JPH11265215A - 圧力式流量制御装置 - Google Patents
圧力式流量制御装置Info
- Publication number
- JPH11265215A JPH11265215A JP8946298A JP8946298A JPH11265215A JP H11265215 A JPH11265215 A JP H11265215A JP 8946298 A JP8946298 A JP 8946298A JP 8946298 A JP8946298 A JP 8946298A JP H11265215 A JPH11265215 A JP H11265215A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- type flow
- pressure type
- block
- throttle mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 8
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000010979 ruby Substances 0.000 description 1
- 229910001750 ruby Inorganic materials 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 所望の孔径に簡単に設定することができ、安
定した流量制御を行うことができるようにした圧力式流
量制御装置を提供すること。 【解決手段】 流体制御弁７の下流側に絞り機構５を設
け、この絞り機構５の上流側の圧力を下流側の圧力の約
２倍以上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧力式
流量制御装置において、前記絞り機構５における絞り部
分３３Ａを変形させることにより、孔径の大きさを変え
られるようにした。
定した流量制御を行うことができるようにした圧力式流
量制御装置を提供すること。 【解決手段】 流体制御弁７の下流側に絞り機構５を設
け、この絞り機構５の上流側の圧力を下流側の圧力の約
２倍以上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧力式
流量制御装置において、前記絞り機構５における絞り部
分３３Ａを変形させることにより、孔径の大きさを変え
られるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガスなどの流体
の流量を制御する圧力式流量制御装置、特に、流体制御
弁の下流側に絞り機構を設け、この絞り機構の上流側の
圧力を下流側の圧力の約２倍以上に保持した状態でガス
の流量制御を行う圧力式流量制御装置に関する。
の流量を制御する圧力式流量制御装置、特に、流体制御
弁の下流側に絞り機構を設け、この絞り機構の上流側の
圧力を下流側の圧力の約２倍以上に保持した状態でガス
の流量制御を行う圧力式流量制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ノズルを通るガス流の特徴の一つに、ノ
ズルの上流側圧力Ｐ1 と下流側圧力Ｐ2 の圧力比Ｐ2 ／
Ｐ1 がガスの臨界圧力比（空気や窒素などの場合約０．
５）が０．５以下になると、ノズルを通るガスの流速が
音速となって、ノズル下流側の圧力変動が上流側に伝播
しなくなり、ノズル上流側の状態に相応した安定した質
量流量を得ることができるといった事象がある。
ズルの上流側圧力Ｐ1 と下流側圧力Ｐ2 の圧力比Ｐ2 ／
Ｐ1 がガスの臨界圧力比（空気や窒素などの場合約０．
５）が０．５以下になると、ノズルを通るガスの流速が
音速となって、ノズル下流側の圧力変動が上流側に伝播
しなくなり、ノズル上流側の状態に相応した安定した質
量流量を得ることができるといった事象がある。
【０００３】上述の事象を応用した装置として、例えば
特開平８−３３５１１７号公報に開示された圧力式流量
制御装置がある。この圧力式流量制御装置は、流体制御
弁の下流側に音速ノズルのような絞り機構を設け、この
絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧力の約２倍以上に
保持した状態で流体の流量制御を行うもので、従来のマ
スフローコントローラなどの流体制御装置に比べて、流
量制御を高精度で行うことができるといった利点があ
る。
特開平８−３３５１１７号公報に開示された圧力式流量
制御装置がある。この圧力式流量制御装置は、流体制御
弁の下流側に音速ノズルのような絞り機構を設け、この
絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧力の約２倍以上に
保持した状態で流体の流量制御を行うもので、従来のマ
スフローコントローラなどの流体制御装置に比べて、流
量制御を高精度で行うことができるといった利点があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報に記載されている圧力式流量制御装置においては、絞
り機構における孔を機械加工によって形成しており、し
かも、その径は固定的に定められるものであった。この
