JPH11274270A - 基板移載装置および基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 更なる構成の簡素化や省重量および省設置ス
ペースさらに高位置決め精度を実現する。 【解決手段】 従来のようなキャリア水平移動手段によ
るキャリア５３の水平移動処理をせずに、第１キャリア
回動手段７および第２キャリア回動手段１０による第１
キャリア載置台５と第２キャリア載置台８の回動処理だ
けで、第１キャリア載置台５と第２キャリア載置台８と
を基板突き上げ位置４ａ，４ｂに互いに半基板ピッチ
（半基板配列ピッチ）分ずらせた状態で位置させること
が可能であるため、従来のキャリア水平移動手段を不要
とした分だけ、基板移載装置１の更なる構成の簡素化や
省重量および省設置スペースさらにはその高動作速度や
高位置決め精度をも実現することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや液
晶表示パネル用ガラス基板などの薄板状の基板を収容し
た複数のキャリアから複数の基板を基板搬送手段に受け
渡すための基板移載装置および、このような基板移載装
置が用いられ、基板移載装置から受け渡された複数の基
板が基板搬送手段で搬送されて所定の処理を施す基板処
理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体ウエハや液晶表示パネル用
ガラス基板などを用いた精密電子基板の製造プロセスに
おいては、キャリア内に所定枚数が収容された複数の基
板を一括して処理する枚数に基板搬送手段で持ち代えて
各処理部に搬送し、その各処理部において複数の基板に
洗浄やエッティングなどの所定の表面処理を施す基板処
理装置が用いられている。このような所定の基板処理を
行う基板処理装置について以下に説明をする。

【０００３】図７は従来の基板処理装置の概略要部構成
を示す斜視図である。

【０００４】図７において、基板処理装置５１は、ウエ
ハなどの複数の基板５２を一括して処理する装置であっ
て、キャリア５３に所定枚数が収容された複数の基板５
２を受渡しをする搬出入部５４と、この搬出入部５４か
ら処理前の基板５２を受け取って各処理部に搬送し、各
処理部において複数の基板５２に所定の処理を順次施す
と共に、処理済みの複数の基板５２を搬送して搬出入部
５４に受渡す基板処理ユニット５５とを有している。

【０００５】この搬出入部５４は、キャリア載置台５６
と、移載ロボット５８と、基板移載装置６０と、キャリ
ア洗浄部６１とを有している。キャリア載置台５６は、
複数の基板５２を収容したキャリア５３を一時的に並べ
て載置しておく。移載ロボット５８は、キャリア５３の
両上端つば部分５３ａを下方からそれぞれ受けて保持す
る片持ち状に２本突き出たキャリア保持アーム５７を有
しており、キャリア載置台５６のキャリア５３の並んで
いる方向に移動自在であると共に、キャリア保持アーム
５７でキャリア５３を取り込んで保持したりキャリア５
３を載置したりするために上下方向に昇降自在で、かつ
その上下方向に平行な軸（キャリア保持アーム５７の取
付部材を支持する支持軸）を中心に回動自在に構成され
ている。基板移載装置６０は、移載ロボット５８によっ
てキャリア載置台５６から載置されたキャリア５３内の
複数の基板５２だけをその底部開口部を介して突き上げ
て基板搬送手段５９の一対の保持板５９ａに受け渡す。
キャリア洗浄部６１は、基板移載装置６０から移載ロボ
ット５８によって載置され複数の基板５２が抜かれた空
のキャリア５３を洗浄する。

【０００６】また、この移載ロボット５８は、キャリア
載置台５６から基板移載装置６０の位置決めされた所定
位置にキャリア５３を搬送して載置し、複数の基板５２
を受け渡した後の空のキャリア５３をキャリア洗浄部６
１に移送すると共に、キャリア洗浄部６１で洗浄処理さ
れた空のキャリア５３内に、基板処理ユニット５５から
処理済みの複数の基板５２を回収するべく、再び基板移
載装置６０の所定位置上に移送して待機させる。

