JPH11317089A - 高電圧発生回路 - Google Patents
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Abstract
る高電圧発生回路を提供すること。 【解決手段】高電圧発生回路は、第1及び第2ポンプ制
御信号に従って昇圧動作して出力電圧を生成する電荷ポ
ンプ部10と、外部信号に応答して電荷ポンプ部10の
出力電圧を第1の所定の抵抗比により分圧して第1出力
信号VREG1を出力する第1レベル検出部20と、第
1出力信号VREG1と基準電圧VREFとを比較して
第1ポンプ制御信号CLKXを生成する第1ポンプ制御
部30と、第1ポンプ制御部の比較出力に応答して出力
電圧を第2の所定の抵抗比により分圧して第2出力信号
VREG2を出力する第2レベル検出部40と、第2出
力信号VREG2と基準電圧VREFとを比較して第2
ポンプ制御信号CLKYを出力する第2ポンプ制御部5
0とを備える。
Description
し、詳しくは、電荷ポンプ部により生成される高出力電
圧の変動を低減する高電圧発生回路に関する。
ッシュセルをプログラム又は消去するとき、高電圧を発
生させる電荷ポンプ(charge pump)回路を必要とする。
圧発生回路を説明する。図1は従来の技術の高電圧発生
回路を示す回路図である。従来の技術の高電圧発生回路
は、図1に示すように、複数個の電荷ポンプ部100、
出力電圧センサ部200、基準電圧発生部300、電圧
比較部400、そしてクロック制御部500から構成さ
れる。
ドレインに共通にVcc電源が印加され且つソースを出
力端とするNMOSトランジスタ11により、Vcc電
源から供給された電圧を受け取る。前記NMOSトラン
ジスタ11により高電位電源Vccからの電圧を受ける
電荷ポンプ部100は、互いに異なる位相の第1、第2
ポンプ制御信号17、18をそれぞれ入力する第1、第
2キャパシタ13、15と、前記第1、第2キャパシタ
13、15にそれぞれゲートが接続され第1、第2NM
OSトランジスタ14、16とから構成される。第1N
MOSトランジスタ14のドレイン及びゲートは、NM
OSトランジスタ11のソースに共通接続されている。
第2NMOSトランジスタ16のドレイン及びゲートは
第1NMOSトランジスタ14のソースに接続され、か
つ出力端としてのソースを有する。
0では、前記NMOSトランジスタ11によりVcc電
源から供給された電圧が第1NMOSトランジスタ14
のドレインにVcc−Vtにプリチャージされる。この
際、第1キャパシタ13の入力は「0」である。前記第
1キャパシタ13の両端間の電圧差を維持することを利
用して、第1ポンプ制御信号17がVcc電源レベルの
時に第1NMOSトランジスタ14のドレインは2Vc
c−Vtだけ上がり、第2NMOSトランジスタ16の
ドレインは2(Vcc−Vt)にプリチャージされる。
この際、第2キャパシタ15の第2ポンプ制御信号18
は0Vであり、第2キャパシタ15の両端の電圧差は2
(Vcc−Vt)となる。そして、電荷ポンプ部100
は、第1、第2ポンプ制御信号17、18に従って昇圧
動作を行う。こうして電荷ポンプ部100を直列接続す
ることにより、出力電圧19が段階的に昇圧される。
とVssとの間に直列接続される第1、第2抵抗20
1、202と、前記第1抵抗201と並列接続され、二
つのトランジスタ205、206から構成される動作レ
ジスタ回路部250とを備える。出力電圧センサ部20
0は更に前記各トランジスタの出力端にそれぞれ接続さ
れた第1、第2EEPROMヒューズ回路部210、2
20を備える。
19と第1、第2レジスタ201、202間の出力ノー
ド207との間に第1トランジスタ205と第1レジス
タ203とが直列接続され、更に第2トランジスタ20
6と第2レジスタ204とが直列接続される。第1、第
2トランジスタ205、206のゲートと第1、第2E
EPROMヒューズ回路部210、220の出力端23
0、240とが接続されている。
10、220は、ドレインにVcc電源が印加され、出
力端としてのソースとゲートとが互いに接続される第
1、第2デプレーショントランジスタ211、221を
備えている。第1、第2EEPROMヒューズ回路部2