ため、機械加工のばらつきが即、流量や差圧の個体差に
結びつき、安定した制御が行えないことがある。そし
て、絞り機構における孔径が固定的であるため、特定の
流量にしか設定できないといった不都合があった。
報に記載されている圧力式流量制御装置においては、絞
り機構における孔を機械加工によって形成しており、し
かも、その径は固定的に定められるものであった。この
ため、機械加工のばらつきが即、流量や差圧の個体差に
結びつき、安定した制御が行えないことがある。そし
て、絞り機構における孔径が固定的であるため、特定の
流量にしか設定できないといった不都合があった。
【０００５】また、前記絞り機構における孔の径は、例
えば０．１〜０．７ｍｍ程度と微細であり、このような
微細な孔は、放電、プレス、エッチングなどの特殊な加
工方法によらねばならず、製作の面でも煩わしいもので
あった。
えば０．１〜０．７ｍｍ程度と微細であり、このような
微細な孔は、放電、プレス、エッチングなどの特殊な加
工方法によらねばならず、製作の面でも煩わしいもので
あった。
【０００６】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、所望の孔径に簡単に設定するこ
とができ、安定した流量制御を行うことができるように
した圧力式流量制御装置を提供することである。
たもので、その目的は、所望の孔径に簡単に設定するこ
とができ、安定した流量制御を行うことができるように
した圧力式流量制御装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、流体制御弁の下流側に絞り機構を設
け、この絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧力の約２
倍以上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧力式流
量制御装置において、前記絞り機構における絞り部分を
変形させることにより、孔径の大きさを変えられるよう
にしている。
め、この発明では、流体制御弁の下流側に絞り機構を設
け、この絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧力の約２
倍以上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧力式流
量制御装置において、前記絞り機構における絞り部分を
変形させることにより、孔径の大きさを変えられるよう
にしている。
【０００８】上記圧力式流量制御装置においては、絞り
機構における絞り部分を変形させることにより、孔径の
大きさを変えられるようにしているので、絞り機構にお
ける孔径を機械加工を厳密に行うことなく、所望の孔径
に設定することができ、安定した流量制御を行うことが
できる。
機構における絞り部分を変形させることにより、孔径の
大きさを変えられるようにしているので、絞り機構にお
ける孔径を機械加工を厳密に行うことなく、所望の孔径
に設定することができ、安定した流量制御を行うことが
できる。
【０００９】前記絞り機構を、流体制御弁が設けられる
本体ブロックに着脱自在に接続される継手ブロックの内
部に着脱自在に設けた場合、前記孔径の調整を容易に行
うことができる。
本体ブロックに着脱自在に接続される継手ブロックの内
部に着脱自在に設けた場合、前記孔径の調整を容易に行
うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を図面を参照し
ながら説明する。図１〜図４は、この発明の一つの実施
の形態を示す。まず、図１は、この発明の圧力式流量制
御装置の一例を示し、この図において、１は例えば直方
体状の本体ブロックで、耐化学薬品性を有する素材、例
えばステンレス鋼よりなる。この本体ブロック１の一端
側には、ガスなど流体の導入用の継手ブロック２が溶接
によって一体的に連設され、他端側には、流体導出用の
継手ブロック３がねじ４によって着脱自在に連設されて
いる。この継手ブロック３も例えばステンレス鋼よりな
り、内部に絞り機構５が設けられている。なお、この絞
り機構５については、後で詳しく説明する。
ながら説明する。図１〜図４は、この発明の一つの実施
の形態を示す。まず、図１は、この発明の圧力式流量制
御装置の一例を示し、この図において、１は例えば直方
体状の本体ブロックで、耐化学薬品性を有する素材、例
えばステンレス鋼よりなる。この本体ブロック１の一端
側には、ガスなど流体の導入用の継手ブロック２が溶接
によって一体的に連設され、他端側には、流体導出用の
継手ブロック３がねじ４によって着脱自在に連設されて
いる。この継手ブロック３も例えばステンレス鋼よりな
り、内部に絞り機構５が設けられている。なお、この絞
り機構５については、後で詳しく説明する。
【００１１】前記本体ブロック１の内部には、上流側が
継手ブロック２に連なり、下流側が継手ブロック３に連
なるガス流路６が形成され、このガス流路６の途中にガ
ス流量を制御する流体制御弁７と圧力センサ８が設けら
れている。
継手ブロック２に連なり、下流側が継手ブロック３に連
なるガス流路６が形成され、このガス流路６の途中にガ
ス流量を制御する流体制御弁７と圧力センサ８が設けら
