JPH11304459A - 精密位置決めステージ - Google Patents
精密位置決めステージInfo
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- JPH11304459A JPH11304459A JP11108298A JP11108298A JPH11304459A JP H11304459 A JPH11304459 A JP H11304459A JP 11108298 A JP11108298 A JP 11108298A JP 11108298 A JP11108298 A JP 11108298A JP H11304459 A JPH11304459 A JP H11304459A
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Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 低温、真空でも、ステージの現在位置を検出
可能な精密位置決めステージを考案した。 【解決手段】 歪みゲージ５の付いた板バネ２の一方を
テーブル１に取り付け、他方を位置決めステージ３に取
りつけた構造することによりステージの可動と共に歪み
ゲージの抵抗値が変化し、抵抗値の値からステージの位
置を導き出したものである。
可能な精密位置決めステージを考案した。 【解決手段】 歪みゲージ５の付いた板バネ２の一方を
テーブル１に取り付け、他方を位置決めステージ３に取
りつけた構造することによりステージの可動と共に歪み
ゲージの抵抗値が変化し、抵抗値の値からステージの位
置を導き出したものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】微小領域を走査し位置決めを
行うステージの位置検出機構に関する。
行うステージの位置検出機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ステージの位置検出は光源から出
た光を格子に照射してできた干渉パターンを読み取りス
テージの変位量を検出していた。しかし低温では光源と
なる投光素子が動作しない為、現在位置の検出ができな
かった。低温でステージの位置を為にはステッピンモー
ターへの出力パルスだけでステージの位置を推測してい
た。
た光を格子に照射してできた干渉パターンを読み取りス
テージの変位量を検出していた。しかし低温では光源と
なる投光素子が動作しない為、現在位置の検出ができな
かった。低温でステージの位置を為にはステッピンモー
ターへの出力パルスだけでステージの位置を推測してい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】低温、真空でも位置が
検出でき、ステージのバックラッシュ誤差を排除し、ス
テージが脱調しても現在位置を検出できるセンサーが必
要だった。
検出でき、ステージのバックラッシュ誤差を排除し、ス
テージが脱調しても現在位置を検出できるセンサーが必
要だった。
【０００４】
【課題を解決する為の手段】（第一の手段）本発明は上
記の課題を解決する為に、従来のステージの位置検出に
低温、真空でも動作する歪みゲージを取り入れた。歪み
ゲージの付いた板バネの一方をステージの力点（可動部
分）にもう一方をステージの支点（固定部分）に取りつ
ける。 （第二の手段）第一の手段に更に前記板バネの両面に歪
みゲージを付ける。 （第三の手段）第一の手段に更に前記歪みゲージに接続
されている［図3］のリファレンス抵抗を歪みゲージと
同じ環境にする。
記の課題を解決する為に、従来のステージの位置検出に
低温、真空でも動作する歪みゲージを取り入れた。歪み
ゲージの付いた板バネの一方をステージの力点（可動部
分）にもう一方をステージの支点（固定部分）に取りつ
ける。 （第二の手段）第一の手段に更に前記板バネの両面に歪
みゲージを付ける。 （第三の手段）第一の手段に更に前記歪みゲージに接続
されている［図3］のリファレンス抵抗を歪みゲージと
同じ環境にする。
【０００５】第一の手段によりステージの移動と共に板
バネと歪みゲージに変位が加わり、歪みゲージの抵抗値
が変化するため、抵抗値の変化量から低温、真空でもス
テージの変位量を導き出すことが出来る。第二の手段に
より出力が2倍になり分解能が向上する。第三に手段に
より前記歪みゲージと［図3］のリファレンス抵抗が同
じ温度なり、温度ドリフトを少なくすることが出来る。
バネと歪みゲージに変位が加わり、歪みゲージの抵抗値
が変化するため、抵抗値の変化量から低温、真空でもス
テージの変位量を導き出すことが出来る。第二の手段に
より出力が2倍になり分解能が向上する。第三に手段に
より前記歪みゲージと［図3］のリファレンス抵抗が同
じ温度なり、温度ドリフトを少なくすることが出来る。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例について図
面を参照して説明する。 （実施例１）以下、本発明について実施例により詳細に
説明する。［図１］は精密位置ステージを示した図であ
る。低温、真空でも動作して、変形が加わると歪みゲー
ジの抵抗値が変化することを特徴とする歪みゲ−ジ５が
薄い板バネ２に付いている。前記の歪みゲ−ジ５が付い
ている板バネ２の力点となるテーブル１に止めて、もう
一方を板バネ２の支点となる位置決めステージ３に止め
る。更に歪みゲ−ジ５は［図3］で示されている電気回
路（ホイートストーン・ブリッジ）の［図１］のリファ
レンス抵抗４に接続されていて、歪みゲ−ジ５に何もス
トレスが加わらないとき回路上のとの間には電圧が
生じないように回路は設計されている。このとき電圧が
生じてもステージの位置検出は可能である。この状態か
らステージが移動すると移動に伴い板バネ２に変形が加
わり、板バネ２の両側に付いている２つの歪みゲージに
