JPH11314904A - オゾン発生装置の無声放電電極 - Google Patents
オゾン発生装置の無声放電電極Info
- Publication number
- JPH11314904A JPH11314904A JP13598698A JP13598698A JPH11314904A JP H11314904 A JPH11314904 A JP H11314904A JP 13598698 A JP13598698 A JP 13598698A JP 13598698 A JP13598698 A JP 13598698A JP H11314904 A JPH11314904 A JP H11314904A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- flow space
- inflow
- side enlarged
- outflow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 22
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 14
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 放電電極と誘導電極との間の隙間を均一
に形成して、所定濃度のオゾンを安定して発生させるこ
とを目的としている。 【解決手段】 外側の第一電極２と内側の第二電極３と
を同軸に配置し、これらの第一電極２と第二電極３との
間に筒状の原料ガスの流通空間５を形成し、この流通空
間５の両端に、前記第一電極２と前記第二電極３との間
隔を保持する機能を有するシール部材４，４を設ける。
前記流通空間５の流入部に流入側拡大部８を、前記流通
空間５の流出部に流出側拡大部９を、それぞれ前記流通
空間５の周方向に沿って形成する。
に形成して、所定濃度のオゾンを安定して発生させるこ
とを目的としている。 【解決手段】 外側の第一電極２と内側の第二電極３と
を同軸に配置し、これらの第一電極２と第二電極３との
間に筒状の原料ガスの流通空間５を形成し、この流通空
間５の両端に、前記第一電極２と前記第二電極３との間
隔を保持する機能を有するシール部材４，４を設ける。
前記流通空間５の流入部に流入側拡大部８を、前記流通
空間５の流出部に流出側拡大部９を、それぞれ前記流通
空間５の周方向に沿って形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、オゾン発生装置
に用いる無声放電電極に関するものである。
に用いる無声放電電極に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】オゾン発生装置の一つとして無声放電式
のものがある。この無声放電式のオゾン発生装置は、放
電電極と誘導電極とを所定の隙間をおいて配置し、両電
極間に放電を生じさせる構成になっており、前記隙間に
酸素や空気などの原料ガスを流通させ、放電のエネルギ
によりオゾンを発生させる。音がほとんど聞こえない放
電であるため、無声放電と呼ばれている。
のものがある。この無声放電式のオゾン発生装置は、放
電電極と誘導電極とを所定の隙間をおいて配置し、両電
極間に放電を生じさせる構成になっており、前記隙間に
酸素や空気などの原料ガスを流通させ、放電のエネルギ
によりオゾンを発生させる。音がほとんど聞こえない放
電であるため、無声放電と呼ばれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記オゾン発生装置に
おいて、放電電極と誘導電極との間の隙間は、均一に形
成する必要がある。均一でないと、放電むらが生じ、所
定濃度のオゾンを発生させることができない。この発明
は、放電電極と誘導電極との間の隙間を均一に形成し
て、所定濃度のオゾンを安定して発生させることを目的
としている。
おいて、放電電極と誘導電極との間の隙間は、均一に形
成する必要がある。均一でないと、放電むらが生じ、所
定濃度のオゾンを発生させることができない。この発明
は、放電電極と誘導電極との間の隙間を均一に形成し
て、所定濃度のオゾンを安定して発生させることを目的
としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、外側の第一電極と内側の第二電極とを同軸に配置
し、これらの第一電極と第二電極との間に筒状の原料ガ
スの流通空間を形成し、この流通空間の両端に、前記第
一電極と前記第二電極との間隔を保持する機能を有する
シール部材を設けたことを特徴としている。また、請求
項２に記載の発明は、前記流通空間の流入部に流入側拡
大部を、前記流通空間の流出部に流出側拡大部を、それ
ぞれ前記流通空間の周方向に沿って形成したことを特徴
としている。
は、外側の第一電極と内側の第二電極とを同軸に配置
し、これらの第一電極と第二電極との間に筒状の原料ガ
