JPH11287288A - 防振装置 - Google Patents
防振装置Info
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- JPH11287288A JPH11287288A JP8908998A JP8908998A JPH11287288A JP H11287288 A JPH11287288 A JP H11287288A JP 8908998 A JP8908998 A JP 8908998A JP 8908998 A JP8908998 A JP 8908998A JP H11287288 A JPH11287288 A JP H11287288A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 搭載機器設計上の簡素化を図るとともに、構
造の簡素化およびコストの低廉化を図る。 【解決手段】 精密機器Ｓを搭載する支持台３と、この
支持台３と基準面との間に配設され精密機器Ｓの振動を
吸収する空気ばね４とを備え、この空気ばね４は、支持
台３の振動による調整弁５の開閉によってばね定数が可
変するベローズ４ａ，４ｂからなる構成としてある。
造の簡素化およびコストの低廉化を図る。 【解決手段】 精密機器Ｓを搭載する支持台３と、この
支持台３と基準面との間に配設され精密機器Ｓの振動を
吸収する空気ばね４とを備え、この空気ばね４は、支持
台３の振動による調整弁５の開閉によってばね定数が可
変するベローズ４ａ，４ｂからなる構成としてある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば精密機器や
測定機器を支持台に搭載する場合に使用して好適な防振
装置に関する。
測定機器を支持台に搭載する場合に使用して好適な防振
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、精密機器等を床面上に設置する
場合、床面から伝達される振動を吸収し、精密機器側へ
の振動伝達を阻止するための防振装置が用いられる。従
来、この種の防振装置には、一定のばね定数をもつ振動
吸収体を備えたものが採用されている。
場合、床面から伝達される振動を吸収し、精密機器側へ
の振動伝達を阻止するための防振装置が用いられる。従
来、この種の防振装置には、一定のばね定数をもつ振動
吸収体を備えたものが採用されている。
【０００３】これは、機器を搭載する基台と、この基台
と床面との間に配設され機器への振動を吸収する振動吸
収体とを備えている。このように構成された防振装置に
おいては、床面からの振動が振動吸収体に伝達される
と、振動吸収体によって振動が吸収される。
と床面との間に配設され機器への振動を吸収する振動吸
収体とを備えている。このように構成された防振装置に
おいては、床面からの振動が振動吸収体に伝達される
と、振動吸収体によって振動が吸収される。
【０００４】また、従来の防振装置には、特開平６―２
６４９６４号公報に「除振台」として開示されたものが
知られている。これは、床面上に吸振体を介して設置さ
れた基台と、この基台の上方に配設され機器を搭載する
機器取付台と、この機器取付台と基台との間に介装され
高周波微小振幅の振動を吸収するための圧電素子付きの
振動吸収装置と、この振動吸収装置の圧電素子に対する
印加電圧を基台および機器取付台の振動に基づいて制御
するコントローラとを備えている。
６４９６４号公報に「除振台」として開示されたものが
知られている。これは、床面上に吸振体を介して設置さ
れた基台と、この基台の上方に配設され機器を搭載する
機器取付台と、この機器取付台と基台との間に介装され
高周波微小振幅の振動を吸収するための圧電素子付きの
振動吸収装置と、この振動吸収装置の圧電素子に対する
印加電圧を基台および機器取付台の振動に基づいて制御
するコントローラとを備えている。
【０００５】このように構成された防振装置において
は、床面からの振動が吸振体に伝達されると、吸振体の
内部摩擦によって共振点付近の振動が吸収され、振動吸
収装置によって高周波微小振幅の振動が減衰される。
は、床面からの振動が吸振体に伝達されると、吸振体の
内部摩擦によって共振点付近の振動が吸収され、振動吸
収装置によって高周波微小振幅の振動が減衰される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前者（振動吸
収体をもつもの）にあっては、振動吸収体のばね定数が
一定であるため、振動系が共振すると、機器の振動加速
度が入力加速度より大きくなる。この結果、共振による
加速度を考慮して搭載機器を設計する必要が生じ、搭載
機器の設計を面倒なものにするという問題があった。
収体をもつもの）にあっては、振動吸収体のばね定数が
一定であるため、振動系が共振すると、機器の振動加速
度が入力加速度より大きくなる。この結果、共振による
加速度を考慮して搭載機器を設計する必要が生じ、搭載
機器の設計を面倒なものにするという問題があった。
【０００７】一方、後者（吸振体および振動吸収装置を
もつもの）にあっては、凹部付きのゴムおよび圧電素子
に加え、非圧縮性液体を充填する液室を有する外筒金
具，この外筒金具の液室と空気室とを画成する封止板お
よびこの封止板を外筒金具内に弾性保持する環状ゴム等
を必要とするものであるため、部品点数が嵩み、構造を
複雑にするばかりか、コスト高になるという問題があっ
た。
もつもの）にあっては、凹部付きのゴムおよび圧電素子
に加え、非圧縮性液体を充填する液室を有する外筒金
具，この外筒金具の液室と空気室とを画成する封止板お
よびこの封止板を外筒金具内に弾性保持する環状ゴム等
を必要とするものであるため、部品点数が嵩み、構造を
複雑にするばかりか、コスト高になるという問題があっ
た。
【０００８】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、搭載機器設計上の簡素化を図ることができると
ともに、構造の簡素化およびコストの低廉化を図ること
ができる防振装置の提供を目的とする。
もので、搭載機器設計上の簡素化を図ることができると
ともに、構造の簡素化およびコストの低廉化を図ること
ができる防振装置の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の請求項１記載の防振装置は、機器を搭載す
る支持台と、この支持台と基準面との間に配設され機器
の振動を吸収する空気ばねとを備え、この空気ばねは、
支持台の振動による調整弁の開閉によってばね定数が可
変する空気ばねからなる構成としてある。したがって、
支持台に対する振動の印加によって調整弁が開閉する
と、空気ばねのばね定数が変化する。
に、本発明の請求項１記載の防振装置は、機器を搭載す
る支持台と、この支持台と基準面との間に配設され機器
の振動を吸収する空気ばねとを備え、この空気ばねは、
支持台の振動による調整弁の開閉によってばね定数が可
変する空気ばねからなる構成としてある。したがって、
支持台に対する振動の印加によって調整弁が開閉する
と、空気ばねのばね定数が変化する。
【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の防
振装置において、空気ばねがベローズからなる構成とし
てある。したがって、支持台に対する振動の印加によっ
て調整弁が開閉すると、ベローズのばね定数が変化す
る。
振装置において、空気ばねがベローズからなる構成とし
