JPH1133467A - 飛散防止カップの洗浄方法及び塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低下した飛散防止カップ内の温度を温調気体
で迅速に回復させることにより、付着した塗布液に起因
する不具合を防止しつつも洗浄処理に起因して塗布処理
の再現性が低下することを防止できる。 【解決手段】 飛散防止カップ３内の排気圧を調整する
流量調節弁５を備えるとともに、カップ内面に温調気体
を噴射する第１エアノズル２１と、上方から温調気体を
供給する第２エアノズル２２とを備える。洗浄液を供給
する際には、流量調節弁５を調整し、ダウンフローを取
り込むとともに第２エアノズル２２から温調気体を供給
して、塗布時より多くの温調気体を導入する。その後、
カップ内面に第１エアノズル２１から温調気体を噴射し
て揮発を促す。これにより雰囲気温度の迅速な回復を図
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板、液晶
表示器のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、光
ディスク用の基板等（以下、単に基板と称する）に、フ
ォトレジスト液、ＳＯＧ液（Spin On Glass:シリカ系被
膜形成材とも呼ばれる）、ポリイミド樹脂などの塗布液
を回転塗布した際に飛散防止カップ内面に付着した塗布
液を洗浄除去する飛散防止カップの洗浄方法および塗布
装置に係り、特に、洗浄液を飛散防止カップ内面に供給
することによって、付着している塗布液を洗浄除去する
技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の種の塗布装置には、スピンチャッ
クなどの回転支持手段の周囲を取り囲むように飛散防止
カップが配備されており、基板への回転塗布の際に飛散
した塗布液を飛散防止カップで受け止めて回収するよう
になっている。

【０００３】ところで、塗布処理に伴って飛散した塗布
液が飛散防止カップの内面に付着して、それが乾燥して
固化すると、飛散防止カップの内部形状が実質的に変化
することになって塗布性能に影響を与えたり、回転時の
振動等によって塗布液の固化物が微粉末状の塵埃となっ
て浮遊して、基板の表面に付着して基板を汚染すること
がある。このような不都合を防止するために、飛散防止
カップの内面に付着した塗布液を定期的に洗浄除去する
ことが行われている。このような洗浄を行うために、例
えば、次のようなものが提案されている。

【０００４】（１）実公平５−１３４２号公報に開示さ
れた装置では、飛散防止カップの周囲に洗浄液を流通さ
せる送液管を配備し、この送液管から分岐した複数個の
導管を飛散防止カップの内面に開口させている。そし
て、これらの開口から洗浄液を吐出して飛散防止カップ
の内面を流下させることにより、飛散防止カップの内面
に付着した塗布液を洗浄除去するようになっている。

【０００５】（２）特開平５−８２４３５号公報や特開
平７−６６１１６号公報で開示された装置では、通常の
塗布処理の際には取り外されている洗浄治具を飛散防止
カップの洗浄時にスピンチャック上に装着して洗浄を行
っている。このような装置では、洗浄治具から洗浄液を
飛散防止カップの内面に供給することにより、付着して
いる塗布液を洗浄除去するようになっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
各従来例には、次のような問題がある。すなわち、飛散
防止カップの内部には一定温度に調整されたクリーンル
ームのダウンフローが取り込まれてはいるものの、水、
アルコールまたは溶媒などの洗浄液を飛散防止カップの
内面に吐出させている関係上、それらが揮発する際に飛
散防止カップの熱を奪うので、飛散防止カップ内部の温
度が低下することになる。

【０００７】このように洗浄処理によって飛散防止カッ
プ内部の温度が低下した状態で次の塗布処理を行った場
合には、基板に供給された塗布液の溶媒の揮発度合が低
下して流動性が低下しにくくなり、飛散する塗布液の量
が減少するので、同じ条件で塗布処理を行ったとして
も、飛散防止カップ内部の温度が塗布処理に適した温度
になっている状態に比較して、形成される塗布被膜の膜
厚が薄くなるという問題が生じる。つまり、カップ内に
付着した塗布液に起因する不具合を防止するために飛散
防止カップの洗浄処理を行うと、各基板間の膜厚の均一
性が低下して塗布処理の再現性が悪化するという問題が
ある。

