JPH11268829A

JPH11268829A - ローダ・アンローダ

Info

Publication number: JPH11268829A
Application number: JP7255998A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Misawa; 健一三澤
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1998-03-20
Filing date: 1998-03-20
Publication date: 1999-10-05

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、撓んだ大型基板でも確実にロード・
アンロードする。【解決手段】平板状の３つのアーム１４−１，１４−
２，１４−３を収納カセット１に収納されているときの
ガラス基板２の撓み形状に対応した形状に配置し、かつ
これらアーム１４−１，１４−２，１４−３を水平状態
に配置するアーム駆動機構１２を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、収納カセット内に
所定ピッチで複数収納された例えば半導体ウエハや液晶
ディスプレイのガラス基板などの可橈性ワークをロード
・アンロードするローダ・アンローダに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体ウエハの製造工程や液晶デ
ィスプレイ（ＬＣＤ）の製造工程では、これら半導体ウ
エハや液晶ディスプレイのガラス基板を図１３に示すよ
うな収納カセット１に収納し、この収納カセット１から
例えば液晶ディスプレイのガラス基板２をロードした
り、又はこの収納カセット１にアンロードすることが行
われている。

【０００３】この収納カセット１は、複数枚のガラス基
板を所定ピッチで収納できるようにスロット溝が複数段
形成され、それぞれの段にガラス基板２が収納された多
段積みの状態になっている。

【０００４】このように収納カセット１に収納されたガ
ラス基板２をロード・アンロードするには、収納カセッ
ト１に収納されたガラス基板間隔より薄い平板状又はＹ
型のフォーク状アームをガラス基板２の下方に挿入し、
この後にアームを上昇させてスロット溝より浮かせた状
態でガラス基板２をロードしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年の
ガラス基板２（又はウエハ）の大型化、薄型化にともな
い、ガラス基板２は自重により円弧状に下方へ撓んだ状
態で収納カセット１に収納されるために、ガラス基板２
の下方へのアーム挿入スペースを確保できない状態にあ
る。ところが、従来のアームは、撓むガラス基板２に対
して十分に考慮されておらず、例えばアームの幅をガラ
ス基板２の下方に挿入可能になるまで狭くするなどの対
応しかしていなかった。このため、ガラス基板２の下方
へのアーム挿入は難しくロボット動作ティーチングには
高精度の制御が要求される。

【０００６】しかも、アームの幅がガラス基板２の幅に
対して狭くなると、ガラス基板２のハンドリング時にガ
ラス基板２の周辺部が下側に垂れる如く撓んでしまい、
アンロードする際に他のワークと干渉するなどの不具合
が生じる。そこで本発明は、可橈性ワークでも確実にロ
ード・アンロードできるローダ・アンローダを提供する
ことを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１によれば、収納
カセット内に所定ピッチで複数収納された可橈性ワーク
をロード・アンロードするローダ・アンローダであっ
て、複数に分割されたアームと、これらアームを可橈性
ワークの撓み形状に対応した傾斜角度に調整する機能を
有するアーム駆動機構とを備えたローダ・アンローダで
ある。

【０００８】請求項２によれば、収納カセット内に所定
ピッチで複数収納された可橈性ワークをロード・アンロ
ードするローダ・アンローダであって、固定点を中心に
対称に配置された複数のアームと、これらアームの少な
くとも２枚のアームを固定点に対し回転自在に支持する
リンク機構と、直線動作を行なう駆動源とこの駆動源と
複数のアームとの間をそれぞれ連接し駆動源の直線動作
に応動して各アームに回転力を伝達する連接機構とを備
え、複数のアームを可橈性ワークの撓み形状に対応した
傾斜角度に調整するアーム駆動機構とを備えたローダ・
アンローダである。

【０００９】請求項３によれば、収納カセット内に所定
ピッチで複数収納された可橈性ワークをロード・アンロ
ードするローダ・アンローダであって、固定点を中心に
対称に配置された複数のアームと、これらのアームの少
なくとも２枚のアームを固定点に対し回転自在に支持す
るリンク機構と、各アームの固定点から離れた位置に対
応して設けられた伸縮自在な複数の駆動源とを備え、各
駆動源の伸縮量を制御することで複数のアームを可橈性
ワークの撓み形状に対応した傾斜角度に調整する機能を
有するアーム駆動機構とを備えたローダ・アンローダで
ある。

