JPH11257276A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH11257276A JPH11257276A JP5654198A JP5654198A JPH11257276A JP H11257276 A JPH11257276 A JP H11257276A JP 5654198 A JP5654198 A JP 5654198A JP 5654198 A JP5654198 A JP 5654198A JP H11257276 A JPH11257276 A JP H11257276A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- stator
- corrosion resistance
- aluminum alloy
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ロータ及びステータを備え、翼回転によりポン
プ作用を営む真空ポンプにおいて、耐腐食性及び放熱性
に優れたものを提供する。 【解決手段】アルミニウム合金を基材３とするロータ１
もしくはステータ２の少なくとも一方を、耐腐食性を有
したセラミックス粒子を分散含有する金属メッキ層で被
覆した。
プ作用を営む真空ポンプにおいて、耐腐食性及び放熱性
に優れたものを提供する。 【解決手段】アルミニウム合金を基材３とするロータ１
もしくはステータ２の少なくとも一方を、耐腐食性を有
したセラミックス粒子を分散含有する金属メッキ層で被
覆した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、翼回転によりポン
プ作用を営む真空ポンプに関するものである。
プ作用を営む真空ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の翼回転によりポンプ作用を営むタ
ーボ分子ポンプ等の真空ポンプにおいては、そのロータ
あるいはステータがアルミニウム合金で構成されている
ものが知られている。近年、この種の真空ポンプは、Ｃ
ＶＤ等に用いられるＨＦ、ＨＣｌ等の腐食性ガスの真空
引きに使用されることが多い。
ーボ分子ポンプ等の真空ポンプにおいては、そのロータ
あるいはステータがアルミニウム合金で構成されている
ものが知られている。近年、この種の真空ポンプは、Ｃ
ＶＤ等に用いられるＨＦ、ＨＣｌ等の腐食性ガスの真空
引きに使用されることが多い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アルミ
ニウム合金の耐腐食性が十分でないため、このような真
空ポンプを腐食性ガスの真空引きに用いた場合、ロータ
あるいはステータがこの腐食性ガスにより腐食されると
いう問題が発生している。また一方で、真空ポンプが過
大な流量のガスを排気した場合にロータが過熱し、鈍化
するという問題も生じている。そこで、ロータ及びステ
ータの耐腐食性と放熱性とを具備させるべく、この双方
の性質に優れた特性を有するセラミックス素材で前記ロ
ータ及びステータのアルミニウム合金基材を被覆すると
いう方法が考えられている。このようなセラミックス素
材には、例えば、酸化物セラミックスや窒化物セラミッ
クス若しくは炭化物セラミックス等、又はそれらの混合
物が挙げられる。酸化物セラミックスとしてはＡｌ2Ｏ3
が、窒化物セラミックスとしてはＡｌＮが、炭化物セラ
ミックスとしてはＳｉＣがそれぞれ代表例として例示さ
れる。これらセラミックスは高い耐腐食性を有する素材
であり、ＣＶＤ等に用いられるＨＦ、ＨＣｌ等の腐食ガ
スには侵されない。ところが上述したように、セラミッ
クスのみでアルミニウム合金基材を被覆すると、セラミ
ックスの表面積を大きく取れず、ロータの過熱を防止す
るのに十分な熱放射性の向上が得られないという問題が
生じる。また、ＰＶＤ法や窒化法のような表面被覆方法
では、設備投資や製造工程が大きくなるうえに、表面に
傷のないセラミックス被覆を造るためには精密な技術を
必要とするので、結局、製造コストが高いものとなる。
耐腐食性を損なうことなくこのような問題点を解決する
