JPH1131471A - 透過形電子顕微鏡 - Google Patents
透過形電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH1131471A JPH1131471A JP9183457A JP18345797A JPH1131471A JP H1131471 A JPH1131471 A JP H1131471A JP 9183457 A JP9183457 A JP 9183457A JP 18345797 A JP18345797 A JP 18345797A JP H1131471 A JPH1131471 A JP H1131471A
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- JP
- Japan
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- sample
- camera
- speed
- magnification
- electron microscope
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ＴＶカメラを切り換える操作による、観察する
試料の微動速度の調整操作をなくすようにする。 【解決手段】一般的な試料操作を可能とする透過形電子
顕微鏡に電顕像を観察するＴＶカメラと、当該電顕像を
光学的に倍率を変化できるＴＶカメラを有する装置にお
いて、ＴＶカメラの切り換え操作によって、観察する試
料の微動速度を自動的に切り換えるようにしたことを特
徴とする透過形電子顕微鏡。
試料の微動速度の調整操作をなくすようにする。 【解決手段】一般的な試料操作を可能とする透過形電子
顕微鏡に電顕像を観察するＴＶカメラと、当該電顕像を
光学的に倍率を変化できるＴＶカメラを有する装置にお
いて、ＴＶカメラの切り換え操作によって、観察する試
料の微動速度を自動的に切り換えるようにしたことを特
徴とする透過形電子顕微鏡。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は透過形電子顕微鏡に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】透過形電子顕微鏡は、試料に電子ビーム
を照射し、電子レンズで拡大した試料像を蛍光板に映
し、その像をＴＶカメラを用いＣＲＴモニターに表示し
観察している。
を照射し、電子レンズで拡大した試料像を蛍光板に映
し、その像をＴＶカメラを用いＣＲＴモニターに表示し
観察している。
【０００３】試料は、一般的には、モータ駆動で微動で
きる試料ステージ上に配置され、操作つまみを回すこと
により微動される。試料像は、試料を微動されることに
よって微動観察できる。試料微動は、前記観察用ＴＶカ
メラで撮影した像を、ＣＲＴモニターに表示し、その視
野上で試料像が、一定速度になるよう構成されている。
それは、高倍率でも低倍率でも画面上一定の速度で観察
できることになる。従って、試料微動ステージ上の試料
は、低倍では高速に、高倍では低速に移動できるよう
に、試料微動制御装置で制御され、移動している。
きる試料ステージ上に配置され、操作つまみを回すこと
により微動される。試料像は、試料を微動されることに
よって微動観察できる。試料微動は、前記観察用ＴＶカ
メラで撮影した像を、ＣＲＴモニターに表示し、その視
野上で試料像が、一定速度になるよう構成されている。
それは、高倍率でも低倍率でも画面上一定の速度で観察
できることになる。従って、試料微動ステージ上の試料
は、低倍では高速に、高倍では低速に移動できるよう
に、試料微動制御装置で制御され、移動している。
【０００４】鮮明な電顕像をフィルムにとるためには、
フォーカスや焦点を正確に合わせる必要がある。それに
