JPH112643A - 加速度センサの周波数特性検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加速度センサの周波数特性を検査する際に要
する検査時間を短縮する。 【解決手段】 本発明の加速度センサの周波数特性検査
装置は、検査周波数帯域の周波数成分を含んだホワイト
ノイズを発生するホワイトノイズ発生器１１を備え、被
検査加速度センサ１５及び基準加速度センサ１６を一緒
に加振するものであって、ホワイトノイズ発生器１１か
らのホワイトノイズを受けてホワイトノイズ加速度を被
検査加速度センサ１５及び基準加速度センサ１６に加え
る加振機１０を備え、そして、被検査加速度センサ１５
及び基準加速度センサ１６から出力される加速度検知出
力の比を高速フーリエ変換することにより、周波数と検
知出力比とを対応させた特性を出力するＦＦＴアナライ
ザ８を備えて構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体式加
速度センサの製造ラインにおいて、該加速度センサの周
波数特性を検査する場合に好適する加速度センサの周波
数特性検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】加速度センサの周波数特性を検査する場
合、検査したい加速度センサを加振機のステージに取り
付け、加振機により上記加速度センサに加速度を加える
と共に、加える加速度の周波数を変化させるようにして
いる。そして、このような加速度が加えられたときに、
被検査加速度センサから出力される検知出力の変化特
性、即ち、周波数特性が予め決められた正常規格内に属
しているか否かを判断することにより、その被検査加速
度センサの良否を判定するようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来構成において
は、検査周波数帯域が例えば１０Ｈｚと２ｋＨｚの間で
あり、加速度センサに加える加速度の周波数を上記１０
Ｈｚから２ｋＨｚまで段階的に変化（いわゆるスイー
プ）させている。この場合、図８に示すように、最初は
数Ｈｚ程度ずつの間隔をおいて変化させ、その後、徐々
に変化させる間隔を大きくし、最後の方では数百Ｈｚず
つ変化させている。これにより、上記１０Ｈｚから２ｋ
Ｈｚまでの間で、数十か所の加速度検知ポイントを設定
し、これら各加速度検知ポイントにおいて加速度センサ
により加速度を検知するように構成している。

【０００４】しかし、この構成の場合、加速度の周波数
を上記１０Ｈｚから２ｋＨｚまで段階的に変化させるた
めに、かなり長い時間、例えば３分程度の時間がかかる
という欠点があった。特に、検査精度を高くするため
に、加速度検知ポイントを多くして周波数の変化させる
段階数を多くすればするほど、検査時間が長くなるとい
う問題点があった。

【０００５】そこで、本発明の目的は、検査時間を短縮
することができる加速度センサの周波数特性検査装置を
提供するにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明によれ
ば、検査周波数帯域の周波数成分を含んだホワイトノイ
ズ加速度を被検査加速度センサ及び基準加速度センサに
加えると共に、このとき、被検査加速度センサ及び基準
加速度センサから出力される加速度検知出力の比を高速
フーリエ変換することにより、周波数と検知出力比とを
対応させた特性、即ち、周波数特性を出力するように構
成した。この構成によれば、出力した周波数特性が正常
規格に属しているか否かを判断することにより、加速度
センサの良否を判定できる。

【０００７】そして、上記構成の場合、ホワイトノイズ
加速度を２つの加速度センサに加えるのに必要な最小時
間は、検査周波数帯域のうちの最も低い周波数成分の１
周期分の時間となる。例えば、最も低い周波数成分が１
０Ｈｚであれば、０．１秒となる。また、２つの加速度
センサから出力される加速度検知出力の比を高速フーリ
エ変換するのに必要な時間は、高速フーリエ変換手段の
データ処理能力に依存するが、通常、数秒程度あれば十
分である。従って、検査時間は全体でも数秒程度となる
から、従来構成に比べて、検査時間を大幅に短縮するこ
とができる。

【０００８】請求項２の発明においては、基準加速度セ
ンサとして、被検査加速度センサと同じ構造の加速度セ
ンサであって、その周波数特性が予め知られていると共
に正常規格内に存在する加速度センサを使用した。この
構成の場合、高速フーリエ変換手段から出力される風波
数特性が正常規格内に属しているか否かを判断するに当
たって、検査周波数帯域の全域に対して、正常規格の上
限値及び正常規格の下限値がそれぞれ一定値となり、こ
れら２個の数値を用意するだけで済む。これにより、上
記判断のための構成を簡単化することができる。

