JPH11320882A - インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フレキシブルケーブルと圧電振動子との接触
を確実に防止すると共に、省スペースで容易に接合でき
るインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記
録装置を提供する。 【解決手段】 圧力発生手段３００を駆動する駆動用集
積回路３０と圧力発生手段３００とを接続するフレキシ
ブルケーブル１７は、圧力発生手段３００に対向する領
域に駆動用集積回路３０が実装される実装部１７ａと該
実装部１７ａの両端部を支持する支持部１７ｃを有して
圧力発生手段３００を跨ぐように設けられ、支持部１７
ｃが、圧力発生手段３００と実装部１７ａとの間に圧力
発生手段３００の運動を阻害しない程度の間隔を形成し
て実装部１７ａを支持することにより、フレキシブルケ
ール１７と圧力発生手段３００との接触を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴を吐出す
るノズル開口に連通する圧力発生室と、この圧力発生室
内にインク吐出のための圧力を発生させる圧力発生手段
とを具備するインクジェット式記録ヘッド及びインクジ
ェット式記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】圧電振動子や発熱素子によって圧力発生
室内に圧力を発生させ、その圧力によりノズル開口から
インク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドに
は、圧力発生手段として圧力発生室内に駆動信号により
ジュール熱を発生する抵抗線を設けたバブルジェット式
のものと、圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振
動板を圧電振動子により変形させてノズル開口からイン
ク滴を吐出させる圧電振動式の２種類のものに大別され
る。また、圧電振動式のインクジェット式記録ヘッドに
は、圧電振動子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モード
の圧電振動子を使用したものと、たわみ振動モードの圧
電振動子を使用したものの２種類が実用化されている。

【０００３】前者は圧電振動子の端面を振動板に当接さ
せることにより圧力発生室の容積を変化させることがで
きて、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反
面、圧電振動子をノズル開口の配列ピッチに一致させて
櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられ
た圧電振動子を圧力発生室に位置決めして固定する作業
が必要となり、製造工程が複雑であるという問題があ
る。

【０００４】これに対して後者は、圧電材料のグリーン
シートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼
成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電振動子を
作り付けることができるものの、たわみ振動を利用する
関係上、ある程度の面積が必要となり、高密度配列が困
難であるという問題がある。

【０００５】一方、後者の記録ヘッドの不都合を解消す
べく、特開平５−２８６１３１号公報に見られるよう
に、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧
電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法に
より圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生
室毎に独立するように圧電振動子を形成したものが提案
されている。

【０００６】これによれば圧電振動子を振動板に貼付け
る作業が不要となって、リソグラフィ法という精密で、
かつ簡便な手法で圧電振動子を作り付けることができる
ばかりでなく、圧電振動子の厚みを薄くできて高速駆動
が可能になるという利点がある。

【０００７】このような記録ヘッドは、外部からの駆動
信号を受けるため、圧電振動子の個別電極がフレキシブ
ルケーブルを介して外部装置に接続されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、外部か
らの信号を供給するフレキシブルケーブルは、アクチュ
エータユニットの表面に複数列形成されている圧電振動
子を跨ぐようにして、両端で個別電極に接続する端子に
固定されているため、フレキシブルケーブルの張設の具
合が緩かったり、またフレキシブルケーブルに外力が作
用した場合などには、フレキシブルケーブルが圧電振動
子に接触して圧電振動子の振動を阻害し、印字品質に悪
影響を与えたり、また圧電振動子を破損する等の問題が
ある。

【０００９】また、フレキシブルケーブルを一定形状に
固定して、圧電振動子に接触しないようにすると、端子
へ確実に接着するためには、高い精度が要求されるとい
う問題がある。

【００１０】本発明はこのような事情に鑑み、フレキシ
ブルケーブルと圧電振動子との接触を確実に防止すると
共に、省スペースで容易に接合できるインクジェット式
記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供するこ
とを課題とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の第１の態様は、ノズル開口にそれぞれ連通する圧力
発生室を画成した流路形成基板と、前記圧力発生室にイ
ンク吐出のための圧力を付与する圧力発生手段と、該圧
力発生手段を駆動する駆動用集積回路と該圧力発生手段
とを接続するフレキシブルケーブルとを具備するインク
ジェット式記録ヘッドにおいて、前記フレキシブルケー
ブルは、前記圧力発生手段に対向する領域に前記駆動用
集積回路が実装される実装部と該実装部の両端部を支持
する支持部を有して前記圧力発生手段を跨ぐように設け
られ、前記支持部は、前記圧力発生手段と前記実装部と
の間に前記圧力発生手段の運動を阻害しない程度の間隔
を形成して前記実装部を支持することを特徴とするイン
クジェット式記録ヘッドにある。