【０００７】さらに、キャリア５３に所定枚数（例えば
２５枚）が収容された基板５２を一括して処理する枚数
（例えば５０枚）に基板搬送手段５９の一対の保持板５
９ａで持ち代える処理は、基板搬送手段５９の一対の保
持板５９ａの上方位置に図示しない一対の上側保持板が
配設されている。このように、キャリア５３内の複数の
基板５２の倍の枚数の基板５２を基板搬送手段５９の一
対の保持板５９ａに持ち代える処理について、以下に詳
しく説明する。

【０００８】つまり、基板移載装置６０の各回転テーブ
ル（図示せず）の所定位置上にそれぞれ載置され、２５
枚の基板５２が収容された２つのキャリア５３はそれぞ
れ角度９０度だけ、例えばアームおよびシリンダなどの
キャリア回動手段（図示せず）による水平面内の回動処
理が為されて基板方向が基板搬送および基板処理する方
向に方向転換されるようになっている。また、それらの
２つのキャリア５３のうち一方のキャリア５３につい
て、そのキャリア５３内の２５枚の基板５２が矢印Ａの
方向（垂直方向）に突き上げられて上記一対の上側保持
板にて両側から挟持することで一旦保持されるようにな
っている。さらに、それらの２つのキャリア５３は、各
回転テーブル（図示せず）と共に矢印Ｂの方向に、例え
ばシリンダやボールねじおよびモータなどのキャリア水
平移動手段（図示せず）による水平移動処理が為される
ようになっている。この水平移動処理による移動距離
は、前に突き上げられた２５枚の基板５２の保持ピッチ
寸法の半ピッチ分だけずれた距離に設定されている。こ
の状態で、上記と同様に、他方のキャリア５３内の２５
枚の基板５２も矢印Ａの方向（垂直方向）に突き上げら
れて、上記一対の上側保持板に保持された各基板の間
に、その基板保持ピッチと同様の所定ピッチで形成され
た、基板通過寸法および基板厚さ寸法よりも若干大きい
上下方向に貫通した各貫通溝（図示せず）をそれぞれ通
過させ、前の工程で既に保持している２５枚の基板５２
の各間隔内に挿入されるようになっている。このよう
に、これらの各基板間隔内にそれぞれ挿入された２５枚
の基板５２と共に、前の工程で既に保持している２５枚
の基板５２を矢印Ａの方向（垂直方向）に一緒に突き上
げるようになっている。このとき、突き上げて保持して
いる合計５０枚の基板５２は当初のピッチ寸法の半ピッ
チと基板間隔が狭くなっている。その後、上記一対の上
側保持板を共に垂直方向として基板５２に対する保持位
置を解除すると共に、突き上げて保持している合計５０
枚の基板５２を下降させて、一対の上側保持板の下方の
基板搬送手段５９の一対の保持板５９ａによる５０枚の
基板５２を半ピッチで両側から挟持して保持すること
で、上記基板持ち代え処理が完了し、基板搬送手段５９
による合計５０枚（一括基板処理枚数）の基板５２の基
板処理ユニット５５への搬送処理が為されるようになっ
ている。

【０００９】さらに、基板処理ユニット５５では、例え
ばエッチング液などの薬液を貯留した薬液槽６２とリン
ス液である純水を貯留した水洗槽６３とを２組み直列に
順次並べた状態で配設しており、基板搬送手段５９で保
持した複数の基板５２を搬送して、これらの２組みの薬
液槽６２および水洗槽６３の槽毎に配設されたリフタ装
置（図示せず）に基板５２を受け渡して順次浸漬させ、
薬液槽６２にて基板５２に薬液処理を施した後に、水洗
槽６３にて基板５２に付着した薬液やパーティクルを洗
い流すリンス処理を施すことを繰り返し、最終の処理部
である乾燥槽６４による乾燥処理を基板５２に施すよう
にしている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
構成では、移載ロボット５８による基板５２のキャリア
載置台５６から基板移載装置６０の回転テーブル上への
移載時に基板方向と基板搬送および基板処理する方向と
が角度９０度異なるために、２つのキャリア５３に対す
る各回動処理が必要となる。また、それらの２つのキャ
リア５３を順次突き上げ位置に移動させるべく、２つの
キャリア５３に対する水平移動処理が必要となる。この
ように、基板移載装置６０では、キャリア回動手段（図
示せず）による各回動処理と、キャリア水平移動手段
（図示せず）による水平移動処理とを行わなければなら
ず、部品点数も多く、このことは、更なる構成の簡素化
やその省重量および省設置スペースさらには高位置決め
精度などの要求に逆行している。