てある。したがって、支持台に対する振動の印加によっ
て調整弁が開閉すると、ベローズのばね定数が変化す
る。
【００１１】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載の防振装置において、空気ばねが、円周方向に所定
の間隔をもって並列する複数の空気ばねからなる構成と
してある。したがって、支持台が振動すると、この振動
が複数の空気ばねによって吸収される。
記載の防振装置において、空気ばねが、円周方向に所定
の間隔をもって並列する複数の空気ばねからなる構成と
してある。したがって、支持台が振動すると、この振動
が複数の空気ばねによって吸収される。
【００１２】請求項４記載の発明は、請求項１，２また
は３記載の防振装置において、調整弁が電磁弁からなる
構成としてある。したがって、支持台に対する振動の印
加によって電磁弁が開閉すると、空気ばねのばね定数が
変化する。
は３記載の防振装置において、調整弁が電磁弁からなる
構成としてある。したがって、支持台に対する振動の印
加によって電磁弁が開閉すると、空気ばねのばね定数が
変化する。
【００１３】請求項５記載の発明は、請求項４記載の防
振装置において、空気ばねの圧力変動を検出する圧力セ
ンサおよびこの圧力センサによる検出圧力に対応する振
動数値と予め設定された規定値とを比較して電磁弁を開
閉制御するコントローラを有する構成としてある。した
がって、圧力センサが空気ばねの圧力変動を検出する
と、この検出圧力に対応する振動数値と予め設定された
規定値とを比較し、この比較結果に基づいてコントロー
ラが電磁弁を開閉制御する。
振装置において、空気ばねの圧力変動を検出する圧力セ
ンサおよびこの圧力センサによる検出圧力に対応する振
動数値と予め設定された規定値とを比較して電磁弁を開
閉制御するコントローラを有する構成としてある。した
がって、圧力センサが空気ばねの圧力変動を検出する
と、この検出圧力に対応する振動数値と予め設定された
規定値とを比較し、この比較結果に基づいてコントロー
ラが電磁弁を開閉制御する。
【００１４】請求項６記載の発明は、請求項５記載の防
振装置において、規定値を、所定の周波数範囲内にある
数値とする構成としてある。したがって、比較結果が、
圧力センサによる検出圧力に対応する振動数値と予め設
定された周波数範囲内にある数値とを比較することによ
り得られる。
振装置において、規定値を、所定の周波数範囲内にある
数値とする構成としてある。したがって、比較結果が、
圧力センサによる検出圧力に対応する振動数値と予め設
定された周波数範囲内にある数値とを比較することによ
り得られる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につき、
図面を参照して説明する。図１は本発明の第一実施形態
に係る防振装置の概略を示す断面図（図３のＡ−Ａ断面
図）、図２は同じく本発明の第一実施形態に係る防振装
置の内部構造を示す斜視図、図３は本発明の第一実施形
態に係る防振装置の使用例を示す斜視図である。同図に
おいて、符号１で示す防振装置は、四つの防振装置から
なり、装置筐体２と支持台３と空気ばね４と調整弁５と
圧力センサ６とコントローラ７とを備えている。これに
より、精密機器Ｓを弾性保持し、精密機器Ｓの振動が吸
収される。
図面を参照して説明する。図１は本発明の第一実施形態
に係る防振装置の概略を示す断面図（図３のＡ−Ａ断面
図）、図２は同じく本発明の第一実施形態に係る防振装
置の内部構造を示す斜視図、図３は本発明の第一実施形
態に係る防振装置の使用例を示す斜視図である。同図に
おいて、符号１で示す防振装置は、四つの防振装置から
なり、装置筐体２と支持台３と空気ばね４と調整弁５と
圧力センサ６とコントローラ７とを備えている。これに
より、精密機器Ｓを弾性保持し、精密機器Ｓの振動が吸
収される。
【００１６】装置筐体２は、円筒体８および底面板９を
有している。円筒体８は下方に開口する有頭筒体からな
り、上面中央部には軸線方向に開口する貫通孔８ａが設
けられている。底面板９は、円筒体８の下方開口部を閉
塞する円板からなり、床面（図示せず）に設置されてい
る。底面板９の外径は、円筒体８の外径より大きな寸法
に設定されている。
有している。円筒体８は下方に開口する有頭筒体からな
り、上面中央部には軸線方向に開口する貫通孔８ａが設
けられている。底面板９は、円筒体８の下方開口部を閉
塞する円板からなり、床面（図示せず）に設置されてい
る。底面板９の外径は、円筒体８の外径より大きな寸法
に設定されている。
【００１７】支持台３は、貫通孔８ａを挿通する連結軸
３ａおよびこの連結軸３ａを介して互いに対向する上下
二つの円形受台３ｂ、３ｃからなり、底面板９上に空気
ばね４を介して弾性保持されている。これにより、支持
台３に振動が印加されると、空気ばね４が伸縮する。円
形受台３ｂは装置筐体２外に露呈し、上部には精密機器
Ｓが搭載される。円形受台３ｃは装置筐体２に内蔵さ
れ、かつ空気ばね４に連結されている。
３ａおよびこの連結軸３ａを介して互いに対向する上下
二つの円形受台３ｂ、３ｃからなり、底面板９上に空気
ばね４を介して弾性保持されている。これにより、支持
台３に振動が印加されると、空気ばね４が伸縮する。円
形受台３ｂは装置筐体２外に露呈し、上部には精密機器
Ｓが搭載される。円形受台３ｃは装置筐体２に内蔵さ
れ、かつ空気ばね４に連結されている。
【００１８】空気ばね４は、連結軸３ａの延長軸線の円
周方向に等間隔をもって並列する二つのベローズ４ａ，
４ｂからなり、下方の円形受台３ｃと基準面（図示せ
ず）上の底面板９との間に介装され、かつ装置筐体２内
に収納されている。調整弁５は、コントローラ７の制御
によって開閉する電磁弁からなり、一方のベローズ４ａ
に連結され、かつ装置筐体２内に収納されている。これ
により、コントローラ７の制御によって調整弁５が開閉
すると、ベローズ４ａのばね定数が変化する。すなわ
ち、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力が一定値を超えた場合
には、調整弁５が開放し、ベローズ４ａのばね定数が変
化する。一方、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力が一定の範
囲内である場合には、調整弁５が閉塞したままである。
周方向に等間隔をもって並列する二つのベローズ４ａ，
４ｂからなり、下方の円形受台３ｃと基準面（図示せ
ず）上の底面板９との間に介装され、かつ装置筐体２内
に収納されている。調整弁５は、コントローラ７の制御
によって開閉する電磁弁からなり、一方のベローズ４ａ
に連結され、かつ装置筐体２内に収納されている。これ
により、コントローラ７の制御によって調整弁５が開閉
すると、ベローズ４ａのばね定数が変化する。すなわ
ち、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力が一定値を超えた場合
には、調整弁５が開放し、ベローズ４ａのばね定数が変
化する。一方、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力が一定の範
囲内である場合には、調整弁５が閉塞したままである。
【００１９】圧力センサ６は、他方のベローズ４ｂの圧
力変動を検出する圧力センサからなり、コントローラ７
に接続され、かつ装置筐体２内に収納されている。これ
により、圧力センサ６が他方のベローズ４ｂ内の圧力変
