JPH11261137A

JPH11261137A - レーザ装置

Info

Publication number: JPH11261137A
Application number: JP6100798A
Authority: JP
Inventors: Masaki Tsunekane; 正樹常包; Noboru Taguchi; 昇田口
Original assignee: SEITAI HIKARIJOHO KENKYUSHO KK
Current assignee: SEITAI HIKARIJOHO KENKYUSHO KK
Priority date: 1998-03-12
Filing date: 1998-03-12
Publication date: 1999-09-24

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、レーザ光軸と励起光軸とが一致する
ように励起方向を定めた端面励起型のレーザ装置に関
し、集光レンズとレーザ材料との間隔を近づけて焦点距
離の短い集光レンズを用い、小型で高効率なビーム品質
のすぐれたレーザ装置を実現する。【解決手段】レーザイオンを含む円筒形状のレーザ材料
２と、そのレーザ材料２の両端面のうちの少なくとも一
方の端面に接合された、そのレーザ材料２と同一径の円
筒形状であって、実質的にレーザイオンを含まず、かつ
厚みが円筒直径ｄよりも薄い厚さｔの非レーザ材料３と
からなる円筒形状の複合型レーザロッド１を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光軸と励起
光軸とが一致するように励起方向を定めた端面励起型の
レーザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】端面光励起型のレーザ装置は、効率の高
いレーザ発振を行わせることを目的として、レーザの空
間的モード分布と合致するようなビーム形状をもつ励起
光により、レーザ材料に含まれるレーザイオンの中でレ
ーザ発振に有効な部分だけをレーザ上位準位に励起し、
レーザ下位準位との間での誘導放出を光共振器内部で蓄
える構造を有している。ここで、レーザ上位準位への励
起過程、レーザ下位準位から基底準位への遷移の過程
は、無放射の結晶の加熱を伴い、このため、レーザ材料
の温度上昇が避けられない。また、励起光が、レーザ遷
移にあずからずレーザ材料の加熱にのみ関わるスペクト
ルも含む場合、レーザ材料の温度はさらに高まる。

【０００３】このようなレーザ材料の温度上昇は、レー
ザ動作に各種の悪影響を及ぼす。すなわち、空間的にみ
て、レーザ材料の中でレーザ発振に関係する部分だけで
熱発生があり、その部分の温度が上昇するため、局在し
た高温部のある勾配の激しい温度分布が形成される。こ
のためレーザ材料内には局所的な熱膨張分布が生じ、こ
れによる熱歪みが生じ、極端な場合これがレーザ材料の
抗張力を越えるとレーザ材料の破壊に至る。破壊に至ら
ないまでも熱歪みはレーザ結晶に熱複屈折効果を与え、
レーザ発振特性を損なわせ、所望の出力値や所望の偏向
特性を損なわせる結果になる。また上述の温度分布は、
レーザ材料の屈折率の温度依存性により、励起入力条件
で変化するレンズを形成することになるから、レーザ発
振現象を不安定なものにする。

【０００４】さらに、準３準位レーザと呼ばれる範疇の
レーザにおいては、レーザ材料の動作温度が上昇するこ
と自体が、致命的な結果をもたらす。レーザイオンとし
てＮｄ³⁺を含むＹＡＧ結晶を用いた９４６ｎｍのレーザ
発振は準３準位レーザの代表例であるが、ここではレー
ザ下位準位が基底準位のすぐ近傍にあり、室温であって
もレーザ下位準位を占めるレーザイオンが存在し、温度
上昇とともにその割合は急増する。従って温度の上昇と
ともにレーザ発振に必須の逆転分布が得にくくなった
り、またレーザ下位準位を占めるレーザイオンが９４６
ｎｍのレーザ光を吸収しレーザ上位準位へ再励起され
て、レーザ発振に対しての損失として働いたりして、そ
れらの結果として発振閾値の上昇現象や効率低下現象に
到る。

