JPH11312017A - 位置微調整装置 - Google Patents
位置微調整装置Info
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- JPH11312017A JPH11312017A JP10119144A JP11914498A JPH11312017A JP H11312017 A JPH11312017 A JP H11312017A JP 10119144 A JP10119144 A JP 10119144A JP 11914498 A JP11914498 A JP 11914498A JP H11312017 A JPH11312017 A JP H11312017A
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- ultrasonic motor
- pressing force
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】煩雑な調整作業等を必要とせず、また製作時の
加工精度や組立て精度をさほど要求せずとも、超音波モ
ータに対する押圧荷重を所定の状態に保持し、所望の駆
動力を得る。 【解決手段】微動ステージ７と、この微動ステージ７を
振動により移動させる圧電効果を用いた超音波モータ１
とを有する位置微調整装置において、微動ステージ７の
移動方向に対して直交する方向に上記超音波モータ１が
上記微動ステージ７を押圧する力を発生させる圧縮ばね
２、セットビス３、及びホルダ６を備える。
加工精度や組立て精度をさほど要求せずとも、超音波モ
ータに対する押圧荷重を所定の状態に保持し、所望の駆
動力を得る。 【解決手段】微動ステージ７と、この微動ステージ７を
振動により移動させる圧電効果を用いた超音波モータ１
とを有する位置微調整装置において、微動ステージ７の
移動方向に対して直交する方向に上記超音波モータ１が
上記微動ステージ７を押圧する力を発生させる圧縮ばね
２、セットビス３、及びホルダ６を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、微動ステージを駆
動するアクチュエータとして利用される超音波モータの
押圧力を調整する機構等に用いられる位置微調整装置に
関する。
動するアクチュエータとして利用される超音波モータの
押圧力を調整する機構等に用いられる位置微調整装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】アクチュエータとして超音波モータを用
いた微動ステージの一般的な構成について図５に示す。
同図で、超音波モータ１はセットビス３により摺動板５
に所定の押圧荷重を持って当接されている。超音波モー
タ１は、摺動板５との接触面において進行波を発生して
おり、上記押圧荷重を垂直抗力とする摩擦力により摺動
板５が矢印Ａの方向に移動する。そして、摺動板５は微
動ステージ７に接着固定されているため、微動ステージ
７も摺動板５と共に矢印Ａの方向に移動可能となる。
いた微動ステージの一般的な構成について図５に示す。
同図で、超音波モータ１はセットビス３により摺動板５
に所定の押圧荷重を持って当接されている。超音波モー
タ１は、摺動板５との接触面において進行波を発生して
おり、上記押圧荷重を垂直抗力とする摩擦力により摺動
板５が矢印Ａの方向に移動する。そして、摺動板５は微
動ステージ７に接着固定されているため、微動ステージ
７も摺動板５と共に矢印Ａの方向に移動可能となる。
【０００３】このように、超音波モータ１は押圧荷重を
垂直抗力とする摩擦力により微動ステージ７を移動させ
るものであるが、この押圧荷重が適性値より大きすぎる
と微動ステージ７は移動しなくなる。逆に、押圧荷重が
適性値より小さくても、微動ステージ７を移動させよう
とする摩擦力が小さくなり、やはり微動ステージ７は移
動しなくなる。以上のことから、超音波モータ１の摺動
板５への押圧荷重が適性でないと、適性な駆動力が得ら
れず、微動ステージ７は移動しないことが分かる。
垂直抗力とする摩擦力により微動ステージ７を移動させ
るものであるが、この押圧荷重が適性値より大きすぎる
と微動ステージ７は移動しなくなる。逆に、押圧荷重が
適性値より小さくても、微動ステージ７を移動させよう
とする摩擦力が小さくなり、やはり微動ステージ７は移
動しなくなる。以上のことから、超音波モータ１の摺動
板５への押圧荷重が適性でないと、適性な駆動力が得ら