【００１０】

【発明の実施の形態】(1) 以下、本発明の第１の実施の
形態について図面を参照して説明する。図１はローダ・
アンローダの全体構成図であり、図２はアーム動作機能
部分を後方側から見た構成図、図３は側面側から見た図
である。

【００１１】ローダ・アンローダ本体１０には、昇降・
旋回機構１１が設けられ、その上端部に水平スライド機
構１２が設けられている。このうち昇降・旋回機構１１
は、Ｚ軸方向に昇降自在であるとともに、このＺ軸を回
転軸として回転自在な構成となっている。水平スライド
機構１２は、かかるローダ・アンローダと収納カセット
１との配置関係で定まる方向、例えばＹ軸方向に対して
移動自在に構成されている。

【００１２】この水平スライド機構１２上の移動台１３
には、平板状のベースアーム１４−１が固定されてい
る。このベースアーム１４−１の両側（固定点）には、
それぞれ各回動アーム１４−２，１４−３がリンク機
構、例えば図４に示すような各蝶番１５を介して互いに
回転自在に並設されている。なお、図４はベースアーム
１４−１と回動アーム１４−２との間に介在する各蝶番
１５を示しているが、ベースアーム１４−１と回動アー
ム１４−３との間も同様に各蝶番１５が介在している。
この場合、ベースアーム１４−１を短く形成すれば、両
側の回動アーム１４−２，１４−３によりフォークアー
ムを構成することも可能である。

【００１３】このリンク機構は、蝶番１５に限らず、例
えば図５に示すようにベースアーム１４−１に凸部１６
を形成するとともに、回動アーム１４−２に凹部１７を
形成し、このうち凸部１６の両側にそれぞれ各軸止め１
８により各回転軸１９を固定する。そして、凹部１７の
両側における各軸止め１８と対向する部分にそれぞれ各
軸受け２０を設け、各回転軸１９を回転自在に支持す
る。このような構成としてもベースアーム１４−１の両
側に回動アーム１４−２，１４−３が互いに回転自在に
並設されるものとなる。

【００１４】なお、上記回動アーム１４−２，１４−３
の面上には、それぞれガラス基板２を吸着するためのバ
キュームパッド２１が設けられている。アーム駆動機構
２２は、各アーム１４−１，１４−２，１４−３の後方
側に設けられ、これらアーム１４−１，１４−２，１４
−３を収納カセット１に収納されているガラス基板２の
撓み形状に対応した傾斜角度に調整できる機能を有して
いる。

【００１５】具体的には、図２及び図３に示すように伸
縮動作を行なう駆動源としての２つのシリンダ２３，２
４がシリンダ保持アーム２５を介して移動台１３に支持
されている。これらシリンダ２３，２４は、それぞれシ
リンダ保持アーム２５を介して各回動アーム１４−２，
１４−３側に設けられている。そして、これらシリンダ
２３，２４の各ロッド２３ａ，２４ａの先端部は、それ
ぞれ各連接機構２６，２７を介して各回動アーム１４−
２，１４−３の各連接端２８，２９に対して回転自在に
連接されている。

【００１６】これら連接機構２６，２７は、各シリンダ
２３，２４のロッド２３ａ，２３ｂの長さを調整する機
構を持っており、例えば図６(a) に示すように送り用捩
子３０とその受け用捩子３１とに２つのナット３２，３
３を用いて固定する構成としたり、又は同図(b) に示す
ように送り用捩子３０とその受け用捩子３１とにナット
３２を螺合させるとともに止め捩子３４を用いて固定す
る構成となっている。

【００１７】一方、駆動制御装置３５は、ガラス基板２
のロード・アンロードの際に、周知のロード・アンロー
ド制御機能の他に各シリンダ２３，２４を駆動制御して
各回動アーム１４−２，１４−３をガラス基板２の撓み
形状に対応した傾斜角度に調整する機能を有する。

