JPH11300261A

JPH11300261A - 塗布用ダイ清掃装置およびこれを用いた塗布方法並びにカラーフィルターの製造装置および製造方法

Info

Publication number: JPH11300261A
Application number: JP11240098A
Authority: JP
Inventors: Kiyoshi Minoura; 潔箕浦; Yoshiyuki Kitamura; 義之北村; Osamu Wada; 修和田
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1998-04-22
Filing date: 1998-04-22
Publication date: 1999-11-02

Abstract

(57)【要約】【課題】塗布用ダイから塗布液を吐出した後、ダイの吐
出口周辺に摺接して余分な液を除去する塗布用ダイ清掃
装置において、吐出口周辺を常に拭き残りのない、清浄
な状態に維持して、塗膜面に縦スジなどの塗布欠点を発
生させない塗布用ダイ清掃装置とこれを用いた塗布方法
並びにカラーフィルター製造装置並びに製造方法を提供
する。【解決手段】塗布液を吐出する塗布用ダイの吐出口に接
触させ、かつ該吐出口の長手方向に移動させることによ
って、該吐出口に付着した塗布液を前記ダイから除去す
る清掃具を設けた塗布用ダイ清掃装置において、さらに
前記清掃具を洗浄する洗浄手段を設けたことを特徴とす
る塗布用ダイ清掃装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば液晶ディ
スプレイ用カラーフィルター、光学フィルター、プリン
ト基板、集積回路、半導体の製造分野に使用されるもの
であり、詳しくはガラス基板などの被塗布部材表面に塗
布液を吐出するダイの吐出口およびその周辺の清掃装置
およびこれを用いた塗布方法、さらにはこれらの装置お
よび方法を使用したカラーフィルター製造装置および製
造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ガラス基板の被塗布部材への塗布方法と
してダイコータ塗布がある。ダイコータは特開平５−２
０８１５４号公報に開示されているとおり、フィルム、
基板等の被塗布部材を移動させながら、ダイの吐出口か
ら塗布液を被塗布部材に吐出し、被塗布部材上に所定の
塗膜面を形成するものである。

【０００３】ガラス基板等の枚葉塗布にこのダイコータ
を使用する場合、外観上良好で、しかも膜厚が均一な塗
膜面を形成するために、常にダイ吐出口周辺を清浄な状
態に保つ必要がある。

【０００４】上記の問題を解決する手段として、特開平
７−１６８０１５号公報等に開示されているように、耐
薬品性のある高分子材料からなる清掃具を吐出口に摺接
させて、吐出口およびその周辺に付着した塗布液を掻き
取る清掃装置および清掃方法が提案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た清掃装置および清掃方法では、清掃具に付着した塗布
液がダイ吐出口と清掃具との摺接開始部に転写されるの
で、多数回清掃を行うと転写された塗布液がしだいに集
積して大きくなり、これが凝固する。そして、この凝固
物が被塗布部材に接触して、塗膜面に縦すじ等の塗布欠
点を発生させることがあった。

【０００６】また、ダイ吐出口付近に付着した余分な塗
布液を除去する時、除去したものがすべて落下せず、一
部が清掃具とダイとの接触領域以外に溢れて、ダイに付
着、残存する不都合も発生していた。さらに、清掃回数
を重ねると、この付着、残存した塗布液が蓄積して大き
な固まりとなって凝固し、これが清掃具とダイが密着す
る前に清掃具の端面と接触するので、ダイの吐出口と清
掃部材の清掃面が接触できず、吐出口に拭き残りが発生
し、良好な塗膜面を形成できないという問題があった。

【０００７】また、従来の清掃具ではダイとの密着性が
悪く、それを補うために清掃具をダイに大きな力で押し
付けるので、摺接を繰り返す過程で摩耗を引き起こし、
削れた摩耗粉が基板上の塗膜面に付着し、製品の欠点不
良率を高めていた。

