JPH11271149A

JPH11271149A - 偏光されている同じ光源から来る２つの光ビ―ムの間の位相偏移を測定する干渉方法および装置

Info

Publication number: JPH11271149A
Application number: JP11019923A
Authority: JP
Inventors: Claude Beauducel; ボデュセルクロード
Original assignee: IFP Energies Nouvelles IFPEN
Current assignee: IFP Energies Nouvelles IFPEN
Priority date: 1998-01-28
Filing date: 1999-01-28
Publication date: 1999-10-05
Also published as: CA2258361C; EP0933629A1; DE69938402T2; FR2774172B1; CA2258361A1; EP0933629B1; DE69938402D1; US6239877B1; FR2774172A1

Abstract

(57)【要約】【課題】１本の光ビームが媒体の屈折率の変化に起因
する位相変化を行っているような光ビームを含めて、２
本の光ビームの間の干渉パターンの縞の変位の精密測定
を用いる干渉屈折計方法および装置を提供する。【解決手段】光源３から複屈折セル６を経たビームは
分割手段４によって２本のビームに分割される。この２
本のビームは偏光板８と複屈折プリズム７を経て移相変
調手段５に入力される。移相変調手段５はその一方のビ
ームに、他方のビームに対してゆっくりとした移相変調
を行う。光検出器１２は、干渉縞のいずれかに加えられ
るゆっくりした変調および速い変調に付随する干渉縞の
変位の結果としての光度変化を検出する。電子測定装置
２はＦＦＴによる、デジタル化された信号に関する周波
数スペクトラムの決定と、スペクトラムの複数主成分の
独立成分を計算することによってその主成分に及ぼす位
相偏移を決定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、偏光された同じ光
源から来て、一本の光ビームが媒体の屈折率の変化に起
因する位相変化を生じている２本の光ビームの間の干渉
パターンの縞の変位の精密測定によって、それら２本の
光ビームの間の位相偏移を干渉測定することを目的とし
て、特に屈折計測定法に適用される方法および装置に関
する。

【０００２】この方法は多くの分野において、特に、研
究されている媒体の組成の、基準媒体に関する、変化の
結果としての、例えば屈折率の変化を決定するために使
用できる。

【０００３】この方法は、混合物の組成を高い精度で知
ることが重要である、ＨＰＬＣと呼ばれる、高性能液体
クロマトグラフィーの分野において、分析または準備
で、特に使用できる。

【０００４】

【従来の技術】種々の形式の公知の屈折計のうちで、た
とえば、基準液体を入れているタンクと、分析する媒体
を入れているタンクとの２つのタンクを同時に透過する
ように、分割された２本のビームを発生する単色光源で
動作し、２本のビームを一緒に集めて光検出器を照射す
る手段を有する屈折計について述べることができる。屈
折率の変化と、干渉縞の変位に起因する光度の変化との
結果として光路が変化するために干渉が起きる。

【０００５】フランス特許２，５９６，５２６が、各タ
ンク（基準タンクと測定タンク）が干渉計装置の独立し
た部分であって、両方のタンクに同じ光源から光が照射
されるような、屈折率測定検出器の例を示している。検
出は２つの独立している光検出器によって行われ、した
がって各光検出器は、一方では基準タンクまたは測定タ
ンクと、他方では空気と、の間の屈折率の差の関数とし
て正弦波状に変化する光度を受ける。したがって、各測
光器を個々に較正する必要がある。この光学装置は、光
源から来る光ビームの一部を反射する反射鏡を振動させ
るように構成されている圧電素子を特に有する。