【０００９】請求項３の発明においては、高速フーリエ
変換手段から出力される周波数と検知出力比とを対応さ
せた特性を入力し、この特性が正常規格内に属している
か否かを自動的に判断することに基づいて、被検査加速
度センサの良否を判定する判定手段を備える構成とし
た。これにより、被検査加速度センサの良否が自動的に
判定されるようになるから、検査作業がより一層簡単に
なる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明を半導体式加速度セ
ンサの周波数特性検査装置に適用した第１の実施例につ
いて、図１ないし図６を参照して説明する。まず、図２
は半導体式加速度センサ１の一例を概略的に示す図であ
る。この図２において、半導体式加速度センサ１は、ベ
ース２と、このベース２上に取り付けられた枠体３と、
この枠体３の内部に４本のビーム４により支持された重
り部５とから構成されている。上記４本のビーム４上に
は、ピエゾ素子（図示しない）が形成されている。

【００１１】このような構成の加速度センサ１に加速度
が加わると、この加速度の大きさに応じて重り部５が動
き、これに応じてビーム４が変形し、ピエゾ素子の抵抗
が変化する。ここで、ピエゾ素子に電圧を印加しておく
ことにより、上記ピエゾ素子の抵抗変化（即ち、加えら
れた加速度）に対応する電気信号を加速度検知信号とし
て取り出すことが可能な構成となっている。

【００１２】さて、上記構成の加速度センサ１を製造す
る製造ラインにおいては、その最終工程で、製造された
加速度センサ１の周波数特性を検査する工程を行う。こ
の検査工程では、図１に示すような周波数特性検査装置
６を使用する。図１は周波数特性検査装置６の電気的構
成を機能ブロックの組み合わせにて示す図である。この
図１に示すように、周波数特性検査装置６は、パソコン
７と、このパソコン７に接続されたＦＦＴアナライザ
８、電圧発生器９、加振機１０及びホワイトノイズ発生
器１１とから構成されている。

【００１３】上記パソコン７は、周波数特性検査装置６
の運転全般を制御する機能を有しており、そのための制
御プログラムを記憶している。このパソコン７が判定手
段を構成している。そして、パソコン７は、ＦＦＴアナ
ライザ８、電圧発生器９、加振機１０及びホワイトノイ
ズ発生器１１をそれぞれ駆動制御可能に構成されてい
る。

【００１４】ここで、加振機７は、図３に示すように、
基台１２とこの基台１２に支持された加振機構部１３と
から構成されている。上記加振機構部１３のステージ１
４上には、被検査加速度センサ１５及び基準加速度セン
サ１６が取り付け固定されている。これにより、加振機
７は、被検査加速度センサ１５及び基準加速度センサ１
６を一緒に（同時に）加振すること、即ち、加速度を加
えることが可能な構成となっている。尚、被検査加速度
センサ１５としては、製造された検査したい加速度セン
サ１を取り付けている。また、基準加速度センサ１６と
しては、上記被検査加速度センサ１５と同じ構造の加速
度センサ、即ち、既に製造された加速度センサ１であっ
て、その周波数特性が検査されて予め知られていると共
に、この周波数特性が正常規格内に存在する加速度セン
サ１を使用している。特に、本実施例の場合には、周波
数特性が設計中心にほぼ一致する加速度センサ１を基準
加速度センサ１６として使用している。

【００１５】また、ホワイトノイズ発生器１１は、検査
周波数帯域ｆ１〜ｆ２（例えばｆ１が１０Ｈｚでｆ２が
２ｋＨｚ）の周波数成分を含んだ（即ち、重ねた）ホワ
イトノイズを発生する機能を有している。この場合、ホ
ワイトノイズ発生器１１がホワイトノイズ発生手段を構
成している。上記ホワイトノイズ発生器１１から発生さ
れたホワイトノイズ信号は、上記加振機１０へ与えられ
るように構成されている。そして、加振機１０は、上記
ホワイトノイズを受けてホワイトノイズ加速度を被検査
加速度センサ１５及び基準加速度センサ１６に加えるよ
うに構成されている。