動を検出すると、この検出信号がコントローラ７に出力
される。
力変動を検出する圧力センサからなり、コントローラ７
に接続され、かつ装置筐体２内に収納されている。これ
により、圧力センサ６が他方のベローズ４ｂ内の圧力変
動を検出すると、この検出信号がコントローラ７に出力
される。
【００２０】コントローラ７は、圧力センサ６による検
出圧力に対応する振動数値を算出し、この算出値と予め
設定された規定値とを比較して調整弁５を開閉制御する
コントローラからなり、調整弁（電磁弁）５および圧力
センサ６に接続され、かつ装置筐体２内に収納されてい
る。これにより、圧力センサ６がベローズ４ｂの圧力変
動を検出すると、この検出圧力に対応する振動数値を算
出し、この算出値と予め設定された規定値（周波数範囲
にある数値）とを比較し、この比較結果に基づいて調整
弁５を開閉制御する。
出圧力に対応する振動数値を算出し、この算出値と予め
設定された規定値とを比較して調整弁５を開閉制御する
コントローラからなり、調整弁（電磁弁）５および圧力
センサ６に接続され、かつ装置筐体２内に収納されてい
る。これにより、圧力センサ６がベローズ４ｂの圧力変
動を検出すると、この検出圧力に対応する振動数値を算
出し、この算出値と予め設定された規定値（周波数範囲
にある数値）とを比較し、この比較結果に基づいて調整
弁５を開閉制御する。
【００２１】このように構成された防振装置の動作につ
いて説明する。すなわち、支持台３の円形受台３ｂに振
動が印加されると、この振動が連結軸３ａを介して円形
受台３ｃに伝達され、ベローズ４ａ，４ｂが軸線方向に
伸縮する。このとき、圧力センサ６によってベローズ４
ｂの圧力変動が検出され、この検出信号がコントローラ
７に出力される。
いて説明する。すなわち、支持台３の円形受台３ｂに振
動が印加されると、この振動が連結軸３ａを介して円形
受台３ｃに伝達され、ベローズ４ａ，４ｂが軸線方向に
伸縮する。このとき、圧力センサ６によってベローズ４
ｂの圧力変動が検出され、この検出信号がコントローラ
７に出力される。
【００２２】そして、コントローラ７が、圧力センサ６
からの出力信号に対応する変動周波数を算出し、この算
出値と予め設定された規定値（所定の周波数範囲内）と
を比較し、この比較結果に基づいて調整弁５を開閉す
る。
からの出力信号に対応する変動周波数を算出し、この算
出値と予め設定された規定値（所定の周波数範囲内）と
を比較し、この比較結果に基づいて調整弁５を開閉す
る。
【００２３】この場合、初期状態における振動系の固有
振動数ω１は、振動系の質量をｍとし、各ベローズ４
ａ，４ｂのばね定数をｋ１，ｋ２とすると、ω１＝√
｛（ｋ１＋ｋ２）／ｍ｝で表わされる。そして、支持台
３の振動によってベローズ４ａ，４ｂの内部圧力が増大
して一定値を超えると、振動系が共振し始め、その振幅
が大きくなり、圧力センサ６による検出圧力に対応する
振動数が固有振動数ω１に近似する数値となる。
振動数ω１は、振動系の質量をｍとし、各ベローズ４
ａ，４ｂのばね定数をｋ１，ｋ２とすると、ω１＝√
｛（ｋ１＋ｋ２）／ｍ｝で表わされる。そして、支持台
３の振動によってベローズ４ａ，４ｂの内部圧力が増大
して一定値を超えると、振動系が共振し始め、その振幅
が大きくなり、圧力センサ６による検出圧力に対応する
振動数が固有振動数ω１に近似する数値となる。
【００２４】ここで、調整弁５の開放によってベローズ
４ａのばね定数が変化し、振動系の固有振動数ω２がω
２＝√（ｋ１／ｍ）となる。なお、ベローズ４ａ，４ｂ
の内部圧力が一定値を超えない場合には、圧力センサ６
による検出圧力に対応する振動数が固有振動数ω１に近
似せず、調整弁５を閉塞したままである。
４ａのばね定数が変化し、振動系の固有振動数ω２がω
２＝√（ｋ１／ｍ）となる。なお、ベローズ４ａ，４ｂ
の内部圧力が一定値を超えない場合には、圧力センサ６
による検出圧力に対応する振動数が固有振動数ω１に近
似せず、調整弁５を閉塞したままである。
【００２５】したがって、本実施形態においては、空気
ばね４のばね定数が振動系の振動に応じて変化するか
ら、振動系の共振を確実に抑制することができ、精密機
器Ｓの振動加速度が入力加速度より大きくなることがな
い。また、本実施形態において、調整弁５の開閉によっ
て空気ばね４（ベローズ４ａ）のばね定数を変化させ、
振動系の共振を抑制できることは、部品点数を削減する
ことができる。
ばね４のばね定数が振動系の振動に応じて変化するか
ら、振動系の共振を確実に抑制することができ、精密機
器Ｓの振動加速度が入力加速度より大きくなることがな
い。また、本実施形態において、調整弁５の開閉によっ
て空気ばね４（ベローズ４ａ）のばね定数を変化させ、
振動系の共振を抑制できることは、部品点数を削減する
ことができる。
【００２６】次に、本発明の第二実施形態に係る防振装
置につき、図４および図５を用いて説明する。図４は本
発明の第二実施形態に係る防振装置の概略を示す断面
図、図５は同じく本発明の第二実施形態に係る防振装置
の内部構造を示す斜視図で、同図において図１および図
２と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説
明は省略する。同図において、符号２１で示す防振装置
は、装置筐体２と支持台３と空気ばね４と調整弁２５と
を備えている。
置につき、図４および図５を用いて説明する。図４は本
発明の第二実施形態に係る防振装置の概略を示す断面
図、図５は同じく本発明の第二実施形態に係る防振装置
の内部構造を示す斜視図で、同図において図１および図
２と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説
明は省略する。同図において、符号２１で示す防振装置
は、装置筐体２と支持台３と空気ばね４と調整弁２５と
を備えている。
【００２７】調整弁２５は、ベローズ４ａの圧力変動に
よって開閉する調整弁からなり、一方のベローズ４ａに
連結され、かつ装置筐体２内に収納されている。これに
より、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力変化によって調整弁
２５が開閉すると、ベローズ４ａのばね定数が変化す
る。すなわち、ベローズ４ａ内の圧力が一定値を越えた
場合には、調整弁５が開放し、ベローズ４ａのばね定数
が変化する。一方、ベローズ４ａ内の圧力が一定の範囲
内である場合には、調整弁５が閉塞したままである。
よって開閉する調整弁からなり、一方のベローズ４ａに
連結され、かつ装置筐体２内に収納されている。これに
より、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力変化によって調整弁
２５が開閉すると、ベローズ４ａのばね定数が変化す
る。すなわち、ベローズ４ａ内の圧力が一定値を越えた
場合には、調整弁５が開放し、ベローズ４ａのばね定数
が変化する。一方、ベローズ４ａ内の圧力が一定の範囲
内である場合には、調整弁５が閉塞したままである。
【００２８】このように構成された防振装置の動作につ
いて説明する。すなわち、支持台３の円形受台３ｂに振
動が印加されると、この振動が連結軸３ａを介して円形
受台３ｃに伝達され、ベローズ４ａ，４ｂが軸線方向に
伸縮する。そして、ベローズ４ｂ内の圧力変動に応じて
調整弁５が開閉する。
いて説明する。すなわち、支持台３の円形受台３ｂに振
動が印加されると、この振動が連結軸３ａを介して円形
受台３ｃに伝達され、ベローズ４ａ，４ｂが軸線方向に
