JPH11258170A - 化学繊維射出用口金孔内の残留物及び摩耗の自動検査装置 - Google Patents
化学繊維射出用口金孔内の残留物及び摩耗の自動検査装置Info
- Publication number
- JPH11258170A JPH11258170A JP10687298A JP10687298A JPH11258170A JP H11258170 A JPH11258170 A JP H11258170A JP 10687298 A JP10687298 A JP 10687298A JP 10687298 A JP10687298 A JP 10687298A JP H11258170 A JPH11258170 A JP H11258170A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- ccd camera
- abrasion
- light
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 化学繊維射出用口金の微細孔内部に残留する
異物の検出と摩耗部分の深さをCCDカメラにより自動
検査、計測する装置を提供する。 【構成】 光源6からの光を口金5の微細孔を通して異
物の輪郭を受光する為のCCDカメラ1b、その口金5
表面全面の点光源の各穴位置をXY座標データーで取り
込む為のCCDカメラ1a,により座標データーにそっ
て口金位置を移動させるX−Y−Zステージ21、と連
動して画像データーを解析し蓄積し管理するコンピュー
ター30、により異物の面積を出し合否を判定し、結果
をモニター32で表示させる機能と、レーザービームで
摩耗部分をハルス走査し摩耗面の単位面積の傾きをシン
クロナスに撮影することで本来反射光が帰って来るべき
位置との差のデーターから計算し、傾きの情報を持つ単
位面積の合成から摩耗の深さHと面積などを計測する。
異物の検出と摩耗部分の深さをCCDカメラにより自動
検査、計測する装置を提供する。 【構成】 光源6からの光を口金5の微細孔を通して異
物の輪郭を受光する為のCCDカメラ1b、その口金5
表面全面の点光源の各穴位置をXY座標データーで取り
込む為のCCDカメラ1a,により座標データーにそっ
て口金位置を移動させるX−Y−Zステージ21、と連
動して画像データーを解析し蓄積し管理するコンピュー
ター30、により異物の面積を出し合否を判定し、結果
をモニター32で表示させる機能と、レーザービームで
摩耗部分をハルス走査し摩耗面の単位面積の傾きをシン
クロナスに撮影することで本来反射光が帰って来るべき
位置との差のデーターから計算し、傾きの情報を持つ単
位面積の合成から摩耗の深さHと面積などを計測する。
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】化学繊維の射出成形用口金に多数
個開口している数百ミクロンの微細孔から秒速、百数十
メートルのスピードで噴射される高圧の樹脂を高速でボ
ビンに巻き取ることにより化学繊維は大量生産される
が、射出孔が精密で、高圧で大量生産ゆえに、当然のこ
とながら微細孔に頻繁に異物が詰まるし、出口に摩耗が
発生する。定期的にノズルを外し、注意深く洗浄し微細
孔表面及び内面を、投影機又は顕微鏡を用いて摩耗及び
異物の残留がないか、一つ一つ綿密に時間をかけて検査
される。これらの検査効率を向上させる為の自動検査機
に関するものである。
個開口している数百ミクロンの微細孔から秒速、百数十
メートルのスピードで噴射される高圧の樹脂を高速でボ
ビンに巻き取ることにより化学繊維は大量生産される
が、射出孔が精密で、高圧で大量生産ゆえに、当然のこ
とながら微細孔に頻繁に異物が詰まるし、出口に摩耗が
発生する。定期的にノズルを外し、注意深く洗浄し微細
孔表面及び内面を、投影機又は顕微鏡を用いて摩耗及び
異物の残留がないか、一つ一つ綿密に時間をかけて検査
される。これらの検査効率を向上させる為の自動検査機
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】化学繊維の射出成形用口金に多数個ある
数百ミクロンの微細な射出孔の表面及び、光のとどきに
くい内面を深部まで、人が投影機又は顕微鏡を用いて異
物の付着及び摩耗がないか、一つ一つ綿密に時間をかけ
て検査している。
数百ミクロンの微細な射出孔の表面及び、光のとどきに
くい内面を深部まで、人が投影機又は顕微鏡を用いて異
物の付着及び摩耗がないか、一つ一つ綿密に時間をかけ
て検査している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】人の労力に頼っている
従来の検査作業を機械化するにあたり、口金の射出孔周
辺部分の摩耗部分の基礎的な角度データーの蓄積、それ
をもとにした表面外形と寸法、最大深さの算出、と断面
図の合成、三次元の摩耗図の合成をし、分析と合否判定
の材料にする。
従来の検査作業を機械化するにあたり、口金の射出孔周
辺部分の摩耗部分の基礎的な角度データーの蓄積、それ
をもとにした表面外形と寸法、最大深さの算出、と断面
図の合成、三次元の摩耗図の合成をし、分析と合否判定
の材料にする。
【0004】微細孔内面に異物が残留していないか、深
層部分に至る各層の拡大画面を自動で迅速に撮影し、デ
ーターとして記憶蓄積し、異物外形を見やすい状態でデ
ィスプレー画面に表示させ目視による合否の判定と、画
像処理と計算で異物の面積を数値で出し自動化した合否
判断の両方を可能にする。
層部分に至る各層の拡大画面を自動で迅速に撮影し、デ
ーターとして記憶蓄積し、異物外形を見やすい状態でデ
ィスプレー画面に表示させ目視による合否の判定と、画
像処理と計算で異物の面積を数値で出し自動化した合否
判断の両方を可能にする。
【0005】多数個ある射出孔の物理的位置データーと
してのXYZ座標データーを取り、それをもとにオート
サーチ、及びオートスキャン、個別呼び出しを可能にし
て射出孔の全てについて自動検索処理を進められる様に
する。
してのXYZ座標データーを取り、それをもとにオート
サーチ、及びオートスキャン、個別呼び出しを可能にし
て射出孔の全てについて自動検索処理を進められる様に
する。
【0006】
【課題を解決するための手段】微細孔内部に残留する、
異物の検査については口金表面の射出孔1個がCCDカ
メラの視野角にほぼいっぱいに入る位置において、スタ
ティック点灯の面発光光源がら口金の射出口を通過して
きた直接光と、その過程で一部乱反射した光の両方を受
光して、射出孔入口から順に深部へ、そしてさらに口金
の裏面にかけてCCDカメラの合焦位置をZステージ駆
動で等間隔で順に移動させながら数十枚から数百枚の画
像を撮影して、画像データーをメモリーに取り込んでお
いて、異物がある画像データーについては一旦、異物の
輪郭から面積を求めて不合格規格値との面積比較からG
o、No判定をしてNoの場合は拡大表示などをさせる