れず、微動ステージ７は移動しないことが分かる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記図５に示
した構成では、上述した如く超音波モータ１の摺動板５
への押圧荷重を、セットビス３の締付け位置により設定
している。そのため、例えば摺動板５の超音波モータ１
と当接される側の表面が微動ステージ７の移動軸Ｖ−Ｖ
に対して平行でない場合には、微動ステージ７の移動に
伴って摺動板５と超音波モータ１との間隔が変化し、セ
ットビス３が固定されている部材、すなわち超音波モー
タ１、セットビス３、ホルダ６、ベース１００、微動ス
テージ７から構成される直列ばねの剛性に応じて押圧力
が増減する。
した構成では、上述した如く超音波モータ１の摺動板５
への押圧荷重を、セットビス３の締付け位置により設定
している。そのため、例えば摺動板５の超音波モータ１
と当接される側の表面が微動ステージ７の移動軸Ｖ−Ｖ
に対して平行でない場合には、微動ステージ７の移動に
伴って摺動板５と超音波モータ１との間隔が変化し、セ
ットビス３が固定されている部材、すなわち超音波モー
タ１、セットビス３、ホルダ６、ベース１００、微動ス
テージ７から構成される直列ばねの剛性に応じて押圧力
が増減する。
【０００５】一般にこれらの部材の剛性は大きな値であ
るので、わずかな位置変化であっても押圧荷重は大きく
変化する。そのために、これらの部材の製作時の加工精
度や組立て時の精度が要求されることになり、上記平行
状態を確保するための調整作業に多大の労力を要すると
いう不具合があった。
るので、わずかな位置変化であっても押圧荷重は大きく
変化する。そのために、これらの部材の製作時の加工精
度や組立て時の精度が要求されることになり、上記平行
状態を確保するための調整作業に多大の労力を要すると
いう不具合があった。
【０００６】本発明は上記のような実情に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、煩雑な調整作業等
を必要とせず、また製作時の加工精度や組立て精度をさ
ほど要求せずとも、超音波モータに対する押圧荷重を所
定の状態に保持し、所望の駆動力を得ることが可能な超
音波モータを用いた微動ステージの位置微調整装置を提
供することにある。
たもので、その目的とするところは、煩雑な調整作業等
を必要とせず、また製作時の加工精度や組立て精度をさ
ほど要求せずとも、超音波モータに対する押圧荷重を所
定の状態に保持し、所望の駆動力を得ることが可能な超
音波モータを用いた微動ステージの位置微調整装置を提
供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
微動体と、この微動体を振動により移動させる圧電効果
を用いた駆動手段とを有する位置微調整装置において、
該微動体の移動方向に対して直交する方向に上記駆動手
段が上記微動体を押圧する力を発生させる押圧力発生手
段を備えたことを特徴とする。
微動体と、この微動体を振動により移動させる圧電効果
を用いた駆動手段とを有する位置微調整装置において、
該微動体の移動方向に対して直交する方向に上記駆動手
段が上記微動体を押圧する力を発生させる押圧力発生手
段を備えたことを特徴とする。
【０００８】このような構成とすれば、駆動手段として
の超音波モータに対して所定の押圧荷重を与えて所望の
駆動力を得ることが可能となる。請求項２記載の発明
は、上記請求項１記載の発明において、上記押圧力発生
手段は、弾性体を用いて構成したことを特徴とする。
の超音波モータに対して所定の押圧荷重を与えて所望の
駆動力を得ることが可能となる。請求項２記載の発明
は、上記請求項１記載の発明において、上記押圧力発生
手段は、弾性体を用いて構成したことを特徴とする。
【０００９】このような構成とすれば、上記請求項１記
載の発明の作用に加えて、駆動手段である超音波モータ
の微動体に対する押圧荷重を所定の状態で保持させるこ
とが可能となる。
載の発明の作用に加えて、駆動手段である超音波モータ
の微動体に対する押圧荷重を所定の状態で保持させるこ
とが可能となる。
【００１０】請求項３記載の発明は、上記請求項２記載
の発明において、上記押圧力発生手段は、上記弾性体に
よる押圧力を調整する調整手段を有することを特徴とす
る。このような構成とすれば、上記請求項２記載の発明
の作用に加えて、駆動手段である超音波モータの微動体
に対する押圧荷重を任意の値で保持させることが可能と
