JPH11314754A - プレート吸着方法 - Google Patents
プレート吸着方法Info
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- JPH11314754A JPH11314754A JP12484398A JP12484398A JPH11314754A JP H11314754 A JPH11314754 A JP H11314754A JP 12484398 A JP12484398 A JP 12484398A JP 12484398 A JP12484398 A JP 12484398A JP H11314754 A JPH11314754 A JP H11314754A
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- peripheral portion
- suction
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
- B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 外周部、および外周部以外の領域に少なくと
も１ヶ所の、吸着具と接触してもよい場所を有する薄い
プレートを、変形や破壊を起こさせることなく真空吸着
する方法を提供する。 【解決方法】 蓋状の吸着具で、プレート上の外周部以
外の領域の吸着具と接触してもよい場所に対応させて、
蓋の裏側につきあて部を備えたものを用意し、蓋の縁の
下面とそのつきあて部とを、それぞれプレートの外周部
と、外周部以外の領域の接触してもよい場所に当接した
後、蓋とプレートとで形成される空間を真空にして蓋と
プレートを密着させる。
も１ヶ所の、吸着具と接触してもよい場所を有する薄い
プレートを、変形や破壊を起こさせることなく真空吸着
する方法を提供する。 【解決方法】 蓋状の吸着具で、プレート上の外周部以
外の領域の吸着具と接触してもよい場所に対応させて、
蓋の裏側につきあて部を備えたものを用意し、蓋の縁の
下面とそのつきあて部とを、それぞれプレートの外周部
と、外周部以外の領域の接触してもよい場所に当接した
後、蓋とプレートとで形成される空間を真空にして蓋と
プレートを密着させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はプレートを移動する
ために真空吸着して把持するための方法に関し、特に吸
着のために接触する部分が限られているガラスのような
薄いプレートの吸着方法に関する。
ために真空吸着して把持するための方法に関し、特に吸
着のために接触する部分が限られているガラスのような
薄いプレートの吸着方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の板状体の吸着方法として、図１１
に公知例を示す。
に公知例を示す。
【０００３】例えば平面型表示装置に使用されるガラス
プレートを吸着保持するにはガラスプレート上面に形成
された触れられない素子部をさけ、触れることのできる
ガラスプレート周辺部分をバキュームパッド等により吸
着把持する。別な例として特開昭６２−２６４１１８の
提案を図１２に示す。ベルヌーイチャックという物で圧
縮エアーの作用により吸着物とチャックの間にわずかの
スキマをもたせて、プレート上面には触れることなくプ
レートを吸着把持できる。
プレートを吸着保持するにはガラスプレート上面に形成
された触れられない素子部をさけ、触れることのできる
ガラスプレート周辺部分をバキュームパッド等により吸
着把持する。別な例として特開昭６２−２６４１１８の
提案を図１２に示す。ベルヌーイチャックという物で圧
縮エアーの作用により吸着物とチャックの間にわずかの
スキマをもたせて、プレート上面には触れることなくプ
レートを吸着把持できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１１
に示す従来例においては、以下に示す欠点があった。
に示す従来例においては、以下に示す欠点があった。
【０００５】１．吸着物であるガラスプレートの接触可
能な外周周辺部が、狭い場合、バキュームパッドを配置
することができない。
能な外周周辺部が、狭い場合、バキュームパッドを配置
することができない。
【０００６】２．外周部のみの吸着パッドによるバキュ
ーム吸着では、特にガラスプレートが大型化し、重量が
重くなる場合吸着が困難である。
ーム吸着では、特にガラスプレートが大型化し、重量が
重くなる場合吸着が困難である。
