JPH11257901A - 目盛担体を機械的に調整する方法と装置 - Google Patents

目盛担体を機械的に調整する方法と装置

Info

Publication number
JPH11257901A
JPH11257901A JP11012327A JP1232799A JPH11257901A JP H11257901 A JPH11257901 A JP H11257901A JP 11012327 A JP11012327 A JP 11012327A JP 1232799 A JP1232799 A JP 1232799A JP H11257901 A JPH11257901 A JP H11257901A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scale
carriers
adjusting
carrier
scale carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11012327A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4295377B2 (ja
JPH11257901A5 (ja
Inventor
Werner Jung
ヴエルナー・ユング
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JPH11257901A publication Critical patent/JPH11257901A/ja
Publication of JPH11257901A5 publication Critical patent/JPH11257901A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4295377B2 publication Critical patent/JP4295377B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/02—Rulers with scales or marks for direct reading
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Retarders (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一つの目盛担体2または3の領域の長さを調
整するためにも、また二つの目盛担体2,3の間の当接
箇所1の隙間間隔を調整したり、円板状の目盛担体を調
整するためにも使用でき、目盛担体を機械的に調整する
方法およびその装置を提供する。 【解決手段】 目盛担体2,3に楔状に形成された複数
のウェブを設け、楔状に形成されたこれ等のウェブを少
なくとも部分的に形状に合わせて取り囲む複数の調整部
材である調整ネジ6a 〜6f と固定部材7a,7b が設け
てある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、目盛担体に調整
装置が嵌まる余白部を設け、目盛担体あるいは当接箇所
の隙間間隔の有効長さを可変して、主に増分測長装置ま
たは測角装置の目盛を形成する目盛担体と複数の目盛担
体の間の当接箇所とを機械的に調整する装置およびその
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の装置およびこの種の方法は、並
べた二つの目盛担体の間の当接箇所に対して既に本出願
人のドイツ公告特許第 27 27 769号明細書により周知で
ある。この明細書では、測長装置の目盛板が個々の目盛
担体で形成されている。これ等の個々の目盛担体の上に
は、主に光学的に走査する時に増分位置データを供給す
る目盛が配置されている。特に測定系に必要な測定長が
長いために必要な目盛板を単品で作製できない場合に、
目盛板のこのような構成を選択する。目盛板を多数の目
盛担体から形成する場合の問題の一つは、隣接する目盛
担体の当接箇所で隙間の大きさを最適に調整されていな
い場合、位置測定で誤差が生じる点にある。前記明細書
では、このため隣接する目盛担体に対して当接箇所で或
る調整可能性を用意することが提案されている。対応す
る調整部材には、目盛担体を適当な力であるが当接箇所
の領域で調整できる組立を行う当接手段がある。
【0003】その場合の難点はこの装置を形成すると比
較的高価になる点にある。他の難点はこの装置を目盛担
体の間の当接箇所にのみ使用できる点にある。更に、調
整部材に占有場所が大きい。
【0004】本出願人の欧州公開特許第 150 354号明細
書により、同類の測長装置あるいは測角装置、および長
さを調整するこの種の方法が知られている。この場合、
測定目盛担体の長さ調整を行うため、測定目盛担体を延
ばしたり突き合わせる。この装置は測定方向に穴開けさ
れた目盛担体で構成されている。この穴にはトルクを与
える歯車が嵌まる。作用するトクルに応じて、望む長さ
に調整されるまで、二つの歯車の間の箇所の長さを延ば
すか、これ等の箇所を突き合わせ、次いで歯車を固定す
る。
【0005】この場合の難点は、並んでいる目盛担体の
当接箇所での隙間間隔の調整がこの装置を用いて十分正
確に行えない点にある。更に、コストのかかる構造で、
これにより占有場所がかなり大きくなるのが難点であ
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】それ故、この発明の課
題は、一つの目盛担体の領域の長さを調整するために
も、また二つの目盛担体の間の当接箇所の隙間間隔を調
整したり、円板状の目盛担体を調整するためにも使用で
き、目盛担体を機械的に調整する方法およびその装置を
提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、目盛担体2,3,10,20に調整装置が嵌ま
る余白部を設け、目盛担体2,3,10,20あるいは
当接箇所1の隙間間隔の有効長さを可変して、主に増分