【００１２】かかる第１の態様では、実装部が支持部に
よって圧力発生手段に接触しないようにその上方に支持
され、圧力発生手段の駆動等を阻害することなく省スペ
ース化を図った。

【００１３】本発明の第２の態様は、第１の態様におい
て、前記支持部は、前記流路形成基板の表面に固着する
固着部と、この固着部に対して略直交する方向に延びる
と共に前記実装部に連結する段差部とを含むことを特徴
とするインクジェット式記録ヘッドにある。

【００１４】かかる第２の態様では、実装部が、固着部
に対して略直交する方向に延びる段差部によって支持さ
れる。

【００１５】本発明の第３の態様は、第１又は２の態様
において、前記フレキシブルケーブルは、耐熱性絶縁フ
ィルムに半田付けが可能な金属箔を積層するとともに、
前記実装部に前記駆動用集積回路を固定する窓を備え、
前記窓に形成された接続手段により前記駆動用集積回路
と接続することを特徴とするインクジェット式記録ヘッ
ドにある。

【００１６】かかる第３の態様では、駆動用集積回路を
実装したフレキシブルケーブルを、容易に形成すること
ができる。

【００１７】本発明の第４の態様は、第１〜３の何れか
の態様において、前記駆動用集積回路の少なくとも周縁
が高分子材料により前記フレキシブルケーブルにモール
ドされていることを特徴とするインクジェット式記録ヘ
ッドにある。

【００１８】かかる第４の態様では、駆動用集積回路を
容易且つ確実にフレキシブルケーブルに実装することが
できる。

【００１９】本発明の第５の態様は、第２〜４の何れか
の態様において、前記フレキシブルケーブルの前記固着
部に対応する前記流路形成基板には、一端が前記圧力発
生手段と接続される配線が配され、前記固着部の前記流
路形成基板に対応する面には、前記配線と前記実装部と
を接続するための配線が設けられていることを特徴とす
るインクジェット式記録ヘッドにある。

【００２０】かかる第５の態様では、フレキシブルケー
ブルを流路形成基板に固着することにより、圧力発生手
段と駆動用集積回路が接続される。

【００２１】本発明の第６の態様は、第１〜５の何れか
の態様において、前記圧力発生手段は、前記圧力発生室
の一方面に設けられた振動板上に配設された圧電振動子
であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドに
ある。

【００２２】かかる第６の態様では、圧電振動子を駆動
することにより、インク滴を吐出することができる。

【００２３】本発明の第７の態様は、第６の態様におい
て、前記流路形成基板がセラミックスで形成され、前記
圧電振動子の各層がグリーンシート貼付又は印刷により
形成されていることを特徴とするインクジェット式記録
ヘッドにある。

【００２４】かかる第７の態様では、ヘッドを容易に製
造することができる。

【００２５】本発明の第８の態様は、第６の態様におい
て、前記流路形成基板がシリコン単結晶基板からなり、
前記圧力発生室が異方性エッチングにより形成され、前
記圧電振動子の各層が薄膜及びリソグラフィ法により形
成されたものであることを特徴とするインクジェット式
記録ヘッドにある。

【００２６】かかる第８の態様では、高密度のノズル開
口を有するインクジェット式記録ヘッドを大量に且つ比
較的容易に製造することができる。

【００２７】本発明の第９の態様は、第１〜５の何れか
の態様において、前記圧力発生手段は、前記圧力発生室
内に設けられた発熱素子であることを特徴とするインク
ジェット式記録ヘッドにある。

【００２８】かかる第９の態様では、フレキシブルケー
ブルに実装された駆動用回路の信号によって、発熱素子
を加熱することによりインク滴を吐出する。

【００２９】本発明の第１０の態様は、第１〜９の何れ
かの態様のインクジェット式記録ヘッドを具備すること
を特徴とするインクジェット式記録装置にある。

【００３０】かかる第１０の態様では、フレキシブルケ
ーブルと圧電振動子との接触が確実に防止されることに
より、信頼性を向上したインクジェット式記録装置を実
現することができる。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下に本発明を一実施形態に基づ
いて詳細に説明する。

【００３２】（実施形態１）図１は、本発明の実施形態
１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であ
り、図２はその断面図である。