【０００８】さらにまた、清掃具を吐出口付近に密着さ
せて摺接するためには、清掃具の位置合わせに微妙な調
整を必要とするが、これに長時間要し、生産性の低下を
も引き起こしていた。

【０００９】本発明は上述の事情に基づいてなされたも
のであり、その目的とするところは常に基板上に欠点不
良のない良好な塗膜面を形成するため、リップ面に拭き
残りも生じさせず、しかも清掃具の微妙な位置合わせを
必要としない塗布用ダイ清掃装置およびこれを用いた塗
布方法並びにカラーフィルター製造装置および製造方法
を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の構成は以下のとおりである。すなわち、（１）塗布液を吐出する塗布用ダイの吐出口に接触さ
せ、かつ該吐出口の長手方向に移動させることによっ
て、該吐出口に付着した塗布液を前記ダイから除去する
清掃具を設けた塗布用ダイ清掃装置において、さらに前
記清掃具を洗浄する洗浄手段を設けたことを特徴とする
塗布用ダイ清掃装置。

【００１１】（２）前記洗浄手段が、前記清掃具に洗浄
用溶剤を吐出するノズルであることを特徴とする前記
（１）記載の塗布用ダイ清掃装置。

【００１２】（３）塗布液を吐出する塗布用ダイの吐出
口に接触させ、かつ該吐出口の長手方向に移動させるこ
とによって、該吐出口に付着した塗布液を前記ダイから
除去する清掃具を設けた塗布用ダイ清掃装置において、
前記吐出口から除去した塗布液を吸引排除する吸引ユニ
ットを前記清掃具近傍に配したことを特徴とする塗布用
ダイ清掃装置。

【００１３】（４）塗布液を吐出する塗布用ダイの吐出
口に接触させ、かつ該吐出口の長手方向に移動させるこ
とによって、該吐出口に付着した塗布液を前記ダイから
除去する清掃具を設けた塗布用ダイ清掃装置において、
前記清掃具は前記吐出口の輪郭に沿って線接触する形状
を有すると共に、前記清掃具と前記吐出口間の線接触を
清掃具の移動時に維持するならい機構をさらに有するこ
とを特徴とする塗布用ダイ清掃装置。

【００１４】（５）前記ならい機構は、前記吐出口の長
手方向と直交する２方向に自在に直線移動する機構と前
記清掃具の前記吐出口への付勢方向を軸心とした回転機
構からなることを特徴とする前記（４）に記載の塗布用
ダイ清掃装置。

【００１５】（６）前記（１）〜（５）のいずれかに記
載の塗布用ダイ清掃装置を用いて、カラーフィルターを
製造することを特徴とするカラーフィルターの製造装
置。

【００１６】（７）塗布液を吐出口から吐出する塗布用
ダイを用いて被塗布部材に塗布する前または後で、清掃
具を該ダイの吐出口に接触させながら、該吐出口の長手
方向に移動させることによって、該吐出口に付着した塗
布液を前記ダイから除去する塗布方法において、塗布の
前または後に前記清掃具を溶剤で洗浄することを特徴と
する塗布方法。

【００１７】（８）塗布液を先端部にある吐出口から吐
出する塗布用ダイを用いて被塗布部材に塗布する前また
は後で、清掃具を該ダイの吐出口に接触させながら、該
吐出口の長手方向に移動させることによって、該吐出口
に付着した塗布液を前記ダイから除去する塗布方法にお
いて、前記清掃具で塗布液を前記ダイから除去した直後
に、前記吐出口周辺および清掃具に付着した液を吸引排
出することを特徴とする塗布方法。

【００１８】（９）塗布液を先端部にある吐出口から吐
出する塗布用ダイを用いて被塗布部材に塗布する前また
は後で、清掃具を該ダイの吐出口に接触させながら、該
吐出口の長手方向に移動させることによって、該吐出口
に付着した塗布液を前記ダイから除去する塗布方法にお
いて、前記吐出口の輪郭に沿って線接触する清掃部材と
該清掃部材を前記吐出口に接触させるならい機構を用い
て、線接触を維持して、前記吐出口に付着した塗布液を
除去することを特徴とする塗布方法。

