JPH11284409A - 導波管型帯域通過フィルタ - Google Patents
導波管型帯域通過フィルタInfo
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- JPH11284409A JPH11284409A JP10082184A JP8218498A JPH11284409A JP H11284409 A JPH11284409 A JP H11284409A JP 10082184 A JP10082184 A JP 10082184A JP 8218498 A JP8218498 A JP 8218498A JP H11284409 A JPH11284409 A JP H11284409A
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- waveguide
- conductor
- main conductor
- dielectric
- side wall
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 矩形導波管を用いた導波管型帯域通過フィル
タでは、小型化が図れず、生産性も低かった。 【解決手段】 誘電体基板21を挟持する一対の主導体層
22・23と、信号伝送方向に信号波長の2分の1未満の間
隔で主導体層22・23間を電気的に接続して形成された2
列の側壁用貫通導体群24とを具備して成り、主導体層22
・23および側壁用貫通導体群24に囲まれた領域によって
高周波信号を伝送する誘電体導波管線路25の内部に、主
導体層22・23間を電気的に接続して誘導性窓を形成する
複数の貫通導体26が信号伝送方向に管内波長の2分の1
未満の間隔で配設されている導波管型帯域通過フィルタ
である。小型で生産性が高い、良好な特性の導波管型帯
域通過フィルタとなる。
タでは、小型化が図れず、生産性も低かった。 【解決手段】 誘電体基板21を挟持する一対の主導体層
22・23と、信号伝送方向に信号波長の2分の1未満の間
隔で主導体層22・23間を電気的に接続して形成された2
列の側壁用貫通導体群24とを具備して成り、主導体層22
・23および側壁用貫通導体群24に囲まれた領域によって
高周波信号を伝送する誘電体導波管線路25の内部に、主
導体層22・23間を電気的に接続して誘導性窓を形成する
複数の貫通導体26が信号伝送方向に管内波長の2分の1
未満の間隔で配設されている導波管型帯域通過フィルタ
である。小型で生産性が高い、良好な特性の導波管型帯
域通過フィルタとなる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、主にマイクロ波お
よびミリ波等の高周波信号を伝送する誘電体導波管線路
を用いた導波管型帯域通過フィルタに関するものであ
る。
よびミリ波等の高周波信号を伝送する誘電体導波管線路
を用いた導波管型帯域通過フィルタに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】近年、マイクロ波やミリ波などの高周波
を用いた移動体通信および車間レーダ等の研究が盛んに
進められている。これらの高周波を利用した技術には特
定の周波数の高周波信号のみを通す帯域通過フィルタが
必要である。
を用いた移動体通信および車間レーダ等の研究が盛んに
進められている。これらの高周波を利用した技術には特
定の周波数の高周波信号のみを通す帯域通過フィルタが
必要である。
【0003】高周波用の帯域通過フィルタには様々な構
成のものがあるが、良好な帯域通過特性を有するものと
して矩形導波管を用いた導波管型帯域通過フィルタが知
られている。これには、例えば図6および図7に概略斜
視図で示すような構造のものがある。
成のものがあるが、良好な帯域通過特性を有するものと
して矩形導波管を用いた導波管型帯域通過フィルタが知
られている。これには、例えば図6および図7に概略斜
視図で示すような構造のものがある。
【0004】図6に示した構造のものは、矩形導波管1
の内部に誘導性窓を形成する複数の金属棒等のショート
ピン2(2a〜2e)を垂直に管内波長λgの2分の1
未満の間隔d(d<λg/2)で信号伝送方向に配置す
ることによって帯域通過フィルタを形成したものであ
る。
の内部に誘導性窓を形成する複数の金属棒等のショート
ピン2(2a〜2e)を垂直に管内波長λgの2分の1
未満の間隔d(d<λg/2)で信号伝送方向に配置す
ることによって帯域通過フィルタを形成したものであ
る。
【0005】この構造によれば、導波管のほぼ中央部に
あるショートピン2cあるいはショートピン群2a〜2
eにより、導波管の幅は遮断波長の2分の1以下に分断
される。その結果、ショートピン2により導波管を伝播
してきた電磁波は反射されるので、同図中に示した領域
L1 〜L4 は電気的に閉じた空間とみなすことができ
る。この閉じた空間は固有の共振モードを持ち、その長
さdがλg/2のとき最も低い周波数で共振を起こす共
振器として機能する。図6に示した構造の場合、ショー
トピン2による壁で形成された4つの共振器が導波管に
直列に結合しているものとみなすことができる。
あるショートピン2cあるいはショートピン群2a〜2
eにより、導波管の幅は遮断波長の2分の1以下に分断
される。その結果、ショートピン2により導波管を伝播
してきた電磁波は反射されるので、同図中に示した領域
L1 〜L4 は電気的に閉じた空間とみなすことができ
る。この閉じた空間は固有の共振モードを持ち、その長
さdがλg/2のとき最も低い周波数で共振を起こす共
振器として機能する。図6に示した構造の場合、ショー
トピン2による壁で形成された4つの共振器が導波管に
直列に結合しているものとみなすことができる。
【0006】前述したように、図6における左方の入力
側から導波管1を伝播してきた電磁波はショートピン2
aにより伝播できなくなるが、その電磁波の周波数が前
述した共振器の持つ固有の共振周波数と一致した場合に
はショートピン2aの間(誘導性窓)から電磁的な結合
によって共振領域L1 にエネルギーが流入する。同様に
