JPH11314061A

JPH11314061A - 凹凸基材への塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイおよびプラズマディスプレイ用部材の製造装置および方法

Info

Publication number: JPH11314061A
Application number: JP11044153A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Kitamura; 義之北村; Yoshinori Tani; 義則谷; Hideki Ikeuchi; 秀樹池内
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1998-02-25
Filing date: 1999-02-23
Publication date: 1999-11-16

Abstract

(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイの背面板のように一定
の凹凸状パターンが形成された基材の凹部に塗液を塗布
するに際し、各開口部からの吐出量の均一化、開口部の
洗浄の容易化、ノズル内での塗液の滞留防止、塗液使用
量の低減等をはかる。【解決手段】表面に一定ピッチで凹凸部が形成されて
いる基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面し
て複数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置
に塗液を供給する供給手段と、テーブルと塗液吐出装置
を３次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基
材への塗液の塗布装置において、塗液吐出装置は内部に
塗液を一定量蓄積する液だめ部を有するとともに、開口
部は直径ｄが５０〜５００μｍの範囲にある孔が一定ピ
ッチにて厚さｔが０．５〜１０ｄの範囲にある板状体を
貫通することにより形成されている、凹凸基材への塗液
の塗布装置、およびその塗布方法、並びにそれを用いた
プラズマディスプレイおよびプラズマディスプレイ用部
材の製造装置および方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に凹凸状の
特定のパターンが形成されたもの、特に一定形状の隔壁
を等ピッチで配置したプラズマディスプレイパネルや、
ストライプ形ブラックマトリックス式のカラー受像管の
パネル内面等における一定パターンの塗布に適用でき
る、凹凸基板への塗液の塗布装置および塗布方法、並び
にこれらの装置および方法を使用したプラズマディスプ
レイおよびプラズマディスプレイ背面板や前面板等のプ
ラズマディスプレイ用部材の製造装置および製造方法の
改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ディスプレイはその方式において
次第に多様化してきている。現在注目されているものの
一つが、従来のブラウン管よりも大型で薄型軽量化が可
能なプラズマディスプレイである。これは、一定ピッチ
で一方向に延びる隔壁によりストライプ状の凹凸部をガ
ラス基板上に形成し、該凹凸部の凹部に赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）の蛍光体を充填し、任意の部位を紫外
線により発光させ、所定のカラーパターンを達成するも
のである。

【０００３】蛍光体がストライプ状に構成されていると
いう構造は、ストライプ形ブラックマトリックス式のカ
ラー受像管のパネルも有している。

【０００４】このような構造のものを高い生産性と高品
質で製造するには、プラズマディスプレイを構成する部
材である背面板で蛍光体を一定のパターン状に、塗り分
ける技術が重要となる。

【０００５】通常は、隔壁パターンを形成後、特開平５
−１４４３７５号公報に示されるように一色の蛍光体を
全面スクリーン印刷し、必要な部分のみフォトリソグラ
フィー法で残すようにして、高精度のパターンが得られ
るようにしている。しかし、この方法では、Ｒ、Ｇ、Ｂ
の各蛍光体パターンを形成するために、各色の塗布、露
光、現像、乾燥等の工程を３回繰り返す必要があり、コ
ストがかかる上、生産性に著しく劣るという欠点を持
つ。

【０００６】単にガラス基板上にストライプ状の着色パ
ターンを形成する他の方法としては、ノズルを用いる特
開平５−１１１０５号公報や特開平５−１４２４０７公
報等に記載されている方法があるが、表面が平坦な基板
を対象に先端が平坦なノズルで３色同時に塗布するもの
であるため、表面に凹凸が形成されているものに対して
はこの技術をそのまま用いることはできない。

【０００７】また、特開昭５２−１３４３６８号公報、
特開昭５４−１３２５０号公報、特開昭５４−１３２５
１号公報等には、ストライプ形ブラックマトリックス式
のカラー受像管のパネル内面の、凸状となっているブラ
ックマトリックス間の凹部に所定の蛍光体を塗布する方
法として、蛇行防止等の制御装置を有する改良されたノ
ズル装置を用いることが示されている。しかし、一本の
ノズルを用いているために、表面の複数の凹凸部に対し
て同時に塗布する方法には適用できず、一本のノズルに
よる塗布のために時間がかかるという問題がある。

【０００８】また、ノズルを用いて平坦な基板上にスト
ライプ状に隔壁を形成する技術が特開平９−９２１３４
号公報に開示されているが、基板上に既に凹凸部が形成
されており、その凹凸部の凹部に沿うように塗液を精度
良く塗布していく工程には採用し難い。

【０００９】また、特開平９−１３２８１２号公報に
は、溶融紡糸用に、２つの溝を有するブロックと板とを
組み合わせてノズルを構成し、複数の開口部を設けたも
のが開示されているが、このような溶融紡糸用のノズル
には寸法精度はそれほど要求されず、プラズマディスプ
レイ製造のような高精度が要求される塗液の塗布装置に
は適用できない。

【００１０】さらに、米国特許第４，７７４，１０９号
公報には、基板上に、ホットメルト接着剤等の粘性液を
塗布するノズルとして、櫛状のシムをマニホールドを有
するブロックで挟み込んで、複数の開口部を形成したノ
ズルが記載されているが、これもまた、平坦な基板上に
ストライプ状に塗液を塗布するものであり、既に凹凸部
が形成された基板の凹部に沿うように塗液を精度良く塗
布していく工程には採用し難い。

【００１１】さらにまた、上記のような従来技術とは別
に、プラズマディスプレイ製造のような高精度が要求さ
れる塗液の塗布においては、一般的に次のような問題、
要望がある。

【００１２】すなわち、（１）凹凸基板のストライプ状の凹部に、複数の吐出孔
のあるノズルから塗液を凹部のみに塗布するときに、吐
出孔のピッチ精度、孔精度の高いものが要求され、それ
によって、凹部に塗布される量を均一にすることが望ま
れる。

【００１３】（２）プラズマディスプレイ用基板等に塗
液を塗布するノズルの開口部は小さいので、塗液のカス
等がたまりやすいにもかかわらず、清掃が困難であると
いう問題がある。したがって、繰り返して長期にわたっ
て生産するには、開口部を清掃できることが必須の条件
となり、かつ、清掃も容易に効率よく行うことができる
ようにすることが望まれる。

【００１４】（３）複数の開口部を持つノズルは、均一
吐出のためにはどうしても大きなマニホールドを形成す
ることになるので、塗液の滞留をおこしやすくなり、そ
れによって塗液の品質の低下、ひいては被塗布物の品質
低下を招くおそれがある。つまり、滞留は塗液が同じ場
所に居座り続けることであり、時間変化が起こりやすい
塗液だと、粘度等の特性が変わったりして、塗布の障害
となる。また変質を起こして含んでいる粒子が沈降した
りして品質も悪化するおそれがある。したがって、この
ような問題を起こさないためには、ノズルの内部で滞留
をおこさないようにすることが望まれる。

【００１５】（４）使用する塗液が高価なものであると
き等には、使用量を減らす必要があるが、通常のように
供給タンクからノズルまでの経路中のすべてを塗液で満
たしていたのではどうしてもむだな塗液の使用量が多く
なってしまう。したがって、必要最小限度の塗液で塗布
できるようにすることも望まれる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題
は、プラズマディスプレイの隔壁のように一定の凹凸状
パターンが形成された基材の複数の凹部に、複数の吐出
孔を有するノズルから所定の塗液を塗布するに際し、各
凹部への塗布量を均一化し、各部の特性がより均一な凹
凸基板を製造することにある。

【００１７】また、本発明の別の課題は、塗液塗布装置
の開口部を形成する部材を分解可能として、開口部を容
易に直接洗浄できる構造にし、長期にわたって安定生産
できるようにすることにある。