には、低コストでロータ及びステータの表面の熱放射性
をできるだけ向上させることが必要である。
ニウム合金の耐腐食性が十分でないため、このような真
空ポンプを腐食性ガスの真空引きに用いた場合、ロータ
あるいはステータがこの腐食性ガスにより腐食されると
いう問題が発生している。また一方で、真空ポンプが過
大な流量のガスを排気した場合にロータが過熱し、鈍化
するという問題も生じている。そこで、ロータ及びステ
ータの耐腐食性と放熱性とを具備させるべく、この双方
の性質に優れた特性を有するセラミックス素材で前記ロ
ータ及びステータのアルミニウム合金基材を被覆すると
いう方法が考えられている。このようなセラミックス素
材には、例えば、酸化物セラミックスや窒化物セラミッ
クス若しくは炭化物セラミックス等、又はそれらの混合
物が挙げられる。酸化物セラミックスとしてはＡｌ2Ｏ3
が、窒化物セラミックスとしてはＡｌＮが、炭化物セラ
ミックスとしてはＳｉＣがそれぞれ代表例として例示さ
れる。これらセラミックスは高い耐腐食性を有する素材
であり、ＣＶＤ等に用いられるＨＦ、ＨＣｌ等の腐食ガ
スには侵されない。ところが上述したように、セラミッ
クスのみでアルミニウム合金基材を被覆すると、セラミ
ックスの表面積を大きく取れず、ロータの過熱を防止す
るのに十分な熱放射性の向上が得られないという問題が
生じる。また、ＰＶＤ法や窒化法のような表面被覆方法
では、設備投資や製造工程が大きくなるうえに、表面に
傷のないセラミックス被覆を造るためには精密な技術を
必要とするので、結局、製造コストが高いものとなる。
耐腐食性を損なうことなくこのような問題点を解決する
には、低コストでロータ及びステータの表面の熱放射性
をできるだけ向上させることが必要である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】かかる問題点を同時に解
決するために、本発明は、ロータ及びステータを備え、
翼回転によりポンプ作用を営む真空ポンプにおいて、前
記ロータ及びステータの少なくとも一方が、アルミニウ
ム合金基材とその表面を被覆する耐腐食性を有した金属
メッキ層とを具備しており、該金属メッキ層が耐腐食性
を有するセラミックス粒子を分散含有するものであるこ
とを特徴とするものである。
決するために、本発明は、ロータ及びステータを備え、
翼回転によりポンプ作用を営む真空ポンプにおいて、前
記ロータ及びステータの少なくとも一方が、アルミニウ
ム合金基材とその表面を被覆する耐腐食性を有した金属
メッキ層とを具備しており、該金属メッキ層が耐腐食性
を有するセラミックス粒子を分散含有するものであるこ
とを特徴とするものである。
【０００５】このようなものであれば、熱放射性に優れ
た粒子状のセラミックスを金属中に分散させ、これをア
ルミニウム合金基材にメッキすることによりセラミック
スの表面積を増大させているので、極めて有効に熱放射
性を向上させることができる。また、金属メッキ層中の
金属にも耐腐食性を有する素材を用いているので、耐腐
食性が向上するだけでなく、この金属がセラミックスと
アルミニウム合金基材との接着剤の役割も担うので、メ
ッキ層のアルミニウム合金基材に対する密着性も向上す
る。このような金属としては、耐腐食性に優れ、Ａｌ等
に比べると熱放射性も高いという性質を有しているＮｉ
系金属が好ましい。さらに、このようなものによれば、
通常のメッキと同様の方法で被覆することができるの
で、コストも従来と同程度であり製造工程も容易であ
る。このように、ロータ若しくはステータの耐腐食性を
有効に増大させることができ、腐食性ガスの真空引きに
使用可能になるとともに、ロータの過熱及びそれによる
鈍化も防止でき、さらには、真空ポンプの性能の向上を
図ることも可能となる。
た粒子状のセラミックスを金属中に分散させ、これをア
ルミニウム合金基材にメッキすることによりセラミック
スの表面積を増大させているので、極めて有効に熱放射
性を向上させることができる。また、金属メッキ層中の
金属にも耐腐食性を有する素材を用いているので、耐腐
食性が向上するだけでなく、この金属がセラミックスと
アルミニウム合金基材との接着剤の役割も担うので、メ
