JPH11271699A - 光導波路素子 - Google Patents
光導波路素子Info
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- JPH11271699A JPH11271699A JP10079037A JP7903798A JPH11271699A JP H11271699 A JPH11271699 A JP H11271699A JP 10079037 A JP10079037 A JP 10079037A JP 7903798 A JP7903798 A JP 7903798A JP H11271699 A JPH11271699 A JP H11271699A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】分岐を有する光導波路の光の分岐比が等しい光
導波路素子を提供する。 【解決手段】光導波路素子１０は、ＬｉＮｂＯ3 基板１
２上に一対の電極１６ａ、１６ｂと分岐部において平行
に分岐して２つの分枝した光導波路１４ｂ、１４ｃを構
成する光導波路１４とが形成されている。電極の引き回
し配線パターン１８ａと各分枝光導波路１４ｂ、１４ｃ
とはそれぞれ１箇所の交差部Ａ、Ｂ2 を有するととも
に、電極の引き回し配線パターン１８ｂと分枝光導波路
１４ｃとは１箇所の交差部Ｂ1 を有する。交差部Ａ近傍
の電極の引き回し配線パターン１８ａの幅（図１中、Ｙ
方向）のみが他の箇所の倍幅とされていることにより、
各分枝光導波路１４ｂ、１４ｃの交差部における分枝の
長さ（図１中、Ｙ方向）の合計が同一に構成されてい
る。
導波路素子を提供する。 【解決手段】光導波路素子１０は、ＬｉＮｂＯ3 基板１
２上に一対の電極１６ａ、１６ｂと分岐部において平行
に分岐して２つの分枝した光導波路１４ｂ、１４ｃを構
成する光導波路１４とが形成されている。電極の引き回
し配線パターン１８ａと各分枝光導波路１４ｂ、１４ｃ
とはそれぞれ１箇所の交差部Ａ、Ｂ2 を有するととも
に、電極の引き回し配線パターン１８ｂと分枝光導波路
１４ｃとは１箇所の交差部Ｂ1 を有する。交差部Ａ近傍
の電極の引き回し配線パターン１８ａの幅（図１中、Ｙ
方向）のみが他の箇所の倍幅とされていることにより、
各分枝光導波路１４ｂ、１４ｃの交差部における分枝の
長さ（図１中、Ｙ方向）の合計が同一に構成されてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路素子に関
し、一層詳細には、ＬｉＮｂＯ3 基板上に電極と分岐部
を有する光導波路とが形成された光導波路素子に関す
る。
し、一層詳細には、ＬｉＮｂＯ3 基板上に電極と分岐部
を有する光導波路とが形成された光導波路素子に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、光導波路は、放射を一定領域に
閉じ込め、そのエネルギの流れを経路の軸に平行に案内
して伝搬する機能を有する。そのため、現在では、光フ
ァイバケーブルで代表される光の導波線路を光導波路に
変えることによって、光学部品の小型化を図るようにし
ている。
閉じ込め、そのエネルギの流れを経路の軸に平行に案内
して伝搬する機能を有する。そのため、現在では、光フ
ァイバケーブルで代表される光の導波線路を光導波路に
変えることによって、光学部品の小型化を図るようにし
ている。
【０００３】前記光導波路としては、例えばＧａＡｓ
系、ＩｎＰ系の半導体光導波路、Ｓｉ上に酸化膜を形成
したり、ガラス基板を用いる誘電体（ガラス）光導波
路、ＬｉＮｂＯ3 やＬｉＴａＯ3 結晶で構成した強誘電
体結晶光導波路がある。
系、ＩｎＰ系の半導体光導波路、Ｓｉ上に酸化膜を形成
したり、ガラス基板を用いる誘電体（ガラス）光導波
路、ＬｉＮｂＯ3 やＬｉＴａＯ3 結晶で構成した強誘電
体結晶光導波路がある。
【０００４】特に、光導波路型変調器等のように、光導
波路を伝送する光ビームに電極を通じて情報を乗せるよ
うな光学素子としては、優れた電気光学特性を有するＬ
ｉＮｂＯ3 結晶にＴｉを拡散させたＴｉ拡散型ＬｉＮｂ
Ｏ3 光導波路が用いられている。
波路を伝送する光ビームに電極を通じて情報を乗せるよ
うな光学素子としては、優れた電気光学特性を有するＬ
ｉＮｂＯ3 結晶にＴｉを拡散させたＴｉ拡散型ＬｉＮｂ
Ｏ3 光導波路が用いられている。
【０００５】この場合、図６に示すように、ＬｉＮｂＯ
3 基板２上に位相変調器等の電極４ａ、４ｂを設ける場
合は、通常、光導波路６の上にＡｕ膜が形成された光導
波路素子８が用いられる。
3 基板２上に位相変調器等の電極４ａ、４ｂを設ける場
合は、通常、光導波路６の上にＡｕ膜が形成された光導
波路素子８が用いられる。
【０００６】光導波路には、直線、曲げ、分岐、結合の
基本的な要素があり、それらを組み合わせて光の回路を
構成する。このうち、分岐形については、上記した図６
に示す１つの光導波路６ａが、分岐して２本の分枝光導
波路６ｂ、６ｃとなるＹ分岐形や、図７に示す分岐した
分枝光導波路６ｂ、６ｃが他端部の分岐部で再び１つの
光導波路６ａとなるマッハーツェンダー形（分岐干渉
形）等がある。
基本的な要素があり、それらを組み合わせて光の回路を
構成する。このうち、分岐形については、上記した図６
に示す１つの光導波路６ａが、分岐して２本の分枝光導
波路６ｂ、６ｃとなるＹ分岐形や、図７に示す分岐した
分枝光導波路６ｂ、６ｃが他端部の分岐部で再び１つの
光導波路６ａとなるマッハーツェンダー形（分岐干渉
形）等がある。
【０００７】これら分岐形の光導波路６では、分岐した
各分枝光導波路６ｂ、６ｃに光を均等に分岐することが
重要であるが、フォトリソグラフィにおける分岐部の解
像度限界、分岐後の光導波路欠陥および電極での光の吸
収等の理由により、この分岐比を等しくすることは必ず
