JPH1126538A - 検査条件自動作成・伝送システム及び方法 - Google Patents
検査条件自動作成・伝送システム及び方法Info
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- JPH1126538A JPH1126538A JP9341358A JP34135897A JPH1126538A JP H1126538 A JPH1126538 A JP H1126538A JP 9341358 A JP9341358 A JP 9341358A JP 34135897 A JP34135897 A JP 34135897A JP H1126538 A JPH1126538 A JP H1126538A
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2832—Specific tests of electronic circuits not provided for elsewhere
- G01R31/2834—Automated test systems [ATE]; using microprocessors or computers
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体集積回路素子の検査工程に必要な検査
条件を自動で作成し、これを自動で検査プログラムにロ
ーディングする検査条件自動作成・伝送システム及び方
法を提供する。 【解決手段】 検査条件自動作成・伝送システム１０
は、集積回路素子の生産に必要な情報が入っているデー
タベースを有する遠隔ホスト２０から検査条件に必要な
データを収集するデータ収集手段と、収集されたデータ
を所定の処理条件と比較して検査条件を作成する演算手
段と、複数の検査機４０の動作を該当検査プログラムに
より制御する検査機ホスト３０に検査条件を伝送して、
該当プログラムにローディングする伝送手段とを含む。
従って、受注製品に対する検査条件が自動で作成され、
検査プログラムに自動でローディングされるため、検査
条件作成エラーを低減することができ、新たな製品に対
する迅速な対処が可能であるので、検査時が短縮され、
業務の効率性を図ることができる。
条件を自動で作成し、これを自動で検査プログラムにロ
ーディングする検査条件自動作成・伝送システム及び方
法を提供する。 【解決手段】 検査条件自動作成・伝送システム１０
は、集積回路素子の生産に必要な情報が入っているデー
タベースを有する遠隔ホスト２０から検査条件に必要な
データを収集するデータ収集手段と、収集されたデータ
を所定の処理条件と比較して検査条件を作成する演算手
段と、複数の検査機４０の動作を該当検査プログラムに
より制御する検査機ホスト３０に検査条件を伝送して、
該当プログラムにローディングする伝送手段とを含む。
従って、受注製品に対する検査条件が自動で作成され、
検査プログラムに自動でローディングされるため、検査
条件作成エラーを低減することができ、新たな製品に対
する迅速な対処が可能であるので、検査時が短縮され、
業務の効率性を図ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路素
子の検査に関し、より詳細には、検査工程に必要な検査
条件を自動で作成し、この検査条件を検査機ホストに伝
送し、各々の検査機を制御する検査プログラムにローデ
ィングする検査条件自動作成・伝送システム及び方法に
関する。
子の検査に関し、より詳細には、検査工程に必要な検査
条件を自動で作成し、この検査条件を検査機ホストに伝
送し、各々の検査機を制御する検査プログラムにローデ
ィングする検査条件自動作成・伝送システム及び方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】マスクＲＯＭ(mask Read Only Memory)
のような受注製品(ASIC; ApplicationSpecific IC)
は、使用者から素子の動作速度、Ce/Oe オプション(Chi
p Enable/Output Enable option)、動作モード及びＲＯ
Ｍコード等の情報を入手し、このような情報に基づいて
製作される。また、このような情報は、マスク製作、ウ
ェーハ製造工程、ＥＤＳ(Electrical Die Sorting)検
査、組立工程及び最終検査工程等の生産工程に反映され
る。受注製品の生産情報は、製品を使用しようとする顧
客（使用者）が半導体製造会社の営業部に予め提供す
る。営業部では、これに基づいて生産に必要な情報が入
っているデータベースを構築し、生産に関与する多くの
部署が利用することができるように、コンピューターシ
ステム、例えば遠隔ホストに貯蔵しておく。生産関与部
署では、自分の必要な情報を遠隔ホストから提供され、
顧客が望む機能と品質を有する半導体集積回路素子を製
造することになる。
のような受注製品(ASIC; ApplicationSpecific IC)
は、使用者から素子の動作速度、Ce/Oe オプション(Chi
p Enable/Output Enable option)、動作モード及びＲＯ
Ｍコード等の情報を入手し、このような情報に基づいて
製作される。また、このような情報は、マスク製作、ウ
ェーハ製造工程、ＥＤＳ(Electrical Die Sorting)検
査、組立工程及び最終検査工程等の生産工程に反映され
る。受注製品の生産情報は、製品を使用しようとする顧
