JPH11248923A

JPH11248923A - カラーフィルタの製造装置

Info

Publication number: JPH11248923A
Application number: JP4840898A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Yoda; 剛依田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1998-02-27
Filing date: 1998-02-27
Publication date: 1999-09-17

Abstract

(57)【要約】【課題】アクティブ及びパッシブタイプのカラー液晶
パネルにも十分適用できる欠陥およびシミの発生がない
カラーフィルタを製造する装置を提供する。【解決手段】電解処理装置中の電解液を循環させる工
程において、リザーブタンク内部の電解液入口側と出口
側との間を、１組以上の上下互い違いの仕切り板により
隔ち、下側仕切り板と上側仕切り板との間をメッシュで
覆い、リザーブタンク入口側配管口位置を液中に形成
し、リザーブタンク出口側配管口位置をリザーブタンク
底面に形成する。さらにフィルターの細孔直径を、使用
する電解液中に分散する粒子直径よりも大きく１００μ
ｍより小さいフィルターとし、電解槽の直前に形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶テレビ・パソ
コン用ディスプレイ等に用いられるアクティブ及びパッ
シブカラーパネルに用いるカラーフィルタの製造装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】レドックス反応性を有する界面活性剤の
ミセル水溶液中に、水に不溶性もしくは難溶性の顔料粒
子をコロイド分散した後、該ミセル水溶液を電解するこ
とによりアノードとして用いた所定のパターン形状をも
つ透明電極上に顔料膜を形成する手法を用いたカラーフ
ィルタの製造方法について、本発明者らは既に特許出願
している。さらに、このカラーフィルタに疎水化した導
電粒子を共析させる導電性ミセルカラーフィルタの製造
方法についても出願している（特開平２−２６７２９８
号公報）。また、無機粒子表面が親水性の物質を疎水化
処理して無機膜を形成する方法についても出願済みであ
る。さらに、使用する顔料の純度に関しても出願してい
る。このように我々は、導電性のミセルカラーフィルタ
の製造方法を発明した。ここで成膜装置については、図
２に示すような電解槽２１およびリザーブタンク２２、
電解液２３を循環するためのポンプ２４、フィルター２
５、配管２６、さらに電解槽上部はオーバーフロー構造
２７より形成される。この構成は洗浄装置、メッキ装置
等では一般的なものである。ここでフィルターの形成位
置はフィルターの入口および出口において差圧の発生す
る位置であればどこでも形成できる。例えばポンプ形成
位置の直前または直後に形成するのが一般的である。こ
の電解槽２１に電解液を満たし、透明電極を有する基板
２８をアノードとして、対向電極２９をカソードとして
挿入し、電源３０より電解をかけ成膜を行う。ここで電
解槽においては成膜途中および成膜終了または成膜前に
電解槽内の電解液を循環する。これは電解液を循環する
ことで薄膜形成時の面内薄膜厚分布および成膜スピード
の安定化を図るものである。この電解液を循環する際
に、リザーブタンク内電解液の泡立ちを押さえる構成に
ついても本発明者らは特許出願済みである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
技術には以下の課題があった。

【０００４】従来技術を用いてミセルコロイド溶液を作
製した後、電解槽中にミセル水溶液を流し込み循環する
と、直径１ｍｍから２ｍｍの大きさの微小な気泡が電解
槽内ミセル水溶液中に存在することが判明した。これは
オーバーフローしたミセル水溶液がリザーブタンクに落
下して流入する構造であり、その際巻き込んだ空気が気
泡として液中に存在する、またはリザーブタンク、ポン
プ、フィルターさらにそれらをつなぐ配管内にすでに存
在する気泡、もしくは配管等の接続部から混入する空気
と考えられる。さらにこの微小な気泡自体が基板に付着
することがわかった。これらは液晶パネルの場合、次の
ような致命的な欠陥になる。