【０００６】フランス特許２，６９７，３３６が、基準
セルと、屈折率が変化する媒体を含んでいるセルとをそ
れぞれ透過した２本のビームが相互に干渉させられる位
相変調型屈折計を記述している。２本のビームは、レー
ザによって放出された１本のビームから、干渉パターン
を振動させるのに適した、数ＫＨｚかのオーダの周波数
と、縞１．５個分より長く変位するために十分な振幅
（図２）とを有する三角信号（図１）などのような、速
く交番する電圧が加えられるポッケルスセルを透過した
後で、形成される。干渉パターンについての結果は、媒
体の組成の変化に結び付けられた緩やかな運動と、交番
する電圧の周波数における速い振動とが重ね合わされた
ものである。縞の変位に起因する光度の変化は測光器に
よって測定され、論理信号に変換することを目的とする
電子装置に加えられ、セル制御信号と変調された輝度信
号との間の位相偏移をクロック信号によって数える。媒
体の屈折率が変化しないと、測定フォトトランジスタの
出力は図２に示されているようなものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】以前の装置は、ポッケ
ルスセルから両方とも来る、したがって、同じ光学的
「過去」を持つ２本の干渉ビームに関する限り、従来の
装置の多くの不正確さの原因を解消する。しかし、信号
の前面の間の時間遅れを測定するために用いられる方法
に関連するいくつかの理由のために、得ることができる
精度（何％か）はある用途、特にクロマトグラフィーの
分野における用途に対しては不十分であると考えること
ができる。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の干渉方法によっ
て、偏光されている同じ光源から来る２本の光ビームの
１つが比較的ゆっくりした位相変化を行い、１つが変調
信号によって比較的速い周期的位相変調を受ける時に、
それらの光ビームの間の位相偏移を測定する場合に得る
ことができる精度を非常に高くできる。この方法は、２
本のビームを相互に干渉させることによって形成された
干渉パターンの縞の変位を、干渉縞の変位の結果として
の光度変化を感知する光検出器によって拾って、精密測
定することを含む。

【０００９】この方法は、検出器から来る信号の周波数
スペクトラムを決定することと、この周波数スペクトラ
ムの基本周波数に影響を及ぼす位相偏移（たとえば、そ
れの複素独立変数を計算することによって）を測定する
ことを含むことを特徴とするものである。

【００１０】この方法は、ゆっくりした位相変調が媒体
の屈折率変化の結果であるような干渉屈折計動作に適用
できるので有利である。

【００１１】本発明に従って、光検出器から来て、前記
変調信号の少なくとも１つの周期に実質的に等しい（お
よび実際に等しいことが好ましい）測定窓内に含まれて
いる信号部分から周波数スペクトラムが形成され、か
つ、測定窓に対して選択された持続時間によって変調信
号周期が制御されることが好ましい。

【００１２】研究されている媒体を含んでいるセルの考
えられる透明度が変化するにもかかわらず、アナログ−
デジタル変換器がフルスケールで常に動作するように、
光検出器によって検出された信号の振幅が調整されるこ
とが好ましい。

【００１３】結果の精度を更に高めるために、高速変調
信号の異なる部分に対して位相偏移の測定を別々に行う
ことができる。

【００１４】本発明の装置は、同じ光源から２本の光ビ
ームを発生する手段と、２本のビームの１つに比較的ゆ
っくりした位相変化を加え、かつ２本のビームの１つに
比較的速い周期的位相変化を加える手段と、２本のビー
ムを相互に干渉させる手段と、２本のビームから形成さ
れた干渉パターンの縞の移動を検出する光検出器とを含
む光学装置を備える。この装置は、光検出器から来る信
号の周波数スペクトラムを決定し、かつこの周波数スペ
クトラムの基本成分に影響する位相偏移を測定する装置
を備えることを特徴とするものである。

【００１５】本発明の装置は干渉屈折計動作に適用でき
る。ビームの１つに、ビームの他方に関連して第１の比
較的ゆっくりした位相変調を加える第１の移相手段は、
屈折率が変化する（たとえば、その組成の変化に相関し
て）媒体を含む少なくとも１つのセルを含み、２本のビ
ームの１つに変調信号によって比較的速い位相変調を加
える第２の移相手段は、それに加えられる周期的変調電
圧の作用の下に光を逆位相にするのに適したセルを備
え、電子装置が、一定時間間隔中に検出器から来る信号
に対して高速フーリエ変換（ＦＦＴ）を実行し、スペク
トラムの基本成分に影響を及ぼす位相偏移を決定するよ
うにプログラムされたコンピュータを備える。