10、220は、更に第1、第2デプレーショントラン
ジスタ211、221の出力端にそれぞれドレインが接
続され、コントロールゲートにリセット信号252、2
54が印加され、ソースにVss電源が印加されるフロ
ーティングゲート薄膜トランジスタ212、222を備
える。又、第1、第2EEPROMヒューズ回路部21
0、220は、第1、第2デプレーショントランジスタ
211、221の出力端と、動作レジスタ回路部250
の第1、第2トランジスタ205、206のゲートとの
間にそれぞれ接続される第1、第2インバーター21
3、223を備える。
12、222はEEPROMヒューズ回路部210、2
20を動作させるに必要なデータを記憶する。すなわ
ち、フローティングゲート薄膜トランジスタ212、2
22のドレインに印加される制御信号251、253に
よりプログラム或いは消去動作が行われ、EEPROM
ヒューズ回路部210、220はその薄膜トランジスタ
212、222に格納されたデータに基づいて電荷ポン
プ部100の所定の出力電圧の大きさを決定する。
ss電源との間に直列接続される第1、第2デプレーシ
ョントランジスタ302、305と、第1、第2デプレ
ーショントランジスタ302、305の間に直列接続さ
れる第1、第2NMOSトランジスタ303、304
と、第1、第2NMOSトランジスタ303、304の
ゲートに共通に接続されたインバーター301とを有す
る。インバーター301は、書込イネーブル信号(バー
WE)を受け取り、反転書込イネーブル信号を出力す
る。
ジスタ302、305のゲートはVss電源に接続さ
れ、第1、第2NMOSトランジスタ303、304間
の出力ノード310から基準電圧が出力される。
増幅器であり、二つのPMOSトランジスタ403、4
04と3つのNMOSトランジスタ401、402、4
05とを備える。NMOSトランジスタ405のゲート
は書込イネーブル信号(バーWE)を反転させて出力す
るインバーター406に接続される。電圧比較部400
の出力は3つのインバーター407、408、409を
介して出力される。
0を介して出力される基準電圧と、ノード260を介し
て出力される抵抗分配により決定される電圧とを比較し
てインバーター407の入力に比較出力信号を供給す
る。
信号OP、書込イネーブル信号バーWEそしてノード4
10を介しての電圧比較部400をそれぞれ入力する第
1、第2NORゲート501、502と、第1NORゲ
ート501の出力信号を反転させて第1ポンプ制御信号
17を出力する第1インバーター503と、第2NOR
ゲート502の出力信号を遅延させて第2ポンプ制御信
号18を出力する第2、第3インバーター504、50
5とを備える。
信号(バーWE)が「L」の時にイネーブルされ、ノー
ド410が「L」の時にインバーター503、504、
505を介して位相の互いに異なる第1、第2ポンプ制
御信号17、18がクロックパルス信号OPに従って発
生する。
上昇し、出力電圧センサ部200により所望の出力電圧
の大きさが決定される。例えば、出力電圧19が所定の
電圧よりも低い場合、ノード310の電圧がノード26
0の電圧よりも高くなるので、インバーター407には
比較出力「H」が供給され、クロック制御部500はノ
ード410を介して出力信号「L」を受け取る。従っ
て、各NORゲート501、502はノード410のレ
ベルに関係なくクロックパルス信号OPにより決定され
た信号を出力する。こうして、電荷ポンプ部100に互
いに異なる位相を有する第1、第2ポンプ制御信号1
7、18が供給され、電荷ポンプ部100が正常動作す
る。
場合、ノード310の電圧がノード260の電圧よりも
低くなるので、インバーター407には比較出力「L」
が供給され、クロック制御部500はノード410を介
して出力信号「H」を受け取る。従って、NORゲート
501、502はクロックパルス信号OPに関係なく
「L」レベルの信号を出力する。こうして電荷ポンプ部
100にそれぞれ「H」、「L」に固定された第1、第
2ポンプ制御信号17、18が供給され、電荷ポンプ部
100の動作が停止する。
例の高電圧発生回路においては、出力電圧が所定の電圧
よりも高い場合に電荷ポンプの動作が停止するため、プ
ログラムに際して出力電圧から電流を供給する際に出力
