JPH11258544A - 光強度変換素子及び光学装置及び光ディスク装置 - Google Patents

光強度変換素子及び光学装置及び光ディスク装置

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JPH11258544A
JPH11258544A JP10057003A JP5700398A JPH11258544A JP H11258544 A JPH11258544 A JP H11258544A JP 10057003 A JP10057003 A JP 10057003A JP 5700398 A JP5700398 A JP 5700398A JP H11258544 A JPH11258544 A JP H11258544A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光強度変換素子及びそのような光強度変換素
子を用いた光学装置及び光ディスク装置に関し、簡単な
構成で、薄型で、光強度分布を変換して出射することが
できるようにすることを目的とする。 【解決手段】 中心軸線12と、該中心軸線に対して横
方向に延びる第1の曲面表面16と、該中心軸線に対し
て横方向に延びる第2の曲面表面18と、該第1の曲面
表面と該第2の曲面表面との間に延びる外周面20とを
有するボディ14を備え、該第1の曲面表面から入射し
た入射光が、該第1の曲面表面から該ボディに入射する
ときの屈折により、該ボディ内の一部の領域においては
発散し、該ボディ内の他の領域においては収束し、入射
光の光強度分布とは異なった光強度分布として該第2の
曲面表面から出射するようにした構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は入射光の光強度分布
を変換して出射することのできる光強度変換素子及びそ
のような光強度変換素子を用いた光学装置及び光ディス
ク装置に関する。本発明は、光軸に垂直な方向に光強度
分布をもつレーザ光を、所定開口内で波面強度が均一な
レーザ光に変換し、且つ透過波面収差(RMS)を0.
07λ以下にすることで、各種分野におけるレーザ光処
理系、顕微鏡型光学系、情報記録媒体光学系においてビ
ーム径とビーム形状の改善をすることが出来る光学素子
を提供するものである。
【0002】
【従来の技術】従来ビーム強度分布を変更する方法とし
て、回折効率を場所毎に変えた回折格子や、強度分布と
反比例の関係にある透過分布をもつ濃度フィルタや、ビ
ーム強度分布が小さい領域を取り出すためにスリットな
どが用いられてきた。また、ハーフミラーなどでレーザ
光を重ね合わせたり、回折格子などで2次光源を発生さ
せる方法、プリズムなどの屈折で内側と外側で強度分布
を入れ換える方法、ズームレンズで焦点ボケを利用する
方法など多くの方法が提案されている。
【0003】例えば特開平3−75612号公報及び特
開平3−92815号公報は、それぞれが2枚のレンズ
により構成された第1群及び第2群のレンズを用いて、
ガウス型強度分布をもつ入射光をほぼ均一な強度分布と
して出射させることを開示している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述した回折格子や、
濃度フィルタや、スリットなどの方法では、原理上光利
用効率を100パーセントにすることができず、必ず光
量損がある。またレーザの重ね合わせ方法や、2次光源
を発生させる方法では、波面収差が発生し、回折限界ま
で絞ることができない。
【0005】また、屈折を用いる方法でも、内側と外側
で光線光路を交差させているため、光線光路長が異な
り、波面収差が発生してしまう。またズームレンズを利
用する方法では波面収差を大きくすることで強度を均一
にしている。また、特開平3−75612号公報及び特
開平3−92815号公報に記載された従来技術では、
最低4個のレンズを用い、しかもズーミングを行ってい
る。
【0006】従って、これまではビームスポット径を絞
ることより、ビームスポットの強度分布を一定にするこ
