JPH11300616A - ブラスト加工によるｐｄｐ用基板等のリブ形成方法 - Google Patents
ブラスト加工によるｐｄｐ用基板等のリブ形成方法Info
- Publication number
- JPH11300616A JPH11300616A JP12295198A JP12295198A JPH11300616A JP H11300616 A JPH11300616 A JP H11300616A JP 12295198 A JP12295198 A JP 12295198A JP 12295198 A JP12295198 A JP 12295198A JP H11300616 A JPH11300616 A JP H11300616A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- alumina particles
- substrate
- alumina grains
- rib forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 30
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 28
- 238000005422 blasting Methods 0.000 claims description 11
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】低圧空気を用いたブラスト加工の利点を生かし
ながら、ＰＤＰ用のガラス基板等の硬質基板に対するリ
ブ形成手段としてより効率的に適用し、作業性がよく安
定した実用的なリブ形成方法を提供する。 【構成】研磨材として少なくとも粒子の平均径の平均が
１５〜２５μｍのアルミナ粒子を用い、低圧空気発生手
段からの吐出圧力が０．３〜０．７ｋｇｆ／ｃｍ2の低
圧空気流路中に前記アルミナ粒子を混入し、その空気流
に乗せて同アルミナ粒子を１２ｍｍ以上の口径又は同等
の断面積を有するノズルより噴射しながら該ノズルの基
板に対する相対移動速度を８００ｍｍ／ｍｉｎ以上に設
定してブラスト加工を行うとともに、その際に前記ノズ
ルの噴射口を通過するアルミナ粒子の供給量を３〜１０
ｇ／ｃｍ2・ｓに設定し、かつ同アルミナ粒子の基板と
の衝突速度を６０〜１４０ｍ／ｓに設定する。
ながら、ＰＤＰ用のガラス基板等の硬質基板に対するリ
ブ形成手段としてより効率的に適用し、作業性がよく安
定した実用的なリブ形成方法を提供する。 【構成】研磨材として少なくとも粒子の平均径の平均が
１５〜２５μｍのアルミナ粒子を用い、低圧空気発生手
段からの吐出圧力が０．３〜０．７ｋｇｆ／ｃｍ2の低
圧空気流路中に前記アルミナ粒子を混入し、その空気流
に乗せて同アルミナ粒子を１２ｍｍ以上の口径又は同等
の断面積を有するノズルより噴射しながら該ノズルの基
板に対する相対移動速度を８００ｍｍ／ｍｉｎ以上に設
定してブラスト加工を行うとともに、その際に前記ノズ
ルの噴射口を通過するアルミナ粒子の供給量を３〜１０
ｇ／ｃｍ2・ｓに設定し、かつ同アルミナ粒子の基板と
の衝突速度を６０〜１４０ｍ／ｓに設定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＰＤＰすなわちプ
ラズマディスプレイパネル用のガラス基板などの硬質基
板に対してブラスト加工を用いて所定のリブを形成する
ためのリブ形成方法に関する。
ラズマディスプレイパネル用のガラス基板などの硬質基
板に対してブラスト加工を用いて所定のリブを形成する
ためのリブ形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のブラスト加工において、研磨材
を低圧空気に乗せてノズルより噴射するように構成する
ことにより、ノズル噴射口の口径を大きくして高速かつ
大流量のブラスト噴流の形成が可能になった（特公平１
−６０３９２号公報）。その結果、ノズルから噴射され
るブラスト噴流による加工幅を大きくとったり、ノズル
の移動速度を上げて作業性を向上することも可能になっ
た。
を低圧空気に乗せてノズルより噴射するように構成する
ことにより、ノズル噴射口の口径を大きくして高速かつ
大流量のブラスト噴流の形成が可能になった（特公平１
−６０３９２号公報）。その結果、ノズルから噴射され
るブラスト噴流による加工幅を大きくとったり、ノズル
の移動速度を上げて作業性を向上することも可能になっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、低圧空気を
用いた前記ブラスト加工を、その利点を生かしながらＰ