れている。
【００１２】前記流体制御弁７は、次のように構成され
ている。すなわち、本体ブロック１の上面側に延設され
た上流側のガス流路６ａには、弁口９と、下流側のガス
流路６ｂに連なる流路１０とを備えたオリフィスブロッ
ク１１が設けられるとともに、弁頭部１２とプランジャ
部１３とからなり、弁口９の開度を調節する弁体１４が
弁頭部１２を弁口９に近接した状態で設けられている。
そして、この弁体１４は、本体ブロック１の上部に設け
られた弁ブロック１５の下部空間内に設けられた金属製
のダイヤフラム１６によって、通常時、オリフィスブロ
ック１１の上面との間に若干の隙間が形成されるよう
に、上下動自在に保持されている。
ている。すなわち、本体ブロック１の上面側に延設され
た上流側のガス流路６ａには、弁口９と、下流側のガス
流路６ｂに連なる流路１０とを備えたオリフィスブロッ
ク１１が設けられるとともに、弁頭部１２とプランジャ
部１３とからなり、弁口９の開度を調節する弁体１４が
弁頭部１２を弁口９に近接した状態で設けられている。
そして、この弁体１４は、本体ブロック１の上部に設け
られた弁ブロック１５の下部空間内に設けられた金属製
のダイヤフラム１６によって、通常時、オリフィスブロ
ック１１の上面との間に若干の隙間が形成されるよう
に、上下動自在に保持されている。
【００１３】１７は弁体１４を上下方向に押圧駆動する
圧電素子型アクチュエータで、弁ブロック１５に螺着さ
れた筒状のケース１８内に収容されている。この圧電素
子型アクチュエータ１７に所定の電圧を加えることによ
り、伝達部材としてのルビーボール１９を介して弁体１
４が押圧駆動され、これによって、弁口９の開度が調整
され、流体流路６を流れるガスの流量が制御される。
圧電素子型アクチュエータで、弁ブロック１５に螺着さ
れた筒状のケース１８内に収容されている。この圧電素
子型アクチュエータ１７に所定の電圧を加えることによ
り、伝達部材としてのルビーボール１９を介して弁体１
４が押圧駆動され、これによって、弁口９の開度が調整
され、流体流路６を流れるガスの流量が制御される。
【００１４】前記圧力センサ８は、例えば歪みセンサよ
りなり、流体制御弁７の下流側の流路６ｂに形成された
凹部２０に臨むようにして設けられている。
りなり、流体制御弁７の下流側の流路６ｂに形成された
凹部２０に臨むようにして設けられている。
【００１５】次に、継手ブロック３およびこれに設けら
れる絞り機構５について、図２〜図４をも参照しながら
説明する。まず、継手ブロック３は、図１に示すよう
に、一端部側（上流側）に本体ブロック１の下流側の端
面に対応するフランジ部２１が形成され、他端側（下流
側）の外周にねじ部２２が形成されている。そして、こ
の継手ブロック３の内部上流側には、ザグリ部を有する
とともに、絞り機構ブロック２３（その構成については
後述する）を着脱自在に設けるための雌ねじ部２４（図
３参照）を有する凹部２５と、この凹部２５に連なり、
継手ブロック３の下流側端面に開口を有する末広がり状
態の流路２６が形成されている。
れる絞り機構５について、図２〜図４をも参照しながら
説明する。まず、継手ブロック３は、図１に示すよう
に、一端部側（上流側）に本体ブロック１の下流側の端
面に対応するフランジ部２１が形成され、他端側（下流
側）の外周にねじ部２２が形成されている。そして、こ
の継手ブロック３の内部上流側には、ザグリ部を有する
とともに、絞り機構ブロック２３（その構成については
後述する）を着脱自在に設けるための雌ねじ部２４（図
３参照）を有する凹部２５と、この凹部２５に連なり、
継手ブロック３の下流側端面に開口を有する末広がり状
態の流路２６が形成されている。
【００１６】前記絞り機構ブロック２３は、図２および
図３に示すように、円筒体形状で、その上流側の外周に
は、前記雌ねじ部２４と螺合する雄ねじ部２７が形成さ
れるとともに、下流側の外周には二条の凹溝２８が形成
され、シール部材としてのＯリング２９が嵌め込まれて
いる。そして、絞り機構ブロック２３の内部には、本体
ブロック１側の流路６ｂと同径の導入路３０と、雌ねじ
部３１と、この雌ねじ部３１に連なり半球状部３２ａと
その先端の筒部３２ｂとからなる規制部３２とが形成さ
れている。なお、この絞り機構ブロック２３は、例えば
ステンレス鋼よりなる。
図３に示すように、円筒体形状で、その上流側の外周に
は、前記雌ねじ部２４と螺合する雄ねじ部２７が形成さ
れるとともに、下流側の外周には二条の凹溝２８が形成
され、シール部材としてのＯリング２９が嵌め込まれて
いる。そして、絞り機構ブロック２３の内部には、本体
ブロック１側の流路６ｂと同径の導入路３０と、雌ねじ
部３１と、この雌ねじ部３１に連なり半球状部３２ａと
その先端の筒部３２ｂとからなる規制部３２とが形成さ
れている。なお、この絞り機構ブロック２３は、例えば
ステンレス鋼よりなる。
【００１７】そして、３３は絞り機構５を構成する絞り
機構部材で、例えば四フッ化エチレン樹脂などの耐薬品
性および弾力性を有する素材よりなり、図３および図４
に示すように、前記規制部３２の表面と対応する外形を
呈し、内部の開口３４は先端ほど細くなるように形成さ
れ、その先端側に絞り部分３３Ａによって絞り機構とし
ての孔５が形成されている。この孔５の径Ｄは、０．１