【００３３】図示するように、圧力発生室１１を形成す
る基板となる流路形成基板（以下、スペーサ）１０は、
例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するジルコニア（Ｚ
ｒＯ₂）などのセラミックス板で、圧力発生室１１とな
る貫通孔を形成して構成される。

【００３４】スペーサ１０の一方面は、例えば、厚さ１
０μｍのジルコニアの薄板からなる弾性板１２により封
止され、弾性板１２の表面には下電極膜１３が形成され
ている。また、下電極膜１３の上には、圧力発生室１１
毎に独立して圧電体膜１４が固定されている。この圧電
体膜１４は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付し
たり、圧電材料をスパッタリングする等の方法により形
成される。さらに、各圧電体膜１４の表面には、それぞ
れ上電極膜１５が形成されて、各圧力発生室１１毎に圧
電振動子３００が形成されている。また、圧力発生室１
１の周壁端部近傍の弾性板１２上には、例えば、異方性
導電膜等で形成され、各上電極膜１５の端部に接続され
る端子部１６が設けられている。この端子部１６は、後
述するフレキシブルケーブル１７の配線３５と接続され
ている。なお、図示は省略するが、端子部１６は、下電
極膜１３の一端と接続される端子を包含する。

【００３５】また、スペーサ１０の他方面は、圧力発生
室１１の長手方向一方の端部近傍に設けられ、圧力発生
室１１と後述のリザーバとを連通する供給連通孔１８
と、圧力発生室１１の他方側の端部近傍に設けられ後述
するノズルプレート２９のノズル開口２８に連通するノ
ズル連通孔１９とを有する圧力発生室底板２０が固定さ
れている。

【００３６】これらスペーサ１０、弾性板１２及び圧力
発生室底板２０は、粘土状のセラミックス材料、いわゆ
るグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、供
給連通孔１８等となる通孔を要所に穿設後、積層して焼
成することにより接着剤を必要とすることなくアクチュ
エータユニット１に纏めることができる。

【００３７】また、圧力発生室底板２０上には、厚さ８
０μｍのステンレス鋼板からなるインク供給口形成基板
２１が形成されている。インク供給口形成基板２１は、
ノズル開口２８と圧力発生室１１とを接続するノズル連
通孔２２と、前述の供給連通孔１８と共にリザーバと圧
力発生室１１とを接続するインク供給口２３を穿設して
構成され、また、リザーバと連通し、外部のインクタン
クからのインクを供給するインク導入口２４が設けられ
ている。

【００３８】さらに、このインク供給口形成基板２１上
にはリザーバ形成基板２５が形成されている。このリザ
ーバ形成基板２５は、インク流路を構成するのに適し
た、例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を
備えた板材に、外部のインクタンクからインクの供給を
受けて圧力発生室１１にインクを供給するリザーバ２６
と、圧力発生室１１とノズル開口２８とを連通するノズ
ル連通孔２７とを有する。リザーバ形成基板２５のスペ
ーサ１０の反対面は、圧力発生室１１と同一の配列ピッ
チでノズル開口２８が形成されたノズルプレート２９に
より封止されている。

【００３９】これらインク供給口形成基板２１、リザー
バ形成基板２５及びノズルプレート２９は、それぞれの
間に熱溶着フィルムや接着剤等からなる接着層により固
定されて流路ユニット２に纏められ、その上でアクチュ
エータユニット１と熱溶着フィルムや接着剤等により固
定して記録ヘッドが構成されている。

【００４０】また、このように形成された記録ヘッド
は、外部からの信号を受けて各圧電振動子３００を駆動
するための駆動信号を出力する駆動用集積回路３０が、
フレキシブルケーブル１７に設けられた配線３５を介し
て圧電振動子３００に接続されている。

【００４１】本実施形態では、フレキシブルケーブル１
７は、駆動用集積回路３０が実装され、弾性板１２上の
全ての圧電振動子３００を長手方向に跨ぐように設けら
れ、端子部１６に固着される。

【００４２】さらに詳言すると、フレキシブルケーブル
１７は、圧電振動子３００に対向する領域に、流路形成
基板１０の表面と略平行で駆動用集積回路３０が実装さ
れる実装部１７ａを有する。この実装部１７ａのほぼ中
央となる領域には、駆動用集積回路３０の信号端子を圧
電振動子３００に対向させて露出させることができる程
度の窓１７ｂが形成されている。この窓１７ｂの内側に
は、駆動用集積回路３０の信号端子の配列にあわせて金
属箔を窓１７ｂ側に露出させて形成したリード３１が設
けられており、リード３１と駆動用集積回路３０との信
号出力端子とを半田付けした後、少なくとも駆動用集積
回路３０の周縁を樹脂３２で封止することにより駆動用
集積回路３０がフレキシブルケーブル１７に固定されて
いる。

