JPH11258173A - 照明装置 - Google Patents
照明装置Info
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- JPH11258173A JPH11258173A JP6573698A JP6573698A JPH11258173A JP H11258173 A JPH11258173 A JP H11258173A JP 6573698 A JP6573698 A JP 6573698A JP 6573698 A JP6573698 A JP 6573698A JP H11258173 A JPH11258173 A JP H11258173A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 凹凸がある被検査面の検査を行う際に解像度
の高い照明を行うことができ、被検査面の状況が正確に
把握できる照明装置を提供する。 【解決手段】 半導体素子１３の被検査面１４を照明す
るよう所定距離ｈを設けて配置された投光部１２と、こ
の投光部１２に被検査面１４に対して平行であり、かつ
互いに平行となるよう離間して設けられると共に光軸Ｌ
ａ，Ｌｂが被検査面１４の前方の交差位置Ｐで、中心軸
Ｍに角度α＝３５°でそれぞれ交差する分散光を放射す
る１対の線状光放射要素１７ａ，１７ｂと、投光部１２
の光放射要素１７ａ，１７ｂ間に被検査面１４とは反対
側に設けられた該被検査面１４を撮影するカメラの光軸
が通る貫通孔１５とを備えており、これによって、両方
の分散光が加わり照明される被照明領域Ｑの照度は均一
なものとなり、被照明領域Ｑ内に置かれた被検査面１４
に対して解像度の高い照明が行われる。
の高い照明を行うことができ、被検査面の状況が正確に
把握できる照明装置を提供する。 【解決手段】 半導体素子１３の被検査面１４を照明す
るよう所定距離ｈを設けて配置された投光部１２と、こ
の投光部１２に被検査面１４に対して平行であり、かつ
互いに平行となるよう離間して設けられると共に光軸Ｌ
ａ，Ｌｂが被検査面１４の前方の交差位置Ｐで、中心軸
Ｍに角度α＝３５°でそれぞれ交差する分散光を放射す
る１対の線状光放射要素１７ａ，１７ｂと、投光部１２
の光放射要素１７ａ，１７ｂ間に被検査面１４とは反対
側に設けられた該被検査面１４を撮影するカメラの光軸
が通る貫通孔１５とを備えており、これによって、両方
の分散光が加わり照明される被照明領域Ｑの照度は均一
なものとなり、被照明領域Ｑ内に置かれた被検査面１４
に対して解像度の高い照明が行われる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体装置
の被検査面を検査する際に用いられる照明装置に関す
る。
の被検査面を検査する際に用いられる照明装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置の製造過程における検
査等に用いられる照明装置としては、次のようなものが
用いられていた。以下、外観検査装置における第１乃至
第４の従来例を図７により説明する。先ず、図７（ａ）
に示す第１の従来例において、１は検査対象物で、その
被検査面２の直上方に例えば検査用カメラ３が配置さ
れ、また、被検査面２の直上から角度θだけ外れた上方
に照明装置４が配置されている。この照明装置４はレン
ズ電球により構成されたものとなっている。そして、照
明装置４により照明された被検査面２の映像が検査用カ
メラ３により撮影され、検査用カメラ３により得られた
被検査面２の映像が図示しない検査・監視装置に伝送さ
れ検査、監視が行われるようになっている。
査等に用いられる照明装置としては、次のようなものが
用いられていた。以下、外観検査装置における第１乃至
第４の従来例を図７により説明する。先ず、図７（ａ）
に示す第１の従来例において、１は検査対象物で、その
被検査面２の直上方に例えば検査用カメラ３が配置さ
れ、また、被検査面２の直上から角度θだけ外れた上方
に照明装置４が配置されている。この照明装置４はレン
ズ電球により構成されたものとなっている。そして、照
明装置４により照明された被検査面２の映像が検査用カ
メラ３により撮影され、検査用カメラ３により得られた
被検査面２の映像が図示しない検査・監視装置に伝送さ
れ検査、監視が行われるようになっている。
【０００３】しかし、このような照明装置４で半導体素
子を検査し、良否の判定を行った場合、本発明のものの
評価を示す図６に比較して示すように、照明装置４の光
