JPH11295362A - インピーダンス測定装置 - Google Patents
インピーダンス測定装置Info
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- JPH11295362A JPH11295362A JP11784698A JP11784698A JPH11295362A JP H11295362 A JPH11295362 A JP H11295362A JP 11784698 A JP11784698 A JP 11784698A JP 11784698 A JP11784698 A JP 11784698A JP H11295362 A JPH11295362 A JP H11295362A
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Abstract
ることが可能なインピーダンス測定装置を提供すること
を主目的とする。 【解決手段】 測定対象体2に電流供給用プローブ41
a,17bを介して交流定電流を供給するための交流定
電流源3と、電圧検出用プローブ42a,42bを介し
て入力した測定対象体2の両端電圧を差動増幅するため
の差動増幅回路6と、差動増幅回路6の出力電圧を交流
定電流に同期した同期信号に基づいて同期検波する同期
検波回路7,8とを備えているインピーダンス測定装置
1において、電圧検出用プローブ42a,42bの断線
・未接続を検出するためのプローブ断線・未接続検出手
段11b,11cと、差動増幅回路6の出力電圧の飽和
を検出する差動増幅回路飽和検出手段11dとの少なく
とも一方を備えた。
Description
に従って測定対象体の抵抗値、キャパシタンスおよびイ
ンダクタンスを要素とするインピーダンスを測定可能に
構成されているインピーダンス測定装置に関するもので
ある。
て、出願人は、図4に示す抵抗測定装置51を既に開発
している。同図に示す抵抗測定装置51は、周波数が例
えば1kHzで電流値I1 の測定用電流IM を測定対象
抵抗体2に供給する交流定電流源3と、測定対象抵抗体
2に測定用電流IM が導通する際にその両端電圧を差動
増幅する差動増幅回路6と、差動増幅回路6の出力電圧
V51と交流定電流源3から出力される同期信号SSYN と
を乗算して出力電圧V52を生成する乗算器7と、出力電
圧V52をろ波して電圧V53を出力するLPF(ローパス
フィルタ)8と、電圧V53をアナログ−デジタル変換す
るA/D変換器(図示せず)と、変換後のディジタルデ
ータを電流値I1 の二乗値で除算することにより測定対
象抵抗体2の抵抗値を演算するCPU(図示せず)と、
演算された抵抗値を表示する表示部(図示せず)と、交
流定電流源3の出力電圧を監視することにより電流供給
用のプローブ41a,41bの断線などを検出する飽和
検出回路11aとを備えている。
プローブ41a,41bおよび電圧検出用のプローブ4
2a,42bが測定対象抵抗体2に接続された状態で図
外の測定開始スイッチが操作されると、交流定電流源3
がプローブ41a,41bを介して測定対象抵抗体2に
測定用電流IM を供給する。この状態では、差動増幅回
路6が、プローブ42a,42bを介して入力した測定
対象抵抗体2の両端電圧を差動増幅することにより、出
力電圧V51を出力する。この後、同期検波が行われる。
具体的には、まず、乗算器7が出力電圧V51と同期信号
SSYN とを互いに乗算することにより、出力電圧V52を
生成する。次いで、LPF8が出力電圧V52を低域ろ波
することにより、測定対象抵抗体2の実効抵抗に電圧値
が比例する電圧V53を生成してA/D変換器に出力し、
A/D変換器が電圧V53をディジタルデータに変換す
る。この後、CPUがディジタルデータを電流値I1 の
二乗値で除算することにより、測定対象抵抗体2の抵抗
値を演算すると共に演算した抵抗値を表示部に表示させ
る。
1の測定可能範囲を超える高抵抗の場合には、交流定電
流源3は、電流値I1 の測定用電流IM を測定対象抵抗
体2に流し込むことができず、電源電圧まで飽和した交
流電圧を出力する。また、プローブ41a,41bが断
線していたり、プローブ41a,41bが未接続または
接触不良であったりした(以下、未接続および接触不良
を総称して「未接続」ともいう)ときにも、交流定電流
源3は、電源電圧まで飽和した交流電圧を出力する。こ
れらの場合には、測定対象抵抗体2の抵抗値を正確に測
定することができないため、飽和検出回路11aが、交
流定電流源3の出力飽和を検出した際に、飽和検出信号
S51をCPUに出力する。この際には、CPUは、抵抗
値を演算することなく、表示部に測定条件異常である旨
を表示させる。これにより、プローブ41a,41bの
断線などに起因しての誤測定が防止される。