【０００５】このような各種の悪影響を低減すべくレー
ザ材料と非レーザ材料とが複合された複合形レーザロッ
ドを用いた結晶による端面光励起型レーザ装置が、ＵＳ
Ｐ５，５６３，８９９号公報、特開平７−１７０７５号
公報、ＵｎｉｔｅｄＳｔａｔｅｓＳｔａｔｕｔｏｒ
ｙＩｎｖｅｎｔｉｏｎＲｅｇｉｓｔｒａｔｉｏｎＲ
ｅｇ．Ｎｕｍｂｅｒ：Ｈ１６７３Ｐｕｂｌｉｓｈｅ
ｄ：Ａｕｇ．５，１９９７（以下、Ｈ１６７３と略記す
る）」において提案されている。例としてＨ１６７３の
ＦＩＧ．１、ＦＩＧ．２を参照すると、複合形レーザロ
ッドは非レーザ材料の部分でＯリングを用いて冷却ジャ
ケットに保持され、励起光源から集光レンズを介して照
射されて生ずる、レーザ材料部で発生した熱は、非レー
ザ材料部にも導かれて放散し、複合型レーザロッドのか
なり広い側面で液状冷媒に直接接触して除去される。こ
れにより、レーザ材料の動作温度の上昇が抑制されてい
る。このような、複合形レーザロッドの側面を液状冷媒
に直接接触させて強制冷却する必要のあるような大出力
レーザ装置構成において、非レーザ材料部に必要な長さ
に関する考察が、「ＩＥＥＥＪｏｕｒｎａｌｏｆ
ｓｅｌｅｃｔｅｄｔｏｐｉｃｓｉｎｑｕａｎｔｕｍ
ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ誌のｖｏｌ．３，Ｎｏ１Ｆ
ｅｂｒｕａｒｙ１９９７，７１〜８１ページ」に掲載
された“ＤｉｏｄｅＡｒｒａｙｓ，Ｃｒｙｓｔａｌ
ｓ，ａｎｄＴｈｅｒｍａｌＭａｎａｇｅｍｅｎｔ
ｆｏｒＳｏｌｉｄ−ＳｔａｔｅＬａｓｅｒｓ”で
報告されている。その７４ページには「非レーザ材料の
部分の長さとしてレーザロッドの直径の１〜２倍につい
て検討を行っている。非レーザ材料が意味を持つには少
なくともレーザロッドの直径分は必要である」と記載さ
れている。

【０００６】前述の９４６ｎｍの発振線は、分光計測の
分野から見ると波長可変レーザとして著名なチタンサフ
ァイアレーザの限界波長であり、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの
１０６４ｎｍとの間を補間する貴重な波長と考えられ
る。また９４６ｎｍは、その第２高調波である青色の４
７３ｎｍという波長が、光記録、プリンターなどのため
の高いビーム品質をもつ光源としても注目されている。
このような計測用光源としては、小型で、高効率、ビー
ム品質の優れたレーザ装置が要求される。ここで、高効
率化を考える場合、レーザ材料中のレーザイオンを励起
光の強度を高めて励起することが望ましい。焦点距離ｆ
のレンズを用い、直径Ｄ、波長λの励起ビームを集光し
た場合、その焦点位置における集光寸法はλｆ／πＤと
なりｆに比例する。このため、集光寸法を小さくして励
起光の強度を高めるには、集光レンズの焦点距離ｆをな
るべく短くすることが好ましい。ところが、Ｈ１６７３
のＦＩＧ．１、ＦＩＧ．２を参照すると、レーザイオン
を含む円筒状レーザ材料は、Ｏリングを使用し冷却ジャ
ケットに保持する機構が必要なため、非レーザ材料の長
さをレーザロッドの直径以上に十分長くする必要があ
り、励起はこの長い非レーザ材料領域を通して行われる
ために、集光レンズと複合型レーザロッドのレーザ材料
との距離を近づけることは不可能であり、焦点距離ｆの
短いレンズを使用することはできず、高効率化は困難で
ある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的とするところは、集光レンズとレーザ材料との間隔
を近づけて焦点距離の短い集光レンズを用い、小型で高
効率なビーム品質のすぐれたレーザ装置を実現すること
にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のレーザ装置は、レーザイオンを含む円筒形状のレー
ザ材料と、そのレーザ材料の両端面のうちの少なくとも
一方の端面に接合された、そのレーザ材料と同一径の円
筒形状であって、実質的にレーザイオンを含まず、かつ
厚みが円筒直径よりも薄い非レーザ材料とからなる円筒
形状の複合型レーザロッド、上記複合型レーザロッドを
構成する非レーザ材料を通してその複合型レーザロッド
を構成するレーザ材料に励起光を入射する励起手段、お
よび上記複合型レーザロッドを構成するレーザ材料で発
せられた光を種にしてレーザ発振に至らしめる光共振器
を備えたことを特徴とする。

