JPH11287880A - ステージ装置、およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 固定子と可動子の相対速度をほぼゼロにし
て、積層ヨークの必要をなくし、設計の自由度を向上さ
せる。 【解決手段】 移動体と、磁石とコイルを含み該移動体
を移動させる第１駆動手段と、該第１駆動手段を該所定
の方向に移動させる第２駆動手段とを有し、該第１駆動
手段の磁石が該移動体に連結され、該第１駆動手段のコ
イルはヨークと一体化されて該第２駆動手段に連結され
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は搭載物を正確に位置
決めするためのステージ装置に関する。また、このステ
ージ装置をウエハまたはレチクルの位置決めに利用する
露光装置およびこの露光装置を用いたデバイス製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１４に従来のステージ装置の概略を示
す。

【０００３】不図示のベース上にガイド５２が固定さ
れ、駆動方向に滑動自在なステージ５１がガイド上に支
持されている。ステージ上には工作物６０が搭載されて
いる。ステージ５１の両側にはリニアモータが設けら
れ、ステージを駆動方向に動かすようになっている。リ
ニアモータ固定子５３は６個の偏平コイル５６を固定子
枠５７に固定したもので構成され、不図示の固定部材で
不図示のベースに固定される。

【０００４】リニアモータの可動子５４は鉛直方向に着
磁された４極の磁石５８とヨーク板５５を一体にしたも
ので構成され、これが固定子ユニットの上下に配置さ
れ、固定子５３とは非接触でステージ５１に固定されて
いる。６個のコイル５６は磁極ピッチの１．５倍のピッ
チで駆動方向に配置される。磁極ピッチは磁束密度の基
本波の０．７５周期に相当し、電気角では２７０度また
はー９０度である。

【０００５】不図示のセンサによりコイル５６と磁石５
８の相対位置を検出しながら２７０度またはー９０度づ
つ離れた位置にあるコイル５６を選択し、それに順当な
方向に電流を流して同一方向に駆動するようになってい
る。電気角が直交するコイル５６を順次切替えるという
意味ではコイルは６相だが２相モータである。

【０００６】図１５に従来の別のステージ装置の概略図
を示す。

【０００７】不図示のベース上にガイド５２が固定され
ている。ステージ５１が駆動方向に対して滑動自在にガ
イド５２上に支持されている。ステージ５１上には不図
示の工作物が搭載されている。ステージ５１の両側には
保持枠５９に保持された可動磁石５８が固定される。可
動磁石５８に対応する固定子５３はステージ５１の全ス
トロークにわたる上ヨーク５５ａおよび下ヨーク５５ｂ
と各ヨークに同軸状に巻き回されたストローク全長にわ
たる単相のコイル５６から構成される。

【０００８】磁石５８とヨーク５５が相対運動するとき
に発生する渦電流抵抗をなくすため、ヨーク５５は図中
に示すように積層鋼板で構成されている。

【０００９】上記構成において、単相コイル５６に電流
を流すとストロークのいたるところで電流に比例した同
一方向の力が働くので、駆動したい方向に電流を流すだ
けで良く、ストローク全体にわたりコイルの切換えは行
わない。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のステー
ジ装置のうち前者は、ヨークと磁石の一体したものが可
動子であるため、可動子の重量が大きくなり、ステージ
の加速が得られにくい。また、駆動中にコイルの切換え
に起因する推力リップルがあり、高精度な位置決め制御
を阻害する外乱となってしまう。

【００１１】また、上述のステージ装置の後者は、磁石
とヨークが高速で相対運動するため、渦電流抵抗が大き
くなってしまう。この対策として、ヨークを積層鋼板で
構成する必要があるが、これには長尺鋼板の組立が困難
であったり、組み立て後のヨークの支持も困難であると
いう課題がある。そのため、積層鋼板では複雑な形状の
ヨークを作成することが困難であり、結果としてヨーク
の重量が大きくなってしまう。

【００１２】また、ヨークと磁石の間に吸引力が働くの
で、ストロークつまりヨークの長さが長くなると磁石が
中央にきた時のヨークのたわみが大きくなる。また、磁
石が中央にある時と、磁石が端にある時とで、たわみが
大きく変化するので、ヨークの弦振動を励振する。この
ため、ヨークの断面積を磁束を通すのに必要な断面積よ
り大きくしてたわみの絶対値を小さくする必要があり、
必要断面積寸法が増加する。また、ヨークの寸法増加に
よりヨークの質量も増加して可動側の軽量化と逆に固定
子は非常に重くなる。このため、単純な２段構成のＸＹ
ステージを構成しようとすると、可動ステージ中に非常
に重たいヨークを含む部分が出てくるので、この部分に
対して大きな加速を得ることが難しい。

【００１３】また、コイルにおいて推力に寄与するのは
磁石と対面している部分だけなので、推力発生から見て
無駄なコイルが大部分であり、無駄な発熱が非常に多く
なる。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの本発明のステージ装置は、移動体と、磁石とコイル
を含み該移動体を移動させる第１駆動手段と、該第１駆
動手段を該所定の方向に移動させる第２駆動手段とを有
し、該第１駆動手段の磁石が該移動体に連結され、該第
１駆動手段のコイルはヨークと一体化されて該第２駆動
手段に連結されていることを特徴。

【００１５】望ましくは、前記第１駆動手段により移動
体を駆動して該移動体の位置または速度の制御を行う最
中に、前記第２駆動手段に連結された第１駆動手段のコ
イルを移動体に概ね同期させて移動することが良い。

【００１６】また、本発明の別のステージ装置は、移動
体と、磁石とコイルを含み該移動体を所定の方向に移動
させる第１駆動手段と、該第１駆動手段を該所定の方向
に移動させる第２駆動手段とを有し、該第１駆動手段の
磁石とコイルのうち一方が移動体側に連結され、他方が
ヨークと一体的に該第２駆動手段に連結され、該第１駆
動手段により該移動体を駆動して該移動体の位置または
速度の制御を行う最中に、該第２駆動手段に連結された
該第１駆動手段の磁石とコイルのうちの一方を移動体に
概ね同期させて移動することを特徴とする。