【０００５】１）気泡付着部分は成膜状態が異なるため
パネルを点灯した際に点欠陥になる。

【０００６】２）電解槽から基板取り出し時に付着した
気泡が泡になり流れ落ち、パネルを点灯した際に泡の流
れた跡がシミ欠陥となる。

【０００７】すなわち、従来の方法でも導電性カラーフ
ィルタ層の形成はできるものの、微小な気泡の発生が顕
著であったため、欠陥およびシミの発生しないカラーフ
ィルタを作製する手段が無かった。

【０００８】そこで、本発明の目的とするところは、上
記の課題を解決し、アクティブ及びパッシブタイプのカ
ラー液晶パネルにも十分適用できる欠陥およびシミの発
生がないカラーフィルタを製造する装置を提供すること
にある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記のような課
題を解決するためのもので、以下の手段からなる。

【００１０】本発明のカラーフィルタの製造装置は、界
面活性剤を含有する電解液を用いる湿式の成膜装置にお
いて、その構成が、オーバーフロー構造をもった電解
槽、リザーブタンク、ポンプ、フィルターから成る循環
機能をもち、ａ）該リザーブタンク内部の電解液入口側
と出口側との間が、少なくとも１組以上の上下互い違い
の仕切り板により隔てられた構造である、ｂ）該下側仕
切り板と該上側仕切り板との間が、少なくとも１つ以上
のメッシュで覆われた構造である、ｃ）該オーバーフロ
ー槽と該リザーブタンクを結ぶ配管の該リザーブタンク
側配管口位置が少なくとも液中にある、ｄ）該リザーブ
タンク出口側配管口位置がリザーブタンク底面にある、
ことを特徴とする。

【００１１】すなわちａ）に示す様に、１組以上の上下
互い違いの仕切り板があると、電解液がこの仕切り板の
間を出口に向かい上下に移動する際、リザーブタンク入
口で発生した気泡は下側に移動しにくいため電解液のみ
が次の仕切り板間に移動することができる。液の流速に
よっては、１組の上下互い違いの仕切り板では気泡が取
り除かれない場合があるが、適用する流速範囲によって
上下互い違いの仕切り板数を選定すればよい。また仕切
り板同士の重なりは気泡が次の仕切り板間に移動しにく
いように２０ｃｍ以上あると好ましい。さらにｂ）に示
すようにメッシュを形成することで、上側に移動した電
解液が下側に移動する際に気泡を巻き込みにくくし、さ
らに電解液中にすでに存在する気泡を通りにくくするこ
とが可能である。但し、電解液はポンプ等で圧送されて
いる場合は１．０μｍ以下のメッシュのフィルターでも
通過できるが、このような構造の自然落下による電解液
の流れでは、メッシュが細かいと電解液自体がメッシュ
を通過しにくくなるため、１ｍｍから２ｍｍ程度の隙間
のメッシュを用いると良好になることを本発明者らは見
出した。さらにｃ）の構造により、配管口が電解液中に
あることで電解液の攪拌効果が緩和され泡が発生しにく
い。このリザーブタンク側の配管口は液面より５ｃｍ以
上下側にするのが好ましい。さらにｄ）の構造により、
空気を巻き込むことなく電解液のみポンプに流出するこ
とが可能である。

【００１２】さらに該成膜装置において、ｅ）該フィル
ターの細孔直径が、使用する電解液中に分散する粒子直
径よりも大きく１００μｍより小さいフィルターにより
形成され、ｆ）該フィルターが少なくとも該電解槽の直
前に形成される、ことを特徴とする。