しも容易ではない。この結果、基板上に位相変調器用の
電極４ａ、４ｂを設けた場合、該位相変調器を有する前
記マッハーツェンダー形の光導波路の特性として求めら
れる光のオン／オフの強度比である消光比の高さが各分
枝毎に異なる等の問題を生じる。
各分枝光導波路６ｂ、６ｃに光を均等に分岐することが
重要であるが、フォトリソグラフィにおける分岐部の解
像度限界、分岐後の光導波路欠陥および電極での光の吸
収等の理由により、この分岐比を等しくすることは必ず
しも容易ではない。この結果、基板上に位相変調器用の
電極４ａ、４ｂを設けた場合、該位相変調器を有する前
記マッハーツェンダー形の光導波路の特性として求めら
れる光のオン／オフの強度比である消光比の高さが各分
枝毎に異なる等の問題を生じる。
【０００８】ところで、図６および図７に示すように、
回路設計上の都合により、位相変調器とされる電極４
ａ、４ｂの引き回し配線パターンが光導波路６の分枝光
導波路６ｂ、６ｃと交差するように設けられることが多
いが、このことが、前記した光の分岐比に影響し、ひい
ては、前記マッハーツェンダー形の光導波路のオン／オ
フ消光比に影響する一因となっていることが、本発明者
等の検討結果により、判明した。
回路設計上の都合により、位相変調器とされる電極４
ａ、４ｂの引き回し配線パターンが光導波路６の分枝光
導波路６ｂ、６ｃと交差するように設けられることが多
いが、このことが、前記した光の分岐比に影響し、ひい
ては、前記マッハーツェンダー形の光導波路のオン／オ
フ消光比に影響する一因となっていることが、本発明者
等の検討結果により、判明した。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
課題を考慮してなされたものであり、ＬｉＮｂＯ3 基板
上に電極と分岐を有する光導波路とが形成された光導波
路素子であって、前記電極の引き回し配線パターンが、
前記光導波路の分岐した各分枝と交差するように配置さ
れている場合において、各分枝に光を均等に分岐するこ
とができる光導波路素子を提供することを目的とする。
課題を考慮してなされたものであり、ＬｉＮｂＯ3 基板
上に電極と分岐を有する光導波路とが形成された光導波
路素子であって、前記電極の引き回し配線パターンが、
前記光導波路の分岐した各分枝と交差するように配置さ
れている場合において、各分枝に光を均等に分岐するこ
とができる光導波路素子を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記した課題を解決する
ために、本発明に係る光導波路素子は、ＬｉＮｂＯ3基
板上に少なくとも一対の電極と１以上の分岐部を有して
２以上に分岐する光導波路とが形成された光導波路素子
であって、前記電極の引き回し配線パターンが、少なく
とも前記光導波路の１つの分岐した分枝と１箇所で交差
するとともに他の１つの分岐した分枝と２箇所で交差す
るように配置されている場合において、交差部における
分枝の長さの合計が各分枝でほぼ同一であることを特徴
とする。ここで、交差部における分枝の長さとは、引き
回し配線パターンと光導波路の分枝とが交差する箇所に
おける光導波路の分枝の光の進行方向の距離をいう。ま
た、交差部における分枝の長さの合計がほぼ同一とは、
一方の合計が他方の合計の１．１倍未満の範囲内にある
ことをいう。
ために、本発明に係る光導波路素子は、ＬｉＮｂＯ3基
板上に少なくとも一対の電極と１以上の分岐部を有して
２以上に分岐する光導波路とが形成された光導波路素子
であって、前記電極の引き回し配線パターンが、少なく
とも前記光導波路の１つの分岐した分枝と１箇所で交差
するとともに他の１つの分岐した分枝と２箇所で交差す
るように配置されている場合において、交差部における
分枝の長さの合計が各分枝でほぼ同一であることを特徴
とする。ここで、交差部における分枝の長さとは、引き
回し配線パターンと光導波路の分枝とが交差する箇所に
おける光導波路の分枝の光の進行方向の距離をいう。ま
た、交差部における分枝の長さの合計がほぼ同一とは、
一方の合計が他方の合計の１．１倍未満の範囲内にある
ことをいう。
【００１１】これにより、電極の引き回し配線パターン
が光導波路の分枝上と交差することにより生じる光の分
岐比のアンバランスが解消されて光導波路の各分枝にお
いて分岐比を同一とすることができる。ここで、交差部
における分枝の長さの合計をほぼ同一とする方法として
は、引き回し配線パターンとの交差部を１箇所のみ有す
る光導波路の分枝について、該引き回し配線パターンの
少なくとも交差部における幅（光導波路の分枝の光の進
行方向側の距離）を拡げる方法を用いることができる。
が光導波路の分枝上と交差することにより生じる光の分
岐比のアンバランスが解消されて光導波路の各分枝にお
いて分岐比を同一とすることができる。ここで、交差部
における分枝の長さの合計をほぼ同一とする方法として
は、引き回し配線パターンとの交差部を１箇所のみ有す
る光導波路の分枝について、該引き回し配線パターンの
少なくとも交差部における幅（光導波路の分枝の光の進
行方向側の距離）を拡げる方法を用いることができる。
【００１２】また、本発明に係る光導波路素子は、Ｌｉ
ＮｂＯ3 基板上に少なくとも一対の電極と１以上の分岐
部を有して２以上に分岐する光導波路とが形成された光
導波路素子であって、前記電極の引き回し配線パターン
が、前記光導波路の少なくとも１つの分岐した分枝と交
差するダミーの引き回し配線部を有することにより、前
記分岐する各分枝と交差するそれぞれ同数の交差部を有
し、前記交差部における分枝の長さの合計が各分枝でほ
ぼ同一であることを特徴とする。この場合、各分枝と交
差する交差部の数は、２箇所以上であれば何箇所であっ
てもよい。これにより、電極の引き回し配線パターンの
幅を部分的に変更することなく、簡便な方法により、前
