JPH11251105A - 厚膜抵抗ペーストおよびその製造方法 - Google Patents

厚膜抵抗ペーストおよびその製造方法

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JPH11251105A
JPH11251105A JP10052150A JP5215098A JPH11251105A JP H11251105 A JPH11251105 A JP H11251105A JP 10052150 A JP10052150 A JP 10052150A JP 5215098 A JP5215098 A JP 5215098A JP H11251105 A JPH11251105 A JP H11251105A
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Masashi Fukaya
昌志 深谷
Tomoko Matsuo
知子 松尾
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 EDS特性が良く、しかもPd,Cd,Ni
などの有害物質を含まない厚膜抵抗ペーストを提供し、
優れた性能のセラミック回路基板を得ることを目的とす
る。 【解決手段】 ガラス粉末と導電物質の粉末からなる原
料粉末を有機ビヒクルで混合してなる混合物にさらに有
機ビヒクル、溶剤及び分散剤を添加させてなる厚膜抵抗
ペーストにおいて、該原料粉末の短軸粒径が5μm以下
で平均比表面積をAm2/g、該有機ビヒクルの該原料
粉末に対する体積割合をB%としたとき、5.5A≦B
≦10.0Aの関係を有する混合物を用いたことを特徴
とする厚膜抵抗ペーストと、原料混合物を5μm以下の
隙間を強制的に通過させて粉末材料を有機ビヒクルに分
散させる同ペーストの製造方法である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、外部抵抗体を有す
るセラミック回路基板用の厚膜抵抗ペーストおよびその
製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】集積回路に使用されるセラミック回路基
板において、多層回路基板の層間に設けられる内蔵抵抗
体の他に、セラミック基板の表面に導体パターンや外部
抵抗体などからなる回路を形成し、セラミック回路基板
の高機能化、低コスト化に貢献している。
【0003】セラミック基板表面に厚膜抵抗体を形成す
る場合、ガラス粉末に導電物質を加え有機ビヒクルでペ
ースト状にしたものを基板表面に印刷し、焼結して抵抗
体とする。このとき、抵抗体の保護や耐候性の向上を目
的として、抵抗体をガラス系材料で覆うように印刷し、
焼成することによってオーバーコートすることも行われ
ている。
【0004】厚膜抵抗体の重要な特性の一つに耐高電圧
パルス特性(ESD特性)がある。通常10kΩ/□以
上の抵抗でEDS特性が悪くなる。その理由は以下の通
りである。厚膜抵抗体の導電性はガラス中に形成される
導電物質と導電物質間のガラスの薄い膜で成立している
が、厚膜抵抗体に高電圧が印加されると微細な導電経路
は破壊され抵抗値が変化する。高抵抗になる程、導電物
質の配合量が減少し、ガラスの薄い膜による導通が支配
的になるため、上記の現象は起きやすくなる。かかる現
象の解決のために、従来は以下のような対策が講じられ
ていた。
【0005】(1)抵抗率の大きいBi2Ru27、P
2Ru26の粉末を使用し、導電物質の配合を多くす
る。ただし分解防止のためガラスはPbを含むものを使
用する。 (2)Pb含有の低融点ガラスを用い、焼成中に導電粒
子間に薄い膜を形成させる。
【0006】(3)ガラス粉末、導電粒子を非常に細か
いものを使用し、導電経路を多くする。(特開平8−2
50829号公報参照) しかし、(1),(2)は原材料中に有害物質であるP
bを含むので好ましくなく、(3)は分散方法が難しか
った。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、ES
D特性が良く、しかもPb,Cd,Niなどの有害物質
を含まない厚膜抵抗ペーストを提供し、優れた性能のセ
ラミック回路基板を得ることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガラス粉末と
導電物質の粉末からなる原料粉末を有機ビヒクルで混合
してなる混合物にさらに有機ビヒクル、溶剤及び分散剤
を添加させてなる厚膜抵抗ペーストにおいて、該原料粉
末の短軸粒径が5μm以下で平均比表面積をAm2
g、該有機ビヒクルの該原料粉末に対する体積割合をB
%としたとき、5.5A≦B≦10.0Aの関係を有す
る混合物を用いたことを特徴とする厚膜抵抗ペーストで
ある。
【0009】上記において、Bが5.5A未満ではビヒ
クル量が少なすぎてローラに粉体を付着させることが困
難であり、10.0Aを越えるとビヒクル量が多いた
め、ガラス粉末と導電物質の粉末の分散ができず、ED
S特性に対する効果があまり発揮されない。なお、有機
ビヒクルの粘度は10pa・s〜300pa・sが適当
で10pa・sより小さいと粘着力がなく、ローラーに
粉体を付着させることが困難となる。又、300Pa・
sを越えると、粉体をビヒクルで一様に濡らすことがで
きないため、揮発性の溶剤(例えばトルエン、エタノー
ル等)で希釈する必要が生じる。
【0010】粉末材料のうち、ガラス粉末は、CaO−
Al23−SiO2−B23、Na2O−SiO2−B2
3、さらにはこれらの混合ガラスでPb,Cd,Niを
含まないものを用いる。導電物質としてはRuO2を用
いる。有機ビヒクルとしては、エチルセルロースとテル
ピネオール、ブチラール樹脂とテルピネオールなどが用
いられる。
【0011】本発明は又、粉末材料と有機ビヒクルから
なる混合物を5μm以下の隙間を強制的に通過させて、
原料粉末材料を有機ビヒクルに分散させる工程におい
て、原料粉末の平均比表面積をAm2/g、有機ビヒク
ルの体積割合をB%としたとき、5.5A≦B≦10.