〜０．７ｍｍ程度である。また、３５は絞り機構部材３
３を押圧して、孔５の大きさを変化させる押圧部材で、
例えばステンレス鋼よりなり、その外周には雌ねじ部３
１と螺合する雄ねじ部３６が形成されているとともに、
内部には前記開口３４の上流側の直径とほぼ等しい孔３
７が貫設され、さらに、その上流側の端面には細い溝部
３８が形成されている。
機構部材で、例えば四フッ化エチレン樹脂などの耐薬品
性および弾力性を有する素材よりなり、図３および図４
に示すように、前記規制部３２の表面と対応する外形を
呈し、内部の開口３４は先端ほど細くなるように形成さ
れ、その先端側に絞り部分３３Ａによって絞り機構とし
ての孔５が形成されている。この孔５の径Ｄは、０．１
〜０．７ｍｍ程度である。また、３５は絞り機構部材３
３を押圧して、孔５の大きさを変化させる押圧部材で、
例えばステンレス鋼よりなり、その外周には雌ねじ部３
１と螺合する雄ねじ部３６が形成されているとともに、
内部には前記開口３４の上流側の直径とほぼ等しい孔３
７が貫設され、さらに、その上流側の端面には細い溝部
３８が形成されている。
【００１８】上記構成の圧力式流量制御装置において
は、絞り機構５を構成するには、継手ブロック３に組み
込む前の絞り機構ブロック２３に対して、図４（Ａ）に
示すように、絞り機構部材３３を規制部３２内に収容
し、押圧部材３５を螺着する。そして、同図（Ｂ）にお
いて、スクリュードライバなど適宜の部材を溝部３８に
嵌め込んで、押圧部材３５を矢印３９方向に回転させる
と、押圧部材３５にが図中の矢印４０方向に前進して、
絞り機構部材３３が矢印４０方向に圧縮される。この圧
縮によって、絞り機構部材３３の先端の絞り部分３３Ａ
は、絞り機構ブロック２３の規制部３２の形状に沿うよ
うになり、その孔５を縮径するように変化する。逆に、
押圧部材３５を矢印３９と反対の方向に回転させると、
前記孔５の径は広がる。
は、絞り機構５を構成するには、継手ブロック３に組み
込む前の絞り機構ブロック２３に対して、図４（Ａ）に
示すように、絞り機構部材３３を規制部３２内に収容
し、押圧部材３５を螺着する。そして、同図（Ｂ）にお
いて、スクリュードライバなど適宜の部材を溝部３８に
嵌め込んで、押圧部材３５を矢印３９方向に回転させる
と、押圧部材３５にが図中の矢印４０方向に前進して、
絞り機構部材３３が矢印４０方向に圧縮される。この圧
縮によって、絞り機構部材３３の先端の絞り部分３３Ａ
は、絞り機構ブロック２３の規制部３２の形状に沿うよ
うになり、その孔５を縮径するように変化する。逆に、
押圧部材３５を矢印３９と反対の方向に回転させると、
前記孔５の径は広がる。
【００１９】つまり、押圧部材３５のねじ込み具合を調
整することにより、絞り機構部材３３における絞り部分
３３Ａを変形させることができ、孔径の大きさを変える
ことができる。したがって、絞り機構５における孔径の
大きさは、ねじ式の押圧部材３５のねじ込みを加減する
といったきわめて簡単な手法で、絞り機構５における孔
径を所望の大きさに設定することができ、安定した流量
制御を行うことができるのである。
整することにより、絞り機構部材３３における絞り部分
３３Ａを変形させることができ、孔径の大きさを変える
ことができる。したがって、絞り機構５における孔径の
大きさは、ねじ式の押圧部材３５のねじ込みを加減する
といったきわめて簡単な手法で、絞り機構５における孔
径を所望の大きさに設定することができ、安定した流量
制御を行うことができるのである。
【００２０】前記孔径の調整を行った後、絞り機構ブロ
ック２３を継手ブロック３に螺着する。そして、この継
手ブロック３を、流体制御弁７および圧力センサ８を組
み込んだ本体ブロック１に対してねじ止めすることによ
り、所望の圧力式流量制御装置を得ることができる。
ック２３を継手ブロック３に螺着する。そして、この継
手ブロック３を、流体制御弁７および圧力センサ８を組
み込んだ本体ブロック１に対してねじ止めすることによ
り、所望の圧力式流量制御装置を得ることができる。
【００２１】そして、上記実施の形態においては、絞り
機構５を構成する絞り機構部材３３を着脱自在に組み込
んだ絞り機構ブロック２３が、継手ブロック３に対して
着脱自在に設けられ、さらに、この継手ブロック３が、
流体制御弁７などが設けられる本体ブロック１に着脱自
在接続されるように構成してあるので、絞り機構５にお
ける孔径の調整を簡単に行うことができるのは勿論のこ
と、絞り機構５や継手ブロック３の点検やメンテナンス
を簡単に行うことができる。また、ガスの種類に最適な
継手ブロック３や絞り機構５を選択して本体ブロック１
と組み合わせることができる。
機構５を構成する絞り機構部材３３を着脱自在に組み込
んだ絞り機構ブロック２３が、継手ブロック３に対して
着脱自在に設けられ、さらに、この継手ブロック３が、
流体制御弁７などが設けられる本体ブロック１に着脱自
在接続されるように構成してあるので、絞り機構５にお
ける孔径の調整を簡単に行うことができるのは勿論のこ
と、絞り機構５や継手ブロック３の点検やメンテナンス
を簡単に行うことができる。また、ガスの種類に最適な
継手ブロック３や絞り機構５を選択して本体ブロック１
と組み合わせることができる。
【００２２】
【発明の効果】この発明の圧力式流量制御装置は、絞り