軸が角度θ＝３５°となる位置にある時には、リードエ
ンボス影、樹脂面、文字、ピンホールの各判定を行うこ
とができるものの特に良好に行えるものではなく、検査
・判定を行う際の作業性のみが良好である。一方、角度
θ＝４５°となる位置にある時には文字やピンホールの
判定は良好に行えるが、リードがエンボス影で判定が行
えず、他については各判定を行うことができるものの良
好に行えるものではない状態となっている。
子を検査し、良否の判定を行った場合、本発明のものの
評価を示す図６に比較して示すように、照明装置４の光
軸が角度θ＝３５°となる位置にある時には、リードエ
ンボス影、樹脂面、文字、ピンホールの各判定を行うこ
とができるものの特に良好に行えるものではなく、検査
・判定を行う際の作業性のみが良好である。一方、角度
θ＝４５°となる位置にある時には文字やピンホールの
判定は良好に行えるが、リードがエンボス影で判定が行
えず、他については各判定を行うことができるものの良
好に行えるものではない状態となっている。
【０００４】また、図７（ｂ）に示す第２の従来例にお
いて、検査対象物１の被検査面２に対し、その上方に照
明装置５が配置されている。この照明装置５は図示しな
いが多数本の光ファイバの片端面を円形リング状に配置
し、ハロゲン電球等でなる光源からの光を光ファイバの
他端面から導入し片端面へと伝達するように構成されて
いる。そして、円形リング状に配置された光ファイバの
片端面から被検査面２に光が、被検査面２に直交する方
向から光軸が角度θずれた方向から放射される。
いて、検査対象物１の被検査面２に対し、その上方に照
明装置５が配置されている。この照明装置５は図示しな
いが多数本の光ファイバの片端面を円形リング状に配置
し、ハロゲン電球等でなる光源からの光を光ファイバの
他端面から導入し片端面へと伝達するように構成されて
いる。そして、円形リング状に配置された光ファイバの
片端面から被検査面２に光が、被検査面２に直交する方
向から光軸が角度θずれた方向から放射される。
【０００５】しかし、このような照明装置５で半導体素
子を検査し、良否の判定を行った場合、図６に同様に示
すように、照明装置５が角度θ＝１０°となるように光
を放射する場合には、リードエンボス影、樹脂面の各判
定が良好に行えると共に、検査・判定を行う際の作業性
が良好であるが、文字、ピンホールの各判定を行うこと
ができない。一方、角度θ＝２０°となるように光を放
射する場合には、リードエンボス影、樹脂面の各判定が
良好に行えるが、文字、ピンホールの各判定を行うこと
ができるものの特に良好に行えるものではなく、また検
査・判定を行う際の作業性についても、判定作業を行う
ことができるものの特に良好に行えるものではない。
子を検査し、良否の判定を行った場合、図６に同様に示
すように、照明装置５が角度θ＝１０°となるように光
を放射する場合には、リードエンボス影、樹脂面の各判
定が良好に行えると共に、検査・判定を行う際の作業性
が良好であるが、文字、ピンホールの各判定を行うこと
ができない。一方、角度θ＝２０°となるように光を放
射する場合には、リードエンボス影、樹脂面の各判定が
良好に行えるが、文字、ピンホールの各判定を行うこと
ができるものの特に良好に行えるものではなく、また検
査・判定を行う際の作業性についても、判定作業を行う
ことができるものの特に良好に行えるものではない。
【０００６】さらに、図７（ｃ）に示す第３の従来例に
おいて、検査対象物１の被検査面２に対し、その上方に
照明装置６が配置されている。この照明装置６は図示し
ないが多数本の光ファイバの片端面を方形リング状に配
置し、ハロゲン電球等でなる光源からの光を光ファイバ
の他端面から導入し片端面へと伝達するように構成され
ている。そして、方形リング状に配置された光ファイバ
の片端面から被検査面２に光が、被検査面２に直交する
方向から光軸が角度θずれた方向から放射される。
おいて、検査対象物１の被検査面２に対し、その上方に
照明装置６が配置されている。この照明装置６は図示し
ないが多数本の光ファイバの片端面を方形リング状に配
置し、ハロゲン電球等でなる光源からの光を光ファイバ
の他端面から導入し片端面へと伝達するように構成され
ている。そして、方形リング状に配置された光ファイバ
の片端面から被検査面２に光が、被検査面２に直交する
方向から光軸が角度θずれた方向から放射される。
【０００７】しかし、このような照明装置６で半導体素
子を検査し、良否の判定を行った場合、図６に同様に示
すように、照明装置６からは光が被検査面２に角度θ＝