伸縮する。そして、ベローズ４ｂ内の圧力変動に応じて
調整弁５が開閉する。
【００２９】この場合、初期状態における振動系の固有
振動数ω１は、振動系の質量をｍとし、各ベローズ４
ａ，４ｂのばね定数をｋ１，ｋ２とすると、ω１＝√
｛（ｋ１＋ｋ２）／ｍ｝となる。そして、支持台３の振
動によって両ベローズ４ａ，４ｂの内部圧力が増大して
一定値を超えると、振動系が共振し始め、その振幅が大
きくなり、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力に対応する振動
系の振動数が固有振動数ω１に近似する数値となる。
振動数ω１は、振動系の質量をｍとし、各ベローズ４
ａ，４ｂのばね定数をｋ１，ｋ２とすると、ω１＝√
｛（ｋ１＋ｋ２）／ｍ｝となる。そして、支持台３の振
動によって両ベローズ４ａ，４ｂの内部圧力が増大して
一定値を超えると、振動系が共振し始め、その振幅が大
きくなり、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力に対応する振動
系の振動数が固有振動数ω１に近似する数値となる。
【００３０】ここで、調整弁５の開放によってベローズ
４ａのばね定数が変化し、振動系の固有振動数ω２がω
２＝√（ｋ１／ｍ）となる。なお、ベローズ４ａ，４ｂ
の内部圧力が一定値を超えない場合には、振動系の振動
数が固有振動数ω１に近似せず、調整弁５が閉塞したま
まである。
４ａのばね定数が変化し、振動系の固有振動数ω２がω
２＝√（ｋ１／ｍ）となる。なお、ベローズ４ａ，４ｂ
の内部圧力が一定値を超えない場合には、振動系の振動
数が固有振動数ω１に近似せず、調整弁５が閉塞したま
まである。
【００３１】したがって、本実施形態においては、第一
実施形態と同様に、空気ばね４のばね定数が振動系の振
動に応じて変化するから、振動系の共振を確実に抑制す
ることができ、精密機器Ｓの振動加速度が入力加速度よ
り大きくなることがない。また、本実施形態において、
振動系の共振を抑制して部品点数を削減できることは、
第一実施形態と同様である。
実施形態と同様に、空気ばね４のばね定数が振動系の振
動に応じて変化するから、振動系の共振を確実に抑制す
ることができ、精密機器Ｓの振動加速度が入力加速度よ
り大きくなることがない。また、本実施形態において、
振動系の共振を抑制して部品点数を削減できることは、
第一実施形態と同様である。
【００３２】なお、本実施形態においては、二個の空気
ばねを用いる場合について説明したが、本発明にこれに
限定されず、単数あるいは三個以上の空気ばねを用いる
ものでも実施形態と同様の効果を奏する。この場合、三
個以上の空気ばねを用いる構造では、調整弁によって各
空気ばねのばね定数を変化させてもよい。また、本実施
形態においては、空気ばねとしてベローズである場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されず、ダイヤ
フラムでもよいことは勿論である。
ばねを用いる場合について説明したが、本発明にこれに
限定されず、単数あるいは三個以上の空気ばねを用いる
ものでも実施形態と同様の効果を奏する。この場合、三
個以上の空気ばねを用いる構造では、調整弁によって各
空気ばねのばね定数を変化させてもよい。また、本実施
形態においては、空気ばねとしてベローズである場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されず、ダイヤ
フラムでもよいことは勿論である。
【００３３】この他、本実施形態においては、精密機器
を搭載する場合に適用する例について説明したが、本発
明はこれに限定適用されず、例えば測定機器を搭載する
場合にも実施形態と同様に適用可能である。
を搭載する場合に適用する例について説明したが、本発
明はこれに限定適用されず、例えば測定機器を搭載する
場合にも実施形態と同様に適用可能である。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、機
器を搭載する支持台と、この支持台と基準面との間に配
設され機器の振動を吸収する空気ばねとを備え、この空
気ばねは、支持台の振動による調整弁の開閉によってば
ね定数が可変する空気ばねからなるので、空気ばねのば
ね定数が振動系の振動に応じて変化する。
器を搭載する支持台と、この支持台と基準面との間に配
設され機器の振動を吸収する空気ばねとを備え、この空
気ばねは、支持台の振動による調整弁の開閉によってば
ね定数が可変する空気ばねからなるので、空気ばねのば
ね定数が振動系の振動に応じて変化する。
【００３５】したがって、振動系の共振を確実に抑制す
ることができるから、搭載機器の振動加速度が入力加速
度より大きくなることがなく、搭載機器設計上の簡素化
を図ることができる。また、調整弁の開閉によって空気
ばねのばね定数を変化させ、振動系の共振を抑制できる
ことは、部品点数を削減することができるから、構造の
簡素化およびコストの低廉化を図ることができる。
ることができるから、搭載機器の振動加速度が入力加速
度より大きくなることがなく、搭載機器設計上の簡素化
を図ることができる。また、調整弁の開閉によって空気
ばねのばね定数を変化させ、振動系の共振を抑制できる
ことは、部品点数を削減することができるから、構造の
簡素化およびコストの低廉化を図ることができる。
【図１】本発明の第一実施形態に係る防振装置の概略を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る防振装置の内部構
造を示す斜視図である。
造を示す斜視図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る防振装置の使用例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図４】本発明の第二実施形態に係る防振装置の概略を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図５】本発明の第二実施形態に係る防振装置の内部構
造を示す斜視図である。
造を示す斜視図である。
１ 防振装置 ２ 装置筐体 ３ 支持台 ３ａ 連結軸 ３ｂ，３ｃ 円形受台 ４ 空気ばね ４ａ，４ｂ ベローズ ５ 調整弁 ６ 圧力センサ ７ コントローラ ８ 円筒体 ９ 底面板 Ｓ 精密機器
【手続補正書】
【提出日】平成１１年２月２２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 防振装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば精密機器や
測定機器を支持台に搭載する場合に使用して好適な防振
装置に関する。
測定機器を支持台に搭載する場合に使用して好適な防振
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、精密機器等を床面上に設置する
場合、床面から伝達される振動を吸収し、精密機器側へ
の振動伝達を阻止するための防振装置が用いられる。従
来、この種の防振装置には、一定のばね定数をもつ振動
吸収体を備えたものが採用されている。
場合、床面から伝達される振動を吸収し、精密機器側へ
の振動伝達を阻止するための防振装置が用いられる。従
来、この種の防振装置には、一定のばね定数をもつ振動
吸収体を備えたものが採用されている。
【０００３】これは、機器を搭載する基台と、この基台