【００１９】（１０）前記（７）〜（９）のいずれかに
記載の塗布方法を用いて、カラーフィルターを製造する
ことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

【００２０】前記（１）、（７）の塗布用ダイ清掃装置
および塗布方法によれば、常に清掃具を清浄な状態に保
つので、清掃具に付着した塗布液がダイの吐出口周辺に
転写されることがなく、吐出口に塗布液が凝固したもの
が蓄積して悪影響を及ぼすことがない。

【００２１】前記（３）、（８）の塗布用ダイ清掃装置
および塗布方法によれば、清掃具に付着した塗布液を吸
引して排除するので、清掃具を常に清浄な状態に維持す
ると共に、ダイと清掃具との接触領域以外に液が溢れな
くなり、ダイに液が付着、残存することを防止できる。

【００２２】前記（４）、（９）の塗布用ダイ清掃装置
および塗布方法によれば、清掃具がならい機構を有して
いるので、初期の微妙な清掃具位置合わせが不要になる
とともに、清掃具が吐出口に常に線接触で摺接すること
が可能となるので、吐出口に比較的弱い押し付け力で押
圧しても清掃具が吐出口周辺に常に密着して清掃効果を
高めて、さらに清掃具の耐摩耗性も向上できる。

【００２３】前記（６）、（１０）のカラーフィルター
製造装置および製造方法によれば、本発明の塗布用ダイ
清掃装置および塗布方法を用いてカラーフィルターを製
造するのでので、常に良好な塗膜面を有する高品質な製
品を生産できる。

【００２４】

【発明の実施の態様】以下、本発明の好ましい形態を図
面に基づいて説明する。図１は本発明の塗布用ダイ清掃
装置１０を塗布装置であるダイコータに適用した一例を
示す概略斜視図である。

【００２５】図１を見ると、ダイコータ８はダイ１とダ
イ１を塗布の前または後で清掃する塗布用ダイ清掃装置
１０と基台４とテーブル５および支柱７から構成され
る。ここで、ダイ１は昇降できるように支柱７に図示し
ない昇降運動機構を介して取り付けられている。また、
テーブル５はダイ１の下部を矢印５Ａ、５Ｂの方向に直
進運動できるように、図示しない往復運動機構を介して
基台４に取り付けられる。なお、塗布時には、基板６は
テーブル５に真空吸着により保持され、塗布液が図示し
ないポンプ等の送液装置によってダイ１に供給される。

【００２６】次に、塗布用ダイ清掃装置１０の構成を説
明する。図２は本発明の塗布用ダイ清掃装置の一例を示
す概略フロー図である。図３は図１の清掃部の拡大斜視
図である。

【００２７】塗布用ダイ清掃装置１０は、先端部に取り
付けられた清掃具１１０をダイ１の吐出口２の周辺に摺
接させて、余分な塗布液を掻き取って除去する清掃ユニ
ット１００と、不要な液を排出して回収する排液ユニッ
ト２００と、清掃具を溶剤で洗浄する洗浄ユニット３０
０から構成されている。

【００２８】清掃ユニット１００は、清掃具１１０と、
これを保持する清掃具保持部材１２０と、これらを吐出
口と清掃具との離接方向に弾性支持する清掃具支持部１
３０と、吐出口より落下する液を受けるトレイ１４０、
およびトレイ、清掃具を吐出口２の長手方向に駆動する
駆動装置１５０を有する。