【０００８】なお、再現性の問題を回避するために、洗
浄により低下した飛散防止カップ内の温度が塗布処理に
適した温度に回復するまで塗布処理を行わないようにす
ることも考えられるが、このようにすると当然のことな
がら稼働率が低下してスループットが低下することにな
る。

【０００９】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、低下した飛散防止カップ内の温度を温
調気体で迅速に回復させることにより、付着した塗布液
に起因する不具合を防止しつつも洗浄処理に起因して塗
布処理の再現性が低下することを防止できる飛散防止カ
ップの洗浄方法および塗布装置を提供することを目的と
する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の飛散防止カップの洗浄方法は、塗
布時に基板から飛散し、飛散防止カップの内面に付着し
た塗布液に洗浄液を供給して洗浄する飛散防止カップの
洗浄方法において、一定温度に調整された温調気体を塗
布時よりも多く飛散防止カップ内に導入するようにした
ことを特徴とするものである。

【００１１】また、請求項２に記載の飛散防止カップの
洗浄方法は、請求項１に記載の飛散防止カップの洗浄方
法において、前記温調気体の導入を、飛散防止カップ内
の排気圧力を高めることにより行うようにしたことを特
徴とするものである。

【００１２】また、請求項３に記載の飛散防止カップの
洗浄方法は、請求項１に記載の飛散防止カップの洗浄方
法において、前記温調気体の導入を、飛散防止カップ内
に温調気体を供給することにより行うようにしたことを
特徴とするものである。

【００１３】また、請求項４に記載の飛散防止カップの
洗浄方法は、塗布時に基板から飛散し、飛散防止カップ
の内面に付着した塗布液に洗浄液を供給して洗浄する飛
散防止カップの洗浄方法において、洗浄液の供給を開始
する過程と、一定温度に調整された温調気体を塗布時よ
りも多く飛散防止カップ内に供給する過程と、洗浄液の
供給を停止する過程と、飛散防止カップの内面に温調気
体を噴射する過程と、をその順に実施することを特徴と
するものである。

【００１４】また、請求項５に記載の塗布装置は、飛散
防止カップで周囲を囲われた回転支持手段に基板を支持
させ、基板を回転させることにより塗布液を振り切って
塗布被膜を形成する塗布装置において、飛散防止カップ
内面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、一定温度に
調整された温調気体を飛散防止カップ内に導入する温調
気体導入手段とを備え、飛散防止カップの洗浄時には、
塗布時よりも多くの温調気体を前記温調気体導入手段か
ら導入するようにしたことを特徴とするものである。

【００１５】また、請求項６に記載の塗布装置は、請求
項５に記載の塗布装置において、前記温調気体導入手段
は、飛散防止カップ内の排気圧力を塗布時よりも高める
排気圧変更手段であることを特徴とするものである。

【００１６】また、請求項７に記載の塗布装置は、請求
項５に記載の塗布装置において、前記温調気体導入手段
は、一定温度に調整された温調気体を飛散防止カップ内
に供給する温調気体供給手段であることを特徴とするも
のである。

【００１７】また、請求項８に記載の塗布装置は、請求
項６に記載の塗布装置において、前記温調気体導入手段
は、飛散防止カップ内の排気圧力を塗布時よりも高める
排気圧変更手段と、一定温度に調整された温調気体を飛
散防止カップ内に供給する温調気体供給手段とから構成
され、洗浄液の供給停止後に、前記飛散防止カップの内
面に温調気体を噴射する噴射手段をさらに備えているこ
とを特徴とするものである。

【００１８】

【作用】請求項１に記載の方法発明の作用は次のとおり
である。飛散防止カップに付着した塗布液を洗浄除去す
る際には、一定温度に調整された温調気体を塗布時より
も多く飛散防止カップ内に導入する。これによって洗浄
液が揮発することで低下した飛散防止カップ内の温度を
急速に回復させることができる。

【００１９】また、請求項２に記載の方法発明によれ
ば、飛散防止カップ内の排気圧力を高めると、一定温度
に調整された温調気体であるクリーンルームのダウンフ
ローを積極的に飛散防止カップ内に取り込むことにな
り、温度が低下している飛散防止カップ内の雰囲気を急
速に置換することができる。