【０００７】３．ガラスプレートが大型化し、また薄肉
化した場合には、外周部のみの吸着で理論上吸着力があ
っても中央部が自重により下方に凸状に変形し、吸着パ
ッドに横方向の力が加わり、吸着が不安定になる。ある
いは、下方に凸状になり、自重によりガラスプレートが
破壊するおそれがある。
化した場合には、外周部のみの吸着で理論上吸着力があ
っても中央部が自重により下方に凸状に変形し、吸着パ
ッドに横方向の力が加わり、吸着が不安定になる。ある
いは、下方に凸状になり、自重によりガラスプレートが
破壊するおそれがある。
【０００８】また、図１２に示す従来例においては、以
下に示す欠点があった。
下に示す欠点があった。
【０００９】１．ベルヌーイチャックはその原理上、圧
縮エアーをプレート表面に非常に速い速度で吹き付けな
ければならない。そのため、表面には、エアーによる力
が働きエアーそのもの、および／またはエアーに含まれ
る異物等により、プレート表面に素子等を形成した場合
これらにダメ−ジを与える。
縮エアーをプレート表面に非常に速い速度で吹き付けな
ければならない。そのため、表面には、エアーによる力
が働きエアーそのもの、および／またはエアーに含まれ
る異物等により、プレート表面に素子等を形成した場合
これらにダメ−ジを与える。
【００１０】特にガラスプレート表面に蛍光体を配置し
たような場合、蛍光体はガラス表面への付着力が非常に
弱く、圧縮エアーの吹き付けにより飛散するおそれがあ
る。
たような場合、蛍光体はガラス表面への付着力が非常に
弱く、圧縮エアーの吹き付けにより飛散するおそれがあ
る。
【００１１】２．ベルヌーイチャックではチャック本体
とプレートは空気層によって把持されているのでチャッ
ク本体とプレートは横方向への位置決め性がない。図１
２においては、チャック本体よりＬ字状の部材がプレー
ト端面付近にあり、それによりプレートの横方向への移
動を防止しているがチャック本体に対する正確な位置決
めをすることができない。これはチャックによりプレー
トをチャック本体を取り付けてあるロボット等により搬
送し、ワークを置く場合、プレートの位置決めが正確で
はないので、正確な場所へプレートを置くことができな
いことを意味する。
とプレートは空気層によって把持されているのでチャッ
ク本体とプレートは横方向への位置決め性がない。図１
２においては、チャック本体よりＬ字状の部材がプレー
ト端面付近にあり、それによりプレートの横方向への移
動を防止しているがチャック本体に対する正確な位置決
めをすることができない。これはチャックによりプレー
トをチャック本体を取り付けてあるロボット等により搬
送し、ワークを置く場合、プレートの位置決めが正確で
はないので、正確な場所へプレートを置くことができな
いことを意味する。
【００１２】本発明の目的は、従来の技術では実施不可
能か、または困難な大型の薄いプレートを真空吸着によ
り吸着する方法を提供することである。
能か、または困難な大型の薄いプレートを真空吸着によ
り吸着する方法を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は次のようである。
明は次のようである。
【００１４】１．外周部、および外周部以外の領域の少
なくとも一部が、吸着具と接触してもよいプレートの、
バキューム配管を備えた蓋状の吸着具を用いる吸着方法
であって、前記蓋状の吸着具の裏面に、前記接触しても
よいプレートの外周部以外の領域に対応するつきあて部
を設け、前記プレート上に前記吸着具を載置し、前記プ
レート外周部には蓋状吸着具の周縁下面が、および前記
プレートの接触してもよい外周以外の領域には、前記蓋
状吸着具のつきあて部の下端が、それぞれ当接するよう
に位置合せをした後、該プレートと該吸着具とにより形
成された空間をバキューム配管を用いて真空として当接
した周縁部を密着させることを特徴とするプレート吸着
方法。
なくとも一部が、吸着具と接触してもよいプレートの、
バキューム配管を備えた蓋状の吸着具を用いる吸着方法
であって、前記蓋状の吸着具の裏面に、前記接触しても
よいプレートの外周部以外の領域に対応するつきあて部
を設け、前記プレート上に前記吸着具を載置し、前記プ
レート外周部には蓋状吸着具の周縁下面が、および前記
プレートの接触してもよい外周以外の領域には、前記蓋
状吸着具のつきあて部の下端が、それぞれ当接するよう
に位置合せをした後、該プレートと該吸着具とにより形
成された空間をバキューム配管を用いて真空として当接
した周縁部を密着させることを特徴とするプレート吸着
方法。
【００１５】２．前記プレートが、平面型画像表示装置