電圧が急激に落ちるという問題点があった。すなわち、
このように出力電圧を制限する過程で電圧変動(voltage
ripple)が大きくなってプログラム遂行能力が悪くな
る。
なされたものであり、その目的は、電荷ポンプ部の出力
電圧を制限する過程で出力電圧の急激な変動を低減する
ことが可能な高電圧発生回路を提供することにある。
の請求項1に記載の高電圧発生回路は、第1及び第2ポ
ンプ制御信号に従って昇圧動作して出力電圧を生成する
電荷ポンプ部と、外部信号に応答して電荷ポンプ部の出
力電圧を第1の所定の抵抗比により分圧して第1出力信
号を出力する第1レベル検出部と、前記第1レベル検出
部の第1出力信号、基準電圧及び外部の第1クロック信
号を受けとり、第1出力信号と基準電圧とを比較して第
1ポンプ制御信号を生成する第1ポンプ制御部と、前記
第1ポンプ制御部の比較出力に応答して出力電圧を第2
の所定の抵抗比により分圧して第2出力信号を出力する
第2レベル検出部と、前記第2レベル検出部の第2出力
信号、基準電圧及び前記第1クロック信号とは反対位相
を有する第2クロック信号を受けとり、第2出力信号と
基準電圧とを比較して第2ポンプ制御信号を出力する第
2ポンプ制御部とを備えることを要旨とする。
高電圧発生回路において前記電荷ポンプ部は、高電位電
源と出力電圧の出力端子との間に直列接続された複数個
のポンピング部を含むことを要旨とする。
高電圧発生回路において、前記ポンピング部は、NMO
Sトランジスタとキャパシタとを含むことを要旨とす
る。請求項4に記載の発明は、請求項1記載の高電圧発
生回路において、前記第1レベル検出部は、前記電荷ポ
ンプ部の出力電圧と接地端との間に直列接続される第
1、第2抵抗とNMOSトランジスタとを含むことを要
旨とする。
高電圧発生回路において、前記第2レベル検出部は、電
荷ポンプ部の出力電圧と接地端との間に直列接続される
PMOSトランジスタと第3、第4抵抗とを含むことを
要旨とする。
高電圧発生回路において、前記第1及び第2レベル検出
部、第1及び第2ポンプ制御部は、前記ポンピング部の
数に応じて設けられていることを要旨とする。
の一実施の形態の高電圧発生回路を詳細に説明する。
す構成ブロック図であり、図3は図2の高電圧発生回路
の詳細回路図である。高電圧発生回路は、図2に示すよ
うに、電荷ポンプ部10、第1レベル検出部20、第1
ポンプ制御部30、第2レベル検出部40及び第2ポン
プ制御部50を備える。電荷ポンプ部10は、同期信号
としての第1、第2ポンプ制御信号(CLKX、CLK
Y)に従って昇圧動作して出力電圧(VOUT)を出力
する。第1レベル検出部20は、外部信号(EN1)に
より動作し、出力電圧(VOUT)の抵抗比により分圧
して第1出力信号(VREG1)を出力する。第1ポン
プ制御部30は、第1レベル検出部20の第1出力信号
(VREG1)、基準電圧(VREF)及び外部の第1
クロック信号(バーOSC)を受け取り、基準電圧と第
1出力信号とを比較して第1ポンプ制御信号(CLK
X)を出力する。第2レベル検出部40は、第1ポンプ
制御部30の比較出力信号をイネーブル信号(EN2)
として受け取り、出力電圧(VOUT)を抵抗比により
分圧して第2出力信号(VREG2)を出力する。第2
ポンプ制御部50は、第2レベル検出部40の第2出力
信号(VREG2)、基準電圧(VREF)及び第1ク
ロック信号(バーOSC)とは反対位相を有する第2ク
ロック信号(OSC)を受け取り、基準電圧と第2出力
信号とを比較して第2ポンプ制御信号(CLKY)を出
力する。
であり、第2クロック信号(OSC)を反転させて第1
ポンプ制御部30へ出力するために使用される。上記の
ように構成される高電圧発生回路の詳細を以下に説明す
る。
入力端(Vcc)と出力電圧(VOUT)との間に直列
接続される複数個のポンピング部11を備える。各ポン
ピング部11はNMOSトランジスタ及びキャパシタを
含む。第1ポンピング部11における第1NMOSトラ
ンジスタ12のドレイン及びゲートはVcc電源に接続
され、ソースは第2ポンピング部11における第2NM
OSトランジスタ13のドレイン及びゲートに接続され
る。次いで、第1ポンピング部11における第1キャパ