客（使用者）が半導体製造会社の営業部に予め提供す
る。営業部では、これに基づいて生産に必要な情報が入
っているデータベースを構築し、生産に関与する多くの
部署が利用することができるように、コンピューターシ
ステム、例えば遠隔ホストに貯蔵しておく。生産関与部
署では、自分の必要な情報を遠隔ホストから提供され、
顧客が望む機能と品質を有する半導体集積回路素子を製
造することになる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、生産関与部署の
うち、検査工程を進行する部署では、生産された素子の
諸情報を検査プログラムで使用することができるよう
に、検査条件を再作成しなければならない。従来、検査
条件を作成するため、まず遠隔ホストに接近し、貯蔵さ
れているデータをダウンロードし、検査エンジニアが直
接データを確認しつつ、検査すべき素子に適合する検査
条件に該当するデータを検査プログラムに入力した。し
かるに、検査条件の作成が検査エンジニアの手作業によ
り行われると、エラーが多く発生する。また、新たな受
注製品が生産された場合、これに対して検査工程が迅速
に対処しがたいため、検査時間が長くなり、効率的な業
務処理がなされないという不都合があった。
うち、検査工程を進行する部署では、生産された素子の
諸情報を検査プログラムで使用することができるよう
に、検査条件を再作成しなければならない。従来、検査
条件を作成するため、まず遠隔ホストに接近し、貯蔵さ
れているデータをダウンロードし、検査エンジニアが直
接データを確認しつつ、検査すべき素子に適合する検査
条件に該当するデータを検査プログラムに入力した。し
かるに、検査条件の作成が検査エンジニアの手作業によ
り行われると、エラーが多く発生する。また、新たな受
注製品が生産された場合、これに対して検査工程が迅速
に対処しがたいため、検査時間が長くなり、効率的な業
務処理がなされないという不都合があった。
【０００４】従って、検査工程の検査プログラムに使用
される検査条件を自動で作成し、この検査条件を検査プ
ログラムに自動でローディングすることができる方案が
必要になった。本発明の目的は、検査工程に必要な検査
条件を自動で作成し、これを自動で検査プログラムにロ
ーディングすることにある。
される検査条件を自動で作成し、この検査条件を検査プ
ログラムに自動でローディングすることができる方案が
必要になった。本発明の目的は、検査工程に必要な検査
条件を自動で作成し、これを自動で検査プログラムにロ
ーディングすることにある。
【０００５】また、本発明の他の目的は、検査工程の効
率性を高め、検査時間を短縮することにある。
率性を高め、検査時間を短縮することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による検査条件自
動作成・伝送システムは、集積回路素子の生産に必要な
情報が入っているデータベースを有する遠隔ホストから
検査条件に必要なデータを収集するデータ収集手段と、
収集されたデータを所定の処理条件と比較して検査条件
を作成する演算手段と、複数の検査機の動作を該当検査
プログラムにより制御する検査機ホストに検査条件を伝
送して該当検査プログラムにローディングする伝送手段
とを備える。
動作成・伝送システムは、集積回路素子の生産に必要な
情報が入っているデータベースを有する遠隔ホストから
検査条件に必要なデータを収集するデータ収集手段と、
収集されたデータを所定の処理条件と比較して検査条件
を作成する演算手段と、複数の検査機の動作を該当検査
プログラムにより制御する検査機ホストに検査条件を伝
送して該当検査プログラムにローディングする伝送手段
とを備える。
【０００７】データ収集手段は、関係型データベース照
会用言語であるＳＱＬ言語を使用し、データ伝送手段
は、ＴＣＰ／ＩＰ伝送規約を使用する。本発明による検
査条件自動作成・伝送方法は、遠隔ホストに接続する段
階と、遠隔ホストのデータべースに接近する段階と、検
査条件の作成に必要なデータを収集する段階と、収集デ
ータを分析して既存の検査条件と比較する段階と、比較
段階において収集データが既存の検査条件と異なる場合
は検査条件を作成し、収集データが既存の検査条件と同
一である場合は検査条件を作成しない段階とを含むデー
タ収集過程と、収集データを特殊処理条件と比較してそ
の内容を整理して各コード別に検査条件を作成する演算
処理過程とを含む。
会用言語であるＳＱＬ言語を使用し、データ伝送手段
は、ＴＣＰ／ＩＰ伝送規約を使用する。本発明による検
査条件自動作成・伝送方法は、遠隔ホストに接続する段
階と、遠隔ホストのデータべースに接近する段階と、検
査条件の作成に必要なデータを収集する段階と、収集デ
ータを分析して既存の検査条件と比較する段階と、比較
段階において収集データが既存の検査条件と異なる場合
は検査条件を作成し、収集データが既存の検査条件と同
一である場合は検査条件を作成しない段階とを含むデー
タ収集過程と、収集データを特殊処理条件と比較してそ
の内容を整理して各コード別に検査条件を作成する演算
処理過程とを含む。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面に基づいて説明する。図１は、本発明による検査条件
自動作成・伝送システムの全体的な構成を示す概略ブロ
ック図である。検査条件自動作成・伝送システム１０の
データ収集部１２は、検査すべき製品に関するすべての
生産情報が入っているデータベース２２が貯蔵されてい
る遠隔ホスト２０に接近して検査条件の作成に必要なデ