のガラスプレートであり、面上に蛍光体、ブラックスト
ライプおよびアルミメタルバック蒸着層が配設され、ブ
ラックストライプが前記接触してもよい外周以外の領域
であることを特徴とする上記１に記載のプレート吸着方
法。
のガラスプレートであり、面上に蛍光体、ブラックスト
ライプおよびアルミメタルバック蒸着層が配設され、ブ
ラックストライプが前記接触してもよい外周以外の領域
であることを特徴とする上記１に記載のプレート吸着方
法。
【００１６】３．前記プレートが、平面型画像表示装置
のガラスプレートであり、面上に電気配線層および電子
放出素子が配設され、電気配線層が前記接触してもよい
外周部以外の領域であることを特徴とする上記１に記載
のプレート吸着法。
のガラスプレートであり、面上に電気配線層および電子
放出素子が配設され、電気配線層が前記接触してもよい
外周部以外の領域であることを特徴とする上記１に記載
のプレート吸着法。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明が適用されるプレートはそ
の材料、大きさ、重量等に制限はないが、真空によりプ
レートを吸着具に密着させた場合に、内外の圧力差によ
りプレートが破壊あるいは変形するおそれのあるものを
対象にしている。もう一つの条件として、そのプレート
の外周部以外の領域の少なくとも１ケ所に、ある広さを
もつ、接触してもよい部分がることが必要であって、そ
の部分は、広さが広い方がよく、１ケ所の場合はなるべ
くプレートの中心部分にあることが望ましい。さらに、
吸着具に接触してもよいプレートの外周部の巾も広い方
が望ましい。なぜならば、プレートと吸着具の接触時の
位置合せのときの許容範囲を広げることができるからで
ある。
の材料、大きさ、重量等に制限はないが、真空によりプ
レートを吸着具に密着させた場合に、内外の圧力差によ
りプレートが破壊あるいは変形するおそれのあるものを
対象にしている。もう一つの条件として、そのプレート
の外周部以外の領域の少なくとも１ケ所に、ある広さを
もつ、接触してもよい部分がることが必要であって、そ
の部分は、広さが広い方がよく、１ケ所の場合はなるべ
くプレートの中心部分にあることが望ましい。さらに、
吸着具に接触してもよいプレートの外周部の巾も広い方
が望ましい。なぜならば、プレートと吸着具の接触時の
位置合せのときの許容範囲を広げることができるからで
ある。
【００１８】吸着具の周縁の形状、寸法等は当然プレー
トの接触してもよい外周部の大きさ、巾等によって決め
られ、吸着具に備えるつきあて部の形状、数および位置
は、プレートの接触してもよい外周部以外の領域の形状
および位置により決められる。つきあて部の形状は、例
えば突起物状である。
トの接触してもよい外周部の大きさ、巾等によって決め
られ、吸着具に備えるつきあて部の形状、数および位置
は、プレートの接触してもよい外周部以外の領域の形状
および位置により決められる。つきあて部の形状は、例
えば突起物状である。
【００１９】次に実施例を挙げて、さらに詳細に説明す
る。
る。
【００２０】
【実施例】本実施例においては、被吸着物（プレート）
として平面型表示装置に用いられるガラスプレートを対
象にした場合について述べる。
として平面型表示装置に用いられるガラスプレートを対
象にした場合について述べる。
【００２１】図１，２は平面型表示装置のガラスプレー
トを模式的に示す斜視図である。ガラスプレート１は一
辺の長さ１ｍ、厚さ１０ｍｍである。
トを模式的に示す斜視図である。ガラスプレート１は一
辺の長さ１ｍ、厚さ１０ｍｍである。
【００２２】図１においてはプレート１上に蛍光体２が
形成され、蛍光体の間にブラックストライプ３が形成さ
れている。そして蛍光体とブラックストライプをアルミ
メタル蒸着層４が覆っている。アルミメタル層４はブラ
ックストライプ３の一部３ａの部分には形成されていな
い。ブラックストライプは図に示すように長方形で３０
０μｍの巾をもち、長手方向には１０ｍｍにわたりアル
ミメタル層４が存在しない。そのような３ａの部分が複
数（図では４ヶ）にわたり形成された構成となってい
る。ここでアルミメタル層４、蛍光体２は、ガラスとの
付着力が弱く、触れることができない。３ａの部分にの
み接触が可能である。また、位置合せのためのアライメ
ントマーク５ａ，５ｂが形成されている。
形成され、蛍光体の間にブラックストライプ３が形成さ
れている。そして蛍光体とブラックストライプをアルミ
メタル蒸着層４が覆っている。アルミメタル層４はブラ
ックストライプ３の一部３ａの部分には形成されていな
い。ブラックストライプは図に示すように長方形で３０