【００１３】すなわちｅ）に示す細孔直径のフィルター
を使用することにより、フィルター内を通過する電解液
中に存在する微小な気泡を捕らえ該電解液中から除去す
る効果を有する。シミ、欠陥の原因になる気泡は直径１
ｍｍから２ｍｍであるが、１００μｍの細孔直径をもつ
フィルターではこの気泡が通過することを本発明者らは
見出した。またフィルターは気泡を除去するためのもの
であって、上記細孔直径の機能を有するものであれば何
でも用いることができる。但し、ペーパー型のフィルタ
ーの場合、例えば濾紙などは気泡がフィルター細孔を通
り抜けることがあるため、少なくともペーパー型を２か
ら３枚以上重ねたもの、もしくはカートリッジ型または
ディスポーサブル型のフィルター部分が積層されたフィ
ルターを用いることが好ましい。また細孔直径が電解液
中の粒子直径よりも小さいと、気泡は捕らえることはで
きるが、同時に電解液中の分散粒子も一緒に除去してし
まうため、電解液の組成の変化およびフィルターが短時
間で詰まるという問題が生じる。使用する電解液によっ
て分散粒子直径は異なるが一般的に２００ｎｍから５０
０ｎｍの粒子直径の分散液を使用するため、これらの粒
子直径よりも大きい粒子直径除去能力を持つフィルター
を使用することが望ましい。

【００１４】さらにｆ）の電解槽直前に該フィルターを
形成することにより、ポンプ、フィルター、さらにそれ
らをつなぐ配管内にすでに存在する気泡、もしくは配管
等の接続部から混入する空気を除去する効果を有する。
これにより電解液のみが電解槽に循環される。

【００１５】さらに該電解液に、水溶性もしくは水に難
溶性の顔料粒子と疎水性表面を有する透明導電粒子を、
レドックス反応を有する界面活性剤及び支持塩を基本成
分とした該顔料粒子と該透明導電粒子を該界面活性剤で
取り囲んだ顔料のミセルコロイド水溶液を用いることを
特徴とする。

【００１６】本発明者らは、上記構造のリザーブタン
ク、およびフィルターを使用することを発明し、電解槽
内への気泡の混入を抑え、さらに泡の基板への付着を抑
えることに成功した。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、実施例を用いて本発明を詳
細に説明する。

【００１８】（実施例１）赤色顔料粒子（ジスアントラ
キノニルレッド：粒子径１０００オングストロー
ム）、同じく黄色顔料粒子（ジスアゾイエローＨＲ：
粒子径３０００オングストローム）及び導電性粒子とし
てＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎＯｘｉｄｅ）を用い
て、以下の組成の赤顔料コロイド水溶液を調製した。な
お、顔料粒子は大日精化製を用いた。

【００１９】ジアントラキノニルレッド８．０ｇ／ｌジスアゾイエローＨＲ１．６ｇ／ｌフェロセニルＰＥＧ３．４ｇ／ｌ（※界面活性剤）ＬｉＢｒ（支持塩）１０．５ｇ／ｌ疎水化処理ＩＴＯ粒子１８．０ｇ／ｌ上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、９
０分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し顔料ミセルコロイド水溶液とした。

【００２０】図１は実施例１における本発明の電解処理
装置の構造を示す。オーバーフロー構造をもった電解槽
１１、リザーブタンク１２、ポンプ１３、フィルター１
４から成る循環機能をもつ。ここでリザーブタンク内部
電解液入口側と出口側との間に、仕切り板１５を上下互
い違いに１組形成した。仕切り板同士の重なりは２０ｃ
ｍとし、電解液入口側は液面より５ｃｍ下側に形成し、
電解液出口側はリザーブタンク底面に形成した。さらに
下側仕切り板と上側仕切り板との間を１ｍｍの隙間をも
つメッシュ１６で覆った。さらに細孔直径が８０μｍの
フィルター１４を使用し、電解槽１１の直前に形成し
た。そしてポンプ１３を用い、液流量８〜１０Ｌ／ｍｉ
ｎで２分間液循環を行った。その後、電解槽内の泡の発
生状況を比較した。その特性データを表１に示す。

【００２１】

【表１】

【００２２】表１からわかるように、本発明の条件を用
いて電解液を循環した場合、リザーブタンク内での気泡
の発生を押さえ、さらにフィルター部分において電解液
中にすでに存在する気泡を捕らえるため、電解槽中での
１ｍｍから２ｍｍ程度の泡の発生が無かった。