【００１８】次に上記の如く構成されたローダ・アンロ
ーダの作用について説明する。先ず、駆動制御装置３５
からの指令により昇降・旋回機構１１が動作してベース
アーム１４−１，回動アーム１４−２，１４−３が収納
カセット１に収納されている目的のガラス基板２の高さ
位置に調整される。

【００１９】ここで、収納カセット１に収納されている
ガラス基板２に対するロード・アンロードを行う場合、
このガラス基板２は、上記の如く自重により撓んだ状態
になっている。

【００２０】このようなガラス基板２のロードの際、駆
動制御装置３５は、各シリンダ２３，２４に対して回動
アーム１４−２，１４−３をガラス基板２の撓み形状に
対応した形状に配置する指令を発する。

【００２１】この指令により各シリンダ２３，２４は、
それぞれ図７に示すように各ロッド２３ａ，２４ａを伸
ばすことにより、これらロッド２３ａ，２４ａと各連接
機構２６，２７との間で折れるように回動し、各回動ア
ーム１４−２，１４−３の各連接端２８，２９を押し広
げるようになる。

【００２２】これにより、各回動アーム１４−２，１４
−３は、ベースアーム１４−１に対して各蝶番１５を介
して回動し、ベースアーム１４−１を中心に各回動アー
ム１４−２，１４−３は、撓んだガラス基板２の形状に
対応した状態に配置される。

【００２３】この後、駆動制御装置３５からの指令によ
り水平スライド機構１２が動作し、各アーム１４−１，
１４−２，１４−３が目的のガラス基板２の下方に挿入
される。このとき、各アーム１４−１，１４−２，１４
−３は、撓んだガラス基板２の形状に対応して配置され
ているので、各ガラス基板２の間に容易に挿入される。

【００２４】続いて、駆動制御装置３５からの指令によ
り昇降・旋回機構１１を動作させて各アーム１４−１，
１４−２，１４−３を僅かに上昇させ、これら回動アー
ム１４−２，１４−３上にガラス基板２を吸着保持さ
せ、この状態で水平スライド機構１２が動作しガラス基
板２が収納カセット１から引き出される。この駆動制御
装置３５からの指令により各シリンダ２３，２４を縮め
させて各回動アーム１４−２，１４−３を水平状態に配
置してガラス基板２を安定に保持する。

【００２５】一方、ガラス基板２を収納カセット１にア
ンロードする場合、駆動制御装置３５からの指令により
各シリンダ２３，２４は、上記同様に、各ロッド２３
ａ，２４ａを伸ばすことにより、これらロッド２３ａ，
２４ａと各連接機構２６，２７との間で折れるように回
動し、各回動アーム１４−２，１４−３の各連接端２
８，２９を押し広げる。これにより、各回動アーム１４
−２，１４−３は、ベースアーム１４−１に対して各蝶
番１５を介して回動し、これらアーム１４−１，１４−
２，１４−３は、撓んだガラス基板２の形状に対応した
状態に配置される。

【００２６】この後、駆動制御装置３５からの指令によ
り水平スライド機構１２が動作することにより、各アー
ム１４−１，１４−２，１４−３は収納カセット１にお
けるガラス基板２を収納する位置に挿入される。

【００２７】そして、駆動制御装置３５からの指令によ
り昇降・旋回機構１１が動作することにより各アーム１
４−１，１４−２，１４−３は僅かに下降し、ガラス基
板２が収納カセット１における目的の位置に収納され
る。

【００２８】このように上記第１の実施の形態において
は、平板状の３つのアーム１４−１，１４−２，１４−
３を収納カセット１に収納されているときのガラス基板
２の撓み形状に対応した形状に配置し、かつこれらアー
ム１４−１，１４−２，１４−３を水平状態に配置する
ようにしたので、収納カセット１内に撓んだ状態で多段
に収納され、その各ガラス基板２間のピッチが例えば１
２ｍｍという狭いピッチであっても、各アーム１４−
１，１４−２，１４−３の幅を狭くすることなく、これ
らアーム１４−１，１４−２，１４−３を容易に収納カ
セット１に収納された各ガラス基板２の間に挿入でき
る。これにより、各アーム１４−１，１４−２，１４−
３におけるガラス基板２を保持する面積を広くでき、安
定した状態でガラス基板２のロード・アンロードができ
る。