シタ14の出力は第1NMOSトランジスタ12のソー
スと第2NMOSトランジスタ13のドレイン及びゲー
トに接続され、入力は第1ポンプ制御信号(CLKX)
と接続される。第2ポンピング部11における第2キャ
パシタ15の出力は第2NMOSトランジスタ13のソ
ースと第3ポンピング部11における第3NMOSトラ
ンジスタ16のドレイン及びゲートに接続され、入力は
第2ポンプ制御信号(CLKY)と接続される。第3ポ
ンピング部11における第3キャパシタ17の出力は第
3NMOSトランジスタ16のソースと第4ポンピング
部11における第4NMOSトランジスタ18のドレイ
ン及びゲートに接続され、入力は第1ポンプ制御信号
(CLKX)と接続される。次いで、第4ポンピング部
11における第4キャパシタ19の出力は第4NMOS
トランジスタ18のソースと第5NMOSトランジスタ
21のドレイン及びゲートに接続され、入力は第2ポン
プ制御信号(CLKY)と接続される。
ンジスタ21を備え、その第5NMOSトランジスタ2
1は電荷ポンプ部10の出力信号が逆流することを防止
するための出力部として動作する。このように各ポンピ
ング部11は連続的に接続される。この際、各ポンピン
グ部11の入力は第1、第2、第3、第4NMOSトラ
ンジスタ12、13、16、18のドレイン及びゲート
であり、出力は第1、第2、第3、第4NMOSトラン
ジスタ12、13、16、18のソースである。そし
て、ポンピング部11の第1、第2、第3、第4キャパ
シタ14、15、17、19の入力端は、連続的に第
1、第2クロック信号(CLKX、CLKY)と交互に
接続される。一方、最終的な第5NMOSトランジスタ
21のソースは第1、第2レベル検出部20、40の入
力、つまり抵抗22の入力端とPMOSトランジスタ4
1のドレインと接続される。
0の出力電圧(VOUT)と接地端(Vss)との間に
直列接続される第1、第2抵抗22、23、第6NMO
Sトランジスタ24を備える。第1レベル検出部20に
おいて、第1抵抗22と第2抵抗23との間のノードは
第1ポンプ制御部30の入力に接続され、そのノードか
ら分圧出力(VREG1)が出力される。第6NMOS
トランジスタ24は、第2抵抗23と接地端(Vss)
との間に接続され、そのゲートが外部信号EN1に接続
されている。
0の出力電圧(VOUT)と接地端(Vss)との間に
直列に接続されたPMOSトランジスタ41、第3、第
4抵抗42、43を備える。PMOSトランジスタ41
のドレインは、電荷ポンプ部10の出力電圧に接続さ
れ、ゲートが第1ポンプ制御部30の比較出力電圧(C
ON1)、即ち第1差動増幅器31の出力に接続され、
ソースが第3抵抗に接続されている。第3抵抗42と第
4抵抗43との間のノードは第2ポンプ制御部50の入
力に接続され、第4抵抗43の他端は接地端(Vss)
に接続される。
1と第1NANDゲート32とを備える。ここで、第1
差動増幅器31は基準電圧(VREF)に接続された第
1の入力端子と、第1レベル検出部20の第1、第2抵
抗22、23間のノードに接続された第2の入力端子
と、第1NANDゲート32の第1の入力端子に接続さ
れた出力端子とを有する。そして、第1NANDゲート
32は外部の第1クロック信号(バーOSC)に接続さ
れた第2の入力端子と、第1、第3キャパシタ14、1
7の入力に接続され、第1ポンプ制御信号(CLKX)
を出力する出力端子とを有する。
1と第2NANDゲート52とから構成される。第2差
動増幅器51は基準電圧(VREF)に接続された第1
の入力端子と、外の入力は第2レベル検出部40の第
3、第4抵抗42、43間のノードに接続された第2の
入力端子と、第2NANDゲート52の第1の入力端子
に接続された出力端子とを有する。第2NANDゲート
52は外部の第2クロック信号(OSC)に接続された
第2の入力端子と、第2、第4キャパシタ15、17の
入力に接続され、第2ポンプ制御信号(CLKY)を出
力する出力端子とを有する。
SC)を反転させて第1クロック信号(バーOSC)を
第1ポンプ制御部30へ出力する。上記のように構成さ
れた高電圧発生回路の動作について以下に説明する。
源電圧(Vcc)を昇圧して出力電圧(VOUT)を出
力する。すなわち、第1NMOSトランジスタ12のソ