記した本発明の効果を得ることができる。
ＮｂＯ3 基板上に少なくとも一対の電極と１以上の分岐
部を有して２以上に分岐する光導波路とが形成された光
導波路素子であって、前記電極の引き回し配線パターン
が、前記光導波路の少なくとも１つの分岐した分枝と交
差するダミーの引き回し配線部を有することにより、前
記分岐する各分枝と交差するそれぞれ同数の交差部を有
し、前記交差部における分枝の長さの合計が各分枝でほ
ぼ同一であることを特徴とする。この場合、各分枝と交
差する交差部の数は、２箇所以上であれば何箇所であっ
てもよい。これにより、電極の引き回し配線パターンの
幅を部分的に変更することなく、簡便な方法により、前
記した本発明の効果を得ることができる。
【００１３】また、本発明に係る光導波路素子は、Ｌｉ
ＮｂＯ3 基板上に少なくとも一対の電極と１以上の分岐
部を有して２以上に分岐する光導波路とが形成された光
導波路素子であって、前記電極の引き回し配線パターン
が、少なくとも前記光導波路の１つの分岐した分枝とｍ
箇所で交差するとともに他の１つの分岐した分枝とｍ＋
ｎ箇所で交差する場合において、前記交差部における分
枝の長さの合計が以下の式を満たすことを特徴とする。
ＮｂＯ3 基板上に少なくとも一対の電極と１以上の分岐
部を有して２以上に分岐する光導波路とが形成された光
導波路素子であって、前記電極の引き回し配線パターン
が、少なくとも前記光導波路の１つの分岐した分枝とｍ
箇所で交差するとともに他の１つの分岐した分枝とｍ＋
ｎ箇所で交差する場合において、前記交差部における分
枝の長さの合計が以下の式を満たすことを特徴とする。
【００１４】 Ｌm+n ×１．１n ≦Ｌm ≦Ｌm+n ×１．８n ｍ、ｎ：ともに１から３の範囲の自然数であり、ｍ＋ｎ
＞２ Ｌm ：引き回し配線パターンが光導波路の１つの分枝
上とｍ箇所で交差する側の交差部における分枝の長さの
合計 Ｌm+n ：引き回し配線パターンが光導波路の１つの分枝
上とｍ＋ｎ箇所で交差する側の交差部における分枝の長
さの合計 これにより、前記電極の引き回し配線パターンが、少な
くとも前記光導波路の１つの分枝と３箇所以上の箇所で
交差する光導波路素子において、前記した本発明の効果
を好適に得ることができる。ここで、交差部の数の少な
い方の１つの分枝の交差部における分枝の長さ合計を交
差部の数の多い他の１つの分枝の１．１倍以上とする理
由は、定性的には、交差部の数の多い方の分枝では、多
数交差によって発生する導波路伝搬モードの空間的な不
安定領域が該分枝において多数箇所に存在することとな
って分枝の光の吸収率が大きくなることから、交差部の
数の少ない方の分枝において、これとのバランスをとる
ためである。一方、交差部の数の少ない方の１つの分枝
の交差部における分枝の長さ合計を交差部の数の多い他
の１つの分枝の１．８倍以下とする理由は、これを超え
ると分岐比が悪くなる傾向にあるためである。同様の理
由により、１つの分枝との交差部の数が最大で２箇所ま
では、導波路伝搬モードの空間的な不安定領域が発生す
るものの実用的な分岐比の範囲からすると無視できるレ
ベルであることから、両者の交差部における分枝の長さ
を同一にすれば十分である。これに対して、１つの分枝
との交差部の数が最大で６箇所を超える場合は、光導波
路素子の光の損失が実用的な範囲を超えて大きくなって
しまうため、好ましくない。
＞２ Ｌm ：引き回し配線パターンが光導波路の１つの分枝
上とｍ箇所で交差する側の交差部における分枝の長さの
合計 Ｌm+n ：引き回し配線パターンが光導波路の１つの分枝
上とｍ＋ｎ箇所で交差する側の交差部における分枝の長
さの合計 これにより、前記電極の引き回し配線パターンが、少な
くとも前記光導波路の１つの分枝と３箇所以上の箇所で
交差する光導波路素子において、前記した本発明の効果
を好適に得ることができる。ここで、交差部の数の少な
い方の１つの分枝の交差部における分枝の長さ合計を交
差部の数の多い他の１つの分枝の１．１倍以上とする理
由は、定性的には、交差部の数の多い方の分枝では、多
数交差によって発生する導波路伝搬モードの空間的な不
安定領域が該分枝において多数箇所に存在することとな
って分枝の光の吸収率が大きくなることから、交差部の
数の少ない方の分枝において、これとのバランスをとる
ためである。一方、交差部の数の少ない方の１つの分枝
の交差部における分枝の長さ合計を交差部の数の多い他
の１つの分枝の１．８倍以下とする理由は、これを超え
ると分岐比が悪くなる傾向にあるためである。同様の理
由により、１つの分枝との交差部の数が最大で２箇所ま
では、導波路伝搬モードの空間的な不安定領域が発生す
るものの実用的な分岐比の範囲からすると無視できるレ
ベルであることから、両者の交差部における分枝の長さ
を同一にすれば十分である。これに対して、１つの分枝
との交差部の数が最大で６箇所を超える場合は、光導波
路素子の光の損失が実用的な範囲を超えて大きくなって
しまうため、好ましくない。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光導波路素子
の好適な実施の形態例を図１〜図５を参照しながら説明
する。
の好適な実施の形態例を図１〜図５を参照しながら説明
する。
【００１６】図１に示す本実施の形態の第１の例に係る
光導波路素子１０は、ＬｉＮｂＯ3基板１２にＴｉの拡
散により形成された光導波路１４が設けられており、該
光導波路１４上に位相変調器としての制御電極１６ａお
よび接地電極１６ｂが設けられている。光は、図１中、
Ｙ方向に進行する。
光導波路素子１０は、ＬｉＮｂＯ3基板１２にＴｉの拡
散により形成された光導波路１４が設けられており、該
光導波路１４上に位相変調器としての制御電極１６ａお
よび接地電極１６ｂが設けられている。光は、図１中、
Ｙ方向に進行する。
