JPH11295609A - 対物レンズ - Google Patents
対物レンズInfo
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- JPH11295609A JPH11295609A JP10095528A JP9552898A JPH11295609A JP H11295609 A JPH11295609 A JP H11295609A JP 10095528 A JP10095528 A JP 10095528A JP 9552898 A JP9552898 A JP 9552898A JP H11295609 A JPH11295609 A JP H11295609A
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- Japan
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- lens
- group
- glass
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 対物レンズと標本との間に様々な光学特性を
持った物体が介在したとしても、良好な結像性能を発揮
する対物レンズを提供する。 【解決手段】 対物レンズを前群と後群の二つのレンズ
群で構成し、前群と標本との間に配置された透明な物質
の光学特性に応じて後群を交換するようにした。標本と
対物レンズの間に屈折率やアッベ数、あるいは厚みの異
なる透明な物質が介在したとしても、良好な結像性能が
得られる。
持った物体が介在したとしても、良好な結像性能を発揮
する対物レンズを提供する。 【解決手段】 対物レンズを前群と後群の二つのレンズ
群で構成し、前群と標本との間に配置された透明な物質
の光学特性に応じて後群を交換するようにした。標本と
対物レンズの間に屈折率やアッベ数、あるいは厚みの異
なる透明な物質が介在したとしても、良好な結像性能が
得られる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は対物レンズに関し、
特に、対物レンズと観察や測定対象となる標本との間に
介在する、様々な材質からなる透明な物質を通して標本
を観察する場合に用いられる対物レンズに関する。
特に、対物レンズと観察や測定対象となる標本との間に
介在する、様々な材質からなる透明な物質を通して標本
を観察する場合に用いられる対物レンズに関する。
【0002】
【従来の技術】顕微鏡の対物レンズは、対物レンズの先
端部から一定の距離にある標本の像を良好に形成するよ
うに収差が補正されている。ここで、金属や岩石などの
不透明な標本の表面を観察する場合に用いられる対物レ
ンズは、通常、標本の表面に他の物質は何も無いため、
対物レンズと標本の間に空気しかない状態で収差が補正
されている。また、生物標本を観察する場合は、通常、
対物レンズと標本の間に一定の厚さのカバーガラスが存
在するので、このカバーガラスの厚さと屈折率を考慮し
て、対物レンズの収差が補正されている。
端部から一定の距離にある標本の像を良好に形成するよ
うに収差が補正されている。ここで、金属や岩石などの
不透明な標本の表面を観察する場合に用いられる対物レ
ンズは、通常、標本の表面に他の物質は何も無いため、
対物レンズと標本の間に空気しかない状態で収差が補正
されている。また、生物標本を観察する場合は、通常、
対物レンズと標本の間に一定の厚さのカバーガラスが存
在するので、このカバーガラスの厚さと屈折率を考慮し
て、対物レンズの収差が補正されている。
【0003】ところが、近年になって標本の表面に透明
な物質が載っている状態や、標本と対物レンズの間にカ
バーガラスとは異なる透明な物質を挟んだ状態で標本を
観察しなければならない状況が起きている。例えば、L
CDパネルや光ディスクなどでは、LCDパネルの液晶
部分や配線部分の上や光ディスクピットの上には、材質
も厚さも様々に異なる透明な保護物質(平行平面板、若
しくは平行平面層)が設けられている。そのため、従来
の金属標本を観察する対物レンズで観察しようとする
と、対物レンズの先端と液晶や配線部分、あるいはピッ
トとの間に空気以外の透明な保護物質が存在するため、
対物レンズの収差が悪化し良好な像を得ることが難し
い。
な物質が載っている状態や、標本と対物レンズの間にカ
バーガラスとは異なる透明な物質を挟んだ状態で標本を
観察しなければならない状況が起きている。例えば、L
CDパネルや光ディスクなどでは、LCDパネルの液晶
部分や配線部分の上や光ディスクピットの上には、材質
も厚さも様々に異なる透明な保護物質(平行平面板、若
しくは平行平面層)が設けられている。そのため、従来
の金属標本を観察する対物レンズで観察しようとする
と、対物レンズの先端と液晶や配線部分、あるいはピッ
トとの間に空気以外の透明な保護物質が存在するため、
対物レンズの収差が悪化し良好な像を得ることが難し
い。
【0004】また、シャーレやフラスコに入れられた生
物標本は、シャーレやフラスコの底面に付着しているだ
けでなく、標本を保持する培養液中で浮遊した状態にな
っている場合もある。そのため、この浮遊状態にある標
本を従来の生物標本を観察する対物レンズで観察しよう
とすると、対物レンズ先端から標本までの距離(培養液
の層の厚さ)が様々に異なるため、収差が十分補正され
ず良好な像を得ることが難しい。
物標本は、シャーレやフラスコの底面に付着しているだ
けでなく、標本を保持する培養液中で浮遊した状態にな
っている場合もある。そのため、この浮遊状態にある標
本を従来の生物標本を観察する対物レンズで観察しよう
とすると、対物レンズ先端から標本までの距離(培養液
の層の厚さ)が様々に異なるため、収差が十分補正され
ず良好な像を得ることが難しい。
【0005】このように収差が悪化するのは、標本で反
射されて対物レンズに入射する光束、あるいは標本を通
過して対物レンズに入射する光束が、いずれも標本から
対物レンズに向かって発散する光束になっていため、標
本と対物レンズの間に透明な物質が介在すると、透明な
物質を通過する時に球面収差や軸上色収差が発生してし
まうからである。このとき、各収差の発生量は、対物レ
ンズの開口数(NA)に比例して大きくなる。
射されて対物レンズに入射する光束、あるいは標本を通
過して対物レンズに入射する光束が、いずれも標本から
対物レンズに向かって発散する光束になっていため、標
本と対物レンズの間に透明な物質が介在すると、透明な
物質を通過する時に球面収差や軸上色収差が発生してし
まうからである。このとき、各収差の発生量は、対物レ
ンズの開口数(NA)に比例して大きくなる。
【0006】そのため、透明な物質を介して標本を観察
する場合は、透明な物質で発生した収差を対物レンズで
相殺し良好な結像性能が得られるように、透明な物質に
応じて新たに対物レンズを設計しなければならない。こ
のような対物レンズはすでに幾つか提案されており、例
えば、特開平3−50517号公報や特開平4−310
97号公報に記載の対物レンズは、対物レンズを構成す
るレンズ群のうち、一部のレンズ群を移動する機構、い
わゆる補正環を設けることによって良好な結像性能を得
ている。
する場合は、透明な物質で発生した収差を対物レンズで
相殺し良好な結像性能が得られるように、透明な物質に
応じて新たに対物レンズを設計しなければならない。こ
のような対物レンズはすでに幾つか提案されており、例
えば、特開平3−50517号公報や特開平4−310
97号公報に記載の対物レンズは、対物レンズを構成す
るレンズ群のうち、一部のレンズ群を移動する機構、い
わゆる補正環を設けることによって良好な結像性能を得
ている。
【0007】また、実開昭61−16526号公報や特
開平7−104190号公報、及び特開平7−1403
93号公報に記載の対物レンズは、対物レンズと標本の
間にガラスや液体などを挿入し、このガラスや液体の厚
みを変化させることによって良好な結像性能を得てい
る。また、特公平5−75089号公報や特開平5−1
96873号公報に記載の対物レンズは、対物レンズの
先端に補正レンズを挿入したり、対物レンズの一部のレ
ンズ群を別の補正レンズと交換することによって良好な
結像性能を得ている。
開平7−104190号公報、及び特開平7−1403
93号公報に記載の対物レンズは、対物レンズと標本の
間にガラスや液体などを挿入し、このガラスや液体の厚
みを変化させることによって良好な結像性能を得てい
る。また、特公平5−75089号公報や特開平5−1
96873号公報に記載の対物レンズは、対物レンズの
先端に補正レンズを挿入したり、対物レンズの一部のレ
ンズ群を別の補正レンズと交換することによって良好な
結像性能を得ている。
【0008】上記の公報に開示された対物レンズは、特
定の屈折率nやアッベ数νを持つ透明な物質に対して最
適な結像性能が発揮されるように設計されている点で共
通しており、また特に、透明な物質の厚みや屈折率の変
化に伴って生じる球面収差を補正することを目的として
