JPH1126528A - 光学ブリッジのアライメント装置及びプローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 プローブ装置におけるアライメント装置のア
ライメントの開始時間を短かくする。 【解決手段】 光学ブリッジのアライメント装置２０
は、メインチャック上のウエハＷをアライメントするた
めのカメラを搭載したアライメントブリッジ２２と、こ
れをメインチャックの上方でプローブセンタと待機位置
との間で移動自在に支持する左右一対のガイドロッド２
３と、これらのいずれか一方の側に配設され且つアライ
メントブリッジ２２を各ガイドロッド２３に従って移動
させるロッドレスエアシリンダ２４とを備え、且つ、ア
ライメントブリッジ２２の両端部から各ガイドロッド２
３に平行させて左右一対の固定用ロッド２９をそれぞれ
突出させると共に、各固定用ロッド２９をそれぞれ吸引
してアライメントブリッジ２２をプローブセンタで固定
する永久磁石を設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学ブリッジのア
ライメント装置及びプローブ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のプローブ装置１０は、例えば図５
に示すように、カセットＣ内に収納されたウエハＷを搬
送するローダ室１１と、このローダ室１１内に配設され
た搬送機構（図示せず）を介して搬送されたウエハＷを
検査するプローバ室１２と、このプローバ室１２及びロ
ーダ室１１を制御するコントローラ１３と、このコント
ローラ１３を操作する操作パネルを兼ねる表示装置１４
とを備えて構成されている。

【０００３】上記ローダ室１１にはサブチャック１５が
配設され、このサブチャック１５を介してオリエンテー
ションフラットを基準にしたウエハＷのプリアライメン
トを行い、搬送機構を介してプリアライメント後のウエ
ハＷをプローバ室１２へ搬送するようになっている。

【０００４】上記プローバ室１２には、ウエハＷを載置
するＸステージ１６、Ｙステージ１７等を介してＸ、
Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動するメインチャック１８と、こ
のメインチャック１８上に載置されたウエハＷを検査位
置に正確にアライメントする光学ブリッジのアライメン
ト装置（以下、単に「アライメント装置」と称す。）２
０と、アライメント装置２０によりアライメントされた
ウエハＷの電気的検査を行うためのプローブ針を有する
プローブカード（図示せず）とが配設されている。そし
て、プローブカードはプローバ室１２の上面に対して開
閉可能なヘッドプレートの中央の開口部にインサートリ
ングを介して固定されている。また、プローバ室１２に
はテストヘッド（図示せず）が旋回可能に配設され、プ
ローバ室１２上に旋回したテストヘッドを介してプロー
ブカードとテスタ（図示せず）間を電気的に接続し、テ
スタからの所定の信号をプローブカードを介してメイン
チャック１８上のウエハＷにおいて授受し、ウエハＷに
形成された複数のチップの電気的検査をテスタによって
順次行うようにしている。

【０００５】ところで、ウエハＷの検査を行う時には予
めアライメント装置２０を用いてメインチャック１８上
のウエハＷをアライメントした後、ウエハＷの各チップ
を１個ずつ正確に検査するようにしている。このアライ
メント装置２０は、図５、図６に示すように、ウエハＷ
等を撮像する撮像手段例えばＣＣＤカメラ２１と、この
カメラ２１を搭載したアライメントブリッジ２２と、こ
のアライメントブリッジ２２をＹ方向に往復移動可能に
支持する左右一対のＹ方向のリニアガイド２３、２３
と、両リニアガイド２３、２３に従って往復移動させる
左右一対の駆動機構例えばエアシリンダ２４、２４とを
備えている。アライメントブリッジ２２は連結部材２５
を介してエアシリンダ２４に連結され、エアシリンダ２
４によりＹ方向に移動するようになっている。

【０００６】また、アライメント装置２０はアライメン
トブリッジ２２をプローブセンタで固定するブリッジ固
定装置２６を備えている。このブリッジ固定装置２６
は、図６に示すように、アライメントブリッジ２２の左
右両端の底面前方部に移動方向と平行に取り付けられた
側面形状が略Ｌ字状の固定用部材２７と、この固定用部
材２７の９０°彎曲した彎曲面と係合してアライメント
ブリッジ２２をプローブセンタで固定するローラ２８
と、このローラ２８が回転自在に取り付けられたレバー
２９と、このレバー２９の一端に枢着され且つ他端の支
持ピン３０を中心にレバー２９を正逆回転させるエアシ
リンダ３１とを備えたリンク機構として構成されてい
る。尚、３２はショックアブソーバである。