とに重点があった。そのためレーザ加工機などのような
数μm程度のスポット径でよく光量損失も問題にならな
いものでは上記方法が利用できた。しかし、出力が弱い
光源を用いた情報記録媒体の読取り光学系などでは、波
面収差と光利用効率から利用できなかった。
【0007】本発明の目的は、簡単な構成で、薄型で、
光強度分布を変換して出射することのできる光強度変換
素子及びそのような光強度変換素子を用いた光学装置及
び光ディスク装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明による光強度変換
素子は、中心軸線と、該中心軸線に対して横方向に延び
る第1の曲面表面と、該中心軸線に対して横方向に延び
る第2の曲面表面と、該第1の曲面表面と該第2の曲面
表面との間に延びる外周面とを有するボディを備え、該
第1の曲面表面から入射した入射光が、該第1の曲面表
面から該ボディに入射するときの屈折により、該ボディ
内の一部の領域においては発散し、該ボディ内の他の領
域においては収束し、入射光の光強度分布とは異なった
光強度分布として該第2の曲面表面から出射するように
したことを特徴とするものである。
【0009】この光強度変換素子はかなり薄い単体のボ
ディで形成されることができ、しかも入射光の光強度分
布を均一な光強度分布に確実に変換することができるも
のである。好ましくは、該第1の曲面表面から入射した
入射光が、該ボディ内の該中心軸線のまわりの中心領域
においては発散し、該ボディ内の周辺領域においては収
束するようにした。
【0010】好ましくは、該第1及び第2の曲面表面に
おいて、傾きが増大から減少又は減少から増大に転じる
点の傾き量と最周辺部の傾き量の符号が互いに逆で絶対
値がほぼ同じである。好ましくは、該ボディの厚さが入
射光に対する出射光の波面収差のRMS値が0.07λ
以下にする厚さである。
【0011】好ましくは、光軸から任意の距離(r1
にある入射点(A)を通る光線が出射する出射点(B)
の光軸からの距離(r2 )を、光軸から前記任意の距離
(r 1 )までの範囲にある入射側の光量P1 を入射光の
全光量を出射光の所定の面積で割って得た強度Iで割る
ことで求め、そして、入射点(A)と出射点(B)の直
線距離(L)を仮に与えることで、入射点(A)を通る
光線の偏向方向を決め、屈折の法則から入射点(A)と
出射点(B)点を通る面の傾きを決め、こうして決めた
入射点(A)と出射点(B)点を通る面の傾きを該中心
軸線からの半径方向の距離で積分することで入射側と出
射側の曲面を決め、次に入射側の曲面と各任意の距離
(r1 )での偏向方向と仮に決めた距離(L)より出射
側の曲面を求め、積分による出射側の曲面と入射面から
求めた出射側の曲面が一致するように各任意の距離(r
1 )毎の距離(L)を変更し、再度入出射面の傾きを求
め直すことを繰り返し、距離(L)を収束させる、該ボ
ディの第1及び第2の曲面表面の形状が以上のようにし
て決定されたものである。
【0012】本発明はさらに上記光強度変換素子を用い
て構成された光学装置及び光ディスク装置を提供する。
【0013】
【発明の実施の形態】図1及び図2は本発明の第1実施
例の光強度変換素子10を示す断面図である。図1は光
強度変換素子10を示す断面図であり、図2は光強度変
換素子10を示す正面図である。さらに、図1は光強度
変換素子10を通る多数の光線の光路を示している。光
線の光路から分かるように、光強度変換素子10は、ガ
ウス型光強度分布を有する平行光を均一な強度分布を有
する平行光に変換する。
【0014】図3は図1及び図2の光強度変換素子10
を含む光学装置50を示している。この光学装置50
は、レーザ光源52と、コリメートレンズ54と、光強
度変換素子10と、対物レンズ56とを備えている。レ
ーザ光源52は典型的にガウス型光強度分布を有する発
散光を出射する。レーザ光源52から放射されたレーザ
光は、コリメートレンズ54によってガウス型光強度分
布を有する平行光になる。ガウス型光強度分布を有する
平行光は光強度変換素子10によって均一な強度分布を
有する平行光に変換され、対物レンズ56によって絞ら