いるため、球面収差が良好に補正されている。
定の屈折率nやアッベ数νを持つ透明な物質に対して最
適な結像性能が発揮されるように設計されている点で共
通しており、また特に、透明な物質の厚みや屈折率の変
化に伴って生じる球面収差を補正することを目的として
いるため、球面収差が良好に補正されている。
【0009】ところが、上記の対物レンズは、透明な物
質の材質が変更されてアッベ数が異なると、軸上色収差
が劣化するという問題があった。そのため、ガラス(n
=1.52287 、ν=59.89 )越しの観察に使用する対物レ
ンズ、ポリカーボネート(n=1.59108 、ν=30.85 )
越しの観察に使用する対物レンズ、オイル(n=1.5154
8 、ν=43.1)越しの観察に使用する対物レンズという
ように、透明な厚い平行平面板や透明な液体の種類と同
じ数の対物レンズを用意しなければならず、汎用性に劣
るという欠点があった。なお、対物レンズをガラス、ポ
リカーボネート、オイルの屈折率やアッベ数の中間値で
設計し、一つの対物レンズで対応するという方法も可能
であるが、最適な結像性能を得ることはできない。
質の材質が変更されてアッベ数が異なると、軸上色収差
が劣化するという問題があった。そのため、ガラス(n
=1.52287 、ν=59.89 )越しの観察に使用する対物レ
ンズ、ポリカーボネート(n=1.59108 、ν=30.85 )
越しの観察に使用する対物レンズ、オイル(n=1.5154
8 、ν=43.1)越しの観察に使用する対物レンズという
ように、透明な厚い平行平面板や透明な液体の種類と同
じ数の対物レンズを用意しなければならず、汎用性に劣
るという欠点があった。なお、対物レンズをガラス、ポ
リカーボネート、オイルの屈折率やアッベ数の中間値で
設計し、一つの対物レンズで対応するという方法も可能
であるが、最適な結像性能を得ることはできない。
【0010】そこで、上記の問題を解決する対物レンズ
として、本願と同一出願人による特開平7−23004
0号公報に記載された対物レンズがある。この対物レン
ズは、対物レンズの先端に2種類以上の光学部材を設
け、この光学部材を交換することによって、一つの対物
レンズで異なる種類の透明な物質越しでも良好な結像性
能が得られるようになっている。
として、本願と同一出願人による特開平7−23004
0号公報に記載された対物レンズがある。この対物レン
ズは、対物レンズの先端に2種類以上の光学部材を設
け、この光学部材を交換することによって、一つの対物
レンズで異なる種類の透明な物質越しでも良好な結像性
能が得られるようになっている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
7−230040号公報に記載の対物レンズでは、高倍
率、高開口数の対物レンズを実現することは困難であっ
た。すなわち、特開平7−230040号公報では、対
物レンズと標本の間に光学部材を取り付けるという構造
になっているため、高倍率、高開口数の対物レンズで
は、作動距離(WD)を大きくとることができないとい
う問題がある。また、光学部材を設けた上で作動距離を
確保しようとすると、対物レンズの先端から標本までの
間隔を長くとらなければならないが、このようにすると
光学部材を設けない場合と比べて開口数(NA)を大き
くとることが難しくなる。また、特に高倍率の対物レン
ズでは、光学部材の厚みや屈折率、アッベ数の値が少し
でも設計値からずれると、収差が急激に悪化するという
問題もある。
7−230040号公報に記載の対物レンズでは、高倍
率、高開口数の対物レンズを実現することは困難であっ
た。すなわち、特開平7−230040号公報では、対
物レンズと標本の間に光学部材を取り付けるという構造
になっているため、高倍率、高開口数の対物レンズで
は、作動距離(WD)を大きくとることができないとい
う問題がある。また、光学部材を設けた上で作動距離を
確保しようとすると、対物レンズの先端から標本までの
間隔を長くとらなければならないが、このようにすると
光学部材を設けない場合と比べて開口数(NA)を大き
くとることが難しくなる。また、特に高倍率の対物レン
ズでは、光学部材の厚みや屈折率、アッベ数の値が少し
でも設計値からずれると、収差が急激に悪化するという
問題もある。
【0012】本発明は上記の問題点を鑑みてなされたも
ので、その目的は、対物レンズと標本との間に様々な材
質の透明な物質が介在したとしても、一つで良好な結像
性能を発揮し得る対物レンズを提供することである。
ので、その目的は、対物レンズと標本との間に様々な材
質の透明な物質が介在したとしても、一つで良好な結像
性能を発揮し得る対物レンズを提供することである。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めに、本発明の対物レンズは、前群と後群の二つのレン
ズ群からなり、前記前群と標本との間に配置された透明
な物質の光学特性に応じて前記後群を交換することを特
徴としている。
めに、本発明の対物レンズは、前群と後群の二つのレン
ズ群からなり、前記前群と標本との間に配置された透明
な物質の光学特性に応じて前記後群を交換することを特
徴としている。
【0014】また、前記光学特性は前記透明な物質の材
質であって、該材質に応じて前記後群を交換することを
特徴としている。また、前記透明な物質の光学特性は厚
みもしくは屈折率であって、該光学特性に応じて、前記
前群の一部のレンズ群を移動させる補正機構を設けたこ
とを特徴としている。
質であって、該材質に応じて前記後群を交換することを
特徴としている。また、前記透明な物質の光学特性は厚
みもしくは屈折率であって、該光学特性に応じて、前記
前群の一部のレンズ群を移動させる補正機構を設けたこ
とを特徴としている。
【0015】また、前記前群は全体として正の屈折力、
前記後群は全体として負の屈折力を有し、以下の条件を
満足することを特徴としている。 fF /f>1 (1) ただし、fは前記対物レンズの焦点距離、fF は前記前
群の焦点距離である。
前記後群は全体として負の屈折力を有し、以下の条件を
満足することを特徴としている。 fF /f>1 (1) ただし、fは前記対物レンズの焦点距離、fF は前記前
群の焦点距離である。
【0016】また、前記後群は負の屈折力のメニスカス
レンズ、または凸レンズと凹レンズ接合であって全体と
してメニスカス形状のレンズを含むことを特徴としてい
る。
レンズ、または凸レンズと凹レンズ接合であって全体と
してメニスカス形状のレンズを含むことを特徴としてい
る。
【0017】
【発明の実施の形態】前述のように、本発明の対物レン
ズは、前群と後群の二つのレンズ群からなり、前記前群
と標本との間に配置された透明な物質の光学特性に応じ
て前記後群を交換することを特徴としている。ここで、
後群とは、前群と標本との間に配置された透明な物質の
光学特性に応じて、少なくとも一部のレンズが交換可能
になっているレンズ群のことである。また、透明な物質
の光学特性とは、透明な物質の材質や厚さや屈折率を指
す。なお、透明な物質の材質を示すものの一つとしてア
ッベ数がある。
ズは、前群と後群の二つのレンズ群からなり、前記前群
と標本との間に配置された透明な物質の光学特性に応じ
て前記後群を交換することを特徴としている。ここで、
後群とは、前群と標本との間に配置された透明な物質の
光学特性に応じて、少なくとも一部のレンズが交換可能
になっているレンズ群のことである。また、透明な物質
の光学特性とは、透明な物質の材質や厚さや屈折率を指
す。なお、透明な物質の材質を示すものの一つとしてア
ッベ数がある。
【0018】本発明の実施の形態を図1に示す。1は標
本、2a、2b、2cはそれぞれ異なる光学特性を持つ
透明な物質、例えばガラスやポリカーボネート、生物標
本の場合はオイルや水、培養液等である。また、3、
3' は対物レンズ本体、4は対物レンズを図示しないレ
ボルバに取付ける取付け部、5a、5b、5c、6a、
6b、6cはレンズを保持する保持枠である。
本、2a、2b、2cはそれぞれ異なる光学特性を持つ
透明な物質、例えばガラスやポリカーボネート、生物標
本の場合はオイルや水、培養液等である。また、3、
3' は対物レンズ本体、4は対物レンズを図示しないレ
ボルバに取付ける取付け部、5a、5b、5c、6a、
6b、6cはレンズを保持する保持枠である。
【0019】図1(a)の対物レンズでは、対物レンズ
本体3と、対物レンズ本体3と同じ外径を持つ保持枠5
a、5b、5cとは別体になっており、対物レンズ本体
3には対物レンズのレンズ系のうち、前群のレンズ群が
格納され、保持枠5a、5b、5cには対物レンズのレ
ンズ系のうち、後群のレンズ群が格納されている。ま
た、対物レンズ本体3と保持枠5とはネジ等で結合され
るようになっている。そして、保持枠の取付け部4によ
って図示しないレボルバに装着される。
本体3と、対物レンズ本体3と同じ外径を持つ保持枠5
a、5b、5cとは別体になっており、対物レンズ本体
3には対物レンズのレンズ系のうち、前群のレンズ群が
格納され、保持枠5a、5b、5cには対物レンズのレ