スの流通空間を形成し、この流通空間の両端に、前記第
一電極と前記第二電極との間隔を保持する機能を有する
シール部材を設けたことを特徴としている。また、請求
項２に記載の発明は、前記流通空間の流入部に流入側拡
大部を、前記流通空間の流出部に流出側拡大部を、それ
ぞれ前記流通空間の周方向に沿って形成したことを特徴
としている。
【０００５】
【発明の実施の形態】この発明の無声放電電極は、外側
の第一電極と内側の第二電極とを備え、これらの電極
を、間隔保持兼用の一対のシール部材を介して同軸に配
置する。前記第一電極と前記第二電極との間には、酸素
や空気などの原料ガスが流通する筒状の流通空間を形成
し、この流通空間の両端に前記シール部材を設ける。前
記シール部材は、前記第一電極と前記第二電極との間隔
を保持する機能と、前記流通空間の両端を密封する機能
とを有する。前記第一電極および前記第二電極に電圧を
印加して、前記流通空間に放電を発生させ、前記流通空
間を流れる原料ガスからオゾンを発生させる。
の第一電極と内側の第二電極とを備え、これらの電極
を、間隔保持兼用の一対のシール部材を介して同軸に配
置する。前記第一電極と前記第二電極との間には、酸素
や空気などの原料ガスが流通する筒状の流通空間を形成
し、この流通空間の両端に前記シール部材を設ける。前
記シール部材は、前記第一電極と前記第二電極との間隔
を保持する機能と、前記流通空間の両端を密封する機能
とを有する。前記第一電極および前記第二電極に電圧を
印加して、前記流通空間に放電を発生させ、前記流通空
間を流れる原料ガスからオゾンを発生させる。
【０００６】前記第一電極および前記第二電極の形状
は、流通空間の寸法精度を高めるために円管状にするの
が好ましいが、角管状（断面が略多角形状）にすること
も可能である。また、外側の前記第一電極を放電電極と
し、内側の前記第二電極を誘導電極とすることもできる
し、その逆に、外側の前記第一電極を誘導電極とし、内
側の前記第二電極を放電電極とすることもできる。前記
シール部材としては、たとえばＯリングを用いる。
は、流通空間の寸法精度を高めるために円管状にするの
が好ましいが、角管状（断面が略多角形状）にすること
も可能である。また、外側の前記第一電極を放電電極と
し、内側の前記第二電極を誘導電極とすることもできる
し、その逆に、外側の前記第一電極を誘導電極とし、内
側の前記第二電極を放電電極とすることもできる。前記
シール部材としては、たとえばＯリングを用いる。
【０００７】前記流通空間の流入部に流入側拡大部を形
成し、前記流通空間の流出部に流出側拡大部を形成す
る。これらの拡大部は、前記流通空間の周方向に沿っ
て、周方向全体にわたって形成する。原料ガスは、前記
流入側拡大部を経由してから、前記流通空間に流入す
る。前記流通空間で放電エネルギを受けて、原料ガスか
らオゾンが発生し、発生したオゾンは、前記流出側拡大
部に集合してから、外部に流出する。このように、前記
流入側拡大部および前記流出側拡大部の働きにより、前
記流通空間における流体の流れに偏流が発生せず、流体
の流れを均一なものとすることができる。
成し、前記流通空間の流出部に流出側拡大部を形成す
る。これらの拡大部は、前記流通空間の周方向に沿っ
て、周方向全体にわたって形成する。原料ガスは、前記
流入側拡大部を経由してから、前記流通空間に流入す
る。前記流通空間で放電エネルギを受けて、原料ガスか
らオゾンが発生し、発生したオゾンは、前記流出側拡大
部に集合してから、外部に流出する。このように、前記
流入側拡大部および前記流出側拡大部の働きにより、前
記流通空間における流体の流れに偏流が発生せず、流体
の流れを均一なものとすることができる。
【０００８】この発明によれば、前記第一電極と前記第
二電極とが前記シール部材を介して支持された構成にな
っており、前記第一電極と前記第二電極とが偏心するこ
とがなく、前記第一電極と前記第二電極との間隔、いわ
ゆるギャップを均一にすることができる。したがって、
放電むらを防止して、所定濃度のオゾンを安定して発生
させることができる。また、前記シール部材がスペーサ
兼シールの役割を果たし、無声放電電極を、基本的に、
前記第一電極、前記第二電極および前記シール部材の三
部品で構成し、部品点数を少なくして、構造が簡単で安
価な構成とすることができる。
二電極とが前記シール部材を介して支持された構成にな
っており、前記第一電極と前記第二電極とが偏心するこ
とがなく、前記第一電極と前記第二電極との間隔、いわ
ゆるギャップを均一にすることができる。したがって、
放電むらを防止して、所定濃度のオゾンを安定して発生
させることができる。また、前記シール部材がスペーサ
兼シールの役割を果たし、無声放電電極を、基本的に、
前記第一電極、前記第二電極および前記シール部材の三
部品で構成し、部品点数を少なくして、構造が簡単で安
価な構成とすることができる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の好適な実施例について、図
