2017-07-21 | 美国西北仪器公司 | 在目标空间中对目标物体进行定位的方法及测距装置 |
| WO2017198187A1 (zh) * | 2016-05-20 | 2017-11-23 | 美国西北仪器公司 | 在目标空间中对目标物体进行定位的方法及测距装置 |
| EP3460389A4 (en) * | 2016-05-20 | 2020-02-19 | Northwest Instrument Inc. | Method for positioning target object in target space and measurement device |
| US10895455B2 (en) | 2016-05-20 | 2021-01-19 | Northwest Instrument Inc. | Methods and ranging apparatus for positioning target object in target space |
| CN111374776A (zh) * | 2018-12-29 | 2020-07-07 | 深圳市达科为智能医学有限公司 | 一种位置坐标可确定的手术机器人设备及手术机器人系统 |
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