ータをダウンロードする。データ収集部１２は、例え
ば、関係型データベース照会用言語であるＳＱＬ(Struc
tural Query Language) 言語を用いて実現されるＳＱＬ
エンジンであって、１つのＳＱＬエンジンを多数の使用
者が接近して作業をすることができ、遠隔ホストに貯蔵
されたデータベースを検索して資料を収集し、整理する
ことができるように構成されている。遠隔ホスト２０に
貯蔵されているデータベース２２は、例えばオラクル(O
racle)データベースである。
面に基づいて説明する。図１は、本発明による検査条件
自動作成・伝送システムの全体的な構成を示す概略ブロ
ック図である。検査条件自動作成・伝送システム１０の
データ収集部１２は、検査すべき製品に関するすべての
生産情報が入っているデータベース２２が貯蔵されてい
る遠隔ホスト２０に接近して検査条件の作成に必要なデ
ータをダウンロードする。データ収集部１２は、例え
ば、関係型データベース照会用言語であるＳＱＬ(Struc
tural Query Language) 言語を用いて実現されるＳＱＬ
エンジンであって、１つのＳＱＬエンジンを多数の使用
者が接近して作業をすることができ、遠隔ホストに貯蔵
されたデータベースを検索して資料を収集し、整理する
ことができるように構成されている。遠隔ホスト２０に
貯蔵されているデータベース２２は、例えばオラクル(O
racle)データベースである。
【０００９】検査条件自動作成・伝送システム１０の演
算部１４は、データ収集部１２で収集、整理したデータ
を既に知られた特殊処理条件と比較し、その内容を整理
した後、各コード別に検査条件を作成する。伝送部１６
は、作成された検査条件を検査機ホスト３０で使用でき
るファイル形態で伝送する役割をする。このため、伝送
部１６は、例えば遠隔ホスト連結ユーザー構造を使用す
る。検査機ホスト３０には、実際検査工程が進行される
複数の検査機４０を制御するための複数の検査プログラ
ム３２が入っている。図示しない検査すべき素子が検査
機４０に装着されると、検査機ホスト３０は、該当検査
プログラム３２を検査機４０に送り、検査機は、この検
査プログラムに従って素子に検査信号を供給し、素子の
電気的特性等を検査する。
算部１４は、データ収集部１２で収集、整理したデータ
を既に知られた特殊処理条件と比較し、その内容を整理
した後、各コード別に検査条件を作成する。伝送部１６
は、作成された検査条件を検査機ホスト３０で使用でき
るファイル形態で伝送する役割をする。このため、伝送
部１６は、例えば遠隔ホスト連結ユーザー構造を使用す
る。検査機ホスト３０には、実際検査工程が進行される
複数の検査機４０を制御するための複数の検査プログラ
ム３２が入っている。図示しない検査すべき素子が検査
機４０に装着されると、検査機ホスト３０は、該当検査
プログラム３２を検査機４０に送り、検査機は、この検
査プログラムに従って素子に検査信号を供給し、素子の
電気的特性等を検査する。
【００１０】図２は、本発明による検査条件自動作成・
伝送方法の全体的な過程を示す流れ図である。まず、遠
隔ホストに接続し（５０）、データベースの使用者名、
パスワード、データベース設定ＩＤ(Identification Da
ta) を入力して素子の全ての生産情報が入っているデー
タべースに接近する（５２）。データベースに入ってい
る情報の中で、必要なデータだけを収集し（５４）、Ｓ
ＱＬ言語を使用する場合、次のような形式の選択文を使
用することができる。
伝送方法の全体的な過程を示す流れ図である。まず、遠
隔ホストに接続し（５０）、データベースの使用者名、
パスワード、データベース設定ＩＤ(Identification Da
ta) を入力して素子の全ての生産情報が入っているデー
タべースに接近する（５２）。データベースに入ってい
る情報の中で、必要なデータだけを収集し（５４）、Ｓ
ＱＬ言語を使用する場合、次のような形式の選択文を使
用することができる。
【００１１】〔select’項目’ from ’テーブル名’wh
ere ’条件’order by’整列条件’〕 収集されたデータを分析し（５６）、検査条件を作成す
る（５８）。もし、収集されたデータが既存のデータと
同一である場合（６０）は、さらに検査条件を作成する
ことでなく、既存の検査条件を伝送する。また、収集さ
れたデータが既存のデータと異なる場合は、新たな検査
条件を作成して検査機ホストに伝送する６２。検査条件
の伝送のため、インターネットでデータを伝送する規約
として使用するＴＣＰ／ＩＰ(Transmission Control Pr
otocol/Internet Protocol) により具現されるRlogin、
Telnet、Ping、Finger、FTP 、Rcp 等のようなアプリケ
ーションを使用することができる。
ere ’条件’order by’整列条件’〕 収集されたデータを分析し（５６）、検査条件を作成す
る（５８）。もし、収集されたデータが既存のデータと
同一である場合（６０）は、さらに検査条件を作成する
ことでなく、既存の検査条件を伝送する。また、収集さ
れたデータが既存のデータと異なる場合は、新たな検査
条件を作成して検査機ホストに伝送する６２。検査条件
の伝送のため、インターネットでデータを伝送する規約
として使用するＴＣＰ／ＩＰ(Transmission Control Pr
otocol/Internet Protocol) により具現されるRlogin、
Telnet、Ping、Finger、FTP 、Rcp 等のようなアプリケ