も変形が加わり、前記歪みゲ−ジ５の抵抗値が変化す
る。
面を参照して説明する。 （実施例１）以下、本発明について実施例により詳細に
説明する。［図１］は精密位置ステージを示した図であ
る。低温、真空でも動作して、変形が加わると歪みゲー
ジの抵抗値が変化することを特徴とする歪みゲ−ジ５が
薄い板バネ２に付いている。前記の歪みゲ−ジ５が付い
ている板バネ２の力点となるテーブル１に止めて、もう
一方を板バネ２の支点となる位置決めステージ３に止め
る。更に歪みゲ−ジ５は［図3］で示されている電気回
路（ホイートストーン・ブリッジ）の［図１］のリファ
レンス抵抗４に接続されていて、歪みゲ−ジ５に何もス
トレスが加わらないとき回路上のとの間には電圧が
生じないように回路は設計されている。このとき電圧が
生じてもステージの位置検出は可能である。この状態か
らステージが移動すると移動に伴い板バネ２に変形が加
わり、板バネ２の両側に付いている２つの歪みゲージに
も変形が加わり、前記歪みゲ−ジ５の抵抗値が変化す
る。
【０００７】前記歪みゲージ５の変化した抵抗値の変化
量Δｒによりとの間に電圧が生じる。との間に
生ずる電圧はステージの移動量に比例するので、電圧を
変換した値をステージの移動量とする。また前記歪みゲ
ージの付いた板バネはリン青銅できていて他のステンレ
ス、鋼材等の金属FRPなどで位置検出は可能である。 （実施例２）図３は実施例２を示す図である。精密位置
ステージとリファレンス抵抗４は液体ヘリウム層６の中
に入れられてある。このためリファレンス抵抗４と前記
歪みゲ−ジ５の環境は同じになり温度ドリフトが無くな
る。 （実施例３）更に実施例３では液体ヘリウム層の中のス
テージに測定資料を取り付け、超高感度磁気センサーで
あるSQUID（超伝導量子干渉素子）磁束計を用いて測定
資料の微小領域の磁束分布を測定している。本実施例で
はSQUID磁束計の素子を超伝導にする為に液体ヘリウム
を用いている。 （実施例４）図４は実施例４を示す図である。精密位置
ステージと４リファレンス抵抗は７真空層の中に入れら
れてある。このため４リファレンス抵抗と前記５歪みゲ
ージの環境は同じになり温度ドリフトが無くなる。 （実施例５）以下に本発明の実施例５を示す。［図5］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図６］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
では５歪みゲージが２板バネの両面に二つ付いている。
５歪みゲージを二つ使うことにより出力が2倍になり分
解能が向上する。 （実施例６）以下に本発明の実施例６を示す。［図７］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図８］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネをステージの可動部分に取り付けている８止
め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実施例
１では板バネをステージの力点（可動部分）に金属の板
で挟み込んでいるが［図８］のように止め金と接する部
分の面積が実施例４の８止め金より小さく横に細長い。
止め金を変えることにより歪みゲージの歪み値とソフト
上でのステージ移動量の繰り返し精度が実施例４よりが
向上した。 （実施例７）以下に本発明の実施例７を示す。［図９］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図10］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例６では板バネをステージの可動部分に止めている部
分の面積が実施例４の８止め金より小さく横に細長く、
バネと組み合わせて両側から板バネを押さえている。又
［図11］のよう片側だけバネを組み合わせた構造でも良
い。 （実施例８）以下に本発明の実施例８を示す。［図12]
は歪みゲージを正面から見た図である。［図13］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例７では板バネを両側から中央の一点でステージ可動
部分に止めている。 （実施例９）以下に本発明の実施例９を示す。［図14］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図15］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例８では板バネを両側から横又は縦に2点でステージ
の可動部分に止めている。 （実施例10）以下に本発明の実施例10を示す。［図16］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図17］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例９ではバネを使って中央に１点で両側から板バネを
ステージ可動部分に止めている。又［図１8］のよう片
側だけバネを組み合わせた構造でも良い。 （実施例11）以下に本発明の実施例11を示す。［図19］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図20］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例10では両側からバネを使って横又は中央縦に２点で
板バネをステージ可動部分に止めている。又［図21］の
よう片側だけバネを組み合わせた構造でも良い。 （実施例12）以下に本発明の実施例12を示す。［図22］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図23］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例11では両側からボールで中央、１点で板バネをステ