【００１７】光導波路素子１０のＬｉＮｂＯ3 基板１２
のサイズは、幅（図１中、Ｚ方向）が約３ｍｍ、光導波
路１４方向（図１中、Ｙ方向）の長さが約３０ｍｍであ
る。光導波路１４はＹ形の分岐部を１箇所有しており、
各サイズは、分岐前の光導波路１４ａの幅（図１中、Ｚ
方向）が４μｍであり、分岐部以降平行して分岐する２
つの分枝光導波路１４ｂ、１４ｃは同一の断面形状を有
し、その幅（図１中、Ｚ方向）が４μｍである。Ａｕ膜
で形成される制御電極１６ａは、前記分枝光導波路１４
ｂ、１４ｃのそれぞれの外側に平行して２箇所設けら
れ、各々、幅（図１中、Ｚ方向）が５０μｍ、長さ（図
１中、Ｙ方向）が１２ｍｍであり、同じくＡｕ膜で形成
される接地電極１６ｂは、該分枝光導波路１４ｂ、１４
ｃ間に設けられており、幅（図１中、Ｚ方向）が２４０
μｍ、長さ（図１中、Ｙ方向）が１２ｍｍである。
のサイズは、幅（図１中、Ｚ方向）が約３ｍｍ、光導波
路１４方向（図１中、Ｙ方向）の長さが約３０ｍｍであ
る。光導波路１４はＹ形の分岐部を１箇所有しており、
各サイズは、分岐前の光導波路１４ａの幅（図１中、Ｚ
方向）が４μｍであり、分岐部以降平行して分岐する２
つの分枝光導波路１４ｂ、１４ｃは同一の断面形状を有
し、その幅（図１中、Ｚ方向）が４μｍである。Ａｕ膜
で形成される制御電極１６ａは、前記分枝光導波路１４
ｂ、１４ｃのそれぞれの外側に平行して２箇所設けら
れ、各々、幅（図１中、Ｚ方向）が５０μｍ、長さ（図
１中、Ｙ方向）が１２ｍｍであり、同じくＡｕ膜で形成
される接地電極１６ｂは、該分枝光導波路１４ｂ、１４
ｃ間に設けられており、幅（図１中、Ｚ方向）が２４０
μｍ、長さ（図１中、Ｙ方向）が１２ｍｍである。
【００１８】各電極１６ａ、１６ｂには、Ａｕ細線で形
成される引き回し配線パターン１８ａ、１８ｂが接続さ
れており、引き回し配線パターン１８ａは各分枝光導波
路１４ｂ、１４ｃとそれぞれ１箇所、すなわち、交差部
Ａと交差部Ｂ2 とで交差しており、一方、引き回し配線
パターン１８ｂは分枝光導波路１４ｃと交差部Ｂ1 で交
差している。各引き回し配線パターン１８ａ、１８ｂの
幅（図１中、Ｙ方向）は２０μｍである。但し、交差部
Ａおよびその近傍では、２倍の４０μｍに幅が拡張され
ている。したがって、光導波路１４の各分枝光導波路１
４ｂ、１４ｃの側からみると、分枝光導波路１４ｂは１
箇所の交差部Ａを有し、分枝光導波路１４ｃは２箇所の
交差部Ｂ1 、Ｂ2 を有することになる。交差部における
分枝光導波路の長さの合計は、分枝光導波路１４ｂが交
差部Ａの２０μｍであり、一方、分枝光導波路１４ｃが
交差部Ｂ1 、Ｂ2 の２箇所の２０μｍ×２で４０μｍで
あり、各分枝光導波路１４ｂ、１４ｃで同一にされてい
る。
成される引き回し配線パターン１８ａ、１８ｂが接続さ
れており、引き回し配線パターン１８ａは各分枝光導波
路１４ｂ、１４ｃとそれぞれ１箇所、すなわち、交差部
Ａと交差部Ｂ2 とで交差しており、一方、引き回し配線
パターン１８ｂは分枝光導波路１４ｃと交差部Ｂ1 で交
差している。各引き回し配線パターン１８ａ、１８ｂの
幅（図１中、Ｙ方向）は２０μｍである。但し、交差部
Ａおよびその近傍では、２倍の４０μｍに幅が拡張され
ている。したがって、光導波路１４の各分枝光導波路１
４ｂ、１４ｃの側からみると、分枝光導波路１４ｂは１
箇所の交差部Ａを有し、分枝光導波路１４ｃは２箇所の
交差部Ｂ1 、Ｂ2 を有することになる。交差部における
分枝光導波路の長さの合計は、分枝光導波路１４ｂが交
差部Ａの２０μｍであり、一方、分枝光導波路１４ｃが
交差部Ｂ1 、Ｂ2 の２箇所の２０μｍ×２で４０μｍで
あり、各分枝光導波路１４ｂ、１４ｃで同一にされてい
る。
【００１９】なお、引き回し配線パターン１８ａ、１８
ｂの他端部は、図１中、参照符号２０ａ、２０ｂで示
す、制御信号系、接地との連絡端子に接続されている。
ｂの他端部は、図１中、参照符号２０ａ、２０ｂで示
す、制御信号系、接地との連絡端子に接続されている。
【００２０】次に、図２に示す本実施の形態の第２の例
に係る光導波路素子１０について説明する。この第２の
例に係る光導波路素子１０の構成は、基本的には第１の
例と同様であり、同一の構成要素には同一の参照符号を
付して説明する。
に係る光導波路素子１０について説明する。この第２の
例に係る光導波路素子１０の構成は、基本的には第１の
例と同様であり、同一の構成要素には同一の参照符号を
付して説明する。
【００２１】第２の例の光導波路素子１０では、基板１
２にＴｉの拡散により形成された光導波路１４が設けら
れており、該光導波路１４上に位相変調器としての制御
電極１６ａおよび接地電極１６ｂが設けられている。光
は、図１中、Ｙ方向に進行する。
２にＴｉの拡散により形成された光導波路１４が設けら
れており、該光導波路１４上に位相変調器としての制御
電極１６ａおよび接地電極１６ｂが設けられている。光
は、図１中、Ｙ方向に進行する。
【００２２】この第２の例に係る光導波路素子１０は、
各引き回し配線パターン１８ａ、１８ｂの幅（図２中、
Ｙ方向）が全ての箇所において同一の２０μｍに形成さ
れており、図２中、接地電極１６ｂの左上箇所に、該設
置電極１６ｂから引き出された幅が２０μｍのダミーの
引き回し配線パターン１８ｃが設けられ、該引き回し配
線パターン１８ｃが光導波路１４の分枝光導波路１４ｂ
と１箇所で交差して交差部Ａ1 を形成している。したが
って、各分枝光導波路１４ｂ、１４ｃはそれぞれに２箇
所の交差部Ａ1 、Ａ2 、およびＢ1 、Ｂ2 を有してお
り、交差部における分枝の長さの合計は、各分枝光導波
路１４ｂ、１４ｃで同一の２０μｍ×２である。
各引き回し配線パターン１８ａ、１８ｂの幅（図２中、
Ｙ方向）が全ての箇所において同一の２０μｍに形成さ
れており、図２中、接地電極１６ｂの左上箇所に、該設
置電極１６ｂから引き出された幅が２０μｍのダミーの