【０００７】次に、アライメント装置２０の動作につい
て説明する。ウエハＷのアライメントを行う場合には、
図示しない左右一対のエアシリンダが駆動すると、アラ
イメントブリッジ２２が左右一対のリニアガイド２３に
従って待機位置からＹ方向に移動してプローブセンタに
到達する。この瞬間ブリッジ固定装置２６のエアシリン
ダ３１が駆動し、リンク機構を介してローラ２８を反時
計方向へ回転させると、ローラ２８がアライメントブリ
ッジ２２底面の固定用部材２７の彎曲面と係合し、アラ
イメントブリッジ２２をショックアブソーバ３２へ瞬間
的に押し付る。その結果、図６に示すようにブリッジ固
定装置２６のローラ２８とショックアブソーバ３２とで
固定用部材２７を挟持し、アライメントブリッジ２２を
プローブセンタにおいて固定する。この状態で、アライ
メントブリッジ２２に搭載されたカメラと図示しないメ
インチャック１８側に固定されたカメラとの協働作業で
メインチャック１８上のウエハＷのアライメントを行
う。アライメント後にはエアシリンダ３１が逆向き、即
ち同図の矢印方向に駆動してアライメントブリッジ２２
がブリッジ固定装置２６から解放され、左右一対の駆動
機構としてのエアシリンダによって元の待機位置まで戻
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プローブ装置におけるアライメント装置２０の場合に
は、ブリッジ固定装置２６のエアシリンダ３１の空気圧
によりローラ２８を固定用部材２７の彎曲面に押圧し、
ショックアブソーバ３２でアライメントブリッジ２２を
固定するようにしているが、アライメントブリッジ２２
はショックアブソーバ３２に弾接した瞬間に移動方向で
微振動するため、この振動が減衰するまでに時間が掛か
り、アライメントブリッジ２２のプローブセンタでの固
定が遅れ、この遅れによりアライメント動作開始の遅れ
るという課題があった。また、エアシリンダ３１とショ
ックアブソーバ３２とでアライメントブリッジ２２を固
定しているため、アライメントブリッジ２２の固定位置
が不安定でアライメントブリッジ２２が本来のプローブ
センタから僅かではあるが位置ずれする虞がある。特
に、今後ウエハＷのチップが超微細化すると、ミクロン
オーダの位置ずれでも本来のプロービング動作に狂いが
生じる虞があり、結果的に検査の信頼性を低下させる。

【０００９】また、従来のアライメント装置２０の場合
には、アライメントブリッジ２２をリニアガイド２３に
従ってＹ方向へ移動させるようにしているが、リニアガ
イド２３はＸ、Ｙ及びＺ方向を極めて高精度に位置合わ
せした基台（図示せず）上に設置しなくてはならない。
しかも、アライメントブリッジ２２をリニアガイド２３
に従って円滑に移動させるため、アライメントブリッジ
２２の左右から均等な駆動力を付与するエアシリンダを
左右に設けなくてはならず、しかも、ブリッジ固定装置
２６としてエアシリンダ３１及びリンク機構を用いてい
るため、アライメント装置２０の構造が複雑でコスト高
なものになっていた。

【００１０】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、アライメント用の撮像手段をプローブセン
タに対して瞬時に固定し、アライメント動作を素早く行
うことができる光学ブリッジのアライメント装置を提供
すると共に、構造を簡素化してコストを低減することが
できる光学ブリッジのアライメント装置を提供すること
を目的としている。また、アライメント用の撮像手段を
プローブセンタに対して短時間に固定してスループット
を高めることができると共に構造を簡素化してコストを
低減することができ、ひいては検査の信頼性を高めるこ
とができるプローブ装置を併せて提供することを目的と
している。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の光学ブリッジのアライメント装置は、Ｘ、Ｙ、Ｚ及び
θ方向に移動可能な載置台上の被検査体をアライメント
するための撮像手段を搭載したアライメントブリッジ
と、このアライメントブリッジを上記載置台の上方でプ
ローブセンタと待機位置との間で移動自在に支持し且つ
プローブ装置本体に配設された左右一対のガイド部材
と、これら両ガイド部材の少なくともいずれか一方の側
で上記アライメントブリッジを上記各ガイド部材に従っ
て移動させる駆動機構とを備え、且つ、上記アライメン
トブリッジをその両端部でそれぞれ吸着してプローブセ
ンタで固定する磁石を上記プローブ装置本体にそれぞれ
設けたことを特徴とするものである。

