JPH11300621A - 外周表面にディンプルを点在させた超砥粒砥石及びその製造方法。 - Google Patents
外周表面にディンプルを点在させた超砥粒砥石及びその製造方法。Info
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- JPH11300621A JPH11300621A JP10121622A JP12162298A JPH11300621A JP H11300621 A JPH11300621 A JP H11300621A JP 10121622 A JP10121622 A JP 10121622A JP 12162298 A JP12162298 A JP 12162298A JP H11300621 A JPH11300621 A JP H11300621A
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Abstract
ド砥粒或いはCBN砥粒等の超砥粒を電鋳固定した超砥
粒砥石及びその製造方法を提供することにある。 【解決手段】導電性のリング状母型周壁にジェル状接着
剤を点着して突起を形成する工程と、その母型周壁に充
填法により超砥粒(6)を配置する工程と、電気メッキ
により母型周壁に超砥粒を仮固着する工程と、仮固着さ
れていない余剰の超砥粒を除去する工程と、メッキによ
り超砥粒が全て覆われるまでメッキ層(8)で覆い超砥
粒を固着する工程と、母型の中心に挿入した芯金(9)
との間に溶融合金(10)を注入する工程と、母型を取
り除く工程とにより製造される外周表面にディンプル
(12)を点在させた超砥粒砥石及びその製造方法であ
る。
Description
或いはCBN(立方晶窒化ホウ素)砥粒などの超砥粒を
その表面にメッキにより固着し、芯金を一体成形した電
鋳式の超砥粒砥石及びその製造方法に関する。
粒或いはCBN砥粒を電気メッキ法により金属で固着し
たものであり、製造工程での温度が低いため、精密に仕
上げた母型の形状をそのまま表面に反転することができ
るので、精細な形状のものを高精度に製作することがで
きる。その結果、電鋳式の超砥粒砥石を用いて工作物を
研削すれば、硬度が高く、微細な形状の工作物を高精度
に研削加工することができるので、その需要は高まりつ
つある。
は、通常、図11、図12に示されるように、ダイヤモ
ンド砥粒或いはCBN砥粒等の超砥粒(以下単に超砥粒
という)(6)を母型(1)内周面に充填し、ニッケル
電気メッキにより超砥粒を母型(1)内周面に仮固定
し、さらに電気メッキによる電鋳によりメッキ層(8)
を形成して超砥粒を本格的に固着し(図11)、母型
(1)の中心に砥石の本体を形成する芯金(9)を挿入
し、メッキ層(8)と芯金(9)との間に溶融合金(1
0)を注入し、固定する(図12)ことにより製造され
る。そのため、超砥粒は砥石外周面に密に固着され、集
中度が非常に高くなり、このように砥粒間隔が小さい
と、工作物への切り込みがかかりにくく、工作物加工中
の研削抵抗が高くなるとともに、工作物表面に研削焼け
が発生するという問題があった。
の外周表面に超砥粒を固定する方法により製造される超
砥粒砥石において、外周表面にディンプルを点在させ、
超砥粒の集中度を調整し、工作物への切り込みがかかり
易く、研削抵抗が低く、高精度加工を長期間維持できる
超砥粒砥石及びその製造方法を提供することにある。
に、本発明は、ダイヤモンド砥粒或いはCBN砥粒等の
超砥粒をメッキ層によりその外周表面に固着した超砥粒
砥石において、その外周表面にディンプルを点在させる
構成としている。また、具体的には、導電性のリング状
の母型内周壁にジェル状接着剤を点着して突起を形成
し、前記母型内周壁に超砥粒を電気メッキにより仮固着
し、さらにメッキ層により超砥粒を固着し、母型を取り
除くことにより形成された、外周表面にディンプルを点
在させた超砥粒砥石を構成する。さらに、前記外周表面
に形成されているディンプル部には超砥粒が存在してい
ない超砥粒砥石を構成する。
ジェル状接着剤を点着して突起を形成する工程と、その
母型内周壁に充填法により超砥粒を配置する工程と、電
気メッキにより母型内周壁に超砥粒を仮固着する工程
と、仮固着されていない余剰超砥粒を除去する工程と、
メッキにより超砥粒が全て覆われるまでメッキ層で覆い
超砥粒を固着する工程と、母型の中心に挿入した芯金と
の間に溶融合金又は合成樹脂を注入する工程と、母型を
取り除く工程とよりなる、外周表面にディンプルを点在