ＤＰ用のガラス基板等の硬質基板に対するリブ形成手段
として、より効率的に適用しようとするものである。例
えばＰＤＰ用のリブ形成の場合には、リブのピッチが１
５０〜２００μｍ程度で、リブ相互間の間隔、すなわち
ブラスト加工幅が１００μｍ程度という微細な加工とな
るため、高度の加工精度が要求される。本発明は、その
ような高度の加工精度を容易に満足することができ、し
かも作業性を向上できる、ブラスト加工を用いるＰＤＰ
用基板等のリブ形成方法を提供することを目的とするも
のである。
用いた前記ブラスト加工を、その利点を生かしながらＰ
ＤＰ用のガラス基板等の硬質基板に対するリブ形成手段
として、より効率的に適用しようとするものである。例
えばＰＤＰ用のリブ形成の場合には、リブのピッチが１
５０〜２００μｍ程度で、リブ相互間の間隔、すなわち
ブラスト加工幅が１００μｍ程度という微細な加工とな
るため、高度の加工精度が要求される。本発明は、その
ような高度の加工精度を容易に満足することができ、し
かも作業性を向上できる、ブラスト加工を用いるＰＤＰ
用基板等のリブ形成方法を提供することを目的とするも
のである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、研磨材として
少なくとも粒子の平均径の平均が１５〜２５μｍのアル
ミナ粒子を用い、低圧空気発生手段からの吐出圧力が
０．３〜０．７ｋｇｆ／ｃｍ2の低圧空気流路中に前記
アルミナ粒子を混入し、その空気流に乗せて同アルミナ
粒子を１２ｍｍ以上の口径又は同等の断面積を有するノ
ズルより噴射しながら該ノズルの基板に対する相対移動
速度を８００ｍｍ／ｍｉｎ以上に設定してブラスト加工
を行うとともに、その際に前記ノズルの噴射口を通過す
るアルミナ粒子の供給量を３〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓと
し、かつ同アルミナ粒子の基板との衝突速度を６０〜１
４０ｍ／ｓとすることを特徴とする。これにより、例え
ばＰＤＰ用のリブ形成のように、リブ相互間の間隔、す
なわち加工幅が１００μｍ程度という微細なリブ形成で
あっても、より効率的かつ安定したブラスト加工が得ら
れる。
少なくとも粒子の平均径の平均が１５〜２５μｍのアル
ミナ粒子を用い、低圧空気発生手段からの吐出圧力が
０．３〜０．７ｋｇｆ／ｃｍ2の低圧空気流路中に前記
アルミナ粒子を混入し、その空気流に乗せて同アルミナ
粒子を１２ｍｍ以上の口径又は同等の断面積を有するノ
ズルより噴射しながら該ノズルの基板に対する相対移動
速度を８００ｍｍ／ｍｉｎ以上に設定してブラスト加工
を行うとともに、その際に前記ノズルの噴射口を通過す
るアルミナ粒子の供給量を３〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓと
し、かつ同アルミナ粒子の基板との衝突速度を６０〜１
４０ｍ／ｓとすることを特徴とする。これにより、例え
ばＰＤＰ用のリブ形成のように、リブ相互間の間隔、す
なわち加工幅が１００μｍ程度という微細なリブ形成で
あっても、より効率的かつ安定したブラスト加工が得ら
れる。
【０００５】
【発明の実施の形態】前記ブラスト加工に用いる研磨材
としては、粒子の平均径の平均が１５〜２５μｍのアル
ミナ粒子を使用する。このアルミナ粒子は、８００番の
アルミナ粒子に相当する。この場合、１０００番のアル
ミナ粒子になると、加工速度が遅くなるため実用的では
ない。また、ガラスビーズなどの他の研磨材では柔らか
く、やはり加工速度が遅くなるため実用的ではない。低
圧空気の発生手段からの吐出圧力としては、０．４〜
０．６ｋｇｆ／ｃｍ2が最適であるが、０．３〜０．７
ｋｇｆ／ｃｍ2でも充分使用可能である。この低圧空気
の発生手段としては、低圧大流量に適したルーツブロア
やターボ形の低圧送風機が使用できるので、比較的小さ
な設備できわめて作業性の良好なブラスト加工が実現で
きる。また、ノズルの噴射口の口径は１２ｍｍ以上が適
当であるが、その形状に関しては円形に限らず矩形等の
適宜の形状のものでも同等の断面積を有するものであれ
ば、加工性が良好なだけでなく安定したブラスト噴流の
形成にも有効である。また、ノズルの被加工物である基
板に対する相対移動速度としては、８００ｍｍ／ｍｉｎ
以上が作業性がよく、しかもアルミナ粒子の供給量や衝
突速度に関する広い適応範囲を維持し得ることから安定
した実用的な加工が可能である。
としては、粒子の平均径の平均が１５〜２５μｍのアル
ミナ粒子を使用する。このアルミナ粒子は、８００番の
アルミナ粒子に相当する。この場合、１０００番のアル
ミナ粒子になると、加工速度が遅くなるため実用的では
ない。また、ガラスビーズなどの他の研磨材では柔らか