引き回し配線パターン１８ｃが設けられ、該引き回し配
線パターン１８ｃが光導波路１４の分枝光導波路１４ｂ
と１箇所で交差して交差部Ａ1 を形成している。したが
って、各分枝光導波路１４ｂ、１４ｃはそれぞれに２箇
所の交差部Ａ1 、Ａ2 、およびＢ1 、Ｂ2 を有してお
り、交差部における分枝の長さの合計は、各分枝光導波
路１４ｂ、１４ｃで同一の２０μｍ×２である。
【００２３】図３は、本実施の形態の第３の例に係る光
導波路素子２２を示す。この第３の例では、前記した第
１の例、第２の例と同様に、基板２４にＴｉの拡散によ
り形成された光導波路２６が設けられており、該光導波
路２６上に制御電極２８ａおよび接地電極２８ｂが設け
られている。光は、図１中、Ｙ方向に進行する。
導波路素子２２を示す。この第３の例では、前記した第
１の例、第２の例と同様に、基板２４にＴｉの拡散によ
り形成された光導波路２６が設けられており、該光導波
路２６上に制御電極２８ａおよび接地電極２８ｂが設け
られている。光は、図１中、Ｙ方向に進行する。
【００２４】光導波路素子２２の基板２４のサイズは、
幅（図３中、Ｚ方向）が約５ｍｍ、光導波路２６方向
（図１中、Ｙ方向）の長さが約４０ｍｍである。光導波
路２６は１つの光導波路２６ａがＹ形の第１の分岐部に
おいて２つの分枝光導波路２６ｂ、２６ｃに平行に分岐
した後、さらに各分枝光導波路２６ｂ、２６ｃが第２の
分岐部においてさらに２つに平行に分岐して、結局、４
つの分枝光導波路２６ｄ、２６ｅ、２６ｆ、２６ｇを有
している。各サイズは、分岐前の光導波路２６ａの幅
（図１中、Ｚ方向）が７μｍであり、２つの分枝光導波
路２６ｂ、２６ｃの幅が同一の６μｍであり、４つの分
枝光導波路２６ｄ〜２６ｇが同一の６μｍである。制御
電極２８ａは、分枝光導波路２６ｄと分枝光導波路２６
ｅ、および分枝光導波路２６ｆと分枝光導波路２６ｇの
それぞれの外側に平行して４箇所設けられ、各々、幅
（図１中、Ｚ方向）が７０μｍ、長さ（図１中、Ｙ方
向）が７ｍｍであり、接地電極２８ｂは、分枝光導波路
２６ｄと分枝光導波路２６ｅ、および分枝光導波路２６
ｆと分枝光導波路２６ｇのそれぞれの間に２箇所設けら
れており、各々、幅（図１中、Ｚ方向）が２００μｍ、
長さ（図１中、Ｙ方向）が７ｍｍである。
幅（図３中、Ｚ方向）が約５ｍｍ、光導波路２６方向
（図１中、Ｙ方向）の長さが約４０ｍｍである。光導波
路２６は１つの光導波路２６ａがＹ形の第１の分岐部に
おいて２つの分枝光導波路２６ｂ、２６ｃに平行に分岐
した後、さらに各分枝光導波路２６ｂ、２６ｃが第２の
分岐部においてさらに２つに平行に分岐して、結局、４
つの分枝光導波路２６ｄ、２６ｅ、２６ｆ、２６ｇを有
している。各サイズは、分岐前の光導波路２６ａの幅
（図１中、Ｚ方向）が７μｍであり、２つの分枝光導波
路２６ｂ、２６ｃの幅が同一の６μｍであり、４つの分
枝光導波路２６ｄ〜２６ｇが同一の６μｍである。制御
電極２８ａは、分枝光導波路２６ｄと分枝光導波路２６
ｅ、および分枝光導波路２６ｆと分枝光導波路２６ｇの
それぞれの外側に平行して４箇所設けられ、各々、幅
（図１中、Ｚ方向）が７０μｍ、長さ（図１中、Ｙ方
向）が７ｍｍであり、接地電極２８ｂは、分枝光導波路
２６ｄと分枝光導波路２６ｅ、および分枝光導波路２６
ｆと分枝光導波路２６ｇのそれぞれの間に２箇所設けら
れており、各々、幅（図１中、Ｚ方向）が２００μｍ、
長さ（図１中、Ｙ方向）が７ｍｍである。
【００２５】各電極２８ａ、２８ｂには、１５μｍの同
一幅（図１中、Ｙ方向）の引き回し配線パターン３０
ａ、３０ｂが接続されており、引き回し配線パターン３
０ａは分枝光導波路２６ｄ〜２６ｇとそれぞれ１箇所、
交差部Ａ2 、交差部Ｂ2 、交差部Ｃ2 、および交差部Ｄ
2 で交差している。一方、引き回し配線パターン３０ｂ
については、幅が１５μｍのダミーの引き回し配線パタ
ーン３０ｃが接地電極２８ｂを介して接続されており、
結局、引き回し配線パターン３０ａと同じく、分枝光導
波路２６ｄ〜２６ｇとそれぞれ１箇所、交差部Ａ1 、交
差部Ｂ1 、交差部Ｃ1 および交差部Ｄ1 で交差してい
る。したがって、光導波路２６の各分枝光導波路２６ｄ
〜２６ｇの側からみると、それぞれに２箇所の交差部Ａ
1 とＡ2 、Ｂ 1 とＢ2 、Ｃ1 とＣ2 、Ｄ1 とＤ2 を有し
ており、交差部における分枝の長さの合計は、それぞ
れ、１５μｍ×２で同一にされている。
一幅（図１中、Ｙ方向）の引き回し配線パターン３０
ａ、３０ｂが接続されており、引き回し配線パターン３
０ａは分枝光導波路２６ｄ〜２６ｇとそれぞれ１箇所、
交差部Ａ2 、交差部Ｂ2 、交差部Ｃ2 、および交差部Ｄ
2 で交差している。一方、引き回し配線パターン３０ｂ
については、幅が１５μｍのダミーの引き回し配線パタ
ーン３０ｃが接地電極２８ｂを介して接続されており、
結局、引き回し配線パターン３０ａと同じく、分枝光導
波路２６ｄ〜２６ｇとそれぞれ１箇所、交差部Ａ1 、交
差部Ｂ1 、交差部Ｃ1 および交差部Ｄ1 で交差してい
る。したがって、光導波路２６の各分枝光導波路２６ｄ
〜２６ｇの側からみると、それぞれに２箇所の交差部Ａ
1 とＡ2 、Ｂ 1 とＢ2 、Ｃ1 とＣ2 、Ｄ1 とＤ2 を有し
ており、交差部における分枝の長さの合計は、それぞ
れ、１５μｍ×２で同一にされている。
【００２６】図４に示す本実施の形態の第４の例に係る
光導波路素子３２は、前記した第１〜第３の例と同様
に、基板３４にＴｉの拡散により形成された光導波路３
６が設けられ、該光導波路３６上に制御電極３８ａおよ
び接地電極３８ｂが設けられている。光は、図１中、Ｙ
方向に進行する。
光導波路素子３２は、前記した第１〜第３の例と同様
に、基板３４にＴｉの拡散により形成された光導波路３
６が設けられ、該光導波路３６上に制御電極３８ａおよ
び接地電極３８ｂが設けられている。光は、図１中、Ｙ