【００１７】望ましくは、前記磁石が前記移動体側に連
結され、前記コイルが前記第２駆動手段に連結されてい
ることが良い。

【００１８】前記第２駆動手段としては、送りネジやリ
ニアモータを有していることが好ましい。

【００１９】移動方向に関して、前記磁石寸法と前記コ
イル寸法がほぼ同一であることが望ましい。

【００２０】また、前記ヨークが平板状の強磁性体から
構成されることが望ましい。

【００２１】前記コイルは、前記ヨークに巻き回された
コイルであっても、偏平コイルであっても良い。

【００２２】また、前記第１駆動手段は、前記移動体を
２次元方向に移動可能であることが望ましい。

【００２３】前記ヨークは辺部において凹部を有するヨ
ークであることがよい。

【００２４】前記コイルは、前記磁石に対して第１の方
向に駆動力を発生させる第１コイルと、前記磁石に対し
て第２の方向に駆動力を発生させる第２コイルとを有す
ることが望ましい。

【００２５】また、前記第２駆動手段は２次元方向に駆
動可能であると良い。

【００２６】また、本発明の露光装置は、前記いずれか
のステージ装置を備えたことを特徴とするものである。

【００２７】上記露光装置を用意してデバイスを製造す
るデバイス製造方法も本発明の範疇に含まれる。

【００２８】

【発明の実施の形態】＜実施形態１＞図１に本発明によ
る第１実施形態のステージ装置の概略を示す。

【００２９】不図示のベース上にガイド２が固定され、
ガイド２上にガイドの長手方向に滑動自在にステージ１
が支持されている。ステージ１上には不図示の工作物が
搭載されている。ステージ１の両側には枠９に保持され
た単極の可動磁石８が固定される。

【００３０】ステージ１およびガイド２の両サイドには
固定子移動ユニット４（第２駆動手段）と固定子移動ユ
ニット４によりステージ１の移動方向に移動される移動
型固定子３（第１駆動手段の一部）が設けられる。

【００３１】図２に移動型固定子３および固定子移動ユ
ニット４の詳細を示す。

【００３２】移動型固定子３は２枚の平板状むくヨーク
５と側板７ａ、側板７ｂ、単相コイル６から構成され
る。ここで、むくヨークとは言葉通りむくの強磁性体で
構成されており、後述の効果により積層構造になってい
ないヨークである。

【００３３】２枚の平板状ヨーク５は所定の空隙を介し
て対面しており、空隙寸法は２枚の平板状ヨーク５の間
に配置される側板７ａ、側板７ｂの高さで決まってい
る。

【００３４】平板状ヨーク５のステージ移動方向の寸法
は、単極磁石８のステージ移動方向の寸法に側板７に支
持される分の寸法を足した寸法とほぼ同一である。平板
状ヨーク５のステージ移動方向に直角な方向の寸法は、
短極磁石８のステージ移動方向に直角な方向の寸法とほ
ぼ同一である。

【００３５】２枚の平板状ヨーク５の周りには単相のコ
イル６が同軸状に巻きまわされている。単相コイル６の
ステージ移動方向の寸法は短極磁石８のステージ移動方
向の寸法とほぼ同一である。また、単相コイル６のステ
ージ移動方向に直角な方向の寸法は、短極磁石８のステ
ージ移動方向に直角な方向の寸法とほぼ同一である。

【００３６】また、側板ａ、側板ｂの間隙は単極磁石８
を保持している枠９のステージ移動方向の寸法より大き
く設計されている。

【００３７】固定子移動ユニット４はモータ２１、ブラ
ケット２２ａ、支持板２３、ガイドバー２４、送りネジ
２５、ナット２６、ブラケット２２ｂから構成される。

【００３８】支持板の両側にブラケット２２ａ、ブラケ
ット２２ｂが固定されている。ブラケット２２ａ、ブラ
ケット２２ｂには不図示の送りネジ支持用軸受とガイド
バー固定穴が設けられている。

【００３９】ガイドバー２４はブラケット２２ａ、ブラ
ケット２２ｂのガイドバー固定穴に固定される。送りネ
ジ２５はブラケット２２ａ、ブラケット２２ｂの送りネ
ジ支持用軸受に回転自在に支持される。モータ２１はケ
ーシングがブラケット２２ｂに固定され、回転軸が送り
ネジ２５に固定されている。送りネジ２５にナット２６
がねじ込まれている。

【００４０】移動型固定子３は固定子移動ユニット４に
設けられる。移動型固定子３の側板７ａにはガイド穴
が、側板７ｂにはガイド穴および駆動穴が設けられる。
ガイド穴は固定子移動ユニット４のガイドバー２４と高
精度で嵌合する寸法になっており、駆動穴は固定子移動
ユニット４の送りネジ２５と適当な隙間を有する寸法に
なっている。ガイドバー２４は側板７ａ、側板７ｂのガ
イド穴を貫通して移動型固定子３をステージ移動方向に
滑動自在に支持する。送りネジ２５は側板７ｂの駆動穴
を適当な間隙をもって貫通し、ナット２６は側板７ｂに
固定される。

【００４１】この結果、モータ２１の回転軸を回転する
ことにより、送りネジ２５を介して移動型固定子３をス
テージ移動方向に移動できるようになっている。

【００４２】移動型固定子３の単相コイル６とステージ
枠９を介して固定された単極磁石８が互いに非接触にな
るように不図示ベースに固定子移動ユニット４が固定さ
れる。さらに単極磁石８に対して２枚の平板状ヨーク５
が鉛直方向において概ね等しい距離になるようになって
おり、単極磁石８とヨーク５との吸引力が概ね相殺され
るようになっている。この結果、ステージ１を変形させ
るような力はほとんど発生しない。

【００４３】単極磁石８と平板状ヨーク５の間に吸引力
は働くが上記のように水平方向の磁石寸法とヨーク寸法
は概ね同程度なので、ヨーク５の支持スパンが従来と比
べ極めて小さく、たわみ量は非常に小さくなる。このた
め、ヨーク５の必要断面積はヨークに通らせる磁石の磁
束により決定され、それ以上に分厚くする必要はない。

【００４４】このように、ヨーク５のステージ移動方向
の寸法が短くなることと、ヨーク５の断面寸法を小さく
できることにより、ヨークの質量を軽くすることができ
る。

【００４５】上記構成において、ステージ１を動かすに
は両サイドの単相コイル６に電流を流してコイル６と磁
石８との間にローレンツ力を発生させると同時に、固定
子移動ユニット４のモータ２１を駆動して移動型固定子
３を概ねステージ１に同期させて移動するようにする。