４５°となるように放射される。そして、この場合に
は、文字の判定が良好に行えると共に、検査・判定を行
う際の作業性が良好であるが、ピンホールの判定を行う
ことができるものの特に良好に行えるものではなく、ま
たリードエンボス影、樹脂面の各判定を行うことができ
ない。
子を検査し、良否の判定を行った場合、図６に同様に示
すように、照明装置６からは光が被検査面２に角度θ＝
４５°となるように放射される。そして、この場合に
は、文字の判定が良好に行えると共に、検査・判定を行
う際の作業性が良好であるが、ピンホールの判定を行う
ことができるものの特に良好に行えるものではなく、ま
たリードエンボス影、樹脂面の各判定を行うことができ
ない。
【０００８】さらに、図７（ｄ）に示す第４の従来例に
おいて、検査対象物１の被検査面２に対し、その上方に
照明装置７が配置されている。この照明装置７は図示し
ないが多数本の光ファイバの片端面を方形リング状に配
置し、ハロゲン電球等でなる光源からの光を光ファイバ
の他端面から導入し片端面へと伝達するように構成され
ている。そして、方形リング状に配置された光ファイバ
の片端面から被検査面２に光が、被検査面２に光軸が直
交するよう放射される。
おいて、検査対象物１の被検査面２に対し、その上方に
照明装置７が配置されている。この照明装置７は図示し
ないが多数本の光ファイバの片端面を方形リング状に配
置し、ハロゲン電球等でなる光源からの光を光ファイバ
の他端面から導入し片端面へと伝達するように構成され
ている。そして、方形リング状に配置された光ファイバ
の片端面から被検査面２に光が、被検査面２に光軸が直
交するよう放射される。
【０００９】しかし、このような照明装置７で半導体素
子を検査し、良否の判定を行った場合、図６に同様に示
すように、照明装置７からは光が被検査面２に垂直に放
射される。そして、この場合には、樹脂面の判定が良好
に行えると共に、検査・判定を行う際の作業性が良好で
あるが、文字、ピンホールの判定を行うことができるも
のの特に良好に行えるものではなく、またエンボス影に
よりリードの判定を行おうとした場合には、外観検査装
置に照明装置を取り付けるのが困難なものとなってしま
う。
子を検査し、良否の判定を行った場合、図６に同様に示
すように、照明装置７からは光が被検査面２に垂直に放
射される。そして、この場合には、樹脂面の判定が良好
に行えると共に、検査・判定を行う際の作業性が良好で
あるが、文字、ピンホールの判定を行うことができるも
のの特に良好に行えるものではなく、またエンボス影に
よりリードの判定を行おうとした場合には、外観検査装
置に照明装置を取り付けるのが困難なものとなってしま
う。
【００１０】このように従来の照明装置４，５，６，７
では、凹凸がある被検査面２の検査を行うのに、明るさ
のむらや境界部分のシャープな像、明確な陰影等を得る
ことができず、解像度が低くて被検査面２の状況を正確
に把握するためには不十分なものであった。
では、凹凸がある被検査面２の検査を行うのに、明るさ
のむらや境界部分のシャープな像、明確な陰影等を得る
ことができず、解像度が低くて被検査面２の状況を正確
に把握するためには不十分なものであった。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記のような状況に鑑
みて本発明はなされたもので、その目的とするところは
凹凸がある被検査面の検査を行う際、解像度の高い照明
を行うことができて被検査面の状況を正確に把握するこ
とができるようにした照明装置を提供することにある。
みて本発明はなされたもので、その目的とするところは
凹凸がある被検査面の検査を行う際、解像度の高い照明
を行うことができて被検査面の状況を正確に把握するこ
とができるようにした照明装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の照明装置は、面
状の所定被照明領域を照明するよう該被照明領域に対し
所定距離を設けて配置された投光部と、この投光部に被
照明領域に対して平行であり、かつ互いに平行となるよ
う離間して設けられた１対の直線状光放射要素とを備え
ると共に、光放射要素は被照明領域から等距離に設けら
れ、かつ互いの光軸が被照明領域の前方で交差するもの
であることを特徴とするものであり、さらに、対をなす
光放射要素の各光軸の交差位置が、被照明領域の中心部
分を通る垂直軸上にあることを特徴とするものであり、
さらに、対をなす光放射要素は、互いの放射強度が略等
しくなっていることを特徴とするものであり、さらに、