【００１２】また、本発明の請求項２に記載の光学ブリ
ッジのアライメント装置は、Ｘ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移
動可能な載置台上の被検査体をアライメントするための
撮像手段を搭載したアライメントブリッジと、このアラ
イメントブリッジを上記載置台の上方でプローブセンタ
と待機位置との間で移動自在に支持し且つプローブ装置
本体に配設された左右一対のガイド部材と、両ガイド部
材のいずれか一方の側で上記アライメントブリッジを上
記各ガイド部材に従って移動させる駆動機構とを備え、
且つ、上記アライメントブリッジの両端部から上記各ガ
イド部材に平行させて左右一対の固定用ロッドをそれぞ
れ突出させると共に上記各固定用ロッドがぞれぞれ嵌入
するソレノイドを設け、上記駆動機構のない側のソレノ
イドの反発力を上記駆動機構を有する側のソレノイドの
反発力よりも大きく設定したことを特徴とするものであ
る。

【００１３】また、本発明の請求項３に記載の光学ブリ
ッジのアライメント装置は、請求項１または請求項２に
記載の発明において、上記ガイド部材がガイドロッドか
らなることを特徴とするものである。

【００１４】また、本発明の請求項４に記載の光学ブリ
ッジのアライメント装置は、請求項３に記載の発明にお
いて、上記アライメントブリッジの両端部から上記各ガ
イドロッドに平行させて上下にテーパ面を有する左右一
対の位置決め用突起をそれぞれ突出させると共に、上記
各位置決め用突起がそれぞれ当接して上記アライメント
ブリッジをプローブセンタで位置決めする逆テーパ面を
有する位置決めブロックを設けたことを特徴とするもの
である。

【００１５】また、本発明の請求項５に記載のプローブ
装置は、プローブ装置本体上面に配設されたプローブカ
ードと、このプローブカードの下方にＸ、Ｙ、Ｚ及びθ
方向に移動可能に配設された載置台と、この載置台の上
方においてプローブセンタと待機位置の間で左右一対の
ガイドロッドに従って移動し且つ上記載置台上の被検査
体をアライメントするための撮像手段を搭載したアライ
メントブリッジと、このアライメントブリッジを上記各
ガイドロッドに従って移動させる両ガイドロッドのいず
れか一方の側に配設され駆動機構とを備え、且つ、上記
アライメントブリッジをその両端部でそれぞれ吸着して
プローブセンタで固定する永久磁石を上記プローブ装置
本体にそれぞれ設けると共に各永久磁石の吸着力を相殺
し得る反発力を生じるソレノイドを各永久磁石とそれぞ
れ一体に設け、上記プローブセンタにおいて上記各ソレ
ノイドに嵌入する左右一対の固定用ロッドを上記アライ
メントブリッジの両端部から上記各ガイドロッドに平行
させてそれぞれ突設したことを特徴とするものである。

【００１６】また、本発明の請求項６に記載のプローブ
装置は、請求項５に記載の発明において、上記駆動機構
のない側のソレノイドの反発力を上記駆動機構を有する
側のソレノイドの反発力よりも大きく設定したことを特
徴とするものである。

