JPH11317606A - Pinダイオードスイッチ - Google Patents

Pinダイオードスイッチ

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JPH11317606A
JPH11317606A JP13603598A JP13603598A JPH11317606A JP H11317606 A JPH11317606 A JP H11317606A JP 13603598 A JP13603598 A JP 13603598A JP 13603598 A JP13603598 A JP 13603598A JP H11317606 A JPH11317606 A JP H11317606A
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JP
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terminal
pin diode
coupler
switch
pin
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JP13603598A
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Inventor
Tadashi Takayanagi
正 高柳
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NEC Engineering Ltd
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NEC Engineering Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高いアイソレーションを有する反射型のPI
Nダイオードスイッチを提供する。 【解決手段】 入力端子1と出力端子2との間にコンデ
ンサC1、C2を介して3dBカプラ3の第1端子T1
及び第2端子T2を接続し、3dBカプラ3の第2端子
T2及び第3端子T3に第1及び第2の整合回路7、8
を接続し、これにPINダイオードD1、D2を接続す
る。PINダイオードD1、D2にそれぞれバイアス回
路4、5を設け、バイアス電圧供給端子6に接続し、バ
イアス電圧を供給する。整合回路7、8は、3dBカプ
ラ3の第1端子T1から第4端子T4への高周波のリー
ク成分とPINダイオードから反射されて第4端子T4
に出力される高周波信号の反射成分の位相が逆位相とな
るように長さが選ばれる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、PINダイオード
スイッチに関し、特に、反射型PINダイオードスイッ
チに関する。
【0002】
【従来の技術及びその解決すべき課題】PINダイオー
ドは、バイアスを印加して流れる電流を変えることによ
り高周波抵抗が低抵抗(0Ω)から高抵抗(数kΩ)ま
で変化する性質を有するので、スイッチまたは減衰器を
構成するのに用いられている。
【0003】図5は、PINダイオードを用いたスイッ
チの基本形を示す回路図である。PINダイオードを用
いたスイッチには、直列接続型と呼ばれるものと並列接
続型と呼ばれるものとの2種類がある。図5(a)に示
すスイッチは直列接続型と呼ばれるもので、入力端子4
1と出力端子42との間に複数のPINダイオード43
を直列接続してスイッチ回路が構成される。
【0004】この回路では、入力端子41と出力端子4
2との間に直流バイアスが印加されないときには、PI
Nダイオード43に真性半導体層(i層)が高抵抗とな
るため、入力端子41と出力端子42との間に電流が流
れ難くなり、信号オフのスイッチとして働く。入力端子
41と出力端子42との間に順方向に直流バイアスが印
加されたときには、PINダイオード43に真性半導体
層(i層)が低抵抗となるため、入力端子41と出力端
子42との間に電流が流れ易くなり、信号オンのスイッ
チとして働く。
【0005】しかし、この回路では、信号オフのスイッ
チとして働くときには入力端子41が短絡状態となり、
高周波で用いるときはインピーダンス不整合が生じ、信
号に反射が生じるため電位が極めて高くなる瞬間があっ
て、PINダイオード43を飛び越して入力端子41と
出力端子42との間で結合を持ち、十分なアイソレーシ
ョンが取れないという問題がある。
【0006】一方、図5(b)に示すスイッチは並列接
続型と呼ばれるもので、入力端子41と出力端子42と