ースは入力端子(Vcc)によりVcc−Vtのレベル
にプリチャージされる。この際、第1キャパシタ14の
入力信号である第1ポンプ制御信号(CLKX)は「0
(L)」である。次に、第1ポンプ制御信号(CLK
X)がH(Vcc)レベルとなると、第1キャパシタ1
4の両端間の電圧が維持され、これにより第1キャパシ
タ14の出力は2Vcc−Vtとなる。この際、第2ポ
ンプ制御信号(CLKY)は「0(L)」なので、第2
キャパシタ15はプリチャージされる。一方、第2NM
OSトランジスタ13はターンオン状態であり、第2キ
ャパシタ15の出力は2(Vcc−Vt)レベルにプリ
チャージされ、第2キャパシタ15の両端間の電圧差は
2(Vcc−Vt)となる。このようにして、上記の方
式で電荷ポンプ部10で出力電圧(VOUT)への昇圧
動作を行う。
の所定の出力電圧(Vout1)に基づいて以下の式に
従って第1、第2抵抗22、23の値が決定される。
ル検出部20が動作し始める。出力電圧(VOUT)が
第1の所定の出力電圧(Vout1)よりも低い場合に
は電圧分配法則に基づいて第1レベル検出部20の出力
信号(VREG1)が基準電圧(VREF)よりも低く
なるように第1及び第2抵抗22、23の値が決定され
る。又、出力電圧(VOUT)が第1の所定の出力電圧
(Vout1)と同じである場合には第1レベル検出部
20の出力信号(VREG1)が基準電圧(VREF)
と等しくなるように第1及び第2抵抗22、23の値が
決定される。更に、出力電圧(VOUT)が第1の所定
の出力電圧(Vout1)よりも高い場合には第1レベ
ル検出部20の出力信号(VREG1)が基準電圧(V
REF)よりも高くなるように第1及び第2抵抗22、
23の値が決定される。
出力電圧(Vout2)に基づいて以下の式に従って第
3、第4抵抗42、43の値が決定される。
号EN2が「L」となると、PMOSトランジスタ41
がイネーブルされて第2レベル検出部40が動作し始め
る。出力電圧(VOUT)が第2の所定の出力電圧(V
out2)よりも高いか、又は低いかにより、それぞれ
第2レベル検出部40の出力信号(VRG2)が基準電
圧(VREF)よりも高く又は低くなるように第3及び
第4抵抗42、43の値が決定される。
出部20の出力信号(VREG1)が基準電圧(VRE
F)よりも高いとき、第1差動増幅器31の出力信号
(CON1)が「L」になり、第1NANDゲート32
はインバーター60の出力に関係なく「H」レベルに維
持された第1ポンプ制御信号(CLKX)を出力する。
第1レベル検出部20の出力信号(VREG1)が基準
電圧(VREF)よりも低い場合には、第1差動増幅器
31の出力信号(CON1)が「H」になり、インバー
ター60の出力に応じて第1NANDゲート32は第1
ポンプ制御信号(CLKX)を変化させる。
差動増幅器51や第2NANDゲート52も、第1ポン
プ制御部30と同様に動作する。全体的な動作を察して
みると、電荷ポンプ部10で出力電圧(VOUT)を昇
圧する過程で出力電圧(VOUT)が第1の所定の電圧
(Vout1)よりも低いときには、第1レベル検出部
20の出力信号(VREG1)が基準電圧(VREF)
より低くなる。すると、第1差動増幅器31の出力信号
(CON1)が「H」になり、第1ポンプ制御信号(C
LKX)が第1クロック信号(バーOSC)により同期
される。この際、第1差動増幅器31の出力信号(CO
N1)、すなわち、イネーブル信号EN2は「H」であ
る。従って、PMOSトランジスタ41はオフ状態とな
り、第2レベル検出部40の出力信号(VREG2)が
「0」になって基準電圧(VREF)より低くなる。ゆ
えに、第2差動増幅器51の出力信号(CON2)が
「H」になり、第2ポンプ制御信号(CLKY)が第2
クロック信号(OSC)により同期される。従って、第
1、第2ポンプ制御信号(CLKX、CLKY)が同期
されて第1、第2、第3、第4キャパシタ14、15、
17、19がすべて動作して正常的な昇圧動作が行われ
る。
UT)が第1の所定の出力電圧(Vout1)よりも高
くなれば、第1差動増幅器31の出力信号(CON1)
が「L」になり、第1ポンプ制御信号(CLKX)が第
1クロック信号(バーOSC)に関係なく「H」にな