【００１１】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
で、更なる構成の簡素化や省重量および省設置スペース
さらに高位置決め精度を実現することができる基板移載
装置および、これを用いた基板処理装置を提供すること
を目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の基板移載装置
は、複数の基板を収容したキャリアから複数の基板を基
板搬送手段へ受け渡すための基板移載装置において、第
１キャリアを載置可能であって、第１キャリアを載置さ
せた際に第１キャリアの底部開口部に対応した位置が開
口された第１キャリア載置台と、第２キャリアを載置可
能であって、第２キャリアを載置させた際に第２キャリ
アの底部開口部に対応した位置が開口された第２キャリ
ア載置台と、第１キャリアおよび第２キャリアから基板
搬送手段へ基板を受け渡すために、第１キャリアに収納
された複数の基板を第１キャリア載置台の下方から第１
キャリアの底部開口部を通して突き上げて保持するとと
もに、第２キャリアに収納された複数の基板を第２キャ
リア載置台の下方から第２キャリアの底部開口部を通し
て突き上げて保持する突き上げ手段と、突き上げ手段の
上方の位置と第１キャリア載置台の待機位置との間で、
第１キャリア載置台を回動させる第１回動手段と、突き
上げ手段の上方の位置と第２キャリア載置台の待機位置
との間で、第２キャリア載置台を回動させる第２回動手
段とを有し、第１キャリアに収容された基板を突き上げ
る際の突き上げ手段に対する第１キャリア載置台に載置
された第１キャリアの位置と第２キャリアに収容された
基板を突き上げる際の突き上げ手段に対する第２キャリ
ア載置台に載置された第２キャリアの位置とは、複数の
基板の基板配列ピッチに対して半ピッチ分ずれているこ
とを特徴とするものである。

【００１３】この構成により、従来のようなキャリア水
平移動手段によるキャリアの水平移動処理を行わずに、
第１キャリア回動手段および第２キャリア回動手段によ
るキャリア載置台の回動処理だけで、第１キャリアの位
置と第２キャリアの位置とを互いに基板配列ピッチに対
して半ピッチ分ずらせた状態で位置させることが可能で
あるので、従来のキャリア水平移動手段を不要とした分
だけ部品点数が少なくなって、更なる構成の簡素化や省
重量および省設置スペースだけではなく、しかもより受
渡し動作が速く高位置決め精度が実現可能となる。

【００１４】また、本発明の基板処理装置は、複数の基
板に基板処理を行うべく、複数の基板を収容したキャリ
アから複数の基板を基板搬送手段に受け渡すための請求
項１に記載の基板移載装置と、この基板移載装置で基板
搬送手段に受け渡された複数の基板を基板処理部に搬送
して所定の処理を行う基板処理ユニットとを有したこと
を特徴とするものである。

【００１５】この構成により、部品点数削減による更な
る構成の簡素化や省重量および省設置スペースだけでは
なく、基板移載装置による基板の受渡し動作が速くしか
も高位置決め精度を実現した基板移載装置が、この基板
処理装置に容易に適応可能となる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る基板処理装置
の実施形態について図面を参照して説明するが、本発明
は以下に示す実施形態に限定されるものではない。

【００１７】図１は本発明の一実施形態の基板移載装置
の概略要部構成を示す平面図、図２は最初のキャリアか
ら基板を受け渡した状態の基板突き上げ手段および基板
搬送手段の概略要部構成を示す側面図、図３は次のキャ
リアからの基板も含めて突き上げた状態の基板突き上げ
手段および基板搬送手段の概略要部構成を示す側面図、
図７の上記従来の基板処理装置の各構成部材と同様の作
用効果を奏する部材には同一の符号を付してその説明を
省略する。