れて対象物58に入射する。
【0015】光学装置50の一例はレーザ光によって対
象物58の切削加工を行うことのできるレーザ加工装置
である。本発明では、光強度変換素子10はガウス型光
強度分布を有する平行光を均一な強度分布を有する平行
光に変換することができ、均一な強度分布を有する平行
光は対物レンズ56によってより小さな光のスポットに
絞られることができる。従って、光学装置50をレーザ
加工装置よりもより絞られたレーザ光を必要とする光学
装置、好ましくは、光ディスク装置や顕微鏡装置等に使
用可能である。
【0016】図1及び図2において、光強度変換素子1
0は、中心軸線12を有する透明なボディ14からな
る。ボディ14は等方性屈折率を有する透明な材料(例
えばガラス)で作られている。ボディ14は、中心軸線
12に対して横方向に延びる第1の曲面表面16と、第
1の曲面表面16の反対側にあって同様に中心軸線12
に対して横方向に延びる第2の曲面表面18と、第1の
曲面表面16と第2の曲面表面18との間に延びる円筒
外周面20とを有する。この光強度変換素子10は、ガ
ウス型光強度分布を有する平行光が、第1の曲面表面1
6からボディ14に入射するように形成されている。ボ
ディ14を通過した光は第2の曲面表面18から出射す
る。
【0017】光強度変換素子10は、第1の曲面表面1
6に入射した入射光が、屈折により、ボディ14内の一
部の領域においては発散し、ボディ14内の他の領域に
おいては収束し、それによって入射光の光強度分布とは
異なった光強度分布として第2の曲面表面18から出射
するように構成されている。光線の光路は互いに交わら
ないようになっている。
【0018】より詳細は、領域Zにおいては、光強度変
換素子10を通る光線の光路は互いに平行に延びてい
る。領域Zの内側の中心領域Xにおいては光線が発散
し、そして、領域Zの外側の周辺領域Yにおいては光線
が収束するようになっている。従って、図1の左端部に
示されるガウス型光強度分布のうち、中心部にある強度
の高い光線は光強度変換素子10を通ることにより発散
して光強度変換素子10を出射するときに強度が低くな
り、ガウス型光強度分布のうち、周辺部にある強度の低
い光線は光強度変換素子10を通ることにより収束して
強度が高くなる。こうして、ガウス型光強度分布を有す
る入射光は光強度変換素子10によって全体として均一
な光強度分布をもつ出射光に変換される。
【0019】ボディ14は、中心軸線12を中心とする
回転対称形状に形成される。例えば、ボディ14の第1
の曲面表面16はリング状に隆起した部分Pを有する。
このリング状に隆起した部分Pは中心軸線12を中心と
する円上にある。第1の曲面表面16のリング状に隆起
した部分Pの内側及び外側には、同心円状に窪んだ部分
がある。第2の曲面表面18は、ラフには第1の曲面表
面16と類似した形状を有し、第1の曲面表面16が隆
起している部位では第2の曲面表面18は窪んでいる。
第2の曲面表面18は第1の曲面表面16とは正確には
対応しない。
【0020】この実施例では、光強度変換素子10は、
入射口径w1 で入射するガウス型光強度分布の入射光
を、出射口径w2 で均一な光強度分布で出射する出射光
に変換するようになっている。入射口径w1 >出射口径
2 の関係がある。図1の実施例では、w1 は4.0m
m、w2 は3.4mm、後で説明するL0 は1.5mm
であった。
【0021】次に、光強度変換素子10の製造方法につ
いて図1及び図4を参照して説明する。ここで、ガウス
型光強度分布を有する入射光の全光量をP、均一な光強
度分布を有する出射光の光強度をI2 とする。入射する
光量と出射する光量とが不変であるので、出射光の光強
度I2 は下記式(1)で求まる。 I2 =P/w2 (1) 中心軸線12から任意の入射点Aまでの距離(半径)を
1 、入射点Aを通る光線が出射する出射点をBとし、
中心軸線12から出射点Bまでの距離(半径)をr2
する。光強度変換素子10を通る光路の長さ、すなわち
入射点Aから出射点Bまでの距離(以下光路長という)