と床面との間に配設され機器への振動を吸収する振動吸
収体とを備えている。このように構成された防振装置に
おいては、床面からの振動が振動吸収体に伝達される
と、振動吸収体によって振動が吸収される。
と床面との間に配設され機器への振動を吸収する振動吸
収体とを備えている。このように構成された防振装置に
おいては、床面からの振動が振動吸収体に伝達される
と、振動吸収体によって振動が吸収される。
【０００４】また、従来の防振装置には、特開平６―２
６４９６４号公報に「除振台」として開示されたものが
知られている。これは、床面上に吸振体を介して設置さ
れた基台と、この基台の上方に配設され機器を搭載する
機器取付台と、この機器取付台と基台との間に介装され
高周波微小振幅の振動を吸収するための圧電素子付きの
振動吸収装置と、この振動吸収装置の圧電素子に対する
印加電圧を基台および機器取付台の振動に基づいて制御
するコントローラとを備えている。
６４９６４号公報に「除振台」として開示されたものが
知られている。これは、床面上に吸振体を介して設置さ
れた基台と、この基台の上方に配設され機器を搭載する
機器取付台と、この機器取付台と基台との間に介装され
高周波微小振幅の振動を吸収するための圧電素子付きの
振動吸収装置と、この振動吸収装置の圧電素子に対する
印加電圧を基台および機器取付台の振動に基づいて制御
するコントローラとを備えている。
【０００５】このように構成された防振装置において
は、床面からの振動が吸振体に伝達されると、吸振体の
内部摩擦によって共振点付近の振動が吸収され、振動吸
収装置によって高周波微小振幅の振動が減衰される。
は、床面からの振動が吸振体に伝達されると、吸振体の
内部摩擦によって共振点付近の振動が吸収され、振動吸
収装置によって高周波微小振幅の振動が減衰される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前者（振動吸
収体をもつもの）にあっては、振動吸収体のばね定数が
一定であるため、振動系が共振すると、機器の振動加速
度が入力加速度より大きくなる。この結果、共振による
加速度を考慮して搭載機器を設計する必要が生じ、搭載
機器の設計を面倒なものにするという問題があった。
収体をもつもの）にあっては、振動吸収体のばね定数が
一定であるため、振動系が共振すると、機器の振動加速
度が入力加速度より大きくなる。この結果、共振による
加速度を考慮して搭載機器を設計する必要が生じ、搭載
機器の設計を面倒なものにするという問題があった。
【０００７】一方、後者（吸振体および振動吸収装置を
もつもの）にあっては、凹部付きのゴムおよび圧電素子
に加え、非圧縮性液体を充填する液室を有する外筒金
具，この外筒金具の液室と空気室とを画成する封止板お
よびこの封止板を外筒金具内に弾性保持する環状ゴム等
を必要とするものであるため、部品点数が嵩み、構造を
複雑にするばかりか、コスト高になるという問題があっ
た。
もつもの）にあっては、凹部付きのゴムおよび圧電素子
に加え、非圧縮性液体を充填する液室を有する外筒金
具，この外筒金具の液室と空気室とを画成する封止板お
よびこの封止板を外筒金具内に弾性保持する環状ゴム等
を必要とするものであるため、部品点数が嵩み、構造を
複雑にするばかりか、コスト高になるという問題があっ
た。
【０００８】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、搭載機器設計上の簡素化を図ることができると
ともに、構造の簡素化およびコストの低廉化を図ること
ができる防振装置の提供を目的とする。
もので、搭載機器設計上の簡素化を図ることができると
ともに、構造の簡素化およびコストの低廉化を図ること
ができる防振装置の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の請求項１記載の防振装置は、装置筐体と、
この装置筐体の外部に位置して機器を搭載する受台、及
び前記装置筐体の内部に収納された受台とからなる支持
台と、前記装置筐体内部に収納された受台の下部に、円
周方向に所定の間隔をもって並列する複数の空気ばね
と、これら空気ばねのうち一の空気ばねの下部に設けた
調整弁と、れら空気ばねのうち他の一の空気ばねの下部
に設けた圧力センサと、前記装置筐体の内部に収納さ
れ、前記圧力センサによる検出圧力に対応する振動数値
と予め設定された規定値とを比較して前記調整弁を開閉
制御するコントローラとを有し、前記調整弁の開閉によ
って前記空気ばねのばね定数を可変する構成としてあ
る。したがって、圧力センサが空気ばねの圧力変動を検
出すると、この検出圧力に対応する振動数値と予め設定
された規定値とを比較し、この比較結果に基づいてコン
トローラが電磁弁を開閉制御する。この結果、空気ばね
のばね定数が変化する。
に、本発明の請求項１記載の防振装置は、装置筐体と、
この装置筐体の外部に位置して機器を搭載する受台、及
び前記装置筐体の内部に収納された受台とからなる支持
台と、前記装置筐体内部に収納された受台の下部に、円
周方向に所定の間隔をもって並列する複数の空気ばね
と、これら空気ばねのうち一の空気ばねの下部に設けた
調整弁と、れら空気ばねのうち他の一の空気ばねの下部
に設けた圧力センサと、前記装置筐体の内部に収納さ
れ、前記圧力センサによる検出圧力に対応する振動数値
と予め設定された規定値とを比較して前記調整弁を開閉
制御するコントローラとを有し、前記調整弁の開閉によ
って前記空気ばねのばね定数を可変する構成としてあ
る。したがって、圧力センサが空気ばねの圧力変動を検
出すると、この検出圧力に対応する振動数値と予め設定
された規定値とを比較し、この比較結果に基づいてコン
トローラが電磁弁を開閉制御する。この結果、空気ばね
のばね定数が変化する。
【００１０】請求項２記載の発明は、空気ばねがベロー
ズからなる構成としてある。したがって、支持台に対す
る振動の印加によって調整弁が開閉すると、ベローズの
ばね定数が変化する。
ズからなる構成としてある。したがって、支持台に対す
る振動の印加によって調整弁が開閉すると、ベローズの
ばね定数が変化する。
【００１１】請求項３記載の発明は、 調整弁が電磁弁か
らなる構成としてある。したがって、支持台に対する振
動の印加によって電磁弁が開閉すると、空気ばねのばね
定数が変化する。
らなる構成としてある。したがって、支持台に対する振
動の印加によって電磁弁が開閉すると、空気ばねのばね
定数が変化する。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につき、
図面を参照して説明する。図１は本発明の第一実施形態
に係る防振装置の概略を示す断面図（図３のＡ−Ａ断面
図）、図２は同じく本発明の第一実施形態に係る防振装
置の内部構造を示す斜視図、図３は本発明の第一実施形
態に係る防振装置の使用例を示す斜視図である。同図に
おいて、符号１で示す防振装置は、四つの防振装置から
なり、装置筐体２と支持台３と空気ばね４と調整弁５と
圧力センサ６とコントローラ７とを備えている。これに
より、精密機器Ｓを弾性保持し、精密機器Ｓの振動が吸
収される。
図面を参照して説明する。図１は本発明の第一実施形態
に係る防振装置の概略を示す断面図（図３のＡ−Ａ断面
図）、図２は同じく本発明の第一実施形態に係る防振装
置の内部構造を示す斜視図、図３は本発明の第一実施形
態に係る防振装置の使用例を示す斜視図である。同図に
おいて、符号１で示す防振装置は、四つの防振装置から