【００２０】また、請求項３に記載の方法発明によれ
ば、飛散防止カップ内に温調気体を積極的に導入するこ
とにより、低下している飛散防止カップ内の温度を急速
に回復させることができる。

【００２１】また、請求項４に記載の方法発明によれ
ば、洗浄液の供給を開始すると洗浄液の揮発により飛散
防止カップ内の温度が低下するが、その後、飛散防止カ
ップ内に塗布時よりも多くの温調気体を取り込むことに
より、温度が低下したカップ内雰囲気を置換する。そし
て、洗浄液の供給を停止した後、一定温度に調整された
温調気体を飛散防止カップ内面に噴射する。多くの温調
気体を取り込むことによる雰囲気置換に加えて、積極的
に温調気体をカップ内面に噴射することにより、残って
いる洗浄液を揮発させるとともに飛散防止カップ内の温
度を極めて早く回復させることができる。

【００２２】また、請求項５に記載の装置発明によれ
ば、回転支持手段に支持された基板を回転させつつ塗布
被膜を形成すると、余剰の塗布液が周囲に飛散し、回転
支持手段を囲むように配設された飛散防止カップの内面
に付着する。この付着した塗布液を洗浄除去する際に
は、塗布時よりも多くの温調気体を飛散防止カップ内に
導入することにより、洗浄液が揮発することで低下した
飛散防止カップ内の温度を急速に回復させることができ
る。

【００２３】また、請求項６に記載の装置発明によれ
ば、排気圧変更手段で洗浄時の排気圧力を塗布時よりも
高めることにより、一定温度に調整された温調気体であ
るクリーンルームのダウンフローを積極的に飛散防止カ
ップ内に取り込んで、温度が低下している飛散防止カッ
プ内の雰囲気を急速に置換することができる。

【００２４】また、請求項７に記載の装置発明によれ
ば、温調気体供給手段で飛散防止カップ内に温調気体を
積極的に導入することにより、低下している飛散防止カ
ップ内の温度を急速に回復させることができる。

【００２５】また、請求項８に記載の装置発明によれ
ば、排気圧変更手段で洗浄時の排気圧力を塗布時よりも
高めることにより、クリーンルームのダウンフローを積
極的に飛散防止カップ内に取り込んで雰囲気を急速に置
換し、温調気体供給手段で飛散防止カップ内に温調気体
を積極的に導入することにより、温度を急速に回復させ
ることができる。これら二つの手段を併用するによりカ
ップ内温度を迅速に回復させることができる。さらに噴
射手段によりカップ内面に積極的に温調気体を噴射する
ことにより、残っている洗浄液を揮発させるとともに飛
散防止カップ内の温度を極めて早く回復させることがで
きる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例を説明する。図１は実施例に係る塗布装置の概略
構成を示す縦断面図であり、図２は気体調節部の概略構
成を示すブロック図である。

【００２７】この塗布装置は、回転支持手段に相当し、
基板Ｗを水平面内で回転するスピンチャック１を備えて
いる。この回転中心の上方には、移動自在に構成され、
基板Ｗに対してフォトレジスト液などの塗布液を供給す
るための塗布液供給ノズル２が配備されている。また、
塗布液が周囲に飛散することを防止するための飛散防止
カップ３がスピンチャック１を囲うように配設されてい
る。この飛散防止カップ３の下部には、飛散した塗布液
を回収するための排液回収ドレイン４ａと、飛散防止カ
ップ３内を排気するための排気口４ｂが形成されてい
る。この排気口４ｂには、排気圧変更手段および温調気
体導入手段に相当する流量調節弁５を介して、一定圧力
で吸引する吸引ポンプ６が連通接続されている。

【００２８】スピンチャック１は基板Ｗの径よりも小径
のディスク状に形成され、鉛直向きに配備された電動モ
ータ７に連動連結された回転軸８の上端部に嵌入されて
いる。この電動モータ７を回転駆動することにより、ス
ピンチャック１とともに基板Ｗが回転駆動するようにな
っている。