【００１６】ここで、ホワイトノイズ加速度は、検査周
波数帯域ｆ１〜ｆ２の加速度成分を有する加速度であ
る。このホワイトノイズ加速度を被検査加速度センサ１
５及び基準加速度センサ１６に加えることは、検査周波
数帯域ｆ１〜ｆ２の加速度成分を同時に被検査加速度セ
ンサ１５及び基準加速度センサ１６に加えることを意味
している。従って、上記ホワイトノイズ加速度を加速度
センサ１５及び１６に加えることは、従来構成（図８参
照）のように、加速度センサに加える加速度の周波数を
検査周波数帯域ｆ１〜ｆ２で段階的に変化（スイープ）
させることと、時間的な違いがあるだけで実質的には同
じことになる。

【００１７】また、電圧発生器９は、被検査加速度セン
サ１５及び基準加速度センサ１６に検知動作用の電圧を
印加する電源回路である。そして、被検査加速度センサ
１５及び基準加速度センサ１６は、上記電圧が印加され
た状態で、加振機１０により上記ホワイトノイズ加速度
が加えられると、このホワイトノイズ加速度を検知して
加速度検知出力として加速度検知信号Ｓ１及びＳ２を出
力する。これら加速度検知信号Ｓ１及びＳ２を、図４の
（ａ）及び（ｂ）に示す。

【００１８】続いて、被検査加速度センサ１５及び基準
加速度センサ１６から出力された加速度検知信号Ｓ１及
びＳ２は、ＦＦＴアナライザ８へ与えられるように構成
されている。このＦＦＴアナライザ８は、上記２つの加
速度検知信号Ｓ１、Ｓ２の比Ｓ１／Ｓ２を高速フーリエ
変換することにより、周波数と検知出力比（検知信号
比）とを対応させた特性、即ち、周波数特性を出力する
ように構成されている。具体的には、ＦＦＴアナライザ
８は、図５に示すような特性図（グラフ）を出力するよ
うに構成されている。この図５における横軸は周波数を
示し、縦軸は検知出力比Ｓ１／Ｓ２のゲイン（ｄＢ）を
示している。この場合、ＦＦＴアナライザ８が高速フー
リエ変換手段を構成している。

【００１９】また、上記ＦＦＴアナライザ８は、上記周
波数特性のグラフを例えば印刷して出力すると共に、上
記周波数特性のグラフをデジタルデータに変換してこの
周波数特性データをパソコン７へ出力する機能を有して
いる。そして、パソコン７は、ＦＦＴアナライザ８から
の周波数特性データを入力し、この特性が正常規格内に
属しているか否かを自動的に判断すると共に、前記被検
査加速度センサ１５の良否を判定するように構成されて
いる。この場合、パソコン７が判定手段を構成してい
る。尚、パソコン７の上記判定動作の具体的内容につい
ては後述する。

【００２０】ここで、ＦＦＴアナライザ８から出力され
た周波数特性のグラフ（図５）の見方について説明す
る。まず、前記検査周波数帯域の中のある１つの周波数
において、被検査加速度センサ１５から出力される加速
度検知信号Ｓ１と基準加速度センサ１６から出力される
加速度検知信号Ｓ２が等しければ、比Ｓ１／Ｓ２が１と
なり、このときゲインは０ｄＢとなる。そして、加速度
検知信号Ｓ１が加速度検知信号Ｓ２より小さくなれば、
比Ｓ１／Ｓ２が１より小さくなり、ゲイン（ｄＢ）は負
の値となる。反対に、加速度検知信号Ｓ１が加速度検知
信号Ｓ２より大きくなれば、比Ｓ１／Ｓ２が１より大き
くなり、ゲイン（ｄＢ）は正の値となる。ここで、基準
加速度センサ１６は、検査周波数帯域（ｆ１〜ｆ２）の
全域において、正常規格内における設計中心の値を加速
度検知信号Ｓ２として出力していることがわかってい
る。

【００２１】従って、被検査加速度センサ１５が、検査
周波数帯域（ｆ１〜ｆ２）の全域において、基準加速度
センサ１６の加速度検知出力Ｓ２と同じ値の加速度検知
出力Ｓ１を出力しておれば、検査周波数帯域（ｆ１〜ｆ
２）の全域においてゲインは０ｄＢとなる。一方、検査
周波数帯域（ｆ１〜ｆ２）のうちのある周波数におい
て、被検査加速度センサ１５が基準加速度センサ１６の
加速度検知出力Ｓ２よりも大きい値の加速度検知出力Ｓ
１を出力しておれば、ゲインは正の値となり、被検査加
速度センサ１５が基準加速度センサ１６の加速度検知出
力Ｓ２よりも小さい値の加速度検知出力Ｓ１を出力して
おれば、ゲインは負の値となる。