ーションを使用することができる。
【００１２】図３は、遠隔ホストに貯蔵されている集積
回路素子の生産に必要なデータベースの一例である。図
３のデータベースは、全３７個のフィールドから構成さ
れるデータを有するが、これは、マスクＲＯＭの生産に
基礎となるデータを例示的に示したものであって、受注
製品の種類によって異なる。図３に示したデータベース
において、注文者番号に該当するフィールドord ＿no
は、営業部で注文者を管理するために指定した番号であ
り、フィルードline＿noは、注文書の該当パート番号、
フィールドschd＿noは、受注入手日から出荷日までの計
画番号を意味する。フィールドsales ＿codeは、営業部
で付与した使用者コードであり、フィールドcrc は、Ch
eckSumを意味し、素子に貯蔵されているデータを算術的
に加えた値である。フィールドcodepassは、バースト(b
urst) マスクＲＯＭのパスワードであり、フィールドus
er＿codeは、使用者コードにパッキング(packing) 方法
を記述したコード、フィールドcmc ＿codeは、使用者コ
ードにパッケージの類型を記述したコード、part＿no
は、ウェーハ製造工程を管理するための使用者コード、
フィールドpkg ＿typeは、該当素子のパッケージ類型を
示す。part＿noは、同一の製品でも注文者によって集積
回路素子の仕様が異なるので、このような相異する仕様
を管理するためのデータフィールドである。フィールド
customer＿idは、営業部で管理する顧客のＩＤ、フィー
ルドcustomer＿nameは、顧客名、フィールドdomainは、
顧客の居住地域、フィールドrec ＿dateは、顧客から受
注を受け付けた日付、フィールドord ＿dateは、営業入
庫要請日であって、営業部で生産工場側に要求する入庫
日を表示するフィールドである。フィールドord ＿qty
は、入庫数量、フィールドappli ＿flg は、該当コード
の使用先、即ちゲーム機用であるか、又はＰＣやＦＡＸ
等に使用される産業用であるかを区分するためのデータ
である。フィールドspeed は、該当コードの注文者が要
求する素子の動作速度、フィールドchksumは、素子に貯
蔵されるデータの合、フィールドctrl＿pin は、チップ
イネーブル(Ce)ピンや出力イネーブル(Oe)ピンに対して
使用者が要求する内容、フィールドpkigは、パッキング
方法を示す。パッキング方法には、テープリール(tape
＆ reel)、トレー(tray)、チューブ(tube)方式がある。
フィールドnew ＿flagは、注文が新たに入ったものであ
るか、又は既存にあったものであるかを示し、フィール
ドprtyは、注文者が要求する納期日が急なものであるか
否かを示す。フィールドord ＿statは、現在受注状態、
フィールドord ＿memoは、特殊処理コードであって、普
通の検査条件でないコード、即ち集積回路素子が、注文
者により特別に要求される動作条件を満足するかを検査
するためのコードに該当する。フィールドsame＿code
は、内容が同一であるコードの目録、フィールドrtf ＿
dateは、注文が生産部から営業部に伝達される時期、フ
ィールドrtf ＿qty は、営業部に伝達される数量、フィ
ールドre＿rtf ＿dateは、生産状況による納期再調整日
を示す。また、フィールドord ＿asgn＿dateは、コード
情報作成日、フィールドord ＿asgn＿qty は、作成され
た注文書上の数量、フィールドchulha＿dateは、出荷日
付、フィールドchulha＿qty は、出荷時の数量、フィー
ルドret ＿descは、ウェーハ製造工程時において基本と
なるウェーハ、即ちレチクル(reticle) に対するオプシ
ョン、フィルードmasterは、進行コードのマスターコー
ドを各々示す。
回路素子の生産に必要なデータベースの一例である。図
３のデータベースは、全３７個のフィールドから構成さ
れるデータを有するが、これは、マスクＲＯＭの生産に
基礎となるデータを例示的に示したものであって、受注
製品の種類によって異なる。図３に示したデータベース
において、注文者番号に該当するフィールドord ＿no
は、営業部で注文者を管理するために指定した番号であ
り、フィルードline＿noは、注文書の該当パート番号、
フィールドschd＿noは、受注入手日から出荷日までの計
画番号を意味する。フィールドsales ＿codeは、営業部
で付与した使用者コードであり、フィールドcrc は、Ch
eckSumを意味し、素子に貯蔵されているデータを算術的
に加えた値である。フィールドcodepassは、バースト(b
urst) マスクＲＯＭのパスワードであり、フィールドus
er＿codeは、使用者コードにパッキング(packing) 方法
を記述したコード、フィールドcmc ＿codeは、使用者コ
ードにパッケージの類型を記述したコード、part＿no
は、ウェーハ製造工程を管理するための使用者コード、
フィールドpkg ＿typeは、該当素子のパッケージ類型を
示す。part＿noは、同一の製品でも注文者によって集積
回路素子の仕様が異なるので、このような相異する仕様
を管理するためのデータフィールドである。フィールド
customer＿idは、営業部で管理する顧客のＩＤ、フィー
ルドcustomer＿nameは、顧客名、フィールドdomainは、
顧客の居住地域、フィールドrec ＿dateは、顧客から受
注を受け付けた日付、フィールドord ＿dateは、営業入