【００２９】図４に清掃具の正面断面図、図５に清掃具
の側面断面図を示す。

【００３０】図４、図５を見ると、清掃具１１０はダイ
１と線接触できるように、先端部が、吐出口長手方向に
２ｍｍ以下のエッジ部１１１を有する。エッジ部１１１
はリップ面３に接触するリップ面接触エッジ１１１Ａ
と、リップ面の側面部に接するリップ側面部接触エッジ
１１１Ｂを有する。１１１Ｂの長さは、掻き取った塗布
液がエッジ部の最上部まで達してダイに付着するのを防
止するために、３ｍｍ以上とすることが好ましい。清掃
具１１０をリップ面３に線接触させることにより、ブレ
ード効果が生じ、面接触の場合よりもはるかに塗布液の
除去能力が高められる。

【００３１】また、清掃具とダイが摺接する時、清掃具
の移動方向前面とリップ面３が斜めに接触するのが良
い。すなわち、清掃具接触角１１０Ｃは４５度〜１３５
度の範囲にするのが好ましい。この範囲外の角度では、
十分な塗布液の掻き取り効果が得られない。

【００３２】清掃具の材質としてはリップ面を傷つけな
い高分子樹脂が良く、その高分子樹脂としてはフッ素樹
脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、
ポリプロピレン樹脂、シリコーンゴム、エチレンプロピ
レンゴム、フッ素ゴム等を用いることができるが、ダイ
に密着できるように弾性を有するものが好ましい。そし
てさらに、使用する塗液に対して耐薬品性を有するもの
を選定するのが好ましい。さらに、清掃具１１０に発生
する静電気を除去し、埃の付着を防止するために、高分
子樹脂中に導電性粉末を混入するようにしても良い。導
電性粉末しては導電性カーボン、白金、ニッケル、銀、
銅等が好ましく、混入する割合としては４０重量％〜１
００重量％が好ましい。

【００３３】図６は清掃具を取り付けた清掃具保持部材
の一例を示す概略斜視図である。これを参照すると、清
掃具保持部材１２０の斜面１２４Ａ、１２４Ｂに吸引口
１２１Ａ、１２１Ｂが配されている。この吸引口１２１
Ａ、１２１Ｂはパイプ１２２を介して排液ポンプ２１０
等の吸引源に接続されており、清掃具に付着する液を吸
引するとともに、ダイ１との摺接時に接触部以外の領域
に溢れる塗布液も吸引する。吸引した塗布液は廃液とし
て廃液タンク２２０に送液される。なお、吸引時の圧力
は吸引口１２１で１０Ｔｏｒｒ〜６００Ｔｏｏｒが良
く、さらに好ましくは１００Ｔｏｒｒ〜５００Ｔｏｒｒ
が良い。吸引することにより、清掃具１１０に液が残存
するのを防止できるので、清掃具１１０からダイ１へ液
が再付着することがない。さらに、摺接時には清掃具１
１０とダイ１との接触領域外に溢れる液も吸引するの
で、吐出口周辺に塗布液が残存しなくなる。

【００３４】図３を見ると清掃具支持部１３０は、支持
部材Ａ１３１、支持部材Ａを保持する支持部材Ｂ１３
２、支持部材Ａの下面に配されたコロ１３３から構成さ
れる。支持部材Ａ１３１は、清掃具保持部材１２０を所
定の範囲内で回転自由に保持するように、清掃具保持部
材の突出部１２３を差し込む穴１３４を有している。こ
の時の回転可能な範囲は−１０度〜１０度であることが
好ましい。支持部材Ａ１３１はコロ１３３の上に配置さ
れているので、清掃具１１０がリップ面３と平行な面内
でダイの長手方向と直角な方向に自在に移動できる。こ
の時の移動可能な範囲はリップ面３の幅方向に５ｍｍ以
内であることが好ましい。さらに、支持部材Ｂ１３２は
下面でバネ１３５によって弾性支持されており、これに
よって清掃具１１０が吐出口２に対して離接する方向１
１０Ｂにリップ面３を押圧できる。以上の機構によっ
て、清掃部材１１０のエッジ部１１１が容易にリップ面
３に沿って線接触できるようになるので、清掃具の位置
調整が不要になると共に、清掃部材１１０のリップ面３
への押し付け力を小さく設定することができ、清掃部材
の摩耗を大幅に減じることができる。