【００１８】図１〜図３において、基板移載装置１は、
基板突き上げ手段４と、第１キャリア載置台５と、第１
キャリア回動手段７と、第２キャリア載置台８と、第２
キャリア回動手段１０とを有している。基板突き上げ手
段４は、キャリア５３内に収容した複数の基板５２をキ
ャリア５３の底部の開口部分から基板保持部材２を突き
上げて、基板保持部材２の複数の溝２ａ内に複数の基板
５２の下端部分を嵌合させて保持すると共に、その突き
上げた複数の基板５２を基板搬送手段３の一対の保持板
３ａに両側から挾み込ませて受け渡す。第１キャリア載
置台５は、キャリア５３を載置可能でキャリア５３の底
部に対応したキャリア載置位置に開口部５ｂが形成され
ている。第１キャリア回動手段７は、この第１キャリア
載置台５を基板突き上げ手段４による基板突上げ位置
（図２の紙面に垂直な方向に対する位置であって、キャ
リア５３内の複数の基板５２が突き上げられる位置）４
ａと第１キャリア待機位置５ａの間において、ベアリン
グなどの軸支部材（図示せず）で第１キャリア載置台５
の支持部材６を回動自在に軸支してキャリア５３を移送
する。第２キャリア載置台８は、キャリア５３を載置可
能でキャリア５３の底部に対応したキャリア載置位置に
開口部８ｂが形成されている。第２キャリア回動手段１
０は、この第２キャリア載置台８を基板突き上げ手段４
による基板突上げ位置（図３の紙面に垂直な方向に対す
る位置であって、キャリア５３内の複数の基板５２が突
き上げられる位置）４ｂと第２キャリア待機位置８ａの
間において、ベアリングなどの軸支部材（図示せず）で
第２キャリア載置台８の支持部材９を回動自在に軸支し
てキャリア５３を移送する。なお、第１キャリア載置台
５に対する基板突き上げ位置４ａと第２キャリア載置台
８に対する基板突き上げ位置４ｂとは複数の基板５２の
並べ方向（基板５２の面に直角な方向）に半基板ピッチ
分だけずれるように構成している。つまり、第１キャリ
ア載置台５の中心位置である第１キャリア待機位置５ａ
を反時計回りに回動させた基板突き上げ位置４ａと第２
キャリア載置台８の中心位置である第２キャリア待機位
置８ａを時計回りに回動させた基板突き上げ位置４ｂと
は、キャリア５３内の基板配列ピッチに対する半ピッチ
分だけずれた位置である。なお、ｃは基板突き上げ位置
４ａ，４ｂ、第１キャリア待機位置５ａおよび第２キャ
リア待機位置８ａに対する中心位置を示している。

【００１９】基板搬送手段３は、基板突き上げ手段４の
基板保持部材２で突き上げられた複数の基板５２を両側
（基板５２の並び方向とは直交する両方向）から挾み込
んで保持する一対の保持板３ａと、突き上げられた基板
保持部材２と各基板処理部（薬液槽６２や水洗槽６３な
ど）毎に配設された各リフタ装置（図示せず）との間、
または各リフタ装置（図示せず）間で一対の保持板３ａ
を移送する水平駆動部材（図示せず）とを有しており、
処理済みの複数の基板５２は洗浄処理した空のキャリア
５３内に回収される構成となっている。

【００２０】この一対の保持板３ａはそれぞれ、その中
央部分に固定された回動軸の軸心を回動中心として互い
に逆方向に回動させることで、一対の保持板３ａの保持
先端側を接近させる基板保持位置かまたは、その保持先
端側を離間させて一対の保持板３ａを垂直方向とする基
板保持解除位置になる。つまり、一対の保持板３ａの保
持先端側の接近処理で複数の基板５２を両側から受けて
保持したり、保持先端側の離間処理で一対の保持板３ａ
を垂直方向とすることで複数の基板５２の保持を解除し
たりするようになっている。また、図３のＥＥ線一部断
面図の図５に示すように、一対の保持板３ａの一方端１
２にはそれぞれ、例えば５０枚の基板５２を保持可能な
各溝１２ａが基板５２の並び方向に上記半基板ピッチで
順次形成されている。また、図２のＦＦ線一部断面図の
図６に示すように、その他方端１３にはそれぞれ、例え
ば２５枚の基板５２を両側から受けて保持可能な各溝１
３ａが基板５２の並び方向に上記基板ピッチで順次形成
され、かつそれらの溝１３ａの間の中間位置に基板５２
が通過可能な大きい各貫通孔１３ｂが形成されている。