なる。
の発明において、上記押圧力発生手段は、上記弾性体に
よる押圧力を調整する調整手段を有することを特徴とす
る。このような構成とすれば、上記請求項２記載の発明
の作用に加えて、駆動手段である超音波モータの微動体
に対する押圧荷重を任意の値で保持させることが可能と
なる。
【００１１】請求項４記載の発明は、上記請求項１記載
の発明において、上記押圧力発生手段は、パンタグラフ
機構を用いて構成したことを特徴とする。このような構
成とすれば、上記請求項１記載の発明の作用に加えて、
煩雑な調整作業等を必要とせず、また製作時の加工精度
や組立て精度をさほど要求せずとも、駆動手段である超
音波モータに対する押圧荷重を所定の状態に保持させる
ことができる。
の発明において、上記押圧力発生手段は、パンタグラフ
機構を用いて構成したことを特徴とする。このような構
成とすれば、上記請求項１記載の発明の作用に加えて、
煩雑な調整作業等を必要とせず、また製作時の加工精度
や組立て精度をさほど要求せずとも、駆動手段である超
音波モータに対する押圧荷重を所定の状態に保持させる
ことができる。
【００１２】請求項５記載の発明は、上記請求項１乃至
４いずれかに記載の発明において、上記押圧力発生手段
と上記微動体とを点接触させる球面座をさらに備えたこ
とを特徴とする。
４いずれかに記載の発明において、上記押圧力発生手段
と上記微動体とを点接触させる球面座をさらに備えたこ
とを特徴とする。
【００１３】このような構成とすれば、上記請求項１乃
至４いずれかに記載の発明の作用に加えて、駆動手段で
ある超音波モータを確実に微動体にその移動方向に直交
する方向に押圧させることができる。
至４いずれかに記載の発明の作用に加えて、駆動手段で
ある超音波モータを確実に微動体にその移動方向に直交
する方向に押圧させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）以下本発明
の第１の実施の形態に係る、超音波モータを用いた１軸
の微動ステージについて図面を参照して説明する。図１
はその構成を示すもので、超音波モータ１はホルダ６内
部に配置された２個の圧縮ばね２により摺動板５に数ｋ
ｇｆのオーダーの所定の押圧荷重をもって押圧当接され
ている。この圧縮ばね２による押圧力はホルダ６に螺合
されたセットビス３のねじ込み量を調整することで任意
に設定される。
の第１の実施の形態に係る、超音波モータを用いた１軸
の微動ステージについて図面を参照して説明する。図１
はその構成を示すもので、超音波モータ１はホルダ６内
部に配置された２個の圧縮ばね２により摺動板５に数ｋ
ｇｆのオーダーの所定の押圧荷重をもって押圧当接され
ている。この圧縮ばね２による押圧力はホルダ６に螺合
されたセットビス３のねじ込み量を調整することで任意
に設定される。
【００１５】摺動板５は微動ステージ７に接着により固
定されている。超音波モータ１は、その上面に凹部が形
成され、ホルダ６の対応する部位に取付けられたピン４
により、同図の左右方向の動きとピン４回りの回転が拘
束されない程度に遊嵌される。
定されている。超音波モータ１は、その上面に凹部が形
成され、ホルダ６の対応する部位に取付けられたピン４
により、同図の左右方向の動きとピン４回りの回転が拘
束されない程度に遊嵌される。
【００１６】また、各圧縮ばね２の超音波モータ１に当
接される側の先端部それぞれには、半球状の球面座８が
取付けられ、圧縮ばね２の弾性による押圧力が点接触で
超音波モータ１に伝達されるようになっている。
接される側の先端部それぞれには、半球状の球面座８が
取付けられ、圧縮ばね２の弾性による押圧力が点接触で
超音波モータ１に伝達されるようになっている。
【００１７】上記のような構成にあって、超音波モータ
１はホルダ６内に配置された２個の圧縮ばね２により数
ｋｇｆオーダーの所定の押圧力をもって、微動ステージ
７に接着された摺動板５に押圧されている。
１はホルダ６内に配置された２個の圧縮ばね２により数
ｋｇｆオーダーの所定の押圧力をもって、微動ステージ
７に接着された摺動板５に押圧されている。
【００１８】ここで、圧縮ばね２で発生する押圧力は、
それぞれセットビス３のねじ込み量を調整することで設
定される。なお、微動ステージ７の移動軸Ｉ−Ｉと摺動
板５の摺動方向とが正確には平行ではなく、図中に矢印
Ａで示す方向への微動ステージ７の移動に際して摺動板
５が図の左右方向に数十μｍのオーダーで振れたとして
も、ｍｍのオーダーで与えられるセットビス３のねじ込