【００１８】また、本発明の別の課題は、塗液塗布装置
のノズルのマニホールド部から、開口部における吐出口
に至るまで、塗液の滞留が生じないようにし、塗液の特
性変化や変質が生じないようにして、塗液が塗布された
基板の品質を安定して良好に保つことにある。

【００１９】さらに、本発明の別の課題は、塗液を必要
最小限の量だけノズルに供給しながら所望の塗布を確実
に行えるようにし、無駄な塗液の使用量を低減して、製
造コストの低減に寄与することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の凹凸基材への塗液の塗布装置は、表面に一
定ピッチで凹凸部が形成されている基材を固定するテー
ブルと、基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有する
塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗液を供給する供給手
段と、テーブルと塗液吐出装置を３次元的に相対移動さ
せる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置に
おいて、塗液吐出装置は内部に塗液を一定量蓄積する液
だめ部を有するとともに、開口部は直径ｄが５０〜５０
０μｍの範囲にある孔が一定ピッチにて厚さｔが０．５
〜１０ｄの範囲にある板状体を貫通することにより形成
されていることを特徴とするものからなる（第１の装
置）。

【００２１】この第１の装置においては、開口部が形成
されている板状体の塗液吐出側の面が断面でみて直線状
の面であり、かつ、板状体の厚みが均一であることが好
ましく、板状体の厚みの均一度としては、±１０％以下
であることが好ましい。

【００２２】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布装置は、表面に一定ピッチで凹凸部が形成されている
基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面して複
数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗
液を供給する供給手段と、テーブルと塗液吐出装置を３
次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材へ
の塗液の塗布装置において、塗液吐出装置は、開口部の
配列方向に対し垂直な方向に２つのブロックを重ね合わ
せたものからなり、内部に塗液を一定量蓄積する液だめ
部を有するとともに、２つのブロックの重ね合わせ面に
液だめ部と外部とを連通する複数の貫通道をブロックの
重ね方向とは垂直な方向に一定ピッチで設けることによ
り開口部を形成し、かつ、前記貫通道の塗液吐出方向の
長さが０．１〜２０ｍｍの範囲にあることを特徴とする
ものからなる（第２の装置）。

【００２３】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布装置は、表面に一定ピッチで凹凸部が形成されている
基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面して複
数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗
液を供給する供給手段と、テーブルと塗液吐出装置を３
次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材へ
の塗液の塗布装置において、塗液吐出装置は、２つのブ
ロックの間に板状シムを重ね合わせたものからなり、内
部に塗液を一定量蓄積する液だめ部を有するとともに、
板状シムに液だめ部と外部とを連通する複数のスリット
をブロックの長手方向に一定ピッチで設けることにより
開口部を形成し、かつ、板状シムのスリット部の前記２
つのブロックで挟み込まれる部分の塗液吐出方向の長さ
が０．１〜２０ｍｍの範囲にあることを特徴とするもの
からなる（第３の装置）。

【００２４】この第３の装置においては、板状シムは、
前記２つのブロックで挟みこまれる厚さが同じで塗液吐
出方向に長さが異なる２種類の板をブロックの長手方向
に一定ピッチで重ね合わせて複数のスリットを形成する
ものや、さらにここでの２種類の板が一枚の基準板上で
重ね合わせられているもの、または一定厚さの板状体に
液だめ部と外部とを連通する複数のスリットに相当する
一定深さの溝をブロックの長手方向に一定ピッチで設け
たもの、であることが好ましい。

【００２５】さらに、本発明に係る凹凸基材への塗液の
塗布装置は、表面に一定ピッチで凹凸部が形成されてい
る基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面して
複数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置に
塗液を供給する供給手段と、テーブルと塗液吐出装置を
３次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材
への塗液の塗布装置において、塗液吐出装置は内部に塗
液を一定量蓄積する液だめ部を有するとともに、液だめ
部が外部に連通する開口部に向けて先細りの形状を有す
ることを特徴とするものからなる（第４の装置）。

【００２６】さらにまた、本発明に係る凹凸基材への塗
液の塗布装置は、表面に一定ピッチで凹凸部が形成され
ている基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面
して複数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装
置に塗液を供給する供給手段と、テーブルと塗液吐出装
置を３次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸
基材への塗液の塗布装置において、塗液吐出装置はさら
に塗液が供給される塗液供給口と供給された塗液を加圧
する圧力供給口を有し、圧力供給口は塗液供給口よりも
重力方向において上部に配されていることを特徴とする
ものからなる（第５の装置）。

【００２７】本発明に係る凹凸基材への塗液の塗布方法
は、表面に一定ピッチで凹凸部が形成されている基材
と、基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有する塗液
吐出装置とを相対的に移動させ、かつ、前記塗液吐出装
置に塗液を供給して開口部より塗液を吐出し、基材の凹
部に所定厚さ塗布する塗布方法であって、塗液吐出装置
に、内部に塗液を一定量蓄積する液だめ部を有するとと
もに、開口部が、直径ｄが５０〜５００μｍの範囲にあ
る孔が一定ピッチにて厚さｔが０．５〜１０ｄの範囲に
ある板状体を貫通することにより形成されているものを
用いて塗布することを特徴とする方法からなる（第１の
方法）。

【００２８】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布方法は、表面に一定ピッチで凹凸部が形成されている
基材と、基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有する
塗液吐出装置とを相対的に移動させ、かつ、前記塗液吐
出装置に塗液を供給して開口部より塗液を吐出し、基材
の凹部に所定厚さ塗布する塗布方法であって、塗液吐出
装置に、開口部の配列方向に対し垂直な方向に２つのブ
ロックを重ね合わせたものからなり、内部に塗液を一定
量蓄積する液だめ部を有するとともに、２つのブロック
の重ね合わせ面に液だめ部と外部とを連通する複数の貫
通道をブロックの重ね方向とは垂直な方向に一定ピッチ
で設けることにより開口部を形成し、かつ、前記貫通道
の塗液吐出方向の長さが０．１〜２０ｍｍの範囲にある
ものを用いて塗布することを特徴とする方法からなる
（第２の方法）。

【００２９】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布方法は、表面に一定ピッチで凹凸部が形成されている
基材と、基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有する
塗液吐出装置とを相対的に移動させ、かつ、前記塗液吐
出装置に塗液を供給して開口部より塗液を吐出し、基材
の凹部に所定厚さ塗布する塗布方法であって、塗液吐出
装置に、２つのブロックの間に板状シムを重ね合わせた
ものからなり、内部に塗液を一定量蓄積する液だめ部を
有するとともに、板状シムに液だめ部と外部とを連通す
る複数のスリットをブロックの長手方向に一定ピッチで
設けることにより開口部を形成し、かつ、板状シムのス
リット部の前記２つのブロックで挟み込まれる部分の塗
液吐出方向の長さが０．１〜２０ｍｍの範囲にあるもの
を用いて塗布することを特徴とする方法からなる（第３
の方法）。

【００３０】この第３の方法においては、板状シムは、
前記２つのブロックで挟みこまれる厚さが同じで塗液吐
出方向に長さが異なる２種類の板をブロックの長手方向
に一定ピッチで重ね合わせて複数のスリットを形成した
ものや、さらにここでの２種類の板が一枚の基準板上で
重ね合わせられたもの、または一定厚さの板状体に液だ
め部と外部とを連通する複数のスリットに相当する一定
深さの溝をブロックの長手方向に一定ピッチで設けたも
の、を用いることが好ましい。

【００３１】さらに、本発明に係る凹凸基材への塗液の
塗布方法は、表面に一定ピッチで凹凸部が形成されてい
る基材と、基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有す
る塗液吐出装置とを相対的に移動させ、かつ、前記塗液
吐出装置に塗液を供給して開口部より塗液を吐出し、基
材の凹部に所定厚さ塗布する塗布方法であって、塗液吐
出装置に、内部に塗液を一定量蓄積する液だめ部を有す
るとともに、液だめ部が外部に連通する開口部に向けて
先細りの形状を有するものを用いて塗布することを特徴
とする方法からなる（第４の方法）。