く、やはり加工速度が遅くなるため実用的ではない。低
圧空気の発生手段からの吐出圧力としては、０．４〜
０．６ｋｇｆ／ｃｍ2が最適であるが、０．３〜０．７
ｋｇｆ／ｃｍ2でも充分使用可能である。この低圧空気
の発生手段としては、低圧大流量に適したルーツブロア
やターボ形の低圧送風機が使用できるので、比較的小さ
な設備できわめて作業性の良好なブラスト加工が実現で
きる。また、ノズルの噴射口の口径は１２ｍｍ以上が適
当であるが、その形状に関しては円形に限らず矩形等の
適宜の形状のものでも同等の断面積を有するものであれ
ば、加工性が良好なだけでなく安定したブラスト噴流の
形成にも有効である。また、ノズルの被加工物である基
板に対する相対移動速度としては、８００ｍｍ／ｍｉｎ
以上が作業性がよく、しかもアルミナ粒子の供給量や衝
突速度に関する広い適応範囲を維持し得ることから安定
した実用的な加工が可能である。
【０００６】以上のような加工条件において種々の加工
実験を行ったところ、アルミナ粒子の基板との衝突速
度、すなわち被加工面との衝突速度を６０ｍ／ｓ以下及
び１４０ｍ／ｓ以上に設定することは、ノズルの位置を
近づけたり離したり調整してみても技術的に困難である
ことがわかった。また、アルミナ粒子の供給量として
は、３〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓ（ノズルの噴射口を通過す
る単位面積当りの供給量）の範囲において良好なリブ形
成が得られた。
実験を行ったところ、アルミナ粒子の基板との衝突速
度、すなわち被加工面との衝突速度を６０ｍ／ｓ以下及
び１４０ｍ／ｓ以上に設定することは、ノズルの位置を
近づけたり離したり調整してみても技術的に困難である
ことがわかった。また、アルミナ粒子の供給量として
は、３〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓ（ノズルの噴射口を通過す
る単位面積当りの供給量）の範囲において良好なリブ形
成が得られた。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の実施例に関する実験例につい
て説明する。本加工実験は、研磨材として８００番のア
ルミナ粒子を使用し、ブロアの吐出圧が０．４〜０．６
ｋｇｆ／ｃｍ2の空気流に混入して口径が１２ｍｍのノ
ズルから噴射し、その噴射されたアルミナ粒子がワーク
であるマスキングを施したＰＤＰ用のガラス基板に対し
て所定の衝突速度で衝突するように高さ調整しながらブ
ラスト加工を行った。表１〜３は、以上の加工条件の下
において、ノズルの相対移動速度を８００ｍｍ／ｍｉ
ｎ、１８００ｍｍ／ｍｉｎ及び３００ｍｍ／ｍｉｎにそ
れぞれ設定して、そのノズルの噴射口を通過するアルミ
ナ粒子の単位面積当りの毎秒の供給量Ｍａ（ｇ／ｃｍ2
・ｓ）と、被加工面である基板との衝突速度Ｖａ（ｍ／
ｓ）とを変化させてブラスト加工を実施した場合の実験
結果を示したものである。なお、その加工結果に対する
評価に関しては、表１の下部の（Ｂ）に示したように、
リブが過不足なくきれいに形成され、ＰＤＰ用のリブと
して充分使用可能な状態のものを○印、特に加工状態が
良好なものを◎印で示した。また、（Ａ）に示したよう
にリブの下部に対する加工が不足してダレた状態にある
場合を×印で、（Ｃ）に示したようにリブの下部が過剰
に削られた状態にある場合を××印で示した。これらの
×印及び××印の場合は、ＰＤＰ用のリブとして使用不
可である。なお、×印の場合には、ブラスト加工を繰返
すことによって適正なリブとして加工し得る可能性があ
る。
て説明する。本加工実験は、研磨材として８００番のア
ルミナ粒子を使用し、ブロアの吐出圧が０．４〜０．６
ｋｇｆ／ｃｍ2の空気流に混入して口径が１２ｍｍのノ
ズルから噴射し、その噴射されたアルミナ粒子がワーク
であるマスキングを施したＰＤＰ用のガラス基板に対し
て所定の衝突速度で衝突するように高さ調整しながらブ
ラスト加工を行った。表１〜３は、以上の加工条件の下
において、ノズルの相対移動速度を８００ｍｍ／ｍｉ
ｎ、１８００ｍｍ／ｍｉｎ及び３００ｍｍ／ｍｉｎにそ
れぞれ設定して、そのノズルの噴射口を通過するアルミ
ナ粒子の単位面積当りの毎秒の供給量Ｍａ（ｇ／ｃｍ2
・ｓ）と、被加工面である基板との衝突速度Ｖａ（ｍ／
ｓ）とを変化させてブラスト加工を実施した場合の実験
結果を示したものである。なお、その加工結果に対する
評価に関しては、表１の下部の（Ｂ）に示したように、
リブが過不足なくきれいに形成され、ＰＤＰ用のリブと
して充分使用可能な状態のものを○印、特に加工状態が
良好なものを◎印で示した。また、（Ａ）に示したよう