して、L1 からL2 へ、L2 からL3 へ、L3 からL4
へとエネルギーが伝播し、導波管1の図6における右方
の出力側からはまた電磁波として伝播する。従って、固
有の周波数を持つ電磁波のみがこれらの構造による領域
を通過することができ、これにより帯域通過フィルタと
して動作するものである。
側から導波管1を伝播してきた電磁波はショートピン2
aにより伝播できなくなるが、その電磁波の周波数が前
述した共振器の持つ固有の共振周波数と一致した場合に
はショートピン2aの間(誘導性窓)から電磁的な結合
によって共振領域L1 にエネルギーが流入する。同様に
して、L1 からL2 へ、L2 からL3 へ、L3 からL4
へとエネルギーが伝播し、導波管1の図6における右方
の出力側からはまた電磁波として伝播する。従って、固
有の周波数を持つ電磁波のみがこれらの構造による領域
を通過することができ、これにより帯域通過フィルタと
して動作するものである。
【0007】なお、前述した共振領域L1 〜L4 は、結
合のための誘導性窓があるため、それらの長さdは一般
にλg/2よりも短くなる。
合のための誘導性窓があるため、それらの長さdは一般
にλg/2よりも短くなる。
【0008】また、図7に示した構造のものは、矩形導
波管1の内部に誘導性窓(誘導性壁)を形成する複数の
金属板等のショート板3を同じく垂直に管内波長λgの
2分の1未満の間隔d(d<λg/2)で信号伝送方向
に配置することによって帯域通過フィルタを形成したも
のである。
波管1の内部に誘導性窓(誘導性壁)を形成する複数の
金属板等のショート板3を同じく垂直に管内波長λgの
2分の1未満の間隔d(d<λg/2)で信号伝送方向
に配置することによって帯域通過フィルタを形成したも
のである。
【0009】これによれば、ショート板3とそれによる
誘導性窓が前述したショートピン2およびその隙間と全
く同様に働くことにより帯域通過フィルタとなるもので
ある。
誘導性窓が前述したショートピン2およびその隙間と全
く同様に働くことにより帯域通過フィルタとなるもので
ある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】このような構造を持っ
た従来の矩形導波管による帯域通過フィルタは、高周波
信号に対する帯域通過特性は優れるものの、作製時の加
工が難しいという問題点があった。このため、生産性が
低くその結果コストが高くなるという問題点があった。
た従来の矩形導波管による帯域通過フィルタは、高周波
信号に対する帯域通過特性は優れるものの、作製時の加
工が難しいという問題点があった。このため、生産性が
低くその結果コストが高くなるという問題点があった。
【0011】また、矩形導波管そのもののサイズが大き
いため、これを用いた帯域通過フィルタも大きなものと
なり、移動体通信および車間レーダ等に利用するための
小型化が困難であるという問題点もあった。
いため、これを用いた帯域通過フィルタも大きなものと
なり、移動体通信および車間レーダ等に利用するための
小型化が困難であるという問題点もあった。
【0012】本発明は上記事情に鑑みて案出されたもの
であり、その目的は、生産性が高く小型化にも対応でき
る導波管型帯域通過フィルタを提供することにある
であり、その目的は、生産性が高く小型化にも対応でき
る導波管型帯域通過フィルタを提供することにある
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の問
題点に対して検討を重ねた結果、従来の矩形導波管に代
えて、図4および図5にそれぞれ概略斜視図で示すよう
な、一対の主導体層に挟持された誘電体基板中に信号伝
送方向に信号波長の2分の1未満の間隔で主導体層間を
電気的に接続して形成された2列の側壁用貫通導体群に
より導波管の側壁を形成した誘電体導波管線路(特開平
6−53711 号ならびに特願平8−229925号参照)
を用い、その誘電体導波管線路の内部に誘導性窓を形成
するショートピンに相当する複数の貫通導体を形成して
信号伝送方向に管内波長の2分の1未満の間隔で配設す
ることにより、誘電体導波管線路を用いて図6ならびに
図7に示した構造と同様の導波管型帯域通過フィルタを
製造できることを見出した。
題点に対して検討を重ねた結果、従来の矩形導波管に代
えて、図4および図5にそれぞれ概略斜視図で示すよう
な、一対の主導体層に挟持された誘電体基板中に信号伝
送方向に信号波長の2分の1未満の間隔で主導体層間を
電気的に接続して形成された2列の側壁用貫通導体群に
より導波管の側壁を形成した誘電体導波管線路(特開平
6−53711 号ならびに特願平8−229925号参照)
を用い、その誘電体導波管線路の内部に誘導性窓を形成
するショートピンに相当する複数の貫通導体を形成して
信号伝送方向に管内波長の2分の1未満の間隔で配設す
ることにより、誘電体導波管線路を用いて図6ならびに
図7に示した構造と同様の導波管型帯域通過フィルタを
製造できることを見出した。
【0014】本発明の導波管型帯域通過フィルタは、誘
電体基板を挟持する一対の主導体層と、信号伝送方向に
信号波長の2分の1未満の間隔で前記主導体層間を電気
的に接続して形成された2列の側壁用貫通導体群とを具
備して成り、前記主導体層および側壁用貫通導体群に囲
まれた領域によって高周波信号を伝送する誘電体導波管
線路の内部に、前記主導体層間を電気的に接続して誘導
性窓を形成する複数の貫通導体が前記信号伝送方向に管
内波長の2分の1未満の間隔で配設されていることを特
徴とするものである。
電体基板を挟持する一対の主導体層と、信号伝送方向に
信号波長の2分の1未満の間隔で前記主導体層間を電気
的に接続して形成された2列の側壁用貫通導体群とを具
備して成り、前記主導体層および側壁用貫通導体群に囲
まれた領域によって高周波信号を伝送する誘電体導波管
線路の内部に、前記主導体層間を電気的に接続して誘導
性窓を形成する複数の貫通導体が前記信号伝送方向に管
内波長の2分の1未満の間隔で配設されていることを特
徴とするものである。
【0015】また、本発明の導波管型帯域通過フィルタ