庫要請日であって、営業部で生産工場側に要求する入庫
日を表示するフィールドである。フィールドord ＿qty
は、入庫数量、フィールドappli ＿flg は、該当コード
の使用先、即ちゲーム機用であるか、又はＰＣやＦＡＸ
等に使用される産業用であるかを区分するためのデータ
である。フィールドspeed は、該当コードの注文者が要
求する素子の動作速度、フィールドchksumは、素子に貯
蔵されるデータの合、フィールドctrl＿pin は、チップ
イネーブル(Ce)ピンや出力イネーブル(Oe)ピンに対して
使用者が要求する内容、フィールドpkigは、パッキング
方法を示す。パッキング方法には、テープリール(tape
＆ reel)、トレー(tray)、チューブ(tube)方式がある。
フィールドnew ＿flagは、注文が新たに入ったものであ
るか、又は既存にあったものであるかを示し、フィール
ドprtyは、注文者が要求する納期日が急なものであるか
否かを示す。フィールドord ＿statは、現在受注状態、
フィールドord ＿memoは、特殊処理コードであって、普
通の検査条件でないコード、即ち集積回路素子が、注文
者により特別に要求される動作条件を満足するかを検査
するためのコードに該当する。フィールドsame＿code
は、内容が同一であるコードの目録、フィールドrtf ＿
dateは、注文が生産部から営業部に伝達される時期、フ
ィールドrtf ＿qty は、営業部に伝達される数量、フィ
ールドre＿rtf ＿dateは、生産状況による納期再調整日
を示す。また、フィールドord ＿asgn＿dateは、コード
情報作成日、フィールドord ＿asgn＿qty は、作成され
た注文書上の数量、フィールドchulha＿dateは、出荷日
付、フィールドchulha＿qty は、出荷時の数量、フィー
ルドret ＿descは、ウェーハ製造工程時において基本と
なるウェーハ、即ちレチクル(reticle) に対するオプシ
ョン、フィルードmasterは、進行コードのマスターコー
ドを各々示す。
【００１３】このようなデータベースに入っている情報
の中で、検査工程に必要な情報は、図４に示すように、
幾データフィールドに入っている。図４は、検査条件の
作成に必要なデータの一例である。検査条件の作成に必
要なデータ項目には、パート番号、速度、用途、Ce/Oe
ピンオプション、顧客名、CheckSum、ＣＲＣ、バースト
パスワード及びパッケージ類型がある。必要なデータ項
目は、受注製品の種類や検査すべき項目によって異なる
ことができる。特殊処理条件は、顧客名を参照して検査
プログラムで使用することができる。
の中で、検査工程に必要な情報は、図４に示すように、
幾データフィールドに入っている。図４は、検査条件の
作成に必要なデータの一例である。検査条件の作成に必
要なデータ項目には、パート番号、速度、用途、Ce/Oe
ピンオプション、顧客名、CheckSum、ＣＲＣ、バースト
パスワード及びパッケージ類型がある。必要なデータ項
目は、受注製品の種類や検査すべき項目によって異なる
ことができる。特殊処理条件は、顧客名を参照して検査
プログラムで使用することができる。
【００１４】図３及び図４から明らかなように、遠隔ホ
ストに貯蔵されているデータベースには、検査工程で必
要としない部分が存在する。従って、検査条件を作成す
るためには、必要なデータだけを収集して加工する必要
がある。例えば、データの収集及び加工のためにＳＱＬ
言語を使用する次のような選択文を使用することができ
る。
ストに貯蔵されているデータベースには、検査工程で必
要としない部分が存在する。従って、検査条件を作成す
るためには、必要なデータだけを収集して加工する必要
がある。例えば、データの収集及び加工のためにＳＱＬ
言語を使用する次のような選択文を使用することができ
る。
【００１５】〔SELECT"rec＿date", "cmc ＿code", "cu
stomer＿name", "ord ＿date", "ord ＿qty", "appl ＿
flag", "speed", "chksum", "ctrl ＿pin", "crc", "co
depass", "same＿code", "pkg ＿type", WHERE("rec ＿
date" between :from ＿dateand :to＿date) and ("com
＿code" like :code‖'%') and ("pkg＿type" ＜＞'WF
S') and ("pkg＿type" ＜＞'chp') ORDERED BY "pkg＿t
ype" ASC, "cms ＿code" ASC;〕 上記で例示した選択文は、パートがウェーハ状態(WFS)
やチップ状態(CHP) でないパッケージ類型を有するとい
う条件下に、:from ＿dateから:to ＿date間の納期日を
有するパートの情報を、パッケージ類型順に、パー
ト番号順に整列し、SELECT部の項目を収集せよという意
味である。
stomer＿name", "ord ＿date", "ord ＿qty", "appl ＿
flag", "speed", "chksum", "ctrl ＿pin", "crc", "co
depass", "same＿code", "pkg ＿type", WHERE("rec ＿
date" between :from ＿dateand :to＿date) and ("com
＿code" like :code‖'%') and ("pkg＿type" ＜＞'WF