に開発した抵抗測定装置51には、以下の改善すべき点
がある。第1に、抵抗成分がわずかでインダクタンス成
分が大部分を占めるチョークコイルなどリアクタンスが
大きな測定対象抵抗体2の抵抗値を測定する場合に、抵
抗値を誤測定するおそれがあり、この改善が望まれてい
る。具体的には、インダクタンスが大きなチョークコイ
ルに図5(a)に示す測定用電流IM を供給した場合、
交流定電流源3の出力電圧が飽和していないでチョーク
コイルの両端電圧が高電圧になることがある。このた
め、差動増幅回路6の出力電圧能力によっては、出力電
圧V51の波形が、例えば、同図(c)に示すように、正
の高電圧領域で歪むことがある。この場合、出力電圧V
52は、同図(b)に示す同期信号SSYN と出力電圧V51
との乗算値に相当する電圧であるため、同図(d)に示
すように、出力電圧V51に歪みがない理想的な波形W1
と比較して、正の高電圧の領域が歪んだ波形W2とな
る。したがって、出力電圧V52をろ波したLPF8の電
圧V53が波形W1をろ波した場合と比較して低電圧とな
るため、CPUは、実際の抵抗値よりも低抵抗値に演算
する。この場合、飽和検出回路11aから飽和検出信号
S51が出力されないため、CPUは、測定条件異常を表
示させることなく誤測定した抵抗値を表示させてしま
う。第2に、電圧検出用のプローブ42a,42bが断
線や未接続の場合にも、差動増幅回路6の出力電圧V51
が0Vまたは不安定になる。このため、この場合にもC
PUが誤測定するおそれがあり、この改善が望まれてい
る。
ものであり、測定条件に異常が生じた際に誤測定を回避
することが可能なインピーダンス測定装置を提供するこ
とを主目的とする。
求項1記載のインピーダンス測定装置は、測定対象体に
電流供給用プローブを介して交流定電流を供給するため
の交流定電流源と、電圧検出用プローブを介して入力し
た測定対象体の両端電圧を差動増幅するための差動増幅
回路と、差動増幅回路の出力電圧を交流定電流に同期し
た同期信号に基づいて同期検波する同期検波回路とを備
えているインピーダンス測定装置において、電圧検出用
プローブの断線・未接続を検出するためのプローブ断線
・未接続検出手段と、差動増幅回路の出力電圧の飽和を
検出する差動増幅回路飽和検出手段との少なくとも一方
を備えたことを特徴とする。なお、より確実に誤測定を
回避するためには、電流供給用プローブの断線・未接続
を検出する電流供給用プローブ断線・未接続検出手段を
合わせて備えることが好ましい。
象体のインピーダンスが大きいことに起因して差動増幅
回路の出力電圧が飽和して歪んだ場合には、差動増幅回
路飽和検出手段がこれを検出する。また、電圧検出用プ
ローブが断線や未接続状態の場合には、プローブ断線・
未接続検出手段がこれを検出する。次いで、これらの異
常が検出された場合には、例えば、測定条件異常である
旨を報知する。このため、誤測定を回避することが可能
となる。
は、請求項1記載のインピーダンス測定装置において、
差動増幅回路飽和検出手段は、差動増幅回路の出力電圧
が所定の電圧範囲を外れたときに交流定電流の1周期よ
りも長時間の検出信号を出力すると共にリトリガ可能な
タイマ回路を備えていることを特徴とする。
滑し、この整流平滑した電圧が所定の電圧値を超えたと
きに差動増幅回路の出力飽和を検出することもできる。
ところが、平滑回路の時定数が長い場合、差動増幅回路
の飽和を検出するのに長時間を要し、しかも飽和を検出
するのが困難となる場合もある。一方、この差動増幅回
路飽和検出手段では、差動増幅回路の出力電圧が所定の
電圧範囲を外れたときには、タイマ回路が、交流定電流
の1周期よりも長時間の検出信号を出力する。この場
合、タイマ回路は、リトリガ可能なため、差動増幅回路
の出力電圧が交流定電流の次の周期において再度所定の
電圧範囲を外れると、その周期においても検出信号を継
続して出力する。したがって、タイマ回路は、差動増幅
回路の出力電圧が交流定電流の各周期において所定の電
圧範囲を外れている限り、検出信号を出力し続ける。こ
のため、例えば、測定条件が異常であることを報知した
り、測定を停止することにより、誤測定を回避すること
が可能となると共に、測定者に対して、測定可能な抵抗
値範囲内の測定対象体であるか否かを確実に報知するこ
とが可能となる。
明に係るインピーダンス測定装置を抵抗測定装置に適用
した好適な実施の形態について説明する。なお、出願人
が既に開発している抵抗測定装置51と同一の構成要素
については同一の符号を付して重複した説明を省略す
る。
流定電流源3、コンデンサ4,5、差動増幅回路6、乗
算器7、LPF8、交流定電流源9,10、飽和検出回
路11a〜11d、A/D変換器21、CPU22、お
よび表示部23を備えている。
zで電流値I1 の測定用電流IM を測定対象抵抗体2に