ージ可動部分に止めている。 （実施例13）以下に本発明の実施例13を示す。［図24］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図25］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例12では両側からボールで横又は中央縦に2点で板バ
ネをステージ可動部分に止めている。 （実施例14）以下に本発明の実施例14を示す。［図26］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図27］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例13では両側から中央1点で板バネをボールとバネを
組み合わせてステージ可動部分に止めている。又［図2
8］のよう片側だけバネを組み合わせた構造でも良い。 （実施例15）以下に本発明の実施例15を示す。［図29］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図30］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例14では両側からボールとバネを組み合わせて横また
は中央縦、２点で板バネをステージ可動部分に止めてい
る。又［図31］のよう片側だけバネを組み合わせた構造
でも良い。
量Δｒによりとの間に電圧が生じる。との間に
生ずる電圧はステージの移動量に比例するので、電圧を
変換した値をステージの移動量とする。また前記歪みゲ
ージの付いた板バネはリン青銅できていて他のステンレ
ス、鋼材等の金属FRPなどで位置検出は可能である。 （実施例２）図３は実施例２を示す図である。精密位置
ステージとリファレンス抵抗４は液体ヘリウム層６の中
に入れられてある。このためリファレンス抵抗４と前記
歪みゲ−ジ５の環境は同じになり温度ドリフトが無くな
る。 （実施例３）更に実施例３では液体ヘリウム層の中のス
テージに測定資料を取り付け、超高感度磁気センサーで
あるSQUID（超伝導量子干渉素子）磁束計を用いて測定
資料の微小領域の磁束分布を測定している。本実施例で
はSQUID磁束計の素子を超伝導にする為に液体ヘリウム
を用いている。 （実施例４）図４は実施例４を示す図である。精密位置
ステージと４リファレンス抵抗は７真空層の中に入れら
れてある。このため４リファレンス抵抗と前記５歪みゲ
ージの環境は同じになり温度ドリフトが無くなる。 （実施例５）以下に本発明の実施例５を示す。［図5］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図６］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
では５歪みゲージが２板バネの両面に二つ付いている。
５歪みゲージを二つ使うことにより出力が2倍になり分
解能が向上する。 （実施例６）以下に本発明の実施例６を示す。［図７］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図８］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネをステージの可動部分に取り付けている８止
め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実施例
１では板バネをステージの力点（可動部分）に金属の板
で挟み込んでいるが［図８］のように止め金と接する部
分の面積が実施例４の８止め金より小さく横に細長い。
止め金を変えることにより歪みゲージの歪み値とソフト
上でのステージ移動量の繰り返し精度が実施例４よりが
向上した。 （実施例７）以下に本発明の実施例７を示す。［図９］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図10］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例６では板バネをステージの可動部分に止めている部
分の面積が実施例４の８止め金より小さく横に細長く、
バネと組み合わせて両側から板バネを押さえている。又
［図11］のよう片側だけバネを組み合わせた構造でも良
い。 （実施例８）以下に本発明の実施例８を示す。［図12]
は歪みゲージを正面から見た図である。［図13］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例７では板バネを両側から中央の一点でステージ可動
部分に止めている。 （実施例９）以下に本発明の実施例９を示す。［図14］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図15］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例８では板バネを両側から横又は縦に2点でステージ
の可動部分に止めている。 （実施例10）以下に本発明の実施例10を示す。［図16］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図17］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例９ではバネを使って中央に１点で両側から板バネを
ステージ可動部分に止めている。又［図１8］のよう片
側だけバネを組み合わせた構造でも良い。 （実施例11）以下に本発明の実施例11を示す。［図19］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図20］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例10では両側からバネを使って横又は中央縦に２点で