【００２９】又、各アーム１４−１，１４−２，１４−
３でガラス基板２を保持した後は、これらアーム１４−
１，１４−２，１４−３を水平状態にしてガラス基板２
を保持するので、撓んだガラス基板２を水平に矯正して
搬送でき、これによっても安定した状態でガラス基板２
のロード・アンロードができる。(2) 次に、本発明の第
２の実施の形態について図面を参照して説明する。な
お、図１乃至図３と同一部分には同一符号を付してその
詳しい説明は省略する。

【００３０】図８はアーム動作機構部分を後方側から見
た構成図である。各回動アーム１４−２と１４−３との
間には、それぞれ圧縮バネ４０，４１を介してシリンダ
４２がフリーの状態で設けられている。すなわち、シリ
ンダ４２は、上記第１の実施の形態に示すように移動台
１３に固定されておらず、各圧縮バネ４０，４１により
懸垂されている。

【００３１】又、ベースアーム１４−１と回動アーム１
４−２との間及びベースアーム１４−１と回動アーム１
４−３との間には、それぞれアーム形状調整機構４３，
４４が設けられている。これらアーム形状調整機構４
３，４４は、各回動アーム１４−２，１４−３のベース
アーム１４−１に対する配置角度を調整するもので、ベ
ースアーム１４−１の下面に設けられて各回動アーム１
４−２，１４−３を水平状態にセットする各水平セット
片４５と、各回動アーム１４−２，１４−３にそれぞれ
設けられてこれら回動アーム１４−２，１４−３の勾配
角度をガラス基板２の撓みに応じて調整する各調整片４
６とから構成され、このうち調整片４６には勾配角度調
整用の各ボルト４７が設けられている。

【００３２】なお、このアーム形状調整機構４３，４４
は、図９(a) に示すように勾配角度調整用の各ボルト４
７にナット４８を螺合させて例えば回動アーム１４−２
の勾配角度を調整するようにしてもよく、かつ水平セッ
ト片４５を回動アーム１４−２に下面に設けてこれに水
平セット用のボルト４９を螺合させてもよい。又、同図
(b) に示すように水平セット片４５及び調整片４６に圧
縮バネ５０，５１を設けてその付勢力により回動アーム
１４−２，１４−３の水平状態及び勾配角度を調整する
ように構成してもよい。

【００３３】次に上記の如く構成されたローダ・アンロ
ーダの作用について説明する。先ず、収納カセット１に
収納されているガラス基板２のロードの際、駆動制御装
置３５から動作指令が発せられると、シリンダ４２は、
図１０に示すようにロッド４２ａを伸ばすことにより、
その力が各圧縮バネ４０，４１を通して各回動アーム１
４−２，１４−３の各連接端２８，２９に伝達される。
この場合、シリンダ４２は、フリー状態に懸垂されてい
るが、シリンダ４２のロッド４２ａを伸ばす力は、各回
動アーム１４−２，１４−３の各連接端２８，２９に対
して等しく分けられて伝達される。

【００３４】これにより、各回動アーム１４−２，１４
−３は、それぞれ回動して各アーム形状調整機構４３，
４４により調整された配置角度で停止し、この状態で収
納カセット１で撓んだガラス基板２の形状に対応した状
態に配置される。

【００３５】この後、水平スライド機構１２が動作し、
各アーム１４−１，１４−２，１４−３が目的のガラス
基板２の下方に挿入される。このとき、各アーム１４−
１，１４−２，１４−３は、撓んだガラス基板２の形状
に対応して配値されているので、各ガラス基板２の間に
容易に挿入される。

【００３６】一方、ガラス基板２を収納カセット１に収
納する場合、各アーム１４−１，１４−２，１４−３が
水平状態でガラス基板２を保持している状態から、駆動
制御装置３５からの指令によりシリンダ４２は、上記同
様に、ロッド４２ａを伸ばすことにより、各アーム１４
−２，１４−３を撓んだガラス基板２の形状に対応した
状態に配置する。

【００３７】この後、水平スライド機構１２が動作する
ことにより、各アーム１４−１，１４−２，１４−３は
収納カセット１におけるガラス基板２を収納する位置に
挿入される。