にリブの下部に対する加工が不足してダレた状態にある
場合を×印で、（Ｃ）に示したようにリブの下部が過剰
に削られた状態にある場合を××印で示した。これらの
×印及び××印の場合は、ＰＤＰ用のリブとして使用不
可である。なお、×印の場合には、ブラスト加工を繰返
すことによって適正なリブとして加工し得る可能性があ
る。
【０００８】ノズルの相対移動速度が８００ｍｍ／ｍｉ
ｎの場合の実験結果を表１に示す。本結果から明らかな
ように、本例の場合においては、アルミナ粒子の供給量
Ｍａが３〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓ、衝突速度Ｖａが６０〜
１４０ｍ／ｓの範囲で各条件を組合わせることにより、
比較的広い範囲で良好な加工結果が得られる。本例の場
合には、ノズルの相対移動速度、すなわち加工速度が８
００ｍｍ／ｍｉｎと速いうえ、以上のように適応範囲が
広いことから安定した実用的なリブ形成が可能である。
ｎの場合の実験結果を表１に示す。本結果から明らかな
ように、本例の場合においては、アルミナ粒子の供給量
Ｍａが３〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓ、衝突速度Ｖａが６０〜
１４０ｍ／ｓの範囲で各条件を組合わせることにより、
比較的広い範囲で良好な加工結果が得られる。本例の場
合には、ノズルの相対移動速度、すなわち加工速度が８
００ｍｍ／ｍｉｎと速いうえ、以上のように適応範囲が
広いことから安定した実用的なリブ形成が可能である。
【表１】
【０００９】ノズルの相対移動速度が１８００ｍｍ／ｍ
ｉｎの場合の実験結果を表２に示す。本結果から明らか
なように、本例の場合においては、アルミナ粒子の供給
量Ｍａが３〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓ、衝突速度Ｖａが６０
〜１４０ｍ／ｓの範囲で各条件を組合わせることによ
り、ノズルの相対移動速度、すなわち加工速度が更に速
いにも拘らず、広い範囲で良好な加工結果が維持される
ことから、この場合にも安定した実用的なリブ形成が可
能である。
ｉｎの場合の実験結果を表２に示す。本結果から明らか
なように、本例の場合においては、アルミナ粒子の供給
量Ｍａが３〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓ、衝突速度Ｖａが６０
〜１４０ｍ／ｓの範囲で各条件を組合わせることによ
り、ノズルの相対移動速度、すなわち加工速度が更に速
いにも拘らず、広い範囲で良好な加工結果が維持される
ことから、この場合にも安定した実用的なリブ形成が可
能である。
【表２】
【００１０】ノズルの相対移動速度が３００ｍｍ／ｍｉ
ｎの場合の実験結果を表３に示す。本結果から明らかな
ように、本例の場合にもアルミナ粒子の供給量Ｍａが３
〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓ、衝突速度Ｖａが６０〜１４０ｍ
／ｓの範囲で各条件を組合わせることにより、ノズルの
相対移動速度が８００ｍｍ／ｍｉｎの場合に比べて若干
狭くなるが、かなり広い範囲で良好な加工結果が得られ
る。しかしながら、本例の場合には、ノズルの相対移動
速度、すなわち加工速度が３００ｍｍ／ｍｉｎと遅いう
え、その適応範囲も若干劣ることから実用的な形態では
ない。なお、ノズルの相対移動速度が８００ｍｍ／ｍｉ
ｎ以下では同様の傾向である。
ｎの場合の実験結果を表３に示す。本結果から明らかな
ように、本例の場合にもアルミナ粒子の供給量Ｍａが３
〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓ、衝突速度Ｖａが６０〜１４０ｍ
／ｓの範囲で各条件を組合わせることにより、ノズルの
相対移動速度が８００ｍｍ／ｍｉｎの場合に比べて若干
狭くなるが、かなり広い範囲で良好な加工結果が得られ
る。しかしながら、本例の場合には、ノズルの相対移動
速度、すなわち加工速度が３００ｍｍ／ｍｉｎと遅いう
え、その適応範囲も若干劣ることから実用的な形態では
ない。なお、ノズルの相対移動速度が８００ｍｍ／ｍｉ
ｎ以下では同様の傾向である。
【表３】
【００１１】以上の実験例から、ノズルの相対移動速度
は８００ｍｍ／ｍｉｎ以上とし、その際のアルミナ粒子
の供給量Ｍａを３〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓ、同アルミナ粒
子の衝突速度Ｖａを６０〜１４０ｍ／ｓの範囲で組合せ
て設定すれば、効率的なブラスト加工が比較的広い範囲
で安定的に得られるので、作業性が良好で、かつ安定し