【００１６】この装置は、変調電圧の周期を時間間隔の
持続時間に常に調整するための手段を備えることが好ま
しい。この手段は、たとえば、修正信号を発生するため
に調波の位相のそれぞれの符号と基本成分の符号とを組
合わせる計算手段である。

【００１７】この装置は、光検出器からの信号に加えら
れる増幅利得を制御する自動手段を備えることが好まし
い。

【００１８】特定の実施態様によれば、この装置は、光
検出器から来る信号を増幅する手段と、増幅された信号
に対して獲得時間間隔中に標本化とデジタル化を行う手
段と、第２の移相手段を周期的に制御することを目的と
した信号発生器と、ある時間間隔中に検出器から来る信
号に対して高速フーリエ変換（ＦＦＴ）を行い、基本成
分に影響を及ぼす前記位相偏移を決定し、かつ増幅手段
の利得を制御することを意図した第１の信号、および前
記発生器によって発生された信号の周期を獲得時間間隔
の持続時間によって制御する第２の信号を、たとえば、
調波の位相のそれぞれの符号と基本波の符号とを組合わ
せることによって、供給するようにプログラムされたコ
ンピュータとを備える。

【００１９】位相変化を測定する時の残留誤差が、従来
の装置の残留誤差と比較して大幅に減少（２０分の１な
いし３０分の１に減少させられる）させられることが確
かめられているために、本発明の方法および装置は有利
である。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明の方法のその他の特徴およ
び利点は、添付図面を参照して、非限定的実施例につい
ての以後の説明を読むことから明らかになるであろう。

【００２１】図１および図２の実施形態に従って、この
装置は、干渉パターンを形成する装置１と、関連する測
定装置２とを有する。装置１は、たとえば、前記フラン
ス特許２，５９６，５２６に記載されている装置の機能
と同じ機能を有する。そのことを以後忘れないようにす
る。

【００２２】この装置は、好ましくはコヒーレントな偏
光された光ビームを生ずる光源３と、この光源により発
生されたビームを２本のビームに分割する分割手段４
と、２本のビームの一方の経路の途中に配置されている
第１のゆっくりした移相変調手段５とを有する。移相変
調手段５はその一方のビームに、他方のビームに対して
ゆっくりした第１の移相変調を行う。移相変調手段５
は、たとえば、組成の変化に相関して屈折率が変化す
る、分析される透明な混合物を含んでいる第１のセルＭ
Ｃと、組成が不変で、そのために屈折率が不変である他
の透明な混合物を含んでいる第２のセルＲＣとで構成さ
れている。たとえば、周期がＴである鋸歯状変調電圧Ｖ
が（トランス（図示せず）によって）加えられるポッケ
ルス型複屈折セルなどの、ビームの位相を速く移相する
ために構成された第２の手段６が、光源３から来る光の
経路の途中に配置されている。

【００２３】ビーム分割手段４はたとえばウォラストン
型ビーム分離プリズム７で構成される。ポッケルスセル
６と分離プリズム７は相互に、かつ光源３から来るビー
ムの偏光の向きに対して、適切に向けられているため
に、２本のビームの強さは実質的に等しく、セル６によ
って加えられる速い変調によってビームの一方のみが影
響を受ける。第１の移相手段と第２の移相手段とから来
る２本のビームの干渉パターンを形成するためにある手
段が使用される。

【００２４】図１に示す実施形態に従って、この手段
は、２本のビームを同じ偏光面に戻させるのに適した偏
光板８と、収束レンズ９とに組合わされた複屈折プリズ
ム７を有する。