させた超砥粒砥石の製造方法を構成する。
ル状接着剤とすることができ、ジェル状接着剤の粘度は
500,000cp(センチポアーズ)以下であること
が好ましい。
ンド砥粒或いはCBN砥粒等の超砥粒をメッキ層により
その外周表面に固着した超砥粒砥石において、その外周
表面にディンプルを点在させる構成とし、具体的には、
導電性のリング状の母型内周壁にジェル状接着剤を点着
して突起を形成し、前記母型内周壁に超砥粒を電気メッ
キにより仮固着し、さらにメッキ層により超砥粒を固着
し、母型を取り除くことにより形成された、外周表面に
ディンプルを点在させた超砥粒砥石であり、研削加工の
際、研削に役立つ超砥粒の集中度を容易に調整でき、超
砥粒の食い付きが良く、研削屑がディンプルに収容さ
れ、ディンプルにクーラントが供給されるので切れ味を
長期間維持でき、高精度に研削加工を行うことができる
ものである。また、前記表面に形成されているディンプ
ル部には超砥粒が存在していない超砥粒砥石を構成する
ことにより、その部分の超砥粒を節約することができ
る。ディンプルの大きさ、密度、配置は容易に、任意に
調節が可能である。
在させた超砥粒砥石の製造方法は、導電性のリング状母
型内周壁にジェル状接着剤を点着して突起を形成する工
程と、その母型内周壁に充填法により超砥粒を配置する
工程と、電気メッキにより母型内周壁に超砥粒を仮固着
する工程と、仮固着されていない余剰超砥粒を除去する
工程と、メッキにより超砥粒が全て覆われるまでメッキ
層で覆い超砥粒を固着する工程と、母型の中心に挿入し
た芯金との間に溶融合金又は合成樹脂を注入する工程
と、母型を取り除く工程とよりなることを特徴とするも
のであり、前記外周表面にディンプルが点在された超砥
粒砥石を容易、安価に製造することができるものであ
る。
ェル状接着剤とすることにより、その部分に超砥粒が仮
固着されず、外周表面に超砥粒が存在する部分と超砥粒
の存在しないディンプルとが形成された超砥粒砥石を容
易、安価に製造することができるものである。
0,000cp以下であることが良い形状(例えば半球
状)を形成する上において、またその作業の容易性にと
って好ましい。
る。
石の製造工程を説明する図面であり、全体の断面形状は
砥石の外形に応じた適宜の曲線をなす周知の総型の円筒
状のものであり(図11、図12参照)、その表面部の
みを表している。
て非導電性ジェル状接着剤を使用し、表面にダイヤモン
ド砥粒或いはCBN砥粒等の超砥粒が存在する部分と超
砥粒の存在しないディンプルとが形成される超砥粒砥石
を製造する場合について説明する。まず、図1において
は、グラファイト等の導電性のリング状の母型(1)の
内周壁表面に非導電性ジェル状の接着剤(例えば、シア
ノアクリレート瞬間接着剤ジェルタイプ)(2)を定量
吐出装置(5)の円形のノズル(4)により一定量を点
着する。点着された接着剤はジェル状であるので図1に
示すように略半球状となり瞬間的に固形化し突起(3)
となる。その形状は出来上がりの超砥粒砥石表面のディ
ンプルの形状となる。その大きさは点着する接着剤の量
により、密度は点着の数によることになるが、ノズル
(4)の大きさ、定量吐出装置(5)の吐出量を選択す
ることにより簡単に調整することができる。本実施例に
おいては非導電性ジェル状接着剤としてスリーボンド社
製の「スリーボンド1739瞬間強力接着剤・ジェルタ
イプ(粘度 23,000cp)」を使用した。非導電
性ジェル状接着剤は、本件発明の趣旨にそうものであれ
ば他のものでも良いことは当然であるが、良い形状(例
えば半球状)を形成する上において、またその作業を容
易にするために、その粘度は500,000cp(セン
チポアズ)以下であることが好ましい。
れず、その形状は図9に示されるように、三角形、四角
形、菱形等を任意に選択することができる。この場合に
も、接着剤がジェル状であるため、その形状は先端が細
くなる三角錐(図9b)、四角錐(図9c)等の形状の
突起となり、その跡形がディンプルの形状となる。ま
た、それらの断面形状のノズルを用いることもできる。
より点着するための定量突出装置(5)は、一般に市販
されているもの(通称ディスペンサと呼ばれている)を
使用することができ、一般的には手作業により点着する
が、ノズル部分を数値制御装置を利用して予めプログラ
ムされた位置に自動的に点着することもできる。点着さ
れた非導電性のジェル状接着剤は瞬間的に固形化し、母
型の壁面に略半球状の突起(3)が多数形成される。そ