【００３５】また、トレイ１４０は内部に吸引口１４１
を有し、溜まった液を図示しない吸引装置によって吸
引、排出する。吸引された液は廃液として廃液タンク２
２０に送液される。

【００３６】一方、図２に示しているように、清掃具１
１０に溶剤を付着させて洗浄する洗浄ユニット３００
は、溶剤を吐出するノズル３１０とこのノズルにパイプ
３２０を介して接続された開閉弁３３４、溶剤タンク３
３１とこれに圧力をかける圧空ライン３３２と調圧弁３
３３から構成されている。

【００３７】ノズル３１０は清掃具１１０のエッジ部１
１１の全域に溶剤が付着するように平面扇状に液体を吐
出させるものが好ましい。ノズル３１０から吐出する溶
剤の種類として、用いる塗布液に含まれる溶剤成分と同
一のものが好ましいが、塗布液そのものを使用しても良
い。

【００３８】また、清掃具の適正な位置に溶剤を付着さ
せるために、ノズルはその吐出方向を清掃具の上部で任
意に調整できる機構を有していることが好ましいさら
に、ノズル３１０からの吐出圧は溶剤が周辺に飛散する
ことなく十分な洗浄力を得るために、好ましくは０．０
１ＭＰａ〜０．７ＭＰａ、より好ましくは０．０１ＭＰ
ａ〜０．０５ＭＰａが良く、溶剤の一回の吐出量は０．
５ｃｃ〜５ｃｃが好ましい。

【００３９】また、溶剤が飛散した場合でも、ラインを
流れる製品や周辺の装置に付着しないように、周囲にカ
バーを配することが好ましい。

【００４０】以上のもので、溶剤を吹き付けることによ
り清掃具１１０を常に清浄な状態に維持できるので、こ
の後で清掃具１１０をリップ面３に接触させても塗布液
が再付着することはない。

【００４１】次に、本発明の塗布用ダイ清掃装置を用い
た塗布方法の一例を図１と図２を用いて説明する。

【００４２】先ず、基板５上に塗布液を塗布する前に、
ダイ１の内部に塗布液を充填する。。塗布液の充填には
図示しない圧送、ポンプ等の送液手段を用いて、塗液タ
ンクからチューブ等の配管を介して塗布液をダイ１に送
液する。この時、吐出口２から塗布液が吐出されるの
で、予め、駆動装置１５０によって、トレイ１４０を吐
出口２の下側に移動させて、吐出される塗布液を受けな
がら排液ポンプ２１０を駆動させて、吸引口１４１から
トレイ１４０内に溜まる塗布液を排出する。

【００４３】ダイ１の内部まで完全に塗布液が満たされ
たら、ダイ１への送液を停止させて、吐出口２を清掃す
る。清掃工程は先ず、駆動装置１５０によって、清掃具
１１０を予め設定しておいた位置まで上昇させ、ダイの
摺接開始部２Ａに接触させる。この時、清掃具１１０は
吐出口２への押し付け力が適切となるように図３に示す
バネ１３５の収縮量は調整されており、清掃具１１０が
吐出口２に接触すると、コロ１３３及び清掃具保持部材
１２０の平行移動と回転の作用によって、清掃具１１０
がリップ面３の形状に追従して密着する。

【００４４】次に、駆動装置１５０によって、清掃具１
１０をダイの摺接終了部２Ｂに向かって移動させると、
清掃具１１０はリップ面３との線接触を維持しながら移
動し、吐出口周辺に付着した余分な塗布液を掻き取る。
この時、同時に排液ポンプ２１０を作動させて、清掃具
保持部材１２０に付着する塗布液と吐出口周辺に付着し
ている塗布液とを吸引し、廃液タンク２２０に排出し
て、塗布液を除去する。作業が完了したら、待機位置１
１０Ａまでもどる。