S') and ("pkg＿type" ＜＞'chp') ORDERED BY "pkg＿t
ype" ASC, "cms ＿code" ASC;〕 上記で例示した選択文は、パートがウェーハ状態(WFS)
やチップ状態(CHP) でないパッケージ類型を有するとい
う条件下に、:from ＿dateから:to ＿date間の納期日を
有するパートの情報を、パッケージ類型順に、パー
ト番号順に整列し、SELECT部の項目を収集せよという意
味である。
【００１６】このように収集、整理したデータは、既に
知られた特殊処理条件と比較して、その内容を整理した
後、各コード別に検査条件を作成する。図５は、本発明
による検査条件データ演算処理過程の流れ図である。デ
ータの収集が終わる（７０）と、マスクＲＯＭ素子に対
するCe/Oe ピンオプションを確認し（７２）、素子の動
作モードを確認する（７４）。顧客が望む素子の動作速
度を確認した後（７６）、素子がゲーム用であるか、産
業用であるかを確認し（７８）、素子の密度（８Ｍ、１
６Ｍ、３２Ｍビット等）を確認する（８０）。次に、Ch
eckSumを確認し（８２）、パッケージ類型を確認して
（８４）、検査条件テーブルを作成する（８６）。検査
条件テーブルを基礎として検査プログラムで使用するこ
とができる形態の検査条件ファイルを作成する（８
８）。
知られた特殊処理条件と比較して、その内容を整理した
後、各コード別に検査条件を作成する。図５は、本発明
による検査条件データ演算処理過程の流れ図である。デ
ータの収集が終わる（７０）と、マスクＲＯＭ素子に対
するCe/Oe ピンオプションを確認し（７２）、素子の動
作モードを確認する（７４）。顧客が望む素子の動作速
度を確認した後（７６）、素子がゲーム用であるか、産
業用であるかを確認し（７８）、素子の密度（８Ｍ、１
６Ｍ、３２Ｍビット等）を確認する（８０）。次に、Ch
eckSumを確認し（８２）、パッケージ類型を確認して
（８４）、検査条件テーブルを作成する（８６）。検査
条件テーブルを基礎として検査プログラムで使用するこ
とができる形態の検査条件ファイルを作成する（８
８）。
【００１７】図６は、本発明による検査条件伝送過程の
流れ図である。上述した検査条件演算処理過程により作
成された検査条件ファイルを伝送するためには、検査条
件自動作成・伝送システムと検査機ホスト間のネットワ
ーク状態を確認し、検査機ホストに連結した後、指定さ
れたディレクトリに検査条件ファイルを伝送する。検査
機ホストに連結するためには、検査機ホストに対する情
報を例えばホスト連結ユーザー構造に貯蔵し、これによ
り、検査機ホストと通信することになる。
流れ図である。上述した検査条件演算処理過程により作
成された検査条件ファイルを伝送するためには、検査条
件自動作成・伝送システムと検査機ホスト間のネットワ
ーク状態を確認し、検査機ホストに連結した後、指定さ
れたディレクトリに検査条件ファイルを伝送する。検査
機ホストに連結するためには、検査機ホストに対する情
報を例えばホスト連結ユーザー構造に貯蔵し、これによ
り、検査機ホストと通信することになる。
【００１８】検査機ホストに対する情報を貯蔵し（１０
０）、ネットワーク状態を確認するため、連結ポートを
確認し（１０２）、検査機ホストに対する情報を検査機
ホストに伝送し（１０４）、接続許容信号を受信した後
（１０６）、作成された検査条件ファイルを開き（１０
８）、伝送する（１１０）。検査条件ファイルの伝送が
終わると、ファイルを閉じ（１１２）、検査条件伝送過
程を終了する。
０）、ネットワーク状態を確認するため、連結ポートを
確認し（１０２）、検査機ホストに対する情報を検査機
ホストに伝送し（１０４）、接続許容信号を受信した後
（１０６）、作成された検査条件ファイルを開き（１０
８）、伝送する（１１０）。検査条件ファイルの伝送が
終わると、ファイルを閉じ（１１２）、検査条件伝送過
程を終了する。
【００１９】図７は、本発明による検査条件自動作成・
伝送システムと検査機ホスト間の連結プログラムの流れ
図である。この連結プログラムは、検査機ホストに内蔵
されている。検査機ホストから受信された検査条件ファ
イルの受信時間を確認し（１２０）、検査機ホストに存
在するファイルの生成時間を確認した後（１２２）、フ
ァイル生成時間を比較し（１２４）、時間が異なると、
検査条件自動作成・伝送システムからファイルを伝送し
（１２６）、同一であると、ファイルの伝送無しにプロ
グラムを終了する（１２８）。
伝送システムと検査機ホスト間の連結プログラムの流れ
図である。この連結プログラムは、検査機ホストに内蔵
されている。検査機ホストから受信された検査条件ファ
イルの受信時間を確認し（１２０）、検査機ホストに存
在するファイルの生成時間を確認した後（１２２）、フ
ァイル生成時間を比較し（１２４）、時間が異なると、
検査条件自動作成・伝送システムからファイルを伝送し
（１２６）、同一であると、ファイルの伝送無しにプロ
グラムを終了する（１２８）。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
受注製品に対する検査条件が自動で作成され、検査プロ
グラムに自動でローディングされるため、検査条件作成
エラーを低減することができ、新たな製品に対する迅速
な対処が可能であるので、検査時が短縮され、業務の効
率性を図ることができる。
受注製品に対する検査条件が自動で作成され、検査プロ
グラムに自動でローディングされるため、検査条件作成
エラーを低減することができ、新たな製品に対する迅速