み量で設定された圧縮ばね２の押圧力の変動が充分小さ
くすむように、ｋｇｆ／ｍｍのオーダーで圧縮ばね２の
ばね定数を選定することは勿論である。
それぞれセットビス３のねじ込み量を調整することで設
定される。なお、微動ステージ７の移動軸Ｉ−Ｉと摺動
板５の摺動方向とが正確には平行ではなく、図中に矢印
Ａで示す方向への微動ステージ７の移動に際して摺動板
５が図の左右方向に数十μｍのオーダーで振れたとして
も、ｍｍのオーダーで与えられるセットビス３のねじ込
み量で設定された圧縮ばね２の押圧力の変動が充分小さ
くすむように、ｋｇｆ／ｍｍのオーダーで圧縮ばね２の
ばね定数を選定することは勿論である。
【００１９】また、上記超音波モータ１は、上述した如
く、同図の左右方向の動きとピン４回りの回転が拘束さ
れない程度にピン４により遊嵌されているため、上記し
た微動ステージ７の移動軸Ｉ−Ｉと摺動板５の長手方向
との平行が正確にとれていないことに起因するモーメン
ト荷重を超音波モータ１が受けることはなく、超音波モ
ータ１は摺動板５の対向する摩擦面に対してその移動方
向と直交する方向にのみ押圧力を作用させることとな
る。
く、同図の左右方向の動きとピン４回りの回転が拘束さ
れない程度にピン４により遊嵌されているため、上記し
た微動ステージ７の移動軸Ｉ−Ｉと摺動板５の長手方向
との平行が正確にとれていないことに起因するモーメン
ト荷重を超音波モータ１が受けることはなく、超音波モ
ータ１は摺動板５の対向する摩擦面に対してその移動方
向と直交する方向にのみ押圧力を作用させることとな
る。
【００２０】さらに、上記圧縮ばね２の先端部には半球
状の球面座８を取付け、ばね２による押圧力を点接触で
超音波モータ１に伝達するようにしたことで、摺動板５
の摩擦面に対してその移動方向と直交する方向からのみ
押圧力を重ねて作用させることとなる。
状の球面座８を取付け、ばね２による押圧力を点接触で
超音波モータ１に伝達するようにしたことで、摺動板５
の摩擦面に対してその移動方向と直交する方向からのみ
押圧力を重ねて作用させることとなる。
【００２１】以上の点から、微動ステージ７の移動方向
に対する摺動板５の取付け精度等に左右されず、摺動板
５に対して常にその移動方向と直交する方向から一定の
押圧力を作用させることが可能となり、煩雑な調整作業
を必要とせずに、常に超音波モータ１による所望の駆動
力を得ることができる。
に対する摺動板５の取付け精度等に左右されず、摺動板
５に対して常にその移動方向と直交する方向から一定の
押圧力を作用させることが可能となり、煩雑な調整作業
を必要とせずに、常に超音波モータ１による所望の駆動
力を得ることができる。
【００２２】（第２の実施の形態）以下本発明の第２の
実施の形態に係る、超音波モータを用いた１軸の微動ス
テージについて図面を参照して説明する。図２はその構
成を示すもので、基本的には上記図１で示したものと同
様であるので、同一部分には同一符号を付してその説明
は省略する。
実施の形態に係る、超音波モータを用いた１軸の微動ス
テージについて図面を参照して説明する。図２はその構
成を示すもので、基本的には上記図１で示したものと同
様であるので、同一部分には同一符号を付してその説明
は省略する。
【００２３】しかして、上記圧縮ばね２及びセットビス
３に代えて、ホルダ６には引張りばね９と４個のピボッ
ト１０を含んだパンタグラフ機構１１が配設され、この
パンタグラフ機構１１が先端側に取付けられた球面座８
を介して超音波モータ１を摺動板５に押圧させるように
なるものである。
３に代えて、ホルダ６には引張りばね９と４個のピボッ
ト１０を含んだパンタグラフ機構１１が配設され、この
パンタグラフ機構１１が先端側に取付けられた球面座８
を介して超音波モータ１を摺動板５に押圧させるように
なるものである。
【００２４】上記のような構成にあって、超音波モータ
１はホルダ６に配設されたパンタグラフ機構１１の引張
りばね９により数ｋｇｆオーダーの所定の押圧力をもっ
て、微動ステージ７に接着された摺動板５に押圧されて
いる。
１はホルダ６に配設されたパンタグラフ機構１１の引張
りばね９により数ｋｇｆオーダーの所定の押圧力をもっ
て、微動ステージ７に接着された摺動板５に押圧されて
いる。
【００２５】また、上記超音波モータ１は、図の左右方
向の動きとピン４回りの回転が拘束されない程度にピン
４により遊嵌されているため、上記した微動ステージ７
の移動軸Ｉ−Ｉと摺動板５の長手方向との平行が正確に