供給すると共に測定用電流IM に同期した矩形波の同期
信号SSYN を出力する。コンデンサ4は、測定対象抵抗
体2がバッテリーなどの電圧源である場合に、その電圧
が測定用電流IM に印加されるのを防止する。コンデン
サ5は、測定対象抵抗体2の両端電圧における交流成分
のみを差動増幅回路6に出力する。乗算器7およびLP
F8は、本発明における同期検波回路に相当する。交流
定電流源9は、交流定電流源10および飽和検出回路1
1b,11cと相俟って本発明におけるプローブ断線・
未接続検出手段に相当する。この場合、交流定電流源9
は、プローブ42aに2kHzの交流定電流I2 を導通
させ、交流定電流源10は、プローブ42bに2kHz
の交流定電流I3 を導通させる。
出力飽和を検出するための回路であって、図2に示すよ
うに、交流定電流源3の出力電圧V11の正の飽和電圧よ
りも若干低電圧の基準電圧VREF1を生成する基準電圧源
12aと、出力電圧V11と基準電圧VREF1とを比較する
コンパレータ13aと、コンパレータ13aの出力電圧
がハイレベル電圧になったときに1.2msecのパル
ス幅の飽和検出信号S1 を出力するリトリガ可能なワン
ショットタイマ14aとを備えている。飽和検出回路1
1bは、交流定電流源9の出力飽和を検出するための回
路であって、同図に示すように、交流定電流源9の出力
電圧V12の正の飽和電圧よりも若干低電圧の基準電圧V
REF2を生成する基準電圧源12bと、出力電圧V12と基
準電圧VREF2とを比較するコンパレータ13bと、コン
パレータ13bの出力電圧がハイレベル電圧になったと
きに0.6msecのパルス幅の飽和検出信号S2 を出
力するリトリガ可能なワンショットタイマ14bとを備
えている。飽和検出回路11cは、交流定電流源10の
出力飽和を検出するための回路であって、同図に示すよ
うに、交流定電流源10の出力電圧V13の正の飽和電圧
よりも若干低電圧の基準電圧VREF3を出力する基準電圧
源12cと、出力電圧V13と基準電圧VREF3とを比較す
るコンパレータ13cと、コンパレータ13cの出力電
圧がハイレベル電圧になったときに0.6msecのパ
ルス幅の飽和検出信号S3 を出力するリトリガ可能なワ
ンショットタイマ14cとを備えている。
動増幅回路飽和検出手段に相当し、差動増幅回路6の出
力飽和を検出する。この飽和検出回路11dは、同図に
示すように、差動増幅回路6の出力電圧V1 の正の飽和
電圧よりも若干低電圧の基準電圧VREF4を出力する基準
電圧源12dと、出力電圧V1 と基準電圧VREF4とを比
較するコンパレータ13dと、本発明におけるタイマ回
路に相当しコンパレータ13dの出力電圧がハイレベル
電圧になったときに1.2msecのパルス幅の飽和検
出信号S4 を出力するリトリガ可能なワンショットタイ
マ14dとを備えている。
入力されたディジタルデータに基づいて測定対象抵抗体
2の抵抗値を演算すると共に、その演算した抵抗値を表
示部23に表示させる。また、CPU22は、後述する
ように、飽和検出回路11a〜11dから飽和検出信号
S1 〜S4 が出力されたときには、測定不能である旨な
どを表示部23に表示させる。
いて、図3に示す波形図を参照して説明する。
a,41b,42a,42bを接続した状態で図外の測
定開始スイッチを操作すると、交流定電流源3が、コン
デンサ4およびプローブ41a,41bを介して同図
(a)に示す正弦波1kHzの測定用電流IM を測定対
象抵抗体2に供給する。同時に、交流定電流源3は、正
側および負側の振幅値が同電圧であって、その立ち上が
りおよび立ち下がりが測定用電流IM のゼロクロス点に
同期する矩形波の同期信号SSYN (同図(b)参照)を
乗算器7に出力する。一方、交流定電流源9,10は、
同期信号SSYN に同期する正弦波2kHzの交流定電流
I2 および交流定電流I3 (同図(c)参照)をそれぞ
れ出力する。この場合、交流定電流I2 は、交流定電流
源9、コンデンサ5、プローブ42a、測定対象抵抗体
2、プローブ41b、グランドライン、および交流定電
流源9からなる経路を導通し、交流定電流I3 は、交流
定電流源10、プローブ42b、測定対象抵抗体2のリ
ード線、プローブ41b、グランドライン、および交流
定電流源10からなる経路を導通する。この際に、測定
対象抵抗体2には、測定用電流IM と交流定電流I2 と
の合成電流が導通する。
a,42bを介して入力した測定対象抵抗体2の両端電
圧を差動増幅することにより出力電圧V1 を出力する。
この場合、例えば、測定対象抵抗体2が抵抗成分のみの
抵抗体であるとすると、同図(d)に示すように、出力
電圧V1 の波形は、測定対象抵抗体2を流れた1kHz
の測定用電流IM および2kHzの交流定電流I2 の合
成波形となる。次に、乗算器7が出力電圧V1 と同期信