は、フォーカス合わせや焦点が調整し易いように像を拡
大することが不可欠である。そのため、従来装置では、
電顕倍率を上げると装置条件が変わってしまうため、電
顕倍率をそのままにして、光学倍率を上げ、ＴＶカメラ
で拡大像を撮影してモニターしている。その時、ＴＶカ
メラで像を拡大すると試料微動の送り速度が、同一なと
きには、ＣＲＴモニターの像移動速度は、早く観察しに
くい。このため、速度調整つまみにより、速度を下げ、
試料位置の調整を行っていた。また、拡大用ＴＶカメラ
で条件を合わせた後、観察用ＴＶカメラに戻し、試料微
動を実施する場合は、微動速度を上げて観察していた。
フォーカスや焦点を正確に合わせる必要がある。それに
は、フォーカス合わせや焦点が調整し易いように像を拡
大することが不可欠である。そのため、従来装置では、
電顕倍率を上げると装置条件が変わってしまうため、電
顕倍率をそのままにして、光学倍率を上げ、ＴＶカメラ
で拡大像を撮影してモニターしている。その時、ＴＶカ
メラで像を拡大すると試料微動の送り速度が、同一なと
きには、ＣＲＴモニターの像移動速度は、早く観察しに
くい。このため、速度調整つまみにより、速度を下げ、
試料位置の調整を行っていた。また、拡大用ＴＶカメラ
で条件を合わせた後、観察用ＴＶカメラに戻し、試料微
動を実施する場合は、微動速度を上げて観察していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、観察
用ＴＶカメラの電顕像と、光学倍率を上げた電顕像とを
ＣＲＴモニターで観察する時、その各々の像を切り換え
る度に、試料微動速度を速度調整つまみで調整しなけれ
ばならなかった。この様な煩雑な調整作業のない透過形
電子顕微鏡の提供にある。
用ＴＶカメラの電顕像と、光学倍率を上げた電顕像とを
ＣＲＴモニターで観察する時、その各々の像を切り換え
る度に、試料微動速度を速度調整つまみで調整しなけれ
ばならなかった。この様な煩雑な調整作業のない透過形
電子顕微鏡の提供にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】試料微動の送り速度を、
観察用ＴＶカメラから像拡大用ＴＶカメラの切り換えに
連動して、試料微動の送り速度を下げ、像拡大用ＴＶカ
メラから観察用ＴＶカメラの切り換えに連動して、試料
微動の送り速度を上げる様に、自動設定する。その手段
として、現在の電顕倍率の試料微動速度に、同一電顕倍
率で低倍と高倍の観察に対して、その観察の倍率を補正
する様に、試料微動速度に観察倍率補正係数を乗算演算
した値で、試料微動装置の操作制御を実施する。
観察用ＴＶカメラから像拡大用ＴＶカメラの切り換えに
連動して、試料微動の送り速度を下げ、像拡大用ＴＶカ
メラから観察用ＴＶカメラの切り換えに連動して、試料
微動の送り速度を上げる様に、自動設定する。その手段
として、現在の電顕倍率の試料微動速度に、同一電顕倍
率で低倍と高倍の観察に対して、その観察の倍率を補正
する様に、試料微動速度に観察倍率補正係数を乗算演算
した値で、試料微動装置の操作制御を実施する。
【０００７】この制御を実施することで、オペレータの
煩雑な試料微動操作速度調整の操作をなくし、操作性の
向上が図れる。
煩雑な試料微動操作速度調整の操作をなくし、操作性の
向上が図れる。
【０００８】
【発明の実施の形態】透過形電子顕微鏡の機能概略図
は、図３に示したように、電子銃と加速管１からの電子
線２はコンデンサーレンズ３で適切な電流値や径に設定
し、試料４に照射される。試料４を透過した電子線２は
対物レンズ５と投射レンズ６とで拡大し蛍光板(１)７
に、透過形電子顕微鏡の像８を結像する。
は、図３に示したように、電子銃と加速管１からの電子
線２はコンデンサーレンズ３で適切な電流値や径に設定
し、試料４に照射される。試料４を透過した電子線２は
対物レンズ５と投射レンズ６とで拡大し蛍光板(１)７