【００２３】さらに、このミセル水溶液中に、アノード
として前記電極パターンをもったガラス基板（３０×４
０ｃｍ）と、カソード側にチタン板に白金をメッキした
基板を浸漬させ、＋０．６Ｖの定電位で１５分間電解を
行った。この結果、ＩＴＯ電極上に赤色の顔料膜が形成
された。この基板を水洗後、１８０℃で３０分間焼成し
た。赤色顔料膜厚を測定したところ、電極周辺部と中心
部の膜厚差は無く、基板面内の膜厚均一で１．０５ミク
ロンであった。さらに外観をスポットライトで観察し
た。その特性データについても表１に示す。表１から、
本発明の条件を用いて循環した電解液を用いて薄膜を形
成した場合、シミの無い均一な膜面となった。よって、
本発明の条件により良好な結果が得られた。

【００２４】（実施例２）青色顔料粒子（フタロシアニ
ンブルーＲ：粒子径２０００オングストローム）、同
じく紫色顔料粒子（ジオキサンバイオレット：粒子径
６００オングストローム）及び導電性粒子としてＩＴＯ
を用いて、以下の組成の青顔料コロイド水溶液を調製し
た。なお、顔料粒子は大日精化製を用いた。フタロシアニンブルーＲ５．２ｇ／ｌジオキサンバイオレット０．９ｇ／ｌフェロセニルＰＥＧ３．７ｇ／ｌＬｉＢｒ（支持塩）１０．５ｇ／ｌ疎水化処理ＩＴＯ粒子１８．０ｇ／ｌ上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、９
０分間超音波分散した。ここでリザーブタンク内部は実
施例１と同様の構造を用い、さらに細孔直径が１μｍの
フィルター１４を使用し、電解槽１１の直前に形成し
た。そしてポンプ１３を用い、液流量８〜１０Ｌ／ｍｉ
ｎで２分間液循環を行い、泡の発生の状況を比較したと
ころ、表１からわかるように、本発明の条件を用いて電
解液を循環した場合、リザーブタンク内での気泡の発生
を押さえ、さらにフィルター部分において電解液中に存
在する気泡を捕らえるため、電解槽中での１ｍｍから２
ｍｍ程度の泡の発生が無かった。さらに、このミセル水
溶液を用いて、実施例１と同様の方法で前記電極パター
ンをもったガラス基板（３０×４０ｃｍ）のＩＴＯ電極
上に青色の顔料膜を形成し水洗後、１８０℃で３０分間
焼成した。さらに外観をスポットライトで観察した。そ
の特性データについても表１に示す。本発明の条件を用
いて循環した電解液を用いて薄膜を形成した場合、シミ
の無い均一な膜面となった。よって、本発明の条件によ
り良好な結果が得られた。

【００２５】（比較例１）実施例１と同様の顔料、ＩＴ
Ｏを使用し、同条件で作製したミセル水溶液を用いて、
リザーブタンク内部電解液入口側と出口側との間に仕切
り板およびメッシュは形成せず、液入口側は液面より上
側に形成し、電解液出口側は液界面に形成した。さらに
細孔直径が１００μｍのフィルター１４を使用し電解槽
１１の直前に形成した。そしてポンプ１３を用い、液流
量８〜１０Ｌ／ｍｉｎで２分間液循環を行い、泡の発生
の状況を比較したところ、表１からわかるように前記条
件を用いて電解液を循環した場合、リザーブタンク部分
で多量に気泡が発生し、さらにフィルター部分において
電解液中に存在する気泡を捕らえられず、電解槽中で１
ｍｍから２ｍｍ程度の泡が多数発生した。さらに、この
ミセル水溶液を用いて、実施例１と同様の方法で前記電
極パターンをもったガラス基板（３０×４０ｃｍ）のＩ
ＴＯ電極上に赤色の顔料膜を形成し水洗後、１８０℃で
３０分間焼成した。さらに外観をスポットライトで観察
した。その特性データについても表１に示す。前記条件
にて循環した電解液を用いて薄膜を形成した場合、成膜
した基板を電解槽から取り出す際に気泡が基板表面に泡
として付着し流れ落ちるのが確認され、この部分がシミ
として膜面内に確認された。さらに気泡が付着した部分
が点欠陥として多量に発生した。これは液晶パネルにし
た場合、気泡が付着した部分はパネルを点灯した際に点
欠陥になる。