の間に複数のPINダイオード44を並列接続してスイ
ッチ回路が構成される。
【0007】この回路では、入力端子41に負電圧を加
え、順方向に直流バイアスを印加すると、PINダイオ
ード44の真性半導体層がすべて低抵抗となるためオン
状態となり、PINダイオード44は短絡素子として働
き、この回路は信号オフのスイッチとして働く。
【0008】一方、入力端子41と出力端子42との間
に直流バイアスが印加されないときには、PINダイオ
ード44が高抵抗となり、開放素子として働き、入力端
子41と出力端子42との間に電流が流れ、信号オンの
スイッチとして働く。
【0009】しかし、この回路でも、信号オフのスイッ
チとして働くときには入力端子41が短絡状態となるた
め、インピーダンス不整合が生じ、PINダイオード4
4間で信号が飛び越して伝わり、十分なアイソレーショ
ンが取れないという問題がある。
【0010】図6は、従来のPINダイオードを用いた
スイッチの第1例の回路図である。これは、特開昭57
−194629号公報に開示された回路であって、図5
(a)に示す直列型スイッチのアイソレーションを改善
したものである。この回路は、直列接続された複数のP
INダイオード43の入力端子41及び出力端子42と
接地45との間にそれぞれPINダイオード52、53
と終端抵抗54とキャパシタンス57を接続し、さらに
終端抵抗54とキャパシタンス57との接続点50、5
1をインダクタンス58で接続して接続点50、51間
を高周波的に分離したものである。
【0011】この回路において、入力端子41と出力端
子42との間にPINダイオード52、53がオンとな
るような直流バイアスを印加すると、PINダイオード
43はオフとなり、PINダイオード52、53が低抵
抗となるため、この回路は信号オフのスイッチとして働
く。また、入力端子41はインピーダンス整合された状
態となるため、入力端子41または出力端子42の電位
は一定になる。
【0012】これにより、PINダイオード43を飛び
越しての結合がなくなり、アイソレーションを向上する
ことができる。これとは逆に、入力端子41と出力端子
42との間にPINダイオード52、53がオフとなる
ような直流バイアスを印加すると、PINダイオード4
3はオンとなり、信号オンのスイッチとして働く。
【0013】しかし、この回路では、インダクタンス5
8で接続点50、51間を高周波的に分離するので、ア
イソレーションは周波数に依存し、周波数が低くなれば
アイソレーションが低下するという問題がある。
【0014】図7は、PINダイオードを用いた減衰器
の第1の基本形を示す回路図である。入力端子61と出
力端子62との間にPINダイオード63を接続し、P
INダイオード63の両側にコンデンサC12、C13
を接続する。コンデンサC12、C13は、直流阻止用
である。また、PINダイオード63の両側に抵抗R1
2、R13を接続し、抵抗R15の端子IbからPIN
ダイオード63を通して接地へバイアス電流を流す。
【0015】この回路では、入力端子61から入力する
高周波信号の減衰量は、PINダイオード63のインピ
ーダンスによって決まる。また、PINダイオード63
のインピーダンスは、バイアス電流が大きいときはイン
ピーダンスが小さくなり、バイアス電流が小さいときは
インピーダンスが大きくなるから、バイアス電流を変え
ることにより減衰量を変えることができる可変減衰器が
得られる。
【0016】しかし、 この回路において、インピーダ
ンスが大きくなると、入力端子61の入力インピーダン
スが負荷インピーダンスと異なってきて整合が取れなく
なり、位相特性が劣化するという問題がある。
【0017】さらに、図8は従来のPINダイオードを
用いた減衰器の第1の例の回路図である。これは、特開
昭61−274507号公報に開示された回路であっ
て、図7に示す減衰器の整合性と位相特性を改善したも
のである。この回路には、抵抗R12の入力側と抵抗R
13の出力側にそれぞれ増幅器64、65が備えられ、
整合がとれるようにしたので、位相特性が改善される。
【0018】一方、図9は、PINダイオードを用いた
減衰器の第2の基本形を示す回路図である。この減衰器
は、分布定数線路81〜84で構成される特性インピー
ダンス50Ωの伝送線路にPINダイオード85を並列
に接続することにより構成される。この減衰器では、P
INダイオード85に順バイアスを印加して通電すると
きは、図9(b)に示すように、PINダイオード85
は数Ωの抵抗として働き、信号は反射される。逆バイア
ス時には、図9(c)に示すように、PINダイオード