方向に進行する。
【００２７】光導波路素子３２の基板３４のサイズは、
幅（図３中、Ｚ方向）が約３ｍｍ、光導波路３６方向
（図１中、Ｙ方向）の長さが約７０ｍｍである。光導波
路３６は１つの光導波路３６ａがＹ形の第１の分岐部に
おいて平行に分岐して２つの分枝光導波路３６ｂ、３６
ｃを有している。各サイズは、分岐前の光導波路３６ａ
の幅（図１中、Ｚ方向）が３μｍであり、２つの分枝光
導波路３６ｂ、３６ｃの幅が同一の３．５μｍである。
制御電極３８ａは、各分枝光導波路３６ｂ、３６ｃのそ
れぞれの外側に平行して２箇所設けられたものが３組、
合計６箇所設けられており、各々、幅（図１中、Ｚ方
向）が５０μｍ、長さ（図１中、Ｙ方向）が１５ｍｍで
ある。接地電極３８ｂは、制御電極３８ａに対応して、
各分枝光導波路３６ｂ、３６ｃ間に合計３箇所設けられ
ており、各々、幅（図１中、Ｚ方向）が２５０μｍ、長
さ（図１中、Ｙ方向）が１６ｍｍである。
幅（図３中、Ｚ方向）が約３ｍｍ、光導波路３６方向
（図１中、Ｙ方向）の長さが約７０ｍｍである。光導波
路３６は１つの光導波路３６ａがＹ形の第１の分岐部に
おいて平行に分岐して２つの分枝光導波路３６ｂ、３６
ｃを有している。各サイズは、分岐前の光導波路３６ａ
の幅（図１中、Ｚ方向）が３μｍであり、２つの分枝光
導波路３６ｂ、３６ｃの幅が同一の３．５μｍである。
制御電極３８ａは、各分枝光導波路３６ｂ、３６ｃのそ
れぞれの外側に平行して２箇所設けられたものが３組、
合計６箇所設けられており、各々、幅（図１中、Ｚ方
向）が５０μｍ、長さ（図１中、Ｙ方向）が１５ｍｍで
ある。接地電極３８ｂは、制御電極３８ａに対応して、
各分枝光導波路３６ｂ、３６ｃ間に合計３箇所設けられ
ており、各々、幅（図１中、Ｚ方向）が２５０μｍ、長
さ（図１中、Ｙ方向）が１６ｍｍである。
【００２８】各電極３８ａ、３８ｂには、引き回し配線
パターン４０ａ、４０ｂが接続されており、引き回し配
線パターン４０ａは各分枝光導波路３６ｂ、３６ｃとそ
れぞれ３箇所の交差部Ａ1 〜Ａ3 並びにＢ2 、Ｂ4 、Ｂ
6 で交差しており、一方、引き回し配線パターン４０ｂ
は、分枝光導波路３６ｃと３箇所の交差部Ｂ1 、Ｂ3、
Ｂ5 で交差している。各引き回し配線パターン４０ａ、
４０ｂの幅（図１中、Ｙ方向）は基本的に５０μｍで同
一であるが、引き回し配線パターン４０ａの交差部Ａ1
〜Ａ3 から接地との連絡端子に接続するまでの箇所につ
いては、５０μｍの３倍の１５０μｍとされている。し
たがって、光導波路３６の各分枝光導波路３６ｂ、３６
ｃの側からみると、分枝光導波路３６ｂは３箇所の交差
部Ａ1 〜Ａ3 における分枝の長さの合計が１５０μｍ×
３の４５０μｍであり、一方、分枝光導波路３６ｃは６
箇所の交差部Ｂ1 〜Ｂ6 における分枝の長さの合計が５
０μｍ×６の３００μｍであり、分枝光導波路３６ｂの
交差部Ａ1 〜Ａ3 における分枝の長さの合計は分枝光導
波路３６ｃの交差部Ｂ1 〜Ｂ6 における分枝の長さの合
計の１．５倍となっている。
パターン４０ａ、４０ｂが接続されており、引き回し配
線パターン４０ａは各分枝光導波路３６ｂ、３６ｃとそ
れぞれ３箇所の交差部Ａ1 〜Ａ3 並びにＢ2 、Ｂ4 、Ｂ
6 で交差しており、一方、引き回し配線パターン４０ｂ
は、分枝光導波路３６ｃと３箇所の交差部Ｂ1 、Ｂ3、
Ｂ5 で交差している。各引き回し配線パターン４０ａ、
４０ｂの幅（図１中、Ｙ方向）は基本的に５０μｍで同
一であるが、引き回し配線パターン４０ａの交差部Ａ1
〜Ａ3 から接地との連絡端子に接続するまでの箇所につ
いては、５０μｍの３倍の１５０μｍとされている。し
たがって、光導波路３６の各分枝光導波路３６ｂ、３６
ｃの側からみると、分枝光導波路３６ｂは３箇所の交差
部Ａ1 〜Ａ3 における分枝の長さの合計が１５０μｍ×
３の４５０μｍであり、一方、分枝光導波路３６ｃは６
箇所の交差部Ｂ1 〜Ｂ6 における分枝の長さの合計が５
０μｍ×６の３００μｍであり、分枝光導波路３６ｂの
交差部Ａ1 〜Ａ3 における分枝の長さの合計は分枝光導
波路３６ｃの交差部Ｂ1 〜Ｂ6 における分枝の長さの合
計の１．５倍となっている。
【００２９】次に、本実施の形態に係る第１、第２およ
び第４の例の光導波路素子１０、１０、３２、および比
較例として、図６の光導波路素子８について光の分岐比
を評価した結果を示す。
び第４の例の光導波路素子１０、１０、３２、および比
較例として、図６の光導波路素子８について光の分岐比
を評価した結果を示す。
【００３０】評価方法は、図５に示すように、測定対象
の光導波路素子４４の光導波路４６の分岐前側の光導波
路４６ａを偏波制御系４８を介して光源５０に光ファイ
バ５２により接続し、一方、光導波路４４の分岐後の分
枝側の光導波路４６ｂ、４６ｃを駆動系により交互に切
り換えて光パワーメータ５４に光ファイバ５２により接
続し、各分枝の光導波路４６ｂ、４６ｃからの出射光の
損失を測定することにより、分岐比を求めた。
の光導波路素子４４の光導波路４６の分岐前側の光導波
路４６ａを偏波制御系４８を介して光源５０に光ファイ
バ５２により接続し、一方、光導波路４４の分岐後の分
枝側の光導波路４６ｂ、４６ｃを駆動系により交互に切
り換えて光パワーメータ５４に光ファイバ５２により接
続し、各分枝の光導波路４６ｂ、４６ｃからの出射光の
損失を測定することにより、分岐比を求めた。
【００３１】分岐比は、本実施の形態に係る第１、第２
および第４の例では、それぞれ５２対４８（５６μＷ対
５２μＷ）、５０対５０（５２μＷ対５２μＷ）および
４８対５２（３９μＷ対４２μＷ）であるのに対し、比
較例では、５５対４５（６３μＷ対５２μＷ）となって
おり、本実施の形態の第１、第２および第４の例では、
比較例に比べて各分枝でほぼ均等に分岐されていた。ま
た、これらとは別に評価した図３に示す本実施の形態の