た実用的なリブ形成が可能である。
は８００ｍｍ／ｍｉｎ以上とし、その際のアルミナ粒子
の供給量Ｍａを３〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓ、同アルミナ粒
子の衝突速度Ｖａを６０〜１４０ｍ／ｓの範囲で組合せ
て設定すれば、効率的なブラスト加工が比較的広い範囲
で安定的に得られるので、作業性が良好で、かつ安定し
た実用的なリブ形成が可能である。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、所期の加工精度を容易
に実現できるとともに、口径の比較的大きなノズルから
噴射される高速かつ大流量のブラスト噴流による効率的
かつ安定したブラスト加工が可能となるので、作業性の
良好なリブ形成が得られる。しかも、低圧空気を使用す
るので、低圧大流量の供給に適したルーツブロアやター
ボ形の低圧送風機の使用が可能なことから比較的小さな
設備をもって、以上のような作業性がよく安定した実用
的なリブ形成を実現することができる。
に実現できるとともに、口径の比較的大きなノズルから
噴射される高速かつ大流量のブラスト噴流による効率的
かつ安定したブラスト加工が可能となるので、作業性の
良好なリブ形成が得られる。しかも、低圧空気を使用す
るので、低圧大流量の供給に適したルーツブロアやター
ボ形の低圧送風機の使用が可能なことから比較的小さな
設備をもって、以上のような作業性がよく安定した実用
的なリブ形成を実現することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安吉 祐之 石川県金沢市大豆田本町甲58番地 澁谷工 業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 研磨材として少なくとも粒子の平均径の
平均が１５〜２５μｍのアルミナ粒子を用い、低圧空気
発生手段からの吐出圧力が０．３〜０．７ｋｇｆ／ｃｍ
2の低圧空気流路中に前記アルミナ粒子を混入し、その
空気流に乗せて同アルミナ粒子を１２ｍｍ以上の口径又
は同等の断面積を有するノズルより噴射しながら該ノズ
ルの基板に対する相対移動速度を８００ｍｍ／ｍｉｎ以
上に設定してブラスト加工を行うとともに、その際に前
記ノズルの噴射口を通過するアルミナ粒子の供給量を３
〜１０ｇ／ｃｍ2・ｓとし、かつ同アルミナ粒子の基板
との衝突速度を６０〜１４０ｍ／ｓとすることを特徴と
するブラスト加工によるＰＤＰ用基板等のリブ形成方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12295198A JPH11300616A (ja) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | ブラスト加工によるｐｄｐ用基板等のリブ形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12295198A JPH11300616A (ja) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | ブラスト加工によるｐｄｐ用基板等のリブ形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11300616A true JPH11300616A (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=14848669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12295198A Pending JPH11300616A (ja) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | ブラスト加工によるｐｄｐ用基板等のリブ形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11300616A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007237389A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-20 | Ngk Insulators Ltd | ブラスト処理方法 |
| KR101073734B1 (ko) | 2002-10-15 | 2011-10-13 | 신토고교 가부시키가이샤 | 세라믹스의 표면 강인화방법 및 세라믹스제품 |
-
1998