【０００９】ここで、上記複合型レーザロッドは、その
複合型レーザロッドを構成するレーザ材料と非レーザ材
料が拡散接合されたものであることが好ましい。あるい
は、上記複合型レーザロッドは、その複合型レーザロッ
ドを構成するレーザ材料と非レーザ材料とが接着媒体も
しくは液状媒体を介在させることにより接合されたもの
であってもよい。

【００１０】上記複合型レーザロッドを構成する非レー
ザ材料は、その複合型レーザロッドを構成するレーザ材
料の母材と同一の材料からなるものであってもよく、あ
るいは、上記複合型レーザロッドを構成する非レーザ材
料は、その複合型レーザロッドを構成するレーザ材料の
熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する材料からなるもの
であってもよい。

【００１１】また、本発明のレーザ装置において、上記
励起手段は、上記複合型レーザロッドのを構成するレー
ザ材料内におけるビーム径がその複合型レーザロッドの
円筒直径の１／３以下となるように調整された励起光
を、その複合型レーザロッドに照射するものであること
が好ましい。さらに、本発明のレーザ装置は、上記複合
型レーザロッドの円筒面を保持するとともにその複合型
レーザロッドからの伝熱を受けるホルダを備えたもので
あることが好ましい。

【００１２】また、本発明のレーザ装置において、上記
光共振器は、一対のミラーを有し、それら一対のミラー
のうちの少なくとも一方のミラーが、上記複合型レーザ
ロッドの端面に施されたコーティングからなるものであ
ってもよい。前述した従来の技術では、励起光による温
度上昇を抑制するために複合形レーザロッドの側面を液
状冷媒に直接接触させて強制冷却することが必要であ
り、このため液状冷媒の漏洩を防止する必要上、複合形
レーザロッドの非レーザ材料の部分でＯリングを用いて
シールすることが必要であり、このことが焦点距離の短
かい集光レンズの採用するためのの障害になっている。
また、この従来の技術における非レーザ材料は、複合形
レーザロッドのレーザ材料部で発生する熱による温度上
昇や歪みを緩和するために必要な非レーザ材料の長さが
レーザロッドの直径の１から２倍以上必要であるという
知見にもとづいてその長さが定められている。

【００１３】これに対し、本発明者は、励起光のパワー
レベルや励起ビーム寸法によっては、あるいはレーザ材
料部と非レーザ材料部の熱定数によっては、レーザ材料
部の一方の端部にレーザロッドの直径分に満たない長さ
の非レーザ材料部を接合し、液状冷媒による直接接触に
よる冷却を省くことにより、０リングシールに必要な構
造部分を省き、これによって、上述の障害を克服できる
ことを見い出した。また本発明者は、熱伝導に関する理
論解析を行い、励起ビームの直径がレーザロッドの直径
に比べ十分小さければ、レーザ材料内で発生した熱によ
る温度上昇は、非レーザ材料部の長さがロッドの直径よ
り短い場合であっても、非レーザ材料の長さがレーザロ
ッドの直径の２倍以上の場合と比べ、ほとんど変わらな
いことを見い出した。

【００１４】本発明は、これらの知見に基づいて成され
たものであり、本発明によれば、複合型レーザロッドを
用い、小型で高効率な、かつビーム品質のすぐれたレー
ザ装置を実現することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の技術思想を実現
するための複合型レーザロッド１の斜視図である。同図
において、レーザ発振に必要なレーザイオンを含む直径
ｄの円筒状レーザ材料２の片側に、レーザイオンを含ま
ず、直径ｄよりも薄い厚みｔを有する非レーザ材料３が
接合されている。