面に基づいて説明する。図１はこの発明の一実施例を示
す縦断面図、図２は図１のII−II線縦断面図、図３は図
１のIII −III 線縦断面図である。
面に基づいて説明する。図１はこの発明の一実施例を示
す縦断面図、図２は図１のII−II線縦断面図、図３は図
１のIII −III 線縦断面図である。
【００１０】この発明における無声放電電極１は、第一
電極２と第二電極３とシール部材４とから成っている。
前記第一電極２および前記第二電極３は、円管状をして
おり、一対の前記シール部材４，４を介して同軸に配置
され、全体が二重管構造になっている。図示した実施例
では、外側の前記第一電極２を放電電極とし、内側の前
記第二電極３を誘導電極としている。前記第一電極２と
前記第二電極３との間には、酸素や空気などの原料ガス
が流通する円筒状の流通空間５を形成している（前記第
一電極２と前記第二電極３との間隔、いわゆるギャップ
は約１mm）。前記シール部材４は、この流通空間５の両
端に配置され、スペーサ兼シールの役割を果たしてい
る。前記シール部材４としては、たとえばＯリングを用
いる。
電極２と第二電極３とシール部材４とから成っている。
前記第一電極２および前記第二電極３は、円管状をして
おり、一対の前記シール部材４，４を介して同軸に配置
され、全体が二重管構造になっている。図示した実施例
では、外側の前記第一電極２を放電電極とし、内側の前
記第二電極３を誘導電極としている。前記第一電極２と
前記第二電極３との間には、酸素や空気などの原料ガス
が流通する円筒状の流通空間５を形成している（前記第
一電極２と前記第二電極３との間隔、いわゆるギャップ
は約１mm）。前記シール部材４は、この流通空間５の両
端に配置され、スペーサ兼シールの役割を果たしてい
る。前記シール部材４としては、たとえばＯリングを用
いる。
【００１１】前記第一電極２の外壁には、前記流通空間
５に連通させて、原料ガスが流入する流入管６と、オゾ
ンが流出する流出管７とを接続している。前記流通空間
５の流入部には流入側拡大部８を形成し、前記流通空間
５の流出部には流出側拡大部９を形成している。これら
の流入側拡大部８および流出側拡大部９は、前記流通空
間５の周方向に沿って、周方向全体にわたって形成して
いる（半径方向の高さは約８mm、軸方向の長さは約３０
mm）。前記流入側拡大部８および前記流出側拡大部９
は、いわゆるバッファの役割を果たし、原料ガスの流れ
が前記流入管６から前記流出管７へ向かって短絡的に流
れるのを防止する。前記第一電極２の内壁には、前記流
入側拡大部８および前記流出側拡大部９の外側位置に、
それぞれ、前記シール部材４を固定する溝部１０を設け
ている。
５に連通させて、原料ガスが流入する流入管６と、オゾ
ンが流出する流出管７とを接続している。前記流通空間
５の流入部には流入側拡大部８を形成し、前記流通空間
５の流出部には流出側拡大部９を形成している。これら
の流入側拡大部８および流出側拡大部９は、前記流通空
間５の周方向に沿って、周方向全体にわたって形成して
いる（半径方向の高さは約８mm、軸方向の長さは約３０
mm）。前記流入側拡大部８および前記流出側拡大部９
は、いわゆるバッファの役割を果たし、原料ガスの流れ
が前記流入管６から前記流出管７へ向かって短絡的に流
れるのを防止する。前記第一電極２の内壁には、前記流
入側拡大部８および前記流出側拡大部９の外側位置に、
それぞれ、前記シール部材４を固定する溝部１０を設け
ている。
【００１２】放電電極として働く前記第一電極２の材質
は、オゾンにさらされても腐食しにくいステンレス鋼を
用いる。また、表面のみ腐食しにくい材質で被覆した構
成にすることもできる。たとえば、表面をアルマイト加
工したアルミニウムの引き抜き管や、ステンレス鋼とア
ルミニウムとの引き抜きクラッド材（外側がアルミニウ
ムで内側がステンレス鋼）などを用いることもできる。
前記第一電極２の長さは、外径の約４倍に設定してい
る。
は、オゾンにさらされても腐食しにくいステンレス鋼を
用いる。また、表面のみ腐食しにくい材質で被覆した構
成にすることもできる。たとえば、表面をアルマイト加
工したアルミニウムの引き抜き管や、ステンレス鋼とア
ルミニウムとの引き抜きクラッド材（外側がアルミニウ
ムで内側がステンレス鋼）などを用いることもできる。
前記第一電極２の長さは、外径の約４倍に設定してい
る。
【００１３】誘導電極とした働く前記第二電極３は、誘
導体としてのガラス管１１と、このガラス管１１の内側
に形成した導電性被膜１２とから成っている。この導電
性被膜１２は、メッキあるいは導電性塗料や導電性接着
剤の塗布により、形成される。前記ガラス管１１の代わ
りに、セラミックス管を用いることもできる。
導体としてのガラス管１１と、このガラス管１１の内側
に形成した導電性被膜１２とから成っている。この導電
性被膜１２は、メッキあるいは導電性塗料や導電性接着
剤の塗布により、形成される。前記ガラス管１１の代わ