【００４６】移動型固定子３の移動には高精度な追従制
御は不要で、ステージ側の単極磁石８を保持している枠
９と側板７ａ、側板７ｂが接触しないようにオープン送
りすれば十分である。

【００４７】単相コイル６に流す電流と、単相コイル６
・単極磁石８間のローレンツ力の関係とステージ質量か
ら単相コイルに流す電流波形によりステージ１がどのよ
うな運動をするかがわかるので、固定子移動ユニット４
のモータ２１の駆動量がわかり、オープン駆動ができ
る。この結果、磁石８とヨーク５の間の相対速度はステ
ージ１が高速に移動しているときでもほぼゼロに保つこ
とができる。よって、磁石８とヨーク５の相対運動に起
因する渦電流を考慮する必要がなくなり、ヨークを積層
させず、むくの平板状の強磁性体で構成することができ
るようになる。

【００４８】ステージ１のガイド方向位置は不図示のレ
ーザ干渉計等の高分解能位置センサで計測され、目標値
との偏差を不図示制御演算器により演算した結果が電流
指令として単相コイル６に接続された不図示電流アンプ
に入力され、高精度に制御されるようになっている。

【００４９】移動型固定子３を移動させる固定子移動ユ
ニット４は回転モータ２１と送りネジ２５の例で示した
が、移動型固定子をステージ移動方向に移動できるもの
であれば良く、例えばリニアモータ、空圧シリンダ、油
圧シリンダ、多関節ロボット等の駆動手段でも良い。

【００５０】本実施形態によるステージ装置により、ス
テージ１に固定された磁石８に対面するコイル６を含む
移動型固定子３を、固定子移動ユニット４によりステー
ジに同期させて移動させている。このため、非接触でス
テージ１の位置または速度の制御を行うことができる。
また、多相リニアモータの場合に起こるコイルの切換え
による推力リップルが発生せず、外乱を軽減させること
ができる。また、精密な位置決めを行うことができる移
動型固定子を、固定子移動ユニットにより広範囲に移動
させるため、広範囲で高精度な位置決めを行うことがで
きる。

【００５１】また、ヨーク５のステージ移動方向の寸法
を従来と比べて短縮することができる。これにより、ヨ
ーク５のたわみ量を軽減させ、ヨーク５の弦振動を防ぐ
ことができる。また、たわみ量が軽減されるのでヨーク
５の断面積を大きくする必要がなくなり、ヨーク５の軽
量化を図ることができる。これにより、ステージ装置の
軽量化を図ることができる。

【００５２】また、ステージ１を駆動する磁石８（第１
駆動手段の磁石）とヨーク５の相対運動がゼロになるた
め、磁石とヨークの相対運動による渦電流抵抗を軽減で
きる。これにより、ヨークを平板状の一枚構成のむくの
強磁性体で構成できるため、組み立てや支持が困難な積
層鋼板を用いる必要がなくなり、ステージ装置の簡略
化、コストダウンを図ることができる。また、ヨークを
積層せずにすむため、ヨークの形状の自由度が増す。

【００５３】本実施形態では、ステージ（移動体）側に
磁石、固定子移動ユニット（第２駆動手段）側にコイル
を配置したが、磁石とコイルの配置を逆にしても同様な
効果が得られる。しかし、移動体を駆動するための磁石
（第１駆動手段の磁石）を移動体側に配置するようにす
れば、移動体にコイル用の配線をひく必要がなく、移動
体への配線ケーブルを軽量化できるので、配線ケーブル
のたわみによる移動体への外乱を軽減させる効果もあ
る。

【００５４】＜実施形態２＞図３に本発明の第２実施形
態に関するステージ装置の概略を示す。

【００５５】本実施形態は前述の第１実施形態のステー
ジ（移動体）に固定された単極磁石（第１駆動手段の磁
石）を２極磁石８−２に、単相コイル（第１駆動手段の
コイル）を２相コイル６−２にしたもので、その他の構
成は第１実施形態と同様である。

【００５６】ステージ１の両側の枠９に保持された２極
の磁石８−２はそれぞれ鉛直方向に着磁され、ステージ
１の移動方向に沿って逆向きに並べられている。また、
２相コイル６−２を構成する２つのコイルは、それぞれ
平板状ヨーク５に同軸状に巻きまわされ、ステージ１の
移動方向に並べられている。

【００５７】本実施形態の２相のコイル６−２は常に逆
向きに電流が流されている。このようにすると、作用は
前述の実施形態と同じであるが、２相のコイルが作る磁
束がお互いに相殺する向きであるので、前述の実施形態
と比べて電流の応答性が向上するという効果がある。

【００５８】本実施形態では２極磁石８−２と２相コイ
ル６−２の例で示したが、一般に偶数Ｍに対してＭ極磁
石とＭ相コイルで同様に構成しても良い。

【００５９】本実施形態では、上述の効果に加え、第１
実施形態で得られる同様の効果も得ることができる。

【００６０】＜実施形態３＞図４に本発明の第３実施形
態に関するステージ装置の概略図を示し、図５に本ステ
ージ装置の移動型固定子と固定子移動ユニットの詳細図
を示す。

【００６１】本実施形態では、前述の実施形態のように
ヨークに対して同芯状に巻いたコイルを設ける代わり
に、偏平コイルを設けた例である。

【００６２】図５ａ）において、上下３個ずつの偏平コ
イル６−３を並べた状態から図５ｂ）のように上３個の
偏平コイル６−３の両端を上側に曲げ、下３個の偏平コ
イルの両端を下側に曲げて、推力に寄与しないコイル部
分の水平方向の出っ張りをなくす。次に図５ｃ）のよう
に上３個の曲げられた偏平コイルを上側の平板状ヨーク
５に固定し、下３個の曲げられた偏平コイルを下側の平
板状ヨークに固定し、上側平板状ヨークと下側平板状ヨ
ークとの空隙を側板ａと側板ｂで決めつつ固定して移動
型固定子３とする。移動型固定子３と固定子移動ユニッ
ト４を組合せ、図５のようにする。