に、透過形電子顕微鏡の像８を結像する。
【０００９】また、蛍光板(１)７の電顕像８は、光学レ
ンズ３８で、ＴＶカメラ(１)１７に取り込み、表示コン
トローラ２１を介して観察モニター(１)２２−１に表示
出力される。さらに、蛍光板(２)１８の電顕像２０は、
光学レンズ３９で、ＴＶカメラ(２)１９に取り込み、表
示コントローラ２１を介して観察モニター(２)２２−２
に表示出力される。
ンズ３８で、ＴＶカメラ(１)１７に取り込み、表示コン
トローラ２１を介して観察モニター(１)２２−１に表示
出力される。さらに、蛍光板(２)１８の電顕像２０は、
光学レンズ３９で、ＴＶカメラ(２)１９に取り込み、表
示コントローラ２１を介して観察モニター(２)２２−２
に表示出力される。
【００１０】試料４は、試料微動操作つまみ１５のＸ軸
１５−１または、Ｙ軸１５−２を操作すると試料微動制
御装置１３によりＤＡ変換器１２−１，１２−２に移動
信号を出力し、モータドライブ回路１１−１，１１−２
を介して、駆動モータ１０−１，１０−２で、試料微動
ステージ９を動作させ、試料をＸおよび、Ｙ方向に移動
する。
１５−１または、Ｙ軸１５−２を操作すると試料微動制
御装置１３によりＤＡ変換器１２−１，１２−２に移動
信号を出力し、モータドライブ回路１１−１，１１−２
を介して、駆動モータ１０−１，１０−２で、試料微動
ステージ９を動作させ、試料をＸおよび、Ｙ方向に移動
する。
【００１１】最近、透過形電子顕微鏡において電顕像を
ＴＶカメラによって観察する傾向が強く、用途に応じて
ＴＶカメラを複数、使用する様になってきた。図３では
通常の電顕倍率像を観察するための観察用のＴＶカメラ
(１)１７と、フォーカスや非点を正確に合わせるための
像拡大用のＴＶカメラ(２)１９との２台の構成を図示し
た。観察用ＴＶカメラ(１)１７の観察モニター(１)２２
−１と像拡大用ＴＶカメラ(２)１９の観察モニター(２)
２２−２の様に、倍率が異なり、試料を移動する場合、
その都度、速度調整つまみ１６で調整し、試料移動操作
速度を変更しなければならなかった。
ＴＶカメラによって観察する傾向が強く、用途に応じて
ＴＶカメラを複数、使用する様になってきた。図３では
通常の電顕倍率像を観察するための観察用のＴＶカメラ
(１)１７と、フォーカスや非点を正確に合わせるための
像拡大用のＴＶカメラ(２)１９との２台の構成を図示し
た。観察用ＴＶカメラ(１)１７の観察モニター(１)２２
−１と像拡大用ＴＶカメラ(２)１９の観察モニター(２)
２２−２の様に、倍率が異なり、試料を移動する場合、
その都度、速度調整つまみ１６で調整し、試料移動操作
速度を変更しなければならなかった。
【００１２】図１は、本発明を実施する上での装置構成
例、図２は、図１のメモリ２５内に割り付けた、電顕倍
率に対する速度データとＴＶの観察倍率補正係数で、図
４は、そのＣＰＵ内の処理フローである。
例、図２は、図１のメモリ２５内に割り付けた、電顕倍
率に対する速度データとＴＶの観察倍率補正係数で、図
４は、そのＣＰＵ内の処理フローである。
【００１３】一般的に電顕倍率は、連続的に変化させ
ず、ステップ毎に変化（例えば、500倍，１０００倍，
…１万倍，１万５千倍，３万倍，４万倍…等）してい
る。
ず、ステップ毎に変化（例えば、500倍，１０００倍，
…１万倍，１万５千倍，３万倍，４万倍…等）してい
る。
【００１４】ＣＰＵ２４は、観察する蛍光板(１)７上で
の倍率に応じた速度データを予め計算し、図２の様なテ
ーブルファイル２７とし、メモリ２５に格納しており、
さらにＴＶの観察倍率補正係数２８は、同様、メモリ２
５内に設定している。
の倍率に応じた速度データを予め計算し、図２の様なテ
ーブルファイル２７とし、メモリ２５に格納しており、
さらにＴＶの観察倍率補正係数２８は、同様、メモリ２
５内に設定している。
【００１５】試料微動のＸ軸操作について説明する。試