【００３２】さらにまた、本発明に係る凹凸基材への塗
液の塗布方法は、表面に一定ピッチで凹凸部が形成され
ている基材と、基材の凹凸部と対面して複数の開口部を
有する塗液吐出装置とを相対的に移動させ、かつ、前記
塗液吐出装置に塗液を供給すると共に開口部より塗液を
吐出し、基材の凹部に所定厚さ塗布する塗布方法であっ
て、前記塗液吐出装置内には、塗液と加圧用気体を混在
させ、加圧用気体の圧力により開口部から塗液を吐出し
て塗布することを特徴とする方法からなる（第５の方
法）。

【００３３】そして、本発明に係るプラズマディスプレ
イおよびプラズマディスプレイ用部材の製造装置は、塗
液が赤色、緑色、青色のいずれかの色に発光する蛍光体
粉末を含むペーストであって、前述のいずれかの塗液の
塗布装置を用いたことを特徴とするものからなる。

【００３４】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
およびプラズマディスプレイ用部材の製造方法は、塗液
が赤色、緑色、青色のいずれかの色に発光する蛍光体粉
末を含むペーストであって、上述のいずれかの塗液の塗
布方法を用いることを特徴とする方法からなる。

【００３５】上記第１の装置および方法を用いることに
より、塗液吐出装置（ノズル）は、その先端面が平坦な
板状体から形成され、孔が加工しやすい形状にされて、
孔が高精度で形成され、吐出量のばらつきが小さくされ
る。したがって、凹凸基材の凹部への塗液の塗布量が均
一化される。

【００３６】また、上記第２、第３の装置および方法を
用いることにより、開口部を形成する部材が分解可能と
され、開口部（溝その他）を直接洗浄できる構造にされ
る。したがって、開口部の清掃を容易に効率よく行うこ
とができるようになり、繰り返して長期にわたって生産
する場合にも、開口部の清掃により安定した生産を続行
できる。

【００３７】また、上記第４の装置および方法を用いる
ことにより、ノズル内のマニホールドから開口部に向か
って流路が収束する形状とされ、速度ゼロのところがで
きないようにすることによって滞留は生じなくなる。し
たがって、吐出される塗液の安定した特性が確保される
とともに劣化が防止され、所定の塗布品質が安定して得
られる。

【００３８】さらに、上記第５の装置および方法を用い
ることにより、塗液は必要最小限の量だけノズルに供給
し、それを加圧して吐出するようにしたので、無駄に消
費される塗液の量が低減され、製造コストの低減に寄与
できる。

【００３９】このような装置および方法を用いてプラズ
マディスプレイおよびプラズマディスプレイ用部材を製
造することにより、凹凸基材の凹部への塗液の均一な吐
出量の塗布を安定して行うことができ、優れた品質のプ
ラズマディスプレイおよびプラズマディスプレイ用部材
を長期にわたって安定して、かつ、安価に製造すること
ができる。

【００４０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施態
様に係る塗布装置の全体斜視図、図２は図１のテーブル
６とノズル２０回りの模式図、図３は図１のノズル２０
を下側からみた拡大平面図である。図４および図５は、
本発明の一実施態様に係る塗液塗布装置（ノズル）部分
の構造を示している。

【００４１】まず、塗液の塗布装置の全体構成について
説明する。図１は、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネル用部材の製造に適用される塗布装置の一例を示し
ている。この塗布装置は基台２を備えている。基台２上
には、一対のガイド溝レール８が設けられており、この
ガイド溝レール８上にはテーブル６が配置されている。
このテーブル６の上面には、表面に凹凸が一定ピッチで
一方向にストライプ状に形成された基材４が、真空吸引
によってテーブル面に固定可能となるように、サクショ
ン面を構成する複数の吸着孔７が設けられている。ま
た、基材４は図示しないリフトピンによってテーブル６
上を昇降する。さらにテーブル６はスライド脚９を介し
てガイド溝レール８上をＸ軸方向に往復動自在となって
いる。

【００４２】一対のガイド溝レール８間には、図２に示
す送りねじ機構を構成するフィードスクリュー１０が、
テーブル６の下面に固定されたナット状のコネクタ１１
を貫通して延びている。フィードスクリュー１０の両端
部は軸受１２に回転自在に支持され、さらに片方の一端
にはＡＣサーボモータ１６が連結されている。

【００４３】図１に示すように、テーブル６の上方に
は、塗液吐出装置であるノズル２０がホルダー２２を介
して昇降機構３０、幅方向移動機構３６に連結してい
る。昇降機構３０は昇降可能な昇降ブラケット２８を備
えており、昇降機構３０のケーシング内部で一対のガイ
ドロッドに昇降自在に取り付けられている。また、この
ケーシング内にはガイドロッド間に位置してボールねじ
からなるフィードスクリュー（図示しない）もまた回転
自在に配置されており、ナット型のコネクタを介して昇
降ブラケット２８と連結されている。さらにフィードス
クリューの上端には図示しないＡＣサーボモータが接続
されており、このＡＣサーボモータの回転によって昇降
ブラケット２８を任意に昇降動作させることができるよ
うになっている。

【００４４】さらに、昇降機構３０はＹ軸移動ブラケッ
ト３２（アクチュエータ）を介して幅方向移動機構３６
に接続されている。幅方向移動機構３６はＹ軸移動ブラ
ケット３２をノズル２０の幅方向、すなわちＹ軸方向に
往復自在に移動させるものである。動作のために必要な
ガイドロッド、フィードスクリュー、ナット型コネクタ
ー、ＡＣサーボモータ等は、ケーシング内に昇降機構３
０と同じように配置されている。幅方向移動機構３６は
支柱３４により基台２上に固定されている。

【００４５】これらの構成によって、ノズル２０はＺ軸
とＹ軸方向に自在に移動させることができる。

【００４６】ノズル２０は、テーブル６の往復動方向と
直交する方向、つまりＹ軸方向に水平に延びているが、
これを直接保持するコの字形のホルダー２２は昇降ブラ
ケット２８内にて回転自在に支持されており、垂直面内
で自在に図中の矢印方向に回転することができる。

【００４７】このホルダ２２の上方には水平バー２４も
昇降ブラケット２８に固定されている。この水平バー２
４の両端部には、電磁作動型のリニアアクチュエータ２
６が取り付けられている。このリニアアクチュエータ２
６は水平バー２４の下面から突出する伸縮ロッドを有し
ており、これら伸縮ロッドがホルダ２２の両端部に接触
することによってホルダ２２の回転角度を規制すること
ができ、結果としてノズル２０の傾き度を任意に設定す
ることができる。

【００４８】さらに図１を参照すると、基台２の上面に
は逆Ｌ字形のセンサ支柱３８が固定されており、その先
端にはテーブル６上の基材４の凸部頂上の位置（高さ）
を測定する高さセンサ４０が取り付けられている。ま
た、高さセンサ４０の隣には、基材４の隔壁間の凹部の
位置を検知するカメラ７２が支柱７０に取り付けられて
いる。図２に示すように、カメラ７２は画像処理装置７
４に電気的に接続されており、隔壁間の凹部位置の変化
を定量的に求めることができる。

【００４９】さらに、テーブル６の一端には、センサー
ブラケット６４を介して、ノズル２０の開口部のある下
端面（開口部面）のテーブル６に対する垂直方向の位置
を検出するセンサー６６が取り付けられている。