は、上記構成において、前記主導体層間に、前記側壁用
貫通導体群と電気的に接続された副導体層が前記主導体
層と平行に形成されていることを特徴とするものであ
る。
は、上記構成において、前記主導体層間に、前記側壁用
貫通導体群と電気的に接続された副導体層が前記主導体
層と平行に形成されていることを特徴とするものであ
る。
【0016】さらに、本発明の導波管型帯域通過フィル
タは、副導体層が形成された上記構成の導波管型帯域通
過フィルタにおいて、前記副導体層が、前記誘電体導波
管線路の内部に延設されて前記貫通導体と電気的に接続
され、該貫通導体と共に前記誘導性窓を形成しているこ
とを特徴とするものである。
タは、副導体層が形成された上記構成の導波管型帯域通
過フィルタにおいて、前記副導体層が、前記誘電体導波
管線路の内部に延設されて前記貫通導体と電気的に接続
され、該貫通導体と共に前記誘導性窓を形成しているこ
とを特徴とするものである。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の導波管型帯域通過
フィルタについて図面を参照しながら説明する。
フィルタについて図面を参照しながら説明する。
【0018】図4および図5は、それぞれ本発明の導波
管型帯域通過フィルタに用いる誘電体導波管線路の構成
を示す概略斜視図である。これらの図において、11は
誘電体基板、12・13は誘電体基板11を挟持する一対の主
導体層、14は信号伝送方向に信号波長の2分の1未満の
間隔で主導体層12・13間を電気的に接続して形成された
2列の側壁用貫通導体群である。
管型帯域通過フィルタに用いる誘電体導波管線路の構成
を示す概略斜視図である。これらの図において、11は
誘電体基板、12・13は誘電体基板11を挟持する一対の主
導体層、14は信号伝送方向に信号波長の2分の1未満の
間隔で主導体層12・13間を電気的に接続して形成された
2列の側壁用貫通導体群である。
【0019】図4および図5によれば、所定の厚みaの
誘電体基板11を挟持する位置に一対の主導体層12・13が
形成されており、主導体層12・13は誘電体基板11の少な
くとも導波管線路形成位置を挟む上下面に形成されてい
る。また、主導体層12・13間には主導体層12と13とを電
気的に接続するスルーホール導体やビアホール導体等の
貫通導体が多数設けられ、2列の側壁用貫通導体群14を
形成している。
誘電体基板11を挟持する位置に一対の主導体層12・13が
形成されており、主導体層12・13は誘電体基板11の少な
くとも導波管線路形成位置を挟む上下面に形成されてい
る。また、主導体層12・13間には主導体層12と13とを電
気的に接続するスルーホール導体やビアホール導体等の
貫通導体が多数設けられ、2列の側壁用貫通導体群14を
形成している。
【0020】2列の側壁用貫通導体群14は、所定間隔
(幅)bをもって、信号伝送方向に信号波長の2分の1
未満の所定間隔cをもって形成されており、これにより
この誘電体導波管線路における側壁を形成している。
(幅)bをもって、信号伝送方向に信号波長の2分の1
未満の所定間隔cをもって形成されており、これにより
この誘電体導波管線路における側壁を形成している。
【0021】ここで、誘電体基板11の厚みaすなわち一
対の主導体層12・13間の間隔に対する制限は特にない
が、シングルモードで用いる場合には間隔bに対して2
分の1程度または2倍程度とすることがよく、図4およ
び図5の例では誘電体導波管のH面とE面に当たる部分
がそれぞれ主導体層12・13と側壁用貫通導体群14で形成
され、間隔bに対して厚みaを2倍程度とすれば、誘電
体導波管のE面とH面に当たる部分がそれぞれ主導体層
12・13と側壁用貫通導体群14で形成されることとなる。
また、間隔cが信号波長(遮断波長)の2分の1未満の
間隔に設定されることで側壁用貫通導体群14が電気的な
壁を形成している。
対の主導体層12・13間の間隔に対する制限は特にない
が、シングルモードで用いる場合には間隔bに対して2
分の1程度または2倍程度とすることがよく、図4およ
び図5の例では誘電体導波管のH面とE面に当たる部分
がそれぞれ主導体層12・13と側壁用貫通導体群14で形成
され、間隔bに対して厚みaを2倍程度とすれば、誘電
体導波管のE面とH面に当たる部分がそれぞれ主導体層
12・13と側壁用貫通導体群14で形成されることとなる。
また、間隔cが信号波長(遮断波長)の2分の1未満の
間隔に設定されることで側壁用貫通導体群14が電気的な
壁を形成している。
【0022】平行に配置された一対の主導体層12・13間
にはTEM波が伝播できるため、側壁用貫通導体群14の
間隔cが信号波長すなわち遮断波長λcよりも大きい
と、この導波管線路に電磁波を給電しても、ここで作ら
れる疑似的な導波管に沿って伝播しない。しかし、側壁
用貫通導体群14の間隔cが遮断波長λcよりも小さい
と、電磁波は導波管線路に対して垂直方向に伝播するこ
とができず、反射しながら導波管線路の信号伝送方向に
伝播される。その結果、図4および図5の構成によれ
ば、一対の主導体層12・13および2列の側壁用貫通導体
群14によって囲まれる断面積がa×bのサイズの領域が
誘電体導波管線路15となる。
にはTEM波が伝播できるため、側壁用貫通導体群14の
間隔cが信号波長すなわち遮断波長λcよりも大きい
と、この導波管線路に電磁波を給電しても、ここで作ら
れる疑似的な導波管に沿って伝播しない。しかし、側壁
用貫通導体群14の間隔cが遮断波長λcよりも小さい
と、電磁波は導波管線路に対して垂直方向に伝播するこ
とができず、反射しながら導波管線路の信号伝送方向に
伝播される。その結果、図4および図5の構成によれ
ば、一対の主導体層12・13および2列の側壁用貫通導体
群14によって囲まれる断面積がa×bのサイズの領域が
誘電体導波管線路15となる。
【0023】なお、図5における16は側壁用貫通導体群
14の各列を形成する貫通導体同士を電気的に接続する、
主導体層12・13と平行に形成された副導体層であり、所
望により適宜形成される。このような副導体層16を形成
することにより、誘電体導波管線路15の内部から見ると