の状態で、母型(1)の周壁面にダイヤモンド砥粒或い
はCBN砥粒等の超砥粒(6)を充填すると、超砥粒
(6)は、点着突起(3)のないところは超砥粒(6)
が直接母型壁面に接するように、また略半球状の点着突
起(3)部分にもその表面に超砥粒(6´)が接するこ
とになる(図2)。
電気メッキ(ニッケルメッキ)することにより超砥粒
(6)と母型内周壁面(1)の間にメッキ層(7)が形
成され、超砥粒(6)の母型内周壁面(1)への仮電着
を行う(図3)。超砥粒(6)の仮固着が終わった状態
で、余剰の超砥粒(6´)を取り除くが、この場合点着
された突起(3)は非導電性の接着剤で形成されている
ため、その部分にのみ接していた超砥粒(6´)は電着
されていないので容易に取り除かれ、超砥粒砥石のディ
ンプルに相当する部分には超砥粒がほとんど存在しない
ことになる(図4)。
(6)を固着するためにニッケル電気メッキにより電鋳
層(8)を形成する。これは、超砥粒(6)の直径を越
え、また点着突起(3)を越えて、十分な厚さの電鋳層
(8)を形成することにより超砥粒(6)を確実に固着
するものである(図5)。
に、無電解メッキ法(化学メッキ)により超砥粒を固着
するメッキ層を形成することができる。すなわち、図4
の状態のものを、無電解ニッケル・リンメッキ槽に約1
80時間浸漬することにより約3mmのニッケルメッキ
層を形成することができ、その厚さは超砥粒を固着する
のに十分な厚さである。
体をなす芯金(9)を挿入し、芯金(9)と前記電鋳層
(8)との間にすず合金等の溶融合金(10)を流し入
れて、芯金(9)と一体の超砥粒砥石を形成する。この
場合に溶融合金は、冷却することにより電着層(8)と
芯金(9)とを接着固定する役目を果たすが、合金に限
らず、合成樹脂を用いて接着固定することもできる。そ
の場合には金属との接着性に優れ、機械的強度の高いエ
ポキシ系樹脂、フェノール系樹脂(又はそれらを接着剤
としたもの)等が用いられる。最後にグラファイト製の
リング状母型(1)を切削、研削により除去し、超砥粒
砥石(A)は完成する。母型(1)を取り除くことによ
り、母型内周壁面に接着固定された点着突起(3)も同
時に取り除かれるので、その跡が、砥石表面のディンプ
ル(12)として自動的に形成されることになる(図
6)。ディンプルの幅W、ピッチP、深さHは点着突起
の形成を調整することにより容易に調整することができ
る。
は図7のようになっており、ダイヤモンド砥粒或いはC
BN砥粒等の超砥粒(6)が配列固着された面と、ディ
ンプル(12)が適宜に配列されている。図8は、図7
におけるI−I断面図であり、ディンプル(12)の部
分には超砥粒がほとんど固着されていないことが分か
る。超砥粒が固着されていないディンプル(12)が形
成されているので、超砥粒の節約ができる。
の3〜20倍、深さ(H)は0.1〜5倍程度が採用さ
れ、研削作業の際の研削屑の収容、排出を容易にし、切
れ味が向上し、また、クーラントがディンプル中に収容
されて研削中の砥粒の摩擦熱の冷却に資するので、超砥
粒の磨耗の主要因とされる摩擦熱による熱損傷劣化磨耗
が防止され、超砥粒砥石の長寿命化に役立つ。
の効果を確認するために次の実験を試みた。先ず本発明
の第1実施例にしたがって外周表面にディンプルを有す
る超砥粒砥石(外径φ175mm×幅5mm、内径φ3
1.75mm)を製作した。
ト母型の内周面に非導電性瞬間接着剤「スリーボンド1
739(粘度23,000cp)」をオートマチック・
プレシジョン・ディスペンサ(定量吐出装置)に先端内
径0.42mmの円形ノズルを装着して、硬化後の接着
剤の半球状スポット径が1.5mmとなるようにディス
ペンサの圧力と吐出時間をセットし、点着密度16個/
cm2 (ディンプル面積率28%)で点着した。室温内
で接着剤完全硬化後、母型を砥粒充填用の治具にセット
し、接着剤突起の点在する母型内周壁面に粒度120〜
140メッシュのCBN砥粒を充填し、仮電着メッキ槽
にセットし0.1〜0.15A/dm2 の電流密度でC
BN砥粒1層分を仮電着固定した。
電着メッキ槽にセットし、2A/dm2 で85時間ニッ
ケル電気メッキにより電着層を形成しCBN砥粒を完全
固着した(図11参照)。その後母型の中心に鉄(S4
5C)の芯金を母型と同芯にセットし、前記ニッケルメ
ッキ層と鉄芯金との間隙にすずを含む低溶融合金を20
0℃で流し込み冷却固定した(図12参照)。最後に、
母型部分を切削除去し、WA#220砥石で研削仕上げ