【００４３】さらに、実装部１７ａの両端には、支持部
１７ｃが連結され、圧電振動子３００の運動を妨げない
程度の間隔、例えば、本実施形態では、圧電振動子３０
０と実装部１７ａとの間隔ｈを確保している。この支持
部１７ｃは、流路形成基板１０の表面に固着される固着
部３３と、この固着部３３に対して略直交する方向に延
び、固着部３３と実装部１７ａとを連結する段差部３４
とを含む。すなわち、フレキシブルケーブル１７は、実
装部１７ａの両端部で同方向に略直角に折り曲げられる
ことにより段差部３４が形成され、また、この段差部３
４の両端部を逆方向に略直角に折り曲げることにより固
着部３３が形成されている。

【００４４】また、フレキシブルケーブル１７の固着部
３３のスペーサ１０との対向面には、圧電振動子３００
の各上電極膜１５及び下電極膜１３と駆動用集積回路３
０とを接続する配線３５が設けられている。したがっ
て、弾性板１２上に設けられている端子部１６に固着部
３３を固着することにより、フレキシブルケーブル１７
の配線３５と端子部１６とが接続され、結果的に各圧電
振動子３００と駆動用集積回路３０とが接続される。

【００４５】なお、実装部１７ａの支持部１７ｃとは異
なる端部の略中央部には、印刷データを供給する外部装
置に接続される配線部１７ｄが延設されており、表面に
設けられている配線３５によって、駆動用集積回路３０
及び圧電振動子３００が外部装置と接続されている。

【００４６】このようなフレキシブルケーブル１７は、
本実施形態では、ポリイミド等の耐熱性絶縁フィルム３
６に、配線３５となる半田付けが可能な金属、例えば、
銅等の金属箔を積層して構成されており、少なくとも圧
電振動子３００に対向する領域では、アクチュエータユ
ニット１の端子部１６間を跨ぐことができるサイズに形
成されている。

【００４７】これら耐熱性絶縁フィルム３６及び配線３
５となる金属箔の厚さは、特に限定されないが、フレキ
シブルケーブル１７には、駆動用集積回路３０が実装さ
れているため、所定の強度を有することが必要であり、
例えば、本実施形態では、耐熱性絶縁フィルム３６の厚
さを５０μｍ、配線３５となる金属箔の厚さを１８μｍ
とした。これらは、一見薄いように思えるが、段差部３
４の折り曲げにより見かけ上の強度は充分である。

【００４８】このように、フレキシブルケーブル１７に
支持部１７ｃを設けることにより、圧電振動子３００と
駆動用集積回路３０の底面とが接触しない程度に、高さ
ｈの間隔を確保することができる。したがって、フレキ
シブルケーブル１７に実装された駆動用集積回路３０が
圧電振動子３００に接触して圧電振動子３００の振動を
阻害し、印字品質に悪影響を与えたり、また圧電振動子
３００の破損を防止することができる。さらには、フレ
キシブルケーブル１７は、段差部３４の両端が略直角に
曲げられた角部となっているので、固着部３３を端子部
１６に固定する際、両角部を変形させて、固着部３３の
位置を若干ずらすことができる。したがって、部品の寸
法精度を緩和させることができる。

【００４９】このように構成したインクジェット式記録
ヘッドは、図示しない外部インク供給手段に接続された
インク導入口２４からインクを取り込み、リザーバ２６
からノズル開口２８に至るまで内部をインクで満たした
後、図示しない外部装置からの信号により駆動用集積回
路３０が出力した記録信号に従い、下電極膜１３と上電
極膜１５との間に電圧を印加し、弾性板１２と圧電体膜
１４とをたわみ変形させることにより、圧力発生室１１
内の圧力が高まりノズル開口２８からインク滴が吐出す
る。

【００５０】（他の実施形態）また、上述の各実施形態
では、グリーンシートを貼付する等の方法により形成さ
れる厚膜型のインクジェット式記録ヘッドを例にした
が、勿論これに限定されるものではなく、例えば、成膜
及びリソグラフィプロセスを応用して製造される薄膜型
のインクジェット式記録ヘッド等、各種の構造のインク
ジェット式記録ヘッドに本発明を採用することができ
る。