とれていないことに起因するモーメント荷重を超音波モ
ータ１が受けることはなく、超音波モータ１は摺動板５
の対向する摩擦面に対してその移動方向と直交する図中
に矢印Ｂで示す方向にのみ押圧力を作用させることとな
る。
向の動きとピン４回りの回転が拘束されない程度にピン
４により遊嵌されているため、上記した微動ステージ７
の移動軸Ｉ−Ｉと摺動板５の長手方向との平行が正確に
とれていないことに起因するモーメント荷重を超音波モ
ータ１が受けることはなく、超音波モータ１は摺動板５
の対向する摩擦面に対してその移動方向と直交する図中
に矢印Ｂで示す方向にのみ押圧力を作用させることとな
る。
【００２６】また、上記パンタグラフ機構１１を用い、
さらにその先端部に半球状の球面座８を取付け、パンタ
グラフ機構１１の引張りばね９による押圧力を点接触で
超音波モータ１に伝達するようにしたことで、摺動板５
の摩擦面に対してその移動方向と直交する方向からのみ
重ねて押圧力を作用させることとなる。
さらにその先端部に半球状の球面座８を取付け、パンタ
グラフ機構１１の引張りばね９による押圧力を点接触で
超音波モータ１に伝達するようにしたことで、摺動板５
の摩擦面に対してその移動方向と直交する方向からのみ
重ねて押圧力を作用させることとなる。
【００２７】以上の点から、微動ステージ７の移動方向
に対する摺動板５の取付け精度等に左右されず、摺動板
５に対して常にその移動方向と直交する方向から一定の
押圧力を作用させることが可能となり、煩雑な調整作業
を必要とせずに、常に超音波モータ１による所望の駆動
力を得ることができる。
に対する摺動板５の取付け精度等に左右されず、摺動板
５に対して常にその移動方向と直交する方向から一定の
押圧力を作用させることが可能となり、煩雑な調整作業
を必要とせずに、常に超音波モータ１による所望の駆動
力を得ることができる。
【００２８】（第３の実施の形態）以下本発明の第３の
実施の形態に係る、超音波モータを用いた１軸の微動ス
テージについて図面を参照して説明する。図３はその構
成を示すもので、基本的には上記図１，図２で示したも
のと同様であるので、同一部分には同一符号を付してそ
の説明は省略する。
実施の形態に係る、超音波モータを用いた１軸の微動ス
テージについて図面を参照して説明する。図３はその構
成を示すもので、基本的には上記図１，図２で示したも
のと同様であるので、同一部分には同一符号を付してそ
の説明は省略する。
【００２９】しかして、上記図２のパンタグラフ機構１
１に代えて、圧縮ばね２とレバー機構１２とが配設され
る。このレバー機構１２は、ベース１００に固定される
固定ピボット１２Ａと自由ピボット１２Ｂからなる両端
を結合し、固定ピボット１２Ａを回転中心として超音波
モータ１を取付けた自由ピボット１２Ｂ側が揺動可能に
取付けられ、該結合部の自由ピボット１２Ｂ寄りの位置
に、一端をホルダ６に固定された圧縮ばね２の他端側が
当接されるもので、この圧縮ばね２の弾性により自由ピ
ボット１２Ｂ側に固定された超音波モータ１が摺動板５
に押圧されるようになるものである。
１に代えて、圧縮ばね２とレバー機構１２とが配設され
る。このレバー機構１２は、ベース１００に固定される
固定ピボット１２Ａと自由ピボット１２Ｂからなる両端
を結合し、固定ピボット１２Ａを回転中心として超音波
モータ１を取付けた自由ピボット１２Ｂ側が揺動可能に
取付けられ、該結合部の自由ピボット１２Ｂ寄りの位置
に、一端をホルダ６に固定された圧縮ばね２の他端側が
当接されるもので、この圧縮ばね２の弾性により自由ピ
ボット１２Ｂ側に固定された超音波モータ１が摺動板５
に押圧されるようになるものである。
【００３０】上記のような構成にあって、超音波モータ
１はレバー機構１２を介してホルダ６に配置された圧縮
ばね２により数ｋｇｆオーダーの所定の押圧力をもっ
て、微動ステージ７に接着された摺動板５に押圧されて
いる。
１はレバー機構１２を介してホルダ６に配置された圧縮
ばね２により数ｋｇｆオーダーの所定の押圧力をもっ
て、微動ステージ７に接着された摺動板５に押圧されて
いる。
【００３１】すなわち、レバー機構１２はベース１００
に固定された固定ピボット１２Ａを中心として自由ピボ
ット１２Ｂ側が揺動可能に設けられており、圧縮ばね２
の押圧力により自由ピボット１２Ｂに取付けられた超音
波モータ１を摺動板５に一定の荷重で押圧させるように
なるものである。
に固定された固定ピボット１２Ａを中心として自由ピボ
ット１２Ｂ側が揺動可能に設けられており、圧縮ばね２
