JPH1133458A - 液状体の塗布装置 - Google Patents
液状体の塗布装置Info
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- JPH1133458A JPH1133458A JP19573097A JP19573097A JPH1133458A JP H1133458 A JPH1133458 A JP H1133458A JP 19573097 A JP19573097 A JP 19573097A JP 19573097 A JP19573097 A JP 19573097A JP H1133458 A JPH1133458 A JP H1133458A
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- Japan
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- nozzle body
- liquid material
- dispenser
- tip
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 この発明はディスペンサ装置のノズル体の位
置測定を精密に行うことができるようにしたシ−ル剤の
塗布装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 シ−ル剤を液晶用基板９に塗布するため
の塗布装置において、上記シ−ルが収容されるバレル２
７ａおよびこのバレルの先端部に着脱自在に設けられ先
端から上記バレル内の液状体が吐出されるノズル体２７
ｂとを有するディスペンサ２７と、上記液晶用基板に対
して上記ディスペンサを相対的にＸ、ＹおよびＺ方向に
移動させる駆動源１５、１７、１９と、上記ノズル体の
先端部を撮像しその撮像信号によってこのノズル体の先
端部の位置を検出する撮像カメラ３７、３８とを具備し
たことを特徴とする。
置測定を精密に行うことができるようにしたシ−ル剤の
塗布装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 シ−ル剤を液晶用基板９に塗布するため
の塗布装置において、上記シ−ルが収容されるバレル２
７ａおよびこのバレルの先端部に着脱自在に設けられ先
端から上記バレル内の液状体が吐出されるノズル体２７
ｂとを有するディスペンサ２７と、上記液晶用基板に対
して上記ディスペンサを相対的にＸ、ＹおよびＺ方向に
移動させる駆動源１５、１７、１９と、上記ノズル体の
先端部を撮像しその撮像信号によってこのノズル体の先
端部の位置を検出する撮像カメラ３７、３８とを具備し
たことを特徴とする。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は液状体をディスペ
ンサのノズル体から吐出させて板状体に塗布するための
液状体の塗布装置に関する。
ンサのノズル体から吐出させて板状体に塗布するための
液状体の塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルは板状体である一対の液
晶用基板を液状体としてのシ−ル剤を介して所定の間隔
で貼り合わせ、これら液晶用基板の間の空間部に液晶を
充填することで構成されている。
晶用基板を液状体としてのシ−ル剤を介して所定の間隔
で貼り合わせ、これら液晶用基板の間の空間部に液晶を
充填することで構成されている。
【０００３】上記液晶用基板にシ−ル剤を塗布する方法
としては、パタ−ンが形成されたマスクを用い、このマ
スク上に供給されたシ−ル剤をスキ−ジで上記マスクの
パタ−ンを介して上記液晶用基板に塗布するスクリ−ン
法と、ディスペンサを用い、そのノズル体から吐出され
るシ−ル剤を上記液晶用基板に所定のパタ−ンで塗布す
るディスペンサ法とが知られている。
としては、パタ−ンが形成されたマスクを用い、このマ
スク上に供給されたシ−ル剤をスキ−ジで上記マスクの
パタ−ンを介して上記液晶用基板に塗布するスクリ−ン
法と、ディスペンサを用い、そのノズル体から吐出され
るシ−ル剤を上記液晶用基板に所定のパタ−ンで塗布す
るディスペンサ法とが知られている。
【０００４】スクリ−ン法は、マスクを液晶用基板に接
触させてシ−ル剤を塗布するため、上記液晶用基板の汚
れを招いたり、マスクをスキ−ジで擦ることで静電気の
発生を招くということがある。
触させてシ−ル剤を塗布するため、上記液晶用基板の汚
れを招いたり、マスクをスキ−ジで擦ることで静電気の
発生を招くということがある。
【０００５】それに対してディスペンサ法は、上記シ−
ル剤を液晶用基板に非接触で塗布することができるた
め、液晶用基板の汚れや静電気の発生を招くことがない
という利点に着目され、多用される傾向にある。上記デ
ィスペンサ法によってシ−ル剤を線引き塗布する場合、
塗布量が不均一にならないよう、精密に塗布することが
要求される。
ル剤を液晶用基板に非接触で塗布することができるた
め、液晶用基板の汚れや静電気の発生を招くことがない
という利点に着目され、多用される傾向にある。上記デ
ィスペンサ法によってシ−ル剤を線引き塗布する場合、
塗布量が不均一にならないよう、精密に塗布することが
要求される。
【０００６】上記ディスペンサは、周知のようにシ−ル
剤が充填されたバレルと、このバレルの先端に着脱自在
に取付けられるノズル体とからなる。バレルに充填され
たシ−ル剤を使い切ったなら、そのバレルからノズル体
を外し、新たなバレルに交換するということが行われて
いる。
剤が充填されたバレルと、このバレルの先端に着脱自在
に取付けられるノズル体とからなる。バレルに充填され
たシ−ル剤を使い切ったなら、そのバレルからノズル体
を外し、新たなバレルに交換するということが行われて
いる。
【０００７】バレルを交換するときには、その先端に上
記ノズル体が着脱される。そのため、その都度、ノズル
体の先端のＸＹ方向およびＺ方向の位置を検出し、その
検出結果に応じてＸ、ＹおよびＺ方向の位置を補正する
ということが行われている。
記ノズル体が着脱される。そのため、その都度、ノズル
体の先端のＸＹ方向およびＺ方向の位置を検出し、その
検出結果に応じてＸ、ＹおよびＺ方向の位置を補正する
ということが行われている。
【０００８】ノズル体のＸ、Ｙ方向の位置が高精度に設
定されていなければ、シ−ル剤を所望の位置に高精度に
塗布することができず、またノズル体のＺ方向の位置が
高精度に設定されていないと、シ−ル剤の塗布量が一定
とならないということがあり、その位置決め精度は±１
μｍ程度が要求されている。
定されていなければ、シ−ル剤を所望の位置に高精度に