ことにより、異物の程度を目視判断をも可能にする。シ
ステム制御コンピューターのメモリー上への画像データ
ー転送は高速のPCI(Peripheral Com
ponent Interconnect)バス経由で
なされる。
異物の検査については口金表面の射出孔1個がCCDカ
メラの視野角にほぼいっぱいに入る位置において、スタ
ティック点灯の面発光光源がら口金の射出口を通過して
きた直接光と、その過程で一部乱反射した光の両方を受
光して、射出孔入口から順に深部へ、そしてさらに口金
の裏面にかけてCCDカメラの合焦位置をZステージ駆
動で等間隔で順に移動させながら数十枚から数百枚の画
像を撮影して、画像データーをメモリーに取り込んでお
いて、異物がある画像データーについては一旦、異物の
輪郭から面積を求めて不合格規格値との面積比較からG
o、No判定をしてNoの場合は拡大表示などをさせる
ことにより、異物の程度を目視判断をも可能にする。シ
ステム制御コンピューターのメモリー上への画像データ
ー転送は高速のPCI(Peripheral Com
ponent Interconnect)バス経由で
なされる。
【0007】摩耗部分の外径と深さについてはレーザー
ビームを口金表面に、パルス的にスポットで照射してシ
ンクロナスに撮像して、その反射光の位置から反射角を
算出することで反射面の単位面積の2次元的傾きの角度
を出すと言う手順を、レーザービーム位置を連続移動さ
せながら例えば100ミクロンごとに照射させ、繰り返
す事で微細孔周辺の1mm平方程度の摩耗で荒れた平面
を碁盤の目状に100個のデーターを取り、これら角度
を持った各単位面積をプログラム処理で繋ぎ合わせて外
形と深さを算出し摩耗形状をだす。 レーザービームは
上記では2次元的に平行移動させたが、レーザービーム
位置は固定しておいてX−Yステージを移動しするので
も原理は同じである。
ビームを口金表面に、パルス的にスポットで照射してシ
ンクロナスに撮像して、その反射光の位置から反射角を
算出することで反射面の単位面積の2次元的傾きの角度
を出すと言う手順を、レーザービーム位置を連続移動さ
せながら例えば100ミクロンごとに照射させ、繰り返
す事で微細孔周辺の1mm平方程度の摩耗で荒れた平面
を碁盤の目状に100個のデーターを取り、これら角度
を持った各単位面積をプログラム処理で繋ぎ合わせて外
形と深さを算出し摩耗形状をだす。 レーザービームは
上記では2次元的に平行移動させたが、レーザービーム
位置は固定しておいてX−Yステージを移動しするので
も原理は同じである。
【0008】被写体としての口金は光源を下敷きにして
X−Y−Zステージの上に置かれ、各射出孔は鉛直にな
らび、CCDカメラのレンズはX−Y−Zステージの基
準平面に対して垂直に見下ろす位置関係に取付けられて
いる。 Z軸、上下方向に機械的にCCDカメラ位置の
粗調整ができるが、これは口金の高さ形状が変更された
時に使用し、それ以外はCCDカメラ位置は固定で使用
する。 ピント合わせは初期にZ軸ステージの微動、レ
ンズリング回転などでも行う。
X−Y−Zステージの上に置かれ、各射出孔は鉛直にな
らび、CCDカメラのレンズはX−Y−Zステージの基
準平面に対して垂直に見下ろす位置関係に取付けられて
いる。 Z軸、上下方向に機械的にCCDカメラ位置の
粗調整ができるが、これは口金の高さ形状が変更された
時に使用し、それ以外はCCDカメラ位置は固定で使用
する。 ピント合わせは初期にZ軸ステージの微動、レ
ンズリング回転などでも行う。
【0009】X−Y平面方向はカメラレンズの最適位置
としての、光軸上に口金の射出孔の中心を順に移動させ
てくる為に高精度のX−Yステージを用いてサーボモー
ター駆動で2次元平面上を水平移動制御させる。モニタ
ー上の表示位置が端っこにあって見にくい位置に仮にス
トップしたとしてもソフトウエアー処理で中央に持って
くる等ができる。そのために全部の射出孔の個々のXY
座標データーを確保する為に、それ専用のCCDカメラ
を設けノズル全面がカメラの視野に入る位置に設置し、
表面に合焦させ透過光全部を一括撮影して各点光源のC
CD上の位置をXY座標データーで表わしメモリーに格
納する。 このデーターをもとにオートサーチ、オート
スキャン、個別呼び出しなどの射出孔検索モードが可能
となる。
としての、光軸上に口金の射出孔の中心を順に移動させ
てくる為に高精度のX−Yステージを用いてサーボモー
ター駆動で2次元平面上を水平移動制御させる。モニタ
ー上の表示位置が端っこにあって見にくい位置に仮にス
トップしたとしてもソフトウエアー処理で中央に持って
くる等ができる。そのために全部の射出孔の個々のXY
座標データーを確保する為に、それ専用のCCDカメラ
を設けノズル全面がカメラの視野に入る位置に設置し、
表面に合焦させ透過光全部を一括撮影して各点光源のC
CD上の位置をXY座標データーで表わしメモリーに格
納する。 このデーターをもとにオートサーチ、オート
スキャン、個別呼び出しなどの射出孔検索モードが可能
となる。
【0010】
【作用】異物検査では射出孔内に異物がなければ、口金
表面以外では何も無い位置に順次、合焦するので、ノズ
ル表面のみ結像しその他の位置ではなにも無いほぼ白色
画面となる。 一方、異物があると、はっきりと異物の
輪郭が黒く結像するために比較して際立った差異を生ず
る。 異物があれば不合格であり、異物のさらに後ろに
ある同一サイズの異物の有無までは今回の方式では分か
らないが、すでに不合格と言う結果が得られているので
問題としない。射出孔の各層の画面1枚1枚全部検査す
ることは出来るけれども検査効率の関係ではぶき、異物
の占める面積が規格値を越える場合とか、異物が占める
面積が最大の画面の1枚のみのチェックで合否の判断を
する。
表面以外では何も無い位置に順次、合焦するので、ノズ
ル表面のみ結像しその他の位置ではなにも無いほぼ白色
画面となる。 一方、異物があると、はっきりと異物の
輪郭が黒く結像するために比較して際立った差異を生ず
る。 異物があれば不合格であり、異物のさらに後ろに
ある同一サイズの異物の有無までは今回の方式では分か
らないが、すでに不合格と言う結果が得られているので
問題としない。射出孔の各層の画面1枚1枚全部検査す
ることは出来るけれども検査効率の関係ではぶき、異物
の占める面積が規格値を越える場合とか、異物が占める
面積が最大の画面の1枚のみのチェックで合否の判断を
する。
【0011】摩耗検査では得られた単位面積の角度デー
ターをもとに再合成した摩耗部分は3次元の情報を持っ
ている。従って口金の使用スタートから定期的に検査を
すれば摩耗部分の成長過程が時系列で把握出来る。それ
により口金上のどういう位置にある穴が、どんな摩耗の
成長を遂げるか、または無関係にランダムに成長するも
のであるか、など今後の分析のデーターベースとなり、
合否判定の省力化は言うまでもなく口金設計改善に使用
するとか、現在稼動中の口金の残り寿命がどれだけある