線路の側壁は側壁用貫通導体群14と副導体層16とによっ
て細かな格子状になり、線路からの電磁波の遮蔽効果を
さらに高めることができる。
14の各列を形成する貫通導体同士を電気的に接続する、
主導体層12・13と平行に形成された副導体層であり、所
望により適宜形成される。このような副導体層16を形成
することにより、誘電体導波管線路15の内部から見ると
線路の側壁は側壁用貫通導体群14と副導体層16とによっ
て細かな格子状になり、線路からの電磁波の遮蔽効果を
さらに高めることができる。
【0024】また、これらの態様では側壁用貫通導体群
14は2列に形成したが、この側壁用貫通導体群14を4列
あるいは6列に配設して、側壁用貫通導体群14による疑
似的な導体壁を2重・3重に形成することにより、導体
壁からの電磁波の漏れをより効果的に防止することがで
きる。
14は2列に形成したが、この側壁用貫通導体群14を4列
あるいは6列に配設して、側壁用貫通導体群14による疑
似的な導体壁を2重・3重に形成することにより、導体
壁からの電磁波の漏れをより効果的に防止することがで
きる。
【0025】上記の誘電体導波管線路によれば、誘電体
導波管による伝送線路となるので、その導波管サイズは
誘電体基板11の比誘電率をεとすると通常の導波管の1
/√εの大きさになる。従って、誘電体基板11を比誘電
率εの大きい材料によって構成するほど、導波管サイズ
は小さくすることができ、高密度に配線が形成される多
層配線基板または半導体素子収納用パッケージあるいは
車間レーダの伝送線路として利用可能な大きさになる。
導波管による伝送線路となるので、その導波管サイズは
誘電体基板11の比誘電率をεとすると通常の導波管の1
/√εの大きさになる。従って、誘電体基板11を比誘電
率εの大きい材料によって構成するほど、導波管サイズ
は小さくすることができ、高密度に配線が形成される多
層配線基板または半導体素子収納用パッケージあるいは
車間レーダの伝送線路として利用可能な大きさになる。
【0026】なお、側壁用貫通導体群14を構成する貫通
導体は前述のように遮断波長λcの2分の1未満の間隔
cで配設されており、この間隔cは良好な伝送特性を実
現するためには一定の繰り返し間隔とすることが望まし
いが、遮断波長λcの2分の1未満の間隔であれば適宜
変化させたりいくつかの値を組み合わせたりしてもよい
ことは言うまでもない。
導体は前述のように遮断波長λcの2分の1未満の間隔
cで配設されており、この間隔cは良好な伝送特性を実
現するためには一定の繰り返し間隔とすることが望まし
いが、遮断波長λcの2分の1未満の間隔であれば適宜
変化させたりいくつかの値を組み合わせたりしてもよい
ことは言うまでもない。
【0027】このような誘電体導波管線路を構成する誘
電体基板11としては、誘電体として機能し高周波信号の
伝送を妨げることのない特性を有するものであればとり
わけ限定するものではないが、伝送線路を形成する際の
精度および製造の容易性の点からは、誘電体基板11はセ
ラミックスからなることが望ましい。
電体基板11としては、誘電体として機能し高周波信号の
伝送を妨げることのない特性を有するものであればとり
わけ限定するものではないが、伝送線路を形成する際の
精度および製造の容易性の点からは、誘電体基板11はセ
ラミックスからなることが望ましい。
【0028】このようなセラミックスとしてはこれまで
様々な比誘電率を持つセラミックスが知られているが、
本発明の導波管線路によって高周波信号を伝送するため
には常誘電体であることが望ましい。これは、一般に強
誘電体セラミックスは高周波領域では誘電損失が大きく
伝送損失が大きくなるためである。従って、誘電体基板
11の比誘電率εr は4〜100 程度が適当である。
様々な比誘電率を持つセラミックスが知られているが、
本発明の導波管線路によって高周波信号を伝送するため
には常誘電体であることが望ましい。これは、一般に強
誘電体セラミックスは高周波領域では誘電損失が大きく
伝送損失が大きくなるためである。従って、誘電体基板
11の比誘電率εr は4〜100 程度が適当である。
【0029】また、一般に多層配線基板や半導体素子収
納用パッケージあるいは車間レーダに形成される配線層
の線幅は最大でも1mm程度であることから、比誘電率
が100 の材料を用い、上部がH面すなわち磁界が上側の
面に平行に巻く電磁界分布になるように用いた場合、用
いることのできる最小の周波数は15GHzと算出され、
マイクロ波帯の領域でも利用可能となる。一方、一般的
に誘電体基板11として用いられる樹脂からなる誘電体
は、比誘電率εr が2程度であるため、線幅が1mmの
場合、約100 GHz以上でないと利用することができな
いものとなる。
納用パッケージあるいは車間レーダに形成される配線層
の線幅は最大でも1mm程度であることから、比誘電率
が100 の材料を用い、上部がH面すなわち磁界が上側の
面に平行に巻く電磁界分布になるように用いた場合、用
いることのできる最小の周波数は15GHzと算出され、
マイクロ波帯の領域でも利用可能となる。一方、一般的
に誘電体基板11として用いられる樹脂からなる誘電体
は、比誘電率εr が2程度であるため、線幅が1mmの
場合、約100 GHz以上でないと利用することができな
いものとなる。
【0030】また、このような常誘電体セラミックスの
中にはアルミナやシリカ等のように誘電正接が非常に小
さなものが多いが、全ての常誘電体セラミックスが利用
可能であるわけではない。誘電体導波管線路の場合は導
体による損失はほとんどなく、信号伝送時の損失のほと
んどは誘電体による損失であり、誘電体による損失α
(dB/m)は下記のように表わされる。 α=27.3×tanδ/〔λ/{1−(λ/λc )2 }
1/2 〕 式中、tanδ:誘電体の誘電正接 λ :誘電体中の波長 λc :遮断波長 規格化された矩形導波管(WRJシリーズ)形状に準ず
ると、上式中の{1−(λ/λc )2 }1/2 は0.75程度
である。
中にはアルミナやシリカ等のように誘電正接が非常に小
さなものが多いが、全ての常誘電体セラミックスが利用