板バネをステージ可動部分に止めている。又［図21］の
よう片側だけバネを組み合わせた構造でも良い。 （実施例12）以下に本発明の実施例12を示す。［図22］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図23］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例11では両側からボールで中央、１点で板バネをステ
ージ可動部分に止めている。 （実施例13）以下に本発明の実施例13を示す。［図24］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図25］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例12では両側からボールで横又は中央縦に2点で板バ
ネをステージ可動部分に止めている。 （実施例14）以下に本発明の実施例14を示す。［図26］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図27］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例13では両側から中央1点で板バネをボールとバネを
組み合わせてステージ可動部分に止めている。又［図2
8］のよう片側だけバネを組み合わせた構造でも良い。 （実施例15）以下に本発明の実施例15を示す。［図29］
は歪みゲージを正面から見た図である。［図30］は歪み
ゲージをステージに取り付けた時の図である。実施例４
とは板バネがステージの可動部分に取り付けられている
８止め金の押え方が異なり、他の部分は同じである。実
施例14では両側からボールとバネを組み合わせて横また
は中央縦、２点で板バネをステージ可動部分に止めてい
る。又［図31］のよう片側だけバネを組み合わせた構造
でも良い。
【０００８】
【発明の効果】本発明によりステージの位置精度に依存
せず常温だけでなく、低温でも位置の検出が可能とな
る。またステージのバックラッシュによる誤差も除ける
ことができ、ステージの脱調の危険もなくなる。
せず常温だけでなく、低温でも位置の検出が可能とな
る。またステージのバックラッシュによる誤差も除ける
ことができ、ステージの脱調の危険もなくなる。
【図1】歪みゲ−ジ５が取り付けられた精密位置決めス
テージの全体図である。
テージの全体図である。
【図２】歪みゲ−ジ５と前記歪みゲージに接続されたリ
ファレンス抵抗４の電気回路図である。
ファレンス抵抗４の電気回路図である。
【図３】歪みゲ−ジ５が取り付けられた精密位置決めス
テージと前記歪みゲージに接続されたリファレンス抵抗
４が液体ヘリウム層に入っていることを示す図である。
テージと前記歪みゲージに接続されたリファレンス抵抗
４が液体ヘリウム層に入っていることを示す図である。
【図４】歪みゲ−ジ５が取り付けられた精密位置決めス
テージと前記歪みゲージに接続されたリファレンス抵抗
４が真空層に入っていることを示す図である。
テージと前記歪みゲージに接続されたリファレンス抵抗
４が真空層に入っていることを示す図である。
【図５】歪みゲージと前記歪みゲージが取り付けられた
板バネ２を示す図である。
板バネ２を示す図である。
【図６】歪みゲ−ジ５が取り付けられた板バネ２を精密
位置決めステージのテ−ブル１と位置決めステ−ジ３に
取り付けた時の横から見た図である。
位置決めステージのテ−ブル１と位置決めステ−ジ３に
取り付けた時の横から見た図である。
【図７】歪みゲ−ジ５と前記歪みゲージが取り付けられ
た板バネ２を示す図である。
た板バネ２を示す図である。
【図８】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図９】歪みゲ−ジ５と前記歪みゲージが取り付けられ
た板バネ２を示す図である。
た板バネ２を示す図である。
【図10】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図11】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図12】歪みゲ−ジ５と前記歪みゲージが取り付けられ
た板バネ２を示す図である。
た板バネ２を示す図である。
【図13】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図14】歪みゲ−ジ５と前記歪みゲージが取り付けられ
た板バネ２を示す図である。
た板バネ２を示す図である。
【図15】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図16】歪みゲ−ジ５と前記歪みゲージが取り付けられ
た板バネ２を示す図である。
た板バネ２を示す図である。
【図17】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図18】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図19】歪みゲ−ジ５と前記歪みゲージが取り付けられ
た板バネ２を示す図である。
た板バネ２を示す図である。
【図20】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図21】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図22】歪みゲ−ジ５と前記歪みゲージが取り付けられ
た板バネ２を示す図である。
た板バネ２を示す図である。
【図23】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図24】歪みゲ−ジ５と前記歪みゲージが取り付けられ
た板バネ２を示す図である。
た板バネ２を示す図である。