して、本発明の外周表面にディンプルを点在させたCB
N砥石を得た。比較例として、ディンプルのない同様の
CBN砥石を、前記の接着剤の点着工程のみなしに同様
に製作した。
テストを行った。すなわち、研削テストは、前記CBN
砥石を用いて所定の研削条件の下で研削を行い、その際
の法線研削抵抗を測定した。その研削条件は、下記の通
りである。 研削盤 ;平面研削盤 クーラント ;水溶性ソリューブル70倍希釈液 砥石周速 ;33m/s 工作物 ;SUJ(HE)(50mm×3m
m、厚さ30mm) 工作物送り速度 ;90mm/min(アップカット) 砥石切込量 ;0.5mm/PASS 取り代 ;2mm その結果、本発明の外周表面にディンプルを点在させた
CBN砥石の法線研削抵抗は0.35kgf/mmであ
ったのに対して、外周表面にディンプルを有しない比較
例では0.51kgf/mmであった。したがって、本
発明の実施例では、従来例と比較して、研削加工時の法
線研削抵抗が69%まで低減することができたことにな
る。
球状(図9a)のほか、図9bに示されるような三角錐
形、図9cに示される四角錐形、図9dの菱形等を任意
に選択することができ、その大きさ、配置も任意に選択
することができる。
とにより、ディンプル部面積率を大きくとることがで
き、研削屑とクーラントの収容、排出能力と冷却効果を
大きくできる例である。図9b、図9cは、ディンプル
形状を三角錐形、四角錐形とし、超砥粒の分布している
各領域の形状も三角形、四角形とするとともに、超砥粒
砥石の回転方向にその角部先端方向を合わせることによ
り工作物への超砥粒砥石の食い込みが容易となり、さら
に砥粒領域の下流側には確実にディンプルが配置される
ため研削屑の排出が適格に行われる。このため研削作業
における研削抵抗の低減が達成される。図9dは、超砥
粒の分布領域が網目状に砥石外周表面を覆うため、ディ
ンプル部面積率が比較的高い場合でも、図9b、図9c
に比較して研削加工において工作物の面あらさの向上が
期待できるものである。
剤に代えて導電性ジェル状接着剤、例えば、スリーボン
ド社製の「スリーボンド3300シリーズ導電性樹脂材
料接着剤」、或いは前記非導電性接着剤に銀粉等を混入
したものを用いた場合、前記図3において超砥粒を仮電
着した場合、導電性ジェル状接着剤により形成された突
起(3)の部分にも超砥粒(6´)が仮固着されること
になり、結果的に製造される超砥粒砥石の外周表面は図
10に示されているようにディンプル(12)部分をも
含めて1列の超砥粒(6、6´)が配置された構造とな
る。これらの製造方法によれば、超砥粒砥石の表面に容
易にディンプルを形成することができ、表面にディンプ
ルを点在させた超砥粒砥石を用いることにより、研削屑
の収容、排出を容易にし、クーラントによる冷却効果が
増し、切れ味が向上するものである。また、ディンプル
表面にも超砥粒が存在するため、ディンプル形状が長期
間変化せず、超砥粒砥石の性能を長期間維持できるもの
である。
粒或いはCBN砥粒等の超砥粒をメッキ層によりその外
周表面に固着したものであり、その外周表面にディンプ
ルを点在させる構成としているので、研削に役立つ超砥
粒の集中度を容易に調整でき、研削作業の際研削屑がデ
ィンプルに収容され排出されるので超砥粒の食い付きが
良く、研削抵抗を減少することができる。また、クーラ
ントがディンプルに収容されて超砥粒を冷却するので超
砥粒の磨耗を抑えて切れ味を長期間維持でき、さらに、
ディンプルが点在していることにより研削抵抗が均一に
なり研削作業の最中に振動が生じず、高精度の研削作業
が長期間維持できるものである。さらに、本発明の超砥
粒砥石は導電性のリング状母型内周周壁にジェル状接着
剤を点着して突起を形成し、前記母型内周周壁に超砥粒
を仮固着し、さらにメッキにより超砥粒を固着し、母型
を取り除いて形成される、外周表面にディンプルが形成
されたものであり、ディンプルの面積率、形状、大きさ
等を任意に形成することができる。さらに、前記ジェル
状接着剤を非導電材料とした場合には、結果的に、超砥
粒砥石の外周表面には必要な箇所のみに超砥粒が存在
し、ディンプルの部分には超砥粒が存在しないので超砥
粒の節約になり、ニッケル製のディンプルが形成されて
いるので、研削作業の際の研削屑の収容、排出を容易に
し、切れ味が向上するものである。
導電性のリング状の母型内周周壁にジェル状接着剤を点
着して突起を形成しているので、作業が容易であり、母
型を取り除くことにより自動的に外周表面にディンプル