をLとする。中心軸線12上を通る光路長がL0 であ
る。
【0022】入射光のうち、中心から入射点Aを含む部
分(半径r1 の円の範囲)の全光量をP1 とすると、r
2 は下記式(2)で求まる。I2 は上記式(1)で求め
られる。 r2 =P1 /I2 (2) ここで、使用する半導体レーザの拡がり角θ(半値全
角)を焦点距離fのコリメートレンズで平行光にしたと
き、半径r1 の範囲の入射光の強度I1 は下記式(3)
で求まる。
【0023】
【数1】
【0024】式(3)を用いて、全光量P及び半径r1
の範囲内の光量P1 は下記式(4)、式(5)の関係で
求まる。
【0025】
【数2】
【0026】
【数3】
【0027】式(1)の光強度I2 は下記式(6)のよ
うに表現される。
【0028】
【数4】
【0029】従って、式(2)は下記式(7)のように
表現される。
【0030】
【数5】
【0031】図4に示されるように、入射光及び出射光
はともに平行光であるので、第1の曲面表面16に入射
する入射光の角度αは、第2の曲面表面18から出射す
る出射光の角度αと等しい。入射光の偏向角をβ、光強
度変換素子10のボディ14の屈折率をnとする。スネ
ルの法則から以下の式(8)、式(9)が導ける。
【0032】
【数6】
【0033】
【数7】
【0034】式(8)のtan αは、第1及び第2の曲面
表面16、18の傾き量である。式(8)のtan αを計
算するため、式(9)で計算したβを式(8)に代入す
る。式(9)の計算は、式(7)の半径r2 と半径r1
の関係、及び光路長Lに仮定値を代入することにより行
う。第1及び第2の曲面表面16、18の傾き量が計算
できたら、傾きを連続させて曲面形状を得る。このため
には、半径r2 が0の位置から半径r2 を増加させ、よ
って連続した曲面形状を得ることができる。ただし、下
記する近似法を使用するとより有利である。
【0035】一般に、光強度変換素子10の第1及び第
2の曲面表面16、18の表面形状は下記式(10)で
示す非球面多項式で表現される。
【0036】
【数8】
【0037】ここで、Xは半径方向の距離、Zは入射面
の位置、Rは中心での曲率半径、Kは放物線定数であ
る。この式(10)を半径で微分すると、半径に対する
傾きの式になる。そこで、入射側の第1の曲面表面16
の形状は、光強度変換素子10の開口半径(w1 /2)
までの各光線の半径値r1 に対するtan βの数値データ
を式(8)、式(9)から計算し、式(10)の微分式
で近似する。この多項式を、半径r1 について積分する
ことで表面形状を表す式を得ることができる。
【0038】出射側の第2の曲面表面18の形状を求め
る方法は2つある。第1の方法は、入射側の第1の曲面
表面16の形状の計算と同様に曲面の形状をr2 で積分
する方法である。この場合、上記したのと同様に計算す
ることができるので、詳細な説明は省略する。第2の方
法は、入射側の曲面位置と、偏向方向βと、光路長Lと
から、出射側の第2の曲面表面18の形状を計算する方
法である。この方法は、入射側で半径r1 のときの中心
軸線12方向の位置をz1 とし、出射側で半径r2 のと
きの中心軸線12方向の位置をz2 としたとき、下記式
(11)により出射曲面位置を計算できる。
【0039】
【数9】
【0040】こうして計算したz2 を使用して、式(1
0)で近似する。ところが、傾きを積分して求めた出射
側の第2の曲面表面18の形状と、式(11)の計算に
より求めた出射側の第2の曲面表面18の形状とは、一
般に一致しない。これは、傾きを積分して求められた式
から計算される光路長L′と、仮定した光路長Lとが異
なるためである。これらの光路長L′と、Lとは本来一
致しなければならない。そこで、傾きを積分して求めた
入射側と出射側の式から、光強度変換素子10内の光路
長L′を計算する。
【0041】
【数10】
【0042】この半径r1 ごとに計算したL′を新たな
各半径r1 ごとの光路長Lと定義しなおし、各半径r1
ごとの差分(Δ=L−L′)≒0に収束するまで、式
(8)以降の計算を繰り返す。このようにして光強度変