ンズ系のうち、後群のレンズ群が格納されている。ま
た、対物レンズ本体3と保持枠5とはネジ等で結合され
るようになっている。そして、保持枠の取付け部4によ
って図示しないレボルバに装着される。
【0020】対物レンズ本体3に格納されている前群
は、保持枠5a、5b、5cに格納されている後群に対
して共通に使用されるレンズ群である。一方、保持枠5
a、5b、5cに格納されている後群は、異なる光学特
性を持つ透明な物質2a、2b、2cに合わせてそれぞ
れ設計されており、透明な物質2aを介して観察する場
合は、保持枠5aが対物レンズ本体3に接続され、透明
な物質2bの場合は保持枠5b、透明な物質2cの場合
は保持枠5cが対物レンズ本体3に接続されることにな
る。何れの場合であっても、対物レンズと標本との間に
配置された透明な物質2a、2b、2cによって収差が
変化しても、その収差が良好に補正されるようになって
いる。具体的には、対物レンズ本体3の前群と合わせて
良好な結像性能を発揮するように、それぞれの後群の収
差が補正されている。
は、保持枠5a、5b、5cに格納されている後群に対
して共通に使用されるレンズ群である。一方、保持枠5
a、5b、5cに格納されている後群は、異なる光学特
性を持つ透明な物質2a、2b、2cに合わせてそれぞ
れ設計されており、透明な物質2aを介して観察する場
合は、保持枠5aが対物レンズ本体3に接続され、透明
な物質2bの場合は保持枠5b、透明な物質2cの場合
は保持枠5cが対物レンズ本体3に接続されることにな
る。何れの場合であっても、対物レンズと標本との間に
配置された透明な物質2a、2b、2cによって収差が
変化しても、その収差が良好に補正されるようになって
いる。具体的には、対物レンズ本体3の前群と合わせて
良好な結像性能を発揮するように、それぞれの後群の収
差が補正されている。
【0021】次に、図1(b)の対物レンズでは、図1
(a)の対物レンズ本体3と保持枠5a、5b、5cと
が一つの部材となって対物レンズ本体3' を構成してい
る。そのため、対物レンズ本体3' には前群のレンズ群
と後群のレンズ群の両方が格納される。ただし、後群の
レンズ群は対物レンズ本体3' よりも小さい外径を有す
る保持枠6a、6b、6cにそれぞれ格納されている。
そして、例えば、対物レンズ本体3' に保持枠6a、6
b、6cを落とし込み、図示しない押え環によって対物
レンズ本体3' 内で後群を固定するようになっている。
(a)の対物レンズ本体3と保持枠5a、5b、5cと
が一つの部材となって対物レンズ本体3' を構成してい
る。そのため、対物レンズ本体3' には前群のレンズ群
と後群のレンズ群の両方が格納される。ただし、後群の
レンズ群は対物レンズ本体3' よりも小さい外径を有す
る保持枠6a、6b、6cにそれぞれ格納されている。
そして、例えば、対物レンズ本体3' に保持枠6a、6
b、6cを落とし込み、図示しない押え環によって対物
レンズ本体3' 内で後群を固定するようになっている。
【0022】図1(a)の場合と同様に、対物レンズ本
体3' に格納されている前群は、保持枠6a、6b、6
cに格納されている後群に対して共通に使用される。一
方、保持枠6a、6b、6cに格納されている後群は、
異なる光学特性を持つ透明な物質2a、2b、2cに合
わせて設計されており、透明な物質2aを介して観察す
る場合は、保持枠6aが対物レンズ本体3に接続され、
透明な物質2bの場合は保持枠6b、透明な物質2cの
場合は保持枠6cが対物レンズ本体3' に配置されるこ
とになる。何れの場合であっても、対物レンズ本体3'
の前群と合わせて良好な結像性能を発揮するように収差
補正がされている。
体3' に格納されている前群は、保持枠6a、6b、6
cに格納されている後群に対して共通に使用される。一
方、保持枠6a、6b、6cに格納されている後群は、
異なる光学特性を持つ透明な物質2a、2b、2cに合
わせて設計されており、透明な物質2aを介して観察す
る場合は、保持枠6aが対物レンズ本体3に接続され、
透明な物質2bの場合は保持枠6b、透明な物質2cの
場合は保持枠6cが対物レンズ本体3' に配置されるこ
とになる。何れの場合であっても、対物レンズ本体3'
の前群と合わせて良好な結像性能を発揮するように収差
補正がされている。
【0023】後群のレンズ群は通常のレンズ設計と同じ
ように、レンズ枚数、曲率、肉厚、およびガラス硝材
(屈折率やアッベ数)を変えて行われる。ただし、前群
のパワー配置によっては、レンズの硝材のみを変更する
ことによって、同じレンズ枚数、曲率、肉厚で各後群を
設計することもできる。製造原価や実用の面からする
と、レンズの硝材のみを変更する方が望ましい。そのた
め、後述の実施例では全て、同じレンズ枚数、曲率、肉
厚でレンズの硝材のみを変更している。
ように、レンズ枚数、曲率、肉厚、およびガラス硝材
(屈折率やアッベ数)を変えて行われる。ただし、前群
のパワー配置によっては、レンズの硝材のみを変更する
ことによって、同じレンズ枚数、曲率、肉厚で各後群を
設計することもできる。製造原価や実用の面からする
と、レンズの硝材のみを変更する方が望ましい。そのた
め、後述の実施例では全て、同じレンズ枚数、曲率、肉
厚でレンズの硝材のみを変更している。
【0024】次に、後群を同じレンズ枚数、曲率、肉厚
にしたまま、レンズの硝材のみ変更して設計する場合に
ついて説明する。例えば、透明な物質としてガラス(屈
折率n=1.52287 、アッベ数ν=59.89 )とポリカーボ
ネート(屈折率n=1.59108、アッベ数ν=30.85 )を
介して観察する対物レンズを考えた場合、この2つの材
質は屈折率がほぼ同じであるが、アッベ数が大きく異な
っている。ガラスはポリカボーネートに比べてアッベ数
が大きいが、アッベ数が大きいと分散は小さいので、ガ
ラスはポリカボーネートに比べて色収差の発生量が少な
い。逆にポリカボーネートはガラスに比べて色収差の発
生量が多くなる。
にしたまま、レンズの硝材のみ変更して設計する場合に
ついて説明する。例えば、透明な物質としてガラス(屈
折率n=1.52287 、アッベ数ν=59.89 )とポリカーボ
ネート(屈折率n=1.59108、アッベ数ν=30.85 )を
介して観察する対物レンズを考えた場合、この2つの材
質は屈折率がほぼ同じであるが、アッベ数が大きく異な
っている。ガラスはポリカボーネートに比べてアッベ数
が大きいが、アッベ数が大きいと分散は小さいので、ガ
ラスはポリカボーネートに比べて色収差の発生量が少な
い。逆にポリカボーネートはガラスに比べて色収差の発
生量が多くなる。
【0025】ところで、発散光束中に透明な物質を置く
と、透明な物質は凸レンズ系で発生する軸上色収差を抑
える方向に作用する。したがって、ガラスを介して観察
することを想定して設計された対物レンズを、そのまま
ポリカーボネートを介した観察に使用すると、ポリカー
ボネートでの色収差の増大に伴い、対物レンズの結像位
置での色収差が補正過剰の状態になる。
と、透明な物質は凸レンズ系で発生する軸上色収差を抑
える方向に作用する。したがって、ガラスを介して観察
することを想定して設計された対物レンズを、そのまま
ポリカーボネートを介した観察に使用すると、ポリカー
ボネートでの色収差の増大に伴い、対物レンズの結像位
置での色収差が補正過剰の状態になる。
【0026】そこで、ポリカーボネート用の後群のレン
ズ群の硝材は、ガラス用の後群のレンズ群と大体同じ屈
折率で、アッベ数がガラス用の後群のレンズ群より大き
い硝材を選べば良いことになる。このような硝材を用い
ると、後群の色収差を補正不足の状態にすることがで
き、対物レンズ全体として色収差を含めた全ての収差が
良好に補正された対物レンズになる。なお、ここで問題
になっているのでは色収差であるから、レンズの硝材を
適切に選択するだけで、ガラス用の後群のレンズ群と同
じレンズ枚数、曲率、肉厚で、ポリカーボネート用の後
群のレンズ群を構成することができる。
ズ群の硝材は、ガラス用の後群のレンズ群と大体同じ屈
折率で、アッベ数がガラス用の後群のレンズ群より大き
い硝材を選べば良いことになる。このような硝材を用い
ると、後群の色収差を補正不足の状態にすることがで
き、対物レンズ全体として色収差を含めた全ての収差が
良好に補正された対物レンズになる。なお、ここで問題
になっているのでは色収差であるから、レンズの硝材を
適切に選択するだけで、ガラス用の後群のレンズ群と同
じレンズ枚数、曲率、肉厚で、ポリカーボネート用の後
群のレンズ群を構成することができる。
【0027】なお、軸上色収差だけでなく透明な物質の
変更によって生じた球面収差を、後群を交換することに
よって良好に補正できる。球面収差の場合、収差の変化
は透明な物質の屈折率や厚みが変化したことによって生
じるため、アッベ数はほぼ等しく屈折率の異なる硝材を
選べば良い。屈折率は、透明な物質の屈折率や厚みに応
じて適切な値を選択すれば良い。
変更によって生じた球面収差を、後群を交換することに
よって良好に補正できる。球面収差の場合、収差の変化