測長装置または測角装置の目盛を形成する目盛担体2,
3,10,20と複数の目盛担体の間の当接箇所1とを
機械的に調整する装置にあって、前記目盛担体2,3,
10,20に楔状に形成された複数のウェブ11a,11
b,21a,21b,21c を設け、楔状に形成されたこれ等
のウェブ11a,11b,21a,21b,21c を少なくとも
部分的に形状に合わせて取り囲む複数の調整部材6a 〜
6f,7a,7b,7a1, 7a2, 7b1, 7b2, 12a,12b,1
3a,13b,22,23a,23b,31,32が設けてある
ことによって解決されている。
【0008】更に、上記の課題は、この発明により、目
盛担体2,3,10,20に調整装置が嵌まる余白部を
設け、目盛担体2,3,10,20あるいは当接箇所1
の隙間間隔の有効長さを可変して、主に増分測長装置ま
たは測角装置の目盛を形成する目盛担体2,3,10,
20と複数の目盛担体の間の当接箇所1とを機械的に調
整する方法にあって、調節時に調整ネジ6a 〜6f,13
a,13b,23a,23b,32に異なった締付トルクを加
え、目盛担体2,3,10,20の固定部材7a,7b,1
2a,12b,22,31とウェブ11a,11b,21a,21
b,21c の間の楔状の形状合わせにより、調整ネジ6a
〜6f,13a,13b,23a,23b,32により固定部材7
a,7b,12a,12b,22,31に加わる測定方向xに垂
直な力を目盛担体2,3,10,20に加わり測定方向
xに平行と垂直な成分を持つ力に変換し、これにより目
盛担体2,3が測定方向xに垂直に固定することがで
き、測定方向xに平行に移動させることができることに
よって解決されている。
【0009】この発明による他の有利な構成は特許請求
の範囲の従属請求項に記載されている。
【0010】
【発明の実施の形態】この発明によれば、楔状に形成さ
れた余白部分を持つ調整部材は楔状に形成されたウェブ
と共に目盛担体に作用する。調整部材のこの余白部分は
調整可能な圧力で目盛担体の楔状のウェブに押圧され
る。調整部材とウェブを楔状に形成しているので、目盛
の長手方向の伸び方向に作用する力の成分が生じる。一
つの目盛担体あるいは二つの目盛担体の間の当接箇所の
調整は、調整部材を目盛担体に加圧する圧力を変えて可
能になる。
【0011】並んでいる目盛担体の長さを調整すること
も、この発明による方法に従いこの発明による装置を用
いて特に簡単に行える。このため、目盛担体の隣接する
二つの端部には楔状のウェブが用意されていて、これ等
のウェブは共通の調整部材で調整できる。
【0012】更に、この発明による装置およびこの発明
による方法は測角装置で使用されるような丸い目盛担体
で調整を行うのにも適している。
【0013】この発明による装置あるいはこの発明によ
る方法は直接現場で使用できる。つまり、目盛板の個々
の目盛担体の組立や正確な調整は作業中に行える。更
に、この発明による方法は付加的な場所を必要としない
ので、コンパクトに実現させることができる。
【0014】この発明による装置あるいはこの発明によ
る方法は、当然種々の物理原理に従って動作する測長装
置や測角装置と関連して、例えば光学測定装置もしくは
磁気測定装置等で使用される。
【0015】
【実施例】以下、実施例を示す図面に基づきこの発明を
詳しく説明する。
【0016】図1には、一つの目盛板に対して並んでい
る分離した二つの目盛担体2,3を精密に組み立て、調
整するため未だ固定されていない構造部品の斜視図が示
してある。両方の目盛担体2,3はこのような多数の目
盛担体2,3で形成される測長装置のこのような目盛板
の一部を形成する。図示する実施例では、目盛板に対し
て測定方向xに移動する図示していない垂直入射走査ユ
ニットにより測定動作中に増分位置データを発生させる
ため周知の方法で走査される目盛板が使用されている。
個々の目盛担体2,3から成る目盛板の構造がモジュー
ル式であるので、測定長をその時に必要な測定距離に簡
単に合わせることができる。
【0017】図1に示す実施例で使用される測長装置
は、垂直入射原理、つまり反射目盛担体2,3であり、
この目盛担体の上に目盛構造体4,5a,5b が配置され
ている。この目盛構造体は、周知のように、反射性と非
反射性の領域の測定方向xに周期的な列で構成されてい
る。増分位置データを発生させるため、ここでは、増分
目盛4を持つ目盛トラックが目盛担体2,3の上に配設
されている。増分目盛4の横に隣接して第二の目盛トラ
ックが設けてあり、この目盛トラック内に多数の基準マ
ーク5a 〜5b が配設されている。これ等の基準マーク
5a 〜5b は周知のように形成され、測定動作中に絶対
位置情報を処理するために使用される。
【0018】並んでいる目盛担体2,3の当接箇所1の
ところには、二つの目盛担体2,3を互いに調整する可
能性がそれぞれ設けてある。このため、図示する実施例
では調節ネジ6a 〜6f としてまた固定部材7a,7b と
して形成された調整部材が使用される。調節ネジ6a 〜
6f により、目盛担体2,3用の固定部材7a と7bは
土台、例えば工作機械の固定台に固定される。固定部材
7a と7b には調節ネジ6a 〜6f に対応するネジ穴が
ある。隣接する目盛担体2,3の両側に対してそれぞれ
一つのこの種の固定部材7a,7b が設けてある。固定部
材7a,7b の各々は三つの調節ネジ6a 〜6f によりそ
れぞれ固定されている。調節ネジ6a 〜6f に対する一
定のトルクにより、目盛担体2,3の隣接する二つの端
部を同時に調整できる。特に、二つの固定部材7a,7b
を備えた図示する装置により隣接する二つの目盛担体
2,3を当接箇所の領域で同時に調整することができ
る。
【0019】余白部とウェブは固定部材7a,7b の楔状
の余白部が目盛担体2,3の楔状のウェブに嵌まるよう
に目盛担体2,3および固定部材7a,7b のところに形
成されている。ウェブと余白部が互いに接触する面を特
別に楔状に形成して、調節ネジ6a 〜6f により与えら