換素子10の所望の形状を得ることができる。しかし、
このようにして計算した光強度変換素子10をあらゆる
微小光学系に一慨に用いることはできない。それは平凸
レンズと同様に、通過する光線によっては、光軸中心と
端部との収差が発生するからである。そこで、光強度変
換素子10のRMS(波面収差量)を計算し、RMS値
が0.07λ以下であれば、レイリー極限値を満たした
理想的な光学素子であると言える。RMS値は入射光線
全体についての光線光路差の面積的な平均値である。
【0043】RMS値を小さくするためには、光強度変
換素子10の各半径を通過する光線の光路長が等しくな
ればよい。この実施例では、平行光を平行光に変換して
いることから、屈折による光線の偏向が小さいほど光路
長の差は小さくなる。偏向方向を小さくするのは、即ち
入射光線の入射角を小さくすることである。そこで、光
強度変換素子10の強度変換有効領域内の絶対値が最小
となる入射開口径と出射開口径の条件を選択したり、あ
るいは光強度変換素子10の肉厚を厚くするなどによっ
てRMS値を小さくすることができる。また、同じ肉厚
であれば、傾きの絶対値が小さい方が、RMS値は小さ
くなる。
【0044】ただし、近似式によっては、周辺部の近似
が悪い場合がある。この場合、RMS値は面積的平均値
であるため、周辺部は面積的に比重が大きくなるので、
わずかな光線光路長の差でもRMS値が悪くなる。そこ
で、周辺部を遮光すると、RMS値を小さくできる。図
1の光強度変換素子10の場合、曲面形状を10次の多
項式で近似したところ、最大の波面収差は0.044λ
であり、RMS値は0.012λであった。
【0045】図1の実施例は、光強度変換素子10の中
心の厚さ(L0 )を1.5mmとし、入射口径w1 を4
mm、出射口径w2 を3.4mmにしているが、同様の
手法で、図5や図6のように、入射口径w1 と出射口径
2 との関係を変えることもできる。図5は、入射口径
1 と出射口径w2 が互いに等しく、4mmの例を示
す。L 0 は1.5mmである。図6は、入射口径w1
4mmで、出射口径w2 が5mmの例を示す。L0 は4
mmである。図5及び図6においても、光強度変換素子
10はガウス型光強度分布を有する平行光を均一な光強
度分布を有する平行光に変換している。
【0046】図1と図5の光強度変換素子10の厚さは
1.5mmであるが、図6の光強度変換素子10の厚さ
は4mmとしている。これは図6において1.5mmの
厚さにすると、素子内の光線の一部が臨界角を越えてし
まうため、素子の厚さを厚くして臨界角を越えないよう
にしたためである。図7は、半径r2 に対する曲面の傾
きの関係を示すグラフを示す。実線曲線Hは入射口径>
出射口径の場合であり、破線曲線Iは入射口径<出射口
径の場合である。入射口径はともに4mmであり、実線
曲線Hの出射口径は3.4mm、破線曲線Iの出射口径
は5mmであった。このグラフより、傾きの絶対値を小
さくできるのは、入射開口より出射開口を小さくした実
線曲線Hの場合である。他の開口径の場合も同様で、傾
きの絶対値を小さくできるのは、入射口径より出射口径
を小さくしたときで、最も小さくなるのは、図7の実線
曲線Hの底の位置(傾きが減少から増加に転じる位置
)傾きと、最周辺部の位置(位置)の傾きの絶対値
が等しいときである。
【0047】図8は他の実施例の光強度変換素子30を
示す。光強度変換素子30は、中心軸線31に対して垂
直方向の2軸方向で異なる屈折率(n0 、n1 )を有す
る複屈折材料の板32と、複屈折材料の板32の一方の
屈折率と同じ屈折率n0 を有し、複屈折材料の板32を
挟み込む板34、36とからなり、入出射面を垂直にし
た構造を有する。複屈折材料の板32は前の実施例の光
強度変換素子10と同様の形状に形成され、一方の軸と
一致した偏光が入射したとき(A)に光強度変換素子1
0と同様の光強度変換作用を行い、他方の軸と一致した
偏光が入射したとき(B)に実質的に光強度変換作用を
行わないようにしたものである。板34、36の表面は
平坦であり、光強度変換素子30の取扱いを容易にす
る。