は透明な物質の屈折率や厚みが変化したことによって生
じるため、アッベ数はほぼ等しく屈折率の異なる硝材を
選べば良い。屈折率は、透明な物質の屈折率や厚みに応
じて適切な値を選択すれば良い。
【0028】なお、対物レンズの開口数が大きくなる
と、上記のような後群の交換のみでは球面収差を十分に
補正することが難しくなる場合がある。このような場合
には、球面収差を補正する手段として、前群の一部のレ
ンズ群を移動する機能(補正環)を対物レンズに持たせ
れば、より様々な透明な物質に対応することが出来ると
ともに、解像力の高い観察ができる。また、色収差の補
正は後群の交換で行い、球面収差の補正は前群の一部レ
ンズ群の移動で行うというように、前群と後群の補正す
べき収差が明確に異なるので、前群と後群をそれぞれの
収差に合わせて最適に設計でき、全体としてバランスの
とれた設計が容易にできる。
と、上記のような後群の交換のみでは球面収差を十分に
補正することが難しくなる場合がある。このような場合
には、球面収差を補正する手段として、前群の一部のレ
ンズ群を移動する機能(補正環)を対物レンズに持たせ
れば、より様々な透明な物質に対応することが出来ると
ともに、解像力の高い観察ができる。また、色収差の補
正は後群の交換で行い、球面収差の補正は前群の一部レ
ンズ群の移動で行うというように、前群と後群の補正す
べき収差が明確に異なるので、前群と後群をそれぞれの
収差に合わせて最適に設計でき、全体としてバランスの
とれた設計が容易にできる。
【0029】また、対物レンズの全系の焦点距離をf、
前群の焦点距離をfF とした時、本実施の形態の対物レ
ンズは下記の条件(1)を満足することが望ましい。 fF /f>1 (1) 通常、対物レンズは、正の屈折力の前群と負の屈折力の
後群とで構成される場合が多い。本実施の形態では、後
群の交換によって球面収差や軸上の色収差の補正量を変
化させているが、いずれも軸上光線に関する収差であ
る。しかしながら、良好な結像性能を備えている対物レ
ンズにするには後群の交換による軸外光の収差への影響
を考慮し、その影響をできるだけ抑えるようすることが
望ましい。
前群の焦点距離をfF とした時、本実施の形態の対物レ
ンズは下記の条件(1)を満足することが望ましい。 fF /f>1 (1) 通常、対物レンズは、正の屈折力の前群と負の屈折力の
後群とで構成される場合が多い。本実施の形態では、後
群の交換によって球面収差や軸上の色収差の補正量を変
化させているが、いずれも軸上光線に関する収差であ
る。しかしながら、良好な結像性能を備えている対物レ
ンズにするには後群の交換による軸外光の収差への影響
を考慮し、その影響をできるだけ抑えるようすることが
望ましい。
【0030】そこで、条件(1)は、後群の交換による
軸外光の収差への影響を抑えるための条件であって、前
群の屈折力を規定すものである。fF /fの値が下限値
の1を下回ると、前群の屈折力が強くなりすぎてしまう
ため、前群の屈折力に合わせて後群の負の屈折力を強く
せざるを得なくなる。ところが、後群の負の屈折力を強
くすると、後群の配置位置のずれの許容量が小さくなる
ので、後群の交換に伴って収差の変動が大きくなり、バ
ランスの良い結像性能を維持することが困難になるので
好ましくない。
軸外光の収差への影響を抑えるための条件であって、前
群の屈折力を規定すものである。fF /fの値が下限値
の1を下回ると、前群の屈折力が強くなりすぎてしまう
ため、前群の屈折力に合わせて後群の負の屈折力を強く
せざるを得なくなる。ところが、後群の負の屈折力を強
くすると、後群の配置位置のずれの許容量が小さくなる
ので、後群の交換に伴って収差の変動が大きくなり、バ
ランスの良い結像性能を維持することが困難になるので
好ましくない。
【0031】また、後群は、負の屈折力のメニスカスレ
ンズを含むか、もしくは正レンズと負レンズを接合した
接合レンズであって、全体の形状がメニスカス形状のメ
ニスカス接合レンズを含むように構成するのが望まし
い。
ンズを含むか、もしくは正レンズと負レンズを接合した
接合レンズであって、全体の形状がメニスカス形状のメ
ニスカス接合レンズを含むように構成するのが望まし
い。
【0032】この構成は、後群の交換に伴って軸外収差
に影響をできるだけ及ぼさないための構成である。すな
わち、メニスカス形状の負レンズは比較的屈折力が弱
く、対物レンズの瞳位置近傍に配置されることが多いた
め、軸外収差に寄与する割合が少ない。そのため、メニ
スカスレンズを変更することにより、球面収差や軸上色
収差を補正しつつ、軸外収差への影響を抑えることがで
きる。なお、メニスカスレンズ、若しくはメニスカス接
合レンズは、対物レンズの最も像側にあることが、交換
の容易性から望ましい。
に影響をできるだけ及ぼさないための構成である。すな
わち、メニスカス形状の負レンズは比較的屈折力が弱
く、対物レンズの瞳位置近傍に配置されることが多いた
め、軸外収差に寄与する割合が少ない。そのため、メニ
スカスレンズを変更することにより、球面収差や軸上色
収差を補正しつつ、軸外収差への影響を抑えることがで
きる。なお、メニスカスレンズ、若しくはメニスカス接
合レンズは、対物レンズの最も像側にあることが、交換
の容易性から望ましい。
【0033】以下、本発明の実施例について説明する。 第1実施例 本発明の第1実施例の対物レンズを図2に示す。本実施
例は倍率20倍の対物レンズで、正の屈折力の前群LF
と負の屈折力の後群LR から構成で構成されている。前
群LF は物体側から順に、物体側に凹の正メニスカスレ
ンズL1、両凹レンズと両凸レンズからなる接合レンズ
L2、及び両凸レンズL3から構成されいる。後群LR
は物体側に凸の負のメニスカスレンズL4からなる。P
は対物レンズと図示されない標本の間に介在する透明な
物質である。
例は倍率20倍の対物レンズで、正の屈折力の前群LF
と負の屈折力の後群LR から構成で構成されている。前
群LF は物体側から順に、物体側に凹の正メニスカスレ
ンズL1、両凹レンズと両凸レンズからなる接合レンズ
L2、及び両凸レンズL3から構成されいる。後群LR
は物体側に凸の負のメニスカスレンズL4からなる。P
は対物レンズと図示されない標本の間に介在する透明な
物質である。
【0034】本実施例では、後群LR の負メニスカスレ
ンズL4の曲率や厚みを変えずに硝材のみを変更するだ
けで、透明な物質Pの材質(厚みや屈折率やアッベ数な
どの光学特性)が異なった場合でも、良好な結像性能を
発揮することができる。以下に、本実施例の対物レンズ
の数値データを示す。ここで、tは透明な物質Pの厚
み、fは対物レンズ全系の焦点距離、fF は前群の焦点
距離である。
ンズL4の曲率や厚みを変えずに硝材のみを変更するだ
けで、透明な物質Pの材質(厚みや屈折率やアッベ数な
どの光学特性)が異なった場合でも、良好な結像性能を
発揮することができる。以下に、本実施例の対物レンズ
の数値データを示す。ここで、tは透明な物質Pの厚
み、fは対物レンズ全系の焦点距離、fF は前群の焦点
距離である。
【0035】 倍率 20倍、開口数 0.4 t=2 、f=9 、fF =12.3、fF /f=1.37 r1 = -11.3804 d1 = 4.2422 n1 =1.77250 ν1 =49.60 r2 = -6.7520 d2 = 0.1246 r3 =-203.4741 d3 = 1.2850 n2 =1.78470 ν2 =26.22 r4 = 15.3951 d4 = 2.2917 n3 =1.43875 ν3 =94.99 r5 = -12.2988 d5 =10.2270 r6 = 34.9052 d6 = 2.4062 n4 =1.43875 ν4 =94.99 r7 = -19.0364 d7 =19.0059 r8 = 17.9868 d8 = 3.0033 n5 、ν5 =硝材1または硝材2 r9 = 12.1107 透明な物質Pがガラス(屈折率n=1.52287 、アッベ数
ν=59.89 )の場合、 硝材1:屈折率n=1.74950 、アッベ数ν=35.28 作動距離:d0=3.4mm 透明な物質Pがポリカーボネート(屈折率n=1.59108
、アッベ数ν=30.85)の場合、 硝材2:屈折率n=1.74100 、アッベ数ν=52.64 動作距離:d0=3.4436mm 本実施例の対物レンズでは、透明な物質がガラスの場合
と、ポリカーボネートの場合とで、後群LR の負メニス
カスレンズL4の屈折率及びアッベ数を変えている。た
だし、ガラスとポリカーボネートの厚さは同じ(t=
2)であるから、硝材1と硝材2は屈折率がほとんど同
じ硝材を選んでいる。
ν=59.89 )の場合、 硝材1:屈折率n=1.74950 、アッベ数ν=35.28 作動距離:d0=3.4mm 透明な物質Pがポリカーボネート(屈折率n=1.59108
、アッベ数ν=30.85)の場合、 硝材2:屈折率n=1.74100 、アッベ数ν=52.64 動作距離:d0=3.4436mm 本実施例の対物レンズでは、透明な物質がガラスの場合
と、ポリカーボネートの場合とで、後群LR の負メニス