【００２２】そこで、図５に示すように、正常規格の上
限値をＸｄＢ、下限値を−ＸｄＢと設定しておき、検査
周波数帯域（ｆ１〜ｆ２）の全域において、上記検知出
力比Ｓ１／Ｓ２のゲインが上限値ＸｄＢと下限値−Ｘｄ
Ｂとの間に属していることを確認できれば、ＦＦＴアナ
ライザ８から出力される周波数特性、即ち、被検査加速
度センサ１５の周波数特性が正常規格内に属しているこ
とを確認できたことになる。そして、この確認が行われ
た場合、上記被検査加速度センサ１５を良品であると判
定することができる。

【００２３】これに対して、検査周波数帯域（ｆ１〜ｆ
２）の全域のうちのある周波数において、上記検知出力
比Ｓ１／Ｓ２のゲインが上限値ＸｄＢを越えたり、また
は、下限値−ＸｄＢよりも小さくなったりすることを確
認できれば、被検査加速度センサ１５の周波数特性が正
常規格内に属していないことを確認できたことになる。
この場合には、上記被検査加速度センサ１５を不良品で
あると判定することができる。

【００２４】次に、上記構成の周波数特性検査装置６の
検査動作について、図６も参照して説明する。図６は、
周波数特性検査装置６のパソコン７の制御プログラムの
制御内容を概略的に示すフローチャートである。まず、
図３に示すように、検査したい被検査加速度センサ１５
と基準加速度センサ１６を加振機構部１３のステージ１
４上に取り付ける。続いて、パソコン７のキーボードを
操作して検査運転を開始させる（図６のステップＳ
１）。

【００２５】すると、パソコン７は、電圧発生器９を駆
動して被検査加速度センサ１５と基準加速度センサ１６
に検査動作用の電圧を印加する（ステップＳ２）。そし
て、パソコン７は、ホワイトノイズ発生器１１及び加振
機１０を駆動して、ホワイトノイズ加速度を被検査加速
度センサ１５及び基準加速度センサ１６に加え、両加速
度センサ１５、１６をホワイトノイズ加振する（ステッ
プＳ３）。ここで、ホワイトノイズ加速度を加えている
時間は、検査周波数帯域のうちの最も低い周波数成分
（この場合、１０Ｈｚ）の例えば１０周期分の時間であ
る１秒間としている。尚、上記ホワイトノイズ加速度を
加えている時間は、最も低い周波数成分の１周期分の時
間である０．１秒以上であれば良く、具体的時間値は適
宜設定すれば良い。

【００２６】これと共に、パソコン７は、ＦＦＴアナラ
イザ８を動作させ、被検査加速度センサ１５及び基準加
速度センサ１６から出力される２つの加速度検知出力Ｓ
１、Ｓ２の比Ｓ１／Ｓ２を高速フーリエ変換する高速フ
ーリエ変換処理（ＦＦＴ解析）を開始させる（ステップ
Ｓ４）。これにより、ＦＦＴアナライザ８は、検査周波
数帯域（ｆ１〜ｆ２）の全域において、加速度検知出力
比Ｓ１／Ｓ２のゲインの周波数特性を算出して出力す
る。この場合、ＦＦＴアナライザ８は、検査周波数帯域
（ｆ１〜ｆ２）の全域における加速度検知出力比Ｓ１／
Ｓ２のゲインの周波数特性の中から最大値及び最小値を
求めて出力するように構成されていることが好ましい。
そして、ＦＦＴアナライザ８から出力された加速度検知
出力比Ｓ１／Ｓ２の周波数特性（並びにその最大値及び
最小値）は、パソコン７へ送信されるようになっている
（ステップＳ５）。