かの把握が出来る。
ターをもとに再合成した摩耗部分は3次元の情報を持っ
ている。従って口金の使用スタートから定期的に検査を
すれば摩耗部分の成長過程が時系列で把握出来る。それ
により口金上のどういう位置にある穴が、どんな摩耗の
成長を遂げるか、または無関係にランダムに成長するも
のであるか、など今後の分析のデーターベースとなり、
合否判定の省力化は言うまでもなく口金設計改善に使用
するとか、現在稼動中の口金の残り寿命がどれだけある
かの把握が出来る。
【0012】
【実施例】図1においてCCDカメラ1aの横に位置調
整ツマミ2aがあり、これでカメラスタンド25に対し
て上下位置を粗調整し固定し、下部には対物レンズリン
グ3aがあり、口金5の表面に焦点を合わせる事が出来
る。 口金5はX−Y−Zステージ21の上でCCDカ
メラ1aの光軸4上でレンズ3の視野角に全体が入る位
置に置かれている。 口金5はZステージ部分21cの
可動部分に設けられた凹部に収められた光源6の真上に
位置する。
整ツマミ2aがあり、これでカメラスタンド25に対し
て上下位置を粗調整し固定し、下部には対物レンズリン
グ3aがあり、口金5の表面に焦点を合わせる事が出来
る。 口金5はX−Y−Zステージ21の上でCCDカ
メラ1aの光軸4上でレンズ3の視野角に全体が入る位
置に置かれている。 口金5はZステージ部分21cの
可動部分に設けられた凹部に収められた光源6の真上に
位置する。
【0013】図1には書かれていないがX−Y−Zステ
ージ21はカメラスタンド25と一体の基台部分の上に
置かれている。外部からの制御ケーブル21eで光源6
をON/OFFする 制御ケーブル21fによりYステ
ージ21aを左右方向に微動させ、Xステージ21bを
前後方向に微動させ、Zステージ21cを上下方向に微
動させる。
ージ21はカメラスタンド25と一体の基台部分の上に
置かれている。外部からの制御ケーブル21eで光源6
をON/OFFする 制御ケーブル21fによりYステ
ージ21aを左右方向に微動させ、Xステージ21bを
前後方向に微動させ、Zステージ21cを上下方向に微
動させる。
【0014】CCDカメラ1aに平行してカメラスタン
ド25には2台目のCCDカメラ1bが設置されてい
る。CCDカメラ1bの横に位置調整ツマミ2bがあ
り、これでカメラスタンド25に対して上下位置を粗調
整し、下部に対物レンズのリング3bがあり、その光軸
9上に口金5が点線の口金5のように移動して来た時に
その表面に焦点を合わせる事が出来る。 レンズ3bに
は落射ユニット8及びレーザーユニット7が取付けられ
ている。 このレーザービームのON/OFFとレーザ
ービームのY軸方向、Z軸方向の平行移動が可能でケー
ブル11により外部から制御する。
ド25には2台目のCCDカメラ1bが設置されてい
る。CCDカメラ1bの横に位置調整ツマミ2bがあ
り、これでカメラスタンド25に対して上下位置を粗調
整し、下部に対物レンズのリング3bがあり、その光軸
9上に口金5が点線の口金5のように移動して来た時に
その表面に焦点を合わせる事が出来る。 レンズ3bに
は落射ユニット8及びレーザーユニット7が取付けられ
ている。 このレーザービームのON/OFFとレーザ
ービームのY軸方向、Z軸方向の平行移動が可能でケー
ブル11により外部から制御する。
【0015】以上のシステム構成全体をブロック図の感
じに表現したものが図2である。 システムをコントロ
ールするコンピューター30を中心に各機器がほぼスタ
ー結線されている。操作は図2には書かれてはないがキ
ーボード入力でなされる。結果はモニター32に表示さ
れるのと、図2にはないがプリンターその他に出力でき
る。CCDカメラ1aと1bは主にCCDイメージセン
サーを中心としたCCD画像検出回路とインターフェー
ス、及びレンズで構成されている。 X−Y−Zステー
ジはサーボモーター駆動の場合は移動量をコントローラ
ーにフィードバックする為のエンコーダーが必要にな
り、これの分解能が優れている為、ステッピングモータ
ー駆動などよりも相対的に高精度位置決めが可能になる
傾向があるが、リニアーモーターその他でもよい。光源
6は一例であるが面発光LEDで直流点灯させる。 レ
ーザーユニット7はインターフェース経由でレーザービ
ームの平行移動制御をピエゾアクチュエーターPZ1,
PZ2で行い、レーザー光はダイオードLD1で発光
し、図にはないがその輝度安定化回路が必要であり、発
光のON/OFF制御がされる。図にはないが電源が随
所に必要である。
じに表現したものが図2である。 システムをコントロ
ールするコンピューター30を中心に各機器がほぼスタ
ー結線されている。操作は図2には書かれてはないがキ
ーボード入力でなされる。結果はモニター32に表示さ
れるのと、図2にはないがプリンターその他に出力でき
る。CCDカメラ1aと1bは主にCCDイメージセン
サーを中心としたCCD画像検出回路とインターフェー
ス、及びレンズで構成されている。 X−Y−Zステー
ジはサーボモーター駆動の場合は移動量をコントローラ
ーにフィードバックする為のエンコーダーが必要にな
り、これの分解能が優れている為、ステッピングモータ
ー駆動などよりも相対的に高精度位置決めが可能になる
傾向があるが、リニアーモーターその他でもよい。光源
6は一例であるが面発光LEDで直流点灯させる。 レ
ーザーユニット7はインターフェース経由でレーザービ
ームの平行移動制御をピエゾアクチュエーターPZ1,
PZ2で行い、レーザー光はダイオードLD1で発光
し、図にはないがその輝度安定化回路が必要であり、発
光のON/OFF制御がされる。図にはないが電源が随
所に必要である。
【0016】図3を参照して、化学繊維射出用の口金5
のイメージ図である。射出孔5aの数はだいたいが20
から100個程度であり、同心円状に配置されている。
射出孔5aの口径は100ミクロンから400ミクロン
で形状は円が比較的に多いが花形、その他各種ある。樹
脂の注入口は5bのようにロート状になっていて数十ト
ンの内圧が加わる。定期的に交換されて洗浄し、出口部
分の摩耗変形の程度を検査され、稼働中に目詰まりが起
きて作業を中断したり、出口部分の摩耗変形による繊維
の品質低下などの事態にならぬように配慮されている。
のイメージ図である。射出孔5aの数はだいたいが20
から100個程度であり、同心円状に配置されている。
射出孔5aの口径は100ミクロンから400ミクロン
で形状は円が比較的に多いが花形、その他各種ある。樹
脂の注入口は5bのようにロート状になっていて数十ト
ンの内圧が加わる。定期的に交換されて洗浄し、出口部
分の摩耗変形の程度を検査され、稼働中に目詰まりが起
きて作業を中断したり、出口部分の摩耗変形による繊維
の品質低下などの事態にならぬように配慮されている。
【0017】図4を参照して、単なる一例であるが口金
5を置いてあるZステージ21cの一部に光源6を置け