カスレンズL4の屈折率及びアッベ数を変えている。た
だし、ガラスとポリカーボネートの厚さは同じ(t=
2)であるから、硝材1と硝材2は屈折率がほとんど同
じ硝材を選んでいる。
【0036】次に、本実施例の対物レンズの結像性能を
示す収差図を図3、図4、図5に示す。なお、本実施例
の対物レンズは、対物レンズを射出する光束は平行光束
になっているので、後述する結像レンズを用いて収差図
を算出している。
示す収差図を図3、図4、図5に示す。なお、本実施例
の対物レンズは、対物レンズを射出する光束は平行光束
になっているので、後述する結像レンズを用いて収差図
を算出している。
【0037】上記収差図のうち、図3はガラスを介して
標本を観察した時の対物レンズの収差を示すもので、透
明な物質Pがガラスで、後群LR のレンズに硝材1を用
いた場合の収差図である。また、図4はポリカーボネー
トを介して標本を観察した時の対物レンズの収差を示す
もので、透明な物質Pがポリカーボネートで、後群L R
のレンズに硝材2を用いた場合の収差図である。図3、
図4ともに収差が良好に補正されていることがわかる。
標本を観察した時の対物レンズの収差を示すもので、透
明な物質Pがガラスで、後群LR のレンズに硝材1を用
いた場合の収差図である。また、図4はポリカーボネー
トを介して標本を観察した時の対物レンズの収差を示す
もので、透明な物質Pがポリカーボネートで、後群L R
のレンズに硝材2を用いた場合の収差図である。図3、
図4ともに収差が良好に補正されていることがわかる。
【0038】また、図5はポリカーボネートを介して標
本を観察した時の対物レンズの収差を示すものである
が、後群LR のレンズが硝材1、すなわちガラスを介し
て観察する時に使用される後群LR を用いた場合の収差
図である。透明物質Pと後群L R の組み合わせが適切で
ないため、図3、図4に比べて収差が悪化していること
がわかる。
本を観察した時の対物レンズの収差を示すものである
が、後群LR のレンズが硝材1、すなわちガラスを介し
て観察する時に使用される後群LR を用いた場合の収差
図である。透明物質Pと後群L R の組み合わせが適切で
ないため、図3、図4に比べて収差が悪化していること
がわかる。
【0039】第2実施例 本発明の第2実施例の対物レンズを図6に示す。本実施
例は倍率40倍の対物レンズで、正の屈折力の前群LF
と負の屈折力の後群LR から構成で構成されている。前
群LF は物体側から順に、物体側に凹の正メニスカスレ
ンズL1、両凸レンズL2、及び物体側に凸の負メニス
カスレンズと両凸レンズと物体側に凹の負メニスカスレ
ンズを接合した接合レンズL3から構成されている。ま
た、後群LR は両凸レンズと両凹レンズを接合した接合
レンズL4からなる。Pは対物レンズと図示されない標
本の間に介在する透明な物質である。
例は倍率40倍の対物レンズで、正の屈折力の前群LF
と負の屈折力の後群LR から構成で構成されている。前
群LF は物体側から順に、物体側に凹の正メニスカスレ
ンズL1、両凸レンズL2、及び物体側に凸の負メニス
カスレンズと両凸レンズと物体側に凹の負メニスカスレ
ンズを接合した接合レンズL3から構成されている。ま
た、後群LR は両凸レンズと両凹レンズを接合した接合
レンズL4からなる。Pは対物レンズと図示されない標
本の間に介在する透明な物質である。
【0040】本実施例では、後群LR の接合レンズL4
における両凹レンズの曲率や厚みを変えずに硝材のみを
変更するだけで、透明な物質Pの材質(厚みや屈折率や
アッベ数などの光学特性)が異なった場合でも、良好な
結像性能を発揮することができる。以下に、本実施例の
対物レンズの数値データを示す。 倍率 40倍、開口数 0.55 t=1 、f=4.5 、fF =6.65、fF /f=1.48 r1 = -7.7000 d1 = 3.1524 n1 =1.75500 ν1 =52.32 r2 = -3.9363 d2 = 4.1287 r3 = 23.5986 d3 = 3.1647 n2 =1.43875 ν2 =94.99 r4 = -12.6005 d4 = 0.6844 r5 = 17.7666 d5 = 1.1035 n3 =1.84666 ν3 =23.89 r6 = 9.0037 d6 = 2.6966 n4 =1.43875 ν4 =94.99 r7 = -8.0232 d7 = 1.1496 n5 =1.64450 ν5 =40.82 r8 = -17.1265 d8 =24.0859 r9 = 13.0593 d9 = 2.6349 n6 =1.62588 ν6 =35.70 r10= -9.9817 d10= 3.0796 n7 、ν7 =硝材3または硝材4 r11= 13.3169 透明な物質Pがガラス(屈折率n=1.52287 、アッベ数
ν=59.89 )の場合、 硝材3:屈折率n=1.7432、アッベ数ν=49.34 作動距離:d0=1.4204mm 透明な物質Pがポリカーボネート(屈折率n=1.59108
、アッベ数ν=30.85)の場合、 硝材4:屈折率n=1.741 、アッベ数ν=52.64 動作距離:d0=1.4397mm 本実施例の対物レンズでは、透明な物質がガラスの場合
と、ポリカーボネートの場合とで、後群LR の接合レン
ズL4における両凹レンズの屈折率及びアッベ数を変え
ている。また実施例1と同様に、ガラスとポリカーボネ
ートの厚さは同じ(t=1)であるから、硝材3と硝材
4は屈折率がほとんど同じ硝材を選んでいる。
における両凹レンズの曲率や厚みを変えずに硝材のみを
変更するだけで、透明な物質Pの材質(厚みや屈折率や
アッベ数などの光学特性)が異なった場合でも、良好な
結像性能を発揮することができる。以下に、本実施例の
対物レンズの数値データを示す。 倍率 40倍、開口数 0.55 t=1 、f=4.5 、fF =6.65、fF /f=1.48 r1 = -7.7000 d1 = 3.1524 n1 =1.75500 ν1 =52.32 r2 = -3.9363 d2 = 4.1287 r3 = 23.5986 d3 = 3.1647 n2 =1.43875 ν2 =94.99 r4 = -12.6005 d4 = 0.6844 r5 = 17.7666 d5 = 1.1035 n3 =1.84666 ν3 =23.89 r6 = 9.0037 d6 = 2.6966 n4 =1.43875 ν4 =94.99 r7 = -8.0232 d7 = 1.1496 n5 =1.64450 ν5 =40.82 r8 = -17.1265 d8 =24.0859 r9 = 13.0593 d9 = 2.6349 n6 =1.62588 ν6 =35.70 r10= -9.9817 d10= 3.0796 n7 、ν7 =硝材3または硝材4 r11= 13.3169 透明な物質Pがガラス(屈折率n=1.52287 、アッベ数
ν=59.89 )の場合、 硝材3:屈折率n=1.7432、アッベ数ν=49.34 作動距離:d0=1.4204mm 透明な物質Pがポリカーボネート(屈折率n=1.59108
、アッベ数ν=30.85)の場合、 硝材4:屈折率n=1.741 、アッベ数ν=52.64 動作距離:d0=1.4397mm 本実施例の対物レンズでは、透明な物質がガラスの場合
と、ポリカーボネートの場合とで、後群LR の接合レン
ズL4における両凹レンズの屈折率及びアッベ数を変え
ている。また実施例1と同様に、ガラスとポリカーボネ
ートの厚さは同じ(t=1)であるから、硝材3と硝材
4は屈折率がほとんど同じ硝材を選んでいる。
【0041】次に、本実施例の対物レンズの結像性能を
示す収差図を図7、図8、図9に示す。なお、本実施例
の対物レンズも実施例1と同様に、対物レンズを射出す
る光束は平行光束になっているので、後述する結像レン
ズを用いて収差図を算出している。
示す収差図を図7、図8、図9に示す。なお、本実施例
の対物レンズも実施例1と同様に、対物レンズを射出す
る光束は平行光束になっているので、後述する結像レン
ズを用いて収差図を算出している。
【0042】上記収差図のうち、図7はガラスを介して
標本を観察した時の対物レンズの収差を示すもので、透
明な物質Pがガラスで、後群LR のレンズに硝材3を用
いた場合の収差図である。また、図8はポリカーボネー
トを介して標本を観察した時の対物レンズの収差を示す
もので、透明な物質Pがポリカーボネートで、後群L R
のレンズに硝材4を用いた場合の収差図である。図7、
図8ともに収差が良好に補正されていることがわかる。
標本を観察した時の対物レンズの収差を示すもので、透
明な物質Pがガラスで、後群LR のレンズに硝材3を用
いた場合の収差図である。また、図8はポリカーボネー
トを介して標本を観察した時の対物レンズの収差を示す
もので、透明な物質Pがポリカーボネートで、後群L R
のレンズに硝材4を用いた場合の収差図である。図7、
図8ともに収差が良好に補正されていることがわかる。
【0043】また、図9はポリカーボネートを介して標
本を観察した時の対物レンズの収差を示すものである