【００２５】図２に示す実施形態に従って、２本のビー
ムの干渉パターンを形成する手段は反射鏡１０（セルＭ
ＣとＲＣの裏面に金属膜を付着することによって作られ
る）と、複屈折セル６とウォラストンプリズム４との間
に配置されてビームを偏光板８へ向かって送り返し、ビ
ームの干渉を行えるようにする半反射板１１とを有す
る。

【００２６】レンズ９（図１）の下流側、または半反射
板１１および偏光板８（図２）の下流側の、２本のビー
ムの間の干渉縞形成面内に感光検出器１２が置かれてい
る。この検出器は、干渉縞のいずれかに加えられるゆっ
くりした変調および速い変調に付随する干渉縞の変位の
結果としての光度変化を検出する。

【００２７】感光検出器１２は、セルＭＣ内で分析すべ
き媒体のゆっくりした屈折率変化の結果としてのゆっく
りした位相偏移を測定し、第２の変調手段、すなわちポ
ッケルスセル６の制御信号を発生するのに適した電子測
定装置２に接続されている。

【００２８】測定原理は基本的には、高速フーリエ変換
（ＦＦＴ）による、デジタル化された信号に関する周波
数スペクトラムの決定と、スペクトラムの複素主成分
（または基本）の独立変数を計算することによってその
主成分に影響を及ぼす位相偏移を決定することにある。

【００２９】電子測定装置２は、光検出器１２に接続さ
れているアダプタ前置増幅器１３を有している。前置増
幅器１３によって増幅された信号はアナログ−デジタル
変換器（ＡＤＣ）１４に加えられる。このアナログ−デ
ジタル変換器はその信号を標本化し、かつ持続時間がＴ
である測定窓内の決定された標本化間隔中にとった引き
続く標本をデジタル化する。

【００３０】デジタル化された標本はマイクロコンピュ
ータ１５内に記憶される。このマイクロコンピュータ
は、たとえば、デジタル化されたデータから高速フーリ
エ変換（ＦＦＴ）を行い、かつ、信号の周波数スペクト
ラムの複素基本成分に影響を及ぼす位相偏移を測定する
ようにプログラムされているデジタル信号プロセッサ
（ＤＳＰ）を有する。

【００３１】以下に説明するように、マイクロコンピュ
ータ１５は、第１の分圧器１７に組合わされている第１
のデジタル−アナログ変換器（ＤＡＣ）１６に加えられ
る第１のデジタル信号Ｓ１を発生する。第１の分圧器１
７の出力信号は前置増幅器１３の利得制御入力端子（Ａ
ＧＣ）に、その前置増幅器の動作に抗するようにして加
えられる。測定される媒体の屈折率に特に従って変化で
きる振幅を持つ光検出器の出力信号は前置増幅器１３の
他の入力端子に加えられる。したがって、アナログ−デ
ジタル変換器１４が常にフルスケールで動作するよう
に、前置増幅器１３の利得を測定信号に合わせることが
できる。

【００３２】同様に、マイクロコンピュータは、第２の
分圧器１９に組合わされている第２のデジタル−アナロ
グ変換器（ＤＡＣ）１８に加えられる第２のデジタル信
号Ｓ２を発生する。第２の分圧器１９の出力信号は、複
屈折セル６（図１および図２）の速い変調信号ＳＴを生
ずる鋸歯状電圧発生器２０の制御入力端子に加えられ
る。そうすると鋸歯状電圧の周期Ｔ_SWが、アナログ−デ
ジタル変換器１４の標本化窓の持続時間Ｔ_Wによって常
に正確に制御される。