れる押圧力の異なりにより目盛担体の相互の移動が少な
くできる。調節ネジ6b と6e に調節ネジ6a,6c,6d
と6f より大きなトルクを加えれば、当接箇所1の隣接
する目盛担体2,3の間の隙間間隔が拡がる。何故な
ら、固定部材7a,7b の中心の両方の楔状のウェブが目
盛担体の両端を互いに押圧し、同時に調節ネジ6a,6c,
6d と6f のトルクが小さいため固定部材7a,7b の両
端のウェブが目盛担体2,3の楔状のウェブにより僅か
に下に移動するからである。従って、長さの調整は調節
ネジ6a 〜6f を適当に緩めたり締め付けて行われる。
【0020】目盛担体2,3から成る目盛板を機械に取
り付ける場合、第一目盛担体2を接着結合で固定した後
に、測定方向xに第一目盛担体に隣接する第二目盛担体
3の端部が接着される。そうすると、固定部材7a と7
b により当接箇所1の隙間間隔は、この隙間間隔が目盛
担体2,3に付けてある目盛4の目盛周期の整数倍にで
きる限りなるように、調節ネジ6a 〜6f を適当に緩め
たり締め付けて調整される。その場合、当接箇所1の隙
間間隔の目盛周期の整数倍からのずれは目盛周期の幅の
10 %より小さくなるべきである。当接箇所1の隙間間
隔を調節した後、目盛担体3の他端を土台に接着し、そ
の都度次の目盛担体を同じように、望む測定長になるま
で、固定して調整する。
【0021】この代わりに、二つの目盛担体の当接箇所
の隙間間隔を調整するため、それぞれ固定部材7a1, 7
a2と7b1, 7b2として、図5に示すように、二部品にも
形成できる。ここでも、既に説明したように、目盛担体
2と3のウェブおよび固定部材7a1, 7a2と7b1, 7b2
の対応する余白部を楔状に形成しているため、目盛担体
2と3を基本体に固定することは、当接箇所1の隙間間
隔の調整と同じように可能になる。この調整は固定部材
7a1, 7a2と7b1, 7b2の固定ネジの異なった締付トル
クにより達成される。
【0022】更に、この原理によれば、図2に示すよう
に、ただ一つの目盛担体10の領域内で長さの調整も行
える。目盛担体10の長さにわたり、等間隔で楔状に形
成されたウェブ11a,11b が目盛担体10の両側にそ
れぞれ配置されている。これ等のウェブは楔状の余白部
のある固定部材12a,12b に作用する。これ等の固定
部材12a,12b にはそれぞれ調節ネジ13a,13b 用
の二つの穴がある。これ等の穴により固定部材12a,1
2b を基礎、例えば工作機械の機械固定台に固定でき
る。この目盛担体10は基礎に対して相対移動できるよ
うに配置されている。固定部材12a,12b の余白部は
目盛担体10のウェブ11a,11b より僅かに小さく形
成されているので、両方の調節ネジ13a,13b を締め
付ける時の異なったトルクにより目盛担体10に圧力あ
るいは引張を加える。調節ネジ13a を調節ネジ13b
より大きなトルクで締め付ければ、ウェブ11a,11b
の右にある目盛担体10の部分に圧力が加わり、左にあ
る部分には逆に引張が加わる。これ等の力により目盛担
体10の長さ調整が行われる。
【0023】図3には、測角装置用の目盛担体20の場
合の図2で既に説明した原理の応用が示してある。丸い
目盛担体20の場合でも、目盛担体20のところに等間
隔で楔状に形成されたウェブ21a,21b,21c を設け
る可能性が生じる。これ等のウェブ21a,21b,21c
は外径のところにも、また目盛担体の内部にも配置でき
る。更に、ここでも固定部材22に楔状の余白部のある
調整部材22,23a,23b が設けてある。各固定部材
22は調節ネジ23a,23b により目盛担体20の基礎
に固定されていて、この基礎には前記目盛担体が移動可
能に配置されている。調整部材の両方の調節ネジの一方
23a あるいは23b で締め付けトルクが異なるので、
図2に対する説明から分かるように、張力あるいあ押圧
力を所望の方向に加える。
【0024】この代わりの構成では、固定部材22,1
2a,12b,7a,7b は、図4に示すように、二部品でも
構成される。楔状の余白部の代わりに、固定部材31に
は楔状の余白部がある。目盛担体10,20を調整する
場合、各ウェブ21a,21b,21c,11a,11b は楔状
の二つの固定部材31により固定される。このため、固
定すべきウェブ21a,21b,21c,11a,11b の右と
左の固定部材31が調節ネジ32で望む位置に固定され
る。これに応じて、どんなトクルで個々のウェブに付属
する二つの固定部材31を調節ネジ32で固定し、力を
一方の方向あるいは他方の方向に加え、そのように目盛
担体の調整を行える
【0025】
【発明の効果】以上、説明したように、この発明による
目盛担体を機械的に調整する方法およびその装置によ
り、一つの目盛担体の領域の長さを調整するためにも、
また二つの目盛担体の間の当接箇所の隙間間隔を調整し
たり、円板状の目盛担体を調整するためにも使用でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 調整部材を伴う隣接する二つの目盛担体の当
接箇所の斜視図、
【図2】 測長装置用の調整部材とウェブを伴う一つの
目盛担体の斜視図、
【図3】 測角装置用の調整部材とウェブを伴う一つの
目盛担体の斜視図、
【図4】 調整部材の可能な構成を示す斜視図、
【図5】 図1の固定部材を代わりに実現させる斜視図
である。
【符号の説明】
1 当接箇所 2,3 目盛担体 4 目盛構造体(目盛) 5a,5b 基準マーク 6a 〜6f 調節ネジ 7a,7b,7a1, 7a2, 7b1, 7b2 固定部材 10 目盛担体 11a,11b ウェブ 12a,12b 固定部材 13a,13b 調節ネジ 20 目盛担体 21a,21b,21c ウェブ 22 固定部材 23a,23b 調節ネジ 31 固定部材 32 調節ネジ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヴエルナー・ユング ドイツ連邦共和国、83301 トラウンロイ ト、クロンシユテッター・ストラーセ、5