が、後群LR のレンズが硝材3、すなわちガラスを介し
て観察する時に使用される後群LR を用いた場合の収差
図である。透明物質Pと後群L R の組み合わせが適切で
ないため、図7、図8に比べて収差が悪化していること
がわかる。
本を観察した時の対物レンズの収差を示すものである
が、後群LR のレンズが硝材3、すなわちガラスを介し
て観察する時に使用される後群LR を用いた場合の収差
図である。透明物質Pと後群L R の組み合わせが適切で
ないため、図7、図8に比べて収差が悪化していること
がわかる。
【0044】第3実施例 本発明の第3実施例の対物レンズを図10に示す。本実
施例は倍率100倍の対物レンズで、正の屈折力の前群
LF と負の屈折力の後群LR から構成で構成されてい
る。図10(a)に示す構成Aの対物レンズは、前群L
F は物体側から順に、物体側に凹の正メニスカスレンズ
L1、両凸レンズと両凹レンズを接合した接合レンズL
2、物体側に凸の負メニスカスレンズと両凸レンズを接
合した2つの接合レンズL3およびL4、凸レンズと平
凹レンズを接合した接合レンズL5、両凸レンズと両凹
レンズを接合した接合レンズL6、及び平凸レンズと平
凹レンズを接合した接合レンズL7で構成されている。
また、後群LR は物体側に凹の負メニスカスレンズL8
からなる。前群のレンズのうち、L3、L4、L5、L
6は光軸方向に移動可能な移動群LC を構成している。
Pは対物レンズと図示されない標本の間に介在する透明
な物質である。
施例は倍率100倍の対物レンズで、正の屈折力の前群
LF と負の屈折力の後群LR から構成で構成されてい
る。図10(a)に示す構成Aの対物レンズは、前群L
F は物体側から順に、物体側に凹の正メニスカスレンズ
L1、両凸レンズと両凹レンズを接合した接合レンズL
2、物体側に凸の負メニスカスレンズと両凸レンズを接
合した2つの接合レンズL3およびL4、凸レンズと平
凹レンズを接合した接合レンズL5、両凸レンズと両凹
レンズを接合した接合レンズL6、及び平凸レンズと平
凹レンズを接合した接合レンズL7で構成されている。
また、後群LR は物体側に凹の負メニスカスレンズL8
からなる。前群のレンズのうち、L3、L4、L5、L
6は光軸方向に移動可能な移動群LC を構成している。
Pは対物レンズと図示されない標本の間に介在する透明
な物質である。
【0045】また、図10(b)に示す構成Bの対物レ
ンズは、構成Aの対物レンズと全く同じレンズで構成さ
れているが、構成Aの対物レンズの平凸レンズと平凹レ
ンズを接合した接合レンズL7と物体側に凹の負メニス
カスレンズL8とで後群LRを構成している点が異な
る。また、構成Aの対物レンズと同様に前群の一部が移
動可能な移動群LC になっている。
ンズは、構成Aの対物レンズと全く同じレンズで構成さ
れているが、構成Aの対物レンズの平凸レンズと平凹レ
ンズを接合した接合レンズL7と物体側に凹の負メニス
カスレンズL8とで後群LRを構成している点が異な
る。また、構成Aの対物レンズと同様に前群の一部が移
動可能な移動群LC になっている。
【0046】本実施例では、後群LR の物体側に凹の負
メニスカスレンズL8の曲率や厚みを変えずに硝材のみ
を変更するだけで、透明な物質Pの材質(厚みや屈折率
やアッベ数などの光学特性)が異なった場合でも、良好
な結像性能を発揮することができる。以下に、本実施例
の対物レンズの数値データを示す。 倍率 100 倍、開口数 0.8 t=0.7 、f=1.84 構成Aの対物レンズ:fF =4.39、fF /f=2.38 構成Bの対物レンズ:fF =4.15、fF /f=2.26 r1 = -5.8355 d1 = 3.0308 n1 =1.75500 ν1 =52.32 r2 = -3.7656 d2 = 0.1929 r3 = 13.3046 d3 = 3.1699 n2 =1.49700 ν2 =81.54 r4 = -8.5643 d4 = 1.0996 n3 =1.64450 ν3 =40.82 r5 = 37.0308 d5 = 2.5919 r6 = 16.4340 d6 = 1.3989 n4 =1.78800 ν4 =47.37 r7 = 9.5833 d7 = 6.0999 n5 =1.49700 ν5 =81.54 r8 = -12.9213 d8 = 0.1857 r9 = 62.1447 d9 = 1.3902 n6 =1.74100 ν6 =52.64 r10= 16.4929 d10= 3.1836 n7 =1.49700 ν7 =81.54 r11= -20.7519 d11= 0.2972 r12= 16.8090 d12= 4.7984 n8 =1.43875 ν8 =94.99 r13= -9.2151 d13= 1.4049 n9 =1.83400 ν9 =37.16 r14= ∞ d14= 0.1566 r15= 6.7058 d15= 5.0202 n10=1.61800 ν10=63.33 r16= -15.4005 d16= 1.3401 n11=1.64450 ν11=40.82 r17= 4.2081 d17= 3.1834 r18= 4.1106 d18= 2.5000 n12=1.80518 ν12=25.42 r19= ∞ d19= 0.6200 n13=1.74100 ν13=52.64 r20= 3.3554 d20= 2.5033 r21= -2.3550 d21= 0.6932 n14、ν14=硝材5または硝材6 または硝材7 r22= -5.4404 透明な物質Pがガラス(屈折率n=1.52287 、アッベ数
ν=59.89 )の場合、 硝材5:屈折率n=1.62045 、アッベ数ν=38.12 作動距離:d0=1.6178mm 透明な物質Pがポリカーボネート(屈折率n=1.59108
、アッベ数ν=30.85)の場合、 硝材6:屈折率n=1.62012 、アッベ数ν=49.55 動作距離:d0=1.6373mm 透明な物質Pがオイル(屈折率n=1.51548 、アッベ数
ν=43.1)の場合、 硝材7:屈折率n=1.62606 、アッベ数ν=39.21 動作距離:d0=1.6195mm 本実施例の対物レンズでは、透明な物質がガラスの場合
と、ポリカーボネートの場合、およびオイルの場合と
で、後群LR のレンズL8の屈折率及びアッベ数を変え
ている。また実施例1と同様に、ガラスとポリカーボネ
ートの厚さは同じ(t=0.7)であるから、硝材5、
硝材6および硝材7は屈折率がほとんど同じ硝材を選ん
でいる。
メニスカスレンズL8の曲率や厚みを変えずに硝材のみ
を変更するだけで、透明な物質Pの材質(厚みや屈折率
やアッベ数などの光学特性)が異なった場合でも、良好
な結像性能を発揮することができる。以下に、本実施例
の対物レンズの数値データを示す。 倍率 100 倍、開口数 0.8 t=0.7 、f=1.84 構成Aの対物レンズ:fF =4.39、fF /f=2.38 構成Bの対物レンズ:fF =4.15、fF /f=2.26 r1 = -5.8355 d1 = 3.0308 n1 =1.75500 ν1 =52.32 r2 = -3.7656 d2 = 0.1929 r3 = 13.3046 d3 = 3.1699 n2 =1.49700 ν2 =81.54 r4 = -8.5643 d4 = 1.0996 n3 =1.64450 ν3 =40.82 r5 = 37.0308 d5 = 2.5919 r6 = 16.4340 d6 = 1.3989 n4 =1.78800 ν4 =47.37 r7 = 9.5833 d7 = 6.0999 n5 =1.49700 ν5 =81.54 r8 = -12.9213 d8 = 0.1857 r9 = 62.1447 d9 = 1.3902 n6 =1.74100 ν6 =52.64 r10= 16.4929 d10= 3.1836 n7 =1.49700 ν7 =81.54 r11= -20.7519 d11= 0.2972 r12= 16.8090 d12= 4.7984 n8 =1.43875 ν8 =94.99 r13= -9.2151 d13= 1.4049 n9 =1.83400 ν9 =37.16 r14= ∞ d14= 0.1566 r15= 6.7058 d15= 5.0202 n10=1.61800 ν10=63.33 r16= -15.4005 d16= 1.3401 n11=1.64450 ν11=40.82 r17= 4.2081 d17= 3.1834 r18= 4.1106 d18= 2.5000 n12=1.80518 ν12=25.42 r19= ∞ d19= 0.6200 n13=1.74100 ν13=52.64 r20= 3.3554 d20= 2.5033 r21= -2.3550 d21= 0.6932 n14、ν14=硝材5または硝材6 または硝材7 r22= -5.4404 透明な物質Pがガラス(屈折率n=1.52287 、アッベ数
ν=59.89 )の場合、 硝材5:屈折率n=1.62045 、アッベ数ν=38.12 作動距離:d0=1.6178mm 透明な物質Pがポリカーボネート(屈折率n=1.59108