【００１６】この場合の接合方法としては、接合面を光
学研摩してオプティカルコンタクトさせ、融点以下の必
要温度まで昇温して拡散接合（ｄｉｆｆｕｓｉｏｎｂ
ｏｎｄｉｎｇ）させ、そののちアニールを行って機械的
にも光学的にも歪みのない状態を作り出す方法を採用す
ることが、接合面の強度、あるいは接合面での光学的連
続性の観点から好ましい。このとき、拡散接合の信頼性
あるいは接合面での光学的連続性を確保することを最重
要とするならば、結晶の格子定数、結晶方向などの一致
性から、非レーザ材料３として、レーザ材料２に用いら
れる母材と同一の材料を用いることが好ましい。すなわ
ち、レーザ材料２は、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｔｍ、Ｈｏ、Ｃｒな
どのレーザイオンがドープされたＹＡＧ、ＹＬＦ、ＹＶ
Ｏ₄ 、ＬｉＳｒＡｌＦ、ＬｉＳｒＧａＦ₆ 、ＬｉＳｒＣ
ａＦ₆ などであり、非レーザ材料３は、レーザイオンが
ドープされていないＹＡＧ、ＹＬＦ、ＹＶＯ₄ 、ＬｉＳ
ｒＡｌＦ、ＬｉＳｒＧａＦ₆ 、ＬｉＳｒＣａＦ₆ などが
良い。ただし非レーザ材料３における熱放散作用を最優
先させるならば、作業条件の確立による信頼性の保証の
もとで、レーザ材料２の熱伝導率よりも高い熱伝導率を
持ち、光学的諸特性にも優れた材料、たとえば、サファ
イアなどを選んでもよい。

【００１７】拡散接合以外の接合方法として、使用材料
と作業条件が整えば、その屈折率がレーザ材料２と非レ
ーザ材料３の屈折率に近い値に調整された透明な接着媒
体により接合されていたり、あるいは液状媒体を介して
接合されていてもよい。この場合、接着媒体あるいは液
状媒体は熱伝導率の高いものが選択される。図２，図３
は、図１に示した複合型レーザロッドを採用した本発明
のレーザ装置の各実施形態を示す図である。

【００１８】これら図２，図３に示す各実施形態は、複
合多々レーザロッド１をホルダ４に収納して保持し、そ
の両側に光共振器を配置し、励起光源１０から発せられ
た励起光５を焦点距離ｆの集光レンズ６を用いて集光
し、複合型レーザロッド１の非レーザ材料３を通してレ
ーザ材料２に導くことによりレーザ発振を起こさせる構
成の例である。図２での光共振器は、励起光５の波長に
対しては透過、レーザ波長に対しては高反射特性を示
す、複合型レーザロッド１の端部に施されたコーティン
グ７と、レーザ波長に対して部分的透過率を与えるコー
ティングが施された出力ミラー８とで構成されている。
図３の光共振器は、励起光の波長に対しては透過特性を
示し、レーザ波長に対しては高反射特性を示すコーティ
ング７が施された後面ミラー９と図２の場合と同様な出
力ミラー８とで構成されている。図２の光共振器では、
図３の光共振器における後面ミラー９に相当するものが
複合型レーザロッド１の端面に施されたコーティング７
であり、この考え方を拡張して、出力ミラーとして必要
なコーティングを複合型レーザロッド１の他の端面に施
し、光共振器としては構造物として目に見える形で現れ
ない構成を採用してもよい。光共振器を複合型レーザロ
ッドの両面のコーティングとすれば、製造後の光共振器
の自由度はなくなるが、より小型のレーザ発振器を実現
できる。一方、図３のように光共振器として、対向する
一対のミラーが配置される場合、複合型レーザロッド１
の、励起光が入射する側の端面には励起光の波長及びレ
ーザ波長の双方に対しての無反射コーティングを施し、
他の側の端面にはレーザ波長に対する無反射コーティン
グを施すことが好ましい。

【００１９】図１からわかるように、複合型レーザロッ
ド１の非レーザ材料３の長さｔがその直径ｄよりも短い
こと、および複合型レーザロッド１をＯリングシールし
ていないことから、レーザ材料２への集光は従来にくら
べて非常に短い焦点距離の集光レンズを用いて行ってい
る。複合型レーザロッド１のレーザ材料２における励起
光の集光ビーム径はロッド径の１／３より小さいことが
望ましい。励起ビーム径をより小さくすることにより、
レーザの発振利得を高めることができ、またレーザ共振
器のレーザ発振モードとの重なりも良くなるため、発振
効率が向上する。励起ビーム径をより小さくすれば非レ
ーザ材料の厚さｔをさらに薄くしても、温度上昇を十分
に緩和することができる。