りに、セラミックス管を用いることもできる。
【００１４】前記第一電極２および前記第二電極３に
は、交流電源１３を接続している。前記第一電極２およ
び前記第二電極３に交流電圧（約１０ｋＶ）を印加し
て、前記流通空間５に放電を発生させるようにしてい
る。
は、交流電源１３を接続している。前記第一電極２およ
び前記第二電極３に交流電圧（約１０ｋＶ）を印加し
て、前記流通空間５に放電を発生させるようにしてい
る。
【００１５】以上の構成において、その作用を説明す
る。前記第一電極２および前記第二電極３に前記交流電
源１３によって交流電圧を印加し、前記流通空間５に放
電を発生させる。前記流入管６から原料ガスを供給する
と、原料ガスは、まず前記流入側拡大部８に流入し、こ
の流入側拡大部８を経由して前記流通空間５に流入す
る。原料ガスは前記流通空間５において放電エネルギを
受け、オゾンが発生する。発生したオゾンは、前記流出
側拡大部９に集合し、この流出側拡大部９を経由して前
記流出管７から外部に流出する。
る。前記第一電極２および前記第二電極３に前記交流電
源１３によって交流電圧を印加し、前記流通空間５に放
電を発生させる。前記流入管６から原料ガスを供給する
と、原料ガスは、まず前記流入側拡大部８に流入し、こ
の流入側拡大部８を経由して前記流通空間５に流入す
る。原料ガスは前記流通空間５において放電エネルギを
受け、オゾンが発生する。発生したオゾンは、前記流出
側拡大部９に集合し、この流出側拡大部９を経由して前
記流出管７から外部に流出する。
【００１６】このように、原料ガスおよびオゾンは、前
記流入側拡大部８および前記流出側拡大部９を経由して
流入、流出するので、前記流通空間５における原料ガス
およびオゾンの流れに偏流が発生せず、その流れを均一
なものとすることができる。原料ガスとしては、予め除
湿した乾燥空気を用い、コンプレッサ（図示省略）によ
り約０．５kg／cm2 の圧力で供給する。
記流入側拡大部８および前記流出側拡大部９を経由して
流入、流出するので、前記流通空間５における原料ガス
およびオゾンの流れに偏流が発生せず、その流れを均一
なものとすることができる。原料ガスとしては、予め除
湿した乾燥空気を用い、コンプレッサ（図示省略）によ
り約０．５kg／cm2 の圧力で供給する。
【００１７】また、前記第一電極２と前記第二電極３と
を前記シール部材４を介して支持する構成にすることに
より、前記シール部材４が全周均一に弾性変形して縮
み、前記第一電極２と前記第二電極３とが偏心すること
がない。したがって、前記第一電極２と前記第二電極３
との間の隙間を均一にすることができ、放電むらがな
く、所定濃度のオゾンが安定して発生する。
を前記シール部材４を介して支持する構成にすることに
より、前記シール部材４が全周均一に弾性変形して縮
み、前記第一電極２と前記第二電極３とが偏心すること
がない。したがって、前記第一電極２と前記第二電極３
との間の隙間を均一にすることができ、放電むらがな
く、所定濃度のオゾンが安定して発生する。
【００１８】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、第一電
極と第二電極とが間隔保持兼用のシール部材を介して配
置されるので、第一電極と第二電極とが偏心することが
なく、両電極間の隙間を均一にすることができる。した
がって、放電むらを防止して、所定濃度のオゾンを安定
して発生させることができる。また、シール部材がスペ
ーサ兼シールの役割を果たし、別部品としてスペーサを
設ける必要がなく、部品点数を少なくして、構造が簡単
で安価な構成とすることができる。さらに、請求項２に
記載の発明によれば、流入側拡大部および流出側拡大部
の働きにより、流通空間における流体の流れに偏流が発
生せず、流体の流れを均一なものとすることができる。
極と第二電極とが間隔保持兼用のシール部材を介して配
置されるので、第一電極と第二電極とが偏心することが
なく、両電極間の隙間を均一にすることができる。した
がって、放電むらを防止して、所定濃度のオゾンを安定
して発生させることができる。また、シール部材がスペ
ーサ兼シールの役割を果たし、別部品としてスペーサを
設ける必要がなく、部品点数を少なくして、構造が簡単
で安価な構成とすることができる。さらに、請求項２に
記載の発明によれば、流入側拡大部および流出側拡大部
の働きにより、流通空間における流体の流れに偏流が発
生せず、流体の流れを均一なものとすることができる。
【図１】この発明の一実施例を示す縦断面図である。
【図２】図１のII−II線縦断面図である。
【図３】図１のIII −III 線縦断面図である。
１ 無声放電電極 ２ 第一電極 ３ 第二電極 ４ シール部材 ５ 流通空間 ８ 流入側拡大部 ９ 流出側拡大部
Claims (2)
- 【請求項１】 外側の第一電極２と内側の第二電極３と
を同軸に配置し、これらの第一電極２と第二電極３との
間に筒状の原料ガスの流通空間５を形成し、この流通空