号SSYN とを互いに乗算することにより出力電圧V2 を
生成する。この際の出力電圧V2 の波形は、同図(b)
に示す同期信号SSYN の正負サイクルに応じて極性反転
させられるため、同図(e)に示すように、出力電圧V
1 を全波整流した波形となる。次いで、LPF8が、出
力電圧V2をろ波することにより、測定対象抵抗体2の
実効抵抗に電圧値が比例する電圧V3 を出力する。
間Aおよび負サイクル期間B(同図(b)参照)が、そ
れぞれ2kHzの交流定電流I2 の1周期と等しいた
め、交流定電流I2 の電流波形と同期信号SSYN との乗
算電圧をろ波した場合、交流定電流I2 の正サイクルと
負サイクルにそれぞれ相当する乗算電圧は互いに相殺さ
れる。このため、この電圧V3 の平均値は、測定用電流
IM のみが流れたとした場合の測定対象抵抗体2の両端
電圧と同期信号SSYN とを互いに乗算した乗算電圧をろ
波した電圧の平均値と等しくなる。この結果、交流定電
流I2 を測定対象抵抗体2に流したとしても、電圧V3
の平均値に対する影響が排除される。
ィジタルデータに変換し、CPU22に出力する。この
後、CPU22は、測定用電流IM の電流値I1 の二乗
値でディジタルデータを除算することにより測定対象抵
抗体2の抵抗値を演算する。この際に、交流定電流I2
が測定対象抵抗体2に流れることによる電圧V3 の平均
値に対する影響が排除されているため、CPU22は、
測定対象抵抗体2の抵抗値を正確に測定することができ
る。なお、測定対象抵抗体2にリアクタンス成分が含ま
れていたとしても、同様にして、交流定電流I2 が測定
対象抵抗体2を流れることによる影響が排除されるた
め、CPU22は、測定対象抵抗体2が純粋な抵抗体の
みならずチョークコイルやコンデンサであったとして
も、正確に抵抗値を測定することができる。次いで、C
PU22は、演算した抵抗値を表示部23に表示させ
る。
bおよび電圧検出用のプローブ42a,42bが断線・
未接続の場合や、高インピーダンスのチョークコイルな
どが測定対象抵抗体2とされた場合の処理動作について
説明する。
・未接続状態のときの処理動作について説明する。この
場合、両プローブ41a,41bのいずれか一方が断線
・未接続状態であると、測定用電流IM の導通経路が絶
たれることにより交流定電流源3の出力電圧V11が電源
電圧まで飽和する。この際の出力電圧V11は、正負の瞬
時電圧が正および負の電源電圧となる1kHzの台形波
となる。したがって、飽和検出回路11aでは、出力電
圧V11が基準電圧VREF1を上回ると、コンパレータ13
aが出力レベルをロウレベルからハイレベルに反転し、
これにより、ワンショットタイマ14aが、1.2ms
ecのパルス幅の出力信号S1 を出力する。この際に、
測定用電流IM の各周期において出力電圧V11が基準電
圧VREF1を上回っていると、その都度、ワンショットタ
イマ14aが出力信号S1 を出力することにより、出力
信号S1 が継続して出力され続ける。この状態では、C
PU22は、出力信号S1 が出力されたことにより、プ
ローブ41a,41bが断線・未接続である旨を表示部
23に表示させる。
未接続のときの処理動作について説明する。この場合、
両プローブ42a,42bのいずれか一方が断線・未接
続状態であると、交流定電流I2 ,I3 の導通経路が絶
たれることにより交流定電流源9,10の出力電圧V1
2,V13が電源電圧まで飽和する。この場合にも、出力
電圧V11,V12は、正負の瞬時電圧が正および負の電源
電圧となる2kHzの台形波となる。したがって、飽和
検出回路11bでは、プローブ42aの断線・未接続状
態に起因して出力電圧V12が基準電圧VREF2を上回る
と、コンパレータ13bが出力レベルをロウレベルから
ハイレベルに反転し、これにより、ワンショットタイマ
14bが、0.6msecのパルス幅の出力信号S2 を
出力する。この際に、交流定電流I2 の各周期において
出力電圧V12が基準電圧VREF2を上回っていると、その
都度、ワンショットタイマ14bが出力信号S2 を出力
することにより、出力信号S2 が継続して出力され続け
る。この状態では、CPU22は、出力信号S2 が出力
されたことにより、プローブ42aが断線・未接続であ
る旨を表示部23に表示させる。同様にして、飽和検出
回路11cでは、プローブ42bの断線・未接続状態に
起因して交流定電流源10の出力電圧V13が基準電圧V
REF3を上回ると、ワンショットタイマ14cが出力信号
S3 を出力するため、CPU22が、プローブ42bが
断線・未接続である旨を表示部23に表示させる。
スの場合の処理動作について説明する。この場合、測定
対象抵抗体2の両端電圧が大きくなることにより、差動
増幅回路6の出力電圧V1 が飽和電圧まで上昇すること
がある。この際に、飽和検出回路11dでは、出力電圧