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 目盛担体(2,3,10,20)に調整
    装置が嵌まる余白部を設け、目盛担体(2,3,10,
    20)あるいは当接箇所(1)の隙間間隔の有効長さを
    可変して、主に増分測長装置または測角装置の目盛を形
    成する目盛担体(2,3,10,20)と複数の目盛担
    体の間の当接箇所(1)とを機械的に調整する装置にお
    いて、前記目盛担体(2,3,10,20)に楔状に形
    成された複数のウェブ(11a,11b,21a,21b,21
    c )を設け、楔状に形成されたこれ等のウェブ(11a,
    11b,21a,21b,21c )を少なくとも部分的に形状
    に合わせて取り囲む複数の調整部材(6a 〜6f,7a,7
    b,7a1, 7a2, 7b1, 7b2, 12a,12b,13a,13b,
    22,23a,23b,31,32)が設けてあることを特
    徴とする装置。
  2. 【請求項2】 前記調整部材(6a 〜6f,7a,7b,7a
    1, 7a2, 7b1, 7b2, 12a,12b,13a,13b,2
    2,23a,23b,31,32)は楔状の余白部あるいは
    楔状の成形部を有する固定部材(7a,7b,7a1, 7a2,
    7b1, 7b2, 12a,12b,22,31)と調整ネジ(6
    a 〜6f,13a,13b,23a,23b,32)とを含むこと
    を特徴とする請求項1に記載の装置。
  3. 【請求項3】 固定部材(7a,7b,12a,12b,22)
    のところの楔状の余白部は目盛担体(2,3,10,2
    0)の楔状のウェブ(11a,11b,21a,21b,21c
    )よりも僅かに小さく形成されていることを特徴とす
    る請求項1または2に記載の装置。
  4. 【請求項4】 両方の目盛担体(2,3)の二つの目盛
    担体(2,3)の当接箇所(1)のところには、複数の
    楔状のウェブが設けてあり、各固定部材(7a,7b )に
    はそれぞれ異なった目盛担体(2,3)のウェブと形状
    を合わせた結合を行う二つの楔状の余白部があることを
    特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の装置。
  5. 【請求項5】 目盛担体(2,3,10,20)に調整
    装置が嵌まる余白部を設け、目盛担体(2,3,10,
    20)あるいは当接箇所(1)の隙間間隔の有効長さを
    可変して、主に増分測長装置または測角装置の目盛を形
    成する目盛担体(2,3,10,20)と複数の目盛担
    体の間の当接箇所(1)とを機械的に調整する方法にお
    いて、調節時に調整ネジ(6a 〜6f,13a,13b,23
    a,23b,32)に異なった締付トルクを加え、目盛担体
    (2,3,10,20)の固定部材(7a,7b,12a,1
    2b,22,31)とウェブ(11a,11b,21a,21b,
    21c )の間の楔状の形状合わせにより、調整ネジ(6
    a 〜6f,13a,13b,23a,23b,32)により固定部
    材(7a,7b,12a,12b,22,31)に加わる測定方
    向(x)に垂直な力を目盛担体(2,3,10,20)
    に加わり測定方向(x)に平行と垂直な成分を持つ力に
    変換し、これにより目盛担体(2,3)が測定方向
    (x)に垂直に固定することができ、測定方向(x)に
    平行に移動させることができることを特徴とする方法。
JP01232799A 1998-01-21 1999-01-20 目盛担体を機械的に調整する方法と装置 Expired - Fee Related JP4295377B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19802036:8 1998-01-21
DE19802036A DE19802036B4 (de) 1998-01-21 1998-01-21 Verfahren und Vorrichtung zur mechanischen Justage von Teilungsträgern