【0048】図8のような光強度変換素子30は、情報
記録装置のような光学系(例えば光ディスク装置)では
特に有効である。すなわち、偏光が一方向に入射された
場合には光変換作用が大きくて媒体に向かう光線をよく
絞ることができ、媒体で反射した光は光変換作用を受け
ずに媒体上の情報をそのまま得ることができる。以上の
ことは、特に次元について言及していないが、1次元の
光強度分布以外にも当然、図9のように2次元の強度分
布をもつ入射光についても有効であることは述べるまで
もない。また、平行光入射、平行光出射について述べた
が、発散光入射、発散光出射についても同様に成立す
る。
【0049】図10は他の実施例の光強度変換素子40
を示す。半導体レーザの強度分布は、楕円形状をしてい
る。この楕円形状の光強度分布をもつ光線を任意の形状
の光強度分布にするため、従来は真円補正用プリズムを
使用し、光線をプリズムに斜めに入射させていた。そこ
でプリズムに代わり、図10のような光強度変換素子4
0を用いると、楕円状の光強度分布を真円状の光強度分
布に変換でき、プリズムに斜めに入射するための不要な
体積が減り、光学系の軽薄短小化が可能となる。
【0050】図11は、設計した光強度分布と異なる入
射光が光強度変換素子10に入射したときの、出射光の
強度分布を示す。ここで、広い光強度分布あるいは狭い
光強度分布は、図12の曲線Q、Rで定義される。実線
の曲線Qは点線の曲線Rよりもピークが高く、裾野が低
い。この場合、点線の曲線Rは実線の曲線Qよりも広い
光強度分布をもつものとする。
【0051】図11の直線Jは設計した通りの光強度分
布の入射光が光強度変換素子10に入射したときの、出
射光の強度分布である。曲線Kは設計した光強度分布よ
り広い光強度分布をもつ入射光が光強度変換素子10に
入射したときの、出射光の強度分布である。この場合、
中心よりも周辺部の強度が強くなるお碗型強度分布とな
る。曲線Lは設計した光強度分布より狭い光強度分布を
もつ入射光が光強度変換素子10に入射したときの、出
射光の強度分布である。この場合、中心が高く、周辺部
が低くなるドーム型強度分布となる。
【0052】図11のような光強度分布の入射光を絞っ
た場合、お碗型、均一型、ガウス型強度分布の順にビー
ムが絞れることが分かっている。そこで、半導体レーザ
のような広角でバラツキがあるような光源に強度均一に
する光強度変換素子10を用いる場合、最も広角の狭い
半導体レーザを用いたときの光強度分布で光強度変換素
子10の設定を行い、光強度変換素子10からの出射光
の光強度分布が最低でも均一で、通常はお碗型強度分布
となるようにすると、ビーム集光性が改善できる。また
この光学系は真円補正プリズムが不要であり、光学装置
の改善が行える。
【0053】また、中心軸線に垂直方向に移動がある光
学部と不動な光学部がある光学系において、光強度変換
素子は不動な光学部側にあって、移動部側の開口径と移
動量の合成より広い出射口径を有するように構成するこ
とができる。こうすれば、移動部が移動しても、光強度
変換素子は光強度変換された平行光を移動部を透過して
供給することができる。
【0054】図13は光強度変換素子10を含む光ディ
スク装置60の例を示している。光ディスク装置60は
図3の光学装置50と同様に、レーザ光源62と、コリ
メートレンズ64と、光強度変換素子10と、対物レン
ズ66とを備えている。光ディスク装置60はさらにビ
ームスプリッタ68と、1/4波長板70と、トラッキ
ングミラー72と、集光レンズ74と、受光素子76と
を含む。
【0055】光強度変換素子10はコリメートレンズ6
4とビームスプリッタ68の間に配置されている。コリ
メートレンズ64と光強度変換素子10とは共通のフレ
ームに搭載され、一体化されている。これによって、他
のレンズ(例えば対物レンズ66)が移動する場合で
も、移動レンズの光軸ずれによる収束性を補償するよう
になっている。
【0056】本発明はさらに次の特徴を含むものとする
ことができる。第1及び第2の曲面表面は回転対称形状
を有する。第1及び第2の曲面表面が楕円状の光強度分