なり、装置筐体２と支持台３と空気ばね４と調整弁５と
圧力センサ６とコントローラ７とを備えている。これに
より、精密機器Ｓを弾性保持し、精密機器Ｓの振動が吸
収される。
【００１３】 装置筐体２は、円筒体８および底面板９を
有している。円筒体８は下方に開口する有頭筒体からな
り、上面中央部には軸線方向に開口する貫通孔８ａが設
けられている。底面板９は、円筒体８の下方開口部を閉
塞する円板からなり、床面（図示せず）に設置されてい
る。底面板９の外径は、円筒体８の外径より大きな寸法
に設定されている。
有している。円筒体８は下方に開口する有頭筒体からな
り、上面中央部には軸線方向に開口する貫通孔８ａが設
けられている。底面板９は、円筒体８の下方開口部を閉
塞する円板からなり、床面（図示せず）に設置されてい
る。底面板９の外径は、円筒体８の外径より大きな寸法
に設定されている。
【００１４】 支持台３は、貫通孔８ａを挿通する連結軸
３ａおよびこの連結軸３ａを介して互いに対向する上下
二つの円形受台３ｂ、３ｃからなり、底面板９上に空気
ばね４を介して弾性保持されている。これにより、支持
台３に振動が印加されると、空気ばね４が伸縮する。円
形受台３ｂは装置筐体２外に露呈し、上部には精密機器
Ｓが搭載される。円形受台３ｃは装置筐体２に内蔵さ
れ、かつ空気ばね４に連結されている。
３ａおよびこの連結軸３ａを介して互いに対向する上下
二つの円形受台３ｂ、３ｃからなり、底面板９上に空気
ばね４を介して弾性保持されている。これにより、支持
台３に振動が印加されると、空気ばね４が伸縮する。円
形受台３ｂは装置筐体２外に露呈し、上部には精密機器
Ｓが搭載される。円形受台３ｃは装置筐体２に内蔵さ
れ、かつ空気ばね４に連結されている。
【００１５】 空気ばね４は、連結軸３ａの延長軸線の円
周方向に等間隔をもって並列する二つのベローズ４ａ，
４ｂからなり、下方の円形受台３ｃと基準面（図示せ
ず）上の底面板９との間に介装され、かつ装置筐体２内
に収納されている。調整弁５は、コントローラ７の制御
によって開閉する電磁弁からなり、一方のベローズ４ａ
に連結され、かつ装置筐体２内に収納されている。これ
により、コントローラ７の制御によって調整弁５が開閉
すると、ベローズ４ａのばね定数が変化する。すなわ
ち、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力が一定値を超えた場合
には、調整弁５が開放し、ベローズ４ａのばね定数が変
化する。一方、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力が一定の範
囲内である場合には、調整弁５が閉塞したままである。
周方向に等間隔をもって並列する二つのベローズ４ａ，
４ｂからなり、下方の円形受台３ｃと基準面（図示せ
ず）上の底面板９との間に介装され、かつ装置筐体２内
に収納されている。調整弁５は、コントローラ７の制御
によって開閉する電磁弁からなり、一方のベローズ４ａ
に連結され、かつ装置筐体２内に収納されている。これ
により、コントローラ７の制御によって調整弁５が開閉
すると、ベローズ４ａのばね定数が変化する。すなわ
ち、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力が一定値を超えた場合
には、調整弁５が開放し、ベローズ４ａのばね定数が変
化する。一方、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力が一定の範
囲内である場合には、調整弁５が閉塞したままである。
【００１６】 圧力センサ６は、他方のベローズ４ｂの圧
力変動を検出する圧力センサからなり、コントローラ７
に接続され、かつ装置筐体２内に収納されている。これ
により、圧力センサ６が他方のベローズ４ｂ内の圧力変
動を検出すると、この検出信号がコントローラ７に出力
される。
力変動を検出する圧力センサからなり、コントローラ７
に接続され、かつ装置筐体２内に収納されている。これ
により、圧力センサ６が他方のベローズ４ｂ内の圧力変
動を検出すると、この検出信号がコントローラ７に出力
される。
【００１７】 コントローラ７は、圧力センサ６による検
出圧力に対応する振動数値を算出し、この算出値と予め
設定された規定値とを比較して調整弁５を開閉制御する
コントローラからなり、調整弁（電磁弁）５および圧力
センサ６に接続され、かつ装置筐体２内に収納されてい
る。これにより、圧力センサ６がベローズ４ｂの圧力変
動を検出すると、この検出圧力に対応する振動数値を算
出し、この算出値と予め設定された規定値（周波数範囲
にある数値）とを比較し、この比較結果に基づいて調整
弁５を開閉制御する。
出圧力に対応する振動数値を算出し、この算出値と予め
設定された規定値とを比較して調整弁５を開閉制御する
コントローラからなり、調整弁（電磁弁）５および圧力
センサ６に接続され、かつ装置筐体２内に収納されてい
る。これにより、圧力センサ６がベローズ４ｂの圧力変
動を検出すると、この検出圧力に対応する振動数値を算
出し、この算出値と予め設定された規定値（周波数範囲
にある数値）とを比較し、この比較結果に基づいて調整
弁５を開閉制御する。
【００１８】 このように構成された防振装置の動作につ
いて説明する。すなわち、支持台３の円形受台３ｂに振
動が印加されると、この振動が連結軸３ａを介して円形
受台３ｃに伝達され、ベローズ４ａ，４ｂが軸線方向に
伸縮する。このとき、圧力センサ６によってベローズ４
ｂの圧力変動が検出され、この検出信号がコントローラ
７に出力される。
いて説明する。すなわち、支持台３の円形受台３ｂに振
動が印加されると、この振動が連結軸３ａを介して円形
受台３ｃに伝達され、ベローズ４ａ，４ｂが軸線方向に
伸縮する。このとき、圧力センサ６によってベローズ４
ｂの圧力変動が検出され、この検出信号がコントローラ
７に出力される。
【００１９】 そして、コントローラ７が、圧力センサ６
からの出力信号に対応する変動周波数を算出し、この算
出値と予め設定された規定値（所定の周波数範囲内）と
を比較し、この比較結果に基づいて調整弁５を開閉す
る。
からの出力信号に対応する変動周波数を算出し、この算
出値と予め設定された規定値（所定の周波数範囲内）と
を比較し、この比較結果に基づいて調整弁５を開閉す
る。
【００２０】 この場合、初期状態における振動系の固有
振動数ω１は、振動系の質量をｍとし、各ベローズ４
ａ，４ｂのばね定数をｋ１，ｋ２とすると、ω１＝√
｛（ｋ１＋ｋ２）／ｍ｝で表わされる。そして、支持台
３の振動によってベローズ４ａ，４ｂの内部圧力が増大
して一定値を超えると、振動系が共振し始め、その振幅
が大きくなり、圧力センサ６による検出圧力に対応する
振動数が固有振動数ω１に近似する数値となる。
振動数ω１は、振動系の質量をｍとし、各ベローズ４
ａ，４ｂのばね定数をｋ１，ｋ２とすると、ω１＝√
｛（ｋ１＋ｋ２）／ｍ｝で表わされる。そして、支持台
３の振動によってベローズ４ａ，４ｂの内部圧力が増大
して一定値を超えると、振動系が共振し始め、その振幅
が大きくなり、圧力センサ６による検出圧力に対応する
振動数が固有振動数ω１に近似する数値となる。
【００２１】 ここで、調整弁５の開放によってベローズ
４ａのばね定数が変化し、振動系の固有振動数ω２がω
２＝√（ｋ１／ｍ）となる。なお、ベローズ４ａ，４ｂ
の内部圧力が一定値を超えない場合には、圧力センサ６
による検出圧力に対応する振動数が固有振動数ω１に近
似せず、調整弁５を閉塞したままである。