な対処が可能であるので、検査時が短縮され、業務の効
率性を図ることができる。
【００２１】
【図１】本発明による検査条件自動作成・伝送システム
の全体的な構成を示す概略ブロック図である。
の全体的な構成を示す概略ブロック図である。
【図２】本発明による検査条件自動作成・伝送方法の全
体的な過程を示す流れ図である。
体的な過程を示す流れ図である。
【図３】遠隔ホストに貯蔵されている集積回路素子の生
産に必要なデータベースの一例を示す図表である。
産に必要なデータベースの一例を示す図表である。
【図４】検査条件の作成に必要なデータの一例を示す図
表である。
表である。
【図５】本発明による検査条件データ演算処理過程の流
れ図である。
れ図である。
【図６】本発明による検査条件伝送過程の流れ図であ
る。
る。
【図７】本発明による検査条件自動作成・伝送システム
と検査機ホスト間の連結プログラムの流れ図である。
と検査機ホスト間の連結プログラムの流れ図である。
１０ 検査条件自動作成・伝送システム １２ データ収集部 １４ 演算部 １６ 伝送部 ２０ 遠隔ホスト ２２ データベース ３０ 検査機ホスト ３２ 検査プログラム ４０ 複数の検査機
Claims (11)
- 【請求項１】 半導体集積回路素子を検査するための所
定の検査条件を自動で作成し、前記作成された検査条件
を検査機に伝送するシステムであって、 前記集積回路素子の生産に必要な情報が入っているデー
タベースを有する遠隔ホストから前記検査条件に必要な
データを収集するデータ収集手段と、 前記収集されたデータを所定の処理条件と比較して検査
条件を作成する演算手段と、 複数の前記検査機の動作を該当検査プログラムにより制
御する検査機ホストに前記検査条件を伝送して該当検査
プログラムにローディングする伝送手段とを備えること
を特徴とする検査条件自動作成・伝送システム。 - 【請求項２】 前記集積回路素子は、マスクＲＯＭ素子
であり、前記データベースに入っている情報は、前記マ
スクＲＯＭの使用者の注文に基づいて作成されたもので
あることを特徴とする請求項１に記載の検査条件自動作
成・伝送システム。 - 【請求項３】 前記データ収集手段は、関係型データベ
ース照会用言語を使用することを特徴とする請求項１に
記載の検査条件自動作成・伝送システム。 - 【請求項４】 前記データ収集手段は、〔select’項
目’ from ’テーブル名’where ’条件’order by’整
列条件’〕の形式を有する選択文を使用することを特徴
とする請求項３に記載の検査条件自動作成・伝送システ
ム。 - 【請求項５】 前記伝送手段は、ホスト連結ユーザー構
造を使用することを特徴とする請求項１に記載の検査条
件自動作成・伝送システム。 - 【請求項６】 半導体集積回路素子を検査するための所
定の検査条件を自動で作成し、前記作成された検査条件
を検査機に伝送する方法であって、 前記集積回路素子の生産に必要な情報が入っているデー
タベースを有する遠隔ホストから前記検査条件に必要な
データを収集するデータ収集段階と、 前記収集されたデータを所定の処理条件と比較して検査
条件を作成する演算処理段階と、 複数の前記検査機の動作を該当検査プログラムにより制
御する検査機ホストに前記検査条件を伝送して該当検査
プログラムにローディングする伝送段階とを含むことを
特徴とする検査条件自動作成・伝送方法。 - 【請求項７】 前記データ収集段階は、前記遠隔ホスト
に接続する段階と、前記遠隔ホストのデータべースに接
近する段階と、検査条件の作成に必要なデータを収集す
る段階と、収集データを分析して既存の検査条件と比較
する段階と、前記比較段階において収集データが既存の
検査条件と異なる場合は検査条件を作成し、前記比較段
階において収集データが既存の検査条件と同一である場
合は検査条件を作成しない段階とを含むことを特徴とす
る請求項６に記載の検査条件自動作成・伝送方法。 - 【請求項８】 前記演算処理段階は、収集データを特殊
処理条件と比較してその内容を整理し、各コード別に検
査条件を作成することを特徴とする請求項６に記載の検
査条件自動作成・伝送方法。 - 【請求項９】 前記検査条件の作成に必要なデータは、
Ce/Oe ピンオプション、素子の動作モード、動作速度、
用途、素子の密度、素子の内容合計及びパッケージ類型
に関するデータを有することを特徴とする請求項６に記
載の検査条件自動作成・伝送方法。 - 【請求項１０】 前記伝送段階は、検査機ホストの情報
を貯蔵する段階と、検査機ホストとの連結ポートを確認
する段階と、前記貯蔵された検査機ホストの情報を検査
機ホストに伝送する段階と、前記検査機ホストから接続
許容信号を受信する段階と、前記演算処理段階で作成さ
れた検査条件を伝送する段階とを含むことを特徴とする
請求項６に記載の検査条件自動作成・伝送方法。 - 【請求項１１】 前記検査機ホストは、検査機ホストか
ら受信された検査条件の受信時間を確認する段階と、検
査機ホストに存在する既存の検査条件の生成時間を確認
する段階と、前記受信時間と前記生成時間とが異なる場
合は検査条件を伝送する段階とを含む連結プログラムを
有することを特徴とする請求項６に記載の検査条件自動
作成・伝送方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1997P29710 | 1997-06-30 | ||