【００５０】図２に示すように、ノズル２０はそのマニ
ホールド４１内に塗液４２が充填されており、開口部で
ある吐出孔４４が開口部先端面４５上で長手方向に一直
線状にならんでいる（図３参照）。そしてこの吐出孔４
４より塗液４２が吐出される。ノズル４０には供給ホー
ス４６が接続されており、さらに吐出用電磁切換え弁４
８、供給ユニット５０、吸引ホース５２、吸引用電磁切
換え弁５４、塗液タンク５６へと連なっている。塗液タ
ンク５６には塗液４２が蓄えられている。塗液４２は、
赤色、緑色、青色のいずれかの色に発光する蛍光体粉末
を含むペーストからなる。

【００５１】供給ユニット５０の具体例としては、ピス
トン、ダイヤフラム型等の定容量ポンプ、チュービング
ポンプ、ギアポンプ、モーノポンプ、さらには液体を気
体の圧力で押し出す圧送コントローラ等がある。供給装
置コントローラ５８からの制御信号をうけて、供給ユニ
ット５０や、各々の電磁切換え弁の動作を行なわせ、塗
液タンク５６から塗液４２を吸引して、ノズル２０に塗
液４２を供給することができる。塗液タンク５６から定
容量ポンプへの塗液４２の吸引動作を安定化させるため
に、塗液タンク５６に空気、窒素等の気体で圧力を付加
してもよい。圧力の大きさは０．０１〜１ＭＰａ、特に
０．０２〜０．５ＭＰａが好ましい。

【００５２】供給装置コントローラはさらに、全体コン
トローラ６０に電気的に接続されている。この全体コン
トローラ６０には、モータコントローラ６２、高さセン
サー４０の電気入力等、カメラ７２の画像処理装置７４
からの情報等、すべての制御情報が電気的に接続されて
おり、全体のシーケンス制御を司れるようになってい
る。全体コントローラ６０は、コンピュータでも、シー
ケンサでも、制御機能を持つものならばどのようなもの
でもよい。

【００５３】またモータコントローラ６２には、テーブ
ル６を駆動するＡＣサーボモータ１６や、昇降機構３０
と幅方向移動機構３６のそれぞれのアクチュエータ７
６、７８（たとえば、ＡＣサーボモータ）、さらにはテ
ーブル６の移動位置を検出する位置センサ６８からの信
号、ノズル２０の作動位置を検出するＹ、Ｚ軸の各々の
リニアセンサ（図示しない）からの信号などが入力され
る。なお、位置センサ６８を使用する代わりに、ＡＣサ
ーボモータ１６にエンコーダを組み込み、このエンコー
ダから出力されるパルス信号に基づき、テーブル６の位
置を検出することも可能である。

【００５４】次にこの塗布装置を使った塗布方法につい
て説明する。まず塗布装置における各作動部の原点復帰
が行われるとテーブル６、ノズル２０は各々Ｘ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸の準備位置に移動する。この時、塗液タンク５
６〜ノズル２０まで塗液はすでに充満されており、吐出
用電磁切換え弁４８は開、吸引用電磁切換え弁５４は閉
の状態にする。そして、テーブル６の表面には図示しな
いリフトピンが上昇し、図示しないローダから隔壁が一
定ピッチのストライプ状に形成されている基材４がリフ
トピン上部に載置される。

【００５５】次にリフトピンを下降させて基材４をテー
ブル６の上面に載置し、図示しないアライメント装置に
よってテーブル６上の位置決めが行われた後に基材２を
吸着する。

【００５６】次にテーブル６はカメラ７２と、高さセン
サー４０の真下に基材４の隔壁（凸部頂上）がくるまで
移動し、停止する。カメラ７２はテーブル６上に位置決
めされた基材４上の隔壁端部を写し出すようにあらかじ
め位置調整されており、画像処理によって一番端の凹部
の位置を検出し、カメラ基準点からの位置変化量ｌａを
求める。一方、カメラ７２の基準点と、所定のＹ軸座標
位置Ｙａにある時のホルダ２２に固定されたノズル２０
の最端部に位置する吐出孔４４間の長さｌｂは、事前の
調整時に測定し、情報として全体コントローラ６０に入
力しているので、画像処理装置７４からカメラ基準点か
らの隔壁凹部の位置変化量ｌａが電送されると、ノズル
２０の最端部に位置する吐出孔４４が隔壁端部の凹部の
真上となるＹ軸座標値Ｙｃを計算し（例えば、Ｙｃ＝Ｙ
ａ＋ｌｂ−ｌａ）、ノズル２０をその位置に移動させ
る。なお、カメラ７２は、ノズル２０やホルダ２２に取
り付けても同じ機能が得られる。

【００５７】この間に高さセンサ４０は基材４の隔壁頂
上部の垂直方向の位置を検知し、テーブル６上面との位
置の差から基材４の隔壁頂上部の高さを算出する。この
高さに、あらかじめ与えておいたノズル２０開口部〜基
材４の隔壁頂上部間の間隙値を加算して、ノズル２０の
Ｚ軸リニアセンサー上での下降すべき値を演算し、その
位置にノズルを移動する。これによって、テーブル６上
での隔壁頂上部位置が基材ごとに変化しても、塗布に重
要なノズル２０開口部〜基材上の隔壁頂上部間の間隙を
常に一定に保てるようになる。

【００５８】次にテーブル６をノズル２０の方へ向けて
動作を開始させ、ノズル２０の開口部の真下に基材４の
塗布開始位置が到達する前に所定の塗布速度まで増速さ
せておく。テーブル６の動作開始位置と塗布開始位置ま
での距離は塗布速度まで増速できるよう十分確保できて
いなければならない。

【００５９】さらに基材４の塗布開始位置がノズル２０
の開口部の真下に至るまでの所に、テーブル６の位置を
検知する位置センサー６８を配置しておき、テーブル６
がこの位置に達したら、供給ユニット５０の動作を開始
して塗液４２のノズル２０への供給を開始する。ノズル
２０開口部より吐出される塗液４２が基材４に達するに
は、基材〜ノズル開口部間の間隙だけ時間遅れが生じ
る。そのため、事前に塗液４２をノズル２０に供給する
ことによって、基材４の塗布開始位置がノズル２０開口
部の丁度真下に来たところでノズル２０から吐出された
所定量の塗液４２が基板４に到達するので、ほとんど厚
みむらゼロの状態で塗布を開始することができる。塗液
４２の供給を開始する位置は位置センサー６８の設置場
所を変えて調整することができる。この位置センサー６
８の代わりに、モータあるいはフィードスクリューにエ
ンコーダを接続したり、テーブルにリニアセンサーを付
けたりすると、エンコーダやリニアセンサーの値で検知
しても同様なことが可能となる。

【００６０】塗布は、基材４の塗布終了位置がノズル２
０の開口部の真下付近に来るまで行われる。すなわち、
基材４はいつもテーブル６上の定められた位置に置かれ
ているから、基材４の塗布終了位置がノズル２０の開口
部の（ａ）たとえば真下にくる５ｍｍ前や、（ｂ）丁度
真下になる位置に相当するテーブル６の位置に、位置セ
ンサーやそのエンコーダ値をあらかじめ設定しておき、
テーブル６が（ａ）に対応する位置にきたら、全体コン
トローラ６０から供給装置コントローラ５８に停止指令
を出して塗液４２のノズル２０への供給を停止して、
（ｂ）の位置までスキージ塗工し、次いでテーブル６が
（ｂ）に対応する位置にきたら、ノズル２０を上昇させ
て完全に塗液４２をたちきる。塗液４２が比較的高粘度
の液体である場合には、単に塗液の供給を停止しただけ
では、残圧によるノズル２０開口部からの塗液吐出まで
も瞬時に停止することは難しい。そのために、塗液の供
給を停止するとと同時にノズル２０内のマニホールド４
１圧力を大気圧にすると、短時間で開口部からの塗液の
吐出停止が可能となるので、供給ユニットにこのような
機能をもたせるか、あるいは、供給ユニットの吐出電磁
切換え弁４８〜ノズル２０の間に大気開放バルブを設け
るのが望ましい。