【００３３】正確な制御は、基本波の位相と、計算され
た周波数スペクトラムの調波の位相とに対する位相計算
によって行われる。

【００３４】周期Ｔ_STが窓の持続時間Ｔ_Wと異なる時
に、光検出器１２から来る測定信号のスペクトラムがＦ
ＦＴによって決定されたとすると、ａ）種々の線の振幅
が差とともに変化する（一方では図４（ａ）および図５
（ａ））、および（ｂ））種々の線の間の差が、図４
（ｂ）および図５（ｂ）に示すように、向きを変化させ
た時に、種々の線の位相が急に不連続になることを観察
できる。．周期Ｔ_STが窓の持続時間Ｔ_Wより長いと（図
４（ｂ））、調波の位相の向きは基本波の位相の向きと
同じであり、周期Ｔ_STが窓の持続時間Ｔ_Wより短いと
（図５（ｂ））位相の向きは逆である。図６の表は基本
波および種々の調波のそれぞれの位相の向きの解析を示
す。

【００３５】調波の位相の符号の変化は、ＦＦＴの計算
精度に依存する非常に小さい周期的誤差を伴って起き
る。たとえば、窓の持続時間Ｔ_W中の３２個の標本化点
において、８ビットデジタル化でＦＦＴ変換を行う場合
には、３・１０^-4より小さい相対的な周期的誤差を検出
できる。

【００３６】前置増幅器１３（図３）の利得制御入力端
子（ＡＧＣ）に加えられた信号Ｓ１は、基本周波数成分
の振幅の値からマイクロコンピュータによって計算さ
れ、その後それはデジタル的に積分される。図８は最適
利得に関連して最初の利得差２０％で得られた修正効率
を示す。

【００３７】鋸歯状電圧の周期Ｔ_STの制御を行えるよう
にする修正信号Ｓ２を発生するために、マイクロコンピ
ュータ１５は調波の角度の符号を加え合わせ、かつその
結果に基本波の角度の符号を乗ずるのに適している。そ
れらの符号は、ＦＦＴ計算の結果の虚数部の符号を取る
ことによって容易に得られる。この結果としての誤差信
号はデジタル的に積分されて変換器１８（図３）に加え
られ、その後で傾斜信号発生器すなわち鋸歯状電圧発生
器２０に加えられる。得られる制御の効率は図７に見る
ことができる。

【００３８】本発明の装置によって実施される、測定セ
ルＭＣ内の媒体の組成の変化に起因する屈折率変化を測
定する方法は、図９に示すように、得ることができる精
度をかなり高くする。実際に、位相誤差は縞の幅の百分
率で表したピーク−ピークの０．３％のオーダーであ
る、すなわち、従来の方法の結果に対しておよそ２０ｄ
Ｂ（これは３０倍のオーダーの係数を表す）であり、部
分位相の関数としてほぼ正弦状に変化する。

【００３９】位相測定値が全測定窓において積分される
ので、この装置は電源の擾乱および信号の歪には感度が
非常ににぶいことがわかる。

【００４０】複屈折ポッケルスセル６に加えられる、光
検出器１２から来る測定信号の獲得窓Ｔ_Wと同じ持続時
間を持つ、電気的制御電圧の周期Ｔ_STを維持すると、必
要な制御電圧の振幅を大幅に減少させ、したがって、そ
れによって受けるストレスを減少させるという積極的な
効果がもたらされる。

【００４１】この利得制御装置によって、光検出器から
来る信号の振幅を連続的に知ることができる。したがっ
て、不純物または泡の存在などの異常は容易に観察で
き、したがって、信頼度がほとんどない測定を検出でき
る。

【００４２】セル６（図１および図２）の励振信号の
「立ち上がり」部分と「立ち下がり」部分について測定
された部分位相を別々に計算することによって、以前の
結果を著しく改善できる。

【００４３】この方法を屈折計への応用の例について説
明した。しかし、本発明の方法は、本発明の範囲から逸
脱することなく、干渉するビームの間の位相偏移の精密
検出により一般的に適用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】安定な基準媒体との比較によるセル内の透明な
混合物の屈折率変化の測定への応用における装置の第１
の実施形態を示す。