間５の両端に、前記第一電極２と前記第二電極３との間
隔を保持する機能を有するシール部材４，４を設けたこ
とを特徴とするオゾン発生装置の無声放電電極。 - 【請求項２】 前記流通空間５の流入部に流入側拡大部
８を、前記流通空間５の流出部に流出側拡大部９を、そ
れぞれ前記流通空間５の周方向に沿って形成したことを
特徴とする請求項１に記載のオゾン発生装置の無声放電
電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13598698A JPH11314904A (ja) | 1998-04-30 | 1998-04-30 | オゾン発生装置の無声放電電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13598698A JPH11314904A (ja) | 1998-04-30 | 1998-04-30 | オゾン発生装置の無声放電電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11314904A true JPH11314904A (ja) | 1999-11-16 |
Family
ID=15164531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13598698A Pending JPH11314904A (ja) | 1998-04-30 | 1998-04-30 | オゾン発生装置の無声放電電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11314904A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024089179A (ja) * | 2022-12-21 | 2024-07-03 | 株式会社荏原製作所 | ガス生成装置 |
-
1998
- 1998-04-30 JP JP13598698A patent/JPH11314904A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024089179A (ja) * | 2022-12-21 | 2024-07-03 | 株式会社荏原製作所 | ガス生成装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5417936A (en) | Plate-type ozone generator | |
| KR920003820A (ko) | 이행식 전기 아크용 플라즈마 버너 | |
| JP2018040721A5 (ja) | ||
| HU228019B1 (en) | Ozone generating device | |
| US5145653A (en) | Device for generating ozone | |
| US5147614A (en) | Self-contained tubular corona cell for generating ozone | |
| KR100404382B1 (ko) | 고휘도 광조사 장치 | |
| KR102415353B1 (ko) | 이중오존발생을 위한 방전관 | |
| JPH11314904A (ja) | オゾン発生装置の無声放電電極 | |
| KR100353267B1 (ko) | 오존발생기용 방전관 | |
| JP5853914B2 (ja) | 放電イオン化電流検出器およびガスクロマトグラフ | |
| US5254317A (en) | Device for generating ozone | |
| JP2002255514A (ja) | オゾン発生装置 | |
| JP5029347B2 (ja) | オゾン発生器 | |
| KR100392509B1 (ko) | 오존방전관 및 이를 이용한 오존발생장치 | |
| JP3311382B2 (ja) | パイプ型オゾン発生器 | |
| JP3163919B2 (ja) | 誘電体バリア放電ランプ装置 | |
| JP2013252985A (ja) | オゾン発生装置 | |
| JPS61165944A (ja) | 高圧放電灯 | |
| KR100312288B1 (ko) | 2중관을 이용한 오존발생기 | |
| JP5215686B2 (ja) | オゾン発生器及びその組立方法 | |
| US9321645B2 (en) | Ozone generator | |
| JPS5963785A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| KR930020781A (ko) | 가스레이저 장치 | |
| JPH0624708A (ja) | 径の異なる二本の金属管に、ホーロー 被膜を施したオゾン発生器 |