85は容量として働き、不整合により損失するだけで信
号は通過する。しかし、この減衰器では、アイソレーシ
ョンは特性インピーダンスによって決まるため、特性イ
ンピーダンスを変えることなくアイソレーションを改善
することが出来ないという問題がある。
【0019】図10は従来のPINダイオードを用いた
減衰器の第2の例の回路図である。これは、特開昭64
−49412号公報に開示された回路であって、図9に
示す減衰器の特性インピーダンスを変えることなくアイ
ソレーションを改善したものである。
【0020】この減衰器では、図9に示す減衰器のPI
Nダイオード85の入力側及び出力側の伝送路にそれぞ
れ長さが1/4波長、インピーダンスが61Ωの整合回
路86〜89が設けられる。
【0021】この構成により、インピーダンス変成作用
によりPINダイオード85から入力側、出力側を見た
インピーダンスは75Ωとなり、整合回路86〜89の
外側の入力側及び出力側から見たインピーダンスは50
Ωのままである。このようにPINダイオード85から
入力側、出力側を見たインピーダンスを高くすることに
より、アイソレーションを改善することができる。しか
し、挿入損失はわずかに増える。
【0022】図11は従来のPINダイオードを用いた
スイッチの第2例の回路図である。このスイッチは、反
射型PINダイオードスイッチと呼ばれるもので、任意
のバイアス値において反射波がない場合、最大減衰量が
無限大となる理想的スイッチ(減衰器)として考案され
たものである。
【0023】この回路は、一般的には分波器カプラまた
はハイブリッドカプラと呼ばれるカプラを使用する。こ
こでは分波器カプラとして3dBカプラを用いた場合に
ついて説明する。
【0024】この回路は、入力端子1と、この入力端子
1に第1コンデンサC1 を介して第1端子(入力端
子)T1 が接続される3dBカプラ3と、この3dB
カプラ3の第2端子(結合端子)T2 に接続される第
1PINダイオードD1 と、3dBカプラ3の第3端
子(出力端子)T3 に接続される第2PINダイオー
ドD2 と、3dBカプラ3の第4端子(出力端子)T
4に第2コンデンサC2 を介して接続される出力端子
2と、第1及び第2のPINダイオードD1 、D2の
それぞれに設けられたバイアス回路4、5とで構成され
る。
【0025】ここで、バイアス回路4、5は、それぞれ
インダクタンスL1 、L2 、抵抗R1 、R2 、コン
デンサC3 、C4 で構成され、バイアス電圧供給端子
6からバイアス電圧が供給される。また、コンデンサC
1 、C2 は、入力端子1から入力される高周波信号及
び出力端子2から出力される高周波信号の直流成分を遮
断するためのものである。
【0026】次に、このPINダイオードスイッチの動
作について説明する。入力端子1に入力された高周波信
号は、3dBカプラ3の第1端子T1 を経由して第2
端子T2 と第3端子T3 に約3dB低い信号レベルで
分配され、第1及び第2のPINダイオードD1 、D
2 に入力される。
【0027】PINダイオードD1 、D2 にはバイア
ス電圧供給端子6からバイアス回路4、5を通ってバイ
アス電圧が供給される。PINダイオードD1 、D2
にバイアス電圧を印加した場合、PINダイオードに流
れる電流値によりPINダイオードの高周波抵抗が低抵
抗(約0Ω)から高抵抗(約数kΩ)に変化する。これ
を利用してPINダイオードの高周波抵抗が約50Ωに
なるようにバイアスを印加したとき、PINダイオード
スイッチはオン状態になる。
【0028】このとき、PINダイオードD1 、D2
に入力された高周波信号は、そのほどんどがPINダイ
オードD1 、D2 の高周波抵抗で終端されるが、残り
のわずかの高周波信号がPINダイオードD1 、D2
で反射され、3dBカプラ3の第2端子T2 と第3端
子T3 を通って第4端子T4 に出力される。
【0029】また、3dBカプラ3の第1端子T1 か
ら第4端子T4 へ流れる高周波信号がリーク成分とな
り、このリーク成分とPINダイオードD1 、D2 か
らの反射波成分との合成成分が出力端子2に現われるた
めアイソレーションが低くなる。
【0030】図12は図11のスイッチのアイソレーシ
ョン特性を示す図である。バイアス電圧を高くして行く
と、PINダイオードD1 、D2 の抵抗は高い値から
段々小さくなって行き、それに伴ってアイソレーション
(dB)は大きくなって行き、抵抗値が50Ωのときア
イソレーションは最大値となり、さらにバイアス電圧を
高くして行くと、逆にアイソレーションは低下して行
く。最大アイソレーション値は、約20dBである。ア