が形成された超砥粒砥石を容易、安価に製造することが
できるものである。また、母型内周周壁にジェル状接着
剤を点着する際、ノズルの大きさ、吐出量、箇所、形状
等を適宜選択することにより砥石外周面のディンプルの
形状、大きさ、密度等を簡単に調整することができ、併
せて超砥粒の集中度を容易に調整することができるもの
である。
状接着剤を非導電性ジェル状接着剤とすることにより、
電気メッキにより母型周壁に超砥粒を仮固着する場合に
前記突起の部分には超砥粒が固着されず、不必要な部分
への超砥粒の固着がないので、超砥粒の節約になり、最
後に母型を取り除く際、前記突起は母型と一緒に取り除
かれるので、超砥粒砥石の外周表面には、超砥粒が存在
しないディンプルが自動的に形成される。
部分断面図である。
部分断面図である。
部分断面図である。
部分断面図である。
部分断面図である。
部分断面図である。
ある。
−I断面図である。
面図である。
分断面図である。
す全体断面図である。
す全体断面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】ダイヤモンド砥粒或いはCBN砥粒等の超
砥粒をメッキ層によりその外周表面に固着した超砥粒砥
石において、その外周表面にディンプルを点在させたこ
とを特徴とする超砥粒砥石。 - 【請求項2】導電性のリング状の母型内周壁にジェル状
接着剤を点着して突起を形成し、前記母型内周壁に電気
メッキにより超砥粒を仮固着し、さらにメッキ層により
超砥粒を固着し、母型を取り除くことにより形成され
た、外周表面にディンプルを点在させたことを特徴とす
る超砥粒砥石。 - 【請求項3】前記外周表面に形成されているディンプル
部には超砥粒が存在していないことを特徴とする請求項
1又は請求項2記載の超砥粒砥石。 - 【請求項4】導電性のリング状母型内周壁にジェル状接
着剤を点着して突起を形成する工程と、その母型内周壁
に充填法により超砥粒を配置する工程と、電気メッキに
より母型内周壁に超砥粒を仮固着する工程と、仮固着さ
れていない余剰超砥粒を除去する工程と、メッキにより
超砥粒が全て覆われるまでメッキ層で覆い超砥粒を固着
する工程と、母型の中心に挿入した芯金との間に溶融合
金又は合成樹脂を注入する工程と、母型を取り除く工程
とよりなることを特徴とする外周表面にディンプルを点
在させた超砥粒砥石の製造方法。 - 【請求項5】前記ジェル状接着剤は非導電性ジェル状接
着剤であることを特徴とする請求項4記載の外周表面に
ディンプルを点在させた超砥粒砥石の製造方法。 - 【請求項6】前記ジェル状接着剤は、その粘度が50
0,000cp以下であることを特徴とする請求項4又
は請求項5記載の外周表面にディンプルを点在させた超
砥粒砥石の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12162298A JP3390137B2 (ja) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | 外周表面にディンプルを点在させた超砥粒砥石の製造方法。 |
| DE69921533T DE69921533T2 (de) | 1998-04-13 | 1999-04-13 | Schleifwerkzeug und Verfahren zur Herstellung desselben |
| EP99400896A EP0950470B1 (en) | 1998-04-13 | 1999-04-13 | Abrasive tool and the method of producing the same |
| US09/289,954 US6200360B1 (en) | 1998-04-13 | 1999-04-13 | Abrasive tool and the method of producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12162298A JP3390137B2 (ja) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | 外周表面にディンプルを点在させた超砥粒砥石の製造方法。 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11300621A true JPH11300621A (ja) | 1999-11-02 |
| JP3390137B2 JP3390137B2 (ja) | 2003-03-24 |