【００２１】基板搬送手段３の水平駆動部材（図示せ
ず）としては、例えばワイヤやベルトに一対の保持板３
ａを固定し、これらのワイヤやベルトが巻回されたプー
リおよびそれを回転させるモータなどで構成されていて
もよく、ボールねじおよびモータや、ラックとピニオン
およびモータなどで構成されていてもよい。

【００２２】また、基板突き上げ手段４は、キャリア５
３内に収容された複数の基板５２の並び方向の基板配列
ピッチ（基板ピッチ）と同一のピッチで複数形成され複
数の基板５２の下端部分を受け入れて保持する基板保持
用の各溝２ａをその上面に有した基板保持部材２と、こ
の基板保持部材２の下面中央部分にその先端部分が固定
された垂直方向に伸びる支持部材１１と、この支持部材
１１の下端部分を上下動可能な垂直駆動部材（図示せ
ず）とを有している。この垂直駆動部材（図示せず）と
しては、例えばシリンダであってもよく、ボールねじお
よびモータや、ラックとピニオンおよびモータなどであ
ってもよい。

【００２３】さらに、第１キャリア回動手段７は、図４
に示すように、キャリア５３の四角をそれぞれ案内する
テーパが形成されたＬ字状の各キャリア位置決め部材１
４がその上面にそれぞれ配設されたキャリア載置部１５
を有する第１キャリア載置台５と、このキャリア載置部
１５に連設されたアーム部１６の先端下面側にその先端
上面側が固定された円柱状の支持部材６と、この支持部
材６の下端面側が一方端に固定されたアーム部材１７
と、このアーム部材１７の他端側にそのロッド先端が連
結されたシリンダなどの回動駆動部材１８とを有してい
る。シリンダのロッド先端の伸縮によってアーム部材１
７を介して支持部材６の中心軸芯を回動中心として第１
キャリア載置台５を角度９０度だけ水平面内で回動させ
るようになっている。また、第２キャリア回動手段１０
についても第１キャリア回動手段７と同様であり、キャ
リア５３の四角をそれぞれ案内するテーパが形成された
各キャリア位置決め部材１４がその上面にそれぞれ配設
されたキャリア載置部１５を有する第１キャリア載置台
８と、このキャリア載置部１５に連設されたアーム部１
６の先端下面側にその先端上面側が固定された円柱状の
支持部材９と、この支持部材９の下端面側が一方端に固
定されたアーム部材１７と、このアーム部材１７の他端
側にそのロッド先端が連結されたシリンダなどの回動駆
動部材１８とを有している。このシリンダのロッド先端
の伸縮によってアーム部材１７を介して支持部材９の中
心軸芯を回動中心として、第１キャリア載置台５の回動
方向とは反対側に第２キャリア載置台８を角度９０度だ
け水平面内で回動させるようになっている。このよう
に、第１キャリア載置台５と第２キャリア載置台８とは
回動方向が逆方向であるので、基板５２の表面はその裏
面に比べて清浄であるために、その裏面から表面へのパ
ーティクルの転写を防止するべく、基板５２の表面同士
および裏面同士がそれぞれ対向して配列されるようにな
っている。

【００２４】上記構成により、まず、キャリア載置台５
６上に載置され処理前の基板５２が収容された各キャリ
ア５３を、移載ロボット５８によって、キャリア載置台
５６から基板移載装置６０の第１キャリア待機位置５ａ
および第２キャリア待機位置８ａにおける第１キャリア
載置台５と第２キャリア載置台８上に順次搬送して載置
する。

【００２５】次に、第１キャリア載置台５をその上のキ
ャリア５３と共に、反時計回りに角度９０度だけ回動駆
動部材１８で回動させて基板突き上げ位置４ａに移送さ
せる。さらに、この基板突き上げ位置４ａにおいて、最
初のキャリア５３内に収容した２５枚の基板５２をキャ
リア５３の底部開口部分から基板保持部材２を突き上げ
て、基板保持部材２の複数の溝２ａ内に複数の基板５２
の下端部分を嵌合させて保持する。そして、その突き上
げた２５枚の基板５２を基板搬送手段３の一対の保持板
３ａにおける他方端１３側の各溝１３ａで両側から受け
て保持することで２５枚の基板５２をキャリア５３内か
ら基板保持部材２を介して基板搬送手段３の一対の保持
板３ａに受け渡す。この状態を図２に示している。