イソレーションが約20dBで最大値になるのは、前述
の理由による。
【0031】図13は、図11のスイッチの最大アイソ
レーション値における出力成分のベクトル図である。3
dBカプラ3の第1端子T1 から第4端子T4 へのリ
ーク成分101とPINダイオードD1 、D2 からの
反射波成分102との合成ベクトルが出力端子2に現わ
れる信号成分103となる。
【0032】しかし、図11に示した従来のスイッチ
は、理想的スイッチとして考案されたが、最大アイソレ
ーション値が約20dB程度しか得られないという問題
がある。これは、第1及び第2のPINダイオードD1
、D2 からの反射特性にばらつきがあることと、3d
Bカプラ3の第1端子T1 から第4端子T4 へのリー
ク成分があるため、その合成ベクトルが出力端子2に現
われるためである。
【0033】そこで、本発明は、上記従来のPINダイ
オードスイッチ等における問題点に鑑みてなされたもの
であって、高いアイソレーションを有する反射型のPI
Nダイオードスイッチを提供することを目的とする。
【0034】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
入力端子と、この入力端子に第1コンデンサを介して第
1端子が接続する分波器カプラと、この分波器カプラの
第2端子に接続する第1PINダイオードと、前記分波
器カプラの第3端子に接続する第2PINダイオード
と、前記分波器カプラの第4端子に第2コンデンサを介
して接続する出力端子と、前記第1及び第2のPINダ
イオードのそれぞれに設けられたバイアス回路とを備え
たPINダイオードスイッチにおいて、前記分波器カプ
ラの第2端子と第1PINダイオードとの間に接続する
第1整合回路と、前記分波器カプラの第3端子と第2P
INダイオードとの間に接続する第2整合回路を設けた
ことを特徴とする。
【0035】請求項2記載の発明は、前記整合回路が、
前記PINダイオードからの反射波成分を、前記分波器
カプラの第1端子から第4端子へのリーク成分に対して
位相が互いに逆位相となる長さに設定されていることを
特徴とする。
【0036】請求項3記載の発明は、前記整合回路が、
可変容量コンデンサとこれに直列接続するインダクタン
スで構成されることを特徴とする。
【0037】請求項4記載の発明は、前記整合回路が、
移相器で構成されることを特徴とする。
【0038】そして、請求項1記載の発明によれば、整
合回路で分波器カプラの第1端子から第4端子へ流れる
信号のリークと、第1及び第2のPINダイオードから
の反射波を相殺させることができ、高いアイソレーショ
ンを有するPINダイオードスイッチを得ることができ
る。また、2個の整合回路を追加するだけでよく、従来
の他の回路に比べて回路構成が簡単な反射型PINダイ
オードスイッチを得ることができる。
【0039】請求項2記載の発明によれば、PINダイ
オードからの反射波成分を、分波器カプラの第1端子か
ら第4端子へ流れる信号のリーク成分に対して位相が互
いに逆位相となる長さを有するように整合回路を設定す
るので、前記リーク成分を相殺することができ、高いア
イソレーションが得られる。
【0040】請求項3記載の発明によれば、前記整合回
路が、可変容量コンデンサとこれに直列接続するインダ
クタンスという簡単な回路で構成でき、インピーダンス
を調整することにより反射波成分とリーク成分の位相が
互いに逆位相となるように調整することできるので、リ
ーク成分を相殺することができ、高いアイソレーション
が得られる。
【0041】請求項4記載の発明によれば、前記整合回
路が、移相器一つで構成でき、反射波成分とリーク成分
の位相が互いに逆位相となるように容易に調整できるの
で、リーク成分を相殺することができ、高いアイソレー
ションが得られる。
【0042】
【発明の実施の形態】次に、本発明にかかるPINダイ
オードスイッチの実施の形態の具体例を図面を参照しな
がら説明する。図1は、本発明にかかるPINダイオー
ドスイッチの一実施例の回路図であって、本実施例にお
いても分波器カプラとして3dBカプラを用いる。本実
施例は、図11に示したPINダイオードスイッチにお
いて、3dBカプラ3の第2端子T2 と第1PINダ
イオードD1 との間に接続する第1整合回路7と、3
dBカプラ3の第3端子T3 と第2PINダイオード
D2 との間に接続する第2整合回路8とを設けたもの
である。これ以外は図11に示したPINダイオードス
イッチと同じである。
【0043】図2は図1の実施例の整合回路の例を示す
回路図である。図2(a)に、整合回路7、8を、可変