【図２】同じ屈折計測定応用における装置の第２の実施
形態を示す。

【図３】光検出器によって受けられる信号に影響する位
相変化を測定する電子装置を概略的に示す。

【図４】速い変調周期が受けられた信号の測定窓の持続
時間より長い場合における、それらの信号の周波数スペ
クトラムの種々の線の相対振幅を示し（図４（ａ））、
速い変調周期が受けられた信号の測定窓の持続時間より
長い場合における、それらの信号のラジアンで表したそ
れぞれの位相を示す（図４（ｂ））。

【図５】速い変調周期が受けられた信号の測定窓の持続
時間より短い場合における、それらの信号の周波数スペ
クトラムの種々の線の相対振幅を示し（図５（ａ））、
速い変調周期が受けられた信号の測定窓の持続時間より
短い場合における、それらの信号のラジアンで表したそ
れぞれの位相を示す（図５（ｂ））。

【図６】速い変調周期の調整の向きと、基本波の符号と
調波周波数の符号とに従う測定窓の持続時間の調整の向
きとを示す表である。

【図７】変調周期と窓の持続時間との間で見出すことが
できる差の（常に修正される）変化を示す。

【図８】２０％のオーダーの最初の位相偏移の後の前置
増幅器の利得の調整曲線を時間の関数として示す。

【図９】本発明の方法で行われた、非常に狭い限界内に
ある縞の幅の百分率で表した絶対誤差を示す。

【符号の説明】

１干渉パターン形成装置２測定装置３光源４分割手段５遅い移相変調手段６複屈折セル７ビーム分離プリズム８偏光板９収束レンズ１０反射鏡１１半反射板１２光検出器１３前置増幅器１４アナログ−デジタル変換器１５マイクロコンピュータ１６、１８デジタル−アナログ変換器１７、１９分圧器２０鋸歯状電圧発生器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一方が比較的ゆっくりした位相変化を行
い、他方が変調信号によって比較的速い周期的位相変調
を受ける、偏光されている同じ光源から来る２本の光ビ
ームの間の位相偏移を、２本のビームを相互に干渉させ
ることによって形成される干渉パターンの縞の変位の結
果としての光の強さを感知する光検出器によって拾われ
る前記変位の精密測定と、光検出器から来る信号の周波
数スペクトラムの決定とによって測定する干渉方法にお
いて、周波数スペクトラムの複素独立変数を計算するこ
とによって、その周波数スペクトラムの基本周波数に影
響を及ぼす位相偏移を測定することを特徴とする、偏光
されている同じ光源から来る２本の光ビームの間の位相
偏移を測定する干渉方法。
【請求項２】前記光検出器から来て、前記変調信号の
少なくとも１つの周期に実質的に等しい測定窓内に含ま
れている信号部分から周波数スペクトラムが形成される
請求項１に記載の方法。
【請求項３】前記測定窓に対して選択された持続時間
によって変調信号周期を制御する請求項２に記載の方
法。
【請求項４】前記光検出器によって検出された信号の
振幅が調整される請求項１から３のいずれか１つに記載
の方法。
【請求項５】高速変調信号の異なる部分における別々
の位相偏移測定を行う請求項１から４のいずれか１つに
記載の方法。
【請求項６】偏光されている同じ光源から来る２本の
光ビームの間の位相偏移を測定する装置であって、前記
同じ光源（３）から２本のビームを発生する手段と前記
ビームの１つに比較的ゆっくりした位相変化を加える第
１の移相手段（５）および前記ビームの１つに比較的速
い周期的位相変化を加える第２の移相手段（６）ならび
に２本のビームを相互に干渉させる手段かつ２本のビー
ムから形成された干渉パターンの縞の移動を検出する光
検出器（１２）を含む光学装置（１）と、前記光検出器
によって発生された信号の周波数スペクトラムを決定す
る手段を含む測定装置（２）とを備える、偏光されてい