【００６３】一方、移動型固定子３と対面する磁石部分
は図４に示すように６極の磁石８−６となる。図５に示
す偏平コイルに同じ方向に電流を流すと偏平コイルの直
線部分の電流の向きは隣り合うコイル辺で逆向きにな
る。よって、１つの偏平コイルに対して力を発生するに
はコイル辺の領域に対応して磁石の極を変える（２極に
する）必要がある。磁石と対面する偏平コイルが上下各
３個あるので、磁極は６極必要になる、６極磁石の極の
領域は偏平コイルの直線部分の電流方向が同じ領域と対
応している。

【００６４】他の構成、寸法関係、位置関係は前述の実
施形態と同様であり、作用効果も基本的に同じである。

【００６５】本実施形態ではコイルの芯に鉄がなく空芯
コイルであるので、電流応答性が前述の実施形態の比べ
て向上するという利点がある。

【００６６】また、コイルの中で推力に寄与しない部分
が少ないので、発熱が低減できるという利点がある。

【００６７】また、偏平コイルの数と磁石の極数は本実
施形態に限定されるものではない。

【００６８】＜実施形態４＞本発明のステージ装置に関
する第４実施形態を図６に示す。

【００６９】不図示ベース上に固定されたガイド上面で
回転方向、ガイドの長手方向、ガイド長手方向と直角方
向に滑動自在にステージ１が支持されている。ステージ
上には不図示の工作物が搭載されている。ステージ１の
両側には枠９に保持された単極の可動磁石８が固定され
る。また、ステージ１のガイド２の長手方向、ガイド２
に直角方向、回転方向は不図示の３軸のレーザ干渉計に
より計測されている。

【００７０】図に示すようにステージ１はガイド２上を
水平方向（ガイド長手方向とガイド長手方向に直角方
向）に移動可能であるため、水平方向の位置や回転の所
定目標からのずれは不図示のレーザ干渉計で計測して後
述のリニアモータで補正するようになっている。

【００７１】ステージ（移動体）およびガイド２の両サ
イドには固定子移動ユニット（第２駆動手段）と固定子
移動ユニットによりステージの移動方向に移動される移
動型２次元固定子（第１駆動手段のコイル）が設けられ
る。

【００７２】図７に移動型２次元固定子の詳細図を示
す。

【００７３】固定子移動ユニット４は上述の実施例と同
じである。

【００７４】移動型２次元固定子３−２は２枚のかえる
形平板状ヨーク１５と側板７ａ、側板７ｂ、２枚のかえ
る形平板状ヨークの各々に対して互いに直交するように
巻きまわされた２つの単相コイル６から構成される。２
枚のかえる形ヨークは長方形板の４辺に凹部ａ、凹部
ｂ、凹部ｃ、凹部ｄを設けたもので、この結果、２つの
コイルを巻き回したヨークの４すみから側板７ａ、側板
７ｂに接続するための脚が出ているようになる。また、
平板状ヨークはむくの強磁性体で構成されており、積層
構造になっていない点は前述の実施形態と同様である。

【００７５】かえる形平板状ヨーク１５の凹部ａ、凹部
ｂの距離は単極磁石８のステージ移動方向の寸法とほぼ
同一な寸法になっており、かえる形平板状ヨーク１５の
凹部ｃと凹部ｄの距離は単極磁石８のステージ移動方向
に直角な方向の寸法とほぼ同一な寸法になっている。

【００７６】２枚のかえる形平板状ヨーク１５は、各々
の周りに直線部が互いに直交するように単相コイル６ａ
と単相コイル６ｂが巻きまわされている。単相コイル６
ａのステージ移動方向の寸法は、単極磁石８のステージ
移動方向の寸法とほぼ同一な寸法である。単相コイル６
ａのステージ移動方向に直角な方向の寸法は、単極磁石
８のステージ移動方向に直角な方向の寸法とほぼ同一な
寸法になっている。また、単相コイル６ｂのステージ移
動方向の寸法は、単極磁石８のステージ移動方向の寸法
とほぼ同一な寸法になっている。単相コイル６ｂのステ
ージ移動方向に直角な方向の寸法は、単極磁石８のステ
ージ移動方向に直角な方向の寸法とほぼ同一な寸法にな
っている。

【００７７】このようにかえる型平板状ヨーク１５に対
して直線部が互いに直交するように単相コイル６ａと単
相コイル６ｂが巻きまわされたものが２次元コイルユニ
ット１６である。

【００７８】２つの２次元コイルユニット１６は所定の
空隙を介して対面しており、空隙寸法は２枚のかえる形
ヨーク１５の間に配置される側板７ａ、側板７ｂの高さ
で決まっている。

【００７９】また、側板７ａと側板７ｂの隙間は単極磁
石８を保持している枠９のステージ移動方向の寸法より
大きく設計されている。固定子移動ユニット４は前述の
実施形態と同じで、移動型２次元固定子３−２と固定子
移動ユニット４を組合せると図６のようになる。

【００８０】以上のような構成において、ガイド２の長
手方向にステージを駆動する場合の作用効果は前述の実
施形態に準ずる。つまり、両サイドの単相コイル６ｂに
電流を流してコイル６と磁石８との間にガイド２の長手
方向のローレンツ力を発生させると同時に、固定子移動
ユニット４のモータ２１を駆動して移動型２次元固定子
３−２を概ねステージに同期させてガイドの長手方向に
移動するようにする。

【００８１】移動型２次元固定子３−２の移動には高精
度な追従制御は不要で、ステージ側の単極磁石８を保持
している枠９と側板７ａ、側板７ｂが当たらないように
オープン送りすれば十分である。

【００８２】単相コイル６ｂに流す電流と、単相コイル
６ｂ・単極磁石８間のローレンツ力の関係とステージ質
量から単相コイル６ｂに流す電流波形によりステージ１
がどのような運動をするかが分かるので、固定子移動ユ
ニット４のモータの駆動量が分かり、オープン駆動がで
きる。この結果、磁石８とかえる形ヨーク１５の間の相
対速度はステージ１が高速に移動しているときでもほぼ
ゼロに保つことができる。よって磁石８とかえる型ヨー
ク１５の相対運動に起因する渦電流を考慮する必要がな
くなり、かえる形ヨーク１５をむくの強磁性体で構成す
ることができるようになる。