【００４５】清掃具１１０が待機位置１１０Ａで停止し
たら、洗浄ユニット３００を作動させて、ノズル３１０
から溶剤を清掃具に向けて吐出して、清掃具１１０を洗
浄する。さらに洗浄効果を高めるために、これと同時
に、排液ポンプ２１０を作動させて、図５に示す吸引口
１２１から清掃具１１０に付着している塗布液、溶剤を
吸引して、廃液タンク２２０に排出する。

【００４６】上記のダイ内部への塗布液充填及び清掃作
業が完了すると、塗布工程を開始する。

【００４７】先ず、テーブル５上に図示しないローダを
介して基板６が移載され、図示しない位置決め装置によ
って位置決めされた状態で、基板６は吸着保持される。
次に、テーブル５が５Ａ方向に直進して、基板の塗布開
始部が吐出口２の位置まで達すると、ダイ１が基板塗布
面と所定の距離を確保するまで下降する。次に、吐出口
から塗布液を所定の膜厚が得られる吐出量で吐出を開始
すると、テーブル５を５Ａ方向に移動させて、基板に塗
膜面を形成する。さらに、基板６の塗布終了部がほぼ吐
出口の位置に達したとき、塗布液の吐出を停止して、ダ
イ１を上昇させる。さらにテーブル５は終了位置まで移
動し、停止したら吸着を解除して図示しないアンローダ
によって基板の取り出しを行って、次工程に搬送する。

【００４８】基板の取り出しを終えた後、テーブル５は
５Ｂ方向に移動し、ダイ１の下部を通過して原点位置ま
でもどる。これと同時に、清掃具を吐出口２の下側に移
動させ、上昇した後、前述したように清掃具を吐出口に
摺接させて吐出口周辺に付着した塗布液を掻き取って、
除去する。リップ面３に摺接した後、清掃具１１０が待
機位置１１０Ａに戻った後、前述したようにノズル２１
０で清掃具を洗浄し、上述した一連の塗布工程を繰り返
す。

【００４９】なお、この清掃具の洗浄は１枚の基板塗布
毎に行っても、２〜５枚の基板塗布毎に行っても良い。
また、本実施態様ではトレイ１４０と清掃具１１０は一
緒に移動させたが、各々別々に移動しても良い。

【００５０】本発明の塗布用ダイ清掃装置は基板表面に
液体を塗布するスリットダイの吐出口周辺の清掃に有効
であり、特にカラーフィルターの製造工程でのＢＭ、
Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素用塗布液および、レジスト液、オー
バーコート剤を枚葉塗布するスリットダイの清掃に用い
ることができる。

【００５１】

【実施例】吐出口長手方向の長さが５５０ｍｍ、リップ
面の幅が３ｍｍであるスリットダイの清掃装置を製作し
た。

【００５２】清掃具はシリコーンゴムをリップ面で吐出
口長手方向に１ｍｍの接触長を有するように金型成形し
たものであり、この清掃具を図５の１１０Ｃが１２０度
となるように取り付けた。清掃具保持部材は吐出口と直
角方向に離接する方向にバネ定数０．９８Ｎ／ｍｍのバ
ネで弾性支持すると共に、リップ面の幅方向に３ｍｍ自
在に移動できるように、φ３ｍｍのコロを配し、さらに
清掃具保持部材を清掃具の吐出口に対する付勢方向を軸
心として−５度〜５度の範囲で回転自由に玉軸受けで保
持した。

【００５３】また、清掃具保持部材には２ｍｍ角の吸引
口を２箇所設け、吸引口で６００Ｔｏｒｒとなるように
吸引した。

【００５４】洗浄液には濃度９９．５％以上のプロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテートを用い、こ
れを吐出するノズルは平面扇状に液を吐出するフラット
スプレーノズルであり、０．０２ＭＰａの吐出圧で、清
掃具のダイとの接触部に洗浄液がかかるようにした。な
お、洗浄液の吐出量は一度の吐出で１ｃｃとした。