４ａのばね定数が変化し、振動系の固有振動数ω２がω
２＝√（ｋ１／ｍ）となる。なお、ベローズ４ａ，４ｂ
の内部圧力が一定値を超えない場合には、圧力センサ６
による検出圧力に対応する振動数が固有振動数ω１に近
似せず、調整弁５を閉塞したままである。
【００２２】 したがって、本実施形態においては、空気
ばね４のばね定数が振動系の振動に応じて変化するか
ら、振動系の共振を確実に抑制することができ、精密機
器Ｓの振動加速度が入力加速度より大きくなることがな
い。また、本実施形態において、調整弁５の開閉によっ
て空気ばね４（ベローズ４ａ）のばね定数を変化させ、
振動系の共振を抑制できることは、部品点数を削減する
ことができる。
ばね４のばね定数が振動系の振動に応じて変化するか
ら、振動系の共振を確実に抑制することができ、精密機
器Ｓの振動加速度が入力加速度より大きくなることがな
い。また、本実施形態において、調整弁５の開閉によっ
て空気ばね４（ベローズ４ａ）のばね定数を変化させ、
振動系の共振を抑制できることは、部品点数を削減する
ことができる。
【００２３】 次に、本発明の第二実施形態に係る防振装
置につき、図４および図５を用いて説明する。図４は本
発明の第二実施形態に係る防振装置の概略を示す断面
図、図５は同じく本発明の第二実施形態に係る防振装置
の内部構造を示す斜視図で、同図において図１および図
２と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説
明は省略する。同図において、符号２１で示す防振装置
は、装置筐体２と支持台３と空気ばね４と調整弁２５と
を備えている。
置につき、図４および図５を用いて説明する。図４は本
発明の第二実施形態に係る防振装置の概略を示す断面
図、図５は同じく本発明の第二実施形態に係る防振装置
の内部構造を示す斜視図で、同図において図１および図
２と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説
明は省略する。同図において、符号２１で示す防振装置
は、装置筐体２と支持台３と空気ばね４と調整弁２５と
を備えている。
【００２４】 調整弁２５は、ベローズ４ａの圧力変動に
よって開閉する調整弁からなり、一方のベローズ４ａに
連結され、かつ装置筐体２内に収納されている。これに
より、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力変化によって調整弁
２５が開閉すると、ベローズ４ａのばね定数が変化す
る。すなわち、ベローズ４ａ内の圧力が一定値を越えた
場合には、調整弁５が開放し、ベローズ４ａのばね定数
が変化する。一方、ベローズ４ａ内の圧力が一定の範囲
内である場合には、調整弁５が閉塞したままである。
よって開閉する調整弁からなり、一方のベローズ４ａに
連結され、かつ装置筐体２内に収納されている。これに
より、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力変化によって調整弁
２５が開閉すると、ベローズ４ａのばね定数が変化す
る。すなわち、ベローズ４ａ内の圧力が一定値を越えた
場合には、調整弁５が開放し、ベローズ４ａのばね定数
が変化する。一方、ベローズ４ａ内の圧力が一定の範囲
内である場合には、調整弁５が閉塞したままである。
【００２５】 このように構成された防振装置の動作につ
いて説明する。すなわち、支持台３の円形受台３ｂに振
動が印加されると、この振動が連結軸３ａを介して円形
受台３ｃに伝達され、ベローズ４ａ，４ｂが軸線方向に
伸縮する。そして、ベローズ４ｂ内の圧力変動に応じて
調整弁５が開閉する。
いて説明する。すなわち、支持台３の円形受台３ｂに振
動が印加されると、この振動が連結軸３ａを介して円形
受台３ｃに伝達され、ベローズ４ａ，４ｂが軸線方向に
伸縮する。そして、ベローズ４ｂ内の圧力変動に応じて
調整弁５が開閉する。
【００２６】 この場合、初期状態における振動系の固有
振動数ω１は、振動系の質量をｍとし、各ベローズ４
ａ，４ｂのばね定数をｋ１，ｋ２とすると、ω１＝√
｛（ｋ１＋ｋ２）／ｍ｝となる。そして、支持台３の振
動によって両ベローズ４ａ，４ｂの内部圧力が増大して
一定値を超えると、振動系が共振し始め、その振幅が大
きくなり、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力に対応する振動
系の振動数が固有振動数ω１に近似する数値となる。
振動数ω１は、振動系の質量をｍとし、各ベローズ４
ａ，４ｂのばね定数をｋ１，ｋ２とすると、ω１＝√
｛（ｋ１＋ｋ２）／ｍ｝となる。そして、支持台３の振
動によって両ベローズ４ａ，４ｂの内部圧力が増大して
一定値を超えると、振動系が共振し始め、その振幅が大
きくなり、ベローズ４ａ，４ｂ内の圧力に対応する振動
系の振動数が固有振動数ω１に近似する数値となる。
【００２７】 ここで、調整弁５の開放によってベローズ
４ａのばね定数が変化し、振動系の固有振動数ω２がω
２＝√（ｋ１／ｍ）となる。なお、ベローズ４ａ，４ｂ
の内部圧力が一定値を超えない場合には、振動系の振動
数が固有振動数ω１に近似せず、調整弁５が閉塞したま
まである。
４ａのばね定数が変化し、振動系の固有振動数ω２がω
２＝√（ｋ１／ｍ）となる。なお、ベローズ４ａ，４ｂ
の内部圧力が一定値を超えない場合には、振動系の振動
数が固有振動数ω１に近似せず、調整弁５が閉塞したま
まである。
【００２８】 したがって、本実施形態においては、第一
実施形態と同様に、空気ばね４のばね定数が振動系の振
動に応じて変化するから、振動系の共振を確実に抑制す
ることができ、精密機器Ｓの振動加速度が入力加速度よ
り大きくなることがない。また、本実施形態において、
振動系の共振を抑制して部品点数を削減できることは、
第一実施形態と同様である。
実施形態と同様に、空気ばね４のばね定数が振動系の振
動に応じて変化するから、振動系の共振を確実に抑制す
ることができ、精密機器Ｓの振動加速度が入力加速度よ
り大きくなることがない。また、本実施形態において、
振動系の共振を抑制して部品点数を削減できることは、
第一実施形態と同様である。
【００２９】 なお、本実施形態においては、二個の空気
ばねを用いる場合について説明したが、本発明にこれに
限定されず、単数あるいは三個以上の空気ばねを用いる
ものでも実施形態と同様の効果を奏する。この場合、三
個以上の空気ばねを用いる構造では、調整弁によって各
空気ばねのばね定数を変化させてもよい。また、本実施
形態においては、空気ばねとしてベローズである場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されず、ダイヤ
フラムでもよいことは勿論である。
ばねを用いる場合について説明したが、本発明にこれに
限定されず、単数あるいは三個以上の空気ばねを用いる
ものでも実施形態と同様の効果を奏する。この場合、三
個以上の空気ばねを用いる構造では、調整弁によって各
空気ばねのばね定数を変化させてもよい。また、本実施
形態においては、空気ばねとしてベローズである場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されず、ダイヤ
フラムでもよいことは勿論である。
【００３０】 この他、本実施形態においては、精密機器
を搭載する場合に適用する例について説明したが、本発
明はこれに限定適用されず、例えば測定機器を搭載する
場合にも実施形態と同様に適用可能である。