【００１７】また、本発明の請求項７に記載のプローブ
装置は、請求項５または請求項６に記載の発明におい
て、上記アライメントブリッジの両端部から上記各ガイ
ドロッドに平行させて上下にテーパ面を有する左右一対
の位置決め用突起をそれぞれ突出させると共に、上記各
位置決め用突起がそれぞれ当接して上記アライメントブ
リッジをプローブセンタで位置決めする逆テーパ面を有
する位置決めブロックを設けたことを特徴とするもので
ある。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図４に示す実施形態
に基づいて本発明を説明する。本実施形態のプローブ装
置は、光学ブリッジのアライメント装置（以下、単に
「アライメント装置」と称す。）を除き従来のプローブ
装置に準じて構成されている。従って、本実施形態では
アライメント装置を中心に説明する。尚、図１、図２は
本実施形態のアライメント装置のローダ室側のみの構成
部材を図示してある。本実施形態のアライメント装置２
０は、例えば図１、図４に示すように、アライメント時
にウエハＷの表面等を撮像するカメラ２１（図４参照）
を搭載したアライメントブリッジ２２と、このアライメ
ントブリッジ２２をメインチャック１８（図５参照）の
上方でプローブセンタ（プローブカードＰの検査中心の
垂直下方）と待機位置との間で移動自在に支持するよう
にプローバ室１２に配設された左右一対のガイドロッド
２３、２３と、両ガイドロッド２３、２３のうちローダ
室側のガイドロッド２３と平行にその真下に配設された
ロッドレスエアシリンダ（以下、単に「エアシリンダ」
と称す。）２４とを備えている。そして、各ガイドロッ
ド２３及びエアシリンダ２４の両端部はプローバ室１２
内の前後に立設された基柱１２Ａ、１２Ｂによって支持
されている。

【００１９】上記アライメントブリッジ２２底面の左右
両端には例えば略矩形状に形成された連結ブロック２５
がそれぞれ固定され、プローバ室１２の左側の図示しな
い連結ブロックを介して左側のガイドロッドがアライメ
ントブリッジ２２の左端部と摺動代（極めて微細な隙
間）を持って連結されている。また、アライメントブリ
ッジ２２の右端部は連結ブロック２５を介して右側のガ
イドロッド２３及びエアシリンダ２４とそれぞれ摺動代
を持って連結されている。つまり、連結ブロック２５に
は上下に貫通孔が形成され、上側の貫通孔にはリニアブ
ッシュ２３Ａが装着され、このリニアブッシュ２３Ａを
介してアライメントブリッジ２２がガイドロッド２３に
従って摺動するようにしてある。また、下側の貫通孔に
はエアシリンダ２４の移動体２４Ａが装着され、エアシ
リンダ２４に供給される圧縮空気の作用で移動体２４Ａ
を介してアライメントブリッジ２２がシリンダ２４Ｂに
従って移動するようにしてある。このようにアライメン
トブリッジ２２はプローバ室１２の右側（ローダ室側）
のガイドロッド２３の下方に配設された１台のエアシリ
ンダ２４によってガイドロッド２３に従って往復移動す
るようにしてあるため、エアシリンダ２４のない方のガ
イドロッド２３では移動速度に若干の遅れが生じ、アラ
イメントブリッジ２２が水平面内で両ガイドロッド２３
に対して極めて僅かではあるが傾斜する。

【００２０】また、図２を参照すれば明らかなように上
記各連結ブロック２５の前面（図２では左側の面）には
位置決め用突起２６がそれぞれ固定されている。この位
置決め用突起２６はガイドロッド２３と前方に突出し、
その先端部に上下のテーパ面２６Ａ、２６Ａが形成され
ている。また、前方の基柱１２Ａには各位置決め用突起
２６に対応させた位置決めブロック２７が固定されてい
る。この位置決めブロック２７には位置決め用突起２６
のテーパ面２６Ａ、２６Ａと係合する上下の逆テーパ面
２７Ａ、２７Ａからなる凹部が形成されている。そし
て、位置決め用突起２６と位置決めブロック２７が当接
した位置がプローブセンタとなるようにしてある。