【００２７】続いて、パソコン７は、上記ＦＦＴアナラ
イザ８から出力された加速度検知出力比Ｓ１／Ｓ２の周
波数特性が正常規格の上限値ＸｄＢと下限値−ＸｄＢの
間に属しているか否かを判断する（ステップＳ６）。こ
の場合、パソコン７は、上記送信された周波数特性の中
から最大値及び最小値を求め、この最大値及び最小値
（或いは、送信された周波数特性の最大値及び最小値）
が正常規格の上限値ＸｄＢと下限値−ＸｄＢの間に属し
ているか否かを判断している。

【００２８】ここで、周波数特性の最大値及び最小値が
正常規格の上限値ＸｄＢと下限値−ＸｄＢの間に属して
おれば、被検査加速度センサ１５が良品であると判定さ
れ、上記ステップＳ６にて「ＹＥＳ」へ進み、パソコン
７のディスプレイに被検査加速度センサ１５が良品であ
ることが表示されるように構成されている（ステップＳ
７）。

【００２９】一方、周波数特性の最大値及び最小値が正
常規格の上限値ＸｄＢと下限値−ＸｄＢの間に属してい
なければ、被検査加速度センサ１５が不良品であると判
定され、上記ステップＳ６にて「ＮＯ」へ進み、パソコ
ン７のディスプレイに被検査加速度センサ１５が不良品
であることが表示されるように構成されている（ステッ
プＳ８）。これにより、作業者は、パソコン７のディス
プレイを視認することにより、被検査加速度センサ１５
の良否がわかる。

【００３０】このような構成の本実施例によれば、ホワ
イトノイズ加速度を２つの加速度センサ１５、１６に加
えるのに必要な最小時間は、検査周波数帯域（ｆ１〜ｆ
２）のうちの最も低い周波数成分の１周期分の時間、例
えば最も低い周波数成分が１０Ｈｚであれば、０．１秒
となり、本実施例では、１０周期分の時間である１秒間
としている。そして、２つの加速度センサ１５、１６か
ら出力される加速度検知出力Ｓ１、Ｓ２の比Ｓ１／Ｓ２
を高速フーリエ変換するときに必要な時間は、ＦＦＴア
ナライザ８のデータ処理能力に依存するが、通常、数秒
程度の時間である。従って、被検査加速度センサ１５を
検査するときに要する検査時間は全体でも数秒程度とな
るから、従来構成に比べて、検査時間を大幅に短縮する
ことができる。

【００３１】また、上記実施例では、基準加速度センサ
１６として、被検査加速度センサ１５と同じ構造の加速
度センサであって、その周波数特性が予め知られている
と共に正常規格内に存在する加速度センサ、具体的に
は、周波数特性が正常規格の設計中心である加速度セン
サを使用した。このため、ＦＦＴアナライザ８から出力
される風波数特性が正常規格内に属しているか否かを判
断するに当たって、検査周波数帯域の全域に対して、正
常規格の上限値Ｘ及び正常規格の下限値−Ｘがそれぞれ
一定値となる。そして、パソコン７においては、これら
２個の数値Ａ、Ｂを用意すると共に、ＦＦＴアナライザ
８から出力される周波数特性の最大値及び最小値を上記
２個の数値Ｘ、−Ｘと比較する判断を行うだけで済む。
これにより、上記判断のための構成を簡単化することが
できる。

【００３２】尚、基準加速度センサ１６としては、周波
数特性が正常規格の設計中心であることは必須条件では
なく、周波数特性が正常規格内であれば良い。この場合
には、正常規格の設計中心からずれた分に対応するよう
に、上限値Ｘ及び下限値−Ｘの値を変更してやれば良
い。

【００３３】更に、上記実施例では、ＦＦＴアナライザ
８から出力される周波数特性をパソコン７へ入力し、パ
ソコン７において、上記周波数特性が正常規格内に属し
ているか否かを自動的に判断すると共に、被検査加速度
センサ１５の良否を判定するように構成した。これによ
り、被検査加速度センサ１５の良否が自動的に判定され
るようになり、検査作業がより一層簡単なものとなる。

【００３４】一方、基準加速度センサとして、上記基準
加速度センサ１６に代えて、市販の容量式加速度センサ
を使用するように構成しても良い。この構成を、第２の
実施例として図７を参照して説明する。この第２の実施
例の場合、ＦＦＴアナライザ８から出力される加速度検
知信号Ｓ１、Ｓ２の比Ｓ１／Ｓ２の周波数特性は、図７
において実線Ｐで示すグラフのようになる。この図７の
ような周波数特性Ｐが得られる理由は、加速度センサ１
の加速度検知出力が周波数が低くなるにしたがって低下
する特性が求められているためである。このような特性
は、加速度センサ１において共振を防ぐ構造が正常に機
能していることを確認するために必要な特性である。