る同じ光源から来る２本の光ビームの間の位相偏移を測
定する装置において、前記測定装置（２）が、このスペ
クトラムの基本成分に影響する位相変化を、それの複素
独立変数の計算によって測定する手段を備えることを特
徴とする、偏光されている同じ光源から来る２本の光ビ
ームの間の位相偏移を測定する装置。
【請求項７】偏光された光ビームを出射する光源
（３）と、この光源によって出射されたビームを２本の
ビームに分割する分割手段（４）と、ビームの一方にビ
ームの他方に対して比較的ゆっくりした第１の位相変調
を加える第１の移相手段（５）と、ビームの他方に変調
信号によって比較的速い位相変調を加える第２の移相手
段（６）と、第１の移相手段および第２の移相手段から
来る２本のビームの干渉パターンを形成する手段と、変
調の作用の下に干渉縞の移動の結果としての強さの変化
を感知する光検出器（１２）とを備える装置（１）、お
よび前記光検出器によって発生された信号の周波数パタ
ーンを決定する手段を含む測定装置（２）を備える干渉
屈折計装置において、前記測定装置（２）はこのスペク
トラムの基本成分に影響する位相変化を、それの複素独
立変数の計算によって測定する手段を備えることを特徴
とする干渉屈折計装置。
【請求項８】ビームの一方をビームの他方に対して比
較的ゆっくりした第１の位相変調を加えることを目的と
した第１の移相手段（５）が、屈折率が変化する媒体を
含む少なくとも１つのセル（ＭＣ）を含み、ビームの他
方に変調信号によって比較的速い位相変調を加えること
を目的とした第２の移相手段（６）が、加えられる周期
的変調電圧（Ｓ_T）の作用の下に光を逆位相にするのに
適したセルを備え、電子装置（２）が、時間間隔
（Ｔ_W）中に前記検出器から来る信号に対して高速フー
リエ変換（ＦＦＴ）を実行し、前記基本成分に影響を及
ぼす前記位相偏移を決定するようにプログラムされたコ
ンピュータ（１５）を備える請求項７に記載の装置。
【請求項９】前記変調電圧の周期（Ｔ_SW）を前記時間
間隔（Ｔ_W）の持続時間に常に調整するために構成され
た手段を備える請求項７または８に記載の装置。
【請求項１０】前記変調電圧の周期（Ｔ_SW）を前記時
間間隔（Ｔ_W）の持続時間に常に調整するために構成さ
れた手段が、修正信号を発生するために調波の位相のそ
れぞれの符号と基本成分の符号とを組合わせる計算手段
である請求項９に記載の装置。
【請求項１１】前記光検出器（１２）から来る信号に
加えられる増幅利得を制御する自動手段を備える請求項
７から１０のいずれか１つに記載の装置。
【請求項１２】前記光検出器（１２）からの前記信号
を増幅する手段（１３）と、獲得時間間隔（Ｔ_W）中に
前記増幅された信号の標本化とデジタル化を行う手段
（１４）と、前記第２の移相手段を制御する周期信号を
発生する発生器（２０）と、前記時間間隔（Ｔ_W）中に
前記検出器からの前記信号に対して高速フーリエ変換
（ＦＦＴ）を行い、前記基本成分に影響を及ぼす前記位
相偏移を決定し、かつ前記増幅手段（１３）の利得を制
御することを目的とした第１の信号（Ｓ１）、および前
記発生器（２０）によって発生された前記信号の周期
（Ｔ_SW）を獲得時間間隔の持続時間（Ｔ_W）によって制
御させることを目的とする第２の信号（Ｓ２）とを供給
するようにプログラムされたコンピュータ（１５）とを
備える請求項７ないし１１のいずれか１つに記載の装
置。
【請求項１３】前記コンピュータ（１５）が、修正信
号を発生するために調波の位相のそれぞれの符号と基本
成分の符号とを組合わせるようになっている請求項１２
に記載の装置。
【請求項１４】ゆっくりした位相変調が媒体の屈折率
変化の結果であるような干渉屈折計動作への請求項１な
いし５のいずれか１つに記載の方法の応用。