【００８３】かえる形平板状ヨーク１５にせず、長方形
の平板状ヨークでも移動型２次元固定子３−２を構成
し、同様な機能を有することができる。しかし長方形ヨ
ークにすると、凹部ａ、凹部ｂ、凹部ｃ、凹部ｄの溝の
深さの総和分だけコイルの無駄な領域（推力に寄与しな
い領域）が増えて発熱量が増す。本実施形態ではヨーク
を一枚板構成の平板状のむくの強磁性体で構成できるた
め、積層鋼板では作成や４すみの支持が困難であった複
雑な形状のヨークを、移動型２次元固定子３−２に用い
ることが可能となる。

【００８４】ステージ１のガイド方向の位置は、不図示
のレーザ干渉計等の高分解能位置センサで計測され、目
標値との偏差を不図示の制御演算器により演算した結果
が、電流指令として単相コイル６ｂに接続された不図示
の電流アンプに入力され、高精度に制御される。

【００８５】ステージ１のガイド方向と直角方向の位置
は不図示レーザ干渉計で計測し、目標値との偏差を不図
示の制御演算器により演算した結果が、電流指令として
単相コイルａに接続された不図示の電流アンプに入力さ
れ、高精度に制御される。

【００８６】ステージ１の回転量は不図示のレーザ干渉
計で計測した回転量と目標値との偏差を不図示の制御演
算器により演算した結果が、電流指令値として２つの単
相コイルｂに接続された２つの不図示電流アンプ入力の
入力差となるようになっており、高精度に制御される。

【００８７】本実施形態では、２次元方向に滑動自在の
ステージ１と移動型２次元固定子３−２を採用すること
で、ステージ１の３軸の制御が可能となった。また、ス
テージ１が２次元方向に滑動自在であるため、ガイド部
のばね性に起因するヨーイングモードの影響がなくなる
という利点がある。

【００８８】また、ヨークを平板状のむくの強磁性体で
構成しているため、辺部に凹部を有する複雑な形状のヨ
ークを容易に作成できるほか、ヨークの支持も容易とな
り、設計の自由度が増す。また、かえる形平板状ヨーク
によって、コイルの無駄な領域を減らすことができ、発
熱を軽減させることができる。

【００８９】＜実施形態５＞図８に本発明のステージ装
置をウエハステージ装置に適用した実施形態の概略図を
示す。また、図９は本実施形態のウエハステージの概略
図であり、図１０は本実施形態の移動型３次元固定子の
概略図である。

【００９０】不図示のベース上に定盤１０が固定され、
定盤上面内で回転方向、Ｘ方向、Ｙ方向に滑動自在にス
ライダ３１（移動体）が支持されている。スライダ３１
にはチルトユニット３２が設けられチルトユニット３２
には不図示の工作物を載置するためのウエハチャック３
３と直角鏡３４が設けられ、不図示のＺチルトアクチュ
エータによりスライダに対してＺチルト方向に駆動でき
るようになっている。

【００９１】さらに、スライダ３１の２つの隣接した側
面には枠９に保持された単極の可動磁石８が固定され
る。

【００９２】また、ステージ３５の６軸方向の位置はレ
ーザ干渉計と直角鏡により計測されている。定盤上面内
の移動における機械的なガイドは存在せず、移動方向の
位置の所定の目標からのずれはレーザ干渉計で計測して
上記２つの側面に設けた単極磁石を含むリニアモータで
補正するようになっている。本実施形態ではＸ方向、Ｙ
方向とも同程度の距離を並進させる構成となっている。

【００９３】スライダ３１の２つの隣接する側面に設け
た単極の可動磁石と非接触を保つように移動型３次元固
定子３−３（第１駆動手段のコイルとヨーク）が、ＸＹ
移動ユニット４Ｘ，４Ｙ（第２駆動手段）にＸＹ方向
（２次元方向）に移動自在に接続されている。

【００９４】移動型３次元固定子の詳細を図１０に示
す。基本的には移動型２次元固定子３−２ａと移動型２
次元固定子３−２ｂを互いの側板が直交するように連結
したものである。移動型２次元固定子３−２ａ、移動型
２次元固定子３−２ｂは、前述の実施形態で用いた移動
型２次元固定子３−２とほぼ同じ構造で同じ作用するも
のである。

【００９５】移動型２次元固定子３−２ａはＹ方向に推
力を発生するための単相コイルａとＸ方向に推力を発生
するための単相コイルｂとをかえる形平板状ヨークに巻
きまわして構成した２個の２次元コイルユニットを側板
ａ、側板ｂ兼連結板１７で固定したもので、側板ａと側
板兼連結板１７の移動型２次元固定子ａに含まれる部分
の側面はＸ方向にほぼ垂直な法線を持つ。

【００９６】移動型２次元固定子３−２ｂはＹ方向に推
力を発生するための単相コイルｄとＸ方向に推力を発生
するための単相コイルｃとをかえる型平板状ヨークに巻
きまわして構成した２個の２次元コイルユニットを側板
ｃと側板ｂ兼連結板１７で固定したもので側板ｃと側板
ｂ兼連結板１７の移動型２次元固定子ｂに含まれる部分
の側面はＹ方向にほぼ垂直な法線を持つ。

【００９７】ＸＹ移動ユニットはＹ移動ユニット４Ｙと
Ｙ移動ユニット４Ｙの上に固定されたＸ移動ユニット４
Ｘからなる。

【００９８】Ｙ移動ユニット４ＹはＹモータ２１Ｙ、Ｙ
ブラケット２２Ｙａ、Ｙ送りネジ２５Ｙ、Ｙナット２６
Ｙ、Ｙガイドこま２７ＹＲ、Ｙガイドバー２４ＹＲ、Ｙ
ガイドこま２７ＹＬ、Ｙガイドバー２４ＹＬ、Ｙブラケ
ット２２Ｙｂ、ガイドベース２８Ｙから構成される。不
図示のベースにＹガイドベースＬ、Ｒが固定され、Ｙガ
イドベース２８ＹＬ、Ｒ上にはＹガイドバー２４ＹＬ、
Ｒが固定され、Ｙガイドバー２４ＹＬ、Ｒ上にはガイド
こま２７ＹＬ、ＲがＹ方向に滑動自在に支持されてい
る。Ｙガイドこま２７ＹＲにはＹナット２６Ｙが固定さ
れ、Ｙナット２６ＹはＹ送りネジ２５Ｙにねじ込まれて
いる。Ｙ送りネジ２５ＹはＹブラケット２２Ｙａ、ｂの
不図示の軸受に回転自在に支持されている。Ｙブラケッ
ト２２ＹａにはＹモータ２１Ｙの固定部が固定され、Ｙ
モータ２１Ｙの回転軸はＹ送りネジ２５Ｙに固定されて
いる。Ｙガイドこま２７ＹＬ、ＲはＸ移動ユニット４Ｘ
に固定され、Ｘ移動ユニット全体がＹ方向に移動自在に
なっている。Ｙモータ２１Ｙを駆動してＹ送りネジ２５
Ｙを回転させるとＹナット２６Ｙを介してＹガイドこま
２７ＹがＹ方向に移動するのでＸ移動ユニット全体がＹ
方向に移動する。