【００２６】その後、基板保持部材２を下降させ、第１
キャリア載置台５をその上に空のキャリア５３を載置し
た状態で、時計回りに角度９０度だけ回動駆動部材１８
で回動させて元の第１キャリア待機位置５ａに移送させ
る。次に、第２キャリア載置台８をその上のキャリア５
３と共に、時計回りに角度９０度だけ回動駆動部材１８
で回動させて基板突き上げ位置４ａとは半基板ピッチだ
けずれた基板突き上げ位置４ｂに移送させる。

【００２７】さらに、この基板突き上げ位置４ｂにおい
て、次のキャリア５３内に収容した２５枚の基板５２を
キャリア５３の底部開口部分から基板保持部材２を突き
上げて、基板保持部材２の複数の溝２ａ内に複数の基板
５２の下端部分を嵌合させて保持する。そして、その突
き上げた２５枚の基板５２を基板搬送手段３の一対の保
持板３ａにおける他方端１３側の各溝１３ａ間の各貫通
孔１３ｂを上方に通過させると共に、前工程の各溝１３
ａで保持している２５枚の基板５２も一緒に突き上げて
基板保持部材２の各溝２ａ内に一括処理単位の合計５０
枚の基板５２を保持する。この状態を図３に示してい
る。

【００２８】次に、基板搬送手段３の一対の保持板３ａ
をそれぞれ角度１８０度回動させて、一対の保持板３ａ
の各一方端１２を内側に接近させると共に、合計５０枚
の基板５２を保持した基板保持部材２を下降させて、合
計５０枚の基板５２を基板保持部材２の複数の溝２ａか
ら基板搬送手段３の一対の保持板３ａにおける各溝１２
ａに受け渡す。このとき、基板５２の表面同士および裏
面同士がそれぞれ順次対向して配列されている。

【００２９】さらに、基板保持部材２を下降させ、第２
キャリア載置台８をその上に空のキャリア５３とを載置
したままで、反時計回りに角度９０度だけ回動駆動部材
１８で回動させて元の第２キャリア待機位置８ａに移送
させる。その後、複数の基板５２を受け渡した後の空の
各キャリア５３は、移載ロボット５８によって、キャリ
ア洗浄部６１に順次移送され、このキャリア洗浄部６１
で洗浄処理された空の各キャリア５３内に、基板搬送手
段３で搬送され基板処理ユニット５５から処理済みの合
計５０枚の基板５２を２５枚の基板５２に分けて回収す
るべく、再び基板移載装置６０の第１キャリア待機位置
５ａおよび第２キャリア待機位置８ａにそれぞれ各キャ
リア５３をそれぞれ移送して待機させる。このように、
処理済みの合計５０枚の基板５２を２５枚の基板５２に
分けて回収する場合には、上記動作を逆に繰り返せばよ
いことになる。

【００３０】したがって、従来のようなキャリア水平移
動手段によるキャリア５３の水平移動処理をせずに、第
１キャリア回動手段７および第２キャリア回動手段１０
による第１キャリア載置台５と第２キャリア載置台８の
回動処理だけで、第１キャリア載置台５と第２キャリア
載置台８とを基板突き上げ位置４ａ，４ｂに互いに半基
板ピッチ（半基板配列ピッチ）分ずらせた状態で位置さ
せることが可能であるため、従来のキャリア水平移動手
段を不要とした分だけ、基板移載装置１の更なる構成の
簡素化や省重量および省設置スペースさらにはその高動
作速度や高位置決め精度をも実現することができる。ま
た、このような基板移載装置１を上記基板処理装置に容
易に適応させることができる。

【００３１】

【発明の効果】以上のように本発明の請求項１によれ
ば、従来のようなキャリア水平移動手段によるキャリア
の水平移動処理をせずに、第１キャリア回動手段および
第２キャリア回動手段によるキャリア載置台の回動処理
だけで、第１キャリア載置台と第２キャリア載置台とを
基板配列ピッチに対して半ピッチ分ずらせた状態で位置
させることが可能であるため、キャリア水平移動手段を
不要とした分だけ、更なる構成の簡素化や省重量および
省設置スペースさらには高位置決め精度を実現すること
ができる。