ッキ層のアルミニウム合金基材に対する密着性も向上す
る。このような金属としては、耐腐食性に優れ、Ａｌ等
に比べると熱放射性も高いという性質を有しているＮｉ
系金属が好ましい。さらに、このようなものによれば、
通常のメッキと同様の方法で被覆することができるの
で、コストも従来と同程度であり製造工程も容易であ
る。このように、ロータ若しくはステータの耐腐食性を
有効に増大させることができ、腐食性ガスの真空引きに
使用可能になるとともに、ロータの過熱及びそれによる
鈍化も防止でき、さらには、真空ポンプの性能の向上を
図ることも可能となる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、ターボ分子ポン
プの場合に関して図１〜３を参照して説明する。図１に
その内部構造を示すように、このターボ分子ポンプＡ
は、ステータ２と、筒状のケーシング１０と、このケー
シング１０を支持するベースフレーム１１と、ケーシン
グ１０内にあってベースフレーム１１に固設されたモー
タハウジング１２と、このモータハウジング１２とベー
スフレーム１１とにそれぞれ配設された対をなすボール
ベアリング１３と、これらボールベアリング１３により
両軸端部近傍を支承されたシャフト１４と、このシャフ
ト１４に一体回転可能に固着され内周にモータハウジン
グ１２を収容してなるロータ１とを具備してなる。な
お、軸受に関してはボールベアリング１３に限られず、
より大きな効果が得られる磁気浮上式軸受であっても構
わない。
プの場合に関して図１〜３を参照して説明する。図１に
その内部構造を示すように、このターボ分子ポンプＡ
は、ステータ２と、筒状のケーシング１０と、このケー
シング１０を支持するベースフレーム１１と、ケーシン
グ１０内にあってベースフレーム１１に固設されたモー
タハウジング１２と、このモータハウジング１２とベー
スフレーム１１とにそれぞれ配設された対をなすボール
ベアリング１３と、これらボールベアリング１３により
両軸端部近傍を支承されたシャフト１４と、このシャフ
ト１４に一体回転可能に固着され内周にモータハウジン
グ１２を収容してなるロータ１とを具備してなる。な
お、軸受に関してはボールベアリング１３に限られず、
より大きな効果が得られる磁気浮上式軸受であっても構
わない。
【０００７】ここで、ロータ１は、本体１６と、この本
体１６の外周面から突設した複数のロータ翼１５を具備
するものである。また、ステータ２は複数の積層可能な
円環状の分割体２１とその内周面から突設した複数のス
テータ翼２２とを具備するものである。そして、このロ
ータ翼１５とステータ翼２２とは交互に配置されてお
り、吸気口１７から吸い込んだ気体をロータ翼１５とス
テータ翼２２との相互作用によって吹き飛ばし、ベース
フレーム１１に設けた排気口１８から強制排気し得るよ
うに構成している。
体１６の外周面から突設した複数のロータ翼１５を具備
するものである。また、ステータ２は複数の積層可能な
円環状の分割体２１とその内周面から突設した複数のス
テータ翼２２とを具備するものである。そして、このロ
ータ翼１５とステータ翼２２とは交互に配置されてお
り、吸気口１７から吸い込んだ気体をロータ翼１５とス
テータ翼２２との相互作用によって吹き飛ばし、ベース
フレーム１１に設けた排気口１８から強制排気し得るよ
うに構成している。
【０００８】かかる構成のターボ分子ポンプＡにおい
て、本実施例のロータ１およびステータ２は、図２にそ
の一部断面を模式的に示すように、基材３をアルミニウ
ム合金とし、その表面を金属メッキ層４で被覆したもの
である。さらに、この金属メッキ層４は、図３にその一
部断面を模式的に示すように、金属４１と、その金属４
１中に分散させたセラミックス粒子４２とを具有するも
のである。本実施例ではセラミックスの素材として、例
えば、耐腐食性を有するＡｌ2Ｏ3を用いている。Ａｌ2
Ｏ3は、耐腐食性の高いセラミックス材料であり、ＣＶ
Ｄ等に用いられるＨＦ、ＨＣｌ等の腐食ガスには侵され
ないうえ、熱放射性にも優れるという性質を有する。さ
らに、本実施例では金属４１として、耐腐食性を有し、