【００９９】Ｘ移動ユニット４ＸはＸモータ２１Ｘ、Ｘ
ブラケット２２Ｘａ、Ｘ送りネジ２５Ｘ、Ｘガイドバー
２４Ｘ、Ｘナット２６Ｘ、Ｘブラケット２２Ｘｂから構
成される。Ｘブラケット２２Ｘａ、Ｘブラケット２２Ｘ
ｂの形状以外は前述の実施形態の固定子移動ユニット４
と同じ構成で作用も同じである。

【０１００】図８の移動型３次元固定子３−３は側板７
ａの駆動穴とガイド穴ｂ、および側板ｂ兼連結板１７の
ガイド穴ａによりＸ移動ユニット４ＸにＸ方向に移動自
在に固定される。移動型３次元固定子３−３とＸ移動ユ
ニット４Ｘの結合は前述の実施形態における移動型固定
子と固定子移動ユニットとの結合と同様である。

【０１０１】以上により、移動型３次元固定子３−３は
Ｘ移動ユニット４ＸによりＸ方向に移動され、Ｘ移動ユ
ニット４ＸはＹ移動ユニット４ＹによりＹ方向に移動さ
れるので、結果として移動型３次元固定子３−３はＸＹ
方向に移動されることができる。

【０１０２】前述のようにスライダ３１の２つの側面に
設けた単極の磁石８と移動型３次元固定子３−３は非接
触で対面するのだが、各単極磁石とその上下に位置する
かえる形平板状ヨークの鉛直方向の距離が概ね等しく磁
石には見かけ上の吸引力がほとんど働かないようになっ
ている点は上述の実施形態と同様である。

【０１０３】また、Ｘ方向の磁石８ＸのＸ方向の推力の
作用線、Ｙ方向の磁石８ＹのＹ方向の推力の作用線は概
ねスライダ３１の重心を通るようになっている。

【０１０４】以上の構成において、Ｘ方向にステージを
移動するには主にＸ磁石８Ｘから力を発生するように単
相コイル６ｃに電流を流す。上述のようにＸ磁石のＸ方
向の推力の作用線はほぼスライダ３１の重心を通るの
で、加速に際して回転力をほとんど発生しなくてすむ。
作用線と重心のずれにより僅かに発生する回転力を補正
するために単相コイル６ｂに電流を流して回転量が目標
値からずれないようにする。単相コイル６ｂに電流を流
してＸ方向の駆動力が増えた分は単相コイル６ｃに流す
電流を減らしてやればＸ方向の駆動力が変わることはな
い。位置や回転量を高精度に制御するにはレーザ干渉計
で高精度に計測し、目標値との差を不図示の制御演算器
で演算してその結果を電流指令として単相コイルに電流
を流すようにする。このあたりは前述の実施形態と同様
である。

【０１０５】このとき、同時にＸモータ２１Ｘを駆動し
て移動型３次元固定子３−３をＸ方向にスライダ３１の
動きに同期して動かすようにする。移動型３次元固定子
３−３の移動には高精度な追従制御は不要で、ステージ
側の単極磁石８を保持している枠９と側板７ａ、側板７
ｂ兼連結板１７が当たらないようにオープン送りすれば
十分である。このあたりも前述の実施形態と同様であ
る。

【０１０６】Ｙ方向にステージを移動するには、主にＹ
磁石８Ｙから力を発生するように単相コイル６ａに電流
を流す。上述のようにＹ磁石８ＹのＹ方向の推力の作用
線はほぼスライダ３１の重心を通るので、加速に際して
回転力をほとんど発生しなくてすむ。作用線と重心のず
れにより僅かに発生する回転力を補正するために単相コ
イル６ｄに電流を流して回転量が目標値からずれないよ
うにする。単相コイル６ｄに電流を流してＹ方向の駆動
力が増えた分は単相コイル６ａに流す電流を減らしてや
ればＹ方向の駆動力が変わることはない。位置や回転量
を高精度に制御するにはレーザ干渉計で計測し、目標値
との差を不図示の制御演算器で演算してその結果を電流
指令として単相コイルに電流を流すようにする。このあ
たりは前述の実施形態と同様である。

【０１０７】このとき、同時にＹモータ２１Ｙを駆動し
て移動型３次元固定子３−３をＹ方向にスライダ３１の
動きに同期して動かすようにする。移動型３次元固定子
３−３の移動には高精度な追従制御は不要で、ステージ
側の単極磁石８を保持している枠９と側板７ａ、側板７
ｂ兼連結板１７が当たらないようにオープン送りすれば
十分である。このあたりも前述の実施形態と同様であ
る。

【０１０８】また、ＸＹを同時に駆動するときは上記駆
動方法を単純に組合せれば良い。

【０１０９】本実施形態においてもヨークを積層鋼板に
する必要がない点、ヨークの寸法を軽くできる点等の前
述の実施形態と同様な効果が得られる。

【０１１０】また、本実施形態では前述の、磁石を有
し、ヨークを特に必要としないステージを、ＸＹ方向に
同程度のストロークで駆動できるという特有の効果があ
る。さらに、ヨークの小型化・軽量化ができるため、単
純な２段構成のＸＹステージを構成する場合、この効果
が顕著にあらわれる。また、ウエハステージが軽量化さ
れるため、ステージの高速化を図ることができる。