【００６１】さて、塗布終了位置を通過しても、テーブ
ル６は動作を続け、終点位置にきたら停止する。このと
き塗布すべき部分がまだ残っている場合には、次の塗布
すべき開始位置までノズルをＹ軸方向に塗布幅分（ノズ
ルピッチ×穴数）移動して、以下テーブル６を反対方向
に移動させることを除いては同じ手順で塗布を行う。１
回目と同一のテーブル６の移動方向で塗布を行なうのな
ら、ノズル２０は次の塗布すべき開始位置までＹ軸方向
に移動、テーブル６はＸ軸準備位置まで復帰させる。

【００６２】そして塗布工程が完了したら、基材４をア
ンローダで移載する場所までテーブル６を移動して停止
させ、基材４の吸着を解除するとともに大気開放した後
に、リフトピンを上昇させて基材４をテーブル６の面か
ら引き離し、持ち上げる。

【００６３】このとき図示されないアンローダによって
基材４の下面が保持され、次の工程に基材４を搬送す
る。基材４をアンローダに受け渡したら、テーブル６は
リフトピンを下降させ原点位置に復帰する。

【００６４】このとき、吐出用電磁切換え弁４８を閉、
吸引用電磁切換え弁５４を開状態にして供給ユニット５
０を動作させ、塗液タンク５６から１枚の基材の塗布に
必要な量だけ塗液を供給する。

【００６５】上記のような塗液の塗布には、たとえば、
図４および図５に示すタイプのノズル８０が用いられ
る。図４および図５に示すタイプのノズル８０において
は、ブロックから、内部に塗液を一定量蓄積するための
液だめ部としてのマニホールド８１をくりぬくものと、
先端の板状体８２の部分に開口部としての貫通孔（吐出
孔）８３を加工してから、マニホールド部８１に接合
（レーザ溶接、接着剤による接着など）するものがあ
り、いずれの方法を採用してもよい。８４は、ノズル８
０内への塗液の導入口を示している。

【００６６】貫通孔（吐出孔）８３の孔径（ｄ）は、前
述の如く５０〜５００μｍの範囲に設定され、かつ、板
状体８２の厚さ（ｔ）が０．５〜１０ｄの範囲に設定さ
れている。貫通孔８３は、一定ピッチにて穿設されてい
る。孔径（ｄ）が５０μｍよりも小さいと、塗液がすぐ
につまって使用できなくなるおそれがあり、５００μｍ
よりも大きいと、塗液の吐出を停止しているときに開口
部である孔から塗液がこぼれ落ちるおそれがある。貫通
孔８３のノズル８０長手方向のピッチは任意にとればよ
いが、プラズマディスプレイ用として使用する場合は、
０．３〜２ｍｍが好ましい。

【００６７】また、厚さ（ｔ）が０．５ｄよりも小さい
と、流線が形成されないので一定吐出速度での安定した
吐出ができなくなるおそれがあり、１０ｄよりも大きい
と、上記で規定した小さい孔では加工が困難になるとと
もに、吐出圧力が飛躍的に増大して押し出しが困難にな
るおそれがある。

【００６８】板状体８２は、図４に示すように、板状体
８２の塗液吐出側の面８２ａが断面でみて直線状の面で
あり、かつ、板状体８２の厚みが均一である構成とされ
ている。この板状体８２の厚みの均一度は±１０％以下
であることが好ましい。

【００６９】このような先端部に均一な板厚の部材８２
を有し、それに所定直径の孔を一定ピッチで設けるノズ
ル８０は、たとえばパイプ状の部材を固定して吐出口を
形成するタイプのものより、開口部８３の配置精度を高
くすることができる。また、板厚の均一化により、圧力
損失が均一にされ、吐出量が均一化される。したがっ
て、所望の塗液の塗布が、より高精度に行われる。

【００７０】図６および図７は、本発明の別の実施態様
に係るノズル９０を示している。図６および図７に示す
タイプのノズル９０は、２つのブロックを組み合わせて
（重ね合わせて）構成したもので、ブロック９１、９２
の合わせ面９１ａ、９２ａのうち、片方のブロック９１
の側に断面が長方形の溝９３をノズル幅方向に一定ピッ
チで形成している。ブロック９１、９２の重ね合わせに
より、これらの溝９３が開口部（貫通道）に形成され
る。ブロック９１、９２を分解すれば溝部分が露出する
ので、溝部分を直接洗浄することが可能となる。断面形
状は長方形の他、半円その他いかなる形状でもよい。９
４は、内部に塗液を一定量蓄積するための液だめ部とし
てのマニホールド、９５は、ノズル９０内への塗液の導
入口を、それぞれ示している。

【００７１】開口部９３の断面を形成している溝部分の
塗液吐出方向の長さは、０．１〜２０ｍｍ、より好まし
くは０．３〜２０ｍｍ、さらに好ましくは０．３〜１０
ｍｍの範囲にあることが望ましい。これより小さいと溝
を均一長さで形成するのが困難であるとともに十分な流
線が形成されないために安定した吐出ができないし、シ
ール性も不十分である。またこの範囲より大きいと吐出
圧力が飛躍的に増大するために押し出しが困難となるお
それがある。

【００７２】溝の断面形状としては、長方形ならブロッ
ク重ね方向に５０〜１０００μｍ、ピッチ方向に５０〜
５００μｍ程度の範囲が望ましい。使用する塗液の粘度
が高くなるにしたがって、形状を大きくすることが好ま
しい。この溝９３のノズル９０長手方向のピッチは任意
にとればよいが、プラズマディスプレイ用として使用す
る場合は、０．３〜２ｍｍが好ましい。

【００７３】なお、本実施例では片側のブロック９１に
溝９３を形成する構造としたが、両方のブロックに溝を
形成してもよい。たとえば、ブロックのあわせ面を中心
とした長方形形状や、円形形状断面をもつもの等として
もよい。

【００７４】このようなブロック重ね合わせタイプのノ
ズル９０においては、分解により、開口部を直接効果的
にかつ容易に洗浄できるので、繰り返し長期にわたって
生産する場合にも、異物やカスの溜まりや付着を防止し
て、安定生産を持続することができる。

【００７５】図８ないし図１０は、本発明のさらに別の
実施態様に係るノズル１００を示している。図に示すタ
イプのノズル１００は、２つのブロック１０１、１０２
の間に板状シム１０３を挟み込み、これらを重ね合わせ
て構成したもので、板状シム１０３の下部に一定ピッチ
のスリット１０４を形成しておくことにより、このスリ
ット１０４を貫通道、つまり、開口部（吐出孔）として
構成するものである。１０５は、内部に塗液を一定量蓄
積するための液だめ部としてのマニホールド、１０６
は、ノズル１００内への塗液の導入口を、それぞれ示し
ている。

【００７６】板状シム１０３全体の面積はブロックの重
ね合わせる面の面積と同じにしてある。スリット１０４
の閉じている側はマニホールド１０５内まで達してお
り、少なくとも１ｍｍ以上はスリット１０４がマニホー
ルド部の液に接触している必要がある。そうでないと、
マニホールド１０５内の塗液がスリット１０４を通じて
外部に安定して吐出できない。

【００７７】スリット１０４の幅（ノズル幅方向）は５
０〜５００μｍ、板状シム１０３の厚さは５０μｍ〜１
ｍｍが望ましい。各々の下限以下だと吐出圧が大きくな
って塗液の吐出が困難となるし、上限より大きいと停止
時に塗液がたれ落ちてしまうおそれがある。また、板状
シム１０３のスリット部１０４が２つのブロック１０
１、１０２によって押しつけられ挟み込まれている部分
の長さ（塗液の流路が一番狭くなる部分（または開口部
断面）の塗液吐出方向の長さ）は、０．１〜２０ｍｍが
望ましく、より好ましくは０．３〜２０ｍｍ、さらに好
ましくは０．３〜１０ｍｍである。これより小さいと吐
出孔を均一長さで形成するのが困難であるとともに十分
な流線が形成されないために安定した吐出ができない
し、シール性も不十分になるおそれがある。またこの範
囲より大きいと吐出圧力が飛躍的に増大するために押し
出しが困難となるおそれがある。さらに、スリット１０
４のノズル１００長手方向のピッチは任意にとればよい
が、プラズマディスプレイ用として使用する場合は、
０．３〜２ｍｍが好ましい。