アルミニウム合金よりも熱放射性に優れたＮｉを用いて
いる。
て、本実施例のロータ１およびステータ２は、図２にそ
の一部断面を模式的に示すように、基材３をアルミニウ
ム合金とし、その表面を金属メッキ層４で被覆したもの
である。さらに、この金属メッキ層４は、図３にその一
部断面を模式的に示すように、金属４１と、その金属４
１中に分散させたセラミックス粒子４２とを具有するも
のである。本実施例ではセラミックスの素材として、例
えば、耐腐食性を有するＡｌ2Ｏ3を用いている。Ａｌ2
Ｏ3は、耐腐食性の高いセラミックス材料であり、ＣＶ
Ｄ等に用いられるＨＦ、ＨＣｌ等の腐食ガスには侵され
ないうえ、熱放射性にも優れるという性質を有する。さ
らに、本実施例では金属４１として、耐腐食性を有し、
アルミニウム合金よりも熱放射性に優れたＮｉを用いて
いる。
【０００９】次に、本実施例のターボ分子ポンプＡにお
ける、アルミニウム合金基材３を被覆する金属メッキ層
４のメッキ法について以下に詳述する。メッキ法には、
電解メッキや無電解メッキ等があるが、メッキ層の均一
性という点からは、無電解メッキが優れている。本実施
例では、メッキ法としてこの無電解メッキ法を採用して
いる。このメッキ法は既に公知の技術であり、メッキ液
には市販のものを用いている。具体的には、先ず、ロー
タ１をアセトンで脱脂洗浄し、次いで、酸洗浄及びアル
カリ洗浄を行った後、亜鉛置換処理を行う。この一連の
工程がメッキ膜の密着性に非常に大きな役割を持つ。さ
らに、ロータ１を活性処理剤で処理した後、約８５℃に
保持したＮｉ溶解液中にＡｌ2Ｏ3を分散させたメッキ浴
中で約３０分間処理する。このとき、メッキ浴は常に撹
拌し、Ａｌ2Ｏ3が沈殿しないようにしている。その後、
ロータ１を水洗し、ブロアで乾燥させることにより例え
ば５μｍの金属メッキ層４を得ている。また、ステータ
２をメッキする場合も、これと全く同様に行っている。
ける、アルミニウム合金基材３を被覆する金属メッキ層
４のメッキ法について以下に詳述する。メッキ法には、
電解メッキや無電解メッキ等があるが、メッキ層の均一
性という点からは、無電解メッキが優れている。本実施
例では、メッキ法としてこの無電解メッキ法を採用して
いる。このメッキ法は既に公知の技術であり、メッキ液
には市販のものを用いている。具体的には、先ず、ロー
タ１をアセトンで脱脂洗浄し、次いで、酸洗浄及びアル
カリ洗浄を行った後、亜鉛置換処理を行う。この一連の
工程がメッキ膜の密着性に非常に大きな役割を持つ。さ
らに、ロータ１を活性処理剤で処理した後、約８５℃に
保持したＮｉ溶解液中にＡｌ2Ｏ3を分散させたメッキ浴
中で約３０分間処理する。このとき、メッキ浴は常に撹
拌し、Ａｌ2Ｏ3が沈殿しないようにしている。その後、
ロータ１を水洗し、ブロアで乾燥させることにより例え
ば５μｍの金属メッキ層４を得ている。また、ステータ
２をメッキする場合も、これと全く同様に行っている。
【００１０】以上のようにしてメッキされたロータ１の
耐腐食性及び熱放射性について行った評価を以下に示
す。すなわち、本実施例のロータ１を、金属メッキによ
りアルミニウム合金基材が被覆されていない従来品のロ
ータとともに、２０％ＨＣｌ中に浸漬したところ、従来
品は激しく反応して黒変しやがては溶解したのに対し
て、本実施例のロータ１は全く反応せず、また、表面の
熱放射係数は従来品が０．１であるのに対して、本実施
例のそれは０．９であり、非常に高いものとなった。
耐腐食性及び熱放射性について行った評価を以下に示
す。すなわち、本実施例のロータ１を、金属メッキによ
りアルミニウム合金基材が被覆されていない従来品のロ
ータとともに、２０％ＨＣｌ中に浸漬したところ、従来
品は激しく反応して黒変しやがては溶解したのに対し
て、本実施例のロータ１は全く反応せず、また、表面の
熱放射係数は従来品が０．１であるのに対して、本実施
例のそれは０．９であり、非常に高いものとなった。
【００１１】このように、セラミックス粒子４２を金属
４１中に分散させ、それを金属メッキ層４としてロータ
１及びステータ２の基材３であるアルミニウム合金を被
覆しているので、熱放射性に優れるセラミックスの表面