【００２１】そして、アライメントブリッジ２２をプロ
ーブセンタで固定する装置として固定用ロッド、永久磁
石及びソレノイドがそれぞれ設けられている。左右の固
定用ロッド及びソレノイドはいずれも同一構造を有する
ため左側（ローダ室側）の固定用ロッド及びソレノイド
について図１、図２を参照しながら説明する。即ち、上
記各位置決め用突起２６の基部には図１、図２に示すよ
うに基板部２８が垂直下方へ延設され、これらの基板部
２８に強磁性体からなる固定用ロッド２９がガイドロッ
ド２３と平行に取り付けられている。そして、前方の基
柱１２Ａには固定用ロッド２９を吸引してアライメント
ブリッジ２２をプローブセンタで固定する固定手段３０
が固定されている。この固定手段３０は、図３に示すよ
うに、全面に配置されたリング状の永久磁石３０Ａと、
この永久磁石３０Ａの背面側に配置されたソレノイド３
０Ｂとを備え、ソレノイド３０Ｂを流れる電流の向きを
切り換えられるようにしてある。従って、例えばアライ
メントブリッジ２２をプローブセンタで固定する時に
は、永久磁石３０Ａ及びソレノイド３０Ｂにより固定用
ロッド２９を吸引し、アライメントブリッジ２２をプロ
ーブセンタで停止させるようにしてある。逆にアライメ
ントブリッジ２２を待機位置へ戻す時には、ソレノイド
３０Ｂの電流の向きを逆方向にして固定用ロッド２９に
反発力を付与すると共に永久磁石３０Ａの吸着力を相殺
して固定用ロッド２９が固定手段３０から円滑に抜け出
るようにしてある。また、永久磁石３０Ａは、単に固定
用ロッド２９を吸引するのみならず、より大きな役割と
して待機位置から移動して来るアライメントブリッジ２
２をプローブセンタで瞬時に固定し、アライメント開始
までの待ち時間を殆ど無くし、アライメントを短時間で
開始できる態勢を作る機能を有している。尚、アライメ
ントブリッジ２２がプローブセンタ及び待機位置に位置
する時には、左右の固定手段３０のソレノイド３０Ｂは
いずれも非励磁状態になっている。

【００２２】また、アライメントブリッジ２２は上述し
たように１台のエアシリンダ２４によって駆動し、エア
シリンダ２４のない方のガイドロッド２３ではアライメ
ントブリッジ２２が従動するため、エアシリンダ２４の
ない方ではアライメントブリッジ２２が移動が若干遅れ
る。従って、エアシリンダ２４のない方（左側）が遅れ
た状態でアライメントブリッジ２２が移動すると、アラ
イメントブリッジ２２が左右方向で傾斜し、連結ブロッ
ク２５とリニアブッシュ２３Ａ間でカジリを生じる虞が
ある。

【００２３】そこで、本実施形態ではアライメントブリ
ッジ２２がプローブセンタから待機位置へ戻る時には、
エアシリンダ２４のない左側のソレノイド３０Ｂのソレ
ノイドの反発力をエアシリンダ２４のある右側のソレノ
イド３０Ｂの反発力よりも大きく、例えば１．５倍の反
発力を発生するようにしてある。アライメントブリッジ
２２をプローブセンタから待機位置へ戻す時には左側の
ソレノイド３０Ｂに発生する磁束により左側の永久磁石
３０Ａの吸着作用を相殺し、固定用ロッド２９の吸着力
を殆ど無くし、固定用ロッド２９が固定手段３０から円
滑に抜け、左側の固定手段３０内におけるアライメント
ブリッジ２２の遅れを無くすようにしてある。また、ア
ライメントブリッジ２２が待機位置からプローブセンタ
へ移動する時には、エアシリンダ２４のない左側のソレ
ノイド３０Ｂの吸引力とエアシリンダ２４のある右側の
ソレノイド３０Ｂの吸引力とが略等しく、左右の固定用
ロッド２９を均等な吸引力で吸引し、アライメントブリ
ッジ２２の傾斜を解消するようにしてある。

【００２４】また、前方の基柱１２Ａには後方へ延びる
基台部１２Ｃがソレノイド３０の下方に位置させて形成
され、この基台部１２Ｃ上にショックアブソーバ３１が
配設されている。その結果、アライメントブリッジ２２
がエアシリンダ２４の作用で待機位置からプローブセン
タへ移動し、固定手段３０が固定用ロッド２９を吸引
し、アライメントブリッジ２２が急速にプローブセンタ
へ移動し始めると、アライメントブリッジ２２の連結ブ
ロック２５が停止位置直前にショックアブソーバ３１と
当接し、位置決め用突起２６と位置決めブロック２７が
プローブセンタで当接する時の衝撃をショックアブソー
バ３１によって緩和するようにしてある。