、アッベ数ν=30.85)の場合、 硝材6:屈折率n=1.62012 、アッベ数ν=49.55 動作距離:d0=1.6373mm 透明な物質Pがオイル(屈折率n=1.51548 、アッベ数
ν=43.1)の場合、 硝材7:屈折率n=1.62606 、アッベ数ν=39.21 動作距離:d0=1.6195mm 本実施例の対物レンズでは、透明な物質がガラスの場合
と、ポリカーボネートの場合、およびオイルの場合と
で、後群LR のレンズL8の屈折率及びアッベ数を変え
ている。また実施例1と同様に、ガラスとポリカーボネ
ートの厚さは同じ(t=0.7)であるから、硝材5、
硝材6および硝材7は屈折率がほとんど同じ硝材を選ん
でいる。
【0047】次に、本実施例の対物レンズの結像性能を
示す収差図を図11、図12、図13、図14に示す。
なお、本実施例の対物レンズも実施例1と同様に、対物
レンズを射出する光束は平行光束になっているので、後
述する結像レンズを用いて収差図を算出している。
示す収差図を図11、図12、図13、図14に示す。
なお、本実施例の対物レンズも実施例1と同様に、対物
レンズを射出する光束は平行光束になっているので、後
述する結像レンズを用いて収差図を算出している。
【0048】上記収差図のうち、図11はガラスを介し
て標本を観察した時の対物レンズの収差を示すもので、
透明な物質Pがガラスで、後群LR のレンズに硝材5を
用いた場合の収差図である。また、図12はポリカーボ
ネートを介して標本を観察した時の対物レンズの収差を
示すもので、透明な物質Pがポリカーボネートで、後群
LR のレンズに硝材6を用いた場合の収差図である。ま
た、図13はオイルを介して標本を観察した時の対物レ
ンズの収差を示すもので、透明な物質Pがオイルで、後
群LR のレンズに硝材7を用いた場合の収差図である。
図11、図12、図13ともに収差が良好に補正されて
いることがわかる。
て標本を観察した時の対物レンズの収差を示すもので、
透明な物質Pがガラスで、後群LR のレンズに硝材5を
用いた場合の収差図である。また、図12はポリカーボ
ネートを介して標本を観察した時の対物レンズの収差を
示すもので、透明な物質Pがポリカーボネートで、後群
LR のレンズに硝材6を用いた場合の収差図である。ま
た、図13はオイルを介して標本を観察した時の対物レ
ンズの収差を示すもので、透明な物質Pがオイルで、後
群LR のレンズに硝材7を用いた場合の収差図である。
図11、図12、図13ともに収差が良好に補正されて
いることがわかる。
【0049】また、図14はポリカーボネートを介して
標本を観察した時の対物レンズの収差を示すものである
が、後群LR のレンズが硝材5、すなわちガラスを介し
て観察する時に使用される後群LR を用いた場合の収差
図である。透明物質Pと後群LR の組み合わせが適切で
ないため、図11、図12、図13に比べて収差が悪化
していることがわかる。
標本を観察した時の対物レンズの収差を示すものである
が、後群LR のレンズが硝材5、すなわちガラスを介し
て観察する時に使用される後群LR を用いた場合の収差
図である。透明物質Pと後群LR の組み合わせが適切で
ないため、図11、図12、図13に比べて収差が悪化
していることがわかる。
【0050】また、本実施例の対物レンズは前述のよう
に、前群の一部の移動群LC を移動できるようになって
おり、いわゆる補正環を備えた対物レンズである。この
補正環を備えることによって、ガラスやポリカーボネー
ト、若しくはオイルの厚みや屈折率が多少変化し、後群
LR のレンズを交換するだけでは対応できないような場
合であっても、良好な像を得ることができるようになっ
ている。
に、前群の一部の移動群LC を移動できるようになって
おり、いわゆる補正環を備えた対物レンズである。この
補正環を備えることによって、ガラスやポリカーボネー
ト、若しくはオイルの厚みや屈折率が多少変化し、後群
LR のレンズを交換するだけでは対応できないような場
合であっても、良好な像を得ることができるようになっ
ている。
【0051】例えば、透明な物質がガラスであって、そ
の厚みが0.7mmから1.1mmの間で変化しても、以下
のようにd0 ,d5 ,d17の間隔を変化させることによ
って、良好な結像性能を維持したまま使用することがで
きる。 ガラス厚 d0 d5 d17 0.7 1.6178 2.5919 3.1834 0.9 1.5539 2.2032 3.5721 1.1 1.4909 1.7914 3.9839 本実施例の対物レンズはいずれも、後群LR から射出す
る光束は平行光束になっている、いわゆる無限遠対物レ
ンズである。したがって、対物レンズ単体では像を形成
しないので、結像レンズが必要となる。各実施例に示し
た収差図はいずれも結像レンズと組み合わせ算出されて
いる。なお、対物レンズと結像レンズとの間隔は50mm
〜170mmの間であれば何れの間隔を採っても良いが、
各実施例では120mmとして収差図を算出した。
の厚みが0.7mmから1.1mmの間で変化しても、以下
のようにd0 ,d5 ,d17の間隔を変化させることによ
って、良好な結像性能を維持したまま使用することがで
きる。 ガラス厚 d0 d5 d17 0.7 1.6178 2.5919 3.1834 0.9 1.5539 2.2032 3.5721 1.1 1.4909 1.7914 3.9839 本実施例の対物レンズはいずれも、後群LR から射出す
る光束は平行光束になっている、いわゆる無限遠対物レ
ンズである。したがって、対物レンズ単体では像を形成
しないので、結像レンズが必要となる。各実施例に示し
た収差図はいずれも結像レンズと組み合わせ算出されて
いる。なお、対物レンズと結像レンズとの間隔は50mm
〜170mmの間であれば何れの間隔を採っても良いが、
各実施例では120mmとして収差図を算出した。
【0052】以下に結像レンズの数値データを示す。
又、図15にレンズ断面図を示す。 R1 = -68.7541 D1 = 7.7321 n1 =1.48749 ν1 =70.20 R2 = -37.5679 D2 = 3.4742 n2 =1.80610 ν2 =40.95 R3 =-102.8477 D3 = 0.6973 R4 = 84.3099 D4 = 6.0238 n3 =1.83400 ν3 =37.16 R5 = -50.7100 D5 = 3.0298 n4 =1.64450 ν4 =40.82 R6 = 40.6619 なお、各実施例の対物レンズおよび上記結像レンズの数
値データにおいて、r 1 ,r2 ………、R1 ,R2 ……
…はレンズ面の曲率半径、d1 ,d2 ………、D1 ,D
2 ………はレンズの肉厚または空気間隔、n1 ,n2 …
……はレンズの屈折率、ν1 ,ν2 ………はレンズのア
ッベ数を示している。
又、図15にレンズ断面図を示す。 R1 = -68.7541 D1 = 7.7321 n1 =1.48749 ν1 =70.20 R2 = -37.5679 D2 = 3.4742 n2 =1.80610 ν2 =40.95 R3 =-102.8477 D3 = 0.6973 R4 = 84.3099 D4 = 6.0238 n3 =1.83400 ν3 =37.16 R5 = -50.7100 D5 = 3.0298 n4 =1.64450 ν4 =40.82 R6 = 40.6619 なお、各実施例の対物レンズおよび上記結像レンズの数
値データにおいて、r 1 ,r2 ………、R1 ,R2 ……
…はレンズ面の曲率半径、d1 ,d2 ………、D1 ,D
2 ………はレンズの肉厚または空気間隔、n1 ,n2 …
……はレンズの屈折率、ν1 ,ν2 ………はレンズのア
ッベ数を示している。
【0053】また、無限遠対物レンズに限らず、対物レ
ンズから射出する光束が集束光になっている有限対物レ
ンズの後群を、本発明のように構成することもできる。
また、本発明は、顕微鏡で使用される対物レンズに適し
ているが、上述のように、無限遠対物レンズはそれ自体
で結像するわけではなく結像レンズを必要とする。その
ため、本願発明は対物レンズに限定されるものではな
く、結像レンズなどの対物レンズ以外の光学系を含んで
構成される結像光学系にも適用できるということができ
る。この場合、本発明は、結像光学系において、この結
像光学系は前群と後群の二つのレンズ群からなり、前記
前群と標本との間に配置された透明な物質の光学特性に
応じて前記後群を交換するという構成を備えていること
になる。
ンズから射出する光束が集束光になっている有限対物レ
ンズの後群を、本発明のように構成することもできる。
また、本発明は、顕微鏡で使用される対物レンズに適し
ているが、上述のように、無限遠対物レンズはそれ自体
で結像するわけではなく結像レンズを必要とする。その
ため、本願発明は対物レンズに限定されるものではな
く、結像レンズなどの対物レンズ以外の光学系を含んで
構成される結像光学系にも適用できるということができ