【００３８】このように上記第２の実施の形態によれ
ば、上記第１の実施の形態の効果と同様な効果を奏する
ことができるとともに、各アーム形状調整機構４３，４
４を設けることによって各回動アーム１４−２，１４−
３の各配置角度を機械的に調整できる。(3) 次に、本発
明の第３の実施の形態について図面を参照して説明す
る。この第３の実施の形態は、上記第２の実施の形態に
おけるアームの枚数を増加したものであり、図８と同一
部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。

【００３９】図１１はアーム動作機能部分を後方側から
見た構成図であり、中央のベースアーム１４−１から見
て左右対称な構成図であることから図中左側は省略す
る。回動アーム１４−３の外側には、蝶番１５を介して
回動アーム１４−４が設けられている。そして、この回
動アーム１４−４の連接端６０とシリンダ４２との間に
は圧縮バネ６１が連接されている。

【００４０】このような構成であっても、シリンダ４２
のロッド４２ａが伸びると、その力が各圧縮バネ４０，
４１，６１を通して各回動アーム１４−３，１４−４の
各連接端２９，６０に伝達され、各回動アーム１４−
３，１４−４は、それぞれ回動して収納カセット１内で
撓んでいるガラス基板２の形状に対応した状態に配置さ
れる。

【００４１】従って、上記第１の実施の形態の効果と同
様な効果を奏することができることは言うまでもない。
(4) 次に、本発明の第４の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。

【００４２】図１２はアーム動作機能部分を後方側から
見た構成図である。このローダ・アンローダには、５枚
のアーム１４−１〜１４−５が備えられている。

【００４３】又、移動台１３には、多数シリンダブラケ
ット７０が設けられている。この多数シリンダブラケッ
ト７０には、各回動アーム１４−２，１４−３，１４−
４，１４−５に対応してそれぞれトラニオン型の各シリ
ンダ７１−１〜７１−４が設けられている。これらシリ
ンダ７１−１〜７１−４は、各ロッド７２−１〜７２−
４の先端に各リンク７３−１〜７３−４が設けられると
ともに、各リンク７４−１〜７４−４を中心に揺動する
ものとなっている。

【００４４】これらシリンダ７１−１〜７１−４は、駆
動制御装置７５により各回動アーム１４−２〜１４−５
をガラス基板２の撓み形状に対応した形状に配置するよ
うに各ロッド７２−１〜７２−４の伸びる長さを制御
し、かつ各回動アーム１４−２〜１４−５を水平状態に
配置させる機能を有している。

【００４５】次に上記の如く構成されたローダ・アンロ
ーダの作用について説明する。先ず、収納カセット１に
収納されているガラス基板２のロードの際、駆動制御装
置７５から動作指令が発せられると、各シリンダ７１−
１〜７１−４は、それぞれ各ロッド７２−１〜７２−４
を伸ばすことにより、その力が直接各回動アーム１４−
２〜１４−５に伝達される。これにより、各回動アーム
１４−２〜１４−５は、それぞれ回動し、収納カセット
１で撓んだガラス基板２の形状に対応した状態に配置さ
れる。

【００４６】この後、水平スライド機構１２が動作し、
各アーム１４−１〜１４−５が目的のガラス基板２の下
方に挿入される。このとき、各アーム１４−１〜１４−
５は、撓んだガラス基板２の形状に対応して配値されて
いるので、各ガラス基板２の間に容易に挿入される。

【００４７】一方、ガラス基板２を収納カセット１に収
納する場合、各アーム１４−２〜１４−５が水平状態で
ガラス基板２を保持している状態に、駆動制御装置７５
からの指令により各シリンダ７１−１〜７１−４は、上
記同様に、各ロッド７２−１〜７２−４を伸ばすことに
より、各回動アーム１４−２〜１４−５を撓んだガラス
基板２の形状に対応した状態に配置する。

【００４８】この後、水平スライド機構１２が動作する
ことにより、各アーム１４−２〜１４−５は収納カセッ
ト１におけるガラス基板２を収納する位置に挿入され
る。このように上記第４の実施の形態によれば、上記第
１の実施の形態の効果と同様な効果を奏することができ
ることは言うまでもなく、より広い面積を有する液晶デ
ィスプレイのガラス基板や半導体ウエハなどの大型基板
のロード・アンロードに適用できる。