る空間を設けて、矢印6mの方向に発光させて、各射出
孔を通過して光が矢印6pのように出て行く様子をあら
わしている。
5を置いてあるZステージ21cの一部に光源6を置け
る空間を設けて、矢印6mの方向に発光させて、各射出
孔を通過して光が矢印6pのように出て行く様子をあら
わしている。
【0018】外光を遮断して出てきた光6pを上から見
ると図5の様に多数の点光源になり、これを図1のよう
にCCDカメラ1aで画像を取り、仮に基準位置に近い
射出孔から外周Aと内周Bにわけて白矢印方向に1、
2、3、Nとナンバーを付け、画像ファイル名とし、そ
れぞれ座標(X−Y値)データーを付けて、末尾の文字
で表(S)、裏(R)等と表わす様にする。この様に各
穴位置を自動検索する為の物理的位置データーを取り記
憶保存する。 これ以後の作業はCCDカメラ1bが行
うので、そのCCDカメラ1bの光軸9の位置に平行移
動した場合の座標データーに変換して登録することが重
要である。
ると図5の様に多数の点光源になり、これを図1のよう
にCCDカメラ1aで画像を取り、仮に基準位置に近い
射出孔から外周Aと内周Bにわけて白矢印方向に1、
2、3、Nとナンバーを付け、画像ファイル名とし、そ
れぞれ座標(X−Y値)データーを付けて、末尾の文字
で表(S)、裏(R)等と表わす様にする。この様に各
穴位置を自動検索する為の物理的位置データーを取り記
憶保存する。 これ以後の作業はCCDカメラ1bが行
うので、そのCCDカメラ1bの光軸9の位置に平行移
動した場合の座標データーに変換して登録することが重
要である。
【0019】以上のようにしてCCDカメラ1bにとっ
て最適な口金5の各穴位置の座標データーを登録した後
に、図1のようにCCDカメラ1bの光軸9の位置にX
−Yステージを制御して点線の口金5のように、登録し
た座標データーをもとに、まず射出孔A1を移動してく
る。、そして順番に内面部のサンプリング画像データー
を以下の方式で取得してコンピューター30のSIMM
(Single Inline Memory Mod
ule)メモリーに蓄積して行く。 図6を参照して、
射出孔A1が射出孔5aであるとして上から順に、5
c、5d、5e、と等間隔にZステージを上昇させて、
合焦位置を移動させて、各位置で撮影して5nまで仮に
90回、撮影と一連の処理をする。その1回1回の処理
は下記のように3種類のモードを用意して画像処理をし
て合否の判定をしながら進めて行く。 1:サンプリング画像データー5c〜5nの全てを蓄積
しておく。 2:NGとなった画像の全データーを蓄積しておく。 3:NGとなった画像で異物面積が最大のデーターのみ
を蓄積しておく。
て最適な口金5の各穴位置の座標データーを登録した後
に、図1のようにCCDカメラ1bの光軸9の位置にX
−Yステージを制御して点線の口金5のように、登録し
た座標データーをもとに、まず射出孔A1を移動してく
る。、そして順番に内面部のサンプリング画像データー
を以下の方式で取得してコンピューター30のSIMM
(Single Inline Memory Mod
ule)メモリーに蓄積して行く。 図6を参照して、
射出孔A1が射出孔5aであるとして上から順に、5
c、5d、5e、と等間隔にZステージを上昇させて、
合焦位置を移動させて、各位置で撮影して5nまで仮に
90回、撮影と一連の処理をする。その1回1回の処理
は下記のように3種類のモードを用意して画像処理をし
て合否の判定をしながら進めて行く。 1:サンプリング画像データー5c〜5nの全てを蓄積
しておく。 2:NGとなった画像の全データーを蓄積しておく。 3:NGとなった画像で異物面積が最大のデーターのみ
を蓄積しておく。
【0020】その画像処理による合否の判定手順は図7
を参照して、図7(a)のように画像データー5cの中
に異物がある場合、白色部の内積に変化が生じる。その
変化した面積のバラツキの程度を求める。 まず画像デ
ーター5cをもとに図7(b)のような仮想円を作成
し、マスクとする。 図7(a)に図7(c)のように
そのマスクを重ねあわせマスク内の黒色部分を図7
(d)のように切り出し、次に図7(e)のように長方
形でかこみ、黒色になっている異物の面積をセンサーの
ピクセル数を数えて自動計測し、あらかじめキーボード
から設定入力済みの合否判定規格面積と数値比較して同
等以上は不合格と判定し、モード設定にそって画像デー
ターを蓄積する。 その時、異物の面積、異物の中心位
置、表面から異物までの深さ、も分かるので、この3種
類の数値も蓄積する。モードが表示する選択になってい
れば異物の影絵の拡大表示をし、画面の端に先の3種類
の数値も表示し目視チェックをサポートする。
を参照して、図7(a)のように画像データー5cの中
に異物がある場合、白色部の内積に変化が生じる。その
変化した面積のバラツキの程度を求める。 まず画像デ
ーター5cをもとに図7(b)のような仮想円を作成
し、マスクとする。 図7(a)に図7(c)のように
そのマスクを重ねあわせマスク内の黒色部分を図7
(d)のように切り出し、次に図7(e)のように長方
形でかこみ、黒色になっている異物の面積をセンサーの
ピクセル数を数えて自動計測し、あらかじめキーボード
から設定入力済みの合否判定規格面積と数値比較して同
等以上は不合格と判定し、モード設定にそって画像デー
ターを蓄積する。 その時、異物の面積、異物の中心位
置、表面から異物までの深さ、も分かるので、この3種
類の数値も蓄積する。モードが表示する選択になってい
れば異物の影絵の拡大表示をし、画面の端に先の3種類
の数値も表示し目視チェックをサポートする。
【0021】以上のような画像処理過程、すなわち先の
【0020】の部分をフローチャートで表わすと図8の
ようになり、Sから入り90回繰返してループを抜け
る。
ようになり、Sから入り90回繰返してループを抜け
る。
【0022】次に射出孔5aの出口部分が摩耗した場合
の計測については図1において光源6はOFFにしてレ
ーザーユニット7をダイナミック点灯させる。 この部
分について、より具体的に説明した図9を参照して、レ
ーザー7aから一瞬レーザービームが落射ユニット8の
中のハーフミラー8aに向けて発光して反射して、下に
位置する口金5に当たる。 口金5の表面が理想的にフ
ラットの場合は反射光が同軸上を上に帰って行きハーフ
ミラーを透過してCCDカメラ1bのレンズ3bに入る
次にレーザー7aを少し上に移動して再度一瞬点灯さ
せると同様に、先の光跡と平行線をたどり、レンズ3b
に入る。 さらにレーザー7aを上に移動して再度一瞬
点灯させると、ここで、口金5の表面が摩耗部分にかか
ると仮定して、反射角がθだけずれて同軸上を帰らない
為、本来到達すべき位置から外れる。 この様に例えば
上方向に10個所、横方向10個所レーザー7a移動さ
せる。 そうすると図9の射出孔5aを正面から見た図
が白矢印の先の円内に書かれているが、射出孔5aを中
心にして絵のようにほぼ円に近い摩耗部分5xが広がっ