光放射要素が、直線状に並べた多数本の光ファイバの片
端面によりなると共に、光ファイバの他端面が光源に対
し光を導入するよう配置されていることを特徴とするも
のであり、また、被検査物の被検査面を照明するよう所
定距離を設けて配置された投光部と、この投光部に被検
査面に対して平行であり、かつ互いに平行となるよう離
間して設けられると共に光軸が被検査面の前方で交差す
る１対の線状光放射要素と、投光部の光放射要素間に被
検査面とは反対側に設けられた該被検査面を撮影するカ
メラの光軸が通る貫通孔とを備えていることを特徴とす
るものである。
状の所定被照明領域を照明するよう該被照明領域に対し
所定距離を設けて配置された投光部と、この投光部に被
照明領域に対して平行であり、かつ互いに平行となるよ
う離間して設けられた１対の直線状光放射要素とを備え
ると共に、光放射要素は被照明領域から等距離に設けら
れ、かつ互いの光軸が被照明領域の前方で交差するもの
であることを特徴とするものであり、さらに、対をなす
光放射要素の各光軸の交差位置が、被照明領域の中心部
分を通る垂直軸上にあることを特徴とするものであり、
さらに、対をなす光放射要素は、互いの放射強度が略等
しくなっていることを特徴とするものであり、さらに、
光放射要素が、直線状に並べた多数本の光ファイバの片
端面によりなると共に、光ファイバの他端面が光源に対
し光を導入するよう配置されていることを特徴とするも
のであり、また、被検査物の被検査面を照明するよう所
定距離を設けて配置された投光部と、この投光部に被検
査面に対して平行であり、かつ互いに平行となるよう離
間して設けられると共に光軸が被検査面の前方で交差す
る１対の線状光放射要素と、投光部の光放射要素間に被
検査面とは反対側に設けられた該被検査面を撮影するカ
メラの光軸が通る貫通孔とを備えていることを特徴とす
るものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図６を参照して説明する。図１は使用状態を示す斜
視図であり、図２は要部の正面図であり、図３は照度分
布を示す図で、図３（ａ）は横方向からの照度分布、図
３（ｂ）は上方からの照度分布であり、図４は要部の側
面図であり、図５は下方から見た要部の平面図であり、
図６は検査対象別の評価を示す図である。
乃至図６を参照して説明する。図１は使用状態を示す斜
視図であり、図２は要部の正面図であり、図３は照度分
布を示す図で、図３（ａ）は横方向からの照度分布、図
３（ｂ）は上方からの照度分布であり、図４は要部の側
面図であり、図５は下方から見た要部の平面図であり、
図６は検査対象別の評価を示す図である。
【００１４】図１乃至図６において、１１は照明装置
で、投光部１２と、これを所定の高さ位置に保持する図
示しない支持部材とで構成されている。そして、投光部
１２は、図示しないがハロゲン電球等でなる光源からの
光が多数本の光ファイバを通じて伝達され、直下の所定
の距離ｈ、例えばｈ＝２５ｍｍだけ下方に置かれた被検
査対象物の半導体素子１３上面である（１．５ｍｍ×
１．５ｍｍ）〜（３ｍｍ×３ｍｍ）程度の寸法の方形状
の被検査面１４を照明するようになっている。また投光
部１２は、中央部分に上下方向に貫通する直径１６ｍｍ
の貫通孔１５が形成された本体ケース１６に、多数本の
光ファイバの片端面を直線上に配列してなる被検査面１
４よりも大寸法の長さ１０ｍｍの１対の光放射要素１７
ａ，１７ｂを、互いに貫通孔１５を間に２５ｍｍの離間
寸法をもって挟み、本体ケース１６の中心から等距離と
なる位置に平行に配列されるようにして構成されてい
る。
で、投光部１２と、これを所定の高さ位置に保持する図
示しない支持部材とで構成されている。そして、投光部
１２は、図示しないがハロゲン電球等でなる光源からの
光が多数本の光ファイバを通じて伝達され、直下の所定
の距離ｈ、例えばｈ＝２５ｍｍだけ下方に置かれた被検
査対象物の半導体素子１３上面である（１．５ｍｍ×
１．５ｍｍ）〜（３ｍｍ×３ｍｍ）程度の寸法の方形状
の被検査面１４を照明するようになっている。また投光
部１２は、中央部分に上下方向に貫通する直径１６ｍｍ
の貫通孔１５が形成された本体ケース１６に、多数本の
光ファイバの片端面を直線上に配列してなる被検査面１
４よりも大寸法の長さ１０ｍｍの１対の光放射要素１７
ａ，１７ｂを、互いに貫通孔１５を間に２５ｍｍの離間
寸法をもって挟み、本体ケース１６の中心から等距離と
なる位置に平行に配列されるようにして構成されてい
る。
【００１５】さらに、本体ケース１６の下面側に備えら