を搭載する場合に適用する例について説明したが、本発
明はこれに限定適用されず、例えば測定機器を搭載する
場合にも実施形態と同様に適用可能である。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、機
器を搭載する支持台と、この支持台と基準面との間に配
設され機器の振動を吸収する空気ばねとを備え、この空
気ばねは、支持台の振動による調整弁の開閉によってば
ね定数が可変する空気ばねからなるので、空気ばねのば
ね定数が振動系の振動に応じて変化する。
器を搭載する支持台と、この支持台と基準面との間に配
設され機器の振動を吸収する空気ばねとを備え、この空
気ばねは、支持台の振動による調整弁の開閉によってば
ね定数が可変する空気ばねからなるので、空気ばねのば
ね定数が振動系の振動に応じて変化する。
【００３２】 したがって、振動系の共振を確実に抑制す
ることができるから、搭載機器の振動加速度が入力加速
度より大きくなることがなく、搭載機器設計上の簡素化
を図ることができる。また、調整弁の開閉によって空気
ばねのばね定数を変化させ、振動系の共振を抑制できる
ことは、部品点数を削減することができるから、構造の
簡素化およびコストの低廉化を図ることができる。
ることができるから、搭載機器の振動加速度が入力加速
度より大きくなることがなく、搭載機器設計上の簡素化
を図ることができる。また、調整弁の開閉によって空気
ばねのばね定数を変化させ、振動系の共振を抑制できる
ことは、部品点数を削減することができるから、構造の
簡素化およびコストの低廉化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施形態に係る防振装置の概略を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る防振装置の内部構
造を示す斜視図である。
造を示す斜視図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る防振装置の使用例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図４】本発明の第二実施形態に係る防振装置の概略を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図５】本発明の第二実施形態に係る防振装置の内部構
造を示す斜視図である。
造を示す斜視図である。
【符号の説明】 １ 防振装置 ２ 装置筐体 ３ 支持台 ３ａ 連結軸 ３ｂ，３ｃ 円形受台 ４ 空気ばね ４ａ，４ｂ ベローズ ５ 調整弁 ６ 圧力センサ ７ コントローラ ８ 円筒体 ９ 底面板 Ｓ 精密機器
Claims (6)
- 【請求項１】 機器を搭載する支持台と、 この支持台と基準面との間に配設され、前記機器の振動
を吸収する空気ばねとを備え、 この空気ばねは、前記支持台の振動による調整弁の開閉
によってばね定数が可変する空気ばねからなることを特
徴とする防振装置。 - 【請求項２】 前記空気ばねがベローズからなることを
特徴とする請求項１記載の防振装置。 - 【請求項３】 前記空気ばねが、円周方向に所定の間隔
をもって並列する複数の空気ばねからなることを特徴と
する請求項１または２記載の防振装置。 - 【請求項４】 前記調整弁が電磁弁からなることを特徴
とする請求項１，２または３記載の防振装置。 - 【請求項５】 前記空気ばねの圧力変動を検出する圧力
センサおよびこの圧力センサによる検出圧力に対応する
振動数値と予め設定された規定値とを比較して前記電磁
弁を開閉制御するコントローラを有することを特徴とす
る請求項４記載の防振装置。 - 【請求項６】 前記規定値を、所定の周波数範囲内にあ
る数値とすることを特徴とする請求項５記載の防振装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8908998A JPH11287288A (ja) | 1998-04-01 | 1998-04-01 | 防振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8908998A JPH11287288A (ja) | 1998-04-01 | 1998-04-01 | 防振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11287288A true JPH11287288A (ja) | 1999-10-19 |
Family
ID=13961161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8908998A Pending JPH11287288A (ja) | 1998-04-01 | 1998-04-01 | 防振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11287288A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100498462B1 (ko) * | 2002-11-22 | 2005-07-01 | 삼성전자주식회사 | 댐핑 장치 |
| JP2005245775A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Toshiba Corp | 磁気共鳴イメージング装置 |
| KR101362930B1 (ko) * | 2012-12-05 | 2014-02-18 | (주)엔에스브이 | 음강성 방진 시스템 |
| JP2022087013A (ja) * | 2020-11-28 | 2022-06-09 | ネッチ ゲレーテバウ ゲーエムベーハー | 振動ダンパを備える測定装置及び測定装置を振動から保護する方法 |
| CN116006848A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-04-25 | 四川农业大学 | 一种农业智能机器人的视觉防抖装置 |
-
1998
- 1998-04-01 JP JP8908998A patent/JPH11287288A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100498462B1 (ko) * | 2002-11-22 | 2005-07-01 | 삼성전자주식회사 | 댐핑 장치 |
| JP2005245775A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Toshiba Corp | 磁気共鳴イメージング装置 |
| KR101362930B1 (ko) * | 2012-12-05 | 2014-02-18 | (주)엔에스브이 | 음강성 방진 시스템 |
| JP2022087013A (ja) * | 2020-11-28 | 2022-06-09 | ネッチ ゲレーテバウ ゲーエムベーハー | 振動ダンパを備える測定装置及び測定装置を振動から保護する方法 |
| CN116006848A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-04-25 | 四川农业大学 | 一种农业智能机器人的视觉防抖装置 |
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