【００７８】このような櫛状のスリット１０４を有する
板状シム１０３を挟み込んで形成したノズル１００を用
いることにより、ノズル１００を容易に分解できるよう
になり、分解により、開口部を直接効果的にかつ容易に
洗浄できるので、繰り返し長期にわたって生産する場合
にも、異物やカスの溜まりや付着を防止して、安定生産
を持続することができる。

【００７９】図１３ないし図１７は板状シム１０３の別
の実施態様例を示している。図１４を見ると、シムＡ２
００は厚さは板状シム１０３と同じで、塗液吐出方向の
長さが異なる板片Ａ２０６と板片Ｂ２０５をノズル１０
０長手方向に互いに何組も重ね合わせることにより構成
されている。板片Ｂ２０５の方が板片Ａ２０６よりも塗
液吐出方向の長さが短いので、塗液が通るスリット２０
４が構成されることになる。板片Ａ２０６と板片Ｂ２０
５のノズル１００長手方向の長さは、スリット２０４の
ノズル１００の長手方向ピッチが所定のものになるよう
に定める。また、板片Ａ２０６と板片Ｂ２０５は、ノズ
ル１００長手方向へ重ね合わ後、接着等の接合手段によ
ってお互いに固定されている。

【００８０】図１５、１６のシムＢ２１０は、シムＡ２
００を一定厚さの基準板２１８上に固定したもので、図
１５のＦ方向から板片Ａ２０６と板片Ｂ２０５があると
ころの断面をみると各々図１６の（イ）、（ロ）のよう
になる。この実施態様例では、基準板２１８を衝にして
より高い精度で板片Ａ２０６と板片Ｂ２０５をノズル１
００長手方向に重ね合わせて、接着等で固定することが
できる。このシムＢ２１０では、塗液の貫通道はシムＡ
２００の時のスリット２０４ではなく、溝２１４となる
が、スリット２０４と溝２１４は塗液の貫通道としては
全く同じ形状である。

【００８１】図１７のシムＣ２２０は一定厚さの板から
シムＡ２００のスリット２０４に相当する溝２２４を設
けたものであり、溝２２４は塗液の貫通道としてはスリ
ット２０４と全く同形状にしている。シムＣ２２０のよ
うに溝を設ける形態のものでは、シムの厚さを厚くする
ことができるので、スリットを設けたシムＡ２００より
もはるかに丈夫なものにすることができ、折損等がな
く、繰り返しの使用に適する。溝を形成する板の厚さと
しては、０．３ｍｍ以上、より好ましくは０．５ｍｍ以
上である。

【００８２】なお、上記のシムの材質としては、ステン
レス等の金属部材の他、セラミックス等の硬度の高い材
料を用いることが好ましい。これは、塗液の中に蛍光体
等の粒子がある場合に、摩耗による発塵や寿命低下を防
止することができるからである。

【００８３】図１１および図１２は、本発明のさらに別
の実施態様に係るノズル１１０を示している。図に示す
タイプのノズル１１０においては、内部に塗液を一定量
蓄積する液だめ部としてのマニホールド１１１が、外部
に連通する開口部１１２に向けて先細りの形状（先細り
形状部１１３）に形成されている。すなわち、マニホー
ルド１１１の形状を、開口部１１２に近づくにしたがっ
て収束するものにしたもので、これによって速度成分が
ゼロとなるところがなくなるので、滞留がなくなる。開
口部１１２に向かって収束する形状は、図のように３次
元的に形成することが好ましい。滞留によって塗液の品
質低下が著しいものはこのような形状のノズル１１０を
用いることが、特に望ましい。なお、１１４は、ノズル
１１０内への塗液の導入口を示している。

【００８４】このような開口部１１２に近づくにしたが
って収束する形状のマニホールド１１１を有するノズル
１１０を用いることにより、滞留は生じなくなり、安定
した塗液の吐出状態が確保されるとともに、塗液の劣化
等が防止され、安定した所定の塗布品質が得られる。

【００８５】図１３は本発明のさらに別の実施態様に係
るノズル１２０を示している。図に示すタイプのノズル
１２０においては、ノズル１２０に、マニホールド１２
１内に塗液を供給する塗液供給口１２２ととともに、供
給された塗液を加圧するための圧力流体（圧空）を供給
する圧力供給口１２３が設けられている。圧力供給口１
２３は、塗液供給口１２２よりも重力方向において上部
に位置している。ノズル１２０に下部には、図４に示し
たと同様の開口部１２４が設けられており、該開口部１
２４を通して塗液が吐出される。

【００８６】圧力供給口１２３を、塗液供給口１２２よ
りも上位に位置させたことにより、供給した塗液が圧力
供給口１２３（エアー加圧口）から逆流することは防止
される。また、上記構造においては、塗液がノズル１２
０内に充満されないでも、加圧・吐出することができる
ので、極く少量の塗液を吐出・塗布することができるよ
うになる。このような構造は、いかなる形状のノズルに
も適用できる。

【００８７】このような塗液供給口１２２と圧力供給口
１２３とを別々に設け、塗液をノズル１２０内に充満さ
せることなく極く少量づつ吐出するようにしたノズル１
２０を用いることにより、ノズル１２０に必要最小限の
量の塗液を供給するだけなので、効率よく所望の塗布を
行うことができるようになり、塗布工程における使用塗
液量を必要最小限に抑制して、製造コストの低減をはか
ることができる。

【００８８】なお、前述の塗液塗布装置の全体構成にお
いて、高さセンサー４０としては、レーザ、超音波等を
利用した非接触測定形式のもの、ダイヤルゲージ、差動
トランス等を利用した接触測定形式のもの等、測定可能
な原理のものならいかなるものを用いてもよい。

【００８９】また、塗液吐出装置の開口部の凹部に対す
る相対位置を検知する検知手段は、基材の凹部とノズル
の孔を各々別個に検知するカメラを用いた画像処理装置
により構成してもよい。

【００９０】さらにまた、前記実施態様では基材はＸ軸
方向に移動し、ノズルがＹ軸、Ｚ軸方向に移動する場合
での適用例について記述したが、ノズル２０と基材４が
相対的に３次元的に移動できる構造、形式のものである
のなら、テーブル、ノズルの移動形式はいかなるもので
もよい。

【００９１】また、前述の実施態様では、塗布はテーブ
ルの移動、凹凸のピッチ方向への移動は、ノズルの移動
によって行う例を示したが、塗布をノズルの移動、凹凸
のピッチ方向への移動をテーブルの移動で行ってもよ
い。

【００９２】さらに、本発明における基材としては、ガ
ラス板の他、鉄板、アルミ板等、枚葉状のものならどの
ようなものでもよい。また、一種類の塗液を塗布する場
合について詳しく言及したが、赤、青、緑等の３色の蛍
光体を同時に塗布する場合にも本発明は適用できる。