れ、直下に置かれた被検査面１４に光を放射し照明する
光放射要素１７ａ，１７ｂは、その光軸Ｌａ，Ｌｂが被
検査面１４に垂直な本体ケース１６の中心軸Ｍに対して
角度α＝３５°で交差するよう設けられており、互いの
光軸Ｌａ，Ｌｂも中心軸Ｍとの交差位置Ｐで交差する。
なお、光放射要素１７ａ，１７ｂから放射される光は図
２に示すように分散光であり、その分散する片方側の角
度βは、β＝３４°となっている。そして、光軸Ｌａ，
Ｌｂが中心軸Ｍに交差する交差位置Ｐは、被検査面１４
の上方であり、また被検査面１４には各光放射要素１７
ａ，１７ｂからの分散光のそれぞれの光軸Ｌａ，Ｌｂが
交差しておらず、図２に示すように分散光の内の片方側
の範囲の光が当たるようになっている。
れ、直下に置かれた被検査面１４に光を放射し照明する
光放射要素１７ａ，１７ｂは、その光軸Ｌａ，Ｌｂが被
検査面１４に垂直な本体ケース１６の中心軸Ｍに対して
角度α＝３５°で交差するよう設けられており、互いの
光軸Ｌａ，Ｌｂも中心軸Ｍとの交差位置Ｐで交差する。
なお、光放射要素１７ａ，１７ｂから放射される光は図
２に示すように分散光であり、その分散する片方側の角
度βは、β＝３４°となっている。そして、光軸Ｌａ，
Ｌｂが中心軸Ｍに交差する交差位置Ｐは、被検査面１４
の上方であり、また被検査面１４には各光放射要素１７
ａ，１７ｂからの分散光のそれぞれの光軸Ｌａ，Ｌｂが
交差しておらず、図２に示すように分散光の内の片方側
の範囲の光が当たるようになっている。
【００１６】また、１８は光ケーブルで、その片端が本
体ケース１６に接続され、他端に設けられた光コネクタ
１９を光源の設けられた図示しない光源部に接続するこ
とによって、光源からの光が光ファイバの他端面に導入
され、光ファイバの長さを同じ長さとすることで光放射
要素１７ａ，１７ｂに放射強度が等しくるよう光を伝達
する。さらに、２０は被検査面１４を撮影するカメラ
で、本体ケース１６の中央部分に形成された貫通孔１５
の上方、本体ケース１６の中心軸Ｍにカメラ２０自身の
光軸を一致させるように配置され、撮影時にはカメラ２
０の直下に被検査面１４が配置される。
体ケース１６に接続され、他端に設けられた光コネクタ
１９を光源の設けられた図示しない光源部に接続するこ
とによって、光源からの光が光ファイバの他端面に導入
され、光ファイバの長さを同じ長さとすることで光放射
要素１７ａ，１７ｂに放射強度が等しくるよう光を伝達
する。さらに、２０は被検査面１４を撮影するカメラ
で、本体ケース１６の中央部分に形成された貫通孔１５
の上方、本体ケース１６の中心軸Ｍにカメラ２０自身の
光軸を一致させるように配置され、撮影時にはカメラ２
０の直下に被検査面１４が配置される。
【００１７】このように構成されているので、各光放射
要素１７ａ，１７ｂから放射される分散光の被検査面１
４と同一平面における照度分布Ｒａ，Ｒｂは、横方向か
らの分布が図３（ａ）に示す通りであり、上方からの分
布が図３（ｂ）に示す通りである。すなわち、２つの光
放射要素１７ａ，１７ｂからの分散光が互いに加わるこ
とによって、被検査面１４が配置されている所定の被照
明領域Ｑの面内での照度分布Ｒは、該当領域内で均一な
ものとなる。なお、Ｒは各光放射要素１７ａ，１７ｂの
分散光による照度分布Ｒａ，Ｒｂを加え合わせることで
得られる。そして、この均一照度の照明がなされている
被照明領域Ｑの面内に被検査対象物の半導体素子１３の
被検査面１４を配置し、カメラ２０を通して被検査面１
４を検査した場合の評価状況は、図６の本発明欄に示す
ようになっている。被検査面１４の評価は、リードエン
ボス影、樹脂面、文字、ピンホール、さらに検査・判定
を行う際の作業性の各判定項目について行ったところ、
全ての項目について良好との結果を得た。
要素１７ａ，１７ｂから放射される分散光の被検査面１
４と同一平面における照度分布Ｒａ，Ｒｂは、横方向か
らの分布が図３（ａ）に示す通りであり、上方からの分
布が図３（ｂ）に示す通りである。すなわち、２つの光
放射要素１７ａ，１７ｂからの分散光が互いに加わるこ
とによって、被検査面１４が配置されている所定の被照
明領域Ｑの面内での照度分布Ｒは、該当領域内で均一な
ものとなる。なお、Ｒは各光放射要素１７ａ，１７ｂの
分散光による照度分布Ｒａ，Ｒｂを加え合わせることで
得られる。そして、この均一照度の照明がなされている
被照明領域Ｑの面内に被検査対象物の半導体素子１３の
被検査面１４を配置し、カメラ２０を通して被検査面１
４を検査した場合の評価状況は、図６の本発明欄に示す