の押圧力により自由ピボット１２Ｂに取付けられた超音
波モータ１を摺動板５に一定の荷重で押圧させるように
なるものである。
【００３２】このように、微動ステージ７の移動軸Ｉ−
Ｉと摺動板５の長手方向との平行が正確にとれていない
ことに起因するモーメント荷重を超音波モータ１が受け
ることはなく、単純な押圧荷重だけで、超音波モータ１
が摺動板５の対向する摩擦面に対してその移動方向と直
交する方向にのみ押圧力を作用させることとなる。
Ｉと摺動板５の長手方向との平行が正確にとれていない
ことに起因するモーメント荷重を超音波モータ１が受け
ることはなく、単純な押圧荷重だけで、超音波モータ１
が摺動板５の対向する摩擦面に対してその移動方向と直
交する方向にのみ押圧力を作用させることとなる。
【００３３】以上の点から、微動ステージ７の移動方向
に対する摺動板５の取付け精度等に左右されず、摺動板
５に対してその移動方向と常に直交する方向から一定の
押圧力を作用させることが可能となり、煩雑な調整作業
を必要とせずに、常に超音波モータ１による所望の駆動
力を得ることができる。
に対する摺動板５の取付け精度等に左右されず、摺動板
５に対してその移動方向と常に直交する方向から一定の
押圧力を作用させることが可能となり、煩雑な調整作業
を必要とせずに、常に超音波モータ１による所望の駆動
力を得ることができる。
【００３４】（第４の実施の形態）以下本発明の第４の
実施の形態に係る、超音波モータを用いた１軸の微動ス
テージについて図面を参照して説明する。図４はその構
成を示すもので、基本的には上記図１乃至図３で示した
ものと同様であるので、同一部分には同一符号を付して
その説明は省略する。
実施の形態に係る、超音波モータを用いた１軸の微動ス
テージについて図面を参照して説明する。図４はその構
成を示すもので、基本的には上記図１乃至図３で示した
ものと同様であるので、同一部分には同一符号を付して
その説明は省略する。
【００３５】しかして、上記図３のレバー機構１２、圧
縮ばね２、及びホルダ６に代えて、弾性ヒンジばね機構
１３が配設される。この弾性ヒンジばね機構１３は、そ
れぞれ内部の貫通孔でビス１４ａ，１４ｂによってベー
ス１００に固定した一対の脚部１３ａ，１３ｂと、これ
ら脚部１３ａ，１３ｂの頂部を連結する連結部１３ｃと
が一体にして構成され、連結部１３ｃの中央部が超音波
モータ１に押圧当接されている。
縮ばね２、及びホルダ６に代えて、弾性ヒンジばね機構
１３が配設される。この弾性ヒンジばね機構１３は、そ
れぞれ内部の貫通孔でビス１４ａ，１４ｂによってベー
ス１００に固定した一対の脚部１３ａ，１３ｂと、これ
ら脚部１３ａ，１３ｂの頂部を連結する連結部１３ｃと
が一体にして構成され、連結部１３ｃの中央部が超音波
モータ１に押圧当接されている。
【００３６】該連結部１３ｃには、脚部１３ａ，１３ｂ
に近い両端部に同図（ａ）に示すような切欠きが形成さ
れることで、図中の矢印Ｂ方向、すなわち摺動板５及び
微動ステージ７の移動方向に直交する方向以外の剛性が
調整されている。
に近い両端部に同図（ａ）に示すような切欠きが形成さ
れることで、図中の矢印Ｂ方向、すなわち摺動板５及び
微動ステージ７の移動方向に直交する方向以外の剛性が
調整されている。
【００３７】上記のような構成にあって、超音波モータ
１は弾性ヒンジばね機構１３により数ｋｇｆオーダーの
所定の押圧力をもって、微動ステージ７に接着された摺
動板５に押圧されている。
１は弾性ヒンジばね機構１３により数ｋｇｆオーダーの
所定の押圧力をもって、微動ステージ７に接着された摺
動板５に押圧されている。
【００３８】すなわち、弾性ヒンジばね機構１３は各脚
部１３ａ，１３ｂがビス１４ａ，１４ｂによりベース１
００に対して取付け固定され、且つ連結部１３ｃの両端
に切欠きを形成したことにより上記矢印Ｂの方向以外の
剛性が落とされており、モーメント荷重などが生じない
単純な押圧力のみにより超音波モータ１を摺動板５に対
して一定の荷重で押圧させるようになるものである。
部１３ａ，１３ｂがビス１４ａ，１４ｂによりベース１
００に対して取付け固定され、且つ連結部１３ｃの両端
に切欠きを形成したことにより上記矢印Ｂの方向以外の
剛性が落とされており、モーメント荷重などが生じない
単純な押圧力のみにより超音波モータ１を摺動板５に対
して一定の荷重で押圧させるようになるものである。
【００３９】このように、微動ステージ７の移動軸Ｉ−
Ｉと摺動板５の長手方向との平行が正確にとれていない