可能であるわけではない。誘電体導波管線路の場合は導
体による損失はほとんどなく、信号伝送時の損失のほと
んどは誘電体による損失であり、誘電体による損失α
(dB/m)は下記のように表わされる。 α=27.3×tanδ/〔λ/{1−(λ/λc )2 }
1/2 〕 式中、tanδ:誘電体の誘電正接 λ :誘電体中の波長 λc :遮断波長 規格化された矩形導波管(WRJシリーズ)形状に準ず
ると、上式中の{1−(λ/λc )2 }1/2 は0.75程度
である。
【0031】従って、実用に供し得る伝送損失である−
100 dB/m以下にするには、下記の関係が成立するよ
うに誘電体を選択することが必要である。
100 dB/m以下にするには、下記の関係が成立するよ
うに誘電体を選択することが必要である。
【0032】f×εr 1/2 ×tanδ≦0.8 式中、fは使用する周波数(GHz)である。
【0033】このような誘電体基板11としては、例えば
アルミナセラミックスやガラスセラミックス・窒化アル
ミニウムセラミックス等があり、例えばセラミックス原
料粉末に適当な有機溶剤・溶媒を添加混合して泥漿状に
なすとともにこれを従来周知のドクターブレード法やカ
レンダーロール法等を採用してシート状となすことによ
って複数枚のセラミックグリーンシートを得、しかる
後、これらセラミックグリーンシートの各々に適当な打
ち抜き加工を施すとともにこれらを積層し、アルミナセ
ラミックスの場合は1500〜1700℃、ガラスセラミックス
の場合は850 〜1000℃、窒化アルミニウムセラミックス
の場合は1600〜1900℃の温度で焼成することによって製
作される。
アルミナセラミックスやガラスセラミックス・窒化アル
ミニウムセラミックス等があり、例えばセラミックス原
料粉末に適当な有機溶剤・溶媒を添加混合して泥漿状に
なすとともにこれを従来周知のドクターブレード法やカ
レンダーロール法等を採用してシート状となすことによ
って複数枚のセラミックグリーンシートを得、しかる
後、これらセラミックグリーンシートの各々に適当な打
ち抜き加工を施すとともにこれらを積層し、アルミナセ
ラミックスの場合は1500〜1700℃、ガラスセラミックス
の場合は850 〜1000℃、窒化アルミニウムセラミックス
の場合は1600〜1900℃の温度で焼成することによって製
作される。
【0034】また、一対の主導体層12・13としては、例
えば誘電体基板11がアルミナセラミックスから成る場
合、タングステン等の金属粉末に適当なアルミナ・シリ
カ・マグネシア等の酸化物や有機溶剤・溶媒等を添加混
合してペースト状にしたものを厚膜印刷法により少なく
とも伝送線路を完全に覆うようにセラミックグリーンシ
ート上に印刷し、しかる後、約1600℃の高温で焼成し、
厚み10〜15μm以上となるようにして形成する。なお、
金属粉末としては、ガラスセラミックスの場合は銅・金
・銀が、窒化アルミニウムセラミックスの場合はタング
ステン・モリブデンが好適である。また、主導体層12・
13の厚みは一般的に5〜50μm程度とされる。
えば誘電体基板11がアルミナセラミックスから成る場
合、タングステン等の金属粉末に適当なアルミナ・シリ
カ・マグネシア等の酸化物や有機溶剤・溶媒等を添加混
合してペースト状にしたものを厚膜印刷法により少なく
とも伝送線路を完全に覆うようにセラミックグリーンシ
ート上に印刷し、しかる後、約1600℃の高温で焼成し、
厚み10〜15μm以上となるようにして形成する。なお、
金属粉末としては、ガラスセラミックスの場合は銅・金
・銀が、窒化アルミニウムセラミックスの場合はタング
ステン・モリブデンが好適である。また、主導体層12・
13の厚みは一般的に5〜50μm程度とされる。
【0035】また、側壁用貫通導体群14を構成する貫通
導体としては、例えばビアホール導体やスルーホール導
体等により形成すればよく、その断面形状も製作が容易
な円形の他、矩形や菱形等の多角形であってもよい。こ
れら貫通導体は、例えばセラミックグリーンシートに打
ち抜き加工を施して作製した貫通孔に主導体層12・13と
同様の金属ペーストを埋め込み、しかる後、誘電体基板
11と同時に焼成し形成する。なお、これらの貫通導体は
直径50〜300 μmが適当である。
導体としては、例えばビアホール導体やスルーホール導
体等により形成すればよく、その断面形状も製作が容易
な円形の他、矩形や菱形等の多角形であってもよい。こ
れら貫通導体は、例えばセラミックグリーンシートに打
ち抜き加工を施して作製した貫通孔に主導体層12・13と
同様の金属ペーストを埋め込み、しかる後、誘電体基板
11と同時に焼成し形成する。なお、これらの貫通導体は
直径50〜300 μmが適当である。
【0036】次に、このような誘電体導波管線路を用い
た本発明の導波管型帯域通過フィルタの実施の形態の一
例を図1および図2に基づいて説明する。
た本発明の導波管型帯域通過フィルタの実施の形態の一
例を図1および図2に基づいて説明する。
【0037】図1は本発明の導波管型帯域通過フィルタ
の実施の形態の一例を示す概略斜視図であり、図2は平
面図である。これらの図において、21は厚みaの誘電体
基板、22および23は誘電体基板21を挟持して形成された
一対の主導体層、24は所定間隔(幅)bでもって信号伝
送方向に信号波長(遮断波長λc)の2分の1未満の間
隔cで主導体層22・23間を電気的に接続して形成された
2列の側壁用貫通導体群、25は一対の主導体層22・23と
2列の側壁用貫通導体群24とで囲まれた領域によって構
成される誘電体導波管線路部である。
の実施の形態の一例を示す概略斜視図であり、図2は平
面図である。これらの図において、21は厚みaの誘電体
基板、22および23は誘電体基板21を挟持して形成された
一対の主導体層、24は所定間隔(幅)bでもって信号伝
送方向に信号波長(遮断波長λc)の2分の1未満の間
隔cで主導体層22・23間を電気的に接続して形成された
2列の側壁用貫通導体群、25は一対の主導体層22・23と
2列の側壁用貫通導体群24とで囲まれた領域によって構
成される誘電体導波管線路部である。