ようになっている。被検査面１４の評価は、リードエン
ボス影、樹脂面、文字、ピンホール、さらに検査・判定
を行う際の作業性の各判定項目について行ったところ、
全ての項目について良好との結果を得た。
【００１８】このため、上記構成のものによれば、凹凸
がある半導体素子１３の被検査面１４の検査や不良点の
有無の監視を行う際にも、被検査面１４における照度が
均一となり明るさのむらがなくなって解像度が向上す
る。そして、境界部分がシャープな像、明確な陰影等が
得られることから樹脂面に生じるピンホールや傷などを
確実に見出だすことができ、被検査面１４の状況を正確
かつ確実に把握することができる。
がある半導体素子１３の被検査面１４の検査や不良点の
有無の監視を行う際にも、被検査面１４における照度が
均一となり明るさのむらがなくなって解像度が向上す
る。そして、境界部分がシャープな像、明確な陰影等が
得られることから樹脂面に生じるピンホールや傷などを
確実に見出だすことができ、被検査面１４の状況を正確
かつ確実に把握することができる。
【００１９】なお、上記の実施形態においては、半導体
素子１３の３ｍｍ×３ｍｍ程度までの寸法の被検査面１
４を照明するようにしているが、被検査面の寸法が大き
くなるにしたがい、例えば被検査面の寸法が６ｍｍ×６
ｍｍ程度の場合には、対をなす光放射要素の離間寸法を
３５ｍｍ、また被検査面から光放射要素が設けられた位
置までの高さである距離ｈを離間寸法と同じ寸法となる
ようｈ＝３５ｍｍと設定し、また、さらに被検査面の寸
法が大きい寸法の場合には、例えば対をなす光放射要素
の離間寸法を４５ｍｍ、また被検査面から光放射要素が
設けられた位置までの高さである距離ｈを離間寸法と同
じ寸法となるようｈ＝４５ｍｍと設定することによっ
て、それぞれの場合においても上記実施形態と同様の効
果を得ることができる。
素子１３の３ｍｍ×３ｍｍ程度までの寸法の被検査面１
４を照明するようにしているが、被検査面の寸法が大き
くなるにしたがい、例えば被検査面の寸法が６ｍｍ×６
ｍｍ程度の場合には、対をなす光放射要素の離間寸法を
３５ｍｍ、また被検査面から光放射要素が設けられた位
置までの高さである距離ｈを離間寸法と同じ寸法となる
ようｈ＝３５ｍｍと設定し、また、さらに被検査面の寸
法が大きい寸法の場合には、例えば対をなす光放射要素
の離間寸法を４５ｍｍ、また被検査面から光放射要素が
設けられた位置までの高さである距離ｈを離間寸法と同
じ寸法となるようｈ＝４５ｍｍと設定することによっ
て、それぞれの場合においても上記実施形態と同様の効
果を得ることができる。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、所定の大きさの被照明領域に対し均一な照度
が得られるような照明を行うことができ、また凹凸があ
る被検査面の検査を行う際にも解像度の高い照明を行う
ことができ、被検査面の状況が正確に把握できる等の効
果を奏する。
によれば、所定の大きさの被照明領域に対し均一な照度
が得られるような照明を行うことができ、また凹凸があ
る被検査面の検査を行う際にも解像度の高い照明を行う
ことができ、被検査面の状況が正確に把握できる等の効
果を奏する。
【図１】本発明の一実施形態の使用状態を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】本発明の一実施形態を示す要部の正面図であ
る。
る。
【図３】本発明の一実施形態による照度分布を示す図
で、図３（ａ）は横方向からの照度分布、図３（ｂ）は
上方からの照度分布である。
で、図３（ａ）は横方向からの照度分布、図３（ｂ）は
上方からの照度分布である。
【図４】本発明の一実施形態の要部の側面図である。
【図５】本発明の一実施形態における下方から見た要部
の平面図である。
の平面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る検査対象別の評価を
示す図である。
示す図である。
【図７】従来例を示す図で、図７（ａ）は第１の従来例
の概略の斜視図、図７（ｂ）は第２の従来例の概略の斜
視図、図７（ｃ）は第３の従来例の概略の斜視図、図７
（ｄ）は第４の従来例の概略の斜視図である。
の概略の斜視図、図７（ｂ）は第２の従来例の概略の斜
視図、図７（ｃ）は第３の従来例の概略の斜視図、図７
（ｄ）は第４の従来例の概略の斜視図である。
１２…投光部 １３…半導体素子 １４…被検査面 １５…貫通孔 １６…本体ケース １７ａ，１７ｂ…光放射要素 ２０…カメラ Ｌａ，Ｌｂ…光軸 Ｍ…中心軸 Ｐ…交差位置 Ｑ…被照明領域 Ｒ，Ｒａ，Ｒｂ…照度分布