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPH11257901A true JPH11257901A (ja) 1999-09-24
JPH11257901A5 JPH11257901A5 (ja) 2005-11-24
JP4295377B2 JP4295377B2 (ja) 2009-07-15

Family

ID=7855173

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP01232799A Expired - Fee Related JP4295377B2 (ja) 1998-01-21 1999-01-20 目盛担体を機械的に調整する方法と装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6178656B1 (ja)
JP (1) JP4295377B2 (ja)
DE (1) DE19802036B4 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000292101A (ja) * 1999-03-29 2000-10-20 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 目盛板を取り付ける方法とその装置
JP2011180129A (ja) * 2010-03-02 2011-09-15 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 基準尺
JP2013257341A (ja) * 2008-06-17 2013-12-26 Renishaw Plc スケールトラック

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10056947A1 (de) * 2000-11-17 2002-05-23 Optolab Licensing Gmbh Verfahren und Anordnung zur Montage von Messsystemen
DE10229885B4 (de) * 2002-07-03 2010-06-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Anbringen eines Maßstabs oder Maßstabträgers oder einer Maßstabführung
DE10300918B4 (de) * 2003-01-13 2014-11-06 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen der Relativbewegung zweier relativ zueinander bewegbarer Maschinenteile
JP2009180525A (ja) * 2008-01-29 2009-08-13 Mitsutoyo Corp 測定装置
DE202010007285U1 (de) 2010-05-21 2011-09-23 Balluff Gmbh Maßkörpervorrichtung für ein Positions-/Wegmesssystem, Positions-/Wegmesssystem und Anwendung, an welcher ein Positions-/Wegmesssystem montiert ist
CN106705792A (zh) * 2015-08-21 2017-05-24 广西建工集团第四建筑工程有限责任公司 一种屋面瓦片尺寸的检查槽
EP3255384B1 (de) * 2016-06-07 2018-11-28 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Massverkörperung sowie positionsmesseinrichtung
ES2943517T3 (es) * 2020-04-08 2023-06-13 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Disposición para medición de posición