【００２６】（比較例２）実施例２と同様の顔料、ＩＴ
Ｏを使用し、同条件で作製したミセル水溶液を用いた。
ここでリザーブタンク内部電解液入口側と出口側との間
に仕切り板およびメッシュは形成せず、液入口側は液面
より上側に形成し、電解液出口側は液界面に形成した。
さらに細孔直径が８０μｍのフィルターを使用し、フィ
ルター１４をリザーブタンク１２とポンプ１３の中間に
形成した。そしてポンプ１３を用い、液流量８〜１０Ｌ
／ｍｉｎで２分間液循環を行い、泡の発生の状況を比較
したところ、表１からわかるように前記条件を用いて電
解液を循環した場合、フィルター部分においては電解液
中に存在する気泡は捕らえられるが、フィルター部分か
ら電解槽に至るまでの間でさらに気泡が存在するため、
電解槽中には１ｍｍから２ｍｍ程度の泡が若干発生し
た。さらに、このミセル水溶液を用いて、実施例２と同
様の方法で前記電極パターンをもったガラス基板（３０
×４０ｃｍ）のＩＴＯ電極上に青色の顔料膜を形成し水
洗後、１８０℃で３０分間焼成した。さらに外観をスポ
ットライトで観察した。その特性データについても表１
に示す。前記条件にて循環した電解液を用いて薄膜を形
成した場合、成膜した基板を電解槽から取り出す際に気
泡が基板表面に泡として付着し流れ落ちるのが確認さ
れ、この部分がシミとして膜面内に確認された。さらに
気泡が付着した部分が点欠陥として若干発生した。これ
は液晶パネルにした場合、気泡が付着した部分はパネル
を点灯した際に点欠陥になる。

【００２７】（比較例３）実施例１と同様の顔料、ＩＴ
Ｏを使用し、同条件で作製したミセル水溶液を用いた。
ここでリザーブタンク内部は実施例１と同様の構造を用
い、さらに細孔直径が０．２５μｍのフィルターを使用
し、フィルター１４を電解槽１１の直前に形成した。そ
してポンプ１３を用い、液流量８〜１０Ｌ／ｍｉｎで２
分間液循環を行い、泡の発生の状況を比較したところ、
表１からわかるように、フィルターが循環を始めてから
すぐに詰まり循環ができなくなった。これはフィルター
部分においては電解液中に存在する気泡を捕らえるが、
同時に電解液中の分散粒子も一緒に除去してしまうため
である。この電解液の分散粒子直径を測定したところ平
均で３５０ｎｍであった。

【００２８】（比較例４）実施例１と同様の顔料、ＩＴ
Ｏを使用し、同条件で作製したミセル水溶液を用いた。
ここでリザーブタンク内部電解液入口側と出口側との間
に、仕切り板１５を下側のみ１枚のみ形成した。仕切り
板の長さは２０ｃｍとし、電解液入口側は液面より５ｃ
ｍ下側に形成し、電解液出口側はリザーブタンク底面に
形成した。さらに下側仕切り板と上側仕切り板との間を
１ｍｍの隙間をもつメッシュ１６で覆った。さらに細孔
直径が１００μｍのフィルターを使用し、フィルター１
４を電解槽１１の直前に形成した。そしてポンプ１３を
用い、液流量８〜１０Ｌ／ｍｉｎで２分間液循環を行
い、泡の発生の状況を比較したところ、表１からわかる
ように、前記条件を用いて電解液を循環した場合、リザ
ーブタンク部分で発生した気泡がリザーブタンク内で除
去しきれず、さらにフィルター部分において電解液中に
存在する気泡を捕らえられず、電解槽中で１ｍｍから２
ｍｍ程度の泡が若干発生した。さらに、このミセル水溶
液を用いて、実施例１と同様の方法で前記電極パターン
をもったガラス基板（３０×４０ｃｍ）のＩＴＯ電極上
に赤色の顔料膜を形成し水洗後、１８０℃で３０分間焼
成した。さらに外観をスポットライトで観察した。その
特性データについても表１に示す。前記条件にて循環し
た電解液を用いて薄膜を形成した場合、成膜した基板を
電解槽から取り出す際に気泡が基板表面に泡として付着
し流れ落ちるのが確認され、この部分がシミとして膜面
内に確認された。さらに気泡が付着した部分が点欠陥と
して多量に発生した。これは液晶パネルにした場合、気
泡が付着した部分はパネルを点灯した際に点欠陥にな
る。