布を円状の光強度分布に変換できる曲面からなる。ボデ
ィが中心軸線に対して2軸の光学軸を有する複屈折材料
からなる。ボディが複屈折材料の光学軸の一方と同じ屈
折率をもつ材料で挟み込まれ、光軸に対して垂直に加工
した面をもつ。
【0057】光強度変換素子の縁部を遮光して波面収差
を低下させる。所定の光強度分布をもつ入射光より広い
光強度分布をもつ入射光を入射させることで、光強度分
布の最縁部の強度が中心部より強い出射光を出射させ
る。中心軸線に垂直方向に移動がある光学部と不動な光
学部がある光学系において、光強度変換素子は不動な光
学部側にあって、移動部側の開口径と移動量の合成より
広い出射口径を有する。光強度変換素子が、該中心軸線
に対して2軸の光学軸を有する複屈折材料と、複屈折材
料の光学軸の一方と同じ屈折率をもち、該複屈折材料を
挟み込む材料とからなり、該光強度変換素子をコリメー
トレンズの前に配置し、偏光方向を切り換えることで強
度分布を変更し、ビーム径と強度分布を変更する。光源
と、コリメートレンズと、光強度変換素子とを備え、コ
リメートレンズと光強度変換素子とを一体化しているこ
とを特徴とする光学装置。
【0058】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
簡単な光強度変換素子を用いた光学装置は、光量損失が
なく、高出力光に強く、収差も小さい、光強度分布も任
意に制御が可能であるので、簡単に性能改善が可能とな
る。また、光強度変換素子は屈折を用いているので、損
失が小さい。また、出射光の光強度分布と出射開口部の
形状を自由に設定できるので、光学装置の部品点数を減
らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の光強度変換素子を示す図
である。
【図2】図1の光強度変換素子を示す光入射側たら見た
正面図である。
【図3】光強度変換素子を含む光学装置を示す図であ
る。
【図4】図1及び図2の光強度変換素子を製造する方法
を説明する図である。
【図5】本発明の第2実施例の光強度変換素子を示す図
である。
【図6】本発明の第3実施例の光強度変換素子を示す図
である。
【図7】光強度変換素子の半径と表面の傾き量との関係
を示す図である。
【図8】本発明の第4実施例の光強度変換素子を示す図
である。
【図9】本発明の第5実施例の光強度変換素子を示す図
である。
【図10】本発明の第6実施例の光強度変換素子を示す
図である。
【図11】所定の光強度分布と異なった光強度分布の入
射光を光強度変換素子に入射させた場合の出射光の光強
度分布を示す図である。
【図12】図11において使用される広い光強度分布を
定義するための図である。
【図13】光強度変換素子を含む光ディスク装置を示す
図である。
【符号の説明】
10…光強度変換素子 12…中心軸線 14…ボディ 16…第1の曲面表面 18…第2の曲面表面 20…外周面 30…光強度変換素子 32…複屈折材料の板 34、36…板 40…光強度変換素子 50…光学装置 52…レーザ光源 54…コリメートレンズ 56…対物レンズ 58…対象物 60…光ディスク装置

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 中心軸線と、該中心軸線に対して横方向
    に延びる第1の曲面表面と、該中心軸線に対して横方向
    に延びる第2の曲面表面と、該第1の曲面表面と該第2
    の曲面表面との間に延びる外周面とを有するボディを備
    え、該第1の曲面表面から入射した入射光が、該第1の
    曲面表面から該ボディに入射するときの屈折により、該
    ボディ内の一部の領域においては発散し、該ボディ内の
    他の領域においては収束し、入射光の光強度分布とは異
    なった光強度分布として該第2の曲面表面から出射する
    ようにしたことを特徴とする光強度変換素子。
  2. 【請求項2】 該第1の曲面表面から入射した入射光
    が、該ボディ内の該中心軸線のまわりの中心領域におい
    ては発散し、該ボディ内の周辺領域においては収束する