Claims (5)
- 【請求項１】 面状の所定被照明領域を照明するよう該
被照明領域に対し所定距離を設けて配置された投光部
と、この投光部に前記被照明領域に対して平行であり、
かつ互いに平行となるよう離間して設けられた１対の直
線状光放射要素とを備えると共に、前記光放射要素は前
記被照明領域から等距離に設けられ、かつ互いの光軸が
前記被照明領域の前方で交差するものであることを特徴
とする照明装置。 - 【請求項２】 対をなす光放射要素の各光軸の交差位置
が、被照明領域の中心部分を通る垂直軸上にあることを
特徴とする請求項１記載の照明装置。 - 【請求項３】 対をなす光放射要素は、互いの放射強度
が略等しくなっていることを特徴とする請求項１記載の
照明装置。 - 【請求項４】 光放射要素が、直線状に並べた多数本の
光ファイバの片端面によりなると共に、前記光ファイバ
の他端面が光源に対し光を導入するよう配置されている
ことを特徴とする請求項１記載の照明装置。 - 【請求項５】 被検査物の被検査面を照明するよう所定
距離を設けて配置された投光部と、この投光部に前記被
検査面に対して平行であり、かつ互いに平行となるよう
離間して設けられると共に光軸が前記被検査面の前方で
交差する１対の線状光放射要素と、前記投光部の前記光
放射要素間に前記被検査面とは反対側に設けられた該被
検査面を撮影するカメラの光軸が通る貫通孔とを備えて
いることを特徴とする照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6573698A JPH11258173A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | 照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6573698A JPH11258173A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | 照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11258173A true JPH11258173A (ja) | 1999-09-24 |
Family
ID=13295613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6573698A Pending JPH11258173A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | 照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11258173A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020015517A (ko) * | 2000-08-22 | 2002-02-28 | 박원재 | 용기의 캡핑 검사방법 |
| JPWO2016151778A1 (ja) * | 2015-03-24 | 2018-01-11 | 大塚電子株式会社 | 分光輝度計の校正に用いる基準光源装置及びそれを用いる校正方法 |
-
1998
- 1998-03-16 JP JP6573698A patent/JPH11258173A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020015517A (ko) * | 2000-08-22 | 2002-02-28 | 박원재 | 용기의 캡핑 검사방법 |
| JPWO2016151778A1 (ja) * | 2015-03-24 | 2018-01-11 | 大塚電子株式会社 | 分光輝度計の校正に用いる基準光源装置及びそれを用いる校正方法 |
| US10330530B2 (en) | 2015-03-24 | 2019-06-25 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Reference light source device used for calibration of spectral luminance meter and calibration method using same |
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