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1933446A (en) * 1932-02-27 1933-10-31 Nat Tube Co Measuring apparatus
DE2727769C2 (de) * 1977-06-21 1979-01-25 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Gekapselte Längenmeßeinrichtung für große Meßlängen
DE2948854A1 (de) * 1979-12-05 1981-06-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementales messsystem
DE3037810C2 (de) * 1980-10-07 1982-11-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE3401141C2 (de) * 1984-01-14 1987-01-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
US4684257A (en) * 1984-02-02 1987-08-04 Mitutoyo Mfg. Measuring instrument
DE3530776A1 (de) * 1984-08-31 1986-03-06 Sony Magnescale Inc., Tokio/Tokyo Geradlinige messskala
GB8616240D0 (en) * 1986-07-03 1986-08-13 Renishaw Plc Opto-electronic scale reading apparatus
GB8819723D0 (en) * 1988-08-19 1988-09-21 Renishaw Plc Metrological scale
DE4026990A1 (de) * 1990-08-25 1992-02-27 Stiefelmayer Kg C Geradfuehrung zur fuehrung des schlittens eines vorzugsweise dreidimensionalen mess- und/oder anreissgeraetes

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000292101A (ja) * 1999-03-29 2000-10-20 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 目盛板を取り付ける方法とその装置
JP2013257341A (ja) * 2008-06-17 2013-12-26 Renishaw Plc スケールトラック
JP2011180129A (ja) * 2010-03-02 2011-09-15 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 基準尺
CN102192730A (zh) * 2010-03-02 2011-09-21 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 标尺
KR101222313B1 (ko) 2010-03-02 2013-01-16 덕터 요한네스 하이덴하인 게엠베하 자

Also Published As

Publication number Publication date
US6178656B1 (en) 2001-01-30
JP4295377B2 (ja) 2009-07-15
DE19802036A1 (de) 1999-07-22
DE19802036B4 (de) 2006-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4295377B2 (ja) 目盛担体を機械的に調整する方法と装置
US4559717A (en) Flexure hinge
JP3134590B2 (ja) スケール装置
US6163970A (en) Linear encoder with a modular scale and a method of producing same
JP5755299B2 (ja) スケールトラック
JP2016099342A (ja) 測長装置
JPH11257901A5 (ja)
JPH09215350A (ja) 超音波リニアモータ
JPS59226810A (ja) 長さ測定装置
BR9601309A (pt) Dispositivo para a aplicação de camadas delgadas sobre um substrato
EP1001457A4 (en) SENSOR AND METHOD FOR DETECTING THE POSITION OF THE SURFACE OF AN OBJECT ALIGNMENT DEVICE EQUIPPED WITH THIS SENSOR AND PRODUCTION METHOD FOR THIS ALIGNMENT DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICES BY USE OF THIS DEVICE
KR20070088626A (ko) 플랫폼 이송 시스템
DE10056947A1 (de) Verfahren und Anordnung zur Montage von Messsystemen
JPH09275689A (ja) 超精密位置決め装置
JP2008119822A (ja) 工具スピンドル用のサポート
EP0504096A2 (en) Assembly of elongated elements, particularly a fibre optic head, and a method of making same
JPS63100303A (ja) 位置合せ方法
JP2578523B2 (ja) 光学式ロータリーエンコーダの取付構造と取付方法
JPH1110635A (ja) 定規付きカッタ
JP3721969B2 (ja) ステージ装置
JP2659978B2 (ja) 移動テーブル装置
JPH04127506U (ja) 位置検出機構
JPH07253335A (ja) 光学式変位センサ
JP2854641B2 (ja) 変位計およびその発光部の位置調整方法
JPH04279816A (ja) 磁気式ロータリエンコーダの組立方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051011

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20051011

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081118

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090217

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090331

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090410

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090217

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130417

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130417

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140417

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees