JPH1128657A - 研磨具のドレッシング方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 研磨具の表面から切り粉や砥粒などの固形物
を効率的に除去し得る技術を提供する。 【解決手段】 太陽歯車１５と内歯歯車１６とに噛み合
った複数のキャリア１７のうち２つのキャリア相互間に
対して進退移動自在にスクレーパー５６が配置されてい
る。このスクレーパー５６には、研磨マットに接触する
スクレーパーブレード６１，６２が設けられており、研
磨マットに付着した固形物は、スクレーパーブレード６
１，６２に案内されて研磨マットの径方向外方あるいは
内方に排出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワークを研磨加工す
る研磨具の研磨面の目出し処理を行うための研磨具のド
レッシング技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】砥粒が混入された研磨液を研磨具の研磨
面とワークとの間に介在させた状態のもとで、ワークと
研磨具とに圧力を加えながら両者を滑らせることによっ
てワークの表面を高精度に仕上げる研磨技術は、ラッピ
ングやポリッシングとも言われている。

【０００３】このような研磨技術を用いて磁気ディスク
用アルミニウム基板の両面を同時に研磨加工する研磨装
置は、上面に環状の研磨マットが設けられた下側定盤
と、下面に環状の研磨マットが設けられた上側定盤とを
有しており、下側定盤の回転中心部には外径が研磨マッ
トの内径よりも小径となった太陽歯車が回転自在に設け
られ、研磨マットの外径よりも内径が大きい内歯歯車が
研磨マットの外方に位置させて固定されている。

【０００４】上側定盤の研磨マットと下側定盤の研磨マ
ットとの間に配置される複数のキャリアは、太陽歯車と
内歯歯車とに噛み合って下側定盤の研磨マットの上に載
置されるようになっており、それぞれのキャリアにはワ
ークを収容する円形の保持孔が形成されている。

【０００５】太陽歯車を回転させると、太陽歯車と内歯
歯車とに噛み合うキャリアは太陽歯車の周りを自転しな
がら公転移動し、キャリアに保持されたワークはその両
面が上下定盤の研磨マットの研磨面に接触しながら移動
することになり、ワークの両面が同時に仕上げられる。

【０００６】研磨作業を続けると、研磨液に混入されて
いるアルミナ系砥粒つまりスラリーやワークの切り粉な
どの固形物が研磨マットの繊維の中に入り込み、研磨マ
ットが目詰まりを起こして研磨能力が低下してしまうと
いう不都合がある。

【０００７】そのため、研磨マットの目詰まりを解消す
るために、ナイロンブラシを用いて砥粒や切り粉などの
固形物を除去する目出し処理つまりドレッシングを行う
技術が提案されている（たとえば、特開平６−１５５６
０号公報参照）。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ブラシ
を用いて目出し処理を行うと、研磨マットの表面に同時
に接触するブラシ全体の接触面積が少なく、確実に切り
粉や砥粒を除去することができないのみならず、目出し
処理に時間がかかることになる。また、ブラシを用いた
場合には、砥粒や切り粉に対して方向性を与えることが
できないので、研磨マットの外周側または内周側に砥粒
や切り粉を掃き出すことができず、切り粉などを完全に
除去することができなかった。

【０００９】本発明の目的は、研磨具の表面から切り粉
や砥粒などの固形物を効率的に除去し得る技術を提供す
ることにある。

【００１０】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１２】すなわち、本発明の研磨具のドレッシング
方法は、環状の下側研磨具が設けられ水平面内において
回転する下側定盤と、環状の上側研磨具が設けられ前記
下側定盤に対向して回転する上側定盤とを有する研磨装
置における前記研磨具の表面をドレッシングする研磨具
のドレッシング方法であって、前記下側定盤と前記上側
定盤との間にスクレーパーを進入させる工程と、前記ス
クレーパーに設けられたスクレーパーブレードを前記下
側研磨具と前記上側研磨具とのいずれか一方に接触させ
る工程と、前記スクレーパーブレードが接触した研磨具
を有する定盤を回転させて、その定盤の回転方向に対し
て傾斜した方向に前記スクレーパーブレードに前記研磨
具を滑らせる工程と、前記研磨具に付着した固形物を、
前記スクレーパーブレードにより案内して前記研磨具の
径方向外方あるいは内方に排出する工程とを有すること
を特徴とする。

【００１３】また、本発明の研磨具のドレッシング装置
は、水平面内において回転する下側定盤の上面に設けら
れた下側研磨具と、前記下側定盤に対向して回転する上
側定盤の下面に設けられた上側研磨具と、前記下側定盤
の回転中心部を回転中心として回転する太陽歯車と、前
記下側研磨具の外側に固定された内歯歯車と、それぞれ
前記太陽歯車と前記内歯歯車とに噛み合った状態で前記
下側研磨具の上に載置され、ワークを保持する複数の保
持孔が形成された複数のキャリアと、前記複数のキャリ
アのうち隣接する２つのキャリア相互間に進入する前進
位置とこの前進位置から退避する後退位置との間に移動
自在に前記内歯歯車の外方に配置されたスクレーパーと
を有し、前記研磨具の回転方向に対して傾斜した方向に
延び、かつ前記研磨具に接触するスクレーパーブレード
を前記スクレーパーに設け、前記研磨具に付着した固形
物を、前記スクレーパーブレードにより案内して前記研
磨具の径方向外方あるいは内方に排出するようにしたこ
とを特徴とする。

【００１４】本発明にあっては、スクレーパーブレード
が研磨具の表面に接触した状態で滑り移動し、研磨具の
表面全体にスクレーパーブレードが接触するので、研磨
具に食い込んだ固形物を迅速かつ確実に外部に排出する
ことができる。固形物の排出は、スクレーパーブレード
に洗浄液を供給することにより促進される。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１６】図１は本発明の一実施の形態であるドレッ
シング装置が組み付けられる研磨装置を示す図である。

【００１７】この研磨装置１０は矢印で示すように水平
面内において回転する下側定盤１１を有している。この
下側定盤１１は円板状のブラケット１１ａと、この上に
取り付けられた環状の定盤本体１１ｂと、この上に取り
付けられた環状の下側研磨マット１２とを有し、上下方
向に調整移動自在となっている。下側定盤１１の上方に
は、これに対向して回転する上側定盤１３が配置されて
おり、この上側定盤１３は円板状のブラケット１３ａ
と、この下面に取り付けられた環状の定盤本体１３ｂ
と、この下面に取り付けられた環状の上側研磨マット１
４とを有し、矢印で示すように、下側定盤１１の回転方
向とは逆方向に回転するとともに、上下方向に移動自在
となっている。

【００１８】下側定盤１１の回転中心部には外径が下側
研磨マット１２の内径よりも小径となった太陽歯車１５
が矢印で示すように下側定盤１１と同一の方向に回転自
在に設けられており、下側研磨マット１２の外径よりも
大径となった環状の内歯歯車１６が下側定盤１１を囲む
ように固定配置されている。

【００１９】太陽歯車１５と内歯歯車１６との間には、
図示する場合には、１０個のワークキャリアつまりキャ
リア１７が配置されており、それぞれのキャリア１７は
外周部に外歯歯車が形成されている。それぞれのキャリ
ア１７には、ワークである磁気ディスク用アルミニウム
基板Ｗを収容するための円形の保持孔１８が５つずつ形
成されており、キャリア１７の厚みは、ワークＷの厚み
よりも薄く形成されている。図示する場合には、太陽歯
車１５と内歯歯車１６とキャリア１７のピッチ円直径の
比は、2.５：4.５：１となっているが、この比を３：
５：１あるいは２：４：１にするなど任意の比に設定す
ることができる。

【００２０】それぞれのキャリア１７を太陽歯車１５と
内歯歯車１６とに噛み合わせた状態で太陽歯車１５を回
転させると、内歯歯車１６は固定されているので、それ
ぞれのキャリア１７は自転しながら太陽歯車１５の周り
を公転することになり、ワークＷはキャリア１７によっ
て水平面内において上下の研磨マット１４，１２の間で
これらに接触しながら水平方向に移動することになる。

【００２１】図２は研磨装置１０の下側定盤１１を駆動
するための装置本体部を示す図であり、この中に下側定
盤１１を回転する機構と上下動する機構とが組み込まれ
ている。

【００２２】図示するように、台座２３に設けられた支
持台２４には軸受により回転自在に筒状の駆動体２５が
組み込まれており、この駆動体２５の中空孔内には、上
端部で下側定盤１１に固定された中空の駆動軸２６が設
けられている。駆動体２５の回転を駆動軸２６に伝達す
るとともに、駆動軸２６を駆動体２５に対して上下方向
に移動自在とするために、駆動軸２６と駆動体２５との
間にはすべりキー２７が設けられている。駆動軸２６の
中空孔内には、上端部で太陽歯車１５に固定された回転
軸２８が回転自在に設けられており、この回転軸２８は
その下端部で軸受により支持されている。

【００２３】下側定盤１１を回転駆動するために、駆動
体２５にはプーリー２９が固定され、このプーリー２９
に掛け渡されるタイミングベルトをモータにより駆動す
ることにより、下側定盤１１は所定の方向に回転駆動さ
れる。また、太陽歯車１５を回転駆動するために、回転
軸２８の下端部には図示しないプーリーが固定され、こ
れをモータにより回転駆動することにより、太陽歯車１
５は下側定盤１１とは別の駆動源により駆動されるよう
になっている。

【００２４】下側定盤１１を上下方向に移動するため
に、支持台２４に形成された収容スペース内には軸受を
介して駆動プレート３１が駆動軸２６に取り付けられて
おり、支持台２４に回転自在に取り付けられた複数のボ
ールねじ３２に噛み合うボールナット３３が駆動プレー
ト３１に設けられている。それぞれのボールねじ３２に
は駆動歯車３４が連結されており、駆動歯車３４をモー
タにより回転駆動することにより、駆動軸２６を介して
下側定盤１１は所定のストロークで上下方向に移動され
る。

【００２５】図３は上側定盤１３を示す正面側断面図で
あり、上側定盤１３のブラケット１３ａは、環状の外周
部材３５と中間部材３６と中心部材３７とを有し、これ
らが一体となり、上側定盤１３は、全体として中空孔を
有することなく、高い剛性を有している。

【００２６】上側定盤１３の上方には駆動体３８が配置
されており、この駆動体３８は上側定盤１３に対して駆
動ロッド３９により上側定盤１３の外周部おいて連結さ
れている。駆動体３８を上下動することにより上側定盤
１３は上下方向に駆動され、駆動体３８を回転駆動する
ことにより上側定盤１３は回転駆動される。このよう
に、上側定盤１３をその外周部に連結された複数本の駆
動ロッド３９を介して駆動するとともに、上側定盤１３
のブラケット１３ａは、環状の定盤本体１３ｂが取り付
けられた外周部材３５と、他の２つの部材３６，３７と
により剛性が高く設定されているので、研磨に際して上
側定盤１３の変形が回避され、上側研磨マット１４も変
形することなく、高い精度でワークＷを研磨つまりラッ
ピング、ポリッシングを行うことができる。

【００２７】図４〜図９は本発明の一実施の形態である
ドレッシング装置を示す図であり、図１〜図３に示した
研磨装置の外側には台座４０が設置され、この台座４０
の上には上下動自在に支持台４１が取り付けられてい
る。支持台４１の上下動を案内するために、支持台４１
に取り付けられたガイドロッド４２が台座４０に取り付
けられたスリーブ４２ａに上下方向に摺動自在に嵌合し
ている。支持台４１を上下動するために、台座４０に取
り付けられた空気圧シリンダ４３のピストンロッド４３
ａが支持台４１に連結されている。

【００２８】この支持台４１の上面には２本のガイドレ
ール４４が相互に平行となって固定され、それぞれのガ
イドレール４４に沿って摺動する摺動ブロック４５ａが
第１スライドテーブル４５に取り付けられており、第１
スライドテーブル４５はそれぞれのガイドレール４４に
沿って直線方向に往復動自在となっている。この第１ス
ライドテーブル４５にはホルダー４６が取り付けられて
いる。

【００２９】前記ガイドレール４４に沿って摺動する摺
動ブロック４７ａが第２スライドテーブル４７に取り付
けられており、第２スライドテーブル４７はそれぞれの
ガイドレール４４に沿って直線方向に往復動自在となっ
ている。この第２スライドテーブル４７には、図６およ
び図７に示すように、ローラ４８を有する偏心カム４９
が回転自在に装着されており、ローラ４８はモータ５０
のシャフトの回転中心に対して所定の距離だけずれた位
置が回転中心となっている。ホルダー４６に取り付けら
れたブラケット５１には、ローラ４８が係合しており、
モータ５０を駆動すると、第１スライドテーブル４５が
第２スライドテーブル４７に対して接近離反する方向に
揺動運動するようになっている。

【００３０】第１スライドテーブル４５を第２スライド
テーブル４７とともに一体にガイドレール４４に沿って
往復動するために、支持台４１には空気圧により作動す
るロッドレスシリンダ５２が取り付けられ、このロッド
レスシリンダ５２により駆動されるスライダに、第２ス
ライドテーブル４７が連結されている。したがって、ロ
ッドレスシリンダ５２を駆動して、第２スライドテーブ
ル４７を図４に示す位置よりも左方向に前進移動させる
と、ブラケット５１を介して第１スライドテーブル４５
も前進移動することになる。

【００３１】第２スライドテーブル４７にはロックピン
５３を上下方向に駆動する空気圧シリンダ５４が取り付
けられており、図５に示すように、支持台４１にはロッ
クピン５３が嵌合する固定筒体５５が取り付けられてい
る。したがって、ロッドレスシリンダ５２を駆動して第
２スライドテーブル４７を第１スライドテーブル４５と
ともに所定の前進位置まで移動させた状態で、空気圧シ
リンダ５４を作動させると、ロックピン５３が固定筒体
５５の孔の中に嵌合されて、第２スライドテーブル４７
は支持台４１に対してロックされることになる。

【００３２】第１スライドテーブル４５に固定されたホ
ルダー４６には、スクレーパー５６が取り付けられてい
る。スクレーパー５６は、図５、図８および図９に示さ
れるように、上下両面に取付面を有する板状部材からな
りホルダー４６に取り付けられる本体部５７と、この本
体部５７の上下の取付面にそれぞれ取り付けられる上下
のブレードホルダー５８、５９とを有している。

【００３３】それぞれのブレードホルダー５８，５９に
は、上側と下側に１つずつスクレーパーブレード６１，
６２が複数のねじ部材により取り付けられている。それ
ぞれのスクレーパーブレード６１，６２は金属製の長方
形の板材により形成されており、図９に示されるように
ブレードホルダー５８，５９に対して幅方向が傾斜角度
θで傾斜して取り付けられている。それぞれのスクレー
パーブレード６１，６２のうち研磨マット１２，１４に
対向する面は、研磨マット１２，１４が回転してスクレ
ーパーブレードに対して移動する際における上流側の部
分に対向するようになっている。この傾斜角度θは、た
とえば、３０度や６０度など任意の角度に設定すること
ができる。

【００３４】さらに、それぞれのスクレーパーブレード
６１，６２は、エッジ部がスクレーパー５６の往復動方
向に対して所定の角度αだけ傾斜しており、傾斜角度α
は上側のスクレーパーブレード６１と下側のスクレーパ
ーブレード６２とでは、図５に示すように、相互に逆方
向となっている。上側のスクレーパーブレド６１は１枚
のブレードが上側の研磨パッド１４の幅全体に接触する
ようになっており、下側のスクレーパーブレード６２も
同様に下側の研磨パッド１２の幅全体に接触するように
なっている。

【００３５】上下のブレードホルダー５８，５９には、
研磨マット１２，１４に水などの洗浄液を供給するため
の多数のノズル６３がそれぞれのスクレーパーブレード
６１，６２に沿って形成されており、それぞれのノズル
６３には、本体部５７に形成された流路から洗浄液が供
給されるようになっている。

【００３６】なお、図９に示すように、本体部５７の両
側に洗浄ブロック６４を取り付けてそれぞれに洗浄液を
噴出するノズル６５を設け、前記ノズル６３に加えてノ
ズル６５からも洗浄液を研磨マット１２，１４に吹き付
けるようにしても良い。

【００３７】次に、前述したドレッシング装置により研
磨装置の研磨マット１２，１４に食い込んだ砥粒や切り
粉などの固形物を取り除き、目出し処理つまりドレッシ
ングを行う手順について説明する。

【００３８】研磨装置１０による研磨作業が終了した後
には上側定盤１３を上昇させて研磨処理されたワークＷ
がキャリア１７から取り出される。この状態のもとでそ
れぞれの研磨マット１２，１４の研磨面を目出し処理す
るには、図５に示すように、太陽歯車１５の回転中心と
スクレーパー５６とを結ぶ直線上に、複数のキャリア１
７のうち隣り合う２つのキャリア１７相互間の隙間部分
が位置するようにキャリア１７の位置決めを行う。この
位置決め操作は、ワークＷを取り出す前に研磨作業が終
了した時に行うようにしても良い。

【００３９】次いで、支持台４１を空気圧シリンダ４３
により上昇移動させた後に、両方のスライドテーブル４
５，４７を図４において左方向に移動させて、スクレー
パー５６を前進移動させる。スクレーパー５６を前進限
位置まで移動させた状態におけるスクレーパーブレード
６１，６２が図５において二点鎖線により示されてい
る。この位置においては、第２スライドテーブル４７に
設けられた空気圧シリンダ５４のロックピン５３が固定
筒体５５の真上の位置となり、この状態で空気圧シリン
ダ５４を駆動させて固定筒体５５の孔内にロックピン５
３を嵌合させると、第２スライドテーブル４７は支持台
４１にロックされる。

【００４０】この状態のもとで、空気圧シリンダ４３を
駆動させることにより、支持台４１を下降移動させる
と、下側のスクレーパーブレード６２が隣り合うキャリ
ア１７の間の間に露出された研磨マット１２に所定の圧
力で接触することになる。さらに、上側定盤１３を下降
移動させて、上側のスクレーパーブレード６１に上側の
研磨マット１４の表面を所定の圧力で接触させる。この
状態を示すと、図８の通りである。

【００４１】この状態のもとで、太陽歯車１５を停止さ
せたまま、下側定盤１１と上側定盤１３とを回転駆動さ
せると、キャリア１７は静止した状態を保持しつつ、上
下両側の研磨マット１２，１４が上下それぞれのスクレ
ーパーブレード６１，６２のエッジに滑るようにして移
動する。このときには、それぞれのノズル６３から洗浄
液を噴出させる。これにより、研磨マット１２，１４の
回転方向とスクレーパーブレード６１，６２の角度αの
傾斜方向との関係によって、スクレーパーブレード６
１，６２に押し出された固形物は、研磨マット１２，１
４の径方向外方あるいは内方に排出される。

【００４２】また、ノズル６３から洗浄液を噴出させる
ことにより、スクレーパーブレード６１，６２による固
形物の排出移動が促進されることになり、円滑に固形物
が研磨マット１２，１４の外部に案内され、短時間でし
かもムラなく、均一に研磨マット１２，１４を目出し処
理することができる。この目出し処理に際しては、モー
タ５０を駆動させて第１スライドテーブル４５を直線方
向に往復動、つまり揺動運動させるようにしても良く、
揺動運動させないようにしても良い。

【００４３】前述した場合には、上側研磨マット１２と
下側研磨マット１４とを同時に目出し処理するようにし
ているが、上側研磨マット１２を処理した後に下側研磨
マット１４を処理するなどのように、両方の研磨マット
１２，１４を別々に処理するようにしても良い。

【００４４】図１０は他のタイプのスクレーパー５６ａ
を示す図であり、このスクレーパー５６ａにあっては、
前述したスクレーパー５６がブレードホルダー５８，５
９にねじ部材により固定されているのに対して、スクレ
ーパーブレード６１，６２は弾性変形部材６６により上
下方向に変位自在に取り付けられている。この弾性変形
部材６６は、両端にディスク部６６ａ，６６ｂと、これ
らのディスク部に一体となりこれらの間に設けられた円
筒部６６ｃとを有し、円筒部６６ｃはばね材により形成
され、螺旋状の溝が形成されている。

【００４５】弾性変形部材６６はそのディスク部６６ａ
によりブラケット６７を介してスクレーパーブレード６
１，６２に連結され、ディスク部６６ｂによりスクレー
パー５６ａの本体部５７に連結されている。円筒部６６
ｃはコイルばねと同様の構造となっており、それぞれの
スクレーパーブレード６１，６２は弾性変形部材６６に
より所定のばね力により研磨マット１２，１４に押し付
けられることになる。ただし、圧縮コイルばねや板ばね
などを弾性変形部材６６として使用するようにしても良
い。

【００４６】本体部５７にはそれぞれのスクレーパーブ
レード６１，６２に向けて洗浄液を供給するノズル６８
が設けられている。なお、このタイプのスクレーパー５
６ａにも、図９に示した洗浄ブロック６４を設け、これ
に設けられたノズル６５からも洗浄液を供給するように
しても良い。

【００４７】図１１〜図１５はさらに他のタイプのスク
レーパー５６ｂを示す図である。このスクレーパー５６
ｂは、図１１に示すように、本体部５７の上側に取り付
けられる上側ブレードホルダー５８と、下側に取り付け
られる下側ブレードホルダー５９とを有している。それ
ぞれのブレードホルダー５８，５９は、同様の構造とな
っており、図示する場合には金属により製造されている
が、樹脂や合成ゴムなどにより製造するようにしても良
い。

【００４８】上側のブレードホルダー５８は、図１１〜
図１４に示すように、ほぼ長方形状となった基部７１を
有し、この表面の中央部分には長手方向に沿って帯状の
払拭部７２が基部７１の表面よりも突出して設けられて
いる。払拭部７２の中心軸が太陽歯車１５と研磨マット
１２の回転中心を通る径方向軸と一致するようにスクレ
ーパー５６ｂは第１スライドテーブル４５に取り付けら
れている。

【００４９】払拭部７２には、図１４および図１５に示
すように、複数のスクレーパーブレード７３が所定の間
隔毎に形成されている。それぞれのスクレーパーブレー
ド７３は、図１２に示すように、払拭部７２の側面７２
ａに対して傾斜角度βで傾斜した方向に延びており、図
示する場合にこの角度βは３０°に設定されている。こ
のようにスクレーパーブレード７３は側面７２ａに対し
て傾斜していることから、払拭部７２が研磨マット１
２，１４に接触した部分における研磨マット１２，１４
の回転方向に対して、スクレーパーブレード７３は傾斜
する方向に延びている。

【００５０】それぞれのスクレーパーブレード７３の相
互間には案内溝７４が形成されており、この案内溝７４
の傾斜角度もスクレーパーブレード７３の傾斜角度βと
同一の角度となっている。それぞれのスクレーパーブレ
ード７３のエッジ部分には、図１４に示すように、Ｒ部
つまり円弧状部７３ａが形成されている。

【００５１】スクレーパー５６ａには、図１２および図
１３に示すようにそれぞれの案内溝７４に開口部７５を
有する洗浄液供給用の流路７６が形成されており、この
流路７６は本体部５７に形成された流路に連通され、外
部から案内溝７４に対しては水などの洗浄液が供給され
るようになっている。このような構造は、下側のブレー
ドホルダー５９についても同様である。

【００５２】本体部５７の上下両面には、図１１に示す
ように、ブレードホルダー５８，５９の外側に位置させ
て、複数のノズル７７が取り付けられており、それぞれ
のノズル７７から洗浄液が供給されるようになってい
る。洗浄液をそれぞれのノズル７７および流路７６に供
給するために、図１１に示すように、本体部５７には流
路７８が形成され、この流路７８には接続部７８ａに接
続されるホースなどから洗浄液が供給されるようになっ
ている。ただし、ノズル７７を設けることなく、案内溝
７４の底面に形成された開口部７５のみから洗浄液を供
給するようにしても良い。

【００５３】それぞれのタイプのスクレーパー５６ａ，
５６ｂを用いた場合にも、前述したスクレーパー５６を
用いた場合と同様の手順により研磨マット１２，１４の
ドレッシングつまり目出し処理を行うことができる。

【００５４】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００５５】たとえば、図示する場合には研磨装置に取
り付けられた研磨マットを研磨具としてこれのドレッシ
ングを行うようにしたが、研磨砥石を有する研磨装置に
も本発明を適用することができる。また、図示する場合
には、１つのスクレーパー５６，５６ａ，５６ｂに上側
と下側のブレードホルダー５８，５９を取り付けるよう
にしたが、上側のブレードホルダー５８を有するスクレ
ーパーと、下側のブレードホルダー５９を有するスクレ
ーパーとを別々に設置し、上下の研磨マットを円周方向
の別々の位置でドレッシングするようにしても良い。

【００５６】また、ドレッシング作業を行うことができ
る研磨装置としては、キャリアの数や各々のキャリアに
形成される保持孔１８の数は任意とすることができるこ
とは言うまでもない。

【００５７】さらに、ドレッシング作業を行う際に、キ
ャリアを下側の研磨マットから上昇させるようにして、
上下いずれの研磨マットにもキャリアが接触しない状態
とするようにしてドレッシングを行うようにしても良
い。

【００５８】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００５９】(1).研磨具に食い込んだ砥粒や切り粉など
の固形物は、スクレーパーブレードにより掻き出されて
確実に外部に排出される。

【００６０】(2).固形物の掻き出しは、スクレーパーブ
レードに洗浄液を流すことによって促進され、短時間で
むらなく、均一の研磨具をドレッシングすることができ
る。

【００６１】(3).ドレッシングを短時間で迅速に行うこ
とができるので、ドレッシングを含めたワークの研磨作
業を迅速に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態であるドレッシング装置
が適用される研磨装置を示す一部切り欠き斜視図であ
る。

【図２】図１に示された研磨装置の下側部分を示す断面
図である。

【図３】図１に示された研磨装置の上側部分を示す断面
図である。

【図４】研磨装置に隣接した配置された本発明の一実施
の形態であるドレッシング装置を示す正面図である。

【図５】図４の平面図である。

【図６】図５の拡大右側面図である。

【図７】図６における７−７線に沿う部分を示す矢視図
である。

【図８】ドレッシングしている状態を示す断面図であ
る。

【図９】スクレーパーの断面図である。

【図１０】他のタイプのスクレーパーを示す側面図であ
る。

【図１１】他のタイプのスクレーパーを示す一部切り欠
き斜視図である。

【図１２】図１１に示されたスクレーパーを示す平面図
である。

【図１３】図１２における１３−１３線に沿う断面図で
ある。

【図１４】図１２における１４−１４線に沿う拡大断面
図である。

【図１５】スクレーパーの払拭部の一部分を示す拡大斜
視図である。

【符号の説明】

１０ 研磨装置 １１ 下側定盤 １２ 下側研磨マット １３ 上側定盤 １４ 上側研磨マット １５ 太陽歯車 １６ 内歯歯車 １７ キャリア １８ 保持孔 ２５ 駆動体 ２６ 駆動軸 ２８ 回転軸 ４０ 台座 ４１ 支持台 ４２ ガイドロッド ４３ 空気圧シリンダ ４４ ガイドレール ４５ 第１スライドテーブル ４６ ホルダー ４９ 偏心カム ５０ モータ ５１ ブラケット ５２ ロッドレスシリンダ ５３ ロックピン ５４ 空気圧シリンダ ５５ 固定筒体 ５６，５６ａ，５６ｂ スクレーパー ５７ 本体部 ５８，５９ ブレードホルダー ６１，６２ スクレーパーブレード ６３ ノズル ６４ 洗浄ブロック ７１ 基部 ７２ 払拭部 ７３ スクレーパーブレード ７４ 案内溝 ７５ 開口部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 環状の下側研磨具が設けられ水平面内に
   おいて回転する下側定盤と、環状の上側研磨具が設けら
   れ前記下側定盤に対向して回転する上側定盤とを有する
   研磨装置における前記研磨具の表面をドレッシングする
   研磨具のドレッシング方法であって、 前記下側定盤と前記上側定盤との間にスクレーパーを進
   入させる工程と、 前記スクレーパーに設けられたスクレーパーブレードを
   前記下側研磨具と前記上側研磨具とのいずれか一方に接
   触させる工程と、 前記スクレーパーブレードが接触した研磨具を有する定
   盤を回転させて、その定盤の回転方向に対して傾斜した
   方向に前記スクレーパーブレードに前記研磨具を滑らせ
   る工程と、 前記研磨具に付着した固形物を、前記スクレーパーブレ
   ードにより案内して前記研磨具の径方向外方あるいは内
   方に排出する工程とを有することを特徴とする研磨具の
