JPH11257876A - セラミック基板焼成用棚組み - Google Patents
セラミック基板焼成用棚組みInfo
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- JPH11257876A JPH11257876A JP8056098A JP8056098A JPH11257876A JP H11257876 A JPH11257876 A JP H11257876A JP 8056098 A JP8056098 A JP 8056098A JP 8056098 A JP8056098 A JP 8056098A JP H11257876 A JPH11257876 A JP H11257876A
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Abstract
向上するセラミック基板焼成用棚組みを提供することを
目的とする。また、高温ガスの流れや、焼成中にセラミ
ック基板から発生する蒸発バインダーが滞留せず、流出
しやすい構成とし、この為セラミック基板を短時間で効
率良く焼成することができるセラミック基板焼成用棚組
みを提供することを目的とする。 【解決手段】 台板、該台板の上に載せた下台板、該下
台板の上に直立させた支柱、該支柱の上端部を固定する
ための上板とからなるセラミック基板焼成用棚組みにお
いて、前記下台板には、前記支柱の下端部を固定させる
ための支柱差込穴が設けられ、一方、前記上板には、該
支柱の上端部を固定させるために支柱差込穴が設けられ
ており、支柱には薄板を取り付けるための複数の溝が設
けられていることを特徴とするセラミック基板焼成用棚
組み。
Description
ラミック基板を焼成する際に用いるセラミック基板焼成
用棚組みに関するものである。
をシャトルキルン、トンネル炉、連続式プッシャー炉等
の連続炉の窯炉内で焼成するには、図1に示すようにセ
ッター(棚板)を棚組みし、そのセッターにセラミック
基板を載せ焼成している。この場合、セッター表面の凹
凸がセラミック基板に写ったり、セッターに含まれてい
る二酸化ケイ素などがセラミック基板と反応したりし
て、セラミック基板の特性に影響が出ないようにするた
め、高純度アルミナ質やジルコニア質等の薄板をセッタ
ーとセラミック基板との間に挟み込む必要がある。しか
し、セラミック基板を焼成するには、棚組みしたセッタ
ーの上にセラミック基板を載せ、その上段のセッター下
面とセラミック基板の上面との間には、ある一定の空間
が必要であり、上述のように薄板をセッターとセラミッ
ク基板との間に挟み込むと、その分セラミック基板の積
載焼成量が減少するという問題点がある。また、焼成の
終わったセラミック基板を取り出すには、棚組みを一旦
崩さないとセラミック基板が取り出しにくく、そうした
作業がセラミック基板の詰め換え時間を長くなる、棚組
み作業が繁雑になるなどの問題点があった。
成用棚組みでは、短時間での焼成(迅速焼成)を実施し
た場合、セッター12が連続した一枚板になっているの
で、該セッター12が上下のガスの流れを遮断し、蒸発
バインダーや高温ガスが滞留しやすい。この為、熱的ス
ポーリングによりセッターの破損につながる問題があっ
た。また、焼成炉内で浮遊している異物がセラミック基
板の焼成中に、セラミック基板上に付着して反応しやす
いなどの問題点があった。
の問題点を解決し、従来のようなセッターを使用せず、
薄板(1−5mm)だけでセラミック基板を焼成するた
めに、余分な窯用具が不要となり、作業効率が著しく向
上するセラミック基板焼成用棚組みを提供することを目
的とする。また、高温ガスの流れや、焼成中にセラミッ
ク基板から発生する蒸発バインダーが滞留せず、流出し
やすい構成とし、この為セラミック基板を短時間で効率
良く焼成することができ、かつ焼成等が飛躍的にアップ
するセラミック基板焼成用棚組みを提供することを目的
とする。
板、該台板の上に載せた下台板、該下台板の上に直立さ
せた支柱、該支柱の上端部を固定するための上板とから
なるセラミック基板焼成用棚組みにおいて、前記下台板
には、前記支柱の下端部を固定させるための支柱差込穴
が設けられ、一方、前記上板には、該支柱の上端部を固
定させるために支柱差込穴が設けられており、支柱には
薄板を取り付けるための複数の溝が設けられていること
を特徴とするセラミック基板焼成用棚組みである。ま
た、本発明は、1枚の薄板を3点の支柱で支え、かつ中
央の支柱は2枚の薄板を背中合わせで支えるように配置
することを特徴とする上記記載のセラミック基板焼成用
棚組みである。
ミック基板焼成用棚組みは台板1、該台板1の上に載せ
た下台板2、該下台板2の上に直立させた支柱4、該支
柱4の上端部8を固定するための上板9とからなる。ま
た、前記下台板2には、該支柱4を下台板2の上に直立
させるために支柱差込穴3が設けられ、一方、前記上板
9には、該支柱4を固定させるために支柱差込穴8が設
けられている。支柱4には薄板7を取り付けるための複
数の溝6が設けられている。溝6は基板を焼成するため
に必要な空間5が取れ、かつ薄板7の厚み以上としてい
る。
うにしているが、図3のように薄板7を同じ高さで取り
付けるようにしてもよい。次に図4は本発明に関するセ
ラミック基板焼成用棚組みを上から見た図である。ただ
し、上板9は省略してある。この場合は、薄板7を6枚
平並びにしているが、セラミック基板のサイズに応じて
薄板7の並びの枚数を変更することができる。図4で明
らかなように、隣り合った薄板7の間にaの隙間を取っ
ているので高温ガスの流れや、焼成中にセラミック基板
から発生する蒸発バインダーが滞留せず、流出しやすく
なっている。この為、セラミック基板を短時間で効率良
く焼成することができる。
ク基板焼成用棚組みでは、短時間での焼成(迅速焼成)
を実施した場合、セッター12が連続した一枚板になっ
ているので、該セッター12が上下のガスの流れを遮断
し、蒸発バインダーや高温ガスが滞留しやすい。この