機構における絞り部分を変形させることにより、孔径の
大きさを変えられるようにしているので、絞り機構にお
ける孔径を機械加工を厳密に行うことなく、所望の孔径
に設定することができ、安定した流量制御を行うことが
できる。
機構における絞り部分を変形させることにより、孔径の
大きさを変えられるようにしているので、絞り機構にお
ける孔径を機械加工を厳密に行うことなく、所望の孔径
に設定することができ、安定した流量制御を行うことが
できる。
【図１】この発明の圧力式流量制御装置の一例を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図２】前記圧力式流量制御装置に用いられる絞り機構
を組み込んだ継手ブロックの一例を示す断面図である。
を組み込んだ継手ブロックの一例を示す断面図である。
【図３】前記継手ブロックの要部を示す分解斜視図であ
る。
る。
【図４】絞り機構とこれを押圧する部材の動作を説明す
るための図である。
るための図である。
【符号の説明】 １…本体ブロック、３…継手ブロック、５…絞り機構、
７…流体制御弁、３３Ａ…絞り部分、Ｄ…孔径。
７…流体制御弁、３３Ａ…絞り部分、Ｄ…孔径。
Claims (2)
- 【請求項１】 流体制御弁の下流側に絞り機構を設け、
この絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧力の約２倍以
上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧力式流量制
御装置において、前記絞り機構における絞り部分を変形
させることにより、孔径の大きさを変えられるようにし
たことを特徴とする圧力式流量制御装置。 - 【請求項２】 絞り機構が、流体制御弁が設けられる本
体ブロックに着脱自在に接続される継手ブロックの内部
に着脱自在に設けられている請求項１に記載の圧力式流
量制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08946298A JP3971840B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 圧力式流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08946298A JP3971840B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 圧力式流量制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11265215A true JPH11265215A (ja) | 1999-09-28 |
| JP3971840B2 JP3971840B2 (ja) | 2007-09-05 |
Family
ID=13971382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08946298A Expired - Fee Related JP3971840B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 圧力式流量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3971840B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007023597A1 (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-01 | Fujikin Incorporated | ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置 |
| US8418714B2 (en) | 2005-06-27 | 2013-04-16 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
| US9383758B2 (en) | 2005-06-27 | 2016-07-05 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
| US9921089B2 (en) | 2005-06-27 | 2018-03-20 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
-
1998
- 1998-03-17 JP JP08946298A patent/JP3971840B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8418714B2 (en) | 2005-06-27 | 2013-04-16 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
| US9010369B2 (en) | 2005-06-27 | 2015-04-21 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