V1 が1msecの周期で基準電圧VREF4を超えるた
め、コンパレータ13dが1msecの周期でハイレベ
ル信号を出力することにより、ワンショットタイマ14
dが、リトリガされつつ、出力信号S4 を継続して出力
する。次いで、CPU22が、出力信号S4 を入力した
ときに、測定不能な測定対象抵抗体2が測定対象とされ
た旨を表示部23に表示させる。
ば、交流定電流源9,10がプローブ42a,42bに
対して交流定電流I2 ,I3 を常時導通させ、飽和検出
回路11b,11cが出力電圧V12,V13の飽和を検出
することにより、プローブ42a,42bが測定中に断
線したり外れたりした場合に、プローブ42a,42b
の断線・未接続を表示部23に表示させることにより、
誤った抵抗測定を防止することができる。また、飽和検
出回路11dが差動増幅回路6における出力電圧V1 の
飽和を検出することにより、測定対象抵抗体2が高イン
ピーダンスの測定対象であった場合にも、誤った抵抗測
定を防止することができる。さらに、リトリガ可能なワ
ンショットタイマ14a〜14dを飽和検出回路11a
〜11d内に配設したことにより、交流定電流源3,
9,10および差動増幅回路6の出力飽和を迅速かつ確
実に検出することができる。
定されず、その構成を適宜変更することができる。例え
ば、本発明の実施形態では、別個独立した交流定電流源
9,10がプローブ42a,42bに対してそれぞれ交
流定電流I2 ,I3 を導通させているが、本発明は、こ
れに限定されず、交流定電流源9,10に代えて、1つ
の交流定電流源で構成することもできる。具体的には、
交流定電流源から、コンデンサ5、プローブ42a、測
定対象抵抗体2、プローブ42b、およびこの交流定電
流源からなる導通経路に交流定電流を導通させ、この交
流定電流源の出力電圧の飽和を検出すればよい。この構
成によれば、断線・未接続の状態のプローブ42a,4
2bを特定するのは困難であるが、簡易に構成すること
ができる。
I2 ,I3 の周波数を2kHzとしているが、本発明
は、これに限定されず、測定用電流IM の周波数の偶数
倍の周波数の交流定電流を用いることができるのは勿論
である。
回路11a〜11dは、出力電圧V11,V12,V13,V
1 の正電圧側の飽和を検出しているが、本発明は、これ
に限定されず、出力電圧V11,V12,V13,V1 の負電
圧側の飽和を検出してもよいし、両電圧側を同時に検出
してもよい。また、飽和検出回路11a〜11dを整流
平滑回路およびコンパレータで構成することもできる。
また、本発明の実施の形態では、飽和検出信号S1 〜S
4 を別個にCPU22に出力しているが、これらの飽和
検出信号の論理和信号を生成してもよい。
ーダンスの一態様である実効抵抗を測定する例について
説明したが、本発明は、これに限らず、リアクタンス、
キャパシタンスおよびインダクタンスを測定するインピ
ーダンスメータに適用することができる。この場合、図
3(b)に示した同期信号SSYN の位相を90゜移相し
た同期信号に基づいて同期検波することによりリアクタ
ンスを測定する測定系を追加し、測定した実効抵抗およ
びリアクタンスに基づいてインピーダンスを測定するこ
とができる。
ダンス測定装置によれば、プローブ断線・未接続検出手
段および差動増幅回路飽和検出手段の一方または両方を
備えたことにより、電圧検出用プローブの断線・未接続
や高インピーダンスの測定対象体が測定対象とされた条
件下において誤測定を防止することができる。
装置によれば、差動増幅回路飽和検出手段にリトリガ可
能なタイマ回路を用いたことにより、差動増幅回路の出
力飽和を迅速かつ確実に検出することができ、これによ
り、測定対象体についてインピーダンスが測定可能か否
かを迅速に報知することができる。
図である。
る飽和検出回路11a〜11dの回路図である。
測定動作を説明するための波形図であって、(a)は測
定用電流IM の電流波形図、(b)は同期信号SSYN の
信号波形図、(c)は交流定電流I2 ,I3 の電流波形
図、(d)は出力電圧V1 の電圧波形図、(e)は出力
電圧V2 の電圧波形図である。
図である。
測定動作を説明するための波形図であって、(a)は測
定用電流IM の電流波形図、(b)は同期信号SSYN の
信号波形図、(c)は出力電圧V51の電圧波形図、
(d)は出力電圧V52の電圧波形図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 測定対象体に電流供給用プローブを介し
て交流定電流を供給するための交流定電流源と、電圧検
出用プローブを介して入力した前記測定対象体の両端電
圧を差動増幅するための差動増幅回路と、当該差動増幅
回路の出力電圧を前記交流定電流に同期した同期信号に
基づいて同期検波する同期検波回路とを備えているイン