【0038】これら誘電体基板21、主導体層22・23およ
び側壁用貫通導体群24は、前述の本発明に用いる誘電体
導波管線路と同様にして構成される。
び側壁用貫通導体群24は、前述の本発明に用いる誘電体
導波管線路と同様にして構成される。
【0039】また、これらの図中に斜線を施して示した
26は、誘電体導波管線路25の内部に信号伝送方向に管内
波長λgの2分の1未満の間隔d(d<λg/2)で配
設された、主導体層22・23間を電気的に接続して誘導性
窓を形成する複数の貫通導体である。
26は、誘電体導波管線路25の内部に信号伝送方向に管内
波長λgの2分の1未満の間隔d(d<λg/2)で配
設された、主導体層22・23間を電気的に接続して誘導性
窓を形成する複数の貫通導体である。
【0040】本発明によれば、このように誘電体導波管
線路25の内部に誘導性窓を形成する複数の貫通導体26を
管内波長λgの2分の1未満の所定間隔dでもって配設
してそれら貫通導体26の数を調整することにより、一対
の主導体層22・23と2列の側壁用貫通導体群24とにより
構成される誘電体導波管線路25が図6に示した矩形導波
管1に相当し、複数の貫通導体26が図6に示したショー
トピン2に相当するものとなって、図6に示した矩形導
波管を用いた導波管型帯域通過フィルタと全く同じ原理
により同様の導波管型帯域通過フィルタを形成すること
ができる。
線路25の内部に誘導性窓を形成する複数の貫通導体26を
管内波長λgの2分の1未満の所定間隔dでもって配設
してそれら貫通導体26の数を調整することにより、一対
の主導体層22・23と2列の側壁用貫通導体群24とにより
構成される誘電体導波管線路25が図6に示した矩形導波
管1に相当し、複数の貫通導体26が図6に示したショー
トピン2に相当するものとなって、図6に示した矩形導
波管を用いた導波管型帯域通過フィルタと全く同じ原理
により同様の導波管型帯域通過フィルタを形成すること
ができる。
【0041】このような本発明の導波管型帯域通過フィ
ルタによれば、従来の矩形導波管を用いた導波管型帯域
通過フィルタに比べて、誘電体導波管となって小型に作
製することができるため多層配線基板や半導体素子収納
用パッケージを構成する誘電体基板内に作り込むことが
でき、小型化への対応が容易な導波管型帯域通過フィル
タとなる。しかも、グリーンシート積層法等のシート積
層技術により容易に作製することができるので、生産性
が高く安価な製造が可能な導波管型帯域通過フィルタと
なる。
ルタによれば、従来の矩形導波管を用いた導波管型帯域
通過フィルタに比べて、誘電体導波管となって小型に作
製することができるため多層配線基板や半導体素子収納
用パッケージを構成する誘電体基板内に作り込むことが
でき、小型化への対応が容易な導波管型帯域通過フィル
タとなる。しかも、グリーンシート積層法等のシート積
層技術により容易に作製することができるので、生産性
が高く安価な製造が可能な導波管型帯域通過フィルタと
なる。
【0042】本発明の導波管型帯域通過フィルタにおい
て誘導性窓を形成する複数の貫通導体26を配設する場
合、ショートピンとして機能する貫通導体26のそれぞれ
の間隔や本数・大きさ等がフィルタ特性に複雑に関与す
る。このため、要求されるフィルタ特性を満足するよう
に電磁界解析により繰り返し計算することにより、所望
の帯域通過特性を有する導波管型帯域通過フィルタを得
ることとなる。
て誘導性窓を形成する複数の貫通導体26を配設する場
合、ショートピンとして機能する貫通導体26のそれぞれ
の間隔や本数・大きさ等がフィルタ特性に複雑に関与す
る。このため、要求されるフィルタ特性を満足するよう
に電磁界解析により繰り返し計算することにより、所望
の帯域通過特性を有する導波管型帯域通過フィルタを得
ることとなる。
【0043】また、図1および図2に示した導波管型帯
域通過フィルタは、図4に示した誘電体導波管線路に対
して誘導性窓を形成する複数の貫通導体26を配設した構
成となっているが、これにさらに図5に示した誘電体導
波管線路のように、主導体層22・23間に主導体層22・23
と平行に側壁用貫通導体群24と電気的に接続された副導
体層を形成してもよい。そのように副導体層を形成した
場合には、側壁用貫通導体群24により形成される疑似的
な導体壁が電気的な壁としてより強化されるので、電磁
波の伝送特性や遮蔽効果をさらに高めることができ、良
好な帯域通過特性を有する導波管型帯域通過フィルタと
なる。
域通過フィルタは、図4に示した誘電体導波管線路に対
して誘導性窓を形成する複数の貫通導体26を配設した構
成となっているが、これにさらに図5に示した誘電体導
波管線路のように、主導体層22・23間に主導体層22・23
と平行に側壁用貫通導体群24と電気的に接続された副導
体層を形成してもよい。そのように副導体層を形成した
場合には、側壁用貫通導体群24により形成される疑似的
な導体壁が電気的な壁としてより強化されるので、電磁
波の伝送特性や遮蔽効果をさらに高めることができ、良
好な帯域通過特性を有する導波管型帯域通過フィルタと
なる。
【0044】次に、図3に本発明の導波管型帯域通過フ
ィルタの実施の形態の他の例を、図2と同様の平面図で
示す。図3は図2と同じく本発明の導波管型帯域通過フ
ィルタの内部構造を示す平面図であり、図3において図
2と同様の箇所には同じ符号を付してある。
ィルタの実施の形態の他の例を、図2と同様の平面図で
示す。図3は図2と同じく本発明の導波管型帯域通過フ
ィルタの内部構造を示す平面図であり、図3において図
2と同様の箇所には同じ符号を付してある。
【0045】図3は誘電体導波管線路として図5に示し
た副導体層16を有する本発明に係る誘電体導波管線路を
用いて、図7に示した従来の導波管型帯域通過フィルタ
の構成を実現したものである。図3において27は誘電体
導波管線路25の内部に信号伝送方向に管内波長λcの2
分の1未満の間隔dで配設された、主導体層22・23間を
電気的に接続して誘導性窓を形成する複数の貫通導体で
あり、これら複数の貫通導体27は、図7に示したショー
ト板3と同様の誘導性窓を形成するようにして導波管内