て居るものとし、その上に桝目の網をかぶせてあるが、
この100個の正方形の中心位置をレーザースポットが
順番に一瞬当ると言う意味の絵である。 その反射光が
本来到達すべき位置からのズレ分を検出することで、こ
の100個の正方形の個々の傾斜角度を算出する。
の計測については図1において光源6はOFFにしてレ
ーザーユニット7をダイナミック点灯させる。 この部
分について、より具体的に説明した図9を参照して、レ
ーザー7aから一瞬レーザービームが落射ユニット8の
中のハーフミラー8aに向けて発光して反射して、下に
位置する口金5に当たる。 口金5の表面が理想的にフ
ラットの場合は反射光が同軸上を上に帰って行きハーフ
ミラーを透過してCCDカメラ1bのレンズ3bに入る
次にレーザー7aを少し上に移動して再度一瞬点灯さ
せると同様に、先の光跡と平行線をたどり、レンズ3b
に入る。 さらにレーザー7aを上に移動して再度一瞬
点灯させると、ここで、口金5の表面が摩耗部分にかか
ると仮定して、反射角がθだけずれて同軸上を帰らない
為、本来到達すべき位置から外れる。 この様に例えば
上方向に10個所、横方向10個所レーザー7a移動さ
せる。 そうすると図9の射出孔5aを正面から見た図
が白矢印の先の円内に書かれているが、射出孔5aを中
心にして絵のようにほぼ円に近い摩耗部分5xが広がっ
て居るものとし、その上に桝目の網をかぶせてあるが、
この100個の正方形の中心位置をレーザースポットが
順番に一瞬当ると言う意味の絵である。 その反射光が
本来到達すべき位置からのズレ分を検出することで、こ
の100個の正方形の個々の傾斜角度を算出する。
【0023】さらに図10を参照して、レーザーユニッ
ト7の内部でレーザー7aが平行移動する一例を上げ
る。 PZ1はピエゾアクチュエーターで端子電圧を可
変するとほぼ比例的に厚みが矢印L1方向に変化する。
同様にPZ2は矢印L2方向に変化し、結果的に取付
けられているレーザー7aが上下左右に平行移動する。
そうして拡大して描いた桝目のP1,P2……P100
と点線の経路で駆動させることができる。 この例の単
位面積としての桝目1個は仮に0.05mm角を想定し
ておりL1,L2は0.5mmのストロークが必要であ
るので、ピエゾアクチュエーターはバイモルフ型が適当
である。ほかにもボイスコイルモーター、リニアーモー
ターその他での応用も考えられる。 なおレーザー7a
は点線の経路上をとまらずに等速運動をするが、必要に
応じてとまりながら移動させるモードを用意することも
ありうる。図10(b)では蛇行しているがスパイラル
状の走行経路でもよい。
ト7の内部でレーザー7aが平行移動する一例を上げ
る。 PZ1はピエゾアクチュエーターで端子電圧を可
変するとほぼ比例的に厚みが矢印L1方向に変化する。
同様にPZ2は矢印L2方向に変化し、結果的に取付
けられているレーザー7aが上下左右に平行移動する。
そうして拡大して描いた桝目のP1,P2……P100
と点線の経路で駆動させることができる。 この例の単
位面積としての桝目1個は仮に0.05mm角を想定し
ておりL1,L2は0.5mmのストロークが必要であ
るので、ピエゾアクチュエーターはバイモルフ型が適当
である。ほかにもボイスコイルモーター、リニアーモー
ターその他での応用も考えられる。 なおレーザー7a
は点線の経路上をとまらずに等速運動をするが、必要に
応じてとまりながら移動させるモードを用意することも
ありうる。図10(b)では蛇行しているがスパイラル
状の走行経路でもよい。
【0024】レーザー7aが図10のP1から点線の様
に移動するとハーフミラー8aで反射した口金5の表面
でもまったく同様の動きが生じ、図11を参照して、こ
れは口金5の射出孔5aの断面の拡大図であるが、摩耗
部分5xの深さHを自動計測出来る。 その手法は今ハ
ーフミラーから垂直にレーザービームが口金5の桝目ナ
ンバーP51のほぼ中央に照射出来る位置に移動してき
た時に一瞬照射され、ここは摩耗がなくフラットな面で
あったとして、レーザービームは反射して同軸上を帰り
ハーフミらー8aとレンズ3bは図にはないが、これを
透過してCCDカメラ1b内部のCCDイメージセンサ
ーの画素にシンクロナスに取り込む。 さらにP52か
ら順にP57の位置まで同様の繰り返しを行うと摩耗部
分での反射角に応じてθ2からθ6と変化して本来到達
するはずの画素の位置からずれる。このずれの量をもと
にP51からP65の個々の角度を算出して、それを単
位面積S1からS6までの角度として、合計のhを出
し、近似的にHの値とする。
に移動するとハーフミラー8aで反射した口金5の表面
でもまったく同様の動きが生じ、図11を参照して、こ
れは口金5の射出孔5aの断面の拡大図であるが、摩耗
部分5xの深さHを自動計測出来る。 その手法は今ハ
ーフミラーから垂直にレーザービームが口金5の桝目ナ
ンバーP51のほぼ中央に照射出来る位置に移動してき
た時に一瞬照射され、ここは摩耗がなくフラットな面で
あったとして、レーザービームは反射して同軸上を帰り
ハーフミらー8aとレンズ3bは図にはないが、これを
透過してCCDカメラ1b内部のCCDイメージセンサ
ーの画素にシンクロナスに取り込む。 さらにP52か
ら順にP57の位置まで同様の繰り返しを行うと摩耗部
分での反射角に応じてθ2からθ6と変化して本来到達
するはずの画素の位置からずれる。このずれの量をもと
にP51からP65の個々の角度を算出して、それを単
位面積S1からS6までの角度として、合計のhを出
し、近似的にHの値とする。
【0025】上記の図11の例ではθ1から06はS1
からS6という線の角度の情報を持っているものとして
Hを計算したが、実際は面としての角度情報をもってい
るので、もとの面を斜め上から見た3次元的画像に再合
成可能であるし、高低差を強調するなどの加工も可能と
なる。桝目の数を増やせば当然分解能が上げられ、写真
取りした画像にちかずく。ビーム径以下の微細な分解能
を期待する場合はビームが重なったままでビーム径の例
えば1/10ずつずらせて走査するとしても反射光はタ
イミング的に1個ずつのスポットしか画素上には帰って
来ないので問題無く位置を特定出来る。又、画素のサイ
ズよりもビームのスポット径は遥かに大きいので、複数
の画素にまたがってスポットを受光するが、スポットの
中央位置を出す為に、明るさがあるシキイ値を越える部
分の中心位置を荷重平均法で求めて画素の位置精度を向
上出来ると言う、光量の分布からソフト処理でスポット
センター位置を求めることでさらに分解能が向上する。
からS6という線の角度の情報を持っているものとして
Hを計算したが、実際は面としての角度情報をもってい
るので、もとの面を斜め上から見た3次元的画像に再合
成可能であるし、高低差を強調するなどの加工も可能と
なる。桝目の数を増やせば当然分解能が上げられ、写真
取りした画像にちかずく。ビーム径以下の微細な分解能