０μｍの巾をもち、長手方向には１０ｍｍにわたりアル
ミメタル層４が存在しない。そのような３ａの部分が複
数（図では４ヶ）にわたり形成された構成となってい
る。ここでアルミメタル層４、蛍光体２は、ガラスとの
付着力が弱く、触れることができない。３ａの部分にの
み接触が可能である。また、位置合せのためのアライメ
ントマーク５ａ，５ｂが形成されている。
【００２３】図２においては、ガラスプレート１の表面
に電気配線６ａ，６ｂが形成され、発光素子７が６ａ，
６ｂの交点に形成されている。発光素子７は機能上接触
することはできない。電気配線６ａ，６ｂは、巾が３０
０μｍで接触しても差し支えない。８ａ，８ｂは位置合
せのアライメントマークである。ここでアライメントマ
ーク５ａ，５ｂ，８ａ，８ｂはそれぞれ３ａの部分、ま
たは６ａの部分（接触してもよい部分）からの位置が正
確にでている。図１，２に示すガラスプレートは、アラ
イメントマークが形成されている外周付近（略３００ｍ
ｍ）は素子等の形成はなく接触してもよい。
に電気配線６ａ，６ｂが形成され、発光素子７が６ａ，
６ｂの交点に形成されている。発光素子７は機能上接触
することはできない。電気配線６ａ，６ｂは、巾が３０
０μｍで接触しても差し支えない。８ａ，８ｂは位置合
せのアライメントマークである。ここでアライメントマ
ーク５ａ，５ｂ，８ａ，８ｂはそれぞれ３ａの部分、ま
たは６ａの部分（接触してもよい部分）からの位置が正
確にでている。図１，２に示すガラスプレートは、アラ
イメントマークが形成されている外周付近（略３００ｍ
ｍ）は素子等の形成はなく接触してもよい。
【００２４】このようなガラスプレートを用いて平面型
画像表示装置を組み立てるには、ガラスプレートを素子
面より離して把持し、ロボット等により、自由に（水平
移動だけでなく反転も行って）次の工程の加工装置に移
動し、載置することが要求される。
画像表示装置を組み立てるには、ガラスプレートを素子
面より離して把持し、ロボット等により、自由に（水平
移動だけでなく反転も行って）次の工程の加工装置に移
動し、載置することが要求される。
【００２５】図３は、本発明の吸着具の一例を模式的に
示す斜視図である。図中９は吸着具本体で１０のブロッ
クによってロボット装置に取り付けられている。吸着具
９の上面には、画像処理用ＣＣＤカメラ１１，１６が対
角位置に取り付けられている。１８はバキューム用のエ
アー配管である。
示す斜視図である。図中９は吸着具本体で１０のブロッ
クによってロボット装置に取り付けられている。吸着具
９の上面には、画像処理用ＣＣＤカメラ１１，１６が対
角位置に取り付けられている。１８はバキューム用のエ
アー配管である。
【００２６】図４は、図３の断面図で、吸着具９は９ａ
の空洞（掘りこみ）が形成され、その内部につきあて部
が形成されていて、これは当接部材支持柱１９と支持柱
１９の先端に形成されている当接部材２０から構成され
ている。
の空洞（掘りこみ）が形成され、その内部につきあて部
が形成されていて、これは当接部材支持柱１９と支持柱
１９の先端に形成されている当接部材２０から構成され
ている。
【００２７】当接部材２０は、厚さ（巾）が２００μｍ
で長手方向は８ｍｍである。材質はステンレス（金属）
等である。また先端部は吸着具９の下平面と同一平面に
位置している。
で長手方向は８ｍｍである。材質はステンレス（金属）
等である。また先端部は吸着具９の下平面と同一平面に
位置している。
【００２８】吸着具９には、画像カメラ用ののぞき穴１
５が形成され、穴の下側には気密を保つためのガラス板
１４がはめ込まれている。１６はＣＣＤカメラ本体で支
持板１３により吸着具９に固定されている。１２はレン
ズである。１７はバキューム孔でバキュームエアー管１
８が連通している。
５が形成され、穴の下側には気密を保つためのガラス板
１４がはめ込まれている。１６はＣＣＤカメラ本体で支
持板１３により吸着具９に固定されている。１２はレン
ズである。１７はバキューム孔でバキュームエアー管１
８が連通している。
【００２９】図５は、本吸着具下面を示す平面図で、当
接部材支持柱と当接部材（１９，２０），（２１，２
２），（２３，２４），（２５，２６）により構成され
ているつきあて部が複数（ここでは４ヶ）配設されてい
る。
接部材支持柱と当接部材（１９，２０），（２１，２
２），（２３，２４），（２５，２６）により構成され
ているつきあて部が複数（ここでは４ヶ）配設されてい
る。
【００３０】図６に制御の構成を示す。２８は画像処理
装置で１１，１６の画像処理ＣＣＤカメラの画像を基に
ガラスプレート１にあるアライメントマークの位置と、