【００５１】ここで、薄膜型のインクジェット式記録ヘ
ッドの一例を示す。図３は、記録ヘッドの一例を示す分
解斜視図であり、図４はその断面図である。

【００５２】このようなインクジェット式記録ヘッドで
は、図示するように、圧力発生室５１が形成された流路
形成基板５２の一方面には、弾性膜５３が形成されてい
る。この弾性膜５３上には、下電極膜５４、圧電体膜５
５及び上電極膜５６が積層及びパターニングされ、各圧
力発生室５１毎に圧電振動子３００を構成している。こ
の圧電振動子３００上には、電気絶縁性を備えた絶縁体
層５７が形成され、さらに、絶縁体層５７の各圧電振動
子３００に対応する部分には、リード電極５８と接続す
るために上電極膜５６の一部を露出させるコンタクトホ
ール５７ａが形成されている。このコンタクトホール５
７ａを介して、各上電極膜５６に一端が接続し、また他
端が接続端子部に延びるリード電極５８が形成されてい
る。

【００５３】一方、流路形成基板５２の他方面側には、
ノズル６１ａが穿設されたノズル形成基板６１が設けら
れ、このノズル６１ａと圧力発生室５１とを連通するノ
ズル連通孔６２が封止板６３、共通インク室形成基板６
４及びインク室板６５を貫通するように配されている。

【００５４】また、封止板６３、共通インク室形成基板
６４及びインク室板６５により、共通インク室６６が形
成されている。この共通インク室６６と各圧力発生室１
１とは封止板６３に形成されたインク供給連通孔６７を
介して連通されており、また、封止板６３には、外部か
らインク供給を受けるインク導入口６８が形成されてい
る。また、この共通インク室６６に対向する部分のイン
ク室板６５には凹部６５ａを形成することにより薄肉壁
６９が形成されている。この薄肉壁６９により、インク
を吐出する際に発生するノズル６１ａと反対側に向かう
圧力が吸収され、他の圧力発生室５１に、共通インク室
６６を経由して不要な正又は負の圧力が加わるのを防止
している。

【００５５】ここで、この実施形態においても、上述の
実施形態と同様に、フレキシブルケーブルに駆動用集積
回路を実装した実装部を支持する支持部を設けることに
より、フレキシブルケーブルに実装された駆動用集積回
路と圧電振動子とを接続する際、駆動用集積回路が圧電
振動子に接触して、圧電振動子の振動を阻害したり、印
字品質に悪影響を与えたり、また圧電振動子の破損等を
防止することができる。

【００５６】また、本実施形態では、圧電振動子の上電
極膜とフレキシブルケーブルとをリード電極を介して接
続した例を説明したが、これに限定されず、例えば、ワ
イヤボンディング等の各種ボンディング技術を用いて接
続したりする構成としてもよい。

【００５７】さらに、上述の実施形態では、圧電振動式
のインクジェット式記録ヘッドについて説明したが、こ
れに限定されず、例えば、圧力発生室内にジュール熱を
発生する発熱素子等を設けて、駆動信号により発熱素子
を発熱させ圧力発生室内のインクを気化させて加圧する
もの、いわゆるバブルジェット式のインクジェット式記
録ヘッド等、その趣旨に反しない限り、種々の構造のイ
ンクジェット式記録ヘッドに応用することができる。

【００５８】また、これら各実施形態のインクジェット
式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するイン
ク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成し
て、インクジェット式記録装置に搭載される。図５は、
そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図であ
る。

【００５９】図５に示すように、インクジェット式記録
ヘッドを有する記録ヘッドユニット７１Ａ及び７１Ｂ
は、インク供給手段を構成するカートリッジ７２Ａ及び
７２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット
７１Ａ及び７１Ｂを搭載したキャリッジ７３は、装置本
体７４に取り付けられたキャリッジ軸７５に軸方向移動
自在に設けられている。この記録ヘッドユニット７１Ａ
及び７１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物
及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。

【００６０】そして、駆動モータ７６の駆動力が図示し
ない複数の歯車およびタイミングベルト７７を介してキ
ャリッジ７３に伝達されることで、記録ヘッドユニット
７１Ａ及び７１Ｂを搭載したキャリッジ７３はキャリッ
ジ軸７５に沿って移動される。一方、装置本体７４には
キャリッジ軸７５に沿ってプラテン７８が設けられてお
り、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の
記録媒体である記録シートＳがプラテン７８に巻き掛け
られて搬送されるようになっている。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
圧電振動子を駆動するための駆動用集積回路を実装した
フレキシブルケーブルの実装部を支持部により支持する
ようにしたので、圧電振動子とフレキシブルケーブルと
の間に、圧電振動子の運動を妨げない程度の間隔を確保
することができ、フレキシブルケーブルの接触による振
動板の振動不良や圧電振動子の破損等を防止することが
できる。