【００３２】また、本発明の請求項２によれば、更なる
構成の簡素化や省重量および省設置スペースさらには高
位置決め精度を有する基板移載装置を、この基板処理装
置に容易に効率よく適応させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の基板移載装置の概略要部
構成を示す平面図である。

【図２】図１の基板移載装置において、最初のキャリア
から基板を受け渡した状態の基板突き上げ手段および基
板搬送手段の概略要部構成を示す側面図である。

【図３】図１の基板移載装置において、次のキャリアか
らの基板も含めて突き上げた状態の基板突き上げ手段お
よび基板搬送手段の概略要部構成を示す側面図である。

【図４】図１の第１キャリア回動手段の概略要部構成を
示す正面図である。

【図５】図３のＥＥ線一部断面図である。

【図６】図２のＦＦ線一部断面図である。

【図７】従来の基板処理装置の概略要部構成を示す斜視
図である。

【符号の説明】

１ 基板移載装置 ５３ キャリア ５２ 基板 ２ 基板保持部材 ２ａ 溝 ３ 基板搬送手段 ３ａ 保持板 ４ 基板突き上げ手段 ４ａ，４ｂ 基板突き上げ位置 ５ｂ，８ｂ 開口部 ５ 第１キャリア載置台 ５ａ 第１キャリア待機位置 ６ 支持部材 ７ 第１キャリア回動手段 ８ 第２キャリア載置台 ８ａ 第２キャリア待機位置 ８ｂ 開口部 ９，１１ 支持部材 １０ 第２キャリア回動手段 １２ 一方端 １２ａ，１３ａ 溝 １３ 他方端 １３ｂ 貫通孔 １４ キャリア位置決め部材 １５ キャリア載置部 １６ アーム部 １７ アーム部材 １８ 回動駆動部材

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の基板を収容したキャリアから複数
   の基板を基板搬送手段へ受け渡すための基板移載装置に
   おいて、 第１キャリアを載置可能であって、前記第１キャリアを
   載置させた際に前記第１キャリアの底部開口部に対応し
   た位置が開口された第１キャリア載置台と、 第２キャリアを載置可能であって、前記第２キャリアを
   載置させた際に前記第２キャリアの底部開口部に対応し
   た位置が開口された第２キャリア載置台と、 前記第１キャリアおよび前記第２キャリアから前記基板
   搬送手段へ基板を受け渡すために、前記第１キャリアに
   収納された複数の基板を前記第１キャリア載置台の下方
   から前記第１キャリアの底部開口部を通して突き上げて
   保持するとともに、前記第２キャリアに収納された複数
   の基板を前記第２キャリア載置台の下方から前記第２キ
   ャリアの底部開口部を通して突き上げて保持する突き上
   げ手段と、 前記突き上げ手段の上方の位置と前記第１キャリア載置
   台の待機位置との間で、前記第１キャリア載置台を回動
   させる第１回動手段と、 前記突き上げ手段の上方の位置と前記第２キャリア載置
   台の待機位置との間で、前記第２キャリア載置台を回動
   させる第２回動手段とを有し、 前記第１キャリアに収容された基板を突き上げる際の前
   記突き上げ手段に対する前記第１キャリア載置台に載置
   された前記第１キャリアの位置と前記第２キャリアに収
   容された基板を突き上げる際の前記突き上げ手段に対す
   る前記第２キャリア載置台に載置された前記第２キャリ
   アの位置とは、複数の基板の基板配列ピッチに対して半
   ピッチ分ずれていることを特徴とする基板移載装置。
2. 【請求項２】 複数の基板に基板処理を行うべく、複数
   の基板を収容したキャリアから複数の基板を基板搬送手
   段に受け渡すための請求項１に記載の基板移載装置と、 この基板移載装置で前記基板搬送手段に受け渡された複
   数の基板を基板処理部に搬送して所定の処理を行う基板
   処理ユニットとを有したことを特徴とする基板処理装
   置。