【００２０】励起光５の照射により発生した、複合型レ
ーザロッド１のレーザ材料２の中心軸上での熱は、レー
ザ材料２の径方向に伝導し、レーザ材料２の円筒面に到
達して放熱されたり、非レーザ材料３の方向につまり軸
方向に伝導してから非レーザ材料３の内部を径方向に伝
導して非レーザ材料３の円筒面に到達して放熱される。
複合型レーザロッド１を保持するホルダ４は、複合型レ
ーザロッド１の円筒面に到達した熱を受け止め吸収しこ
れを他所へ捨てる役目も果たしている。このため、複合
型レーザロッド１の円筒状側面とホルダ４の円筒状内面
との接触は、熱抵抗が小さくなるようインジウム箔を介
在させたり、サーマルコンパウンドを介在させたり、熱
伝導度の良いグリースを介在させたりして、空隙がない
よう配慮することが必要である。図２，図３のホルダ４
においては、周辺の空気と接する全側面において熱交換
がなされている。

【００２１】図４は、複合型レーザロッド１を保持する
ホルダに関する他の各種の例を示す図である。図４
（ａ）ではホルダ４での熱交換面積を広げるため放熱フ
ィン１１を設けている。この放熱フィン１１を強制空冷
することもできる。図４（ｂ）ではホルダ４の一部に温
度センサ１２を置き、電子冷却素子であるペルチェ素子
１３を取り付けて、その温度センサ１２の温度が上昇し
すぎないよう制御している。図４（ｃ）ではホルダ４内
に設けた流路１４を流れる冷却液によりホルダ４からの
熱を外部に運び出している。ここでは温度センサを置い
ていないが、送り込む冷却液の温度が制御されている。
図４では、複合型レーザロッド１からの発熱をホルダ４
に伝え、ホルダ４で空冷、電子冷却、液冷する概念を示
したが、他にも本発明の技術思想の範囲での変形は可能
である。

【００２２】図１には、レーザ材料２の片側の端面に非
レーザ材料３が接合された複合型レーザロッドを示した
が、図５の斜視図に示すように、レーザ材料２の両端面
に、それぞれの厚みｔが円筒直径ｄより薄い非レーザ材
料３を接合すると、レーザ材料２の動作温度の低減のた
めにさらに有効である。この場合においても、複合型レ
ーザロッド１の円筒状側面でホルダに発熱を伝達し、そ
のホルダにおいて空冷、電子冷却、液冷するなどの本発
明の主旨は同様である。

【００２３】図５の複合型レーザロッドは、図６のよう
に、蝶ネクタイ型リングレーザに適用することもでき
る。ここでは両端面の非レーザ材料を経由して両方向か
らの励起光がレーザ材料に導入され、リングレーザの特
徴であるシングルモード発振光１５が比較的高出力で得
られる。リングレーザにおいては、光共振器内部に、オ
プティカルダイオード１６、エタロン板１７、ときには
波長選択素子などを挿入することが必要である。これら
は光学的損失要素であるから、これに打ち勝つための利
得を確保する必要があり、図６のような両方向からの励
起はその一方法であり、この場合非レーザ材料がレーザ
材料の両側にあることが好ましい。

【００２４】

【発明の効果】従来、複合型レーザロッドは非レーザ材
料の長さｔとしてその複合型レーザロッドの直径ｄ以上
の長さのものを接合し、レーザ材料の動作温度を低減さ
せて結晶の破壊限界に挑戦しようとする考え方のもとで
研究開発が進められてきた。しかし、本発明者は、所望
の出力がこのように挑戦的なレベルではない、例えば計
測用光源のレベルの場合、非レーザ材料の長さがロッド
の直径未満であってもその効果を奏することを見い出し
た。特に、励起光の集光寸法がロッドの直径の１／３以
下であれば、この飽和現象は顕著であることを見出し
た。