料微動操作つまみ１５のＸ軸１５−１からインターフェ
イス２３を介して試料微動操作信号ａを読み込み（２
９）、そのデータが０以外（３０）なら、次の処理を実
行する。
料微動操作つまみ１５のＸ軸１５−１からインターフェ
イス２３を介して試料微動操作信号ａを読み込み（２
９）、そのデータが０以外（３０）なら、次の処理を実
行する。
【００１６】速度調整つまみ１６からインターフェイス
２３を介して速度調整信号ｂ(３１)と電顕倍率変更つま
み４０からインターフェイス２３を介して倍率切換信号
を読み込む（３２）。電顕倍率切り換え信号により、電
顕倍率に応じた速度データをメモリ２５内のテーブルフ
ァイル２７から取りだす（３３）。ＴＶカメラ選択スイ
ッチ１４からインターフェイス２３を介して選択ＴＶ信
号を読み込みメモリ２５内のテーブルファイル２８から
ＴＶカメラの観察倍率補正係数ｋを決定する（３４）。
２３を介して速度調整信号ｂ(３１)と電顕倍率変更つま
み４０からインターフェイス２３を介して倍率切換信号
を読み込む（３２）。電顕倍率切り換え信号により、電
顕倍率に応じた速度データをメモリ２５内のテーブルフ
ァイル２７から取りだす（３３）。ＴＶカメラ選択スイ
ッチ１４からインターフェイス２３を介して選択ＴＶ信
号を読み込みメモリ２５内のテーブルファイル２８から
ＴＶカメラの観察倍率補正係数ｋを決定する（３４）。
【００１７】下式により移動信号の演算（３５）を実施
し、
し、
【００１８】
【数１】ｓ＝ａ＊ｂ＊(ｃ＊ｋ) ｓ：移動信号設定データ ａ：試料微動操作信号 ｂ：速度調整信号 ｃ：電顕倍率に応じた速度データ ｋ：ＴＶカメラの観察倍率補正係数 その移動信号設定データｓを、インターフェイス２６を
介してＤＡ変換器１２−１に出力３７し、モータドライ
ブ回路１１−１を介して駆動モータ１０−１を動作さ
せ、試料微動ステージ９を移動させる。
介してＤＡ変換器１２−１に出力３７し、モータドライ
ブ回路１１−１を介して駆動モータ１０−１を動作さ
せ、試料微動ステージ９を移動させる。
【００１９】試料微動操作信号ａが０の時（３０）、移
動信号設定データ０（３６）をインターフェイス２６を
介してＤＡ変換器１２−１に出力（３７）し、モータド
ライブ回路１１−１を介して駆動モータ１０−１を停止
し、試料微動ステージ９の移動を停止する。なお、ここ
では、記述しなかったが、試料微動のＹ軸操作も同様で
ある。
動信号設定データ０（３６）をインターフェイス２６を
介してＤＡ変換器１２−１に出力（３７）し、モータド
ライブ回路１１−１を介して駆動モータ１０−１を停止
し、試料微動ステージ９の移動を停止する。なお、ここ
では、記述しなかったが、試料微動のＹ軸操作も同様で
ある。
【００２０】
【発明の効果】ＴＶカメラを切り換える操作に連動し
て、観察する試料の微動速度を自動的に切り換えること
によって、オペレータの煩雑な試料微動操作速度の調整
操作をなくすことができる。こうすることにより、操作
性の向上が図れ、正確な像観察移動をすることができ、
装置の大きな特徴となる。
て、観察する試料の微動速度を自動的に切り換えること
によって、オペレータの煩雑な試料微動操作速度の調整
操作をなくすことができる。こうすることにより、操作
性の向上が図れ、正確な像観察移動をすることができ、
装置の大きな特徴となる。
【図１】電顕像を光学的に倍率を変化できるシステムを
備えた試料微動装置の一例を示す構成図。
備えた試料微動装置の一例を示す構成図。
【図２】メモリ内に割り付けた、電顕倍率に対する速度
データとＴＶの電顕倍率補正係数。
データとＴＶの電顕倍率補正係数。
【図３】一般的な透過形電子顕微鏡の構成図。
【図４】ＣＰＵの動作を示すフローチャート。
１…電子銃と加速管、２…電子線、３…コンデンサーレ
ンズ、４…観察する試料、５…対物レンズ、６…投射レ
ンズ、７…蛍光板(１)、８…電顕像(１)、９…試料微動
ステージ、１０−１…Ｘ軸駆動モータ、１０−２…Ｙ軸