【図25】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図26】歪みゲ−ジ５と前記歪みゲージが取り付けられ
た板バネ２を示す図である。
た板バネ２を示す図である。
【図27】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図28】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図29】歪みゲ−ジ５と前記歪みゲージが取り付けられ
た板バネ２を示す図である。
た板バネ２を示す図である。
【図30】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
【図31】精密位置決めステージの歪みゲ−ジ５と前記歪
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
みゲージが取り付けられている板バネ２がテ−ブル１と
位置決めステ−ジ３に取り付けられている実施例を示す
図である。
１ テーブル ２ 板バネ ３ 位置決めステージ ４ リファレンス抵抗 ５ 歪みゲージ ６ 液体ヘリウム層 ７ 真空層 ８ 止め金 ９ 止め金と板バネとの接する所
Claims (14)
- 【請求項１】 ステージの移動量を歪みゲージの抵抗値
の変化量から検出することを特徴とする精密位置決めス
テージ。 - 【請求項２】 低温においてもステージの移動量を歪み
ゲージで検出することを特徴とする精密位置決めステー
ジ。 - 【請求項３】 真空においてもステージの移動量を歪み
ゲージで検出することを特徴とする精密位置決めステー
ジ。 - 【請求項４】 歪みゲージを二つ使い出力を2倍にして
分解能を向上させることを特徴とする精密位置決めステ
ージ。 - 【請求項５】 上記の歪みゲージを板バネに付け、両側
から金属の板ではさみ前記の板バネと金属の板の間に針
金を入れて、ステージの力点（可動部分）に止めておく
ことを特徴とする精密位置決めステージ。 - 【請求項６】 上記の歪みゲージが両面に付いた板バネ
を両側又は片側から止め金８とバネを組み合わせてステ
ージの可動部分に止めておくことを特徴とする精密位置
決めステージ。 - 【請求項７】 上記の歪みゲージが両面に付いた板バネ
を両側から中央に１点でステージの可動部分に止めてお
くことを特徴とする精密位置決めステージ。 - 【請求項８】 上記の歪みゲージが両面に付いた板バネ
を両側から横、又は中央に２点でステージの可動部分に
止めておくことを特徴とする精密位置決めステージ。 - 【請求項９】 上記の歪みゲージが両面に付いた板バネ
を両側又は片側から中央１点でバネを用いてステージの
可動部分に止めておくことを特徴とする精密位置決めス
テージ。 - 【請求項１０】 上記の歪みゲージが両面に付いた板バ
ネを両側又は片側からバネを用いて横又は中央縦に２点
でステージの可動部分に止めておくことを特徴とする精
密位置決めステージ。 - 【請求項１１】 上記の歪みゲージが両面に付いた板バ
ネを両側からボールを用いて中央，１点でステージの可
動部分に止めておくことを特徴とする精密位置決めステ
ージ。 - 【請求項１２】 上記の歪みゲージが両面に付いた板バ
ネを両側からボールで横又は中央縦に2点でステージの
可動部分に止めておくことを特徴とする精密位置決めス
テージ。 - 【請求項１３】 上記の歪みゲージが両面に付いた板バ
ネを両側又は片側から中央１点でボールとバネを組み合
わせてステージの可動部分に止めておくことを特徴とす
る精密位置決めステージ。 - 【請求項１４】 上記の歪みゲージが両面に付いた板バ
ネを両側又は片側から横又は中央２点でボールとバネを
組み合わせてステージの可動部分に止めておくことを特
徴とする精密位置決めステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11108298A JPH11304459A (ja) | 1998-04-21 | 1998-04-21 | 精密位置決めステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11108298A JPH11304459A (ja) | 1998-04-21 | 1998-04-21 | 精密位置決めステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11304459A true JPH11304459A (ja) | 1999-11-05 |
Family
ID=14551935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11108298A Pending JPH11304459A (ja) | 1998-04-21 | 1998-04-21 | 精密位置決めステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11304459A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017116514A (ja) * | 2015-12-26 | 2017-06-29 | 並木精密宝石株式会社 | 精密傾斜ステージ |
-
1998
- 1998-04-21 JP JP11108298A patent/JPH11304459A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017116514A (ja) * | 2015-12-26 | 2017-06-29 | 並木精密宝石株式会社 | 精密傾斜ステージ |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
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