JPH11273609A - カソードルミネッセンス像観察装置における信号切り替え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明の目的は、任意の波長に対応したカソー
ドルミネッセンス像を、走査電子顕微鏡の操作，制御に
より観察をすることにある。 【解決手段】波長測定機能とカソードルミネッセンス像
観察機能を選択することが可能な信号切り替えユニット
を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、走査電子顕微鏡を
使用したカソードルミネッセンス像観察のための信号切
り替え装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、走査電子顕微鏡を使用した、カソ
ードルミネッセンス像観察においては、試料に電子ビー
ムを照射することにより得られた陰極光を、分光計を用
いて波長を測定し、任意の波長に対応したカソードルミ
ネッセンス像の観察を行うには、走査電子顕微鏡とは独
立した装置で行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、任意
の波長に対応したカソードルミネッセンス像を、走査電
子顕微鏡からの操作，制御により、観察することにあ
る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
には、光度計内の光電子増倍管の出力信号を、色の情報
として光度計に入力する経路と、形の情報として走査電
子顕微鏡に入力する経路を、目的に応じて任意に切り替
えを可能となるようにするとともに、同時に、光電子増
倍管に印加する高圧電源も切り替え可能とすることによ
って、色情報を持った電子顕微鏡像を得ることができ
る。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１，
図２により説明する。

【０００６】図１において、１は走査電子顕微鏡、２は
電子ビーム、３は試料である。４はファイバーケーブ
ル、５は光度計、６は光電子増倍管、７は信号切り替え
装置、８は走査電子顕微鏡制御部、９は走査電子顕微鏡
用光電子増倍管を示す。図２に信号切り替え装置７のブ
ロック図を示す。

【０００７】図１にて、電子ビーム２を試料３に照射す
ることにより、試料３より２次電子、反射電子，Ｘ線，
陰極光等の情報が得られる。その中で、２次電子は走査
電子顕微鏡１にある走査電子顕微鏡用光電子増倍管９に
て電気信号に変換され、画像メモリに記録されて走査電
子顕微鏡１のモニタ上に、２次電子像として表示され
る。また、陰極光の情報はファイバーケーブル４で光度
計５に送られる。送られた陰極光の光の情報は、光度計
５内にある光電子増倍管６によって、光の情報を電気信
号に変換して、光度計５にて波長の分析等を行う。

【０００８】その際、光度計５にて任意の波長を設定す
ることによって、その波長に対応する陰極光の情報を取
り出すことができる。この情報は走査電子顕微鏡１に２
次電子像を表示させる時に用いる光電子像倍管の情報と
同種類のものである。よって、この情報を、走査電子顕
微鏡１に戻すことによって、任意の波長に対応したカソ
ードルミネッセンス像を、走査電子顕微鏡１のモニタ上
に表示させることが可能になる。

【０００９】この時、この信号を信号切り替え装置７を
経由させ、出力先を２つ設けて、一方を走査電子顕微鏡
１にもう一方を光度計５に入力できるようにする。この
信号切り替え装置７の構成を図２にて説明する。

【００１０】信号切り替え装置７の内部は、信号の出力
先を選択して、信号を送り出す部分と、高圧電源を走査
電子顕微鏡１から印加するか、光度計５から印加するか
を選択する部分より構成される。また、走査電子顕微鏡
１にカソードルミネッセンス像を表示するために必要な
信号レベルと、光度計５で波長測定等を行うために必要
な信号レベルは異なっている。

【００１１】そこで、この信号切り替え装置７ではそれ
ぞれの目的に必要なレベルにするために、走査電子顕微
鏡用のラインと、光度計用のラインをそれぞれの別々に
設け、それぞれに増幅回路を設けている。信号及び高圧
電源を選択する選択信号は、同一のものとして、走査電
子顕微鏡制御部８より出力される。

【００１２】このことにより、信号及び高圧電源の同時
切り替えが可能となり、走査電子顕微鏡１よりの操作，
制御によって走査電子顕微鏡１のモニタ上にカソードル
ミネッセンス像を表示させることが可能となる。

【００１３】

【発明の効果】本発明によれば、カソードルミネッセン
ス像観察装置において、走査顕微鏡との接続に信号切り
替え装置を付加することにより、走査電子顕微鏡からの
制御により、波長測定機能とカソードルミネッセンス像
観察機能を選択することが可能になり、また、特定波長
に対するカソードルミネッセンス像の観察、電子顕微鏡
像にて任意の点での波長測定も可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカソードルミネッセンス像観察装置に
おける信号切り替え装置の一実施例の構成図である。

【図２】本発明のカソードルミネッセンス像観察装置に
おける信号切り替え装置内の回路構成の説明図である。

【符号の説明】 １…走査電子顕微鏡、２…電子ビーム、３…試料、４…
ファイバーケーブル、５…光度計、６…光度計用光電子
増倍管、７…信号切り替えユニット、８…走査電子顕微
鏡制御部、９…走査電子顕微鏡用光電子増倍管。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】走査電子顕微鏡において、試料のカソード
   ルミネッセンス像を観察する為に、光度計の検出信号
   と、走査電子顕微鏡の像信号を、走査電子顕微鏡からの
   操作，制御により、切り替え可能とし、走査電子顕微鏡
   の観察モニタにカソードルミネッセンス像を表示するこ
   とを特徴としたカソードルミネッセンス像観察装置にお
   ける信号切り替え装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の信号切り替え装置におい
   て、波長分析，カソードルミネッセンス像観察を行うに
   あたり、共通の光電子増倍管を用いる際に、光電子増倍
   管に印加する高圧電源の制御を、波長分析時には光度計
   より、像観察時には走査電子顕微鏡より行うことができ
   るようにするための機能を備えたことを特徴としたカソ
   ードルミネッセンス像観察装置における信号切り替え装
   置。