【００５５】塗布液タンクからダイまで固形分濃度１５
％、粘度５ｃｐのレジスト液を充填させた後、５５０×
６５０サイズのガラス基板への塗布（乾燥後膜厚１．７
μｍ）と本清掃装置によるダイの清掃動作を１００００
回連続で行った。清掃動作は次のように行った。

【００５６】１）洗浄液を清掃具にかけて洗浄。吸引口
からの吸引開始。２）清掃具を待機位置からダイの端部
まで移動。３）清掃具を停止、上昇させて吐出口に接触
させてから、清掃具を摺接させて、清掃具を待機位置ま
で戻す。４）吸引部の吸引終了。

【００５７】その結果、塗布液が吐出口周辺に残って固
化することがなく、清掃具とダイとの密着性が常に確保
され、拭き残りは見られなかった。これに伴って、ガラ
ス基板上の塗膜面も縦すじ等の塗布欠点も見られなかっ
た。さらに、顕微鏡で清掃具の先端部を観察した結果、
問題となる摩耗は見られず、摩耗粉による基板の汚染も
観察されなかった。

【００５８】

【発明の効果】以上、説明したように塗布用ダイの吐出
口の清掃に本発明の塗布用ダイ清掃装置を用いれば、ノ
ズルから洗浄液を吐出させて、清掃具を洗浄することに
より、清掃具を常に清浄な状態に保つので、繰り返して
塗布を行っても、リップ面に塗布液が清掃具から付着す
ることがなく、縦すじ等の塗膜面上の欠点を防止でき
る。

【００５９】また、清掃具を保持する部材に吸引ユニッ
トを設けることにより、清掃具およびダイに付着する余
分な液を効率良く排出できるので、被塗布部材に常に良
好な塗膜面を形成して、品質の向上に寄与する。

【００６０】さらに、ならい機構によって、線接触でダ
イの吐出口と清掃具を低い接触圧で摺接させて、ダイ吐
出口に付着した塗布液を除去できるので、清掃具の摩耗
が大幅に減少し、摩耗粉による基板の汚染を防止でき、
収率の向上に寄与する。

【００６１】また、このならい機構により、清掃具を無
調整でリップ面形状に沿わせることが可能となり、微妙
な清掃具の位置合わせを行わなくても、十分な清掃効果
が得られ、生産性の向上に寄与する。

【００６２】そして、本発明の塗布用ダイ清掃装置を用
いた塗布方法によれば、繰り返して塗布を行っても、ダ
イの吐出口周辺は常に清浄であるため、欠点のない良好
な塗膜面を形成することが可能で、製品の品質向上に寄
与する。

【００６３】さらに、本発明によるカラーフィルター製
造装置および製造方法によれば、高品質なカラーフィル
ターを高い生産性で製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の塗布用ダイ清掃装置を適用した塗布装
置の一例を示す概略斜視図である。

【図２】本発明の塗布用ダイ清掃装置の一例を示す概略
フロー図である。

【図３】図１の清掃部の概略斜視図である。

【図４】図３の清掃具の正面断面図である。

【図５】図３の清掃具の側面断面図である。

【図６】図３の清掃具保持部材の概略斜視図である。

【符号の説明】

１：ダイ２：吐出口３：リップ面４：基台５：テーブル５Ａ：テーブル送り方向５Ｂ：テーブル戻り方向６：基板７：支柱８：ダイコータ１００：清掃ユニット１１０：清掃具１１０Ａ：清掃具待機位置１１０Ｂ：清掃具−ダイ離接方向１１０Ｃ：清掃具接触角１１１：エッジ部１１１Ａ：リップ面接触エッジ１１１Ｂ：リップ側面部接触エッジ１２０：清掃具保持部材１２１Ａ、１２１Ｂ：吸引口１２２：パイプ１２３：突出部１２４Ａ、１２４Ｂ：斜面１３０：清掃支持部１３１：支持部材Ａ１３２：支持部材Ｂ１３３：コロ１３４：穴１３５：バネ１４０：トレイ１４１：吸引口１５０：駆動装置２００：排液ユニット２１０：排液ポンプ２２０：廃液タンク３００：洗浄ユニット３１０：ノズル３２０：パイプ３３１：溶剤供給タンク３３２：圧空ライン３３３：調圧弁３３４：開閉弁