    ようにしたことを特徴とする請求項1に記載の光強度変
    換素子。
  3. 【請求項3】 該第1及び第2の曲面表面において、傾
    きが増大から減少又は減少から増大に転じる点の傾き量
    と最周辺部の傾き量の符号が互いに逆で絶対値がほぼ同
    じであることを特徴とする請求項1に記載の光強度変換
    素子。
  4. 【請求項4】 該ボディの厚さが入射光に対する出射光
    の波面収差のRMS値が0.07λ以下にする厚さであ
    ることを特徴とする請求項1に記載の光強度変換素子。
  5. 【請求項5】 該ボディの微小領域を通過する光に関し
    て、該ボディに入射する光角度と出射する角度とが同じ
    であることを特徴とする請求項1に記載の光強度変換素
    子。
  6. 【請求項6】 光軸から任意の距離(r1 )にある入射
    点(A)を通る光線が出射する出射点(B)の光軸から
    の距離(r2 )を、光軸から前記任意の距離(r1 )ま
    での範囲にある入射側の光量P1 を入射光の全光量を出
    射光の所定の面積で割って得た強度Iで割ることで求
    め、そして、入射点(A)と出射点(B)の直線距離
    (L)を仮に与えることで、入射点(A)を通る光線の
    偏向方向を決め、屈折の法則から入射点(A)と出射点
    (B)点を通る面の傾きを決め、こうして決めた入射点
    (A)と出射点(B)点を通る面の傾きを該中心軸線か
    らの半径方向の距離で積分することで入射側と出射側の
    曲面を決め、次に入射側の曲面と各任意の距離(r1
    での偏向方向と仮に決めた距離(L)より出射側の曲面
    を求め、積分による出射側の曲面と入射面から求めた出
    射側の曲面が一致するように各任意の距離(r1 )毎の
    距離(L)を変更し、再度入出射面の傾きを求め直すこ
    とを繰り返し、距離(L)を収束させる、該ボディの第
    1及び第2の曲面表面の形状が以上のようにして決定さ
    れたものであることを特徴とする請求項1に記載の光強
    度変換素子。
  7. 【請求項7】 光源と、コリメートレンズと、光強度変
    換素子と、対物レンズとを備え、該光強度変換素子は、
    中心軸線と、該中心軸線に対して横方向に延びる第1の
    曲面表面と、該中心軸線に対して横方向に延びる第2の
    曲面表面と、該第1の曲面表面と該第2の曲面表面との
    間に延びる外周面とを有するボディを備え、該第1の曲
    面表面から入射した入射光が、該第1の曲面表面から該
    ボディに入射するときの屈折により、該ボディ内の一部
    の領域においては発散し、該ボディ内の他の領域におい
    ては収束し、入射光の光強度分布とは異なった光強度分
    布として該第2の曲面表面から出射するようにしたもの
    であり、コリメートレンズと光強度変換素子とを一体化
    することで、可動対物レンズの光軸ずれによる収束性を
    補償することを特徴とする光ディスク装置。
  8. 【請求項8】 光源と、コリメートレンズと、光強度変
    換素子と、ビームスプリッタと、対物レンズとを備え、
    該光強度変換素子は、中心軸線と、該中心軸線に対して
    横方向に延びる第1の曲面表面と、該中心軸線に対して
    横方向に延びる第2の曲面表面と、該第1の曲面表面と
    該第2の曲面表面との間に延びる外周面とを有するボデ
    ィを備え、該第1の曲面表面から入射した入射光が、該
    第1の曲面表面から該ボディに入射するときの屈折によ
    り、該ボディ内の一部の領域においては発散し、該ボデ
    ィ内の他の領域においては収束し、入射光の光強度分布
    とは異なった光強度分布として該第2の曲面表面から出
    射するようにしたものであり、ビームスプリッタとコリ
    メートレンズの間に光強度変換素子を配置することを特
    徴とする光ディスク装置。
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