Family
ID=14815826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12162298A Expired - Lifetime JP3390137B2 (ja) | 1998-04-13 | 1998-04-16 | 外周表面にディンプルを点在させた超砥粒砥石の製造方法。 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3390137B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009061560A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Mitsubishi Materials Corp | 電着工具 |
| JP2014140922A (ja) * | 2013-01-23 | 2014-08-07 | Toyoda Van Moppes Ltd | 電着砥石 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5247383U (ja) * | 1975-10-01 | 1977-04-04 | ||
| JPH0557617A (ja) * | 1991-08-28 | 1993-03-09 | Komatsu Ltd | 電着工具およびその製造方法 |
| JPH0752047A (ja) * | 1993-08-10 | 1995-02-28 | Komatsu Ltd | 砥粒の高精度電着方法 |
| JPH08174429A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-07-09 | Asahi Daiyamondo Kogyo Kk | ロータリードレッサ |
| JPH08197432A (ja) * | 1995-01-26 | 1996-08-06 | Mitsubishi Materials Corp | 電着砥石およびその製造方法 |
| JPH09193022A (ja) * | 1996-01-11 | 1997-07-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 電着砥石およびその製造方法 |
-
1998
- 1998-04-16 JP JP12162298A patent/JP3390137B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5247383U (ja) * | 1975-10-01 | 1977-04-04 | ||
| JPH0557617A (ja) * | 1991-08-28 | 1993-03-09 | Komatsu Ltd | 電着工具およびその製造方法 |
| JPH0752047A (ja) * | 1993-08-10 | 1995-02-28 | Komatsu Ltd | 砥粒の高精度電着方法 |
| JPH08174429A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-07-09 | Asahi Daiyamondo Kogyo Kk | ロータリードレッサ |
| JPH08197432A (ja) * | 1995-01-26 | 1996-08-06 | Mitsubishi Materials Corp | 電着砥石およびその製造方法 |
| JPH09193022A (ja) * | 1996-01-11 | 1997-07-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 電着砥石およびその製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009061560A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Mitsubishi Materials Corp | 電着工具 |
| JP2014140922A (ja) * | 2013-01-23 | 2014-08-07 | Toyoda Van Moppes Ltd | 電着砥石 |
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