【００２９】飛散防止カップ３は、外カップ３ａと、基
板Ｗの裏面に臨むように外カップ３ａの底部中心側に配
備された整流部材３ｂとから２重筒状に構成されてベー
ス板９に支持されている。整流部材３ｂは、平面視ほぼ
円形状であって下向きの傾斜面を有し、飛散防止カップ
３内に流入したダウンフローを、基板Ｗの全周にわたっ
て均一な流れとして排気口４ｂに流下させる作用を有す
るものである。ベース板９には、リンス液を基板Ｗの裏
面に向けて吹き付ける裏面洗浄ノズル１０が配備されて
いる。ベース板９自体は、上下一対のシリンダ１１，１
２に支持された昇降板１３に取り付けられている。これ
らのシリンダ１１，１２の伸縮組み合わせにより、飛散
防止カップ３を３段に昇降できるように構成されてい
る。

【００３０】スピンチャック１に連結された回転軸８に
は、スピンチャック１よりも大径のカップ洗浄部材１５
が緩挿されている。このカップ洗浄部材１５は、ほぼ円
盤状を呈するものであり、ＰＥＥＫ（ポリエーテルケト
ンケトン）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ（ポリエチ
レン）、ＰＶＤＦ（２フッ化テフロン）などの合成樹脂
により形成することが好ましい。カップ洗浄部材１５に
は、飛散防止カップ３のベース板９が比較的上昇位置に
あるときに、裏面洗浄ノズル１０が挿通されるための貫
通孔１６が形成されている。カップ洗浄部材１５の下面
外周部には、飛散防止カップ３の内面に向けてアルコー
ルなどの洗浄液を案内供給する洗浄液案内部１７が平面
視で環状に形成されている。

【００３１】カップ洗浄部材１５は、飛散防止カップ３
のベース板９が比較的上昇位置にあるときには、ベース
板９に受け持ち支持されることにより、飛散防止カップ
３と一体となって昇降するように構成されている。ま
た、飛散防止カップ３が下方位置にあるときは、回転軸
８の中間部位に形成された小径円板状の回転伝達部１８
に受け持ち支持されるとともに、カップ洗浄部材１５の
下面中心側に形成されたピン１９が回転伝達部１８と係
合して、カップ洗浄部材１５が回転軸８と一体的に回転
するようになっている。また、ベース板９には、カップ
洗浄部材１５の洗浄液案内部１７に洗浄液を供給するた
めの洗浄液供給ノズル２０が立設されている。なお、上
述したカップ洗浄部材１５と洗浄液供給ノズル２０とが
本発明の洗浄液供給手段に相当する。

【００３２】また、外カップ３ａの上部内面には、その
内側傾斜面の全周にわたって温調気体を噴射する第１エ
アノズル２１が配備されている。また、スピンチャック
１の上方には、飛散防止カップ３の上部開口から温調気
体を供給する円盤状の第２エアノズル２２が進退自在に
配備されている。第２エアノズル２２は、その底面に、
温調気体を均等に分散させるための網目状の拡散板２２
ａが取り付けられている。

【００３３】なお、上記の第１エアノズル２１は本発明
の噴射手段に相当し、上記の第２エアノズル２２は温調
気体導入手段および温調気体供給手段に相当するもので
ある。

【００３４】第１エアノズル２１と第２エアノズル２２
には、クリーンルーム内の空気を取り込んで、塗布処理
に適した温湿度に調整して温調気体とするとともに、こ
の温調気体の流量を調整するための気体調節部３０が連
通接続されている。さらに気体調節部３０と第１エアノ
ズル２１との間には、気体調節部３０からの温調気体の
流量を微調整するための流量調節部３２が配備されてい
る。これは第１エアノズル２１が飛散防止カップ３の内
面に温調気体を直接的に噴射する関係上、第２エアノズ
ル２２に比べて流量の微調整が必要なためである。な
お、温調気体としては空気に代えて、例えば、dry N₂で
あってもよい。

【００３５】上記の気体調節部３０は、図２に示すよう
に構成されている。この気体調節部３０は、その気体取
り入れ口３０ａからクリーンルーム内の空気を取り込
み、種々の調節を空気に施して放出口３０ｂから放出す
るものである。詳細には、気体取り入れ口３０ａから放
出口３０ｂに向かって、第１ファン３１と、第１フィル
タ３２と、冷凍部３３と、加熱部３４と、加湿部３５
と、第２ファン３６と、第２フィルタ３７と、検出部３
８とから構成されている。検出部３８は、湿度センサ３
８ａと温度センサ３８ｂの二つのセンサから構成されて
いる。