第３の例では、４本の分枝の分岐比は２５対２６対２５
対２４であり、この第３の例でもほぼ均等に分岐されて
いることがわかる。
および第４の例では、それぞれ５２対４８（５６μＷ対
５２μＷ）、５０対５０（５２μＷ対５２μＷ）および
４８対５２（３９μＷ対４２μＷ）であるのに対し、比
較例では、５５対４５（６３μＷ対５２μＷ）となって
おり、本実施の形態の第１、第２および第４の例では、
比較例に比べて各分枝でほぼ均等に分岐されていた。ま
た、これらとは別に評価した図３に示す本実施の形態の
第３の例では、４本の分枝の分岐比は２５対２６対２５
対２４であり、この第３の例でもほぼ均等に分岐されて
いることがわかる。
【００３２】なお、この発明に係る光導波路素子は、上
述の実施の形態に限らず、この発明の要旨を逸脱するこ
となく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
述の実施の形態に限らず、この発明の要旨を逸脱するこ
となく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る光導
波路素子は、ＬｉＮｂＯ3 基板上に少なくとも一対の電
極と１以上の分岐部を有して２以上に分岐する光導波路
とが形成された光導波路素子であって、前記電極の引き
回し配線パターンが、少なくとも前記光導波路の１つの
分岐した分枝と１箇所で交差するとともに他の１つの分
岐した分枝と２箇所で交差するように配置されている場
合において、交差部における分枝の長さの合計が各分枝
でほぼ同一である構成としている。
波路素子は、ＬｉＮｂＯ3 基板上に少なくとも一対の電
極と１以上の分岐部を有して２以上に分岐する光導波路
とが形成された光導波路素子であって、前記電極の引き
回し配線パターンが、少なくとも前記光導波路の１つの
分岐した分枝と１箇所で交差するとともに他の１つの分
岐した分枝と２箇所で交差するように配置されている場
合において、交差部における分枝の長さの合計が各分枝
でほぼ同一である構成としている。
【００３４】このため、電極の引き回し配線パターンが
光導波路の分枝上と交差することにより生じる光の分岐
比のアンバランスが解消されて同一となり、ひいては、
消光比の損失を同一とすることができるという効果が達
成される。
光導波路の分枝上と交差することにより生じる光の分岐
比のアンバランスが解消されて同一となり、ひいては、
消光比の損失を同一とすることができるという効果が達
成される。
【００３５】また、前記電極の引き回し配線パターン
が、少なくとも前記光導波路の１つの分岐した分枝とｍ
箇所で交差するとともに他の１つの分岐した分枝とｍ＋
ｎ箇所で交差する場合において、前記交差部における分
枝の長さの合計が以下の式を満たす構成としている。
が、少なくとも前記光導波路の１つの分岐した分枝とｍ
箇所で交差するとともに他の１つの分岐した分枝とｍ＋
ｎ箇所で交差する場合において、前記交差部における分
枝の長さの合計が以下の式を満たす構成としている。
【００３６】 Ｌm+n ×１．１n ≦Ｌm ≦Ｌm+n ×１．８n ｍ、ｎ：ともに１から３の範囲の自然数であり、ｍ＋ｎ
＞２ Ｌm ：引き回し配線パターンが光導波路の１つの分枝
上とｍ箇所で交差する側の交差部における分枝の長さの
合計 Ｌm+n ：引き回し配線パターンが光導波路の１つの分枝
上とｍ＋ｎ箇所で交差する側の交差部における分枝の長
さの合計 このため、前記電極の引き回し配線パターンが、少なく
とも前記光導波路の１つの分枝と３箇所以上の箇所で交
差する光導波路素子において、前記した本発明の効果を
好適に得ることができるという効果が達成される。
＞２ Ｌm ：引き回し配線パターンが光導波路の１つの分枝
上とｍ箇所で交差する側の交差部における分枝の長さの
合計 Ｌm+n ：引き回し配線パターンが光導波路の１つの分枝
上とｍ＋ｎ箇所で交差する側の交差部における分枝の長
さの合計 このため、前記電極の引き回し配線パターンが、少なく
とも前記光導波路の１つの分枝と３箇所以上の箇所で交
差する光導波路素子において、前記した本発明の効果を
好適に得ることができるという効果が達成される。
【図１】本実施の形態の第１の例に係る光導波路素子の
平面図である。
平面図である。
【図２】本実施の形態の第２の例に係る光導波路素子の
平面図である。
平面図である。
【図３】本実施の形態の第３の例に係る光導波路素子の
平面図である。
平面図である。
【図４】本実施の形態の第４の例に係る光導波路素子の
平面図である。
平面図である。
【図５】光導波路の損失特性の測定方法を説明するため
の図である。
の図である。
【図６】従来のＹ分岐形光導波路の設けられた光導波路
素子の平面図である。
素子の平面図である。
【図７】従来のマッハーツェンダー形光導波路の設けら
れた光導波路素子の平面図である。
れた光導波路素子の平面図である。
１０、２２、３２、４４…光導波路素子 １２、２４、３４…基板 １４、１４ａ〜１４ｃ、２６、２６ａ〜２６ｇ、３６、
３６ａ〜３６ｃ、４６、４６ａ〜４６ｃ…光導波路 １６ａ、１６ｂ、２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３８ｂ…電
極 １８ａ〜１８ｃ、３０ａ〜３０ｃ、４０ａ、４０ｂ…引
き回し配線パターン
３６ａ〜３６ｃ、４６、４６ａ〜４６ｃ…光導波路 １６ａ、１６ｂ、２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３８ｂ…電
極 １８ａ〜１８ｃ、３０ａ〜３０ｃ、４０ａ、４０ｂ…引
き回し配線パターン
Claims (3)
- 【請求項１】ＬｉＮｂＯ3 基板上に少なくとも一対の電
極と１以上の分岐部を有して２以上に分岐する光導波路
とが形成された光導波路素子であって、 前記電極の引き回し配線パターンが、少なくとも前記光