積が飛躍的に増大し、ロータ１及びステータ２耐腐食性
を損なうことなく熱放射性を向上させることができ、腐
食とロータ１の過熱及びそれによる鈍化を有効に防止す
ることが可能となる。そのうえ、このようなメッキ方法
であれば、製造工程は通常と同じ方法で可能であるので
容易であり、製造コストも通常と同程度で実施可能であ
る。
４１中に分散させ、それを金属メッキ層４としてロータ
１及びステータ２の基材３であるアルミニウム合金を被
覆しているので、熱放射性に優れるセラミックスの表面
積が飛躍的に増大し、ロータ１及びステータ２耐腐食性
を損なうことなく熱放射性を向上させることができ、腐
食とロータ１の過熱及びそれによる鈍化を有効に防止す
ることが可能となる。そのうえ、このようなメッキ方法
であれば、製造工程は通常と同じ方法で可能であるので
容易であり、製造コストも通常と同程度で実施可能であ
る。
【００１２】なお、本発明は以上に示した実施例にのみ
限定されるものではない。例えば、ステータ２には、放
熱性を具備させる必要性が低いため、ロータ１にのみ金
属メッキ層４で被覆し、ステータ２には耐腐食性のみに
優れる他の素材でその表面を被覆しても構わない。ま
た、耐腐食性を有するセラミックス粒子４２の素材に
は、前記Ａｌ2Ｏ3等の酸化物セラミックスの他、ＡｌＮ
等の窒化物セラミックスやＳｉＣ等の炭化物セラミック
ス等種々あり、耐腐食性を有する金属４１の素材には、
前記Ｎｉの他にＣｒ系金属等種々ある。したがって、こ
れら素材の選択は任意であり、本実施例に限られない。
さらに、金属４１に分散させるセラミックス粒子４２
は、複数の種類のセラミックスの混合物でも有り得る。
さらにまた、本発明は、翼回転によりポンプ作用を営む
真空ポンプであればよく、ターボ分子ポンプ以外のスク
ロールポンプ、メカニカルブースタポンプ等に適用して
同様の効果を奏するものである。その他にも、本発明の
趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
限定されるものではない。例えば、ステータ２には、放
熱性を具備させる必要性が低いため、ロータ１にのみ金
属メッキ層４で被覆し、ステータ２には耐腐食性のみに
優れる他の素材でその表面を被覆しても構わない。ま
た、耐腐食性を有するセラミックス粒子４２の素材に
は、前記Ａｌ2Ｏ3等の酸化物セラミックスの他、ＡｌＮ
等の窒化物セラミックスやＳｉＣ等の炭化物セラミック
ス等種々あり、耐腐食性を有する金属４１の素材には、
前記Ｎｉの他にＣｒ系金属等種々ある。したがって、こ
れら素材の選択は任意であり、本実施例に限られない。
さらに、金属４１に分散させるセラミックス粒子４２
は、複数の種類のセラミックスの混合物でも有り得る。
さらにまた、本発明は、翼回転によりポンプ作用を営む
真空ポンプであればよく、ターボ分子ポンプ以外のスク
ロールポンプ、メカニカルブースタポンプ等に適用して
同様の効果を奏するものである。その他にも、本発明の
趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【００１３】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明は、ロー
タ及びステータの少なくとも一方の表面のアルミニウム
合金基材を、優れた耐腐食性を有するセラミックス粒子
と耐腐食性金属を具有する金属メッキ層で被覆したもの
である。したがって、本発明の真空ポンプは、腐食性ガ
スの真空引きにも使用可能になる。また、セラミックス
粒子を金属中に分散させてアルミニウム合金基材に被覆
する方法として、通常のメッキ方法と同じ方法を採用す
ることができるので、低コストでメッキすることが可能
となる。また、粒子状のセラミックスを分散させている
ので、熱放射性に優れるセラミックスの表面積が飛躍的
に増大し、ロータ及びステータの熱放射性を格段に向上
させることができる。すなわち、ロータ及びステータの
腐食と、ロータの過熱およびそれによる鈍化を、容易か
つ低コストで極めて有効に防止することができ、ひいて
は、真空ポンプの性能の向上を図ることが可能となる。
タ及びステータの少なくとも一方の表面のアルミニウム