【００３６】第１ファン３１により取り込まれた空気
は、まず最初にパーティクルなどが第１フィルタ３２に
よって除去されて冷凍部３３に送り込まれる。冷凍部３
３は、空気の温度を一旦所定温度にまで冷却する。これ
は除湿を行う目的の他に、例えば、取り込んだ空気の温
度と目標となる温度との差が僅かである場合、加熱部３
４による温度調節の精度が悪化するので、一旦冷却して
加熱することで精度を確保するためである。

【００３７】加熱部３４で所定温度に加熱された空気
は、加湿部３５により所定湿度となるように調節され
る。気体取り入れ口３０ａから取り込まれた空気は、第
１フィルタ３２から加湿部３５を経る間に風速・風量が
低下しているので、第２ファン３６によりこれを補う。
その後、上記の各部から発生して含まれている恐れのあ
るパーティクルなどを第２フィルタ３７で除去する。

【００３８】上記の各部により調整された温調気体は、
第２フィルタ３７の後段に配置されている湿度センサ３
８ａと温度センサ３８ｂによって実際の湿度・温度が測
定される。制御部５０は、その湿度・温度をモニタし
て、目標値に一致するように上記各部を制御する。これ
ら温度・湿度の目標値は、温度・湿度を種々に変更して
塗布処理を繰り返し行い、形成された塗布被膜の結果に
基づいて塗布処理を適切に施すことができる値を求めて
設定してある。

【００３９】なお、制御部５０は、上記の気体調節部３
０の他、塗布液供給ノズル２の移動や塗布液の供給、電
動モータ７の回転数、流量調節弁５、シリンダ１１，１
２の伸縮、流量調整部４０、第２エアノズル２２の水平
移動などを統括制御するようになっている。

【００４０】次に、上記のように構成されている塗布装
置の動作について図３ないし図６を参照して説明する。
なお、図３は基板の塗布処理を示す縦断面図であり、図
４は基板の搬送処理を示す縦断面図であり、図５は飛散
防止カップの洗浄処理を示す縦断面図である。また、図
６は、カップ内温度の変動を示すタイムチャートであ
り、特に図６（ａ）は本実施例を示し、図６（ｂ）は従
来例を示す。なお、既に未処理の基板Ｗが図示しない搬
送手段によって搬送され、スピンチャック１に支持され
ているものとする。

【００４１】『塗布処理』（図３） まず、制御部５０は、シリンダ１１，１２を伸長させ、
第２エアノズル２２を飛散防止カップ３の側方に退出さ
せ、流量調節弁５を調整して飛散防止カップ３内の排気
圧を塗布液排気圧Ｐ_EX1 とする（図６（ａ）参照）。次
いで、電動モータ７を駆動して基板Ｗを回転させつつ、
塗布液供給ノズル２から塗布液Ｒ（図３中の実線矢印）
を供給し、その後、回転数を高くして一定時間保持する
ことで一定膜厚の塗布被膜を基板Ｗの表面に形成する。

【００４２】このとき周囲に飛散した余剰の塗布液は、
飛散防止カップ３の傾斜面で受け止められて排液回収ド
レイン４ａに回収されるが、霧状のミストとなったその
一部（図３中の点線矢印）はダウンフローとともに排気
圧Ｐ_EX1 で排気口４ｂから排気される。なお、この塗布
処理時には、裏面洗浄ノズル１０からリンス液を供給し
て、基板Ｗの裏面周辺部に塗布液が回り込むことを防止
するようにしたり、この処理の後に、回り込んだ塗布液
を洗浄除去するために裏面洗浄ノズル１０からリンス液
を供給するようにしてもよい。

【００４３】『搬送処理』（図４） 塗布液供給ノズル２を飛散防止カップ３の側方に退避さ
せた後、制御部５０はシリンダ１１だけを収縮させる。
これにより昇降板１３およびベース板９が下降し、飛散
防止カップ３が下降することになる。すると、カップ洗
浄部材１５のピン１９が回転伝達部１８に当接するとと
もに、スピンチャック１が飛散防止カップ３の開口部か
ら相対的に上方に突出することになる。この状態で、図
示しない搬送手段を進入させ、処理済の基板Ｗを搬出
し、未処理の基板Ｗをスピンチャック１に載置する。な
お、このとき流量調整弁５は、排気圧が塗布処理時と同
じＰ _EX1 のままであり、飛散防止カップ３の上方から流
入するダウンフローが排気口４ｂから排出されている。

【００４４】上記のように『塗布処理』と『搬送処理』
とを繰り返し実行して行くうちに、飛散した塗布液が飛
散防止カップ３の内面に付着堆積する。これが乾燥する
とパーティクルとなって基板Ｗを汚染する原因となるの
で、定期的に次のようにして洗浄処理を行うようになっ
ている。

【００４５】『洗浄処理』（図５） まず、シリンダ１１に加えてシリンダ１２も収縮させ、
昇降板１３をさらに大きく下降させる。これにより飛散
防止カップ３は昇降板１３とともに大きく下降するが、
カップ洗浄部材１５だけがその下降途中で回転伝達部１
８に受け止められて停止し、それ以降は飛散防止カップ
３だけが下降してゆく。その結果、カップ洗浄部材１５
の洗浄液案内部１７が飛散防止カップ３の外カップ３ａ
と整流部材３ｂとの間に臨む高さに保持される。また、
カップ洗浄部材１５は、回転伝達部１８に係合して、カ
ップ洗浄部材１５が回転軸８とともに一体的に回転可能
になる。

【００４６】次に、制御部５０は、流量調節弁５を調節
して塗布時排気圧Ｐ_EX1 よりも高い洗浄時排気圧Ｐ_EX2
に設定し、排気口４ｂからの排出量を塗布時に比較して
多くする（図６（ａ）参照）。これとともに第２エアノ
ズル２２を飛散防止カップ３の上方に移動させ、一定流
量で温調気体の供給を開始する。これにより飛散防止カ
ップ３の開口から流入した温調気体は、排気口４ｂから
排出される。なお、この時点では、流量調整部４０の流
量設定を『０』として、第１エアノズル２１からの温調
気体の供給量を『０』としておく。

【００４７】飛散防止カップ３の排気口４ｂの排気圧を
洗浄時排気圧Ｐ_EX2 に設定し、第２エアノズル２２から
温調気体の供給を開始するのと同時に、電動モータ７の
回転を開始して洗浄液供給ノズル２０から洗浄液の供給
を開始する。すると供給された洗浄液はカップ洗浄部材
１５の洗浄液案内部１７に貯留するが、電動モータ７の
回転駆動による遠心力により洗浄液案内部１７から勢い
良く周囲に噴出して飛散防止カップ３の内面に向かう
（図５中の符号Ｓ）。

【００４８】この洗浄液の噴出により、飛散防止カップ
３の内面に付着堆積している塗布液が溶解され、洗浄液
とともに排液回収ドレイン４ａに流下する。このとき洗
浄液が揮発することに伴い、飛散防止カップ３の温度が
低下するとともにカップ内雰囲気の温度も低下する。し
かも、飛散防止カップ３内には第２エアノズル２２から
温調気体が供給されていることと、カップ内の排気圧が
高められている関係上、洗浄液の揮発度合いが高まって
カップ内の温度は従来例（図６（ｂ）参照）に比較して
大きく低下することになる。このように洗浄液を飛散防
止カップ３に対して一定時間供給した後、洗浄液供給ノ
ズル２０からの洗浄液の供給を遮断するとともに、電動
モータ７によるカップ洗浄部材１５の回転駆動を停止す
る。また、これと同時に流量調整弁５を調整して飛散防
止カップ３の排気圧を元の塗布時排気圧Ｐ_EX1 に戻す。

【００４９】排気圧を塗布時排気圧Ｐ_EX1 に戻すととも
に、第２エアノズル２２からの温調気体の供給を停止
し、これに代えて第１エアノズル２１から温調気体の供
給を開始する。第１エアノズル２１から温調気体を供給
するには、流量調整部４０を調整すればよい。すると、
飛散防止カップ３の内面に付着している洗浄液の残りが
急激に揮発するので、上記のように温度が低下している
カップ内の温度が一時的にさらに低下することになる
が、噴射しているのは塗布処理に好適な条件に設定され
ている温調気体であるためカップ内の温度は急速に元の
温度に向けて回復してゆく。

【００５０】したがって、飛散防止カップ３内の温度を
塗布処理に適した温度にまで急速に回復させることがで
きるので、飛散防止カップ３内に付着した塗布液を洗浄
除去してこれに起因する不具合を防止しつつも、洗浄処
理に起因して各基板間の膜厚が不均一となってバラツキ
が生じる等の塗布処理の再現性が低下することを防止す
ることができる。よって、スループットの低下を抑制し
つつも塗布処理における歩留りを向上させることができ
る。

【００５１】なお、上記の実施例では洗浄液の供給後、
カップ内面に温調気体を噴射してより早く温度を回復さ
せるようにしたが、これを行わなくても洗浄液と同時に
供給した温調気体によってカップ内雰囲気の温度は従来
例より早く回復（図６（ａ）中の点線）してゆくので、
洗浄液の供給後に第１エアノズル２１から温調気体を飛
散防止カップ３の内面に噴射することは必須ではない。

【００５２】また、上記の実施例では、第２エアノズル
２２を備えた装置を例に採って説明したが、クリーンル
ームのダウンフローが塗布処理に適した温度・湿度に調
整されている場合には、特に、第２エアノズル２２を設
けることなくダウンフローを温調気体として利用するよ
うにしてもよい。この場合には、塗布処理時に飛散防止
カップ３内に導入されるダウンフローよりも多くのダウ
ンフローが洗浄処理時に導入されるように、例えば、洗
浄処理時には飛散防止カップ３の上部開口の面積が塗布
処理時よりも拡がるようにすればよく、比較的簡単な構
成にすることができる。

【００５３】なお、実施例では、洗浄液の供給時に塗布
時より多くの温調気体をカップ内に導入することと、洗
浄液の供給停止後にカップ内面に温調気体を噴出するこ
とを併せて行ったが、洗浄液の供給停止後にのみ温調気
体を供給するようにしてもよい。つまり、図７のタイム
チャートに示すように、洗浄液の供給停止後に第１エア
ノズル２１からのみ温調気体を噴出して洗浄液の揮発を
促すとともに飛散防止カップ３内の雰囲気温度の回復を
図るようにする。このようにすると洗浄液の供給時にも
温調気体を供給している場合に比較して、温調気体を供
給している時間が短いため温度の回復が遅れるものの、
従来例（図７中の点線）よりは十分に早く回復させるこ
とができる。したがって、上記実施例とほぼ同等の効果
を得ることが可能である。

【００５４】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の方法発明によれば、一定温度に調整された温
調気体を塗布時よりも多く飛散防止カップ内に導入する
ことで、低下した飛散防止カップ内の温度を急速に回復
させることができる。したがって、飛散防止カップ内に
付着した塗布液を洗浄除去してこれに起因する不具合を
防止しつつも、洗浄処理に起因して各基板間の膜厚が不
均一となってバラツキが生じる等の塗布処理の再現性が
低下することを防止することができる。その結果、塗布
処理における歩留りを向上させることができる。

【００５５】また、請求項２に記載の方法発明によれ
ば、飛散防止カップ内の排気圧力を高めてクリーンルー
ムのダウンフローを積極的に飛散防止カップ内に取り込
むことによって、温度が低下している飛散防止カップ内
の雰囲気を急速に置換することができ、比較的容易にカ
ップ内温度を回復させることができる。

【００５６】また、請求項３に記載の方法発明によれ
ば、飛散防止カップ内に温調気体を積極的に導入するこ
とにより、飛散防止カップ内の温度を急速に回復させる
ことができる。

【００５７】また、請求項４に記載の方法発明によれ
ば、多くの温調気体を取り込むことによる雰囲気置換に
加えて、積極的に温調気体を噴射することにより、飛散
防止カップ内の温度を極めて早く回復させることができ
る。したがって、次の塗布処理を開始できるまでの時間
をさらに短縮できる。

【００５８】また、請求項５に記載の装置発明によれ
ば、請求項１に記載の方法発明を好適に実施することが
できる。

【００５９】また、請求項６に記載の装置発明によれ
ば、請求項２に記載の方法発明を好適に実施することが
できる。

【００６０】また、請求項７に記載の装置発明によれ
ば、請求項３に記載の方法発明を好適に実施することが
できる。

【００６１】また、請求項８に記載の装置発明によれ
ば、請求項４に記載の方法発明を好適に実施することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例に係る塗布装置の概略構成を示す縦断面
図である。

【図２】気体調節部を示すブロック図である。

【図３】基板の塗布処理を示す縦断面図である。

【図４】基板の搬送処理を示す縦断面図である。

【図５】飛散防止カップの洗浄処理を示す縦断面図であ
る。

【図６】飛散防止カップの洗浄処理におけるカップ内温
度の変動を示すタイムチャートである。

【図７】飛散防止カップの洗浄処理の変形例を説明する
タイムチャートである。

【符号の説明】

Ｗ … 基板 １ … スピンチャック（回転支持手段） ２ … 塗布液供給ノズル ３ … 飛散防止カップ ５ … 流量調節弁（排気圧変更手段，温調気体導入手
段） １５ … カップ洗浄部材（洗浄液供給手段） ２０ … 洗浄液供給ノズル（洗浄液供給手段） ２１ … 第１エアノズル（温調気体供給手段，温調気
体導入手段） ２２ … 第２エアノズル（噴射手段，温調気体導入手
段） ３０ … 気体調節部 ４０ … 流量調整部 Ｐ_EX1 … 塗布時排気圧 Ｐ_EX2 … 洗浄時排気圧

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/304 ３４１ Ｈ０１Ｌ 21/31 Ａ 21/31 21/30 ５６４Ｃ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗布時に基板から飛散し、飛散防止カッ
   プの内面に付着した塗布液に洗浄液を供給して洗浄する
   飛散防止カップの洗浄方法において、 一定温度に調整された温調気体を塗布時よりも多く飛散
   防止カップ内に導入するようにしたことを特徴とする飛
   散防止カップの洗浄方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の飛散防止カップの洗浄
   方法において、前記温調気体の導入を、飛散防止カップ
   内の排気圧力を高めることにより行うようにしたことを
   特徴とする飛散防止カップの洗浄方法。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の飛散防止カップの洗浄
   方法において、前記温調気体の導入を、飛散防止カップ
   内に温調気体を供給することにより行うようにしたこと
   を特徴とする飛散防止カップの洗浄方法。
4. 【請求項４】 塗布時に基板から飛散し、飛散防止カッ
   プの内面に付着した塗布液に洗浄液を供給して洗浄する
   飛散防止カップの洗浄方法において、 洗浄液の供給を開始する過程と、 一定温度に調整された温調気体を塗布時よりも多く飛散
   防止カップ内に供給する過程と、 洗浄液の供給を停止する過程と、 飛散防止カップの内面に温調気体を噴射する過程と、 をその順に実施することを特徴とする飛散防止カップの
   洗浄方法。
5. 【請求項５】 飛散防止カップで周囲を囲われた回転支
   持手段に基板を支持させ、基板を回転させることにより
   塗布液を振り切って塗布被膜を形成する塗布装置におい
   て、 飛散防止カップ内面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段
   と、 一定温度に調整された温調気体を飛散防止カップ内に導
   入する温調気体導入手段とを備え、 飛散防止カップの洗浄時には、塗布時よりも多くの温調
   気体を前記温調気体導入手段から導入するようにしたこ
   とを特徴とする塗布装置。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の塗布装置において、前
   記温調気体導入手段は、飛散防止カップ内の排気圧力を
   塗布時よりも高める排気圧変更手段であることを特徴と
   する塗布装置。
7. 【請求項７】 請求項５に記載の塗布装置において、前
   記温調気体導入手段は、一定温度に調整された温調気体
   を飛散防止カップ内に供給する温調気体供給手段である
   ことを特徴とする塗布装置。
8. 【請求項８】 請求項５に記載の塗布装置において、前
   記温調気体導入手段は、飛散防止カップ内の排気圧力を
   塗布時よりも高める排気圧変更手段と、一定温度に調整
   された温調気体を飛散防止カップ内に供給する温調気体
   供給手段とから構成され、洗浄液の供給停止後に、前記
   飛散防止カップの内面に温調気体を噴射する噴射手段を
   さらに備えていることを特徴とする塗布装置。