【００２５】次に、本実施形態のアライメント装置２０
を用いたプローブ装置の動作について図５をも参照しな
がら説明する。例えばローダ室１１からプローバ室１２
内のメインチャック１８上にウエハＷが移載されると、
Ｘ、Ｙステージ１６、１７が駆動してメインチャック１
８がプローブセンタに移動する。次いで、図１に示すア
ライメント装置２０のエアシリンダ２４が駆動し、エア
シリンダ２４の移動体２４Ａを介してアライメントブリ
ッジ２２がガイドロッド２３及びシリンダ２４Ｂに従っ
て待機位置からプローブセンタに向かって移動する。こ
の際、エアシリンダ２４は１台しかないため、エアシリ
ンダ２４のない方ではアライメントブリッジ２２の移動
が若干遅れ、アライメントブリッジ２２は水平面内で両
ガイドロッド２３に対して極めて僅かではあるが傾斜す
るが、この傾斜は固定手段３０が固定用ロッド２９を吸
引する間に解消される。尚、この時点で固定手段３０に
は正方向の電流が流れ、固定用ロッド２９を吸引できる
状態になっている。

【００２６】その後、アライメントブリッジ２２がプロ
ーブセンタに近づき、図２に示すように左右の固定用ロ
ッド２９がそれぞれの対応する固定手段３０内に差し掛
かると、永久磁石３０Ａ及び励磁されたソレノイド３０
Ｂ内に固定用ロッド２９を強力に吸引する。これにより
素早くアライメントブリッジ２２の微振動が収まり、ア
ライメント開始のための待機時間が極めて短くなる。こ
の時、アライメントブリッジ２２がプローブセンタに到
達する直前にアライメントブリッジ２２がショックアブ
ソーバ３１と弾接し、固定手段３０によるアライメント
ブリッジ２２の移動速度を制動する。そのため、位置決
め用突起２６は位置決めブロック２７に対して衝撃力を
伴うことなく当接すると、この瞬間に上述のように永久
磁石３０Ａによって固定用ロッド２９を固定してアライ
メントブリッジ２２を微振動させることなくプローブセ
ンタにおいて瞬時に停止させ、アライメント動作を極め
て短時間で開始することができる。また、この時、位置
決めブロック２７の作用と相俟って左右の固定手段３０
の永久磁石３０Ａによりそれぞれの固定用ロッド２９を
強力に吸引しているため、アライメントブリッジ２２は
プローブセンタにおいて強固に固定され、プローブセン
タからの位置ずれを確実に防止する。

【００２７】以上説明したように本実施形態によれば、
アライメントブリッジ２２を１台のエアシリンダ２４に
よって左右一対のガイドロッド２３に従って移動させ、
しかも固定手段３０によって固定用ロッド２９を強力に
吸引してアライメントブリッジ２２をプローブセンタに
おいて固定するようにしたため、駆動機構であるエアシ
リンダ２４が１台でもアライメントブリッジ２２をガイ
ドロッド２３に従って円滑に移動させることができ、ア
ライメント装置２０の構造を簡素化してコストを低減で
きる。しかも、本実施形態によれば、固定手段３０の永
久磁石３０Ｂによってアライメントブリッジ２２を固定
するようにしたため、永久磁石３０Ａによってアライメ
ントブリッジ２２を吸着後プローブセンタにおいて瞬時
固定することができ、これによりアライメント動作を極
めて短時間で素早く開始してアライメントのスループッ
トを高めることができると共に、プローブセンタにおい
て安定的に正確且つ確実にアライメント動作を行うこと
ができ、ひいては信頼性の高いプロービングを行って検
査の信頼性を高めることができる。

【００２８】また、本実施形態によれば、エアシリンダ
２４のない方の固定手段３０のソレノイド３０Ｂの反発
力をエアシリンダ２４のある方の固定手段３０のソレノ
イド３０Ｂの反発力より大きく、その約１．５倍の大き
さに設定してあるため、アライメントブリッジ２２をプ
ローブセンタから待機位置へ戻す場合には、アライメン
トブリッジ２２はエアシリンダ２４のある方がない方よ
り先に移動しようとするが、エアシリンダ２４のない方
の固定手段３０では吸引力が殆ど作用しない状態になっ
ているため、固定用ロッド２９が固定手段３０から円滑
に抜け出てアライメントブリッジ２２に傾斜を生じさせ
ることなく、換言すれば連結ブロック２５とリニアブッ
シュ２３Ａ間でカジリを生じさせることなく円滑に待機
位置へ戻すことができる。