に配設されている。
た副導体層16を有する本発明に係る誘電体導波管線路を
用いて、図7に示した従来の導波管型帯域通過フィルタ
の構成を実現したものである。図3において27は誘電体
導波管線路25の内部に信号伝送方向に管内波長λcの2
分の1未満の間隔dで配設された、主導体層22・23間を
電気的に接続して誘導性窓を形成する複数の貫通導体で
あり、これら複数の貫通導体27は、図7に示したショー
ト板3と同様の誘導性窓を形成するようにして導波管内
に配設されている。
【0046】また、28は副導体層であり、この例におけ
る副導体層28は、2列の側壁用貫通導体群24とそれぞれ
の列において電気的に接続されているとともに、一対の
主導体層22・23と2列の側壁用貫通導体群24とで囲まれ
た領域によって形成される誘電体導波管線路25の内部に
延設されて誘導性窓を形成する複数の貫通導体27とそれ
ぞれの側壁用貫通導体群24側において電気的に接続さ
れ、この延設された部分により貫通導体27と共に誘導性
窓を形成している。
る副導体層28は、2列の側壁用貫通導体群24とそれぞれ
の列において電気的に接続されているとともに、一対の
主導体層22・23と2列の側壁用貫通導体群24とで囲まれ
た領域によって形成される誘電体導波管線路25の内部に
延設されて誘導性窓を形成する複数の貫通導体27とそれ
ぞれの側壁用貫通導体群24側において電気的に接続さ
れ、この延設された部分により貫通導体27と共に誘導性
窓を形成している。
【0047】このように、複数の貫通導体27と、誘電体
導波管線路25の内部に延設されてそれら貫通導体27と電
気的に接続された副導体層28とにより形成した誘導性窓
を管内波長λgの2分の1未満の所定の間隔dで配設す
ることにより、一対の主導体層22・23と2列の側壁用貫
通導体群24とにより構成される誘電体導波管線路25が図
7に示した矩形導波管1に相当し、複数の貫通導体27と
副導体層28とにより形成される誘導性窓が図7に示した
ショート板3に相当するものとなって、図6および図7
に示した導波管型帯域通過フィルタと全く同様の原理に
より、図7に示した矩形導波管を用いた導波管型帯域通
過フィルタと同様の導波管型帯域通過フィルタを形成す
ることができる。
導波管線路25の内部に延設されてそれら貫通導体27と電
気的に接続された副導体層28とにより形成した誘導性窓
を管内波長λgの2分の1未満の所定の間隔dで配設す
ることにより、一対の主導体層22・23と2列の側壁用貫
通導体群24とにより構成される誘電体導波管線路25が図
7に示した矩形導波管1に相当し、複数の貫通導体27と
副導体層28とにより形成される誘導性窓が図7に示した
ショート板3に相当するものとなって、図6および図7
に示した導波管型帯域通過フィルタと全く同様の原理に
より、図7に示した矩形導波管を用いた導波管型帯域通
過フィルタと同様の導波管型帯域通過フィルタを形成す
ることができる。
【0048】このような本発明の導波管型帯域通過フィ
ルタによっても、小型化への対応が容易で生産性が高く
安価な製造が可能な導波管型帯域通過フィルタとなる。
ルタによっても、小型化への対応が容易で生産性が高く
安価な製造が可能な導波管型帯域通過フィルタとなる。
【0049】この例のように誘導性窓を形成する複数の
貫通導体27および副導体層28を配設する場合、前述した
貫通導体26の場合と同様に、要求されるフィルタ仕様を
満足するように解析シミュレータを用いて、所望の帯域
通過特性を有する導波管型帯域通過フィルタを得ること
となる。
貫通導体27および副導体層28を配設する場合、前述した
貫通導体26の場合と同様に、要求されるフィルタ仕様を
満足するように解析シミュレータを用いて、所望の帯域
通過特性を有する導波管型帯域通過フィルタを得ること
となる。
【0050】なお、複数の貫通導体26・27は、側壁用貫
通導体群24の貫通導体と同様に前述のようにして形成す
ればよい。また、その断面形状は円形に限られず、所望
の帯域通過特性に応じて楕円形や三角形・四角形・多角
形、あるいは平板状としてもよいものである。
通導体群24の貫通導体と同様に前述のようにして形成す
ればよい。また、その断面形状は円形に限られず、所望
の帯域通過特性に応じて楕円形や三角形・四角形・多角
形、あるいは平板状としてもよいものである。
【0051】なお、本発明は以上の実施の形態の例に限
定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
で種々の変更や改良を施すことは何ら差し支えない。例
えば、以上の例では共振部が4段(L1 〜L4 )のフィ
ルタとしたが、フィルタの仕様に応じて多段のフィルタ
としてもよい。
定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
で種々の変更や改良を施すことは何ら差し支えない。例
えば、以上の例では共振部が4段(L1 〜L4 )のフィ
ルタとしたが、フィルタの仕様に応じて多段のフィルタ
としてもよい。
【0052】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の導波管型帯
域通過フィルタによれば、誘電体導波管線路の内部に、
誘電体基板を挟持する一対の主導体層間を電気的に接続
して誘導性窓を形成する複数の貫通導体を信号伝送方向
に管内波長λgの2分の1未満の間隔で配設したことか
ら、誘電体導波管となって従来の矩形導波管を用いた導
波管型帯域通過フィルタに比べて小型に作製することが
できるため多層配線基板等の誘電体基板内に作り込むこ
とができ、小型化への対応が容易な導波管型帯域通過フ
ィルタとなり、しかも、グリーンシート積層法等のシー
ト積層技術により容易に作製することができるので、生
産性が高く安価な製造が可能な導波管型帯域通過フィル
タとなる。
域通過フィルタによれば、誘電体導波管線路の内部に、
誘電体基板を挟持する一対の主導体層間を電気的に接続
して誘導性窓を形成する複数の貫通導体を信号伝送方向
に管内波長λgの2分の1未満の間隔で配設したことか
ら、誘電体導波管となって従来の矩形導波管を用いた導