る。従って、第1、第3キャパシタ14、17は昇圧動
作を行わない。この際、PMOSトランジスタ41が
「オン」となり、出力電圧(VOUT)が第2の所定の
出力電圧(Vout2)よりも低ければ、依然として第
2差動増幅器51の出力信号(CON2)は「H」に維
持され、第2ポンプ制御信号(CLKY)は第2クロッ
ク信号(OSC)により同期される。従って、第2、第
4キャパシタ15、19は正常動作を行って出力電圧
(VOUT)を昇圧する。
定の出力電圧(Vout2)よりも高くなった場合に
は、第2差動増幅器51の出力信号(CON2)が
「L」になってすべての第1、第2、第3、第4キャパ
シタ14、15、17、19の動作が抑制される。すな
わち、出力電圧(VOUT)の変化が小さくなる。
荷ポンプ10の出力電圧が第1の所定の出力電圧よりも
高いとき第1クロック信号を無効化し、更に電荷ポンプ
10の出力電圧が第2の所定の出力電圧より高いとき第
2クロック信号を無効化するようにした。従って、出力
電圧を制限する際の出力電圧の急激な変動が低減され、
正確な制御動作を行うことができる。従って、フラッシ
ュメモリのプログラム及び消去遂行能力が向上する。
0、第1、第2レベル検出部20、40は各キャパシタ
14、15、17、19の個数に対応して個々に設けら
れててもよい。このようにすると、より、各ポンピング
部を個々に有効化あるいは無効化することが可能となる
ため、出力電圧の変動をより効果的に低減することがで
き、かつ瞬間流れるピーク電流が少なくなってノイズの
影響を減少させることができる。
圧発生回路においては以下のような効果がある。
プの出力電圧の急激な変動を低減して正確な出力電圧の
制御動作を行うことができる。請求項2、3の発明によ
れば、複数個のポンピング部を用いて必要な高電圧に昇
圧することができる。
及び第2レベル検出部の各抵抗を利用して所定の出力電
圧に応じて各抵抗比を適切な値に設定することができ
る。請求項6に記載の発明によれば、第1及び第2レベ
ル検出部、第1及び第2ポンプ制御部をポンピング部の
数に応じて設けることにより、各ポンピング部を個々に
有効化又は無効化して、出力電圧の急激な変動をより低
減することができる。
構成ブロック図。
図。
Claims (6)
- 【請求項1】 第1及び第2ポンプ制御信号に従って昇
圧動作して出力電圧を生成する電荷ポンプ部と、 外部信号に応答して電荷ポンプ部の出力電圧を第1の所
定の抵抗比により分圧して第1出力信号を出力する第1
レベル検出部と、 前記第1レベル検出部の第1出力信号、基準電圧及び外
部の第1クロック信号を受けとり、第1出力信号と基準
電圧とを比較して第1ポンプ制御信号を生成する第1ポ
ンプ制御部と、 前記第1ポンプ制御部の比較出力に応答して出力電圧を
第2の所定の抵抗比により分圧して第2出力信号を出力
する第2レベル検出部と、 前記第2レベル検出部の第2出力信号、基準電圧及び前
記第1クロック信号とは反対位相を有する第2クロック
信号を受けとり、第2出力信号と基準電圧とを比較して
第2ポンプ制御信号を出力する第2ポンプ制御部とを備
えることを特徴とする高電圧発生回路。 - 【請求項2】 前記電荷ポンプ部は、高電位電源と出力
電圧の出力端子との間に直列接続された複数個のポンピ
ング部を含むことを特徴とする請求項1記載の高電圧発
生回路。 - 【請求項3】 前記ポンピング部は、NMOSトランジ
スタとキャパシタとを含むことを特徴とする請求項2記
載の高電圧発生回路。 - 【請求項4】 前記第1レベル検出部は、前記電荷ポン
プ部の出力電圧と接地端との間に直列接続される第1、
第2抵抗とNMOSトランジスタとを含むことを特徴と
する請求項1記載の高電圧発生回路。 - 【請求項5】 前記第2レベル検出部は、電荷ポンプ部
の出力電圧と接地端との間に直列接続されるPMOSト
ランジスタと第3、第4抵抗とを含むことを特徴とする
請求項1記載の高電圧発生回路。 - 【請求項6】 前記第1及び第2レベル検出部、第1及
び第2ポンプ制御部は、前記ポンピング部の数に応じて
設けられていることを特徴とする請求項1記載の高電圧
発生回路。
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