【００２９】更に、アライメントブリッジ２２に上下の
テーパ面２６Ａを有する位置決め用突起２６を設けると
共に基柱１２Ａに上下のテーパ面２７Ａを有する位置決
めブロック２７を設けたため、位置決め用突起２６と位
置決めブロック２７の当接面が横方向でフリーになり、
位置決め用突起２６と位置決めブロック２７を取り付け
る際に両者２６、２７の位置調整を容易に行うことがで
きる。

【００３０】尚、上記実施形態では、永久磁石３０Ａ及
びソレノイド３０Ｂを有する固定手段３０について説明
したが、本発明における永久磁石３０Ａはアライメント
ブリッジ２２をプローブセンタで瞬時に固定する機能を
有し、ソレノイド３０Ｂはアライメントブリッジ２２の
駆動源が１箇所でも固定用ロッド２９を介してアライメ
ントブリッジ２２を傾斜させることなく円滑にガイドロ
ッド２４に従って移動させる機能を有しているため、本
発明において永久磁石３０Ａ及びソレノイド３０Ｂは単
独であっても、それぞれ固有の効果を有している。即
ち、永久磁石はアライメント動作を素早く開始すること
ができるという効果を有し、ソレノイドは駆動源が片方
だけでも良く、装置の簡素化を実現するという効果を有
している。永久磁石に代えて電磁石を用いても良い。

【００３１】また、上記実施形態ではアライメントブリ
ッジ２２をプローブセンタに固定する装置として位置決
め用突起２６、位置決めブロック２７、固定用ロッド２
９及び固定手段３０を用い、しかも、この固定装置をガ
イドロッド２３及び１台のエアシリンダ２４を用いたプ
ローブ装置に対して適用した場合について説明したが、
この固定装置は従来のプローブ装置、即ち、リニアガイ
ド及び２台のエアシリンダを駆動源とするプローブ装置
に対しても適用することができる。また、上記実施形態
では固定装置として位置決め用突起２６及び位置決めブ
ロック２７を用いたものについて説明したが、固定手段
３０を固定用ロッド２９の係止部材としての機能を付与
することにより、位置決め用突起２６及び位置決めブロ
ック２７を省略することもできる。

【００３２】

【発明の効果】本発明の請求項１に記載の発明によれ
ば、アライメント用の撮像手段をプローブセンタに対し
て瞬時に固定し、アライメント動作を素早く行うことが
できる光学ブリッジのアライメント装置を提供すること
ができる。

【００３３】また、本発明の請求項２〜請求項４に記載
の発明によれば、構造を簡素化してコストを低減するこ
とができる光学ブリッジのアライメント装置を提供する
ことができる。

【００３４】また、本発明の請求項５〜請求項７に記載
の発明によれば、アライメント用の撮像手段をプローブ
センタに対して短時間に固定してスループットを高める
ことができると共に構造を簡素化してコストを低減する
ことができ、ひいては検査の信頼性を高めることができ
るプローブ装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のアライメント装置の一実施形態を示す
ローダ室側からの側面図である。

【図２】図１に示すアライメント装置の要部を示す斜視
図である。

【図３】図１、図２に示すアライメントブリッジがプロ
ーブセンタにある時の固定用ロッドろソレノイドとの関
係を示すソレノイドの軸方向の断面図である。

【図４】図１、図２に示すアライメントブリッジを示す
裏面側の平面図である。

【図５】従来のプローブ装置のプローバ室を破断して示
す斜視図である。

【図６】図５に示すプローブ装置に用いられたアライメ
ント装置の要部を示すローダ室側からの側面図である。

【符号の説明】

１２ プローバ室（装置本体） １６ メインチャック（載置台） ２０ アライメント装置 ２１ カメラ（撮像手段） ２２ アライメントブリッジ ２３ ガイドロッド ２４ ロッドレスエアシリンダ（駆動機構） ２６ 位置決め用突起 ２６Ａ テーパ面 ２７ 位置決め用ブロック ２７Ａ 逆テーパ面 ２９ 固定用ロッド ３０ ソレノイド