駆動モータ、１１−１…Ｘ軸モータドライブ回路、１１
−２…Ｙ軸モータドライブ回路、１２−１…Ｘ軸ＤＡ変
換器、１２−２…Ｙ軸ＤＡ変換器、１３…試料微動制御
装置、１４…ＴＶカメラ選択スイッチ、１５…試料微動
つまみ、１５−１…Ｘ軸試料微動つまみ、１５−２…Ｙ
軸試料微動つまみ、１６…速度調整つまみ、１７…ＴＶ
カメラ(１)、１８…蛍光板(２)、１９…ＴＶカメラ
(２)、２０…電顕像(２)、２１…表示コントローラ、２
２−１…電顕像観察モニター(１)、２２−２…電顕像観
察モニター(２)、２３…インターフェイス、２４…ＣＰ
Ｕ、２５…メモリ、２６…インターフェイス、２７…電
顕倍率と試料微動速度データ、２８…ＴＶの種類とＴＶ
の観察倍率補正係数、３８…ＴＶカメラ(１)の光学レン
ズ、３９…ＴＶカメラ(２)の光学レンズ、４０…電顕倍
率変更つまみ。
ンズ、４…観察する試料、５…対物レンズ、６…投射レ
ンズ、７…蛍光板(１)、８…電顕像(１)、９…試料微動
ステージ、１０−１…Ｘ軸駆動モータ、１０−２…Ｙ軸
駆動モータ、１１−１…Ｘ軸モータドライブ回路、１１
−２…Ｙ軸モータドライブ回路、１２−１…Ｘ軸ＤＡ変
換器、１２−２…Ｙ軸ＤＡ変換器、１３…試料微動制御
装置、１４…ＴＶカメラ選択スイッチ、１５…試料微動
つまみ、１５−１…Ｘ軸試料微動つまみ、１５−２…Ｙ
軸試料微動つまみ、１６…速度調整つまみ、１７…ＴＶ
カメラ(１)、１８…蛍光板(２)、１９…ＴＶカメラ
(２)、２０…電顕像(２)、２１…表示コントローラ、２
２−１…電顕像観察モニター(１)、２２−２…電顕像観
察モニター(２)、２３…インターフェイス、２４…ＣＰ
Ｕ、２５…メモリ、２６…インターフェイス、２７…電
顕倍率と試料微動速度データ、２８…ＴＶの種類とＴＶ
の観察倍率補正係数、３８…ＴＶカメラ(１)の光学レン
ズ、３９…ＴＶカメラ(２)の光学レンズ、４０…電顕倍
率変更つまみ。
Claims (1)
- 【請求項１】一般的な試料操作を可能とする透過形電子
顕微鏡に電顕像を観察するＴＶカメラと、当該電顕像を
光学的に倍率を変化できるＴＶカメラを有する装置にお
いて、ＴＶカメラの切り換え操作によって、観察する試
料の微動速度を自動的に切り換えるようにしたことを特
徴とする透過形電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9183457A JPH1131471A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 透過形電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9183457A JPH1131471A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 透過形電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1131471A true JPH1131471A (ja) | 1999-02-02 |
Family
ID=16136123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9183457A Pending JPH1131471A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 透過形電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1131471A (ja) |
-
1997
- 1997-07-09 JP JP9183457A patent/JPH1131471A/ja active Pending
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