塗布することができず、またノズル体のＺ方向の位置が
高精度に設定されていないと、シ−ル剤の塗布量が一定
とならないということがあり、その位置決め精度は±１
μｍ程度が要求されている。
【０００９】従来、ノズル体のＸＹおよびＺ方向の位置
決めは別々に行われていた。つまり、ＸＹ方向の位置
は、シ−ル剤を液晶用基板に試し塗りし、そのシ−ル剤
の塗布状態からノズル体のＸＹ方向の位置を検出すると
いうことが行われていた。
決めは別々に行われていた。つまり、ＸＹ方向の位置
は、シ−ル剤を液晶用基板に試し塗りし、そのシ−ル剤
の塗布状態からノズル体のＸＹ方向の位置を検出すると
いうことが行われていた。
【００１０】また、Ｚ方向の位置は、ノズル体を固定部
に接触させ、接触したときの位置を電気抵抗値の変化な
どで検出することで行われていた。しかしながら、この
ようにしてノズル体のＸ、ＹおよびＺ方向の位置を検出
するようにすると、ＸＹ方向の場合にはシ−ル剤の試し
塗りを行わなければならないから、時間が掛かり、生産
性の低下を招くということがあるばかりか、高精度に検
出できないということがあり、またＺ方向の場合にはノ
ズル体を固定部に突き当てたときに、たわみなどの変形
が生じることが避けられないから、そのことによって検
出精度の低下やばらつきを招くばかりか、作業に熟練を
要するということもある。
に接触させ、接触したときの位置を電気抵抗値の変化な
どで検出することで行われていた。しかしながら、この
ようにしてノズル体のＸ、ＹおよびＺ方向の位置を検出
するようにすると、ＸＹ方向の場合にはシ−ル剤の試し
塗りを行わなければならないから、時間が掛かり、生産
性の低下を招くということがあるばかりか、高精度に検
出できないということがあり、またＺ方向の場合にはノ
ズル体を固定部に突き当てたときに、たわみなどの変形
が生じることが避けられないから、そのことによって検
出精度の低下やばらつきを招くばかりか、作業に熟練を
要するということもある。
【００１１】Ｘ、ＹおよびＺ方向に位置決めされたノズ
ル体によってシ−ル剤を塗布したとしても、シ−ル剤が
ノズル体で詰まったり、ノズル体の変形によってシ−ル
剤が確実に吐出されないということがあるため、シ−ル
剤の塗布状態を検査することが要求されている。
ル体によってシ−ル剤を塗布したとしても、シ−ル剤が
ノズル体で詰まったり、ノズル体の変形によってシ−ル
剤が確実に吐出されないということがあるため、シ−ル
剤の塗布状態を検査することが要求されている。
【００１２】従来、シ−ル剤の塗布状態の検査は、液晶
用基板にシ−ル剤を塗布し終わってから行うようにして
いた。そのため、塗布工程と検査工程とが別工程となる
から、塗布状態の異常を発見するのに時間が掛かり、不
良品の発生を増大させてしまうということがあったり、
検査時間がタクトタイムに含まれてしまうために、生産
性が著しく低下するなどのことがあった。
用基板にシ−ル剤を塗布し終わってから行うようにして
いた。そのため、塗布工程と検査工程とが別工程となる
から、塗布状態の異常を発見するのに時間が掛かり、不
良品の発生を増大させてしまうということがあったり、
検査時間がタクトタイムに含まれてしまうために、生産
性が著しく低下するなどのことがあった。
【００１３】上記ディスペンサは、Ｘ、ＹおよびＺ方向
に駆動されるテ−ブルにホルダを介してＺ方向に弾性的
に変位自在に保持されている。それによって、誤操作な
どで上記ディスペンサのノズル体を固定部や液晶用基板
などに強くぶつけた際などの逃げるようにし、ノズル体
が損傷するのを防止している。
に駆動されるテ−ブルにホルダを介してＺ方向に弾性的
に変位自在に保持されている。それによって、誤操作な
どで上記ディスペンサのノズル体を固定部や液晶用基板
などに強くぶつけた際などの逃げるようにし、ノズル体
が損傷するのを防止している。
【００１４】しかしながら、ノズル体がＺ方向に弾性的
に変位自在に設けられていると、生産性の向上のために
塗布速度を高速化させたり、線引き塗布のコ−ナ部での
Ｒ形状を小さくすると、そのコ−ナ部の前後での加速度
が大きくなり、そのため、Ｚ方向に弾性変位自在に設け
られたディスペンサが振動し、Ｚ方向の位置精度が低下
するから、シ−ル剤の塗布量が一定とならないというこ
とがある。
に変位自在に設けられていると、生産性の向上のために
塗布速度を高速化させたり、線引き塗布のコ−ナ部での
Ｒ形状を小さくすると、そのコ−ナ部の前後での加速度
が大きくなり、そのため、Ｚ方向に弾性変位自在に設け
られたディスペンサが振動し、Ｚ方向の位置精度が低下
するから、シ−ル剤の塗布量が一定とならないというこ
とがある。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来はデ
ィスペンサのノズル体先端の位置を高精度に、しかも迅
速に検出することができないということがあったので、
生産性の低下を招いていた。
ィスペンサのノズル体先端の位置を高精度に、しかも迅
速に検出することができないということがあったので、
生産性の低下を招いていた。
【００１６】また、シ−ル剤の塗布状態の検査を塗布工
程とは別工程で行っていたので、塗布状態の異常を発見
するのに時間が掛かり、不良品の発生を多くするという
ことがあったり、生産性の低下を招くということもあっ
た。
程とは別工程で行っていたので、塗布状態の異常を発見
するのに時間が掛かり、不良品の発生を多くするという
ことがあったり、生産性の低下を招くということもあっ
た。
【００１７】さらに、誤操作によるディスペンサの損傷
を防止するため、このディスペンサをＺ方向に弾性的に
変位自在に設けているので、ディスペンサが振動し、シ
−ル剤の塗布量が不安定になるなどのことがあった。
を防止するため、このディスペンサをＺ方向に弾性的に
変位自在に設けているので、ディスペンサが振動し、シ
−ル剤の塗布量が不安定になるなどのことがあった。
【００１８】この発明の目的は、ノズル体の先端の位置
を精密に、しかも迅速に測定できるようにした液状体の
塗布装置を提供することにある。この発明の目的は、液
状体の塗布状態の検査を、塗布工程時に行えるようにし
た液状体の塗布装置を提供することにある。
を精密に、しかも迅速に測定できるようにした液状体の
塗布装置を提供することにある。この発明の目的は、液
状体の塗布状態の検査を、塗布工程時に行えるようにし
た液状体の塗布装置を提供することにある。
【００１９】この発明の目的は、液状体を塗布するとき
に、弾性的に変位自在に設けられたディスペンサのＺ方
向の動きを阻止できるようにした液状体の塗布装置を提
供することにある。
に、弾性的に変位自在に設けられたディスペンサのＺ方
向の動きを阻止できるようにした液状体の塗布装置を提
供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、液状
体を板状体に塗布するための液状体の塗布装置におい
て、上記液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの
先端部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液
状体が吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、
上記板状体に対して上記ディスペンサを相対的にＸ、Ｙ
およびＺ方向に移動させる駆動手段と、上記ノズル体の
先端部を撮像しその撮像信号によってこのノズル体の先
端部の位置を検出するノズル撮像手段とを具備したこと
を特徴とする。
体を板状体に塗布するための液状体の塗布装置におい
て、上記液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの
先端部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液
状体が吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、
上記板状体に対して上記ディスペンサを相対的にＸ、Ｙ
およびＺ方向に移動させる駆動手段と、上記ノズル体の
先端部を撮像しその撮像信号によってこのノズル体の先
端部の位置を検出するノズル撮像手段とを具備したこと
を特徴とする。
【００２１】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、上記第１の撮像手段は、上記ノズル体の先端部をＸ
方向から撮像するＸ撮像カメラと、上記ノズル体の先端
部をＹ方向から撮像するＹ撮像カメラとを具備すること
を特徴とする。
て、上記第１の撮像手段は、上記ノズル体の先端部をＸ
方向から撮像するＸ撮像カメラと、上記ノズル体の先端
部をＹ方向から撮像するＹ撮像カメラとを具備すること
を特徴とする。
【００２２】請求項３の発明は、請求項１または請求項
２の発明において、上記第１の撮像手段からの検出信号
に基づいて上記ノズル体の位置を補正する補正手段を備
えていることを特徴とする。
２の発明において、上記第１の撮像手段からの検出信号
に基づいて上記ノズル体の位置を補正する補正手段を備
えていることを特徴とする。
【００２３】請求項４の発明は、液状体を板状体に塗布
するための液状体の塗布装置において、上記液状体が収
容されるバレルおよびこのバレルの先端部に着脱自在に
設けられ上記バレル内の液状体が先端から吐出されるノ
ズル体とを有するディスペンサと、上記板状体に対して
上記ディスペンサを相対的にＸ、ＹおよびＺ方向に移動
させる駆動手段と、上記ノズル体から吐出されて上記板
状体に塗布される上記液状体の塗布状態を撮像する塗布
状態撮像手段とを具備したことを特徴とする。
するための液状体の塗布装置において、上記液状体が収
容されるバレルおよびこのバレルの先端部に着脱自在に
設けられ上記バレル内の液状体が先端から吐出されるノ
ズル体とを有するディスペンサと、上記板状体に対して
上記ディスペンサを相対的にＸ、ＹおよびＺ方向に移動
させる駆動手段と、上記ノズル体から吐出されて上記板
状体に塗布される上記液状体の塗布状態を撮像する塗布
状態撮像手段とを具備したことを特徴とする。
【００２４】請求項５の発明は、請求項４の発明におい
て、上記塗布状態撮像手段は、上記ディスペンサと一体
的に設けられるとともに上記ノズル体の先端部を斜め上
方から撮像するθ撮像カメラであることを特徴とする。
て、上記塗布状態撮像手段は、上記ディスペンサと一体
的に設けられるとともに上記ノズル体の先端部を斜め上
方から撮像するθ撮像カメラであることを特徴とする。
【００２５】請求項６の発明は、請求項４の発明におい
て、上記塗布状態撮像手段は、上記ノズル体の外周全長
にわたって設けられたラインセンサであることを特徴と
する。
て、上記塗布状態撮像手段は、上記ノズル体の外周全長
にわたって設けられたラインセンサであることを特徴と
する。
【００２６】請求項７の発明は、液状体を板状体に塗布
するための液状体の塗布装置において、上記液状体が収
容されるバレルおよびこのバレルの先端部に着脱自在に
設けられ先端から上記バレル内の液状体が吐出されるノ
ズル体とを有するディスペンサと、このディスペンサを
Ｚ方向に弾性的に変位自在に保持した弾性保持手段と、
この弾性保持手段による上記ディスペンサのＺ方向の弾
性変位を適宜に阻止する阻止手段と、上記ディスペンサ
を上記板状体に対して相対的にＸ、ＹおよびＺ方向に移
動させる駆動手段とを具備したことを特徴とする。
するための液状体の塗布装置において、上記液状体が収
容されるバレルおよびこのバレルの先端部に着脱自在に
設けられ先端から上記バレル内の液状体が吐出されるノ
ズル体とを有するディスペンサと、このディスペンサを
Ｚ方向に弾性的に変位自在に保持した弾性保持手段と、
この弾性保持手段による上記ディスペンサのＺ方向の弾
性変位を適宜に阻止する阻止手段と、上記ディスペンサ
を上記板状体に対して相対的にＸ、ＹおよびＺ方向に移
動させる駆動手段とを具備したことを特徴とする。
【００２７】請求項１と請求項２の発明によれば、第１
の撮像手段によってノズル体の先端部を撮像し、その撮
像信号によって位置を検出するため、ノズル体の先端部
の位置検出を非接触で、高精度に行うことができる。
の撮像手段によってノズル体の先端部を撮像し、その撮
像信号によって位置を検出するため、ノズル体の先端部
の位置検出を非接触で、高精度に行うことができる。
【００２８】請求項３の発明によれば、第１の撮像手段
からの検出信号に基づいてノズル体の位置補正が行われ
るため、その位置決めを高精度に行うことができる。請
求項４、請求項５および請求項６の発明によれば、液状
体の塗布時にその塗布状態を第２の撮像手段によって撮
像するため、液状体の塗布工程と検査工程とを同時に行
うことができる。
からの検出信号に基づいてノズル体の位置補正が行われ
るため、その位置決めを高精度に行うことができる。請
求項４、請求項５および請求項６の発明によれば、液状
体の塗布時にその塗布状態を第２の撮像手段によって撮
像するため、液状体の塗布工程と検査工程とを同時に行
うことができる。
【００２９】請求項７の発明によれば、ノズル体の損傷
を防止するためにディスペンサがＺ方向に弾性的に変位
自在に設けられていても、そのディスペンサのＺ方向の
弾性的な動きを適宜に阻止できるため、液状体の塗布速
度を高速化した場合などにディスペンサがＺ方向に振動
するのを防止できる。
を防止するためにディスペンサがＺ方向に弾性的に変位
自在に設けられていても、そのディスペンサのＺ方向の
弾性的な動きを適宜に阻止できるため、液状体の塗布速
度を高速化した場合などにディスペンサがＺ方向に振動
するのを防止できる。
【００３０】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面を参照して説明する。図１は液晶表示装置の製造工
程に用いられる、液状体であるシ−ル剤Ｓの塗布装置を
示す。この塗布装置は架台１を有する。この架台１の上
面にはテ−ブル装置２が設けられている。このテ−ブル
装置２はＸテ−ブルユニット３とＹテ−ブルユニット４
からなる。Ｘテ−ブルユニット３はＸ方向に沿うＸガイ
ド面３ａを有し、このＸガイド面３ａにはＸ駆動源５に
よってこのＸガイド面３ａに沿って駆動されるＸ可動体
６が設けられている。
図面を参照して説明する。図１は液晶表示装置の製造工
程に用いられる、液状体であるシ−ル剤Ｓの塗布装置を
示す。この塗布装置は架台１を有する。この架台１の上
面にはテ−ブル装置２が設けられている。このテ−ブル
装置２はＸテ−ブルユニット３とＹテ−ブルユニット４
からなる。Ｘテ−ブルユニット３はＸ方向に沿うＸガイ
ド面３ａを有し、このＸガイド面３ａにはＸ駆動源５に
よってこのＸガイド面３ａに沿って駆動されるＸ可動体
６が設けられている。
【００３１】上記Ｘ可動体６には上記Ｙテ−ブルユニッ
ト４がＹガイド面４ａをＹ方向に沿わせて設けられてい
る。このＹガイド面４ａにはＹ可動体７がスライド自在
に設けられ、このＹ可動体７がＹ駆動源４ｂによってＹ
方向に駆動されるようになっている。
ト４がＹガイド面４ａをＹ方向に沿わせて設けられてい
る。このＹガイド面４ａにはＹ可動体７がスライド自在
に設けられ、このＹ可動体７がＹ駆動源４ｂによってＹ
方向に駆動されるようになっている。
【００３２】上記Ｙ可動体７には基板テ−ブル８が設け
られている。この基板テ−ブル８は上記Ｘ可動体６とＹ
可動体７とによってＸＹ方向に駆動されるようになって
いて、その上面には板状体としての液晶用基板９が載置
され、たとえば真空吸着などの手段で保持固定されるよ
うになっている。
られている。この基板テ−ブル８は上記Ｘ可動体６とＹ
可動体７とによってＸＹ方向に駆動されるようになって
いて、その上面には板状体としての液晶用基板９が載置
され、たとえば真空吸着などの手段で保持固定されるよ
うになっている。
【００３３】液晶基板の位置決めは、ヘッドに取付けた
カメラユニット２０によって液晶基板の位置決め用マ−
クを画像処理で位置検出し、Ｘテ−ブルユニット３およ
びＹテ−ブルユニット４と、基板テ−ブル８と、Ｙテ−
ブルユニット４の間に設けたθテ−ブルユニット１０に
よって液晶基板を移動させて位置補正を行う。
カメラユニット２０によって液晶基板の位置決め用マ−
クを画像処理で位置検出し、Ｘテ−ブルユニット３およ
びＹテ−ブルユニット４と、基板テ−ブル８と、Ｙテ−
ブルユニット４の間に設けたθテ−ブルユニット１０に
よって液晶基板を移動させて位置補正を行う。
【００３４】上記架台１の上面には上記Ｙテ−ブルユニ
ット４を跨ぐ状態で門型の案内体１１が立設されてい
る。この案内体１１はＸ方向に沿う水平部１２ａを有
し、この水平部１２ａには一対の塗布ユニット１３がス
ライド自在に設けられている。各塗布ユニット１３は上
記水平部１２ａに沿ってスライド自在なスライダ１４を
有し、各スライダ１４は上記水平部１２ａの両端に設け
られたＸ駆動源１５によってＸ方向に沿って駆動される
ようになっている。
ット４を跨ぐ状態で門型の案内体１１が立設されてい
る。この案内体１１はＸ方向に沿う水平部１２ａを有
し、この水平部１２ａには一対の塗布ユニット１３がス
ライド自在に設けられている。各塗布ユニット１３は上
記水平部１２ａに沿ってスライド自在なスライダ１４を
有し、各スライダ１４は上記水平部１２ａの両端に設け
られたＸ駆動源１５によってＸ方向に沿って駆動される
ようになっている。
【００３５】上記塗布ユニット１３のスライダ１４には
上記水平部１２ａと直交するＹ方向に沿ってスライド自
在なＹ可動体１６が設けられ、このＹ可動体１６はＹ駆
動源１７によってＹ方向に沿って駆動されるようになっ
ている。
上記水平部１２ａと直交するＹ方向に沿ってスライド自
在なＹ可動体１６が設けられ、このＹ可動体１６はＹ駆
動源１７によってＹ方向に沿って駆動されるようになっ
ている。
【００３６】上記Ｙ可動体１６の先端には垂直部１６ａ
が設けられ、この垂直部１６ａには図２に示すようにＺ
プレ−ト１８ａを介してＺガイド体１８が設けられてい
る。このＺガイド体１８にはＺ駆動源１９によってＺ方
向に駆動されるＺ可動体２１がスライド自在に設けられ
ている。
が設けられ、この垂直部１６ａには図２に示すようにＺ
プレ−ト１８ａを介してＺガイド体１８が設けられてい
る。このＺガイド体１８にはＺ駆動源１９によってＺ方
向に駆動されるＺ可動体２１がスライド自在に設けられ
ている。
【００３７】上記Ｚ可動体２１にはリニアガイド２２が
Ｚ方向に沿って設けられ、このリニアガイド２２にはホ
ルダ２３がスライド自在に設けられている。このホルダ
２３の上端と上記Ｚ可動体２１の上端との間には上記ホ
ルダ２３を弾性的に保持した圧縮ばね２４が設けられて
いる。
Ｚ方向に沿って設けられ、このリニアガイド２２にはホ
ルダ２３がスライド自在に設けられている。このホルダ
２３の上端と上記Ｚ可動体２１の上端との間には上記ホ
ルダ２３を弾性的に保持した圧縮ばね２４が設けられて
いる。
【００３８】上記ホルダ２３は、その下端面を上記Ｚ可
動体２１の下端に設けられたストッパ２５に当接させて
おり、それによってＺ方向の上方にだけ上記圧縮ばね２
４を変形させて弾性的に変位できるようになっている。
動体２１の下端に設けられたストッパ２５に当接させて
おり、それによってＺ方向の上方にだけ上記圧縮ばね２
４を変形させて弾性的に変位できるようになっている。
【００３９】上記ホルダ２３には取付け部２６が設けら
れ、この取付け部２６にはシ−ル剤Ｓを上記液晶用基板
９に線引き塗布するためのディスペンサ２７が着脱自在
に保持されている。このディスペンサ２７はシ−ル剤Ｓ
が充填されたシリンジ状のバレル２７ａと、このバレル
２７ａの先端に着脱自在に取着されたノズル体２７ｂと
からなる。上記バレル２７ａには図示せぬ供給ホ−スに
よって所定圧力の加圧気体が供給される。それによっ
て、バレル２７ａの内部に充填されたシ−ル剤Ｓが加圧
されてノズル体２７ｂの先端から吐出されるようになっ
ている。
れ、この取付け部２６にはシ−ル剤Ｓを上記液晶用基板
９に線引き塗布するためのディスペンサ２７が着脱自在
に保持されている。このディスペンサ２７はシ−ル剤Ｓ
が充填されたシリンジ状のバレル２７ａと、このバレル
２７ａの先端に着脱自在に取着されたノズル体２７ｂと
からなる。上記バレル２７ａには図示せぬ供給ホ−スに
よって所定圧力の加圧気体が供給される。それによっ
て、バレル２７ａの内部に充填されたシ−ル剤Ｓが加圧
されてノズル体２７ｂの先端から吐出されるようになっ
ている。
【００４０】上記ホルダ２３には上記ディスペンサ２７
の側方にレ−ザセンサ２８が設けられている。このレ−
ザセンサ２８は、シ−ル剤Ｓを塗布しているときの、上
記ノズル体２７ｂの先端と上記ＸＹテ−ブル８上に載置
された液晶用基板９との距離を測定する。
の側方にレ−ザセンサ２８が設けられている。このレ−
ザセンサ２８は、シ−ル剤Ｓを塗布しているときの、上
記ノズル体２７ｂの先端と上記ＸＹテ−ブル８上に載置
された液晶用基板９との距離を測定する。
【００４１】シ−ル剤Ｓの塗布時には、上記ディスペン
サ２７がＺ方向に弾性的に変位するのが阻止される。つ
まり、図４に示すように、上記Ｚプレ−ト１８ａの一側
には阻止手段を構成するソレノイドシリンダ３１が軸線
を水平にして設けられ、このソレノイドシリンダ３１の
ロッド３１ａには下端側に第１のテ−パ面３２ａが形成
された第１のストッパ３２が連結されている。
サ２７がＺ方向に弾性的に変位するのが阻止される。つ
まり、図４に示すように、上記Ｚプレ−ト１８ａの一側
には阻止手段を構成するソレノイドシリンダ３１が軸線
を水平にして設けられ、このソレノイドシリンダ３１の
ロッド３１ａには下端側に第１のテ−パ面３２ａが形成
された第１のストッパ３２が連結されている。
【００４２】上記ホルダ２３の一側面には、上記第１の
ストッパ３２とほぼ同じ高さで第２のストッパ３３が設
けられている。この第２のストッパ３３の上端側には上
記第１のテ−パ面３２ａと対向する平行な角度の第２の
テ−パ面３３ａが形成されている。
ストッパ３２とほぼ同じ高さで第２のストッパ３３が設
けられている。この第２のストッパ３３の上端側には上
記第１のテ−パ面３２ａと対向する平行な角度の第２の
テ−パ面３３ａが形成されている。
【００４３】上記ソレノイドシリンダ３１が作動して第
１のストッパ３２が前進方向に駆動されると、その第１
のテ−パ面３２ａが第２のストッパ３３の第２のテ−パ
面３３ａに当接する。それによって、第２のストッパ３
３が設けられたホルダ２３は下端がストッパ２５に当接
した状態で下方へ押圧されるから、Ｚ方向に弾性的に変
位するのが阻止される。
１のストッパ３２が前進方向に駆動されると、その第１
のテ−パ面３２ａが第２のストッパ３３の第２のテ−パ
面３３ａに当接する。それによって、第２のストッパ３
３が設けられたホルダ２３は下端がストッパ２５に当接
した状態で下方へ押圧されるから、Ｚ方向に弾性的に変
位するのが阻止される。
【００４４】上記案内体１１の一対の垂直部１２ｂの前
面にはそれぞれノズル撮像手段を構成する検出ユニット
３５が設けられている。この検出ユニット３５は、先端
に切欠部３６ａが直角に形成されたユニット板３６を有
し、このユニット板３６の切欠部３６ａのＸ方向と平行
な一辺にはＸ撮像カメラ３７が設けられ、Ｙ方向と平行
な他辺にはＹ撮像カメラ３８が設けられている。つま
り、各撮像カメラ３７、３８は光軸を直交させて配置さ
れている。
面にはそれぞれノズル撮像手段を構成する検出ユニット
３５が設けられている。この検出ユニット３５は、先端
に切欠部３６ａが直角に形成されたユニット板３６を有
し、このユニット板３６の切欠部３６ａのＸ方向と平行
な一辺にはＸ撮像カメラ３７が設けられ、Ｙ方向と平行
な他辺にはＹ撮像カメラ３８が設けられている。つま
り、各撮像カメラ３７、３８は光軸を直交させて配置さ
れている。
【００４５】これら撮像カメラ３７、３８はこれらの光
軸Ｏ1 、Ｏ2 の交点に図３に示すようにディスペンサ２
７のノズル体２７ｂの先端部を位置させた状態で、その
ノズル体２７ｂを撮像する。Ｘ撮像カメラ３７の視野内
に上記ノズル体２７ｂのたとえば中心軸線を位置させた
ときのその位置座標からこのノズル体２７ｂのＸ方向の
位置を求めることができ、同様に、Ｙ撮像カメラ３８の
視野内に上記ノズル体２７ｂの中心軸線を位置させたと
きのその位置座標からＹ方向の位置を求めることができ
る。
軸Ｏ1 、Ｏ2 の交点に図３に示すようにディスペンサ２
７のノズル体２７ｂの先端部を位置させた状態で、その
ノズル体２７ｂを撮像する。Ｘ撮像カメラ３７の視野内
に上記ノズル体２７ｂのたとえば中心軸線を位置させた
ときのその位置座標からこのノズル体２７ｂのＸ方向の
位置を求めることができ、同様に、Ｙ撮像カメラ３８の
視野内に上記ノズル体２７ｂの中心軸線を位置させたと
きのその位置座標からＹ方向の位置を求めることができ
る。
【００４６】また、ノズル体２７ｂの下端面を、Ｘ撮像
カメラ３７の視野内あるいはＹ撮像カメラ３８の視野内
に位置させたときの座標から、上記ノズル体２７ｂの下
端面の位置、つまりＺ方向の位置を求めることができ
る。
カメラ３７の視野内あるいはＹ撮像カメラ３８の視野内
に位置させたときの座標から、上記ノズル体２７ｂの下
端面の位置、つまりＺ方向の位置を求めることができ
る。
【００４７】上記ディスペンサ２７によるシ−ル剤Ｓの
塗布状態は、このディスペンサ２７と一体的に設けられ
た塗布状態撮像手段を構成するθ撮像カメラ４１によっ
て撮像される。このθ撮像カメラ４１は、たとえば上記
ホルダ２３に取付けられることで、ディスペンサ２７と
一体的に設けられている。
塗布状態は、このディスペンサ２７と一体的に設けられ
た塗布状態撮像手段を構成するθ撮像カメラ４１によっ
て撮像される。このθ撮像カメラ４１は、たとえば上記
ホルダ２３に取付けられることで、ディスペンサ２７と
一体的に設けられている。
【００４８】つまり、図５（ａ）に示すようにθ撮像カ
メラ４１は、軸線Ｏ3 を上記ディスペンサ２７の軸線Ｏ
4 に対して４５度の角度で傾斜させ、上記ノズル体２７
ｂの先端、つまり液晶用基板９のシ−ル剤Ｓが塗布され
る部分を上方から撮像するようになっている。上記θ撮
像カメラ４１がノズル体２７ｂの先端に対して斜め上方
に配置されることで、このノズル体２７ｂがＸ方向およ
びＹ方向に移動しても、その移動方向に制限を受けるこ
となく、シ−ル剤Ｓの塗布状態を確実に撮像することが
できる。
メラ４１は、軸線Ｏ3 を上記ディスペンサ２７の軸線Ｏ
4 に対して４５度の角度で傾斜させ、上記ノズル体２７
ｂの先端、つまり液晶用基板９のシ−ル剤Ｓが塗布され
る部分を上方から撮像するようになっている。上記θ撮
像カメラ４１がノズル体２７ｂの先端に対して斜め上方
に配置されることで、このノズル体２７ｂがＸ方向およ
びＹ方向に移動しても、その移動方向に制限を受けるこ
となく、シ−ル剤Ｓの塗布状態を確実に撮像することが
できる。
【００４９】なお、第２の撮像手段は、上記θ撮像カメ
ラ４１に代わり、図５（ｂ）に示すようにノズル体２７
ｂの外周全体にわたってラインセンサ４２を設け、この
ラインセンサ４２でシ−ル剤Ｓの塗布状態を撮像するよ
うにしてもよい。この場合も、ノズル体２７ｂの移動方
向に制限を受けることなく、シ−ル剤Ｓの塗布状態を確
実に撮像することができる。
ラ４１に代わり、図５（ｂ）に示すようにノズル体２７
ｂの外周全体にわたってラインセンサ４２を設け、この
ラインセンサ４２でシ−ル剤Ｓの塗布状態を撮像するよ
うにしてもよい。この場合も、ノズル体２７ｂの移動方
向に制限を受けることなく、シ−ル剤Ｓの塗布状態を確
実に撮像することができる。
【００５０】図６に示すように、上記Ｘ撮像カメラ３
７、Ｙ撮像カメラ３８およびＺ撮像カメラ４１からの撮
像信号は画像処理部４５に入力される。この画像処理部
４５に入力された画像信号は電気信号に変換されて制御
装置４６へ出力される。
７、Ｙ撮像カメラ３８およびＺ撮像カメラ４１からの撮
像信号は画像処理部４５に入力される。この画像処理部
４５に入力された画像信号は電気信号に変換されて制御
装置４６へ出力される。
【００５１】この制御装置４６は、上記Ｘ撮像カメラ３
７とＹ撮像カメラ３８からの画像信号に基づいてノズル
体２７ｂのＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向の位置を算出す
る。制御装置４６で算出されたＸ、ＹおよびＺ方向の座
標位置が予め設定された原点位置からずれている場合に
は、そのずれ量に応じた駆動信号でＸ駆動源１５、Ｙ駆
動源１７およびＺ駆動源１９が作動され、上記ノズル体
２７ｂのＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置が原点位置に補正される
ようになっている。
７とＹ撮像カメラ３８からの画像信号に基づいてノズル
体２７ｂのＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向の位置を算出す
る。制御装置４６で算出されたＸ、ＹおよびＺ方向の座
標位置が予め設定された原点位置からずれている場合に
は、そのずれ量に応じた駆動信号でＸ駆動源１５、Ｙ駆
動源１７およびＺ駆動源１９が作動され、上記ノズル体
２７ｂのＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置が原点位置に補正される
ようになっている。
【００５２】他の制御方法としては、制御装置４６で算
出されたＸ、ＹおよびＺ方向の原点位置からのずれ量を
上記制御装置４６に記憶し、そのずれ量に基づく補正を
行いながらノズル体２７ｂをＸ、ＹおよびＺ方向に駆動
するようにしてもよい。
出されたＸ、ＹおよびＺ方向の原点位置からのずれ量を
上記制御装置４６に記憶し、そのずれ量に基づく補正を
行いながらノズル体２７ｂをＸ、ＹおよびＺ方向に駆動
するようにしてもよい。
【００５３】上記制御装置４６は、ソレノイドシリンダ
３１の駆動を制御し、Ｚ方向に弾性的に変位できるよう
に設けられたホルダ２３の動きを阻止するようになって
いる。さらに、制御装置４６にはレ−ザセンサ２８から
の検出信号が入力され、この検出信号に基づいて上記ノ
ズル体２７ｂのＺ方向の位置が補正される。つまり、液
晶用基板９の凹凸などによってノズル体２７ｂの先端面
と液晶用基板９との間隔が変化するから、その間隔が一
定になるよう上記ノズル体２７ｂのＺ方向の位置が補正
されるようになっている。
３１の駆動を制御し、Ｚ方向に弾性的に変位できるよう
に設けられたホルダ２３の動きを阻止するようになって
いる。さらに、制御装置４６にはレ−ザセンサ２８から
の検出信号が入力され、この検出信号に基づいて上記ノ
ズル体２７ｂのＺ方向の位置が補正される。つまり、液
晶用基板９の凹凸などによってノズル体２７ｂの先端面
と液晶用基板９との間隔が変化するから、その間隔が一
定になるよう上記ノズル体２７ｂのＺ方向の位置が補正
されるようになっている。
【００５４】ノズル体２７ｂのＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置は
ＸＹテ−ブル８に設けられた液晶用基板９に対して相対
的に位置決めされるものである。したがって、ノズル体
２７ｂのＸ、Ｙ方向の位置はノズル体２７ｂをＸ、Ｙ方
向に駆動せずに、ＸＹテ−ブル８をＸ、Ｙ方向に駆動し
て両者の相対的なＸＹ方向の位置決めするようにしても
よい。
ＸＹテ−ブル８に設けられた液晶用基板９に対して相対
的に位置決めされるものである。したがって、ノズル体
２７ｂのＸ、Ｙ方向の位置はノズル体２７ｂをＸ、Ｙ方
向に駆動せずに、ＸＹテ−ブル８をＸ、Ｙ方向に駆動し
て両者の相対的なＸＹ方向の位置決めするようにしても
よい。
【００５５】なお、この実施の形態ではＸＹテ−ブル８
はＺ方向に駆動できないため、Ｚ方向の位置補正はノズ
ル体２７ｂ側で行わなければならないが、ＸＹテ−ブル
８をＺ方向に駆動できるようにし、Ｚ方向の位置補正も
ＸＹテ−ブル８側で行うようにしてもよい。
はＺ方向に駆動できないため、Ｚ方向の位置補正はノズ
ル体２７ｂ側で行わなければならないが、ＸＹテ−ブル
８をＺ方向に駆動できるようにし、Ｚ方向の位置補正も
ＸＹテ−ブル８側で行うようにしてもよい。
【００５６】つぎに、上記構成の塗布装置によって液晶
用基板９にシ−ル剤Ｓを線引き塗布する場合について説
明する。まず、シ−ル剤Ｓを塗布するに先立ってディス
ペンサ２７のノズル体２７ｂの位置補正を行う。つま
り、ディスペンサ２７のノズル体２７ｂが検出ユニット
３５のＸ撮像カメラ３７とＹ撮像カメラ３８との光軸の
交点に位置するよう、上記ディスペンサ２７（塗布ユニ
ット１３）を移動させる。
用基板９にシ−ル剤Ｓを線引き塗布する場合について説
明する。まず、シ−ル剤Ｓを塗布するに先立ってディス
ペンサ２７のノズル体２７ｂの位置補正を行う。つま
り、ディスペンサ２７のノズル体２７ｂが検出ユニット
３５のＸ撮像カメラ３７とＹ撮像カメラ３８との光軸の
交点に位置するよう、上記ディスペンサ２７（塗布ユニ
ット１３）を移動させる。
【００５７】つまり、各撮像カメラ３７、３８の視野内
に上記ノズル体２７ｂのたとえば中心軸線および下端面
を位置させ、そのときの塗布ユニット１３のＸ、Ｙ、Ｚ
方向の座標を検出する。
に上記ノズル体２７ｂのたとえば中心軸線および下端面
を位置させ、そのときの塗布ユニット１３のＸ、Ｙ、Ｚ
方向の座標を検出する。
【００５８】上記撮像カメラ３７、３８で検出された座
標が制御装置４６に予め設定された原点座標と比較され
ることで、この原点座標に対する上記ノズル体２７ｂの
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向のずれ量が算出される。
標が制御装置４６に予め設定された原点座標と比較され
ることで、この原点座標に対する上記ノズル体２７ｂの
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向のずれ量が算出される。
【００５９】制御装置４６は上記撮像カメラ３７、３８
からの撮像信号によって求められたずれ量によってＺ方
向の位置を補正し、ノズル体２７ｂの先端面と液晶用基
板９との間隔を所定の値に設定する。ついで、Ｘ、Ｙ方
向の位置を補正しながら上記ディスペンサ２７をＸＹ方
向に駆動するとともに、ディスペンサ２７に加圧空気を
供給することで、上記液晶用基板９にシ−ル剤Ｓを線引
き塗布する。
からの撮像信号によって求められたずれ量によってＺ方
向の位置を補正し、ノズル体２７ｂの先端面と液晶用基
板９との間隔を所定の値に設定する。ついで、Ｘ、Ｙ方
向の位置を補正しながら上記ディスペンサ２７をＸＹ方
向に駆動するとともに、ディスペンサ２７に加圧空気を
供給することで、上記液晶用基板９にシ−ル剤Ｓを線引
き塗布する。
【００６０】つまり、ディスペンサ２７のバレル２７ａ
を交換した際などに、上記バレル２７ａに対してノズル
体２７ｂを着脱しても、そのノズル体２７ｂの先端部を
一対の撮像カメラ３７、３８で撮像することで、ノズル
体２７ｂ先端の三次元座標を検出できるから、その検出
作業を容易に、しかも非接触で精密に行うことができ
る。
を交換した際などに、上記バレル２７ａに対してノズル
体２７ｂを着脱しても、そのノズル体２７ｂの先端部を
一対の撮像カメラ３７、３８で撮像することで、ノズル
体２７ｂ先端の三次元座標を検出できるから、その検出
作業を容易に、しかも非接触で精密に行うことができ
る。
【００６１】また、Ｚ方向の位置が補正されることで、
シ−ル剤Ｓの塗布量を精密に設定することができ、さら
にＸ、Ｙ方向の位置が補正されることで、シ−ル剤Ｓを
所定の位置に精密に塗布することができる。
シ−ル剤Ｓの塗布量を精密に設定することができ、さら
にＸ、Ｙ方向の位置が補正されることで、シ−ル剤Ｓを
所定の位置に精密に塗布することができる。
【００６２】シ−ル剤Ｓを塗布する際には、ソレノイド
シリンダ３１が駆動され、第１のストッパ３２が第２の
ストッパ３３に当接してディスペンサ２７が保持された
ホルダ２３がＺ方向に弾性的に変位するのが阻止され
る。
シリンダ３１が駆動され、第１のストッパ３２が第２の
ストッパ３３に当接してディスペンサ２７が保持された
ホルダ２３がＺ方向に弾性的に変位するのが阻止され
る。
【００６３】つまり、シ−ル剤Ｓを塗布する前は、上記
ホルダ２３をＺ方向に弾性的に変位できる状態としてお
くことで、ノズル体２７ｂを液晶用基板９やＸＹテ−ブ
ル８などに強くぶつけても、上記ノズル体２７ｂがＺ方
向上方へ弾性的に変位することで、ノズル体２７ｂが損
傷するのを防止できるようにしている。
ホルダ２３をＺ方向に弾性的に変位できる状態としてお
くことで、ノズル体２７ｂを液晶用基板９やＸＹテ−ブ
ル８などに強くぶつけても、上記ノズル体２７ｂがＺ方
向上方へ弾性的に変位することで、ノズル体２７ｂが損
傷するのを防止できるようにしている。
【００６４】それに対してシ−ル剤Ｓの塗布時には上記
ノズル体２７ｂがＺ方向上方へ弾性的に変位するのを阻
止することで、塗布速度を高速化しても、ノズル体２７
ｂが振動し、その位置決め精度が低下するのを防止でき
る。
ノズル体２７ｂがＺ方向上方へ弾性的に変位するのを阻
止することで、塗布速度を高速化しても、ノズル体２７
ｂが振動し、その位置決め精度が低下するのを防止でき
る。
【００６５】シ−ル剤Ｓを塗布しているときには、レ−
ザセンサ２８が液晶用基板９とノズル体２７ｂの下端面
との間隔を検出し、その検出信号に基づいてＺ駆動源１
９が駆動され、上記間隔が一定に維持される。そのた
め、液晶用基板９に凹凸があっても、ノズル体２７ｂと
液晶用基板９との間隔が変動するのが防止されるから、
シ−ル剤Ｓを一定の塗布量で塗布することが可能とな
る。
ザセンサ２８が液晶用基板９とノズル体２７ｂの下端面
との間隔を検出し、その検出信号に基づいてＺ駆動源１
９が駆動され、上記間隔が一定に維持される。そのた
め、液晶用基板９に凹凸があっても、ノズル体２７ｂと
液晶用基板９との間隔が変動するのが防止されるから、
シ−ル剤Ｓを一定の塗布量で塗布することが可能とな
る。
【００６６】一方、シ−ル剤Ｓの塗布時にはθ撮像カメ
ラ４１によって塗布状態が撮像される。そのため、ノズ
ル体２７ｂにシ−ル剤Ｓがつまったり、ノズル体２７ｂ
が変形するなどのことにより、シ−ル剤Ｓがかすれた
り、とぎれるなどのことが生じても、そのことがリアル
タイムで検出されるから、不良品が大量に発生するのを
未然に防止できる。
ラ４１によって塗布状態が撮像される。そのため、ノズ
ル体２７ｂにシ−ル剤Ｓがつまったり、ノズル体２７ｂ
が変形するなどのことにより、シ−ル剤Ｓがかすれた
り、とぎれるなどのことが生じても、そのことがリアル
タイムで検出されるから、不良品が大量に発生するのを
未然に防止できる。
【００６７】この実施の形態の塗布装置は二面取りであ
るため、案内体１１に一対の塗布ユニット１３が設けら
れているが、一面取りの塗布装置においては案内体１１
に塗布ユニット１３を１つだけ設ければよい。
るため、案内体１１に一対の塗布ユニット１３が設けら
れているが、一面取りの塗布装置においては案内体１１
に塗布ユニット１３を１つだけ設ければよい。
【００６８】なお、上記一実施の形態では液晶用基板に
シ−ル剤を塗布する場合について説明したが、板状体は
液晶用基板に限られず、また液状体はシ−ル剤に限定さ
れるものでなく、要は板状体に対して精密な塗布が要求
される液状体の塗布であれば、この発明を適用すること
ができる。
シ−ル剤を塗布する場合について説明したが、板状体は
液晶用基板に限られず、また液状体はシ−ル剤に限定さ
れるものでなく、要は板状体に対して精密な塗布が要求
される液状体の塗布であれば、この発明を適用すること
ができる。
【００６９】
【発明の効果】請求項１と請求項２の発明によれば、ノ
ズル撮像手段によってノズル体の先端部を撮像し、その
撮像信号によって上記ノズル体先端の位置を検出するた
め、ノズル体の先端部の位置検出を非接触で、しかも高
精度に行うことができる。
ズル撮像手段によってノズル体の先端部を撮像し、その
撮像信号によって上記ノズル体先端の位置を検出するた
め、ノズル体の先端部の位置検出を非接触で、しかも高
精度に行うことができる。
【００７０】請求項３の発明によれば、ノズル撮像手段
からの検出信号に基づいてノズル体の位置補正が行われ
るため、その位置決めを高精度に行うことができるか
ら、上記ノズル体による液状体の塗布精度を向上させる
ことができる。
からの検出信号に基づいてノズル体の位置補正が行われ
るため、その位置決めを高精度に行うことができるか
ら、上記ノズル体による液状体の塗布精度を向上させる
ことができる。
【００７１】請求項４、請求項５および請求項６の発明
によれば、液状体の塗布時にその塗布状態を塗布状態撮
像手段によって撮像するため、液状体の塗布工程と検査
工程とを同時に行うことができる。
によれば、液状体の塗布時にその塗布状態を塗布状態撮
像手段によって撮像するため、液状体の塗布工程と検査
工程とを同時に行うことができる。
【００７２】請求項７の発明によれば、ノズル体の損傷
を防止するためにディスペンサがＺ方向に弾性的に変位
自在に設けられていても、そのディスペンサのＺ方向の
弾性的な動きを適宜に阻止できるため、液状体の塗布速
度を高速化した場合などにデ−ィスペンサがＺ方向に振
動して塗布精度が低下するのを防止できる。
を防止するためにディスペンサがＺ方向に弾性的に変位
自在に設けられていても、そのディスペンサのＺ方向の
弾性的な動きを適宜に阻止できるため、液状体の塗布速
度を高速化した場合などにデ−ィスペンサがＺ方向に振
動して塗布精度が低下するのを防止できる。
【図１】この発明の一実施の形態の塗布装置の全体構成
図。
図。
【図２】同じくディスペンサの保持構造を示す側面図。
【図３】同じくノズル体先端を撮像する状態を示した説
明図。
明図。
【図４】同じくノズル体のＺ方向の動きを阻止するため
の阻止手段の説明図。
の阻止手段の説明図。
【図５】（ａ）は同じくシ−ル剤の塗布状態を撮像する
θ撮像カメラの説明図、（ｂ）は同じくシ−ル剤の塗布
状態を撮像するラインセンサの説明図。
θ撮像カメラの説明図、（ｂ）は同じくシ−ル剤の塗布
状態を撮像するラインセンサの説明図。
【図６】同じく制御ブロック図。
９…液晶用基板（板状体） １５…Ｘ駆動源 １７…Ｙ駆動源 １９…Ｚ駆動源 ２４…圧縮ばね（弾性保持手段） ２７…ディスペンサ ２７ａ…バレル ２７ｂ…ノズル体 ３２…第１のストッパ（阻止手段） ３３…第２のストッパ（阻止手段） ３７…Ｘ撮像カメラ ３８…Ｙ撮像カメラ ４１…θ撮像カメラ
Claims (7)
- 【請求項１】 液状体を板状体に塗布するための液状体
の塗布装置において、 上記液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの先端
部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液状体
が吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、 上記板状体に対して上記ディスペンサを相対的にＸ、Ｙ
およびＺ方向に移動させる駆動手段と、 上記ノズル体の先端部を撮像しその撮像信号によってこ
のノズル体の先端部の位置を検出するノズル撮像手段と
を具備したことを特徴とする液状体の塗布装置。 - 【請求項２】 上記第１の撮像手段は、上記ノズル体の
先端部をＸ方向から撮像するＸ撮像カメラと、上記ノズ
ル体の先端部をＹ方向から撮像するＹ撮像カメラとを具
備することを特徴とする請求項１記載の液状体の塗布装
置。 - 【請求項３】 上記第１の撮像手段からの検出信号に基
づいて上記ノズル体の位置を補正する補正手段を備えて
いることを特徴とする請求項１または請求項２記載の液
状体の塗布装置。 - 【請求項４】 液状体を板状体に塗布するための液状体
の塗布装置において、 上記液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの先端
部に着脱自在に設けられ上記バレル内の液状体が先端か
ら吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、 上記板状体に対して上記ディスペンサを相対的にＸ、Ｙ
およびＺ方向に移動させる駆動手段と、 上記ノズル体から吐出されて上記板状体に塗布される上
記液状体の塗布状態を撮像する塗布状態撮像手段とを具
備したことを特徴とする液状体の塗布装置。 - 【請求項５】 上記塗布状態撮像手段は、上記ディスペ
ンサと一体的に設けられるとともに上記ノズル体の先端
部を斜め上方から撮像するθ撮像カメラであることを特
徴とする請求項４記載の液状体の塗布装置。 - 【請求項６】 上記塗布状態撮像手段は、上記ノズル体
の外周全長にわたって設けられたラインセンサであるこ
とを特徴とする請求項４記載の液状体の塗布装置。 - 【請求項７】 液状体を板状体に塗布するための液状体
の塗布装置において、 上記液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの先端
部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液状体
が吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、 このディスペンサをＺ方向に弾性的に変位自在に保持し
た弾性保持手段と、 この弾性保持手段による上記ディスペンサのＺ方向の弾
性変位を適宜に阻止する阻止手段と、 上記ディスペンサを上記板状体に対して相対的にＸ、Ｙ
およびＺ方向に移動させる駆動手段とを具備したことを
特徴とする液状体の塗布装置。
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| JPH1133458A true JPH1133458A (ja) | 1999-02-09 |
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ID=16346017
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| JP19573097A Pending JPH1133458A (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | 液状体の塗布装置 |
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