を期待する場合はビームが重なったままでビーム径の例
えば1/10ずつずらせて走査するとしても反射光はタ
イミング的に1個ずつのスポットしか画素上には帰って
来ないので問題無く位置を特定出来る。又、画素のサイ
ズよりもビームのスポット径は遥かに大きいので、複数
の画素にまたがってスポットを受光するが、スポットの
中央位置を出す為に、明るさがあるシキイ値を越える部
分の中心位置を荷重平均法で求めて画素の位置精度を向
上出来ると言う、光量の分布からソフト処理でスポット
センター位置を求めることでさらに分解能が向上する。
【0026】図10の例ではレーザー7aは0.05m
mピッチ移動するごとに1回発光し、秒速1.5mm走
行を想定しているので、本来はこの程度の移動スピード
の場合はレーザー7aは固定で設計し、X−Y−Zステ
ージをかわりに移動させる。重量があるといえども同等
の移動スピードで使用する事が可能である。移動精度で
ピッチサイズが1ミクロンとかそれ以下が必要な場合に
はやはりピエゾタイプがよくX−Yステージとの組合せ
駆動方式が必要である。
mピッチ移動するごとに1回発光し、秒速1.5mm走
行を想定しているので、本来はこの程度の移動スピード
の場合はレーザー7aは固定で設計し、X−Y−Zステ
ージをかわりに移動させる。重量があるといえども同等
の移動スピードで使用する事が可能である。移動精度で
ピッチサイズが1ミクロンとかそれ以下が必要な場合に
はやはりピエゾタイプがよくX−Yステージとの組合せ
駆動方式が必要である。
【0027】図12はカメラ1cとカメラ1dがスタン
ドパイプに一体に組立てられていて、モーター駆動でカ
メラを回転切換えさせて使用することで、口金5を移動
させないタイプの一例である。カメラ1cで口金5の射
出孔のX−Y座標データーを登録すると、矢印27のよ
うにカメラ1dが約60度回転して、カメラ1dの光軸
9が光軸4cの位置にくる。それ以後の動作については
前記のカメラ1aとカメラ1bによる方式と同じであ
る。図12は1軸のシリンダー上に各種の機能の異なる
カメラを多数設置して回転切換えしながら使用するシス
テムが必要になったさいにも今回の発明システムが導入
可能である点を説明するのと、他方、完全自動化されて
いなくてもカメラ切換え程度は手作業で回転させてもよ
いユーザー向けの場合にもこういった回転式が有効と思
われる。
ドパイプに一体に組立てられていて、モーター駆動でカ
メラを回転切換えさせて使用することで、口金5を移動
させないタイプの一例である。カメラ1cで口金5の射
出孔のX−Y座標データーを登録すると、矢印27のよ
うにカメラ1dが約60度回転して、カメラ1dの光軸
9が光軸4cの位置にくる。それ以後の動作については
前記のカメラ1aとカメラ1bによる方式と同じであ
る。図12は1軸のシリンダー上に各種の機能の異なる
カメラを多数設置して回転切換えしながら使用するシス
テムが必要になったさいにも今回の発明システムが導入
可能である点を説明するのと、他方、完全自動化されて
いなくてもカメラ切換え程度は手作業で回転させてもよ
いユーザー向けの場合にもこういった回転式が有効と思
われる。
【0028】図13はこれまで説明してきたカメラを2
台使用するタイプとは異なり、1台のカメラで2台分の
働きをさせる方式についてである。前記のカメラ2台で
作業分担する場合は2台のカメラの主な違いは倍率と視
野角であるが、これら両方を切換えられるようにすれば
1台でよい。 しかしコスト的にはズームレンズとなり
高い物になると言う欠点がある。接眼レンズを追加して
手作業での検討も考慮する場合は1fの感じになる。
台使用するタイプとは異なり、1台のカメラで2台分の
働きをさせる方式についてである。前記のカメラ2台で
作業分担する場合は2台のカメラの主な違いは倍率と視
野角であるが、これら両方を切換えられるようにすれば
1台でよい。 しかしコスト的にはズームレンズとなり
高い物になると言う欠点がある。接眼レンズを追加して
手作業での検討も考慮する場合は1fの感じになる。
【0029】各種の固定焦点レンズを取付けたディスク
を回転切換えしてカメラ本体は1台にすると言う方式も
原理としては可能である。今回の方式では落射ユニット
7などが原理的に欠かせないので、大きいユニットであ
るし、重いし、ワイヤー11付きであるので、オートで
回転切換えするとなると必要以上に大掛かりになり、手
作業の顕微鏡の様な簡単なイメージで考えると、つまず
くと思われる。今回はカメラ自体は動かさず、且つ、計
測過程で可動部分が極力少ない事が、性能を充分引き出
す為の重要条件である。従って、あえて以上の4タイプ
のコストも含めたトータルでの比較をすると図1が1
番、無難な構成である。 したがって図1にそって重点
的に説明を進めたが、どのタイプにしろ基本原理は変わ
らない。
を回転切換えしてカメラ本体は1台にすると言う方式も
原理としては可能である。今回の方式では落射ユニット
7などが原理的に欠かせないので、大きいユニットであ
るし、重いし、ワイヤー11付きであるので、オートで
回転切換えするとなると必要以上に大掛かりになり、手
作業の顕微鏡の様な簡単なイメージで考えると、つまず
くと思われる。今回はカメラ自体は動かさず、且つ、計
測過程で可動部分が極力少ない事が、性能を充分引き出
す為の重要条件である。従って、あえて以上の4タイプ
のコストも含めたトータルでの比較をすると図1が1
番、無難な構成である。 したがって図1にそって重点
的に説明を進めたが、どのタイプにしろ基本原理は変わ
らない。
【0030】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【0031】従来、不可能とされていた化学繊維射出用
口金の微細孔内の異物の自動検査と摩耗部分の深さの自
動測定を可能にすることで、担当者が非常に神経を使い
疲労を伴う作業が自動化される。
口金の微細孔内の異物の自動検査と摩耗部分の深さの自
動測定を可能にすることで、担当者が非常に神経を使い
疲労を伴う作業が自動化される。
【0032】作業者がいない深夜でも処理が継続可能と
なり、時間の有効活用ができる。
なり、時間の有効活用ができる。
【0033】検査データーや作業経歴が自動的に残せる
為、傾向の分析や予測など、これまでの経験上の感を頼
りにすることなく、具体的な数値をもとに行う事が出来
る。
為、傾向の分析や予測など、これまでの経験上の感を頼
りにすることなく、具体的な数値をもとに行う事が出来
る。
【図1】 CCDカメラ2台とX−Y−Zステージ部分
の外観図
の外観図
【図2】 システム全体の回路ブロック図
【図3】 射出孔の拡大図を含む口金の図解図
【図4】 口金に対する光源の位置関係を示す図解図
【図5】 口金表面の全景を低倍率で捕らえた画像例
【図6】 射出孔内部の合焦位置の移動とVGAフレー
ム画像
ム画像
【図7】 7(a):サンプリング画像のイメージを伝
える図 7(b):仮想マスク(仮想フレーム)のイメージ図 7(c):サンプリング画像に仮想マスクを重ね合わせ