ことに起因するモーメント荷重を超音波モータ１が受け
ることはなく、単純な押圧荷重だけで、超音波モータ１
が摺動板５の対向する摩擦面に対してその移動方向と直
交する方向にのみ押圧力を作用させることとなる。
Ｉと摺動板５の長手方向との平行が正確にとれていない
ことに起因するモーメント荷重を超音波モータ１が受け
ることはなく、単純な押圧荷重だけで、超音波モータ１
が摺動板５の対向する摩擦面に対してその移動方向と直
交する方向にのみ押圧力を作用させることとなる。
【００４０】以上の点から、微動ステージ７の移動方向
に対する摺動板５の取付け精度等に左右されず、摺動板
５に対してその移動方向と常に直交する方向から一定の
押圧力を作用させることが可能となり、煩雑な調整作業
を必要とせずに、常に超音波モータ１による所望の駆動
力を得ることができる。
に対する摺動板５の取付け精度等に左右されず、摺動板
５に対してその移動方向と常に直交する方向から一定の
押圧力を作用させることが可能となり、煩雑な調整作業
を必要とせずに、常に超音波モータ１による所望の駆動
力を得ることができる。
【００４１】なお、本発明は上記第１乃至第４の実施の
形態で説明したものに限定することなく、その要旨を逸
脱しない範囲内で種々変形して実施することが可能であ
るものとする。
形態で説明したものに限定することなく、その要旨を逸
脱しない範囲内で種々変形して実施することが可能であ
るものとする。
【００４２】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、駆動手段
としての超音波モータに対して所定の押圧荷重を与えて
所望の駆動力を得ることが可能となる。請求項２記載の
発明によれば、上記請求項１記載の発明の効果に加え
て、駆動手段である超音波モータの微動体に対する押圧
荷重を所定の状態で保持させることが可能となる。
としての超音波モータに対して所定の押圧荷重を与えて
所望の駆動力を得ることが可能となる。請求項２記載の
発明によれば、上記請求項１記載の発明の効果に加え
て、駆動手段である超音波モータの微動体に対する押圧
荷重を所定の状態で保持させることが可能となる。
【００４３】請求項３記載の発明によれば、上記請求項
２記載の発明の効果に加えて、駆動手段である超音波モ
ータの微動体に対する押圧荷重を任意の値で保持させる
ことが可能となる。
２記載の発明の効果に加えて、駆動手段である超音波モ
ータの微動体に対する押圧荷重を任意の値で保持させる
ことが可能となる。
【００４４】請求項４記載の発明によれば、上記請求項
１記載の発明の効果に加えて、煩雑な調整作業等を必要
とせず、また製作時の加工精度や組立て精度をさほど要
求せずとも、駆動手段である超音波モータに対する押圧
荷重を所定の状態に保持させることができる。
１記載の発明の効果に加えて、煩雑な調整作業等を必要
とせず、また製作時の加工精度や組立て精度をさほど要
求せずとも、駆動手段である超音波モータに対する押圧
荷重を所定の状態に保持させることができる。
【００４５】請求項５記載の発明によれば、上記請求項
１乃至４いずれかに記載の発明の効果に加えて、駆動手
段である超音波モータを確実に微動体にその移動方向に
直交する方向に押圧させることができる。
１乃至４いずれかに記載の発明の効果に加えて、駆動手
段である超音波モータを確実に微動体にその移動方向に
直交する方向に押圧させることができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態の構成を示す図。
【図２】本発明の第２の実施の形態の構成を示す図。
【図３】本発明の第３の実施の形態の構成を示す図。
【図４】本発明の第４の実施の形態の構成を示す図。
【図５】微動ステージの一般的な構成について示す図。
１…超音波モータ ２…圧縮ばね ３…セットビス ４…ピン ５…摺動板 ６…ホルダ ７…微動ステージ ８…球面座 ９…引張りばね １０…ピボット １１…パンタグラフ機構 １２…レバー機構 １２Ａ…固定ピボット １２Ｂ…自由ピボット １３…弾性ヒンジばね機構 １３ａ，１３ｂ…脚部 １３ｃ…連結部 １００…ベース
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高沖 宗夫 兵庫県神戸市兵庫区和田崎町一丁目１番１ 号 三菱重工業株式会社神戸造船所内
Claims (5)
- 【請求項１】 微動体と、この微動体を振動により移動
させる圧電効果を用いた駆動手段とを有する位置微調整