【００６２】また、支持部の両端が角部となっているの
で、組立の際、若干変形させることができ、部品の寸法
精度を緩和させることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドの分解斜視図である。

【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドの断面図である。

【図３】本発明の他の実施形態に係るインクジェット式
記録ヘッドの分解斜視図である。

【図４】本発明の他の実施形態に係るインクジェット式
記録ヘッドの平面及び断面を示す図である。

【図５】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記
録装置の概略図である。

【符号の説明】

１ アクチュエータユニット ２ 流路ユニット １０ スペーサ １１ 圧力発生室 １２ 弾性膜 １３ 下電極膜 １４ 圧電体膜 １５ 上電極膜 １６ 端子部 １７ フレキシブルケーブル １７ａ 実装部 １７ｂ 窓 １７ｃ 支持部 １７ｄ 配線部 ２０ 圧力発生室底板 ２１ インク供給口形成基板 ２５ リザーバ形成基板 ２９ ノズルプレート ３０ 駆動用集積回路 ３３ 固着部 ３４ 段差部

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズル開口にそれぞれ連通する圧力発生
   室を画成した流路形成基板と、前記圧力発生室にインク
   吐出のための圧力を付与する圧力発生手段と、該圧力発
   生手段を駆動する駆動用集積回路と該圧力発生手段とを
   接続するフレキシブルケーブルとを具備するインクジェ
   ット式記録ヘッドにおいて、 前記フレキシブルケーブルは、前記圧力発生手段に対向
   する領域に前記駆動用集積回路が実装される実装部と該
   実装部の両端部を支持する支持部とを有して前記圧力発
   生手段を跨ぐように設けられ、前記支持部は、前記圧力
   発生手段と前記実装部との間に前記圧力発生手段の運動
   を阻害しない程度の間隔を形成して前記実装部を支持す
   ることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記支持部は、前記
   流路形成基板の表面に固着する固着部と、この固着部に
   対して略直交する方向に延びると共に前記実装部に連結
   する段差部とを含むことを特徴とするインクジェット式
   記録ヘッド。
3. 【請求項３】 請求項１又は２において、前記フレキシ
   ブルケーブルは、耐熱性絶縁フィルムに半田付けが可能
   な金属箔を積層するとともに、前記実装部に前記駆動用
   集積回路を固定する窓を備え、前記窓に形成された接続
   手段により前記駆動用集積回路と接続することを特徴と
   するインクジェット式記録ヘッド。
4. 【請求項４】 請求項１〜３の何れかにおいて、前記駆
   動用集積回路の少なくとも周縁が高分子材料により前記
   フレキシブルケーブルにモールドされていることを特徴
   とするインクジェット式記録ヘッド。
5. 【請求項５】 請求項２〜４の何れかにおいて、前記フ
   レキシブルケーブルの前記固着部に対応する前記流路形
   成基板には、一端が前記圧力発生手段と接続される配線
   が配され、前記固着部の前記流路形成基板に対応する面
   には、前記配線と前記実装部とを接続するための配線が
   設けられていることを特徴とするインクジェット式記録
   ヘッド。
6. 【請求項６】 請求項１〜５の何れかにおいて、前記圧
   力発生手段は、前記圧力発生室の一方面に設けられた振
   動板上に配設された圧電振動子であることを特徴とする
   インクジェット式記録ヘッド。
7. 【請求項７】 請求項６において、前記流路形成基板が
   セラミックスで形成され、前記圧電振動子の各層がグリ
   ーンシート貼付又は印刷により形成されていることを特
   徴とするインクジェット式記録ヘッド。
8. 【請求項８】 請求項６において、前記流路形成基板が
   シリコン単結晶基板からなり、前記圧力発生室が異方性
   エッチングにより形成され、前記圧電振動子の各層が薄
   膜及びリソグラフィ法により形成されたものであること
   を特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
9. 【請求項９】 請求項１〜５の何れかにおいて、前記圧
   力発生手段は、前記圧力発生室内に設けられた発熱素子
   であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
10. 【請求項１０】 請求項１〜９の何れかのインクジェッ
    ト式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェ
    ット式記録装置。