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】塗布液を吐出する塗布用ダイの吐出口に接
触させ、かつ該吐出口の長手方向に移動させることによ
って、該吐出口に付着した塗布液を前記ダイから除去す
る清掃具を設けた塗布用ダイ清掃装置において、さらに
前記清掃具を洗浄する洗浄手段を設けたことを特徴とす
る塗布用ダイ清掃装置。
【請求項２】前記洗浄手段が、前記清掃具に洗浄用溶剤
を吐出するノズルであることを特徴とする請求項１に記
載の塗布用ダイ清掃装置。
【請求項３】塗布液を吐出する塗布用ダイの吐出口に接
触させ、かつ該吐出口の長手方向に移動させることによ
って、該吐出口に付着した塗布液を前記ダイから除去す
る清掃具を設けた塗布用ダイ清掃装置において、前記吐
出口から除去した塗布液を吸引排除する吸引ユニットを
前記清掃具近傍に配したことを特徴とする塗布用ダイ清
掃装置。
【請求項４】塗布液を吐出する塗布用ダイの吐出口に接
触させ、かつ該吐出口の長手方向に移動させることによ
って、該吐出口に付着した塗布液を前記ダイから除去す
る清掃具を設けた塗布用ダイ清掃装置において、前記清
掃具は前記吐出口の輪郭に沿って線接触する形状を有す
ると共に、前記清掃具と前記吐出口間の線接触を清掃具
の移動時に維持するならい機構をさらに有することを特
徴とする塗布用ダイ清掃装置。
【請求項５】前記ならい機構は、前記吐出口の長手方向
と直交する２方向に自在に直線移動する機構と前記清掃
具の前記吐出口への付勢方向を軸心とした回転機構から
なることを特徴とする請求項４に記載の塗布用ダイ清掃
装置。
【請求項６】請求項１〜５のいずれかに記載の塗布用ダ
イ清掃装置を用いて、カラーフィルターを製造すること
を特徴とするカラーフィルターの製造装置。
【請求項７】塗布液を吐出口から吐出する塗布用ダイを
用いて被塗布部材に塗布する前または後で、清掃具を該
ダイの吐出口に接触させながら、該吐出口の長手方向に
移動させることによって、該吐出口に付着した塗布液を
前記ダイから除去する塗布方法において、塗布の前また
は後に前記清掃具を溶剤で洗浄することを特徴とする塗
布方法。
【請求項８】塗布液を先端部にある吐出口から吐出する
塗布用ダイを用いて被塗布部材に塗布する前または後
で、清掃具を該ダイの吐出口に接触させながら、該吐出
口の長手方向に移動させることによって、該吐出口に付
着した塗布液を前記ダイから除去する塗布方法におい
て、前記清掃具で塗布液を前記ダイから除去した直後
に、前記吐出口周辺および清掃具に付着した液を吸引排
出することを特徴とする塗布方法。
【請求項９】塗布液を先端部にある吐出口から吐出する
塗布用ダイを用いて被塗布部材に塗布する前または後
で、清掃具を該ダイの吐出口に接触させながら、該吐出
口の長手方向に移動させることによって、該吐出口に付
着した塗布液を前記ダイから除去する塗布方法におい
て、前記吐出口の輪郭に沿って線接触する清掃部材と該
清掃部材を前記吐出口に接触させるならい機構を用い
て、線接触を維持して、前記吐出口に付着した塗布液を
除去することを特徴とする塗布方法。
【請求項１０】請求項７〜９のいずれかに記載の塗布方
法を用いて、カラーフィルターを製造することを特徴と
するカラーフィルターの製造方法。