【０１１１】＜実施形態６＞次に前述した実施形態のス
テージ装置をレチクルステージやウエハステージとして
搭載した走査型露光装置の実施形態を、図１１を用いて
説明する。

【０１１２】鏡筒定盤９６は床または基盤９１からダン
パ９８を介して支持されている。また鏡筒定盤９６は、
レチクル定盤９４を支持すると共に、レチクルステージ
９５とウエハステージ９３の間に位置する投影光学系９
７を支持している。

【０１１３】ウエハステージは、床または基盤から支持
されたステージ定盤上に支持され、ウエハを載置して位
置決めを行う。また、レチクルステージは、鏡筒定盤に
支持されたレチクルステージ定盤上に支持され、レチク
ルを搭載して移動可能である。レチクルステージ９５上
に搭載されたレチクルをウエハステージ９３上のウエハ
を露光する露光光は、照明光学系９９から発生される。

【０１１４】なお、ウエハステージ９３は、レチクルス
テージ９５と同期して走査される。レチクルステージ９
５とウエハステージ９３の走査中、両者の位置はそれぞ
れ干渉計によって継続的に検出され、レチクルステージ
９５とウエハステージ９３の駆動部にそれぞれフィード
バックされる。これによって、両者の走査開始位置を正
確に同期させるとともに、定速走査領域の走査速度を高
精度で制御することができる。

【０１１５】本実施形態では、前述の実施形態のステー
ジ装置をレチクルステージやウエハステージとして用い
ているため、ステージの軽量化を図ることが可能なの
で、露光装置の軽量化・小型化を図ることができる。ま
た、ステージの軽量化に伴い、ステージの高速化が可能
となり、露光装置の高スループット化を図ることができ
る。

【０１１６】＜実施形態７＞次に上述した露光装置を利
用した半導体デバイスの製造方法の実施形態を説明す
る。図１２は半導体デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体
チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイク
ロマシン等）の製造のフローを示す。ステップＳ１１
（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行なう。
ステップＳ１２（マスク製作）では設計した回路パター
ンを形成したマスクを製作する。一方、ステップＳ１３
（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いて基板であ
るウエハを製造する。ステップＳ１４（ウエハプロセ
ス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを
用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回
路を形成する。次のステップＳ１５（組立）は後工程と
呼ばれ、ステップＳ１４によって作製されたウエハを用
いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程
（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程
（チップ封入）等の工程を含む。ステップＳ１６（検
査）ではステップＳ１５で作製された半導体デバイスの
動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こう
した工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷
（ステップＳ１７）される。

【０１１７】図１３は上記ウエハプロセスの詳細なフロ
ーを示す。ステップＳ２１（酸化）ではウエハの表面を
酸化させる。ステップＳ２２（ＣＶＤ）ではウエハ表面
に絶縁膜を形成する。ステップＳ２３（電極形成）では
ウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップＳ２
４（イオン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ス
テップＳ２５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗
布する。ステップＳ２６（露光）では上記説明した露光
装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光
する。ステップＳ２７（現像）では露光したウエハを現
像する。ステップＳ２８（エッチング）では現像したレ
ジスト像以外の部分を削り取る。ステップＳ２９（レジ
スト剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジス
トを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうこと
によって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成され
る。本実施形態の製造方法を用いれば、高集積度の半導
体デバイスを製造することができる。

【０１１８】

【発明の効果】本発明の請求項１記載のステージ装置に
よれば、非接触で移動体の位置・速度の制御を行う最中
に、第２駆動手段により第１駆動手段のコイル・ヨーク
を移動させることができる。そのため、精密な位置決め
に適した第１駆動手段を大きなストロークで移動可能で
あるので、移動体の高精度で広範囲の位置決めを行うこ
とができる。また、コイルの切換を行わずに済むため、
推力リップルが発生せず、外乱を軽減させることができ
る。

【０１１９】また、請求項２記載のステージ装置によ
り、第２駆動手段に連結されたヨークが、移動体に連結
された第１駆動手段の磁石と共に移動可能であるので、
磁石とヨークの相対移動がほとんど起こらないため、渦
電流による抵抗を軽減させることができる。また、ヨー
クの寸法・断面積等を小さくすることができるため、ス
テージ装置の軽量化を図ることができる。

【０１２０】また、本発明の請求項３記載のステージ装
置によれば、非接触で移動体の位置・速度の制御を行う
最中に、第２駆動手段により第１駆動手段を移動させる
ことができる。そのため、精密な位置決めに適した第１
駆動手段を大きなストロークで移動可能であるので、移
動体の高精度で広範囲の位置決めを行うことができる。
また、コイルの切換を行わずに済むため、推力リップル
が発生せず、外乱を軽減させることができる。また、第
１駆動手段の磁石とヨークの相対移動がほとんど起こら
ないため、渦電流による抵抗を軽減させることができ
る。また、ヨークの寸法・断面積等を小さくすることが
できるため、ステージ装置の軽量化を図ることができ
る。

【０１２１】本発明の請求項６記載のステージ装置によ
れば、第１駆動手段のコイルの寸法を磁石寸法とほぼ同
一になるため、コイルと一体で構成されるヨークの寸法
も、磁石寸法とほぼ同一で済むため、第１駆動手段のコ
イルとヨークの小型化・軽量化を図ることができる。ま
た、コイルにおいて、推力に寄与するのは磁石と対面し
ている部分なので、推力発生から見て無駄なコイル部分
がなくなり、無駄な発熱を抑えることができる。また、
ヨークの寸法を短くすることができるため、対向してい
る磁石の移動によるヨークの変形を軽減させることがで
き、高精度な位置決めを行うことができる。

【０１２２】本発明の請求項７記載のステージ装置によ
れば、ヨークを積層させずに構成することができるた
め、ヨークの形状や支持方法等に自由度が増すほか、ス
テージ装置のコストダウンを図ることができる。

【０１２３】本発明の請求項１０記載のステージ装置に
よれば、第１駆動手段が移動体に対して２次元方向に力
を与えることができるため、移動体の微小な位置決めを
２次元方向に行うことができる。

【０１２４】また、本発明の請求項１１記載のステージ
装置によれば、ヨークの辺部に凹部が設けられるため、
ヨークに巻き回されたコイルを効率的に利用することが
できるので、コイルの小型化・軽量化を図ることができ
る。