【００２９】（比較例５）実施例１と同様の顔料、ＩＴ
Ｏを使用し、同条件で作製したミセル水溶液を用いた。
ここでリザーブタンク内部は実施例１と同様の構造を用
い、さらに細孔直径が１００μｍのフィルターを使用
し、フィルター１４を電解槽１１の直前に形成した。そ
してポンプ１３を用い、液流量８〜１０Ｌ／ｍｉｎで２
分間液循環を行い、泡の発生の状況を比較したところ、
表１からわかるように、前記条件を用いて電解液を循環
した場合、リザーブタンク部分で発生した気泡はリザー
ブタンク内で除去されるが、ポンプおよび配管中に存在
する気泡がフィルター部分において捕らえられず、循環
初期のみ電解槽中で１ｍｍから２ｍｍ程度の泡が若干発
生した。さらに、このミセル水溶液を用いて、実施例１
と同様の方法で前記電極パターンをもったガラス基板
（３０×４０ｃｍ）のＩＴＯ電極上に赤色の顔料膜を形
成し水洗後、１８０℃で３０分間焼成した。さらに外観
をスポットライトで観察した。その特性データについて
も表１に示す。前記条件にて循環した電解液を用いて薄
膜を形成した場合、循環初期に成膜した基板のみ電解槽
から取り出す際に気泡が基板表面に泡として付着し流れ
落ちるのが確認され、この部分がシミとして膜面内に確
認された。さらに気泡が付着した部分が点欠陥として多
量に発生した。これは液晶パネルにした場合、気泡が付
着した部分はパネルを点灯した際に点欠陥になる。

【００３０】（実施例３）３０ｃｍ角のガラス基板２枚
を用意し、それぞれ透明電極として用いるＩＴＯをスパ
ッタリングにより形成し、さらにフォトリソグラフィー
法により、カラーフィルタ用基板としては０．０８ｍｍ
幅、０．１ミクロンピッチで６４０本×３＝１９２０
本、対向電極としてはカラーフィルタの電極に直交する
向きに０．２８ｍｍ幅、０．３ｍｍピッチで４８０本か
らなるストライプパターンに加工した。パターン端部
は、後工程で液晶駆動用ＩＣが実装できるように所定の
形状にパターングした。最初に、カラーフィルタ側（パ
ターン数１９２０本）の透明電極間に、ブラックマトリ
ックス層を０．２ｍｍ幅、膜厚が０．８〜１．０μｍに
なるようにフォトリソグラフィー法で形成する。そし
て、実施例１及び実施例２で用いた顔料、組成および装
置を用いて、電気化学的方法により所定のＩＴＯ透明電
極上に導電性の色素層をＢ，Ｇ，Ｒの順にそれぞれ、
０．７〜０．９μｍ、０．８〜１．０μｍ、０．８〜
１．０μｍになるように形成した。ここで、電気化学的
方法とは、水に不溶性もしくは難溶性の顔料粒子（Ｒ：
ジアントラキノニルレッド、Ｇ：フタロシアニングリー
ン、Ｂ：フタロシアニンブルー、Ｙ：ジスアゾイエロ
ー、Ｖ：ジオキサジンバイオレット）および疎水化した
ＩＴＯ粒子、さらに電解により荷電する界面活性剤（フ
ェロセンＰＥＧ）および支持電解質（臭化リチウム）を
基本成分とし、顔料粒子およびＩＴＯ粒子を界面活性剤
で取り囲んだ顔料およびＩＴＯのミセルコロイド水溶液
を調製し、このミセルを電解（０．４〜１．０Ｖ）によ
り破壊し、透明電極上に顔料粒子およびＩＴＯ粒子を析
出させ、導電性顔料薄膜を形成するものである。