装置において、 上記微動体の移動方向に対して直交する方向に上記駆動
手段が上記微動体を押圧する力を発生させる押圧力発生
手段を備えたことを特徴とする位置微調整装置。 - 【請求項２】 上記押圧力発生手段は、弾性体を用いて
構成したことを特徴とする請求項１記載の位置微調整装
置。 - 【請求項３】 上記押圧力発生手段は、上記弾性体によ
る押圧力を調整する調整手段を有することを特徴とする
請求項２記載の位置微調整装置。 - 【請求項４】 上記押圧力発生手段は、パンタグラフ機
構を用いて構成したことを特徴とする請求項１記載の位
置微調整装置。 - 【請求項５】 上記押圧力発生手段と上記微動体とを点
接触させる球面座をさらに備えたことを特徴とする請求
項１乃至４いずれかに記載の位置微調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10119144A JPH11312017A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 位置微調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10119144A JPH11312017A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 位置微調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11312017A true JPH11312017A (ja) | 1999-11-09 |
Family
ID=14754017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10119144A Pending JPH11312017A (ja) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | 位置微調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11312017A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001337186A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-12-07 | Tokyo Technology:Kk | 送り装置 |
| JP2008178250A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Olympus Corp | 超音波振動子の押圧機構および超音波モータ |
| CN108199608A (zh) * | 2018-02-06 | 2018-06-22 | 马根昌 | 手机振动电机机构 |
-
1998
- 1998-04-28 JP JP10119144A patent/JPH11312017A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001337186A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-12-07 | Tokyo Technology:Kk | 送り装置 |
| JP2008178250A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Olympus Corp | 超音波振動子の押圧機構および超音波モータ |
| US7602104B2 (en) | 2007-01-19 | 2009-10-13 | Olympus Corporation | Ultrasonic motor and pressing mechanism of ultrasonic vibrator |
| CN108199608A (zh) * | 2018-02-06 | 2018-06-22 | 马根昌 | 手机振动电机机构 |
| CN108199608B (zh) * | 2018-02-06 | 2019-10-08 | 新沂市掌尚电子信息技术有限公司 | 手机振动电机机构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040203 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040615 |