【００９３】

【実施例】幅３４０ｍｍ×４４０ｍｍ×厚さ２．８ｍｍ
のソーダガラス基板上の全面に感光性銀ペーストを５μ
ｍの厚みにスクリーン印刷した後で、フォトマスクを用
いて露光し、現像および焼成の各工程を経て、ピッチ２
２０μｍでストライプ状の１９２０本の銀電極を形成し
た。その電極上に、ガラスとバインダーからなるガラス
ペーストをスクリーン印刷機で塗布した後に、焼成して
誘電体層を形成した。次にガラス粉末と感光性有機成分
からなる感光性ガラスペーストを、塗布厚さ２００μｍ
でスクリーン印刷機を用いて塗布した。ついで輻射ヒー
タを用いた乾燥炉で乾燥後、塗布厚み分布を基板幅方向
にわたって測定したところ、１４０μｍ±３μｍの範囲
に収まった。この後、隣あった電極間に隔壁が形成され
るように設計されたフォトマスクを用いて露光し、現像
と焼成を行って隔壁を形成した。隔壁の形状はピッチ２
２０μｍ、線幅３０μｍ、高さ１３０μｍであり、隔壁
本数は１９２１本であった。次に、各色蛍光体粉末４０
ｇをエチルセルロース１０ｇ、テルピネオール１０ｇ、
及びベンジンアルコール４０ｇとを混合した後、セラミ
ックス製の３本ローラで混練して、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色の蛍
光体ペーストを作製した。

【００９４】続いて図１に示す装置にて塗布を行うため
に、ピッチ６６０μｍで平均口径１５０μｍの吐出口を
厚さ４００μｍの板に１６０個設けたものを、マニホー
ルドを構成している本体部材に接着して製作したノズル
を、図１のノズル２０の代わりに取り付け、隔壁まで形
成された基板を長さ３４０ｍｍの辺が走行方向（Ｘ方
向）と平行となるようにテーブルに取付け吸着保持し
た。そして上記ノズルの吐出口部を基板上の隔壁の溝に
あわせた後に、テーブルの上面を基準にした溝の底面の
高さをレーザ変位計によって測定し、この測定値に溝の
高さ１３０μｍ、ノズル２０の吐出口〜隔壁頂上部まで
の間隙１００μｍを加算してノズルが下降すべき位置を
求めて、その位置にノズルを下降させた。引き続いて基
板を長さ３４０ｍｍの辺に平行にテーブルを走行させ、
塗布速度の３ｍ／分に達した基板端部から１０ｍｍの位
置で２．６ｋｇ／ｃｍ²の圧力をＲ色のペーストに付加
して、ノズルからＲ色のペーストを隔壁の溝１６０個に
吐出して塗布を開始した。基板端部から３２０ｍｍの位
置に到達したところでバルブを閉じてペーストの吐出を
停止するとともに、３３０ｍｍの位置に達したところで
ノズルを引き上げて、残存しているペーストを断ち切っ
て塗布を終了させた。次にノズルを図１のＹ方向に１０
５．６ｍｍ移動するとともに、基板もＸ方向のもとの位
置に戻して、同様の塗布を合計４回行わせることによっ
てＲ色ペーストの塗布を完了し、８０℃１５分で乾燥を
行った。以降Ｂ、Ｇ色についても同様に塗布、乾燥を行
って、隔壁溝にＲ、Ｇ、Ｂ３色ペーストが充填された部
材を作製し、最後に４６０℃１５分の焼成を行って、プ
ラズマディスプレイ背面板まで作製した。得られたプラ
ズマディスプレイ背面板の表面品位は申し分ないもので
あった。次にこのプラズマディスプレイ背面板と前面板
とを合わせ、封着後、Ｘｅ５％、Ｎｅ９５％の混合ガス
を封入し、駆動回路を接続してプラズマディスプレイを
得た。

【００９５】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の凹凸基材
への塗液の塗布装置および方法によれば、複数の開口部
から吐出される塗液の各吐出孔間の吐出量ばらつきを小
さくすることができ、かつ安定して吐出できるので、被
塗布物の品質を向上できるともに、長時間にわたって安
定で均一な塗布が可能となる。

【００９６】また、開口部を形成する部材を分解可能と
したので、開口部を直接洗浄することが可能となり、メ
ンテナンスが容易になるとともに、繰り返し同じノズル
を使用することができるので、コスト低減や品質向上に
貢献できる。

【００９７】また、マニホールドから開口部に向かって
流路が収束する形状にして、速度ゼロのところができな
いようにしたので、ノズル内部に滞留部分が生じない。
これによって滞留による塗液の劣化を防ぐことができ、
品質が向上する。

【００９８】さらに、ノズルに塗液の供給口と加圧の供
給口を設けたので、ノズルに必要最小限度の塗液を供給
しても加圧により吐出して塗布できるようになった。こ
れによって塗液の切替が早くできるようになり、多品種
のものを少量生産する時に大きな効果を発揮する。ま
た、無駄になる塗液を最小限度まで低下できるので、コ
スト削減に大きく寄与できる。

【００９９】本発明のプラズマディスプレイおよびプラ
ズマディスプレイ用部材の製造装置および方法によれ
ば、上記凹凸基材への塗液の塗布装置および方法を使用
しているので、品質の高いプラズマディスプレイおよび
プラズマディスプレイ用部材を、高い生産性で安価に製
造することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係る塗液の塗布装置の全
体斜視図である。