波管型帯域通過フィルタに比べて小型に作製することが
できるため多層配線基板等の誘電体基板内に作り込むこ
とができ、小型化への対応が容易な導波管型帯域通過フ
ィルタとなり、しかも、グリーンシート積層法等のシー
ト積層技術により容易に作製することができるので、生
産性が高く安価な製造が可能な導波管型帯域通過フィル
タとなる。
【0053】また、本発明の導波管型帯域通過フィルタ
によれば、主導体層間に側壁用貫通導体群と電気的に接
続された副導体層を主導体層と平行に形成した場合に
は、側壁用貫通導体群により形成される疑似的な導体壁
が電気的な壁としてより強化されるので、電磁波の伝送
特性や遮蔽効果をさらに高めることができ、良好な帯域
通過特性を有する導波管型帯域通過フィルタとなる。
によれば、主導体層間に側壁用貫通導体群と電気的に接
続された副導体層を主導体層と平行に形成した場合に
は、側壁用貫通導体群により形成される疑似的な導体壁
が電気的な壁としてより強化されるので、電磁波の伝送
特性や遮蔽効果をさらに高めることができ、良好な帯域
通過特性を有する導波管型帯域通過フィルタとなる。
【0054】さらに、本発明の導波管型帯域通過フィル
タによれば、副導体層を誘電体導波管線路の内部に延設
して誘導性窓を形成する貫通導体と電気的に接続し、貫
通導体と共に誘導性窓を形成するようにした場合には、
誘導性窓を形成する導体の部分が多くなるため、導体へ
の電流の集中が緩和され、導体によるエネルギーの損失
が小さくなることから、より優れた特性を有するものと
なる。
タによれば、副導体層を誘電体導波管線路の内部に延設
して誘導性窓を形成する貫通導体と電気的に接続し、貫
通導体と共に誘導性窓を形成するようにした場合には、
誘導性窓を形成する導体の部分が多くなるため、導体へ
の電流の集中が緩和され、導体によるエネルギーの損失
が小さくなることから、より優れた特性を有するものと
なる。
【0055】以上により、本発明によれば、誘電体導波
管線路を用いた導波管型帯域通過フィルタとして、生産
性が高く小型化にも対応できる導波管型帯域通過フィル
タを提供することができた。
管線路を用いた導波管型帯域通過フィルタとして、生産
性が高く小型化にも対応できる導波管型帯域通過フィル
タを提供することができた。
【図1】本発明の導波管型帯域通過フィルタの実施の形
態の一例を示す斜視図である。
態の一例を示す斜視図である。
【図2】本発明の導波管型帯域通過フィルタの実施の形
態の一例を示す平面図である。
態の一例を示す平面図である。
【図3】本発明の導波管型帯域通過フィルタの実施の形
態の他の例を示す平面図である。
態の他の例を示す平面図である。
【図4】本発明の導波管型帯域通過フィルタに係る誘電
体導波管線路を説明するための斜視図である。
体導波管線路を説明するための斜視図である。
【図5】本発明の導波管型帯域通過フィルタに係る誘電
体導波管線路を説明するための斜視図である。
体導波管線路を説明するための斜視図である。
【図6】従来の導波管型帯域通過フィルタの例を示す斜
視図である。
視図である。
【図7】従来の導波管型帯域通過フィルタの他の例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
11、21・・・・・・・・誘電体基板 12、13、22、23・・・・主導体層 14、24・・・・・・・・側壁用貫通導体群 15、25・・・・・・・・誘電体導波管線路 26、27・・・・・・・・貫通導体 16、28・・・・・・・・副導体層
Claims (3)
- 【請求項1】 誘電体基板を挟持する一対の主導体層
と、信号伝送方向に信号波長の2分の1未満の間隔で前
記主導体層間を電気的に接続して形成された2列の側壁
用貫通導体群とを具備して成り、前記主導体層および側
壁用貫通導体群に囲まれた領域によって高周波信号を伝
送する誘電体導波管線路の内部に、前記主導体層間を電
気的に接続して誘導性窓を形成する複数の貫通導体が前
記信号伝送方向に管内波長の2分の1未満の間隔で配設
されていることを特徴とする導波管型帯域通過フィル
タ。 - 【請求項2】 前記主導体層間に、前記側壁用貫通導体
群と電気的に接続された副導体層が前記主導体層と平行
に形成されていることを特徴とする請求項1記載の導波
管型帯域通過フィルタ。 - 【請求項3】 前記副導体層が、前記誘電体導波管線路
の内部に延設されて前記貫通導体と電気的に接続され、
該貫通導体と共に前記誘導性窓を形成していることを特
徴とする請求項2記載の導波管型帯域通過フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10082184A JPH11284409A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 導波管型帯域通過フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10082184A JPH11284409A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 導波管型帯域通過フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11284409A true JPH11284409A (ja) | 1999-10-15 |
Family
ID=13767368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10082184A Pending JPH11284409A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 導波管型帯域通過フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11284409A (ja) |
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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