【００４９】なお、本発明は、上記第１乃至第４の実施
の形態に限定されるものでなく各種変形してもよい。例
えば、アームの枚数は制限がなく、大型基板のサイズに
合わせて設けるようにすればよい。この場合、例えば図
１に示すローダ・アンローダであれば、各シリンダ２
３，２４の各ロッド２３ａ，２４ａの先端部に、備えた
枚数のアーム１４−２，１４−３，…分だけの各連接機
構２６，２７，…を介して各アームの各連接端２８，２
９，…を共通連接すればよい。

【００５０】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、撓
んだ大型基板でも確実にロード・アンロードできるロー
ダ・アンローダを提供を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるローダ・アンローダの第１の実
施の形態を示す全体構成図。

【図２】同ローダ・アンローダを後方側から見た構成
図。

【図３】同ローダ・アンローダを側面側から見た構成
図。

【図４】同ローダ・アンローダにおける各アーム間に設
けられる蝶番を示す図。

【図５】同リンク機構の他の構成を示す図。

【図６】ローダ・アンローダにおけるアーム駆動機構の
連接機構を示す構成図。

【図７】ガラス基板の撓み形状に対応して配置された各
アームを示す図。

【図８】本発明に係わるローダ・アンローダの第２の実
施の形態を示す構成図。

【図９】同ローダ・アンローダにおけるアーム形状調整
機構の他の構成を示す図。

【図１０】同ローダ・アンローダの動作を示す図。

【図１１】本発明に係わるローダ・アンローダの第３の
実施の形態を示す構成図。

【図１２】本発明に係わるローダ・アンローダの第４の
実施の形態を示す構成図。

【図１３】収納カセット内に収納された大型基板の撓み
を示す図。

【符号の説明】

１：収納カセット、２：大型基板、１０：ローダ・アンローダ本体、１１：昇降・旋回機構、１２：水平スライド機構、１４−１，１４−２，１４−３，１４−４，１４−５：
アーム、１５：蝶番、２２：アーム駆動機構、２３，２４：シリンダ、２６，２７：連接機構、３５：駆動制御装置、４０，４１：圧縮バネ、４２：シリンダ、４３，４４：アーム形状調整機構、７０：多数シリンダブラケット、７１−１〜７１−４：トラニオン型シリンダ、７５：駆動制御装置。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】収納カセット内に所定ピッチで複数収納
された可橈性ワークをロード・アンロードするローダ・
アンローダであって、複数に分割されたアームと、これらアームを前記可橈性ワークの撓み形状に対応した
傾斜角度に調整する機能を有するアーム駆動機構と、を
具備したことを特徴とするローダ・アンローダ。
【請求項２】収納カセット内に所定ピッチで複数収納
された可橈性ワークをロード・アンロードするローダ・
アンローダであって、固定点を中心に対称に配置された複数のアームと、これらアームの少なくとも２枚のアームを前記固定点に
対し回転自在に支持するリンク機構と、直線動作を行なう駆動源と、この駆動源と複数の前記ア
ームとの間をそれぞれ連接し、前記駆動源の直線動作に
応動して前記各アームに回転力を伝達する連接機構とを
備え、複数の前記アームを前記可橈性ワークの撓み形状
に対応した傾斜角度に調整するアーム駆動機構と、を具
備したことを特徴とするローダ・アンローダ。
【請求項３】収納カセット内に所定ピッチで複数収納
された可橈性ワークをロード・アンロードするローダ・
アンローダであって、固定点を中心に対称に配置された複数のアームと、これらのアームの少なくとも２枚のアームを前記固定点
に対し回転自在に支持するリンク機構と、前記各アーム
の前記固定点から離れた位置に対応して設けられた伸縮
自在な複数の駆動源とを備え、前記各駆動源の伸縮量を
制御することで前記複数のアームを前記可橈性ワークの
撓み形状に対応した傾斜角度に調整する機能を有するア
ーム駆動機構と、を具備したことを特徴とするローダ・
アンローダ。