容量コンデンサCV とこれに直列接続するインダクタ
ンスLで構成した例を示す。周波数が低い(2GHz未
満)場合は、集中定数回路部品で構成することができる
が、周波数が高い(2GHz以上)場合は、分布定数回
路で構成する。
【0044】図2(b)に、整合回路7、8を、移相器
9で構成した例を示す。移相器を用いた場合、回路全体
が大きくなるという問題があるが、移相器は周波数に対
して位相量のみが変化し、減衰量が変化しない伝達関数
を持っているので使い易いという利点がある。
【0045】次に、この実施例のPINダイオードスイ
ッチの動作について説明する。入力端子1に入力された
高周波信号は、3dBカプラ3の第1端子T1 を経由
して第2端子T2 と第3端子T3 に約3dB低い信号
レベルで分配され、第1及び第2の整合回路7、8を通
って第1及び第2のPINダイオードD1 、 D2に入
力される。
【0046】PINダイオードD1 、D2 にはバイア
ス電圧供給端子6からバイアス回路4、5を通ってバイ
アス電圧が供給される。PINダイオードD1 、D2
の高周波抵抗が約50Ωになる手前のバイアス、即ち5
0Ω+αΩを印加したときに、PINダイオードD1
、D2 からの反射信号は、3dBカプラ3の第2端子
T2 と第3端子T3 を通って第4端子T4 に出力さ
れる。
【0047】インピーダンスを50Ω+αΩにすると反
射波成分13がリーク成分11と同じ大きさになる。一
方、3dBカプラ3の第1端子T1 から第4端子T4
へのリーク成分も第4端子T4 に出力される。そし
て、これらの信号のベクトル合成値が出力端子2に出力
される。
【0048】ここで、3dBカプラ3の第1端子T1
から第4端子T4 への高周波のリーク成分とPINダ
イオードから反射されて第4端子T4 に出力される高
周波信号の反射成分とが、位相が180°異なる(逆位
相となる)ように、第1及び第2の整合回路7、8の長
さを選べば、両高周波信号は相殺されて第4端子T4か
ら高周波信号が出力されず、高いアイソレーションが得
られる。
【0049】図3は図1のスイッチのアイソレーション
特性を示す図である。バイアス電圧を高くして行くと、
PINダイオードD1 、D2 の抵抗は高い値から段々
小さくなって行き、それに伴ってアイソレーション(d
B)は大きくなって行く。PINダイオードD1 、D
2 の高周波抵抗が約50Ωになる手前のバイアスを印
加したときに、PINダイオードD1 、D2 からの反
射信号は、3dBカプラ3の第2端子T2 と第3端子
T3 を通って第4端子T4 に出力される。
【0050】第1及び第2の整合回路7、8は、3dB
カプラ3の第1端子T1 から第4端子T4 へのリーク
成分とPINダイオードから反射波成分とが、位相が1
80°異なる(逆位相となる)ように長さが調整されて
いるので、高周波抵抗が約50Ωになる手前のバイアス
値(高周波抵抗値50Ω+αΩ)でアイソレーションは
極めて大きくなる。
【0051】図4は図1のスイッチの最大アイソレーシ
ョン値における出力成分のベクトル図である。3dBカ
プラ3の第1端子T1 から第4端子T4 へのリーク成
分を符号11で、PINダイオードのインピーダンスが
50ΩのときのPINダイオードからの反射波成分を符
号12で、PINダイオードのインピーダンスが50Ω
+αΩのときのPINダイオードからの反射波成分を符
号13で表すことにする。
【0052】インピーダンスを50Ω+αΩにするの
は、反射波成分13をリーク成分11と同じ大きさにす
るためである。反射波成分13は、整合回路7、8によ
ってリーク成分11と位相が180°異なる(逆位相)
信号成分14に変換される。そのため、リーク成分11
と信号成分14との合成ベクトルは0となり、出力端子
2に高周波信号は出力されない。
【0053】このように、整合回路7、8によってPI
NダイオードD1 、D2 からの反射波成分を、3dB
カプラ3の第1端子T1 から第4端子T4 へのリーク
成分と位相が180°異なる(逆位相となる)信号に調
整することによってリーク成分を相殺し、出力端子2に
高周波信号が出力されないようにしてアイソレーション
を高めることができる。
【0054】以上の説明は、分波器カプラとして3dB
カプラを用いた例で説明したが、本発明は3dBカプラ
に限定されず、一般の分波器カプラに適用されるもので
ある。
【0055】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よれば、分波器カプラの第1端子から第4端子へ流れる
高周波信号のリーク成分と、第1及び第2のPINダイ