0Aの関係を有する混合物となし、さらに有機ビヒク
ル、溶剤及び分散剤を添加し混練する工程からなること
を特徴とする厚膜抵抗ペーストの製造方法である。ま
ず、上記AとBの関係を有する混合物を5μm以下の隙
間を強制的に通過させることによって、ガラスと導電物
質の分散を均一にすることができる。
【0012】5μm以下の隙間は例えば2本の平行ロー
ラを5μm間隔で配置することによって得られる。材料
をこの隙間に強制的に通過させることによって、径が5
μmを越える粉末を破砕あるいは押しつぶし、5μm以
下の大きさとする。この場合、粉末の長軸は5μmを越
えてもさしつかえないが、短軸の2倍以下が適当であ
る。隙間が5μmを越えると粉末に力が加わらないた
め、十分に分散することができない。隙間を通して分散
した材料は、印刷可能なペーストにするため、有機ビヒ
クルおよび溶剤を追加して混練し、適当な粘度として厚
膜抵抗ペーストとする。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例並びに比較
例について説明する。ガラス粉末として下記の3種のも
のを用意した。
【0014】
【表1】
【0015】又、ビヒクルとしては下記の2種のものを
用意した。 X…エチルセルロース、テルピオネール Y…ブチラール樹脂、テルピオネール+ブチルカルビト
ールアセテート 導電物質としてはRuO2を用いた。
【0016】これらの材料を表2に示す構成で混合物を
均一に作成した後、印刷可能なペーストとするために追
加の有機ビヒクル、溶剤及び分散剤(ホモゲノールL−
95{商品名:花王株式会社製})を追加して混練し、
厚膜抵抗ペーストを作成した。これを低温焼成セラミッ
クス基板上に抵抗電極部のパターン印刷、焼成した後、
セラミック基板上に厚膜抵抗体を形成した。得られた抵
抗体のシート抵抗(kΩ)、1.5kV、5パルスにお
けるESD、並びに係数を表2に併せて示す。
【0017】
【表2】
【0018】
【表3】
【0019】上記表に示すとおり、本発明の実施例であ
るNo.1〜20はEDS特性が1.0%以下で優れたも
のであり、比較例21〜22は本発明における関係式の
規定を満足しないもので、EDSが1.0%を越えてお
り悪くなっている。又、比較例23も本発明における関
係式の規定を満足しておらず、ペースト作製が困難であ
る。
【0020】
【発明の効果】本発明によればESD特性の優れた厚膜
抵抗ペーストを提供することができ、優れた性能のセラ
ミック回路基板を得ることができる。このペーストは原
料粉末にPd,Cd,Ni等の有害物質を含むことなく
提供でき、製品の使用環境を良好に保つ上で効果があ
る。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガラス粉末と導電物質の粉末からなる原
    料粉末を有機ビヒクルで混合してなる混合物にさらに有
    機ビヒクル、溶剤及び分散剤を添加させてなる厚膜抵抗
    ペーストにおいて、該原料粉末の短軸粒径が5μm以下
    で平均比表面積をAm2/g、該有機ビヒクルの該原料
    粉末に対する体積割合をB%としたとき、5.5A≦B
    ≦10.0Aの関係を有する混合物を用いたことを特徴
    とする厚膜抵抗ペースト。
  2. 【請求項2】 上記原料粉末材料がPb,Cd,Niを
    含まないものである請求項1記載の厚膜抵抗ペースト。
  3. 【請求項3】 上記導電物質がRuO2である請求項1
    記載の厚膜抵抗ペースト。
  4. 【請求項4】 粉末材料と有機ビヒクルからなる混合物
    を5μm以下の隙間を強制的に通過させて、原料粉末材
    料を有機ビヒクルに分散させる工程において、原料粉末
    の平均比表面積をAm2/g、有機ビヒクルの体積割合
    をB%としたとき、5.5A≦B≦10.0Aの関係を
    有する混合物となし、さらに有機ビヒクル、溶剤及び分
    散剤を添加し混練する工程からなることを特徴とする厚
    膜抵抗ペーストの製造方法。
  5. 【請求項5】 上記原料粉末材料がPb,Cd,Niを
    含まないものである請求項4記載の厚膜抵抗ペーストの
    製造方法。
  6. 【請求項6】 上記導電物質がRuO2である請求項4
    記載の厚膜抵抗ペーストの製造方法。
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