【００２５】本発明によれば、非レーザ材料の長さとし
てロッドの直径未満のものを接合することにより、レー
ザ材料の動作温度の低減効果と同時に、短焦点の集光レ
ンズを用いて励起光の集光密度を高めることができ、レ
ーザ発振効率を高めることができ、さらにレーザ装置の
小型化を実現できる。Ｎｄ：ＹＡＧレーザの９４６ｎｍ
の発振線に代表される準３準位レーザでは、動作温度の
低減がとくに要求されるが、本発明により、９４６ｎｍ
という分光的計測で重要な波長を発振できる、小型で高
効率の計測用レーザ発振器を実現することができる。

【００２６】波長可変レーザの母材として期待されてい
るＬｉＳｒＡｌＦ₆ ，ＬｉＳｒＧａＦ₆ ，ＬｉＳｒＣａ
Ｆ₆ などは熱伝導率が低いために動作温度を低減でき
ず、効率の制限、ビーム品質の限界が問題となってい
た。本発明により、これらの母材を採用した場合であっ
ても、小型、高効率でビーム品質のすぐれた計測用波長
可変レーザ発振器を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のレーザ装置の実施形態に採用される複
合型レーザロッドの一例を示す斜視図である。

【図２】図１に示した複合型レーザロッドを採用した本
発明のレーザ装置の第１実施形態の構造図である。

【図３】図１に示した複合型レーザロッドを採用した本
発明のレーザ装置の第２実施形態の構造図である。

【図４】複合型レーザロッドを保持するホルダの各種の
例を示した図である。

【図５】本発明のレーザ装置の実施形態に採用される複
合型レーザロッドの他の例を示す斜視図である。

【図６】図５に示した複合型レーザロッドを採用した本
発明のレーザ装置の第３実施形態の構造図である。

【符号の説明】

１複合型レーザロッド２レーザ材料３非レーザ材料４ホルダ５励起光６集光レンズ７コーティング８出力ミラー９後面ミラー１０励起光源１１放熱フィン１２温度センサ１３ペルチェ素子１４流路１５シングルモード発振光１６オプティカルダイオード１７エタロン板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザイオンを含む円筒形状のレーザ材
料と、該レーザ材料の両端面のうちの少なくとも一方の
端面に接合された、該レーザ材料と同一径の円筒形状で
あって、実質的にレーザイオンを含まず、かつ厚みが円
筒直径よりも薄い非レーザ材料とからなる円筒形状の複
合型レーザロッド、前記複合型レーザロッドを構成する非レーザ材料を通し
て該複合型レーザロッドを構成するレーザ材料に励起光
を入射する励起手段、および前記複合型レーザロッドを
構成するレーザ材料で発せられた光を種にしてレーザ発
振に至らしめる光共振器を備えたことを特徴とするレー
ザ装置。
【請求項２】前記複合型レーザロッドは、該複合型レ
ーザロッドを構成するレーザ材料と非レーザ材料が拡散
接合されたものであることを特徴とする請求項１記載の
レーザ装置。
【請求項３】前記複合型レーザロッドは、該複合型レ
ーザロッドを構成するレーザ材料と非レーザ材料が接着
媒体もしくは液状媒体を介在させることにより接合され
たものであることを特徴とする請求項１記載のレーザ装
置。
【請求項４】前記複合型レーザロッドを構成する非レ
ーザ材料は、該複合型レーザロッドを構成するレーザ材
料の母材と同一の材料からなるものであることを特徴と
する請求項１記載のレーザ装置。
【請求項５】前記複合型レーザロッドを構成する非レ
ーザ材料は、該複合型レーザロッドを構成するレーザ材
料の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する材料からなる
ものであることを特徴とする請求項１記載のレーザ装
置。
【請求項６】前記励起手段は、前記複合型レーザロッ
ドを構成するレーザ材料内におけるビーム径が該複合型
レーザロッドの円筒直径の１／３以下となるように調整
された励起光を、該複合型レーザロッドに照射するもの
であることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項７】前記複合型レーザロッドの円筒面を保持
するとともに該複合型レーザロッドからの伝熱を受ける
ホルダを備えたことを特徴とする請求項１記載のレーザ
装置。
【請求項８】前記光共振器は、一対のミラーを有し、
該一対のミラーのうちの少なくとも一方のミラーが、前
記複合型レーザロッドの端面に施されたコーティングか
らなることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。