ピーダンス測定装置において、 前記電圧検出用プローブの断線・未接続を検出するため
のプローブ断線・未接続検出手段と、前記差動増幅回路
の出力電圧の飽和を検出する差動増幅回路飽和検出手段
との少なくとも一方を備えたことを特徴とするインピー
ダンス測定装置。 - 【請求項2】 前記差動増幅回路飽和検出手段は、前記
差動増幅回路の出力電圧が所定の電圧範囲を外れたとき
に前記交流定電流の1周期よりも長時間の検出信号を出
力すると共にリトリガ可能なタイマ回路を備えているこ
とを特徴とする請求項1記載のインピーダンス測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11784698A JPH11295362A (ja) | 1998-04-13 | 1998-04-13 | インピーダンス測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11784698A JPH11295362A (ja) | 1998-04-13 | 1998-04-13 | インピーダンス測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11295362A true JPH11295362A (ja) | 1999-10-29 |
Family
ID=14721729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11784698A Pending JPH11295362A (ja) | 1998-04-13 | 1998-04-13 | インピーダンス測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11295362A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002048833A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-02-15 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2007132778A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Hioki Ee Corp | インピーダンス測定装置 |
| JP2008003020A (ja) * | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Hioki Ee Corp | インピーダンス測定装置 |
| JP2011149963A (ja) * | 2011-05-13 | 2011-08-04 | Hioki Ee Corp | インピーダンス測定装置 |
| JPWO2017038293A1 (ja) * | 2015-09-02 | 2018-07-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 回路検査方法および試料検査装置 |
-
1998
- 1998-04-13 JP JP11784698A patent/JPH11295362A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002048833A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-02-15 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2007132778A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Hioki Ee Corp | インピーダンス測定装置 |
| JP2008003020A (ja) * | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Hioki Ee Corp | インピーダンス測定装置 |
| JP2011149963A (ja) * | 2011-05-13 | 2011-08-04 | Hioki Ee Corp | インピーダンス測定装置 |
| JPWO2017038293A1 (ja) * | 2015-09-02 | 2018-07-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 回路検査方法および試料検査装置 |
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|
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