た図 7(d):異物の切り取りと拡大表示のイメージ図 7(e):異物部分を長方形で囲んだイメージ図
える図 7(b):仮想マスク(仮想フレーム)のイメージ図 7(c):サンプリング画像に仮想マスクを重ね合わせ
た図 7(d):異物の切り取りと拡大表示のイメージ図 7(e):異物部分を長方形で囲んだイメージ図
【図8】 画像処理部分のフローチャート
【図9】 レーザービーム走査ラインの原理図
【図10】 駆動型レーザーユニット例の図解図
【図11】 口金摩耗分部の深さ測定例
【図12】2台のカメラを回転する場合の図解図
【図13】 1台のカメラを用いる場合の図解図
1a〜e CCDカメラ 2a〜e メカ式高さ調整ツマミ 3a〜e 対物レンズ 4、9 光軸位置 5 口金、 5a:射出孔、 5b:注入
口、 5x:摩耗部分 6 光源 7 駆動式レーザーユニット 7a:レー
ザー 8 落射ユニット 8a:ハーフミラ
ー 10a、10b、11、21e、21f、31ケーブル 21 X−Y−Zステージ 25 カメラスタンド 30 制御用コンピューター 32 VGAモニター
口、 5x:摩耗部分 6 光源 7 駆動式レーザーユニット 7a:レー
ザー 8 落射ユニット 8a:ハーフミラ
ー 10a、10b、11、21e、21f、31ケーブル 21 X−Y−Zステージ 25 カメラスタンド 30 制御用コンピューター 32 VGAモニター
Claims (2)
- 【請求項1】CCDカメラ1bの視野角に射出孔5aの
1個の全景が余裕を持って入る位置に設定調節して、口
金5の底面に置かれた光源6が発光した光6mが口金5
の射出孔5aを通して光5pとなってCCDカメラ1b
に入光するとき、CCDカメラ1bの合焦位置を5c、
5d、5eと等間隔に変えて撮影を繰り返し、その過程
で表面である5cでは結像するが、それ以外は何かあれ
ばその何かだけに結像し、無ければ何も写らないと言う
原理を想定し、異物の影の輪郭としての黒色部分の面積
を画像処理と計算で求めた上で、あらかじめキー入力し
設定されていた不合格値と比較し、合否判定をし不合格
であれば、拡大してモニター32にVGA画面表示し、
且つコンピューター30の記憶装置に画像データーを蓄
積する。以下同様の繰り返しで口金裏面の5nに至るま
で、全ての位置について検査し、異物がある場合は反対
面からも同様の検査を実施する。 次に射出孔5aの出
口周辺表面の摩耗部分5xをレーザービームを用いた同
軸落射ユニット8で照射し、XYステージを微動してハ
ルス走査し、1ハルスごとにCCDカメラ1bのシャッ
ターを同期して開き帰って来たレーザービーム位置と本
来帰って来るべき位置との差から反射角θを得、そのθ
から単位摩耗面ごとの光梃子効果による詳細な角度情報
を得て、この情報を集積すれば3次元画像が合成できる
と言う原理を想定して、角度を持つ単位面積の分布する
エリアを特定し、摩耗部分としての全体の面積と形状、
最大深さhを算出し、データーの蓄積と断面図の合成、
摩耗構造の斜視図の合成とモニター32への合成画像表
示と周辺機器への出力を可能とする方式の、化学繊維射
出用口金孔内の残留物及び摩耗の自動検査装置。 - 【請求項2】CCDカメラ1aの視野角に口金5の全景
が入る位置に設定調節して、口金5の底面に置かれた光
源6からの光6mが口金5の全ての射出孔5aを通過し
て光6pとしてカメラ1aに全部が受光した状態で、対
物レンズ3aで口金5の表面にヒントを合わせる。 結
像した点光源の全ての位置をX−Y座標データーで表わ
し射出孔A1、A2、B1、B2、等のファイル名を付
け、さらに表面(S)、裏面(R)の印を付けコンピュ
ーター30の記憶装置に保存し、あと必要に応じて順番
に、あるいは個別に各射出孔をX−Y座標データーをも
とに、X−Y−Zステージを駆動してカメラ1bの光軸
上にセッティングできるようにする。まず射出孔A1を
セッティングして請求項1の機能にリンクして、射出孔
A1の一連の検査の後、請求項2に帰り、次の射出孔A
2をセッティングしたのちに、再度請求項1にリンクし
てその一連の検査の後、請求項2に帰ると言う方式で順
番に全ての射出孔について自動検索検査の処理を実行す
る、化学繊維射出用口金孔内の残留物及び摩耗の自動検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10687298A JPH11258170A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 化学繊維射出用口金孔内の残留物及び摩耗の自動検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10687298A JPH11258170A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 化学繊維射出用口金孔内の残留物及び摩耗の自動検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11258170A true JPH11258170A (ja) | 1999-09-24 |
Family
ID=14444638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10687298A Pending JPH11258170A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 化学繊維射出用口金孔内の残留物及び摩耗の自動検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11258170A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005210467A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Shimadzu Corp | 画像表示装置およびそれを備えた異物検査装置 |
| JP2008008803A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 光学式検査方法および光学式検査装置 |
| JP2011053169A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Seiko Epson Corp | 表面検査方法 |
| JP2011053170A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Seiko Epson Corp | 孔内検査方法 |
| JP2012112688A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Seiko Epson Corp | 検査装置 |