   ドレッシング方法。
2. 【請求項２】 水平面内において回転する下側定盤に環
   状に設けられた下側研磨具の上に配置され、前記研磨具
   の内側に回転自在に配置された太陽歯車と前記研磨具の
   外側に固定された内歯歯車とにそれぞれ噛み合う複数の
   キャリアの相互間にスクレーパーを進入させる工程と、 前記スクレーパーの下側に設けられた下側のスクレーパ
   ーブレードを前記下側研磨具に接触させ、かつ前記下側
   定盤に対向して回転する上側定盤に設けられた上側研磨
   具に前記スクレーパーの上側に設けられた上側のスクレ
   ーパーブレードを接触させる工程と、 前記太陽歯車を停止した状態で前記下側定盤と前記上側
   定盤とを回転させて、前記下側のスクレーパーブレード
   と前記上側のスクレーパーブレードとに、それぞれ前記
   上下両側の回転定盤の回転方向に対して傾斜させて前記
   下側研磨具と前記上側研磨具とを滑らせる工程と、 前記上下両側の研磨具に付着した固形物を、前記下側の
   スクレーパーブレードと前記上側のスクレーパーブレー
   ドに案内させて前記それぞれの研磨具の径方向外方ある
   いは内方に排出する工程とを有することを特徴とする研
   磨具のドレッシング方法。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の研磨具のドレッ
   シング方法であって、前記スクレーパーブレードに洗浄
   液を供給して前記固形物を排出するようにしたことを特
   徴とする研磨具のドレッシング方法。
4. 【請求項４】 水平面内において回転する下側定盤の上
   面に設けられた下側研磨具と、 前記下側定盤に対向して回転する上側定盤の下面に設け
   られた上側研磨具と、 前記下側定盤の回転中心部を回転中心として回転する太
   陽歯車と、 前記下側研磨具の外側に固定された内歯歯車と、 それぞれ前記太陽歯車と前記内歯歯車とに噛み合った状
   態で前記下側研磨具の上に載置され、ワークを保持する
   複数の保持孔が形成された複数のキャリアと、 前記複数のキャリアのうち隣接する２つのキャリア相互
   間に進入する前進位置とこの前進位置から退避する後退
   位置との間に移動自在に前記内歯歯車の外方に配置され
   たスクレーパーとを有し、 前記研磨具の回転方向に対して傾斜した方向に延び、か
   つ前記研磨具に接触するスクレーパーブレードを前記ス
   クレーパーに設け、 前記研磨具に付着した固形物を、前記スクレーパーブレ
   ードにより案内して前記研磨具の径方向外方あるいは内
   方に排出するようにしたことを特徴とする研磨具のドレ
   ッシング装置。
5. 【請求項５】 水平面内において回転する下側定盤の上
   面に設けられた下側研磨具と、 前記下側定盤に対向して回転する上側定盤の下面に設け
   られた上側研磨具と、 前記下側定盤の回転中心部を回転中心として回転する太
   陽歯車と、 前記下側研磨具の外側に固定された内歯歯車と、 それぞれ前記太陽歯車と前記内歯歯車とに噛み合った状
   態で前記下側研磨具の上に載置され、ワークを保持する
   複数の保持孔が形成された複数のキャリアと、 前記複数のキャリアのうち相互に隣接する２つのキャリ
   ア相互間に進入する前進位置とこの前進位置から退避す
   る後退位置との間に移動自在に前記内歯歯車の外方に配
   置されたスクレーパーとを有し、 前記下側研磨具の回転方向に対して傾斜した方向に延
   び、かつ前記下側研磨具に接触する下側のスクレーパー
   ブレードを前記スクレーパーの下側に設け、 前記上側研磨具の回転方向に対して傾斜した方向に延
   び、かつ前記上側研磨具に接触する上側のスクレーパー
   ブレードを前記スクレーパーの上側に設け、 前記下側研磨具と前記上側研磨具とに付着した固形物
   を、前記下側のスクレーパーブレードと前記上側のスク
   レーパーブレードとにより案内して、前記それぞれの研
   磨具の径方向外方あるいは内方に同時に排出するように
   したことを特徴とする研磨具のドレッシング装置。