オードからの反射波を相殺させる整合回路を設けること
により、出力端子2の出力を0にすることができ、高い
アイソレーションを有するPINダイオードスイッチを
提供することができる。また、2個の整合回路を追加す
るだけでよく、多数の回路部品を要していた従来の他の
回路に比べて回路構成が簡単なPINダイオードスイッ
チを提供することができる。
【0056】請求項2の発明によれば、PINダイオー
ドからの反射波成分を、分波器カプラの第1端子から第
4端子へ流れる信号のリーク成分に対して位相が互いに
逆位相となる長さを有するように整合回路を設定するの
で、前記リーク成分を相殺することができ、高いアイソ
レーションを有するPINダイオードスイッチを提供す
ることができる。
【0057】請求項3の発明によれば、整合回路が、可
変容量コンデンサとこれに直列接続するインダクタンス
という簡単な回路で構成でき、インピーダンスを調整す
ることにより反射波成分とリーク成分の位相が互いに逆
位相となるように調整することできるので、リーク成分
を相殺することができ、高いアイソレーションを有する
PINダイオードスイッチを提供することができる。
【0058】請求項4の発明によれば、整合回路が、移
相器一つで構成でき、反射波成分とリーク成分の位相が
互いに逆位相となるように容易に調整できるので、リー
ク成分を相殺することができ、高いアイソレーションを
有するPINダイオードスイッチを提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかるPINダイオードスイッチの一
実施例を示す回路図である。
【図2】図1のPINダイオードスイッチの整合回路の
例を示す回路図である。
【図3】図1のPINダイオードスイッチのアイソレー
ション特性を示す図である。
【図4】図1のPINダイオードスイッチの最大アイソ
レーション値における出力成分のベクトル図である。
【図5】PINダイオードを用いたスイッチの基本形を
示す回路図である。
【図6】従来のPINダイオードを用いたスイッチの第
1の例の回路図である。
【図7】PINダイオードを用いた減衰器の第1の基本
形を示す回路図である。
【図8】従来のPINダイオードを用いた減衰器の第1
の例の回路図である。
【図9】PINダイオードを用いた減衰器の第2の基本
形を示す回路図である。
【図10】従来のPINダイオードを用いた減衰器の第
2の例の回路図である。
【図11】従来のPINダイオードを用いたスイッチの
第2例の回路図である。
【図12】図11のスイッチのアイソレーション特性を
示す図である。
【図13】図11のスイッチの最大アイソレーション値
における出力成分のベクトル図である。
【符号の説明】
1 入力端子 2 出力端子 3 3dBカプラ 4、5 バイアス回路 6 バイアス電圧供給端子 7 第1整合回路 8 第2整合回路 9 送相器

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入力端子と、この入力端子に第1コンデ
    ンサを介して第1端子が接続する分波器カプラと、この
    分波器カプラの第2端子に接続する第1PINダイオー
    ドと、前記分波器カプラの第3端子に接続する第2PI
    Nダイオードと、前記分波器カプラの第4端子に第2コ
    ンデンサを介して接続する出力端子と、前記第1及び第
    2のPINダイオードのそれぞれに設けられたバイアス
    回路とを備えたPINダイオードスイッチにおいて、 前記分波器カプラの第2端子と第1PINダイオードと
    の間に接続する第1整合回路と、 前記分波器カプラの第3端子と第2PINダイオードと
    の間に接続する第2整合回路を設けたことを特徴とする
    PINダイオードスイッチ。
  2. 【請求項2】 前記整合回路が、前記PINダイオード
    からの反射波成分を、前記分波器カプラの第1端子から
    第4端子へのリーク成分に対して位相が互いに逆位相と
    なる長さに設定されていることを特徴とする請求項1記
    載のPINダイオードスイッチ。
  3. 【請求項3】 前記整合回路が、可変容量コンデンサと
    これに直列接続するインダクタンスで構成されることを
    特徴とする請求項1または請求項2記載のPINダイオ
    ードスイッチ。
  4. 【請求項4】 前記整合回路が、移相器で構成されるこ
    とを特徴とする請求項1または請求項2記載のPINダ
    イオードスイッチ。
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