| JP2013101019A (ja) * | 2011-11-08 | 2013-05-23 | Seiko Epson Corp | 穴の内部検査装置、検査方法、およびプログラム |
| CN107807165A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-03-16 | 安徽中烟工业有限责任公司 | 一种在线监测吸烟者吸入和呼出卷烟主流烟气气相化学成分口腔残留效率的实验装置 |
| CN109550712A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-02 | 杭州慧知连科技有限公司 | 一种化纤丝尾丝外观缺陷检测系统及方法 |
| JP2021156641A (ja) * | 2020-03-25 | 2021-10-07 | 三井化学株式会社 | ノズル検査装置、方法、及びプログラム |
-
1998
- 1998-03-13 JP JP10687298A patent/JPH11258170A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005210467A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Shimadzu Corp | 画像表示装置およびそれを備えた異物検査装置 |
| JP2008008803A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 光学式検査方法および光学式検査装置 |
| JP2011053169A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Seiko Epson Corp | 表面検査方法 |
| JP2011053170A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Seiko Epson Corp | 孔内検査方法 |
| JP2012112688A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Seiko Epson Corp | 検査装置 |
| JP2013101019A (ja) * | 2011-11-08 | 2013-05-23 | Seiko Epson Corp | 穴の内部検査装置、検査方法、およびプログラム |
| CN107807165A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-03-16 | 安徽中烟工业有限责任公司 | 一种在线监测吸烟者吸入和呼出卷烟主流烟气气相化学成分口腔残留效率的实验装置 |
| CN107807165B (zh) * | 2017-11-29 | 2024-05-03 | 安徽中烟工业有限责任公司 | 一种在线监测吸烟者吸入和呼出卷烟主流烟气气相化学成分口腔残留效率的实验装置 |
| CN109550712A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-02 | 杭州慧知连科技有限公司 | 一种化纤丝尾丝外观缺陷检测系统及方法 |
| JP2021156641A (ja) * | 2020-03-25 | 2021-10-07 | 三井化学株式会社 | ノズル検査装置、方法、及びプログラム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5226480B2 (ja) | 3次元形状測定装置 | |
| US9618329B2 (en) | Optical inspection probe | |
| EP2403396B1 (en) | Wavefront analysis inspection apparatus and method | |
| EP1062478B1 (en) | Apparatus and method for optically measuring an object surface contour | |
| TWI580948B (zh) | 檢測部件之方法及設備 | |
| US7663078B2 (en) | Focusing method for the high-speed digitalisation of microscope slides and slide displacing device, focusing optics, and optical rangefinder | |
| US20140313312A1 (en) | Digital microscope and method for optimizing the work process in a digital microscope | |
| US6636310B1 (en) | Wavelength-dependent surface contour measurement system and method | |
| JP2005515447A (ja) | 光コネクタ用フェルール検査機及びその方法 | |
| JP6997480B2 (ja) | レーザー走査顕微鏡、レーザー走査顕微鏡システム及びレーザーアブレーションシステム | |
| CN109387157A (zh) | 通过侧向视角成像来表征样本的高度轮廓 | |
| KR101523336B1 (ko) | 웨이퍼 영상 검사 장치 | |
| JP2017223951A (ja) | 微細対象物観察装置 | |
| JPH11258170A (ja) | 化学繊維射出用口金孔内の残留物及び摩耗の自動検査装置 | |
| JP6590429B1 (ja) | 共焦点顕微鏡、及びその撮像方法 | |
| JP2000193428A (ja) | 被測定物の測定方法及びその装置 | |
| JPH07208917A (ja) | 自動焦点合わせ方法及び装置 | |
| JP2003295066A (ja) | 顕微鏡装置 | |
| JP4454714B2 (ja) | 被測定物の測定方法及びその装置 | |
| JP7817496B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
| JP2016205985A (ja) | 測定装置 | |
| JP7074742B2 (ja) | ワイヤ電極の垂直出し装置および方法 | |
| LT7019B (lt) | Erdvinio mikroobjekto matmenų ir jo paviršiaus reljefo nustatymo sistema ir būdas | |
| JP3960527B2 (ja) | 放射線の飛跡検出方法及び放射線の飛跡検出装置 | |
| JP2002013917A (ja) | 形状測定装置 |