吸着具の位置を算出する。２９はロボットＮＣコントロ
ーラーで、６軸ロボット２７をプログラム制御し、画像
処理装置２８の算出値に基づいてロボット２７を移動
し、また、Ｉ／Ｏポートを有し、エアーソレノイド３０
のＯＮ／ＯＦＦを行っている。３１はバキュームエジェ
クターである。
装置で１１，１６の画像処理ＣＣＤカメラの画像を基に
ガラスプレート１にあるアライメントマークの位置と、
吸着具の位置を算出する。２９はロボットＮＣコントロ
ーラーで、６軸ロボット２７をプログラム制御し、画像
処理装置２８の算出値に基づいてロボット２７を移動
し、また、Ｉ／Ｏポートを有し、エアーソレノイド３０
のＯＮ／ＯＦＦを行っている。３１はバキュームエジェ
クターである。
【００３１】次に図７を用いて以上の構成においての動
作の説明をする。２７は６軸多関節ロボットでそのロボ
ットの先端に本発明の吸着具９が装着されている。３２
は図１、図２のガラスプレートを搬送するコンベアであ
る。３４は図１、図２に示すガラスプレートを装着し加
工を行う装置で、下台３５に図２のガラスプレートを装
着し上台３６の下面（３６ａ）に図１のガラスプレート
を上下反転してロボット装置２７によって装着する。３
３はコンベア下にある照明で図１、図２のガラスプレー
トの下方より照明し、画像カメラ１１，１６でアライメ
ントマークを読み取るためにある。
作の説明をする。２７は６軸多関節ロボットでそのロボ
ットの先端に本発明の吸着具９が装着されている。３２
は図１、図２のガラスプレートを搬送するコンベアであ
る。３４は図１、図２に示すガラスプレートを装着し加
工を行う装置で、下台３５に図２のガラスプレートを装
着し上台３６の下面（３６ａ）に図１のガラスプレート
を上下反転してロボット装置２７によって装着する。３
３はコンベア下にある照明で図１、図２のガラスプレー
トの下方より照明し、画像カメラ１１，１６でアライメ
ントマークを読み取るためにある。
【００３２】図８に動作のフローチャートを示す。
【００３３】Ｓ１．ロボット２７が被吸着物である図２
のガラスプレート（以後ガラスプレートＡとする）（ガ
ラスプレートＡはコンベア３２により送られ、先端に位
置している。）の上空点に移動。
のガラスプレート（以後ガラスプレートＡとする）（ガ
ラスプレートＡはコンベア３２により送られ、先端に位
置している。）の上空点に移動。
【００３４】Ｓ２．吸着ハンドがガラスプレートＡの上
空点１ｍｍの位置まで下降。画像カメラ１１，１６でア
ライメントマーク８ａ，８ｂが見えるようにする。
空点１ｍｍの位置まで下降。画像カメラ１１，１６でア
ライメントマーク８ａ，８ｂが見えるようにする。
【００３５】Ｓ３．画像カメラ１１，１６でアライメン
ト８ａ，８ｂを読み取る。
ト８ａ，８ｂを読み取る。
【００３６】Ｓ４．画像処理装置２８により、ハンド９
の位置とガラスプレートＡの位置のズレをアライメント
マーク８ａ，８ｂより算出する。
の位置とガラスプレートＡの位置のズレをアライメント
マーク８ａ，８ｂより算出する。
【００３７】その算出結果にしたがいロボット２７が
Ｘ，Ｙ，θ（回転）に微動し吸着ハンド９とガラスプレ
ートＡの位置を目的の値に合せる。
Ｘ，Ｙ，θ（回転）に微動し吸着ハンド９とガラスプレ
ートＡの位置を目的の値に合せる。
【００３８】Ｓ５．吸着ハンド９が下降し、ガラスプレ
ートＡとハンドが接触する。接触したときの状態を図９
に示す。図のようにガラスプレートＡの外周部に吸着具
９が当接し、また素子面の当接可能な部分６ａには当接
部材２０が当接している。６ａに対する位置合せは先の
Ｓ４において既に行われている。
ートＡとハンドが接触する。接触したときの状態を図９
に示す。図のようにガラスプレートＡの外周部に吸着具
９が当接し、また素子面の当接可能な部分６ａには当接
部材２０が当接している。６ａに対する位置合せは先の
Ｓ４において既に行われている。
【００３９】この状態で真空吸着を開始する。吸着具９
の空洞９ａが負圧となり、ガラスプレート１が吸着され
る。このとき大気圧によりガラスプレートの中央部が押
され上方に凸形状となり得るが当接部材２０によりそれ
を防いでいる。
の空洞９ａが負圧となり、ガラスプレート１が吸着され
る。このとき大気圧によりガラスプレートの中央部が押
され上方に凸形状となり得るが当接部材２０によりそれ
を防いでいる。
【００４０】このとき、ガラスプレートには最大７６０
ｍｍＨｇの負圧をかけ得るが、ガラスプレートを吸着で
きるだけの負圧があれば、最大負圧にする必要はない。
本例においては、ガラスの重量Ｗｋｇｗに対し５倍の吸
着力とした。すなわち、