【００３１】３色を形成した後、１８０℃、３０分焼成
する。その後、０．２μｍの平坦化膜を塗布し、再び１
８０℃、１時間の焼成を行い、導電性の色素層とブラッ
クマトリックス層の膜厚差が、最大０．２μｍ程度の導
電性ミセルカラーフィルタを作製した。

【００３２】このカラーフィルタおよび対向基板を用い
て、所定の液晶パネル化工程を通すことにより、ＳＴＮ
カラー液晶パネルを作製した。１／２４０Ｄｕｔｙ駆動
し、パネルの表示ムラ及び欠陥を測定した結果、表２に
示すようにパネルを点灯した際の点欠陥およびシミは認
められなかった。

【００３３】

【表２】

【００３４】（比較例６）比較例１及び比較例２の顔
料、組成および装置を用い作製した導電性ミセルカラー
フィルタ側基板を用い、実施例３と同条件でＳＴＮカラ
ー液晶パネルを作製し、同条件で駆動した。その結果、
表２に示すようにパネルを点灯した際の点欠陥およびシ
ミ認められた。

【００３５】

【発明の効果】以上のように、本発明により、電解液を
循環させる際に電解液中に存在する気泡を無くし、これ
により作製されるカラーフィルタの薄膜中に発生するシ
ミおよび点欠陥を無くすことが可能であり、ＳＴＮ液晶
を用いた単純マトリックスカラーパネルにおいても点不
良およびシミの発生が無い高性能なカラーフィルタを製
造することが可能になった。また、同様の構造をもつ洗
浄装置、メッキ装置にも応用が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造装置を説明するための図。

【図２】従来のカラーフィルタ製造装置を説明するため
の図。

【符号の説明】

１１電解処理槽１２リザーブタンク１３循環ポンプ１４フィルター１５仕切り板１６メッシュ１７配管１８電解液２１電解処理槽２２リザーブタンク２３電解液２４循環ポンプ２５フィルター２６配管２７オーバーフロー用Ｖ字溝２８透明基板（カラーフィルター基板）２９対向電極３０直流電源

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】界面活性剤を含有する電解液を用いる湿
式の成膜装置において、その構成が、オーバーフロー構
造をもった電解槽、リザーブタンク、ポンプ、フィルタ
ーから成る循環機能をもち、ａ）該リザーブタンク内部の電解液入口側と出口側との
間が、少なくとも１組以上の上下互い違いの仕切り板に
より隔てられた構造である、ｂ）該下側仕切り板と該上側仕切り板との間が、少なく
とも１つ以上のメッシュで覆われた構造である、ｃ）該オーバーフロー槽と該リザーブタンクを結ぶ配管
の該リザーブタンク側配管口位置が少なくとも液中にあ
る、ｄ）該リザーブタンク出口側配管口位置がリザーブタン
ク底面にある、ことを特徴とするカラーフィルタの製造
装置。
【請求項２】該成膜装置において、ｅ）該フィルターの細孔直径が、使用する電解液中に分
散する粒子直径よりも大きく１００μｍより小さいフィ
ルターにより形成される、ｆ）該フィルターが少なくとも該電解槽の直前に形成さ
れる、ことを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ
の製造装置。
【請求項３】該電解液に、水に不溶性もしくは難溶性
の顔料粒子と疎水性表面を有する透明導電粒子を、レド
ックス反応を有する界面活性剤及び支持塩を基本成分と
した該顔料粒子と該透明導電粒子を該界面活性剤で取り
囲んだ顔料のミセルコロイド水溶液を用いることを特徴
とする請求項１および請求項２記載のカラーフィルタの
製造装置。