| KR1019970029710A KR100245799B1 (ko) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 검사조건 자동 작성 및 전송시 스템 및 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1126538A true JPH1126538A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=19512667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9341358A Pending JPH1126538A (ja) | 1997-06-30 | 1997-12-11 | 検査条件自動作成・伝送システム及び方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6236952B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1126538A (ja) |
| KR (1) | KR100245799B1 (ja) |
| CN (1) | CN1173190C (ja) |
| TW (1) | TW412821B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006009253A1 (ja) * | 2004-07-23 | 2008-05-01 | 株式会社アドバンテスト | 電子部品試験装置及び電子部品試験装置の編成方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6879940B1 (en) | 2000-09-28 | 2005-04-12 | Credence Systems Corporation | Method and apparatus for remotely testing semiconductors |
| TW583522B (en) * | 2001-04-27 | 2004-04-11 | Tokyo Electron Ltd | Remote maintenance system for semiconductor manufacturing apparatus and plant-side client and vendor-side server and storage medium and remote maintenance method for semiconductor manufacturing apparatus |
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| AU2012203333A1 (en) | 2011-06-15 | 2013-01-10 | Agile Software Pty Limited | Method and apparatus for testing data warehouses |
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| CN114062887B (zh) * | 2020-07-30 | 2023-03-31 | 合肥本源量子计算科技有限责任公司 | 一种量子芯片测试方法、装置、系统及存储介质 |
| CN115407184B (zh) * | 2021-05-28 | 2024-04-05 | 本源量子计算科技（合肥）股份有限公司 | 量子芯片测试装置、方法以及量子计算机 |
| KR20230017419A (ko) | 2021-07-28 | 2023-02-06 | 윤여국 | 커버링사의 제조방법 |
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-
1997
- 1997-06-30 KR KR1019970029710A patent/KR100245799B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-11 JP JP9341358A patent/JPH1126538A/ja active Pending
- 1997-12-23 CN CNB971258112A patent/CN1173190C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-27 TW TW086119863A patent/TW412821B/zh not_active IP Right Cessation
-
1998
- 1998-06-30 US US09/106,853 patent/US6236952B1/en not_active Expired - Fee Related
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| CN1173190C (zh) | 2004-10-27 |
| US6236952B1 (en) | 2001-05-22 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051011 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051228 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060713 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060817 |