| US9383758B2 (en) | 2005-06-27 | 2016-07-05 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
| US9921089B2 (en) | 2005-06-27 | 2018-03-20 | Fujikin Incorporated | Flow rate range variable type flow rate control apparatus |
| WO2007023597A1 (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-01 | Fujikin Incorporated | ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置 |
| JP2007057474A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Fujikin Inc | ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置 |
| US9133951B2 (en) | 2005-08-26 | 2015-09-15 | Fujikin Incorporated | Gasket type orifice and pressure type flow rate control apparatus for which the orifice is employed |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3971840B2 (ja) | 2007-09-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100313220B1 (ko) | 압력식 유량제어장치 | |
| US5100100A (en) | Fluid control and shut off valve | |
| US6520479B1 (en) | Flow rate control valve | |
| TWI644048B (zh) | 流量控制閥及使用該控制閥之流量控制裝置 | |
| US6637451B2 (en) | Pneumatic pressure regulator assembly | |
| JPH11265215A (ja) | 圧力式流量制御装置 | |
| CN115183035B (zh) | 一种背压阀 | |
| WO2019102882A1 (ja) | バルブ装置およびその制御装置を用いた制御方法、流体制御装置および半導体製造装置 | |
| JP2001141083A (ja) | 定圧レギュレータ | |
| US5465750A (en) | Two-stage regulator | |
| TWI753708B (zh) | 隔膜閥、流量控制裝置、流體控制裝置及半導體製造裝置 | |
| CN112081987B (zh) | 内置于比例阀的稳压装置 | |
| JP2002276845A (ja) | 調節弁 | |
| JP3583851B2 (ja) | クリーンガス用減圧弁 | |
| JP2004084944A (ja) | 流量抵抗設定ノズル | |
| US4984600A (en) | Self correcting nozzle useful with current to pressure transducer | |
| WO2006075450A1 (ja) | ダイアフラム弁 | |
| JP2529388B2 (ja) | ガス流量制御装置用バルブ | |
| RU2216762C1 (ru) | Устройство регулирования параметров газового потока | |
| JP3012042B2 (ja) | 質量流量制御器の制御弁 | |
| JP4012306B2 (ja) | 圧力式流量制御装置 | |
| TW201842287A (zh) | 控制器 | |
| CN113958743A (zh) | 一种对入口压力不敏感的气体比例调节阀 | |
| CN121346060A (zh) | 调节阀、质量流量控制器及其流量控制方法 | |
| JP2575057Y2 (ja) | 圧力調整器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050316 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20060921 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20061003 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061201 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20070605 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070611 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |