JPH1132169A - 光学式読取装置 - Google Patents
光学式読取装置Info
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- JPH1132169A JPH1132169A JP9184823A JP18482397A JPH1132169A JP H1132169 A JPH1132169 A JP H1132169A JP 9184823 A JP9184823 A JP 9184823A JP 18482397 A JP18482397 A JP 18482397A JP H1132169 A JPH1132169 A JP H1132169A
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- Japan
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- light
- image sensor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルタを機械的に切り替える必要がなく、
高速な色分解が得られ、小型化に適した光学式読取装置
を提供することを目的とする。 【解決手段】 ランプより、ガラス上の原稿に白色光を
照射し、画像光をミラーで折り返し、結像レンズを透過
させたのちカラーイメージセンサ６に入射し、カラーイ
メージセンサ６では干渉フィルタにより画像光をＲ，
Ｇ，Ｂ３原色に色分解し、３原色の透過光を独立したホ
トダイオード上に結像する。カラーイメージセンサ６
は、Ｓｉ基板７上に形成された３ラインのＣＣＤ受光面
及びその直上に配置された誘電体多層膜からなるＲ，
Ｇ，Ｂの干渉フィルタ９，１０，１１及びそれらを形成
したガラス基板１２及びガラス基板１２とＳｉ基板７と
の間に置かれたガラス製スペーサ１３及びガラス基板１
２とＳｉ基板７を接着するＵＶ樹脂１４及びセラミック
パッケージ１５及びカバーガラス１６から構成される。
高速な色分解が得られ、小型化に適した光学式読取装置
を提供することを目的とする。 【解決手段】 ランプより、ガラス上の原稿に白色光を
照射し、画像光をミラーで折り返し、結像レンズを透過
させたのちカラーイメージセンサ６に入射し、カラーイ
メージセンサ６では干渉フィルタにより画像光をＲ，
Ｇ，Ｂ３原色に色分解し、３原色の透過光を独立したホ
トダイオード上に結像する。カラーイメージセンサ６
は、Ｓｉ基板７上に形成された３ラインのＣＣＤ受光面
及びその直上に配置された誘電体多層膜からなるＲ，
Ｇ，Ｂの干渉フィルタ９，１０，１１及びそれらを形成
したガラス基板１２及びガラス基板１２とＳｉ基板７と
の間に置かれたガラス製スペーサ１３及びガラス基板１
２とＳｉ基板７を接着するＵＶ樹脂１４及びセラミック
パッケージ１５及びカバーガラス１６から構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラースキャナや
ファックス等に用いられるカラー原稿の光学式読取装置
に関するものである。
ファックス等に用いられるカラー原稿の光学式読取装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、印刷、出版分野に留まらず、一般
の事務所や個人などにおいてもカラー画像の入出力を行
う機会が増え、カラースキャナの用途が広がってきてお
り、従来のドラムスキャナに加え、構成が簡単で低価格
なイメージスキャナが多く用いられてきている。
の事務所や個人などにおいてもカラー画像の入出力を行
う機会が増え、カラースキャナの用途が広がってきてお
り、従来のドラムスキャナに加え、構成が簡単で低価格
なイメージスキャナが多く用いられてきている。
【０００３】カラースキャナは光学系に何らかの色分解
方式を用いており、その中で主な方式としては、Ｒ，
Ｇ，Ｂ３色の光源切り替えをさせるもの（特公平５−３
２８０３５号公報）、Ｒ，Ｇ，Ｂの３ラインのストライ
プ状フィルタを上下駆動させるもの（実公昭５９−１６
６５５６号公報等）、プリズムで３分光し、３つのイメ
ージセンサで読み取るもの等である。この中で、Ｒ，
Ｇ，Ｂの３ラインのストライプ状フィルタをリニアモー
ターで上下駆動させる方法は、光源やイメージセンサが
一つで良いという利点を備えている。
方式を用いており、その中で主な方式としては、Ｒ，
Ｇ，Ｂ３色の光源切り替えをさせるもの（特公平５−３
２８０３５号公報）、Ｒ，Ｇ，Ｂの３ラインのストライ
プ状フィルタを上下駆動させるもの（実公昭５９−１６
６５５６号公報等）、プリズムで３分光し、３つのイメ
ージセンサで読み取るもの等である。この中で、Ｒ，
Ｇ，Ｂの３ラインのストライプ状フィルタをリニアモー
ターで上下駆動させる方法は、光源やイメージセンサが
一つで良いという利点を備えている。
【０００４】以下、従来のストライプ状フィルタを用い
た光学式読取装置について説明する。図４は、従来のス
トライプ状フィルタを用いた光学式読取装置の構成図で
ある。ランプ１より、ガラス２上の原稿３に白色光を照
射し、画像光をミラー４で折り返し、結像レンズ５によ
ってモノクロのイメージセンサ１９に原稿像を結像す
る。結像レンズ５とイメージセンサ１９間にはＲ，Ｇ，
Ｂの各々のカラーフィルタを平行に配置したストライプ
フィルタ２０が設置してあり、リニアモーターなどの駆
動装置２１により光軸に垂直に上下運動できるようにな
っている。
た光学式読取装置について説明する。図４は、従来のス
トライプ状フィルタを用いた光学式読取装置の構成図で
ある。ランプ１より、ガラス２上の原稿３に白色光を照
射し、画像光をミラー４で折り返し、結像レンズ５によ
ってモノクロのイメージセンサ１９に原稿像を結像す
る。結像レンズ５とイメージセンサ１９間にはＲ，Ｇ，
Ｂの各々のカラーフィルタを平行に配置したストライプ
フィルタ２０が設置してあり、リニアモーターなどの駆
動装置２１により光軸に垂直に上下運動できるようにな
っている。
【０００５】原稿３を主走査方向に読み取る際には、駆
動装置２１の上下動により、Ｒ，Ｇ，Ｂフィルタをイメ
ージセンサ１９の前面で順次切り替えることにより、画
像光を３原色に色分解してイメージセンサ１９上に結像
する線順次と呼ばれる方法で行う。また副走査方向へは
以上の過程を繰り返すことにより、原稿３の読み取りを
行う。
動装置２１の上下動により、Ｒ，Ｇ，Ｂフィルタをイメ
ージセンサ１９の前面で順次切り替えることにより、画
像光を３原色に色分解してイメージセンサ１９上に結像
する線順次と呼ばれる方法で行う。また副走査方向へは
以上の過程を繰り返すことにより、原稿３の読み取りを
行う。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の方
法では、フィルタをリニアモーターなどの駆動装置によ
り機械的に切り替えるため、切り替え速度が遅く、また
変位量の精密な制御が難しいためフィルタの位置ずれに
よる混色が起こりやすい上、駆動機構の設置スペースが
必要となるため小型化しにくいなどの問題点があった。
法では、フィルタをリニアモーターなどの駆動装置によ
り機械的に切り替えるため、切り替え速度が遅く、また
変位量の精密な制御が難しいためフィルタの位置ずれに
よる混色が起こりやすい上、駆動機構の設置スペースが
必要となるため小型化しにくいなどの問題点があった。
【０００７】本発明は、上記問題点を解決するためのも
ので、受光面上にＲ，Ｇ，Ｂ３原色の干渉フィルタを配
置したイメージセンサを用いて原稿のカラー読み取りを
行うことにより、フィルタ切り替え時間を不要とし、色
再現性に優れ、小型化に適した光学式読取装置を提供す
ることを目的とする。
ので、受光面上にＲ，Ｇ，Ｂ３原色の干渉フィルタを配
置したイメージセンサを用いて原稿のカラー読み取りを
行うことにより、フィルタ切り替え時間を不要とし、色
再現性に優れ、小型化に適した光学式読取装置を提供す
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の光学式読取装置
は、原稿からの画像光をイメージセンサで３原色に色分
解して読取る光学式読取装置であって、原稿面を照明す
る照明手段と、画像を前記イメージセンサに結像する結
像光学系とを備え、Ｒ，Ｇ，Ｂ３原色の干渉フィルタを
有する前記イメージセンサを用いて原稿のカラー読み取
りを行う。
は、原稿からの画像光をイメージセンサで３原色に色分
解して読取る光学式読取装置であって、原稿面を照明す
る照明手段と、画像を前記イメージセンサに結像する結
像光学系とを備え、Ｒ，Ｇ，Ｂ３原色の干渉フィルタを
有する前記イメージセンサを用いて原稿のカラー読み取
りを行う。
【０００９】この構成により、フィルタ切り替え時間を
不要とし、色再現性に優れ、小型化に適した光学式読取
装置を実現できる。
不要とし、色再現性に優れ、小型化に適した光学式読取
装置を実現できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】請求項１記載の光学式読取装置
は、原稿からの画像光をイメージセンサで３原色に色分
解して読取る光学式読取装置であって、原稿面を照明す
る照明手段と、画像を前記イメージセンサに結像する結
像光学系とを備え、Ｒ，Ｇ，Ｂ３原色の干渉フィルタを
有する前記イメージセンサを用いて原稿のカラー読み取
りを行うようにした。この構成により、波長の選択性お
よび透過特性に優れた誘電体干渉フィルタをイメージセ
ンサの受光面上に密接に配置されたカラーイメージセン
サを実現することにより光学式読取装置の色再現性の向
上および読み取り速度の高速化、装置の小型化を図るも
のである。即ち、原稿光は、イメージセンサに入射し、
透明基板上に形成された、Ｒ，Ｇ，Ｂ各々の波長領域の
みを透過する誘電体多層膜によって色分解され、ホトダ
イオードからなる受光面に入射される。従って、機械的
にフィルタ切り替えを行う必要がなく読み取り時間が短
縮できるとともに、カラーフィルタをイメージセンサの
パッケージに入れることができるため、装置を小型化で
きる。さらに、有機フィルタを用いたカラーイメージセ
ンサに比べ、波長選択性に優れ、原稿光の透過率が高い
ため、色再現性に優れるという特徴がある。
は、原稿からの画像光をイメージセンサで３原色に色分
解して読取る光学式読取装置であって、原稿面を照明す
る照明手段と、画像を前記イメージセンサに結像する結
像光学系とを備え、Ｒ，Ｇ，Ｂ３原色の干渉フィルタを
有する前記イメージセンサを用いて原稿のカラー読み取
りを行うようにした。この構成により、波長の選択性お
よび透過特性に優れた誘電体干渉フィルタをイメージセ
ンサの受光面上に密接に配置されたカラーイメージセン
サを実現することにより光学式読取装置の色再現性の向
上および読み取り速度の高速化、装置の小型化を図るも
のである。即ち、原稿光は、イメージセンサに入射し、
透明基板上に形成された、Ｒ，Ｇ，Ｂ各々の波長領域の
みを透過する誘電体多層膜によって色分解され、ホトダ
イオードからなる受光面に入射される。従って、機械的
にフィルタ切り替えを行う必要がなく読み取り時間が短
縮できるとともに、カラーフィルタをイメージセンサの
パッケージに入れることができるため、装置を小型化で
きる。さらに、有機フィルタを用いたカラーイメージセ
ンサに比べ、波長選択性に優れ、原稿光の透過率が高い
ため、色再現性に優れるという特徴がある。
【００１１】請求項２記載の光学式読取装置は、イメー
ジセンサが、Ｒ，Ｇ，Ｂ３原色の透過波長特性を持つ誘
電体多層膜を透明基板上に独立に形成した３原色干渉フ
ィルタを受光面の真上にスペーサを介して配置した。こ
の構成により、透明基板上に誘電体多層膜を形成し、イ
メージセンサの受光面上にスペーサを介して接着する構
成を有するため、受光面上に直接誘電体多層膜を形成す
る場合に比べ、成膜時やフィトリソグラフィーによる微
細加工時にＳｉ基板上に形成された素子へのダメージが
発生しない。
ジセンサが、Ｒ，Ｇ，Ｂ３原色の透過波長特性を持つ誘
電体多層膜を透明基板上に独立に形成した３原色干渉フ
ィルタを受光面の真上にスペーサを介して配置した。こ
の構成により、透明基板上に誘電体多層膜を形成し、イ
メージセンサの受光面上にスペーサを介して接着する構
成を有するため、受光面上に直接誘電体多層膜を形成す
る場合に比べ、成膜時やフィトリソグラフィーによる微
細加工時にＳｉ基板上に形成された素子へのダメージが
発生しない。
【００１２】請求項３記載の光学式読取装置は、干渉フ
ィルタにおいて透明基板と熱膨張係数の等しい基板上に
レジストを塗布し、前記透明基板を加熱接着により張り
合わせたのち、前記透明基板上に物理蒸着法およびリフ
トオフ工程によりＲ，Ｇ，Ｂ３原色の誘電体多層膜を独
立に形成後、前記レジストを除去し、前記透明基板を分
離する３原色干渉フィルタとした。この構成により、蒸
着時の熱による基板のそりの影響を軽減し、誘電体多層
膜の膜厚分布が基板のそりにより劣化することを防止で
き、一様な透過特性を得ることができる。
ィルタにおいて透明基板と熱膨張係数の等しい基板上に
レジストを塗布し、前記透明基板を加熱接着により張り
合わせたのち、前記透明基板上に物理蒸着法およびリフ
トオフ工程によりＲ，Ｇ，Ｂ３原色の誘電体多層膜を独
立に形成後、前記レジストを除去し、前記透明基板を分
離する３原色干渉フィルタとした。この構成により、蒸
着時の熱による基板のそりの影響を軽減し、誘電体多層
膜の膜厚分布が基板のそりにより劣化することを防止で
き、一様な透過特性を得ることができる。
【００１３】以下本発明の実施の形態について、図面を
参照しながら説明する。図１に本発明の一実施の形態の
光学式読取装置の構成図を示す。図１において、ランプ
１、ガラス２、原稿３、ミラー４、結像レンズ５および
カラーイメージセンサ６から装置が構成される。
参照しながら説明する。図１に本発明の一実施の形態の
光学式読取装置の構成図を示す。図１において、ランプ
１、ガラス２、原稿３、ミラー４、結像レンズ５および
カラーイメージセンサ６から装置が構成される。
【００１４】原稿の読み取りは、まず、ランプ１よりガ
ラス２上の原稿３に白色光を照射し、画像光をミラー４
で折り返し、結像レンズ５を透過させたのちカラーイメ
ージセンサ６に入射する。カラーイメージセンサ６では
干渉フィルタにより画像光をＲ，Ｇ，Ｂ３原色に色分解
し、３原色の透過光を独立したホトダイオード上に結像
する。
ラス２上の原稿３に白色光を照射し、画像光をミラー４
で折り返し、結像レンズ５を透過させたのちカラーイメ
ージセンサ６に入射する。カラーイメージセンサ６では
干渉フィルタにより画像光をＲ，Ｇ，Ｂ３原色に色分解
し、３原色の透過光を独立したホトダイオード上に結像
する。
【００１５】次に、干渉フィルタの構成について説明す
る。図２は本発明の一実施の形態の光学式読取装置のイ
メージセンサの構成図である。カラーイメージセンサ６
は、図２に示すようにＳｉ基板７上に形成された３ライ
ンのＣＣＤ受光面およびその直上に配置されたＴｉ
Ｏ2，ＳｉＯ2，ＭｇＦ2，ＣａＦ2などの誘電体多層膜か
らなるＲ，Ｇ，Ｂの干渉フィルタ９，１０，１１および
それらを形成したガラス基板１２およびガラス基板１２
とＳｉ基板７との間に置かれたガラス製スペーサ１３お
よびガラス基板１２とＳｉ基板７を接着するＵＶ樹脂１
４およびセラミックパッケージ１５およびカバーガラス
１６から構成される。
る。図２は本発明の一実施の形態の光学式読取装置のイ
メージセンサの構成図である。カラーイメージセンサ６
は、図２に示すようにＳｉ基板７上に形成された３ライ
ンのＣＣＤ受光面およびその直上に配置されたＴｉ
Ｏ2，ＳｉＯ2，ＭｇＦ2，ＣａＦ2などの誘電体多層膜か
らなるＲ，Ｇ，Ｂの干渉フィルタ９，１０，１１および
それらを形成したガラス基板１２およびガラス基板１２
とＳｉ基板７との間に置かれたガラス製スペーサ１３お
よびガラス基板１２とＳｉ基板７を接着するＵＶ樹脂１
４およびセラミックパッケージ１５およびカバーガラス
１６から構成される。
【００１６】次に、干渉フィルタの製造方法について説
明する。図３は本発明の一実施の形態の光学式読取装置
の干渉フィルタ形成方法の工程図である。図３の（Ａ）
は１ｍｍ厚さのホウケイ酸ガラス基板から成るＳｉ基板
１７に耐熱性ポジレジストをスピナーで約１０μｍ塗布
し、１００μｍ厚さのホウケイ酸ガラスから成る薄いガ
ラス基板１２を乗せ、１７０°Ｃ×３０分の加熱を行い
接着したものである。この張り合わせ基板の薄板ガラス
面上にＣｕをスパッタ法により成膜し、ポジレジストを
用いて、Ｃｕ膜に通常のフォトリソグラフィにより８０
μｍ幅、３μｍ深さの溝を形成する。
明する。図３は本発明の一実施の形態の光学式読取装置
の干渉フィルタ形成方法の工程図である。図３の（Ａ）
は１ｍｍ厚さのホウケイ酸ガラス基板から成るＳｉ基板
１７に耐熱性ポジレジストをスピナーで約１０μｍ塗布
し、１００μｍ厚さのホウケイ酸ガラスから成る薄いガ
ラス基板１２を乗せ、１７０°Ｃ×３０分の加熱を行い
接着したものである。この張り合わせ基板の薄板ガラス
面上にＣｕをスパッタ法により成膜し、ポジレジストを
用いて、Ｃｕ膜に通常のフォトリソグラフィにより８０
μｍ幅、３μｍ深さの溝を形成する。
【００１７】次に、Ｒ透過特性を持つＴｉＯ2／ＳｉＯ2
からなる誘電体多層膜をＴｉＯ2，ＳｉＯ2の蒸着々酸素
雰囲気中で電子ビーム蒸着する反応性蒸着法により、Ｏ
2流量２０ｃｃ／分、真空度１×１０−４Ｔｏｒｒ、加
熱温度３００°Ｃで全面に形成した後、Ｃｕエッチング
液に浸漬するリフトオフ法により余分な誘電体膜および
Ｃｕを除去し、８０μｍ幅のＲ膜のラインを形成する。
以下本工程の繰り返しにより図３の（Ｂ）に示すように
Ｒ，Ｇ，Ｂ干渉膜のラインを形成する。
からなる誘電体多層膜をＴｉＯ2，ＳｉＯ2の蒸着々酸素
雰囲気中で電子ビーム蒸着する反応性蒸着法により、Ｏ
2流量２０ｃｃ／分、真空度１×１０−４Ｔｏｒｒ、加
熱温度３００°Ｃで全面に形成した後、Ｃｕエッチング
液に浸漬するリフトオフ法により余分な誘電体膜および
Ｃｕを除去し、８０μｍ幅のＲ膜のラインを形成する。
以下本工程の繰り返しにより図３の（Ｂ）に示すように
Ｒ，Ｇ，Ｂ干渉膜のラインを形成する。
【００１８】次に図３の（Ｃ）に示すように溶剤でガラ
ス基板１２とＳｉ基板１７の間のポジレジスト１８を溶
解し、ガラス基板１２とＳｉ基板１７を分離する。ガラ
ス基板１２はＳｉ基板７上に１２μｍ径のガラス製スペ
ーサを介してアライメントされ、ＵＶ樹脂１４によりＳ
ｉ基板７上に接着される。さらにパッケージ１５にカバ
ーガラス１６を接着してイメージセンサを作製する。な
お上記実施の形態は、カラー原稿の光学式読取装置なら
ばカラースキャナに限らず、ファックス、マルチファン
クションプリンタ、カラーコピー機にも適用できる。
ス基板１２とＳｉ基板１７の間のポジレジスト１８を溶
解し、ガラス基板１２とＳｉ基板１７を分離する。ガラ
ス基板１２はＳｉ基板７上に１２μｍ径のガラス製スペ
ーサを介してアライメントされ、ＵＶ樹脂１４によりＳ
ｉ基板７上に接着される。さらにパッケージ１５にカバ
ーガラス１６を接着してイメージセンサを作製する。な
お上記実施の形態は、カラー原稿の光学式読取装置なら
ばカラースキャナに限らず、ファックス、マルチファン
クションプリンタ、カラーコピー機にも適用できる。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明は、色再現性に優
れ、フィルタを機械的に駆動する必要がなく、色分解が
高速で行え、小型化に適した光学式読取装置を実現でき
る。また色分解を行う干渉フィルタを形成するにあたっ
てＳｉ上に形成された素子へのダメージを少なくできる
カラーイメージセンサと、薄板ガラス上に誘電体多層膜
を形成できるカラー干渉フィルタを実現することができ
る。
れ、フィルタを機械的に駆動する必要がなく、色分解が
高速で行え、小型化に適した光学式読取装置を実現でき
る。また色分解を行う干渉フィルタを形成するにあたっ
てＳｉ上に形成された素子へのダメージを少なくできる
カラーイメージセンサと、薄板ガラス上に誘電体多層膜
を形成できるカラー干渉フィルタを実現することができ
る。
【図１】本発明の一実施の形態の光学式読取装置の構成
図
図
【図２】本発明の一実施の形態の光学式読取装置のイメ
ージセンサの構成図
ージセンサの構成図
【図３】本発明の一実施の形態の光学式読取装置の干渉
フィルタ形成方法の工程図
フィルタ形成方法の工程図
【図４】従来のストライプ状フィルタを用いた光学式読
取装置の構成図
取装置の構成図
１ ランプ ２ ガラス ３ 原稿 ４ ミラー ５ 結像レンズ ６ カラーイメージセンサ ７ Ｓｉ基板 ８ 受光部 ９ Ｒ干渉フィルタ １０ Ｇ干渉フィルタ １１ Ｂ干渉フィルタ １２ ガラス基板 １３ スペーサ １４ ＵＶ樹脂 １５ パッケージ １６ カバーガラス １７ Ｓｉ基板 １８ ポジレジスト
Claims (3)
- 【請求項１】原稿からの画像光をイメージセンサで３原
色に色分解して読取る光学式読取装置であって、原稿面
を照明する照明手段と、画像を前記イメージセンサに結
像する結像光学系とを備え、Ｒ，Ｇ，Ｂ３原色の干渉フ
ィルタを有する前記イメージセンサを用いて原稿のカラ
ー読み取りを行うことを特徴とする光学式読取装置。 - 【請求項２】前記イメージセンサが、Ｒ，Ｇ，Ｂ３原色
の透過波長特性を持つ誘電体多層膜を透明基板上に独立
に形成した３原色干渉フィルタを受光面の真上にスペー
サを介して配置した構成を有することを特徴とする請求
項１記載の光学式読取装置。 - 【請求項３】前記干渉フィルタにおいて透明基板と熱膨
張係数の等しい基板上にレジストを塗布し、前記透明基
板を加熱接着により張り合わせた後、前記透明基板上に
物理蒸着法およびリフトオフ工程によりＲ，Ｇ，Ｂ３原
色の誘電体多層膜を独立に形成後、前記レジストを除去
し、前記透明基板を分離する３原色干渉フィルタとした
ことを特徴とする請求項２記載の光学式読取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9184823A JPH1132169A (ja) | 1997-07-10 | 1997-07-10 | 光学式読取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9184823A JPH1132169A (ja) | 1997-07-10 | 1997-07-10 | 光学式読取装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1132169A true JPH1132169A (ja) | 1999-02-02 |
Family
ID=16159926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9184823A Pending JPH1132169A (ja) | 1997-07-10 | 1997-07-10 | 光学式読取装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1132169A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6893941B2 (en) | 2001-03-21 | 2005-05-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor device and its manufacture method |
| JP2010091567A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Xerox Corp | 分光光度計によって画像支持面上のトナー画像のカラー解析を行うためのシステム及び方法 |
-
1997
- 1997-07-10 JP JP9184823A patent/JPH1132169A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6893941B2 (en) | 2001-03-21 | 2005-05-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor device and its manufacture method |
| KR100499317B1 (ko) * | 2001-03-21 | 2005-07-04 | 캐논 가부시끼가이샤 | 반도체장치 |
| JP2010091567A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Xerox Corp | 分光光度計によって画像支持面上のトナー画像のカラー解析を行うためのシステム及び方法 |
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