導波路の１つの分岐した分枝と１箇所で交差するととも
に他の１つの分岐した分枝と２箇所で交差するように配
置されている場合において、 交差部における分枝の長さの合計が各分枝でほぼ同一で
あることを特徴とする光導波路素子。 - 【請求項２】ＬｉＮｂＯ3 基板上に少なくとも一対の電
極と１以上の分岐部を有して２以上に分岐する光導波路
とが形成された光導波路素子であって、 前記電極の引き回し配線パターンが、前記光導波路の少
なくとも１つの分岐した分枝と交差するダミーの引き回
し配線部を有することにより、前記分岐する各分枝と交
差するそれぞれ同数の交差部を有し、 前記交差部における分枝の長さの合計が各分枝でほぼ同
一であることを特徴とする光導波路素子。 - 【請求項３】ＬｉＮｂＯ3 基板上に少なくとも一対の電
極と１以上の分岐部を有して２以上に分岐する光導波路
とが形成された光導波路素子であって、前記電極の引き
回し配線パターンが、少なくとも前記光導波路の１つの
分岐した分枝とｍ箇所で交差するとともに他の１つの分
岐した分枝とｍ＋ｎ箇所で交差する場合において、前記
交差部における分枝の長さの合計が以下の式を満たす範
囲内にあることを特徴とする光導波路素子。 Ｌm+n ×１．１n ≦Ｌm ≦Ｌm+n ×１．８n ｍ、ｎ：ともに１から３の範囲の自然数であり、ｍ＋ｎ
＞２ Ｌm ：引き回し配線パターンが光導波路の１つの分枝
上とｍ箇所で交差する側の交差部における分枝の長さの
合計 Ｌm+n ：引き回し配線パターンが光導波路の１つの分枝
上とｍ＋ｎ箇所で交差する側の交差部における分枝の長
さの合計
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10079037A JPH11271699A (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | 光導波路素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10079037A JPH11271699A (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | 光導波路素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271699A true JPH11271699A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13678730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10079037A Pending JPH11271699A (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | 光導波路素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11271699A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016159202A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子 |
| JP2016191827A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
| JP2017083608A (ja) * | 2015-10-27 | 2017-05-18 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
| JP2017181676A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子 |
| EP4428609A4 (en) * | 2022-02-25 | 2025-03-26 | Huawei Technologies Co., Ltd. | MACH-ZEHNDER MODULATOR, ELECTRO-OPTIC MODULATION METHOD AND LIGHT-EMITTING DEVICE |
| EP4571412A1 (en) * | 2023-12-12 | 2025-06-18 | Nokia Solutions and Networks Oy | Optical waveguide modulator |
-
1998
- 1998-03-26 JP JP10079037A patent/JPH11271699A/ja active Pending
Cited By (9)
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|---|---|---|---|---|
| WO2016159202A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子 |
| JP2016191827A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
| JP2016194574A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子 |
| CN106662766A (zh) * | 2015-03-31 | 2017-05-10 | 住友大阪水泥股份有限公司 | 光波导元件 |
| US10185165B2 (en) | 2015-03-31 | 2019-01-22 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide device |
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