【０１２５】また、本発明の請求項１２記載のステージ
装置によれば、２方向に駆動力を発生するコイルを設け
ることで、２方向に対するコイルによって第１駆動手段
が２方向に駆動力を発生することができる。

【０１２６】本発明の請求項１３記載のステージ装置に
よれば、第２駆動手段が２次元方向に駆動可能であるの
で、第２駆動手段に連結された第１駆動手段の一部を２
次元方向に駆動することができ、結果として移動体を２
次元方向に大きなストロークで移動させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態のステージ装置の概略図

【図２】第１実施形態のステージ装置の詳細図

【図３】第２実施形態のステージ装置の概略図

【図４】第３実施形態のステージ装置の概略図

【図５】第３実施形態の移動形固定子と固定子移動ユニ
ットの詳細図

【図６】第４実施形態のステージ装置の概略図

【図７】第４実施形態の移動型２次元固定子の詳細図

【図８】第５実施形態のステージ装置の概略図

【図９】第５実施形態のウエハステージの概略図

【図１０】第５実施形態の移動型３次元固定子の概略図

【図１１】本発明のステージ装置を用いた露光装置の概
略図

【図１２】半導体デバイスの製造フロー図

【図１３】ウエハプロセスのフロー図

【図１４】従来のステージ装置の概略図

【図１５】従来の別の形態のステージ装置の概略図

【符号の説明】

１ ステージ ２ ガイド ３ 移動型固定子 ３−２ 移動型２次元固定子 ３−３ 移動型３次元固定子 ４ 固定子移動ユニット ４Ｘ Ｘ移動ユニット ４Ｙ Ｙ移動ユニット ５ ヨーク ６ コイル ６−２ ２相コイル ６−３ 偏平コイル ７ 側板 ８ 磁石 ８−２ ２極磁石 ８−６ ６極磁石 ９ 枠 １０ 定盤 １５ カエル形ヨーク １６ ２次元コイルユニット １７ 側板兼連結板 ２１ モータ ２２ ブラケット ２３ 支持板 ２４ ガイドバー ２５ 送りネジ ２６ ナット ２７ ガイドこま ２８ ガイドベース ３１ スライダ ３２ チルトユニット ３３ ウエハチャック ３４ 直角鏡 ３５ ウエハステージ ５１ ステージ ５２ ガイド ５３ 固定子 ５４ 可動子 ５５ ヨーク ５６ コイル ５７ 固定子枠 ５８ 磁石 ５９ 枠 ６０ 工作物 ９１ 床・基盤 ９２ ステージ定盤 ９３ ウエハステージ ９４ レチクル定盤 ９５ レチクルステージ ９６ 鏡筒定盤 ９７ 投影光学系 ９８ ダンパ ９９ 照明光学系

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 移動体と、磁石とコイルを含み該移動体
   を移動させる第１駆動手段と、該第１駆動手段を該所定
   の方向に移動させる第２駆動手段とを有し、該第１駆動
   手段の磁石が該移動体に連結され、該第１駆動手段のコ
   イルはヨークと一体化されて該第２駆動手段に連結され
   ていることを特徴とするステージ装置。
2. 【請求項２】 前記第１駆動手段により移動体を駆動し
   て該移動体の位置または速度の制御を行う最中に、前記
   第２駆動手段に連結された第１駆動手段のコイルを移動
   体に概ね同期させて移動することを特徴とする請求項１
   記載のステージ装置。
3. 【請求項３】 移動体と、磁石とコイルを含み該移動体
   を所定の方向に移動させる第１駆動手段と、該第１駆動
   手段を該所定の方向に移動させる第２駆動手段とを有
   し、該第１駆動手段の磁石とコイルのうち一方が移動体
   側に連結され、他方がヨークと一体的に該第２駆動手段
   に連結され、該第１駆動手段により該移動体を駆動して
   該移動体の位置または速度の制御を行う最中に、該第２
   駆動手段に連結された該第１駆動手段の磁石とコイルの
   うちの一方を移動体に概ね同期させて移動することを特
   徴とするステージ装置。
4. 【請求項４】 前記第２駆動手段が送りネジを有するこ
   とを特徴とする請求項１〜３いずれか記載のステージ装
   置。
5. 【請求項５】 前記第２駆動手段がリニアモータを有す
   ることを特徴とする請求項１〜３いずれか記載のステー
   ジ装置。
6. 【請求項６】 移動方向に関して、前記磁石寸法と前記
   コイル寸法がほぼ同一であることを特徴する請求項１〜
   ５記載のステージ装置。
7. 【請求項７】 前記ヨークが平板状の強磁性体から構成
   されることを特徴とする請求項１〜６いずれか記載のス
   テージ装置。
8. 【請求項８】 前記コイルは前記ヨークに巻き回された
   コイルであることを特徴とする請求項１〜７記載のステ
   ージ装置。
9. 【請求項９】 前記コイルは偏平コイルであることを特
   徴とする請求項１〜７いずれか記載のステージ装置。
10. 【請求項１０】 前記第１駆動手段は、前記移動体を２
    次元方向に移動可能であることを特徴とする請求項１〜
    ９記載のステージ装置。
11. 【請求項１１】 前記ヨークは辺部において凹部を有す
    るヨークであることを特徴とする請求項１〜１０いずれ
    か記載のステージ装置。
12. 【請求項１２】 前記コイルは、前記磁石に対して第１
    の方向に駆動力を発生させる第１コイルと、前記磁石に
    対して第２の方向に駆動力を発生させる第２コイルとを
    有することを特徴とする請求項１〜１１いずれか記載の
    ステージ装置。
13. 【請求項１３】 前記第２駆動手段は２次元方向に駆動
    可能であることを特徴とする請求項１〜１２記載のステ
    ージ装置。
14. 【請求項１４】 請求項１〜１３いずれか記載のステー
    ジ装置を備えたことを特徴とする露光装置。
15. 【請求項１５】 請求項１４記載の露光装置を用意して
    露光を行なう工程を含む製造工程によってデバイスを製
    造することを特徴とするデバイス製造方法。
16. 【請求項１６】 露光前にウエハにレジストを塗布する
    工程と、露光後にウエハのレジストの現像を行なう工程
    を更に有することを特徴とする請求項１５記載のデバイ
    ス製造方法。