為、熱的スポーリングによりセッターの破損につなが
る。また、焼成炉内で浮遊している異物がセラミック基
板の焼成中に、セラミック基板上に付着して反応しやす
い。また、図4で明らかなように、薄板7は3点の支柱
4で支えられている。従って、中央の支柱4は2枚の薄
板7を背中合わせで支えるため、支柱4が安定すると同
時に、薄板7の位置も安定し、均一な焼成条件でセラミ
ック基板を焼成することができる。また、図5は本発明
に関するセラミック基板焼成用棚組みの上面図を示し、
このような配置にすると、セラミック基板を2方向から
取り出すことができ、更に効率的である。図6、7、8
は本発明に関する支柱の図を示す。
ことで簡単に薄板7の位置設定ができ、セラミック基板
焼成に必要な空間をとることができる。従って、薄板7
を出し入れすることにより簡単にセラミック基板を詰め
換えることが可能となる。また、上板9に下台板2と同
様な支柱差込穴8が開けられており、該支柱差込穴8に
支柱4の上端部を差し込んで、支柱4が動かないように
安定させることができる。また、焼成炉内で浮遊してい
る異物がセラミック基板の焼成中に、セラミック基板上
に付着して反応するのを防ぐことができる。また、焼成
後のセラミック基板を薄板7ごと取り出し、再度セラミ
ック基板を載せた薄板7を所定位置に戻す場合にも、図
4の矢印方向より差し込むことで、支柱4が薄板7のス
トッパーとしての役目も果たしており、作業効率を高め
ることができる。
と、従来のようなセッターを使用せず、薄板(1−5m
m)だけで基板を焼成するために、余分な窯用具が不要
となり、作業効率が著しく向上する。また、高温ガスの
流れや、焼成中にセラミック基板から発生する蒸発バイ
ンダーが滞留せず、流出しやすい構成となっており、こ
の為セラミック基板を短時間で効率良く焼成することが
できる。
図。
の側面図。
の側面図。
の上面図。
の上面図。
…空間、6…溝、7…薄板、8…支柱差込穴、9…上
板、10…下端部、11…上端部、12…セッター、1
3…セラミック基板。
Claims (2)
- 【請求項1】 台板、該台板の上に載せた下台板、該下
台板の上に直立させた支柱、該支柱の上端部を固定する
ための上板とからなるセラミック基板焼成用棚組みにお
いて、前記下台板には、前記支柱の下端部を固定させる
ための支柱差込穴が設けられ、一方、前記上板には、該
支柱の上端部を固定させるために支柱差込穴が設けられ
ており、支柱には薄板を取り付けるための複数の溝が設
けられていることを特徴とするセラミック基板焼成用棚
組み。 - 【請求項2】 1枚の薄板を3点の支柱で支え、かつ中
央の支柱は2枚の薄板を背中合わせで支えるように配置
することを特徴とする請求項1記載のセラミック基板焼
成用棚組み。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08056098A JP4136057B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | セラミック基板焼成用棚組み |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08056098A JP4136057B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | セラミック基板焼成用棚組み |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11257876A true JPH11257876A (ja) | 1999-09-24 |
| JP4136057B2 JP4136057B2 (ja) | 2008-08-20 |
Family
ID=13721732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08056098A Expired - Lifetime JP4136057B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | セラミック基板焼成用棚組み |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4136057B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102009046933A1 (de) | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Ngk Insulators, Ltd., Nagoya | Gestellaufbau zum Brennen |
-
1998
- 1998-03-13 JP JP08056098A patent/JP4136057B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102009046933A1 (de) | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Ngk Insulators, Ltd., Nagoya | Gestellaufbau zum Brennen |
| JP2010127591A (ja) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Ngk Insulators Ltd | 焼成用棚組 |
| US8784098B2 (en) | 2008-12-01 | 2014-07-22 | Ngk Insulators, Ltd. | Shelf assembly for firing |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4136057B2 (ja) | 2008-08-20 |
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