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能な載置
   台上の被検査体をアライメントするための撮像手段を搭
   載したアライメントブリッジと、このアライメントブリ
   ッジを上記載置台の上方でプローブセンタと待機位置と
   の間で移動自在に支持し且つプローブ装置本体に配設さ
   れた左右一対のガイド部材と、これら両ガイド部材の少
   なくともいずれか一方の側で上記アライメントブリッジ
   を上記各ガイド部材に従って移動させる駆動機構とを備
   え、且つ、上記アライメントブリッジをその両端部でそ
   れぞれ吸着してプローブセンタで固定する磁石を上記プ
   ローブ装置本体にそれぞれ設けたことを特徴とする光学
   ブリッジのアライメント装置。
2. 【請求項２】 Ｘ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能な載置
   台上の被検査体をアライメントするための撮像手段を搭
   載したアライメントブリッジと、このアライメントブリ
   ッジを上記載置台の上方でプローブセンタと待機位置と
   の間で移動自在に支持し且つプローブ装置本体に配設さ
   れた左右一対のガイド部材と、両ガイド部材のいずれか
   一方の側で上記アライメントブリッジを上記各ガイド部
   材に従って移動させる駆動機構とを備え、且つ、上記ア
   ライメントブリッジの両端部から上記各ガイド部材に平
   行させて左右一対の固定用ロッドをそれぞれ突出させる
   と共に上記各固定用ロッドがぞれぞれ嵌入するソレノイ
   ドを設け、上記駆動機構のない側のソレノイドの反発力
   を上記駆動機構を有する側のソレノイドの反発力よりも
   大きく設定したことを特徴とする光学ブリッジのアライ
   メント装置。
3. 【請求項３】 上記ガイド部材がガイドロッドからなる
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光学
   ブリッジのアライメント装置。
4. 【請求項４】 上記アライメントブリッジの両端部から
   上記各ガイドロッドに平行させて上下にテーパ面を有す
   る左右一対の位置決め用突起をそれぞれ突出させると共
   に、上記各位置決め用突起がそれぞれ当接して上記アラ
   イメントブリッジをプローブセンタで位置決めする逆テ
   ーパ面を有する位置決めブロックを設けたことを特徴と
   する請求項３に記載の光学ブリッジのアライメント装
   置。
5. 【請求項５】 プローブ装置本体上面に配設されたプロ
   ーブカードと、このプローブカードの下方にＸ、Ｙ、Ｚ
   及びθ方向に移動可能に配設された載置台と、この載置
   台の上方においてプローブセンタと待機位置の間で左右
   一対のガイドロッドに従って移動し且つ上記載置台上の
   被検査体をアライメントするための撮像手段を搭載した
   アライメントブリッジと、このアライメントブリッジを
   上記各ガイドロッドに従って移動させる両ガイドロッド
   のいずれか一方の側に配設され駆動機構とを備え、且
   つ、上記アライメントブリッジをその両端部でそれぞれ
   吸着してプローブセンタで固定する永久磁石を上記プロ
   ーブ装置本体にそれぞれ設けると共に各永久磁石の吸着
   力を相殺し得る反発力を生じるソレノイドを各永久磁石
   とそれぞれ一体に設け、上記プローブセンタにおいて上
   記各ソレノイドに嵌入する左右一対の固定用ロッドを上
   記アライメントブリッジの両端部から上記各ガイドロッ
   ドに平行させてそれぞれ突設したことを特徴とするプロ
   ーブ装置。
6. 【請求項６】 上記駆動機構のない側のソレノイドの反
   発力を上記駆動機構を有する側のソレノイドの反発力よ
   りも大きく設定したことを特徴とする請求項５に記載の
   光学ブリッジのプローブ装置。
7. 【請求項７】 上記アライメントブリッジの両端部から
   上記各ガイドロッドに平行させて上下にテーパ面を有す
   る左右一対の位置決め用突起をそれぞれ突出させると共
   に、上記各位置決め用突起がそれぞれ当接して上記アラ
   イメントブリッジをプローブセンタで位置決めする逆テ
   ーパ面を有する位置決めブロックを設けたことを特徴と
   する請求項５または請求項６に記載のプローブ装置。