ｍｍＨｇの負圧をかけ得るが、ガラスプレートを吸着で
きるだけの負圧があれば、最大負圧にする必要はない。
本例においては、ガラスの重量Ｗｋｇｗに対し５倍の吸
着力とした。すなわち、
【００４１】
【数１】 の式のＶ（ｍｍＨｇ）である。
【００４２】Ｓ６．ロボットによりハンド上昇し、下台
３５へ移動、所定の場所に下降する。
３５へ移動、所定の場所に下降する。
【００４３】Ｓ７．バキューム負圧をＯＦＦし、ガラス
プレートの吸着を止める。
プレートの吸着を止める。
【００４４】ロボットによりハンド上昇移動し、再びコ
ンベア３２へ戻る。
ンベア３２へ戻る。
【００４５】図１０に図１に示すガラスプレートの吸着
移動のフローチャートを示す。これは図８とほぼ同様で
あるが、Ｓ１４において、ガラスプレートは上台３６の
３６ａへ装着するのでロボット装置２７の先端軸によっ
てハンド９を反転し、上台３６の３６ａへ装着する必要
がある。
移動のフローチャートを示す。これは図８とほぼ同様で
あるが、Ｓ１４において、ガラスプレートは上台３６の
３６ａへ装着するのでロボット装置２７の先端軸によっ
てハンド９を反転し、上台３６の３６ａへ装着する必要
がある。
【００４６】本発明においては、画像により位置合せを
行ったが、ガラスプレート１の外周を治具により位置決
め、固定し（外周部と当接可能域３ａの位置が出ている
前提）その治具とロボットの位置をあらかじめティーチ
ングしておけば画像による位置合せは不要となる。
行ったが、ガラスプレート１の外周を治具により位置決
め、固定し（外周部と当接可能域３ａの位置が出ている
前提）その治具とロボットの位置をあらかじめティーチ
ングしておけば画像による位置合せは不要となる。
【００４７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば従来なし得なかった大面積の薄いプレートのバキュ
ーム吸着が安全かつ確実に行われ、特に平面型画像表示
装置のガラスプレートのバキューム吸着に適用して同装
置の組立てに有効に利用することができる。
れば従来なし得なかった大面積の薄いプレートのバキュ
ーム吸着が安全かつ確実に行われ、特に平面型画像表示
装置のガラスプレートのバキューム吸着に適用して同装
置の組立てに有効に利用することができる。
【図１】本発明が適用できる平面型表示装置に用いられ
るガラスプレートの一例を示す斜視図である。
るガラスプレートの一例を示す斜視図である。
【図２】本発明が適用できる平面型表示装置に用いられ
るガラスプレートの他の例を示す斜視図である。
るガラスプレートの他の例を示す斜視図である。
【図３】本発明の吸着具の一例を示す斜視図である。
【図４】図３の断面図である。
【図５】図３の吸着具の裏面を示す平面図である。
【図６】本発明の平面型表示装置用ガラスプレートに適
用する場合にバキューム吸着の制御の構成を示す図であ
る。
用する場合にバキューム吸着の制御の構成を示す図であ
る。
【図７】図６の制御の構成により行われる動作の説明の
ための模式的斜視図である。
ための模式的斜視図である。
【図８】図６の斜視図における動作のフローチャートで
ある。
ある。
【図９】図６の動作中、Ｓ５の状態のプレートと吸着具
との関係を示す断面図である。
との関係を示す断面図である。
【図１０】図１に示すガラスプレートの吸着具による吸
着移動のフローチャートである。
着移動のフローチャートである。
【図１１】板状体の吸着方法の従来例を示す斜視図であ
る。
る。
【図１２】板状体のベルヌーイチャックによる吸着を説
明する断面図である。
明する断面図である。
１ ガラスプレート ２ 蛍光体 ３ ブラックストライプ ４ アルミメタル蒸着膜 ５ａ，５ｂ アライメントマーク ６ａ，６ｂ 電気配線 ７ 発光素子 ８ａ，８ｂ アライメントマーク ９ 吸着具本体 ９ａ 空洞（掘りこみ） １０ ブロック １１ ＣＣＤカメラ（画像カメラ） １２ レンズ １３ カメラ装着具 １４ ガラス板 １５ のぞき穴 １６ ＣＣＤカメラ（画像カメラ） １７ バキューム孔 １８ バキューム配管 １９ 当接部材支持ブロック（つきあて部） ２０ 当接部材（つきあて部） ２１ 当接部材支持ブロック（つきあて部） ２２ 当接部材（つきあて部） ２３ 当接部材支持ブロック（つきあて部） ２４ 当接部材（つきあて部） ２５ 当接部材支持ブロック（つきあて部） ２６ 当接部材（つきあて部） ２７ ロボット ２８ 画像処理装置 ２９ ロボットＮＣコントローラー ３０ エアーソレノイド ３１ バキュームエジェクター ３２ コンベア ３３ 照明装置 ３４ 加工装置 ３５ 下台 ３６ 上台 ３７ バキュームパッド ３８ ベルヌーイチャック ３９ 外側支持棒