合金基材を、優れた耐腐食性を有するセラミックス粒子
と耐腐食性金属を具有する金属メッキ層で被覆したもの
である。したがって、本発明の真空ポンプは、腐食性ガ
スの真空引きにも使用可能になる。また、セラミックス
粒子を金属中に分散させてアルミニウム合金基材に被覆
する方法として、通常のメッキ方法と同じ方法を採用す
ることができるので、低コストでメッキすることが可能
となる。また、粒子状のセラミックスを分散させている
ので、熱放射性に優れるセラミックスの表面積が飛躍的
に増大し、ロータ及びステータの熱放射性を格段に向上
させることができる。すなわち、ロータ及びステータの
腐食と、ロータの過熱およびそれによる鈍化を、容易か
つ低コストで極めて有効に防止することができ、ひいて
は、真空ポンプの性能の向上を図ることが可能となる。
【図１】本発明の実施例を示すターボ分子ポンプの概略
構成図。
構成図。
【図２】同実施例のロータまたはステータの模式的な断
面を示す一部概略図。
面を示す一部概略図。
【図３】同実施例のロータまたはステータの模式的な構
成を示す一部断面概略図。
成を示す一部断面概略図。
Ａ・・・ターボ分子ポンプ １・・・ロータ ２・・・ステータ ３・・・アルミニウム合金基材 ４・・・金属メッキ層 ４１・・金属 ４２・・セラミックス粒子
Claims (1)
- 【請求項１】ロータ及びステータを備え、翼回転により
ポンプ作用を営む真空ポンプにおいて、前記ロータ及び
ステータの少なくとも一方が、アルミニウム合金基材と
その表面を被覆する耐腐食性を有した金属メッキ層とを
具備しており、該金属メッキ層が耐腐食性を有するセラ
ミックス粒子を分散含有するものであることを特徴とす
る真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5654198A JPH11257276A (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5654198A JPH11257276A (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11257276A true JPH11257276A (ja) | 1999-09-21 |
Family
ID=13029956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5654198A Pending JPH11257276A (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11257276A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001193686A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-17 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
| US7572096B2 (en) | 2004-05-10 | 2009-08-11 | Boc Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
-
1998
- 1998-03-09 JP JP5654198A patent/JPH11257276A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001193686A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-17 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
| US7572096B2 (en) | 2004-05-10 | 2009-08-11 | Boc Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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