る。この場合、本発明は、結像光学系において、この結
像光学系は前群と後群の二つのレンズ群からなり、前記
前群と標本との間に配置された透明な物質の光学特性に
応じて前記後群を交換するという構成を備えていること
になる。
【0054】
【発明の効果】以上のように、本発明の対物レンズは、
標本と対物レンズの間に屈折率やアッベ数、あるいは厚
みの異なる透明な物質が介在したとしても、良好な結像
性能が得られる。
標本と対物レンズの間に屈折率やアッベ数、あるいは厚
みの異なる透明な物質が介在したとしても、良好な結像
性能が得られる。
【図1】本発明の対物レンズの構成を示す図。
【図2】本発明の第1実施例の対物レンズの断面図。
【図3】第1実施例の対物レンズの後群に硝材1を用
い、ガラスを介して標本を観察した時の収差を示す図。
い、ガラスを介して標本を観察した時の収差を示す図。
【図4】第1実施例の対物レンズの後群に硝材2を用
い、ポリカーボネートを介して標本を観察した時の収差
を示す図。
い、ポリカーボネートを介して標本を観察した時の収差
を示す図。
【図5】第1実施例の対物レンズの後群に硝材1を用
い、ポリカーボネートを介して標本を観察した時の収差
を示す図。
い、ポリカーボネートを介して標本を観察した時の収差
を示す図。
【図6】本発明の第2実施例の対物レンズの断面図。
【図7】第2実施例の対物レンズの後群に硝材3を用
い、ガラスを介して標本を観察した時の収差を示す図。
い、ガラスを介して標本を観察した時の収差を示す図。
【図8】第2実施例の対物レンズの後群に硝材4を用
い、ポリカーボネートを介して標本を観察した時の収差
を示す図。
い、ポリカーボネートを介して標本を観察した時の収差
を示す図。
【図9】第2実施例の対物レンズの後群に硝材3を用
い、ポリカーボネートを介して標本を観察した時の収差
を示す図。
い、ポリカーボネートを介して標本を観察した時の収差
を示す図。
【図10】本発明の第3実施例の対物レンズの断面図。
【図11】第3実施例の対物レンズの後群に硝材5を用
い、ガラスを介して標本を観察した時の収差を示す図。
い、ガラスを介して標本を観察した時の収差を示す図。
【図12】第3実施例の対物レンズの後群に硝材6を用
い、ポリカーボネートを介して標本を観察した時の収差
を示す図。
い、ポリカーボネートを介して標本を観察した時の収差
を示す図。
【図13】第3実施例の対物レンズの後群に硝材7を用
い、オイルを介して標本を観察した時の収差を示す図。
い、オイルを介して標本を観察した時の収差を示す図。
【図14】第3実施例の対物レンズの後群に硝材5を用
い、ポリカーボネートを介して標本を観察した時の収差
を示す図。
い、ポリカーボネートを介して標本を観察した時の収差
を示す図。
【図15】結像レンズの断面図。
1 標本 2a,2b,2c 透明な物質 3,3' 対物レンズ本体 4 取付け部 5a,5b,5c 保持枠 6a,6b,6c 保持枠 LF 前群 LR 後群 LC 移動群 L1,L2,L3,L4,L5,L6,L7,L8
レンズ P 透明な物質
レンズ P 透明な物質
Claims (5)
- 【請求項1】 前群と後群の二つのレンズ群からなり、
前記前群と標本との間に配置された透明な物質の光学特
性に応じて前記後群を交換することを特徴とする対物レ
ンズ。 - 【請求項2】 前記光学特性は前記透明な物質の材質で
あって、該材質に応じて前記後群を交換することを特徴
とする請求項1に記載の対物レンズ。 - 【請求項3】 前記光学特性は前記透明な物質の厚みも
しくは屈折率であって、該厚みもしくは屈折率に応じ
て、前記前群の一部のレンズ群を移動させる補正機構を
設けたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載
の対物レンズ。 - 【請求項4】 前記前群は全体として正の屈折力、前記
後群は全体として負の屈折力を有し、以下の条件(1)
を満足することを特徴とする請求項1乃至請求項3に記
載の対物レンズ。 fF /f>1 (1) ただし、fは前記対物レンズの全系の焦点距離、fF は
前記前群の焦点距離である。 - 【請求項5】 前記後群は負の屈折力のメニスカスレン
ズ、または凸レンズと凹レンズ接合であって全体として
メニスカス形状のレンズを含むことを特徴とする請求項
1乃至請求項3に記載の対物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10095528A JPH11295609A (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | 対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10095528A JPH11295609A (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | 対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11295609A true JPH11295609A (ja) | 1999-10-29 |
Family
ID=14140065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10095528A Withdrawn JPH11295609A (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | 対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11295609A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11311739A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Asahi Optical Co Ltd | 望遠鏡対物レンズ系 |
| WO2005001544A1 (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-06 | Nikon Corporation | 光学ユニット、結像光学系、結像光学系の収差調整方法、投影光学系、投影光学系の製造方法、露光装置、および露光方法 |
| JP2006332669A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Carl Zeiss Smt Ag | 異なる浸漬液とともに使用するのに適した投影レンズとその変換方法及び製造方法 |
| JP2008046348A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Lasertec Corp | 対物レンズ系、及びその対物レンズ系を利用した検査装置 |
| JP2016200630A (ja) * | 2015-04-07 | 2016-12-01 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
-
1998
- 1998-04-08 JP JP10095528A patent/JPH11295609A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11311739A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Asahi Optical Co Ltd | 望遠鏡対物レンズ系 |
| WO2005001544A1 (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-06 | Nikon Corporation | 光学ユニット、結像光学系、結像光学系の収差調整方法、投影光学系、投影光学系の製造方法、露光装置、および露光方法 |
| JP2006332669A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Carl Zeiss Smt Ag | 異なる浸漬液とともに使用するのに適した投影レンズとその変換方法及び製造方法 |
| JP2008046348A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Lasertec Corp | 対物レンズ系、及びその対物レンズ系を利用した検査装置 |
| JP2016200630A (ja) * | 2015-04-07 | 2016-12-01 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
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| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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