Claims (3)
- 【請求項１】 外周部、および外周部以外の領域の少な
くとも一部が、吸着具と接触してもよいプレートの、バ
キューム配管を備えた蓋状の吸着具を用いる吸着方法で
あって、前記蓋状の吸着具の裏面に、前記接触してもよ
いプレートの外周部以外の領域に対応するつきあて部を
設け、前記プレート上に前記吸着具を載置し、前記プレ
ート外周部には蓋状吸着具の周縁下面が、および前記プ
レートの接触してもよい外周以外の領域には、前記蓋状
吸着具のつきあて部の下端が、それぞれ当接するように
位置合せをした後、該プレートと該吸着具とにより形成
された空間をバキューム配管を用いて真空として当接し
た周縁部を密着させることを特徴とするプレート吸着方
法。 - 【請求項２】 前記プレートが、平面型画像表示装置の
ガラスプレートであり、面上に蛍光体、ブラックストラ
イプおよびアルミメタルバック蒸着層が配設され、ブラ
ックストライプが前記接触してもよい外周部以外の領域
であることを特徴とする請求項１に記載のプレート吸着
方法。 - 【請求項３】 前記プレートが、平面型画像表示装置の
ガラスプレートであり、面上に電気配線層および電子放
出素子が配設され、電気配線層が前記接触してもよい外
周部以外の領域であることを特徴とする請求項１に記載
のプレート吸着法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12484398A JP3919330B2 (ja) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | 平面型画像表示装置のプレートの搬送方法、および平面型画像表示装置の組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12484398A JP3919330B2 (ja) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | 平面型画像表示装置のプレートの搬送方法、および平面型画像表示装置の組立方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11314754A true JPH11314754A (ja) | 1999-11-16 |
| JP3919330B2 JP3919330B2 (ja) | 2007-05-23 |
Family
ID=14895480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12484398A Expired - Fee Related JP3919330B2 (ja) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | 平面型画像表示装置のプレートの搬送方法、および平面型画像表示装置の組立方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3919330B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100755232B1 (ko) | 2006-04-27 | 2007-09-05 | (주)해빛정보 | 필름-필터 분리 장치 및 그 방법 |
| JP2008053572A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリプレグシート固定装置とプリプレグシート固定方法及び多層プリント配線基板の製造方法 |
-
1998
- 1998-05-07 JP JP12484398A patent/JP3919330B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| KR100755232B1 (ko) | 2006-04-27 | 2007-09-05 | (주)해빛정보 | 필름-필터 분리 장치 및 그 방법 |
| JP2008053572A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリプレグシート固定装置とプリプレグシート固定方法及び多層プリント配線基板の製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3919330B2 (ja) | 2007-05-23 |
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