【図２】図１の装置のテーブルとノズル周りの構成を示
す模式図である。

【図３】図１の装置におけるノズルを下側からみた拡大
平面図である。

【図４】本発明の一実施態様に係るノズルの縦断面図で
ある。

【図５】図４のノズルの、図４とは直角の方向における
縦断面図である。

【図６】本発明の別の実施態様に係るノズルの縦断面図
である。

【図７】図６のノズルの底面図である。

【図８】本発明のさらに別の実施態様に係るノズルの縦
断面図である。

【図９】図６のノズルの板状シムの正面図である。

【図１０】図６のノズルの底面図である。

【図１１】本発明のさらに別の実施態様に係るノズルの
縦断面図である。

【図１２】図１１のノズルの、図１１とは直角の方向に
おける縦断面図である。

【図１３】本発明のさらに別の実施態様に係るノズルの
縦断面図である。

【図１４】本発明の別の実施態様に係るシムの正面図で
ある。

【図１５】本発明のさらに別の実施態様に係るシムの正
面図である。

【図１６】図１５のシムの、図１５とは直角の方向にお
ける縦断面図である。

【図１７】本発明のさらに別の実施態様に係るシムの正
面図である。

【符号の説明】

２基台４基材６テーブル８ガイド溝レール１０フィードスクリュー１６ＡＣサーボモータ２０ノズル２６リニアアクチュエータ３０昇降機構３６幅方向移動機構４０高さセンサー４２塗液４４開口部（吐出孔）４５開口部面５０供給ユニット５６塗液タンク５８供給装置コントローラ６０全体コントローラ６６センサー７２カメラ８０、９０、１００、１１０、１２０ノズル８１、９４、１０５、１１１、１２１マニホールド
（液だめ部）８２先端の板状体部８２ａ板状体の塗液吐出側の面８３、１１２、１２４貫通孔（吐出孔）８４、９３、１０６、１１４、１２２塗液の供給口９２溝（貫通道）１０３板状シム１０４スリット（吐出孔）１１３先細り部１２３圧力供給口２００シムＡ２１０シムＢ２２０シムＣ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＨ０１Ｊ 11/02 Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｂ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に一定ピッチで凹凸部が形成されて
いる基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面し
て複数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置
に塗液を供給する供給手段と、テーブルと塗液吐出装置
を３次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基
材への塗液の塗布装置において、塗液吐出装置は内部に
塗液を一定量蓄積する液だめ部を有するとともに、開口
部は直径ｄが５０〜５００μｍの範囲にある孔が一定ピ
ッチにて厚さｔが０．５〜１０ｄの範囲にある板状体を
貫通することにより形成されていることを特徴とする、
凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項２】開口部が形成されている板状体の塗液吐
出側の面が断面でみて直線状の面であり、かつ、板状体
の厚みが均一である、請求項１に記載の凹凸基材への塗
液の塗布装置。
【請求項３】板状体の厚みの均一度が±１０％以下で
ある、請求項２に記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項４】表面に一定ピッチで凹凸部が形成されて
いる基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面し
て複数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置
に塗液を供給する供給手段と、テーブルと塗液吐出装置
を３次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基
材への塗液の塗布装置において、塗液吐出装置は、開口
部の配列方向に対し垂直な方向に２つのブロックを重ね
合わせたものからなり、内部に塗液を一定量蓄積する液
だめ部を有するとともに、２つのブロックの重ね合わせ
面に液だめ部と外部とを連通する複数の貫通道をブロッ
クの重ね方向とは垂直な方向に一定ピッチで設けること
により開口部を形成し、かつ、前記貫通道の塗液吐出方
向の長さが０．１〜２０ｍｍの範囲にあることを特徴と
する、凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項５】表面に一定ピッチで凹凸部が形成されて
いる基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面し
て複数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置
に塗液を供給する供給手段と、テーブルと塗液吐出装置
を３次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基
材への塗液の塗布装置において、塗液吐出装置は、２つ
のブロックの間に板状シムを重ね合わせたものからな
り、内部に塗液を一定量蓄積する液だめ部を有するとと
もに、板状シムに液だめ部と外部とを連通する複数のス
リットをブロックの長手方向に一定ピッチで設けること
により開口部を形成し、かつ、板状シムのスリット部の
前記２つのブロックで挟み込まれる部分の塗液吐出方向
の長さが０．１〜２０ｍｍの範囲にあることを特徴とす
る、凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項６】板状シムは、前記２つのブロックで挟み
こまれる厚さが同じで塗液吐出方向に長さが異なる２種
類の板をブロックの長手方向に一定ピッチで重ね合わせ
て、複数のスリットを形成する構成を有することを特徴
とする請求項５に記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項７】板状シムは、一枚の基準板上で前記２種
類の板が重ね合わせられている構成を有することを特徴
とする請求項６に記載の凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項８】板状シムは、一定厚さの板状体に液だめ
部と外部とを連通する複数のスリットに相当する一定深
さの溝をブロックの長手方向に一定ピッチで設けたもの
であることを特徴とする請求項５に記載の凹凸基材への
塗液の塗布装置。
【請求項９】表面に一定ピッチで凹凸部が形成されて
いる基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面し
て複数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置
に塗液を供給する供給手段と、テーブルと塗液吐出装置
を３次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基
材への塗液の塗布装置において、塗液吐出装置は内部に
塗液を一定量蓄積する液だめ部を有するとともに、液だ
め部が外部に連通する開口部に向けて先細りの形状を有
することを特徴とする、凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項１０】表面に一定ピッチで凹凸部が形成され
ている基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面
して複数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装
置に塗液を供給する供給手段と、テーブルと塗液吐出装
置を３次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸
基材への塗液の塗布装置において、塗液吐出装置はさら
に塗液が供給される塗液供給口と供給された塗液を加圧
する圧力供給口を有し、圧力供給口は塗液供給口よりも
重力方向において上部に配されていることを特徴とす
る、凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項１１】表面に一定ピッチで凹凸部が形成され
ている基材と、基材の凹凸部と対面して複数の開口部を
有する塗液吐出装置とを相対的に移動させ、かつ、前記
塗液吐出装置に塗液を供給して開口部より塗液を吐出
し、基材の凹部に所定厚さ塗布する塗布方法であって、
塗液吐出装置に、内部に塗液を一定量蓄積する液だめ部
を有するとともに、開口部が、直径ｄが５０〜５００μ
ｍの範囲にある孔が一定ピッチにて厚さｔが０．５〜１
０ｄの範囲にある板状体を貫通することにより形成され
ているものを用いて塗布することを特徴とする、凹凸基
材への塗液の塗布方法。
【請求項１２】表面に一定ピッチで凹凸部が形成され
ている基材と、基材の凹凸部と対面して複数の開口部を
有する塗液吐出装置とを相対的に移動させ、かつ、前記
塗液吐出装置に塗液を供給して開口部より塗液を吐出
し、基材の凹部に所定厚さ塗布する塗布方法であって、
塗液吐出装置に、開口部の配列方向に対し垂直な方向に
２つのブロックを重ね合わせたものからなり、内部に塗
液を一定量蓄積する液だめ部を有するとともに、２つの
ブロックの重ね合わせ面に液だめ部と外部とを連通する
複数の貫通道をブロックの重ね方向とは垂直な方向に一
定ピッチで設けることにより開口部を形成し、かつ、前
記貫通道の塗液吐出方向の長さが０．１〜２０ｍｍの範
囲にあるものを用いて塗布することを特徴とする、凹凸
基材への塗液の塗布方法。
【請求項１３】表面に一定ピッチで凹凸部が形成され
ている基材と、基材の凹凸部と対面して複数の開口部を
有する塗液吐出装置とを相対的に移動させ、かつ、前記
塗液吐出装置に塗液を供給して開口部より塗液を吐出
し、基材の凹部に所定厚さ塗布する塗布方法であって、
塗液吐出装置に、２つのブロックの間に板状シムを重ね
合わせたものからなり、内部に塗液を一定量蓄積する液
だめ部を有するとともに、板状シムに液だめ部と外部と
を連通する複数のスリットをブロックの長手方向に一定
ピッチで設けることにより開口部を形成し、かつ、板状
シムのスリット部の前記２つのブロックで挟み込まれる
部分の塗液吐出方向の長さが０．１〜２０ｍｍの範囲に
あるものを用いて塗布することを特徴とする、凹凸基材
への塗液の塗布方法。
【請求項１４】板状シムは、前記２つのブロックで挟
みこまれる厚さが同じで塗液吐出方向に長さが異なる２
種類の板をブロック長手方向に一定ピッチで重ね合わせ
て、複数のスリットを形成しているものであることを特
徴とする請求項１３に記載の凹凸基材への塗液の塗布方
法。
【請求項１５】板状シムは、一定厚さの板状体に液だ
め部と外部とを連通する複数のスリットに相当する一定
深さの溝をブロックの長手方向に一定ピッチで設けてい
るものであることを特徴とする請求項１３に記載の凹凸
基材への塗液の塗布方法。
【請求項１６】表面に一定ピッチで凹凸部が形成され
ている基材と、基材の凹凸部と対面して複数の開口部を
有する塗液吐出装置とを相対的に移動させ、かつ、前記
塗液吐出装置に塗液を供給して開口部より塗液を吐出
し、基材の凹部に所定厚さ塗布する塗布方法であって、
塗液吐出装置に、内部に塗液を一定量蓄積する液だめ部
を有するとともに、液だめ部が外部に連通する開口部に
向けて先細りの形状を有するものを用いて塗布すること
を特徴とする、凹凸基材への塗液の塗布方法。
【請求項１７】表面に一定ピッチで凹凸部が形成され
ている基材と、基材の凹凸部と対面して複数の開口部を
有する塗液吐出装置とを相対的に移動させ、かつ、前記
塗液吐出装置に塗液を供給すると共に開口部より塗液を
吐出し、基材の凹部に所定厚さ塗布する塗布方法であっ
て、前記塗液吐出装置内には、塗液と加圧用気体を混在
させ、加圧用気体の圧力により開口部から塗液を吐出し
て塗布することを特徴とする、凹凸基材への塗液の塗布
方法。
【請求項１８】塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの
色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求
項１ないし１０のいずれかに記載の塗液の塗布装置を用
いたことを特徴とする、プラズマディスプレイ用部材の
製造装置。
【請求項１９】塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの
色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求
項１１ないし１７のいずれかに記載の塗液の塗布方法を
用いることを特徴とする、プラズマディスプレイ用部材
の製造方法。
【請求項２０】塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの
色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求
項１ないし１０のいずれかに記載の塗液の塗布装置を用
いたことを特徴とする、プラズマディスプレイの製造装
置。
【請求項２１】塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの
色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求
項１１ないし１７のいずれかに記載の塗液の塗布方法を
用いることを特徴とする、プラズマディスプレイの製造
方法。