【００３５】このため、図７に示すように、加速度検知
出力Ｓ１、Ｓ２の比Ｓ１／Ｓ２の周波数特性の正常規格
の上限値は実線Ｐ１となると共に、下限値は実線Ｐ２と
なる。そこで、第２の実施例においては、パソコン７
は、上限値の実線Ｐ１に対応する上限値データと、下限
値の実線Ｐ２に対応する下限値データを内部に予め記憶
しておき、検査周波数帯域の全域について、ＦＦＴアナ
ライザ８から出力される周波数特性が上限値データと下
限値データとの間に属しているか否かを判断するように
構成されている。そして、パソコン７は、ＦＦＴアナラ
イザ８からの周波数特性が上限値データと下限値データ
との間に属しておれば、被検査加速度センサ１５が良品
であると判定し、属していなければ、被検査加速度セン
サ１５が不良品であると判定するように構成されてい
る。

【００３６】尚、上述した以外の第２の実施例の構成
は、第１の実施例と同じ構成となっている。従って、第
２の実施例においても、第１の実施例とほぼ同じ作用効
果を得ることができる。

【００３７】また、上記各実施例では、高速フーリエ変
換手段をＦＦＴアナライザ８により構成したが、これに
限られるものではなく、パソコンの内部に高速フーリエ
変換機能を備えるように構成しても良い。この構成の場
合、周波数検査装置の構成が一層簡単になる。更に、上
記各実施例では、半導体式加速度センサ１の周波数特性
を検査する場合に適用したが、他の加速度センサ（例え
ば容量式加速度センサ、圧電形加速度センサ、サーボ形
加速度センサ等）の周波数特性を検査する場合に適用し
ても良い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示すブロック図

【図２】加速度センサの斜視図

【図３】加振機の側面図

【図４】（ａ）は被検査加速度センサから出力される加
速度検知信号を示すタイムチャート、（ｂ）は基準加速
度センサから出力される加速度検知信号を示すタイムチ
ャート

【図５】ＦＦＴアナライザから出力される周波数特性を
示す特性図

【図６】フローチャート

【図７】本発明の第２の実施例を示す図５相当図

【図８】従来構成を示すもので、加速度の周波数をスイ
ープさせたときの様子を示すタイムチャート

【符号の説明】

１は半導体式加速度センサ、６は周波数特性検査装置、
７はパソコン（判定手段）、８はＦＦＴアナライザ（高
速フーリエ変換手段）、１０は加振機、１１はホワイト
ノイズ発生器（ホワイトノイズ発生手段）、１５は被検
査加速度センサ、１６は基準加速度センサを示す。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査周波数帯域の周波数成分を含んだホ
   ワイトノイズを発生するホワイトノイズ発生手段と、 被検査加速度センサ及び基準加速度センサを一緒に加振
   するものであって、前記ホワイトノイズ発生手段からの
   ホワイトノイズを受けてホワイトノイズ加速度を前記被
   検査加速度センサ及び前記基準加速度センサに加える加
   振機と、 前記被検査加速度センサ及び前記基準加速度センサから
   出力される加速度検知出力の比を高速フーリエ変換する
   ことにより、周波数と検知出力比とを対応させた特性を
   出力する高速フーリエ変換手段とを備えて成る加速度セ
   ンサの周波数特性検査装置。
2. 【請求項２】 前記基準加速度センサとして、前記被検
   査加速度センサと同じ構造の加速度センサであって、そ
   の周波数特性が予め知られていると共に正常規格内に存
   在する加速度センサを使用することを特徴とする請求項
   １記載の加速度センサの周波数特性検査装置。
3. 【請求項３】 前記高速フーリエ変換手段から出力され
   る周波数と検知出力比とを対応させた特性を入力し、こ
   の特性が正常規格内に属しているか否かを自動的に判断
   することに基づいて、前記被検査加速度センサの良否を
   判定する判定手段を備えたことを特徴とする請求項１ま
   たは２記載の加速度センサの周波数特性検査装置。