- 1998-04-16 JP JP12295198A patent/JPH11300616A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101073734B1 (ko) | 2002-10-15 | 2011-10-13 | 신토고교 가부시키가이샤 | 세라믹스의 표면 강인화방법 및 세라믹스제품 |
| JP2007237389A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-20 | Ngk Insulators Ltd | ブラスト処理方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0456523B1 (en) | Low-pressure paint atomizer-air spray gun | |
| US4919853A (en) | Apparatus and method for spraying liquid materials | |
| EP0956180B1 (en) | Abrasive jet stream polishing | |
| US5464154A (en) | Methods for spraying polymeric compositions with compressed fluids and enhanced atomization | |
| US5456414A (en) | Suction feed nozzle assembly for HVLP spray gun | |
| JPH06304501A (ja) | 塗装に適する空気添加型噴霧装置 | |
| US4579286A (en) | Multi-orifice airless spray nozzle | |
| ES2231150T3 (es) | Procedimiento y dispositivo para la fabricacion de polvo de metal por atomizacion. | |
| JP4919446B2 (ja) | 微細溝加工方法及びその装置 | |
| US6433051B1 (en) | Very high solid content aerosol delivery system | |
| JPH11300616A (ja) | ブラスト加工によるｐｄｐ用基板等のリブ形成方法 | |
| KR100536507B1 (ko) | 연삭재, 연삭재의 제조방법 및 제조장치 | |
| US6734384B2 (en) | Electrical discharge machine apparatus with improved dielectric flushing | |
| EP1785230A2 (en) | Apparatus and method for slurry cleaning of etch chambers | |
| JP2006167599A (ja) | 二流体ノズル | |
| US6053803A (en) | Apparatus and method for generating a pressurized fluid stream having abrasive particles | |
| JP2001226704A (ja) | 金属粉末の製造装置および製造方法 | |
| Ray et al. | Some Studies On Abrasive Jet Machining. | |
| JPH04365558A (ja) | 高圧噴射ノズル | |
| JP2001129762A (ja) | 粉粒体噴射加工方法および加工装置 | |
| JP2009138249A (ja) | 被処理物の表面処理方法 | |
| SU1618777A1 (ru) | Устройство дл нанесени покрыти | |
| JP2002036119A (ja) | ワークの噴射切断方法 | |
| JP2002326163A (ja) | ブラスト装置用ノズル | |
| JP6131845B2 (ja) | 液膜又は液柱塗装方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040929 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060804 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20061101 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070306 |